製造装置オンライン機能要求仕様書¼ˆ旧)/ライン...製造装置オンライン機能要求仕様書...

製造装置オンライン機能要求仕様書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>

株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日

製造装置オンライン機能要求仕様書

＜内部バッファ／バッチ処理装置編＞

第 3.0版

2001年 3月 30日

株式会社半導体先端テクノロジーズ


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 i

目次

1. 序論 ........................................................................................................................................ 1 1.1. 目的 ................................................................................................................................ 1 1.2. 適用範囲 ......................................................................................................................... 1

1.2.1. バッファタイプ....................................................................................................... 2 1.2.2. 単位サイクルサイズ ............................................................................................... 2

1.3. 制限 ................................................................................................................................ 3 1.4. 提供スケジュール .......................................................................................................... 3 1.5. 文書構成 ......................................................................................................................... 3

1.5.1. 文書体系 ................................................................................................................. 3 1.5.2. 章構成 ..................................................................................................................... 4 1.5.3. 総ページ数.............................................................................................................. 4

1.6. 改版履歴 ......................................................................................................................... 4 1.7. 参考文献 ......................................................................................................................... 8 2. 前提条件................................................................................................................................. 9 2.1. 材料モデル ..................................................................................................................... 9

2.1.1. ウェーハ ................................................................................................................. 9 2.1.2. キャリア ................................................................................................................. 9

2.2. 運用モデル ................................................................................................................... 10 2.2.1. 共通運用モデル..................................................................................................... 10

2.2.1.1. 装置立上げ時、通常運用時のコントロールモード....................................... 13 2.2.1.2. キャリア IDの使用方法................................................................................ 13 2.2.1.3. アクセスモード ............................................................................................. 14 2.2.1.4. アクセスモードの管理単位 ........................................................................... 14 2.2.1.5. 連続移載 ........................................................................................................ 14 2.2.1.6. 同時移載 ........................................................................................................ 14 2.2.1.7. キャリア搬入出時の誤操作防止.................................................................... 15 2.2.1.8. デリバリポジションにおける FOUPの固定 ................................................ 15 2.2.1.9. キャリア ID照合 .......................................................................................... 15 2.2.1.10. ロードポート予約 ......................................................................................... 16 2.2.1.11. スロットマップ照合...................................................................................... 16 2.2.1.12. 処理状態の収集 ............................................................................................. 16 2.2.1.13. ウェーハ識別子の提供方法 ........................................................................... 17 2.2.1.14. プロセス条件の与え方 .................................................................................. 17


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 ii

2.2.1.15. 処理開始方法................................................................................................. 18 2.2.1.16. プロセスジョブ関連イベント送付 ................................................................ 18 2.2.1.17. QTAT処理 .................................................................................................... 18 2.2.1.18. 自動ハンドオフ失敗時の対応 ....................................................................... 19 2.2.1.19. スロットマップ照合失敗時の対応 ................................................................ 19 2.2.1.20. キャリア ID照合失敗時の対応..................................................................... 20 2.2.1.21. ジョブ作成失敗時の対応 .............................................................................. 20 2.2.1.22. クランプ／ドック／アンドック／アンクランプ時の失敗への対応 ............. 21

2.2.2. NPW運用モデル ............................................................................................... 22 2.2.2.1. Filler（定常）............................................................................................... 23 2.2.2.2. Filler（非定常）........................................................................................... 25 2.2.2.3. モニター ......................................................................................................... 27

3. 構成要求............................................................................................................................... 29 3.1. 装置パネル ................................................................................................................... 29 3.2. スロットマップリーダ ................................................................................................. 29 3.3. ロードポート................................................................................................................ 30 3.4. キャリア IDリーダ ...................................................................................................... 30 3.5. キャリア搬入出検出機構.............................................................................................. 30 3.6. クランプ機構................................................................................................................ 30 3.7. キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェイス .................................................. 31 3.8. ロードポートオペレータインターフェイス................................................................. 35

3.8.1. 搬入時オペレーション.......................................................................................... 36 3.8.2. 搬出時オペレーション.......................................................................................... 39

3.9. 内部バッファ................................................................................................................ 41 3.10. FIMSポート ............................................................................................................ 41 4. 通信要求............................................................................................................................... 42 4.1. 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM） ....................... 42

4.1.1. 要求条件 ............................................................................................................... 42 4.1.2. 状態モデル............................................................................................................ 43 4.1.3. ホスト開始による S1,F13/F14シナリオ ............................................................. 46 4.1.4. イベント通知 ........................................................................................................ 47 4.1.5. オンライン確認..................................................................................................... 47 4.1.6. エラーメッセージ ................................................................................................. 47 4.1.7. コントロール（オペレータ起動）........................................................................ 47 4.1.8. 文書化 ................................................................................................................... 47 4.1.9. 通信確立 ............................................................................................................... 47


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 iii

4.1.10. 動的イベントレポート設定変更 ....................................................................... 47 4.1.11. 変数データ収集................................................................................................. 47 4.1.12. 状態データ収集................................................................................................. 47 4.1.13. アラーム管理 .................................................................................................... 47 4.1.14. リモートコントロール ...................................................................................... 48 4.1.15. 装置定数............................................................................................................ 48 4.1.16. プロセスプログラム管理 .................................................................................. 49 4.1.17. 材料移送............................................................................................................ 49 4.1.18. クロック............................................................................................................ 49 4.1.19. コントロール（ホスト起動）............................................................................ 50

4.2. キャリア管理スタンダード（CMS） .......................................................................... 51 4.2.1. 要求条件 ............................................................................................................... 51 4.2.2. 状態モデル............................................................................................................ 52 4.2.3. サービス ............................................................................................................... 63 4.2.4. キャリア属性 ......................................................................................................... 64 4.2.5. イベント ............................................................................................................... 65 4.2.6. 装置定数 ............................................................................................................... 66 4.2.7. 状態変数 ............................................................................................................... 67 4.2.8. アラーム ............................................................................................................... 67 4.2.9. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係 .............................................. 68

4.3. コントロールジョブ管理（CJM） .............................................................................. 73 4.3.1. 要求条件 ............................................................................................................... 73 4.3.2. 状態モデル............................................................................................................ 73 4.3.3. サービス ............................................................................................................... 76 4.3.4. コントロールジョブ属性 ...................................................................................... 77 4.3.5. イベント ............................................................................................................... 78 4.3.6. 状態変数 ............................................................................................................... 78 4.3.7. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係 .............................................. 79

4.4. プロセスジョブ管理（PJM）...................................................................................... 81 4.4.1. 要求条件 ............................................................................................................... 81 4.4.2. 状態モデル............................................................................................................ 82 4.4.3. サービス ............................................................................................................... 83 4.4.4. プロセスジョブ属性 .............................................................................................. 84 4.4.5. イベント ............................................................................................................... 85 4.4.6. 状態変数 ............................................................................................................... 85 4.4.7. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係 .............................................. 86


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 iv

4.5. ウェーハトラッキングサービス（STS）..................................................................... 88 4.5.1. 要求条件 ............................................................................................................... 88 4.5.2. 状態モデル............................................................................................................ 88 4.5.3. サブストレートオブジェクト属性 ........................................................................ 90 4.5.4. イベント ............................................................................................................... 92 4.5.5. 状態変数 ............................................................................................................... 92 4.5.6. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係 .............................................. 93

4.6. オブジェクトサービススタンダード（OSS） ............................................................. 94 4.6.1. 要求条件 ............................................................................................................... 94 4.6.2. サービス ............................................................................................................... 94

4.7. 高速SECSメッセージサービス(HSMS)汎用サービス／高速SECSメッセージサービスシングルセッションモード(HSMS-SS) .................................................................................. 95 4.8. 半導体製造装置通信スタンダード２（SECS-Ⅱ）...................................................... 99

4.8.1. 使用するストリームファンクション一覧............................................................. 99 4.8.2. 使用ストリームファンクションメッセージ詳細 ................................................ 101

4.8.2.1. キャリア管理スタンダード（CMS）関連 .................................................. 101 4.8.2.2. コントロールジョブ管理（CJM）関連 ...................................................... 103 4.8.2.3. プロセスジョブ管理（PJM）関連 ............................................................. 105 4.8.2.4. オブジェクトサービススタンダード（OSS）関連 .................................... 108

5. 付録 .................................................................................................................................... 110 5.1. 通信シナリオ.............................................................................................................. 110

5.1.1. 通信シナリオについて........................................................................................ 110 5.1.2. 通信シナリオの見方 ........................................................................................... 110 5.1.3. 装置起動時／装置シャットダウン時シナリオ ................................................... 113

5.1.3.1. 立ち上げシナリオ ....................................................................................... 113 5.1.3.2. 立ち下げシナリオ ....................................................................................... 115

5.1.4. ロット処理シナリオ ........................................................................................... 116 5.1.4.1. ロット処理（１） ....................................................................................... 116 5.1.4.2. ロット処理（２） ....................................................................................... 122 5.1.4.3. QTAT処理（１） ....................................................................................... 128 5.1.4.4. QTAT処理（２） ....................................................................................... 138

5.1.5. エラーリカバリシナリオ .................................................................................... 149 5.1.5.1. エラー内容一覧 ........................................................................................... 149 5.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗................................................................ 150 5.1.5.3. スロットマップ照合失敗........................................................................... 156 5.1.5.4. キャリア ID照合失敗 ............................................................................... 177


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 v

5.1.5.5. ジョブ作成失敗 ......................................................................................... 183 5.1.5.6. （アン）クランピング／（アン）ドッキング失敗................................... 198

5.1.6. NPW運用シナリオ ........................................................................................... 211 5.1.6.1. NPW運用シナリオ一覧 ............................................................................. 211 5.1.6.2. Filler（定常）NPW 運用シナリオ .......................................................... 212 5.1.6.3. Filler（非定常）NPW 運用シナリオ ...................................................... 231 5.1.6.4. モニター NPW 運用シナリオ ................................................................. 249

5.2. 通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット ................................................ 268 5.2.1. 立上げ処理.......................................................................................................... 268 5.2.2. ロット処理.......................................................................................................... 276 5.2.3. 立ち下げ処理 ...................................................................................................... 310 5.2.4. QTAT処理（１） ............................................................................................... 312 5.2.5. QTAT処理（２） ............................................................................................... 361 5.2.6. E84 Fail.............................................................................................................. 416 5.2.7. スロットマップ照合エラー ................................................................................ 422 5.2.8. キャリア ID照合失敗 ......................................................................................... 463 5.2.9. ジョブ作成失敗................................................................................................... 468 5.2.10. （アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗................................................ 490 5.2.11. Filler（定常）NPW シナリオ ..................................................................... 496 5.2.12. Filler（非定常）NPW シナリオ.................................................................. 548 5.2.13. Monitor NPW シナリオ............................................................................... 600 5.2.14. 搬入時 E84ハンドシェークシーケンス .......................................................... 662 5.2.15. 搬出時 E84ハンドシェークシーケンス .......................................................... 663 5.2.16. E84タイマー一覧........................................................................................... 664 5.2.17. イベントレポートフォーマット ..................................................................... 665

5.3. STS、PJ、CJ、キャリアアクセッシングステータスの状態遷移 ............................ 668 5.4. サービス一覧.............................................................................................................. 669 5.5. イベント(S6F11)一覧 ................................................................................................. 670 5.6. 装置定数一覧.............................................................................................................. 672 5.7. 状態変数一覧.............................................................................................................. 674 5.8. アラーム一覧.............................................................................................................. 675 5.9. NPWモデル ............................................................................................................... 676 5.10. 用語集 ..................................................................................................................... 680


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 vi

表一覧

表 1-1 対象装置 .................................................................................................................. 1 表 1-2 改版履歴 .................................................................................................................. 7 表 2-1 運用項目一覧 ......................................................................................................... 13 表 2-2 Filler（定常）の NPWモデル ................................................................................ 23 表 2-3 Filler（非定常）の NPWモデル............................................................................. 25 表 2-4 モニターの NPWモデル ......................................................................................... 27 表 3-1 自動搬入時のキャリアハンドオフパラレル I/Oシーケンス................................. 32 表 3-2 自動搬出時のキャリアハンドオフパラレル I/Oシーケンス................................. 33 表 3-3 エンハンストキャリア移載パラレルＩ/Ｏインターフェイスの信号..................... 35 表 4-1 通信状態定義 ......................................................................................................... 44 表 4-2 通信状態遷移定義.................................................................................................. 44 表 4-3 コントロール状態定義 .......................................................................................... 45 表 4-4 コントロール状態遷移定義 ................................................................................... 46 表 4-5 ロードポートトランスファステート定義.............................................................. 52 表 4-6 ロードポートトランスファステート状態遷移定義 ............................................... 54 表 4-7 アクセスモード状態定義 ....................................................................................... 55 表 4-8 アクセスモード状態遷移定義................................................................................ 55 表 4-9 ロードポート予約状態定義 ................................................................................... 57 表 4-10 ロードポート予約状態遷移定義 .......................................................................... 57 表 4-11 ロードポート／キャリア関連状態定義 ............................................................... 58 表 4-12 ロードポート／キャリア関連状態遷移定義 ........................................................ 58 表 4-13 キャリア状態定義................................................................................................ 61 表 4-14 キャリア状態遷移定義 ........................................................................................ 62 表 4-15 キャリア属性 ....................................................................................................... 64 表 4-16 CMS状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係.................................... 71 表 4-17 コントロールジョブ状態定義 ............................................................................... 74 表 4-18 コントロールジョブ状態遷移定義 ...................................................................... 75 表 4-19 コントロールジョブ属性 ..................................................................................... 77 表 4-20 コントロールジョブ属性データ定義................................................................... 78 表 4-21 CJM状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係 .................................... 79 表 4-22 プロセスジョブステート定義 ............................................................................... 83 表 4-23 プロセスジョブ遷移定義....................................................................................... 83 表 4-24 プロセスジョブ属性 ............................................................................................ 84


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 vii

表 4-25 プロセスジョブ属性データ定義 .......................................................................... 85 表 4-26 PJM状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係 .................................... 86 表 4-27 ウェーハトラッキング状態定義 ............................................................................ 89 表 4-28 ウェーハトラッキング状態遷移定義................................................................... 89 表 4-29 ウェーハロケーション状態定義 ............................................................................ 90 表 4-30 ウェーハロケーション状態遷移定義................................................................... 90 表 4-31 サブストレートオブジェクト属性 ...................................................................... 91 表 4-32 サブストレートオブジェクト属性定義 ............................................................... 92 表 4-33 ウェーハトラッキング状態 ................................................................................. 93 表 4-34 HSMSメッセージフォーマット............................................................................ 95 表 4-35 要求 HSMSパラメータ一覧 ............................................................................... 96 表 4-36 HSMS-SS状態モデル図 ..................................................................................... 96 表 4-37 HSMS-SSパッシブモード接続の状態遷移 ...................................................... 97 表 4-38 HSMS-SSアクティブモード接続の状態遷移 ................................................... 98 表 4-39 使用ストリームファンクション一覧................................................................. 101 表 5-1 ステータスモデル名略号 ..................................................................................... 112 表 5-2 ステータスモデルの状態名略号 .......................................................................... 112 表 5-3 サブストレートトラッキングロケーション情報................................................. 113 表 5-4 Filler（定常）の NPWモデル .............................................................................. 213 表 5-5 Filler（非定常）の NPWモデル........................................................................... 232 表 5-6 Filler（非定常）の NPWモデル........................................................................... 250 表 5-7 処理状態の遷移タイミング ................................................................................. 668 表 5-8 NPW分析モデル ................................................................................................... 677 表 5-9 NPW分析モデル組合せ ........................................................................................ 678 表 5-10 分析モデルにおいて存在しない組合せ一覧(1/2) ................................................ 678 表 5-11 分析モデルにおいて存在しない組合せ一覧(2/2) ................................................ 679


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 viii

図一覧

図 1-1 オンラインに関係する機能仕様 .............................................................................. 1 図 1-2 バッファタイプ ....................................................................................................... 2 図 1-3 本書の文書体系 ....................................................................................................... 4 図 2-1 FOUP ...................................................................................................................... 9 図 2-2 Filler（定常）の条件指定方法.............................................................................. 24 図 2-3 Filler（定常）の制御方法 ..................................................................................... 24 図 2-4 Filler（非定常）の条件指定方法 .......................................................................... 26 図 2-5 Filler（非定常）の制御方法 ................................................................................. 26 図 2-6 モニターの条件指定方法 ....................................................................................... 28 図 2-7 モニターの制御方法 .............................................................................................. 28 図 3-1 装置の構成............................................................................................................. 29 図 3-2 キャリア・クランプ位置 ....................................................................................... 31 図 3-3 ロードポートオペレータインターフェイスの構成 ............................................... 35 図 4-1 通信状態遷移図 ....................................................................................................... 43 図 4-2 コントロール状態遷移図 ....................................................................................... 45 図 4-3 ホストからのリモート⇔ローカル切り替えシナリオとパラメータ...................... 50 図 4-4 ロードポートトランスファステート遷移図 .......................................................... 52 図 4-5 アクセスモード状態遷移図 ................................................................................... 55 図 4-6 ロードポート予約状態遷移図................................................................................ 57 図 4-7 ロードポート／キャリア関連状態遷移図.............................................................. 58 図 4-8 ロードポート予約とロードポート／キャリア関連状態との関連 ......................... 59 図 4-9 キャリア状態遷移図 .............................................................................................. 60 図 4-10 コントロールジョブ状態遷移図 .......................................................................... 73 図 4-11 コントロールジョブ状態遷移タイミング（Executing～Complete） ................ 80 図 4-12 プロセスジョブ遷移図 ........................................................................................ 82 図 4-13 プロセスジョブ状態遷移タイミング（Setup～PRJobComplete） ................... 87 図 4-14 ウェーハトラッキング状態遷移図 ...................................................................... 88 図 4-15 ウェーハロケーション状態遷移図 ...................................................................... 90 図 4-16 STS状態モデルに沿ったウェーハの動き ........................................................... 93 図 5-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗 .......................................................................... 151 図 5-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗 .......................................................................... 152 図 5-3 スロットマップ読込み失敗 1/3 .......................................................................... 157 図 5-4 スロットマップ読込み失敗 2/3 .......................................................................... 158


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 ix

図 5-5 スロットマップ読込み失敗 3/3 .......................................................................... 159 図 5-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3 ................................................................... 160 図 5-7 スロットマップホスト照合失敗 2/3 ................................................................... 161 図 5-8 スロットマップホスト照合失敗 3/3 ................................................................... 163 図 5-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3.............................................................. 164 図 5-10 ダブルスロット・クロススロット 2/3............................................................ 165 図 5-11 ダブルスロット・クロススロット 3/3............................................................ 166 図 5-12 キャリアＩＤ読込みエラー ............................................................................... 178 図 5-13 キャリアＩＤの不一致 ........................................................................................ 179 図 5-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合 .................................. 184 図 5-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合........................... 185 図 5-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3.................... 186 図 5-17 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 2/3.................... 187 図 5-18 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 3/3.................... 188 図 5-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3 .............. 189 図 5-20 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 2/3 .............. 190 図 5-21 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 3/3 .............. 191 図 5-22 クランピング失敗................................................................................................ 199 図 5-23 ドッキング失敗 ................................................................................................... 200 図 5-24 アンドッキング失敗 ............................................................................................ 201 図 5-25 アンクランピング失敗 ........................................................................................ 202 図 5-26 Filler（定常）の条件指定方法.......................................................................... 214 図 5-27 Filler（定常）の制御方法 ................................................................................. 214 図 5-28 Filler(定常) 運用フロー (1).............................................................................. 215 図 5-29 Filler(定常) 運用フロー (2).............................................................................. 216 図 5-30 Filler(定常) 運用フロー (3).............................................................................. 217 図 5-31 Filler(定常) 運用フロー (4).............................................................................. 218 図 5-32 Filler(定常) 運用フロー (5).............................................................................. 219 図 5-33 Filler（非定常）の条件指定方法 ...................................................................... 233 図 5-34 Filler（非定常）の制御方法 ............................................................................. 233 図 5-35 Filler(非定常) 運用フロー (1) .......................................................................... 234 図 5-36 Filler(非定常) 運用フロー (2) .......................................................................... 235 図 5-37 Filler(非定常) 運用フロー (3) .......................................................................... 236 図 5-38 Filler(非定常) 運用フロー (4) .......................................................................... 237 図 5-39 Filler(非定常) 運用フロー (5) .......................................................................... 238 図 5-40 モニターの条件指定方法 ................................................................................... 251


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 x

図 5-41 モニターの制御方法 .......................................................................................... 251 図 5-42 Monitor 運用フロー (1) ................................................................................... 252 図 5-43 Monitor 運用フロー (2) ................................................................................... 253 図 5-44 Monitor 運用フロー (3) ................................................................................... 254 図 5-45 Monitor 運用フロー (4) ................................................................................... 255 図 5-46 Monitor 運用フロー (5) ................................................................................... 256 図 5-47 STS、PJ、CJ、キャリアアクセッシングステータスの状態モデルに沿ったウ

ェーハの動き.............................................................................................................. 668


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2001年 3月 30日 1

1. 序論

1.1. 目的

300mm 半導体製造工場では、生産性の向上、ウェーハの大口径化への対応のため、高度な

生産システムの構築が必要となる。この実現のために、従来方式の拡張や改良そして新規方

式の開発が進められているが、実際に工場や製造装置へ適用する上では充分であるとは言え

ず、実装および運用の観点での検討が急務とされている。

本書の狙いは、半導体メーカの要求に基づき、工場運用の観点から製造装置に求められるオ

ンラインに関連する機能を要求仕様として示すことにある。

図 1-1 オンラインに関係する機能仕様

1.2. 適用範囲本書は、次に示すバッファタイプならびに単位サイクルサイズを持つ 300㎜半導体製造装置に適用される。

装置タイプ適用バリエーション固定バッファ

バッファタイプ内部バッファ枚葉（シングルウェーハ）シングルキャリア・マルチウェーハ・バッチ単位サイクル

サイズマルチキャリア・バッチ

表 1-1 対象装置

オペレータオペレータオペレータオペレータ

ホストホストホストホスト

製造装置製造装置製造装置製造装置

材料（ｷｬﾘｱ材料（ｷｬﾘｱ材料（ｷｬﾘｱ材料（ｷｬﾘｱ, , , , ウェーハ）ウェーハ）ウェーハ）ウェーハ）

オペレーション搬入／搬出

オンラインに関係するオンラインに関係するオンラインに関係するオンラインに関係する

製造装置の機能仕様製造装置の機能仕様製造装置の機能仕様製造装置の機能仕様

自動搬送機（自動搬送機（自動搬送機（自動搬送機（OHT,AGV,RGVOHT,AGV,RGVOHT,AGV,RGVOHT,AGV,RGV））））

マニュアル搬送機（マニュアル搬送機（マニュアル搬送機（マニュアル搬送機（AGV,AGV,AGV,AGV,人手）人手）人手）人手）

指示, 実績

ステータス



1.2.1. バッファタイプ装置バッファは、製造装置のキャリアハンドリング部である。SEMI E101-0200 Provisional Guide for Equipment Front End Module (EFEM) Functional Structure Model (FSM) において、バッファの機能コンポーネントとそれらの関係が記述されている。バッファには、

固定バッファと内部バッファの 2つの基本的な構成が存在する。・固定バッファタイプ：

ロードポートのみを持ち、キャリア保管のための内部バッファを持たない。ウェーハは

処理のためにロードポートにて直接キャリアから供給および回収される。・内部バッファタイプ：

ロードポート以外にキャリアを保管する内部バッファを持つ。

図 1-2 バッファタイプ

1.2.2. 単位サイクルサイズ単位サイクルサイズは、装置全体に対する 1処理の実行に該当する。その大きさは、1処理の実行において処理される材料の単位の数となる。枚葉（シングルウェーハ）とシングルキ

ャリア・マルチウェーハ・バッチそしてマルチキャリア・バッチの 3つの基本的なタイプが存在する。

・枚葉（シングルウェーハ）：

一般的に、クラスタツールおよびコータ／ディベロッパでは、プロセスモジュール毎

Fixed BufferEquipment

Internal BufferEquipment

Process Chamber ProcessChamber

Process Bath

Load Port

Bi-direction Bi-direction Uni-direction

In OutInternalBuffer

InternalBuffer

Internal BufferEquipment

Bi-directional Type Uni-directional Type



に 1枚のウェーハのみを保持する。ただし、処理スループットの観点からは、サイクル毎にモジュール全体で 1枚以上のウェーハを保持すると解釈される。クラスタツールおよびコータ／ディベロッパは、一度に複数のウェーハを処理可能で

あるが、各々のウェーハは個々に処理される。・シングルキャリア・マルチウェーハ・バッチ：

主要な処理の実行の間に同時に1枚以上かつキャリアの容量未満のウェーハを保持する装置は、シングルキャリアバッチ装置と考える。たとえば、ディスク上の複数のウ

ェーハを一括処理する注入装置がそれに該当する。・マルチキャリア・バッチ：

主要な処理の実行の間に同時に 1キャリア以上のウェーハを保持する装置は、マルチキャリア・バッチ処理装置と考える。たとえば、横型 LPCVD炉装置、縦型 CVD反応炉、ウェットベンチ等がそれに該当する。

1.3. 制限

本書に示す要求仕様は、デバイスメーカの要求に基づいた典型的な運用をベースに作成した

ものであり、デバイスメーカ各社における実際の要求仕様を示すものではない。また、安全

ならびに衛生に対しては考慮されていない。

1.4. 提供スケジュール

本書の提供スケジュールは次を予定している。

・フェーズ１

製造装置の基本的な使用方法や運用を対象とした機能仕様を提供する。内部バッファ／

バッチ処理装置編は 2000年 10月に発行済みである。

・フェーズ 2 フェーズ 1の製造装置の基本的な使用方法や運用を対象とした機能仕様を、より進歩した複雑な使用方法や運用を含んだものに拡張する。固定バッファ／枚葉処理装置編は、

2000 年 10 月に発行済みで、内部バッファ／バッチ処理装置編は、2001 年 1 月に発行済みである。本文書は 1月発行文書の機能拡張版である。

1.5. 文書構成

1.5.1. 文書体系本書は製造装置のオンラインに関する機能要求を記述した文書であり、装置タイプ別に提供

される。デバイスメーカにおいて製造装置を購入する際の購入仕様書のベースとして使用さ

れることを想定した内容となっている。なお、本書は内部バッファ／バッチ処理装置に対する要求を示す。



図 1-3 本書の文書体系

1.5.2. 章構成本書は、次に示す４つの章（この章は含まない）から構成される。

・前提条件（第２章）：機能を検討するにあたり想定した環境や用件

・構成要求（第３章）：各装置構成に関する要求項目とその説明

・通信要求（第４章）：ホスト－装置間の通信に関する要求項目とその説明

・付録（第５章）：通信シナリオ、メッセージフォーマット等

1.5.3. 総ページ数本書は694ページで構成される。タイトルページを2ページ（表と裏）とし、全ての前付と本文ならびに付録そして索引ページを数えることで、正しいページ数を得ることができるよう

になっている。

1.6. 改版履歴版日付内容

第 1.0 版 2000 年 10 月 13 日フェーズ 1 初版発行

第 2.0 版 2001 年 1 月 16 日フェーズ 2QTAT 処理、エラーリカバリ処理追加

• 章追加

2.2.17. QTAT 処理～

2.2.22. クランプ／ドック／アンドック／アンクランプ時の

失敗への対応

5.1.4.3. QTAT 処理（１）

5.1.4.4. QTAT 処理（２）

5.1.5. エラーリカバリシナリオ

5.2.4. QTAT 処理（１）～

5.2.10. （アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗

5.2.13. E84 タイマー一覧

内部バッファ／バッチ処理装置

編固定バッファ／枚葉処理装置編

製造装置オンライン機能要求仕様書製造装置オンライン機能要求仕様書製造装置オンライン機能要求仕様書製造装置オンライン機能要求仕様書



版日付内容

• 修正／追加／削除内容

2.2. 運用モデル

・QTAT 処理～クランプ／ドック／アンドック／アン

クランプ時の失敗への対応追加

3. 構成要求

・図 3-1 装置の構成 FIMS ポート、内部バッファ位置

修正

3.8. ロードポートオペレータインターフェイス

3.8.1. 搬入時オペレーション

3.8.2. 搬出時オペレーション

・Placement インジケータ ON のタイミングを物理的なタ

イミングへ修正

・オペレータアクセスインジケータ ON と BLINK のタイ

ミングを修正

4.2.2. 状態モデル（CMS）

・ロードポートトランスファステートモデル

ReadyToUnload から TransferBlocked へのトリガにコメ

ント追加

・キャリア状態モデル

CarrierComplete 及び CarrierStopped から

NotAccessed への遷移追加

4.2.7. アラーム（CMS）

・クランプ／アンクランプ失敗時にもアラームを上げる

ように追加

4.3.3. サービス（CJM）

・CJStop サービスを追加

・QTAT 実現のために、Queued から Selected への遷

移禁止の Damming アトリビュート追加

・CJ 作成時に空きエリアのチェックを行なうこと追加

・エラー発生時には、エラーコードでエラー内容の判断

が可能なこと追加

4.4.3. サービス（PJM）

・PJStop サービス追加

・PJ 作成時に空きエリアのチェックを行なうこと追加

・エラー発生時には、エラーコードでエラー内容の判断

が可能なこと追加

4.5.2. 状態モデル（STS）

・ProcessingComplete から NeedsProcessing へのパス追

加



版日付内容

4.8.1. 使用するストリームファンクション一覧

・S2F49/50 Enhanced Remote Command /

Acknowledge 削除

・S3F21/22 Port Group Definition/Acknowledge 削

除

・ S14F13/14 Object Attach Request/Acknowledge

削除

・S2F41/42 Host Command Send/Acknowledge 追加

4.8.2.1. キャリア管理スタンダード（CMS）関連

・S3F17 CarrierOut フォーマット修正

4.8.2.2. コントロールジョブ管理（CJM）関連

・S14F9 CJCreate フォーマット修正

4.8.2.3. プロセスジョブ管理（PJM）関連

・S16F5 PJStop サービス追加

・S16F15 PRJobMultiCreate フォーマット修正

・S16F23 PRSetRecipeVariavle フォーマット修正

4.8.2.4. オブジェクトサービススタンダード（OSS)関連

・S14F1 GetAttr フォーマット修正

・S14F3 SetAttr フォーマット修正

5.1.3.1. 立ち上げシナリオ

・オンライン要求メッセージの方向修正（H←E だっ

たのを H→E へ）

5.2.1. 立ち上げ処理メッセージフォーマットリスト

・S16F19 Get All Jobs メッセージ修正

・S3F23/24 Change Access メッセージ修正

2 次メッセージで Auto(Manual）へ変更した結果を受信

していたものを S6F11/12 イベントにてもらうように修正

5.2.2. ロット処理メッセージフォーマットリスト

・2-3 ProceedWithCarrier の ContentMap 情報

スタンダード変更に伴い、LotID を追加

・5-5 CJCreate メッセージ修正

・7-3 CJDelete メッセージ修正

5.3. STS、PJ、CJ、キャリアアクセッシングステータスの

状態遷移

・動作修正、コメント追加

・全体誤記修正

第 3.0 版 2001 年 3 月 30 日ＮＰＷ仕様追加、誤記修正

2.2 運用モデルの内容を 2.2.1 共通運用モデルへ

移動

3.7 キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェイス

・LOAD/UNLOAD インジケータ説明修正

・オペレータアクセスインジケータ Blink タイミング

修正

・インターフェイス信号に Passive/Active 項目追加

4.1.1 要求条件リミット監視削除

4.1.19 リミット監視章削除

4.2.4 キャリア属性追加



版日付内容 4.3.4 コントロールジョブ属性追加

4.4.4 プロセスジョブ属性追加

4.5.3 サブストレートオブジェクト属性追加

・ NPW 仕様に関しての記述を追加

2.2.2 NPW 運用モデル章追加

4.1.4 イベント通知

・NPW（モニター）用イベント追加

4.1.15 装置定数

・NPW 用装置定数追加

4.2.3 サービス

・NPW 用リモートコマンド追加

4.5.3 サブストレートオブジェクト属性

・NPW 用属性追加

5.1.6 NPW シナリオ章追加

5.2.11 モニター処理メッセージ章追加

5.2.12 スタビライザ処理メッセージ章追加

5.2.13 Filler（非定常）処理メッセージ章追加

5.9 NPW モデル章追加

表 1-2 改版履歴



1.7. 参考文献・ 300mm半導体工場のための CIMグローバルジョイントガイダンスリリース 4.1 ・ 300mm半導体工場のための CIM/GJG統合解説第 1巻（第 3版）・ SEMI E84-0200A :エンハンストキャリア移載パラレル I/Oインターフェイスの仕様・ SEMI E87-0600 :キャリア管理スタンダード（CMS）・ SEMI E4-0298 :半導体製造装置通信スタンダード１(SECS-I) ・ SEMI E5-0600 :半導体製造装置通信スタンダード 2(SECS-Ⅱ) ・ SEMI E30-0600 :SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル（GEM）・ SEMI E37-0298 :高速 SECSメッセージサービス：（HSMS）汎用サービス・ SEMI E37.1-96 :高速 SECSメッセージサービス：シングルセッションモード(HSMS-SS) ・ SEMI E39-0600 :オブジェクトサービススタンダード：コンセプト、挙動、及びサービス・ SEMI E39.1-1296 :オブジェクトサービススタンダード（OSS）のための SECS-Ⅱプロトコル

・ SEMI E40-0200 :プロセス管理スタンダード・ SEMI E40.1-0996 :プロセス管理スタンダードの SECS-Ⅱのサポート・ SEMI E58-0697 :自動化による信頼性、有用性、および整備性に関するスタンダード

(ARAMS)：コンセプト、挙動、およびサービス・ SEMI E58.1-0697 :自動化による信頼性、有用性、および整備性に関するスタンダード

(ARAMS)：コンセプト、挙動、およびサービスのための SECS-Ⅱプロトコル・ SEMI E94-0600A :コントロールジョブマネジメントスタンダード



2. 前提条件

2.1. 材料モデル

2.1.1. ウェーハ

ウェーハには SEMI M1.15に準拠した 300mmウェーハを使用するものとする。

2.1.2. キャリア 300mm のキャリアにはオープンタイプと Front Opening Unified Pod (FOUP)がある。FOUPは、一体化されているカセット（通常組み込まれており、取り外せない）と前面開閉式のドア機能を持つ。FOUPは、ロードポートの同じ場所で搬入と搬出がおこなわれ、ドアを開ける機構を必要とする。オープンカセットには、特別なドッキングや開閉機構を必要と

しない。

図 2-1 FOUP

キャリアには、SEMI E47.1に準拠した、25枚のウェーハを保持するように設計された FOUPを使用するものとする。

Wafer #1

Wafer #25

25 FOUP FOUPドアドアドアドア



2.2. 運用モデル

下の表は、本書に示す機能要求仕様を作成するにあたり想定した運用を示したものである。

運用項目は、製造装置の運用上の切り口（視点）を示している。バリエーションの列は、同

じ運用項目に対して存在する異なる運用方法を示している。ガイドラインと SEMIスタンダードの列は、それぞれの運用項目に関連する CIMグローバルジョイントガイダンスと特定のSEMIスタンダードの参照番号を示している。適用の列は選択した運用方法を示している。なお、本運用はデバイスメーカの要求に基き典型的な運用として想定したものである。また、

NPW運用については、特定の運用ケースのみを記述している。 2.2.1. 共通運用モデル

NPW運用も含めて、運用に共通する内容について以下に示す。 # 運用項目運用項目運用項目運用項目バリエーションバリエーションバリエーションバリエーションガイドラインガイドラインガイドラインガイドライン SEMISEMISEMISEMI

スタンダードスタンダードスタンダードスタンダード適用適用適用適用

1a オフライン 1.2 Compliance to Communication Standards E30 √√√√

1b オンラインローカル 1.2 Compliance to Communication Standards E30

1c

装置立上げ時のコントロールモード

オンラインリモート 1.2 Compliance to Communication Standards E30

2a オフライン 1.2 Compliance to Communication Standards E30

2b オンラインローカル 1.2 Compliance to Communication Standards E30

2c

通常運用時のコントロールモード

オンラインリモート 1.2 Compliance to Communication Standards E30 √√√√

3a 読み込みのみ

2.6 Carrier ID Reader at E15.1 Load Port 2.8 Carrier ID Reader for Fixed Buffer Equipment

－ √√√√

3b

キャリア ID の使用方法

読み書き

2.6 Carrier ID Reader at E15.1 Load Port 2.8 Carrier ID Reader for Fixed Buffer Equipment

－

4a オート－ E87 √√√√

4b アクセスモード

マニュアル 3.2 Equivalent

Handshaking for Carrier Hand-off

E87/ 3098A √√√√

5a 装置単位 3.1 Exclusive Access Mode and Mode Change Timing E87

5b ロードポート単位 3.1 Exclusive Access Mode and Mode Change Timing E87 √√√√

5c

アクセスモードの管理単位

ロードポートグループ単位 3.1 Exclusive Access Mode and Mode Change Timing E87

6a 連続移載をおこなう－ E84 6b 連続移載

連続移載をおこなわない－ E84 √√√√ 7a 同時移載をおこなう－ E84 7b 同時移載

同時移載をおこなわない－ E84 √√√√

8a 搬入 PIO開始時にクランプ機構をアンクランプにする

－ √√√√

8b

キャリア搬入出時の誤操作防止搬入時

オートモード時ロードポートにキャ

リアがない場合にはクランプ機構をアンクランプにする

2.2 Interface between Production Equipment and AMHS Equipment －



# 運用項目運用項目運用項目運用項目バリエーションバリエーションバリエーションバリエーションガイドラインガイドラインガイドラインガイドライン SEMISEMISEMISEMI スタンダードスタンダードスタンダードスタンダード適用適用適用適用

8c

ロードポートにキャリアがない場合にはクランプ機構をアンクランプにする

－ √√√√

8d

マニュアルモード時オペレータアクセス

スイッチ押下時にクランプ機構をアンクランプにする

2.4 PGV (Person Guided Vehicle) Docking Standard

－

8e 処理終了でクランプ機構をアンクランプにする

－

8f

オートモード時搬出 PIO開始時にクラ

ンプ機構をアンクランプにする

2.2 Interface between Production Equipment and AMHS Equipment － √√√√

8g 処理終了でクランプ機構をアンクランプにする

－ √√√√

8h

搬出時

マニュアルモード時オペレータアクセス

スイッチ押下時にクランプ機構をアンクランプにする

2.4 PGV (Person Guided Vehicle) Docking Standard

－

9a 固定する－－ √√√√

9b

デリバリポジションにおけるFOUPの固定固定しない－－

10a 装置照合－ E87 10b

キャリア ID 照合ホスト照合－ E87 √√√√

11a Bind － E87 11b ReserveAtPort － E87 11c

ロードポート予約

ポート予約なし－ E87 √√√√ 12a ホスト照合 E87 √√√√ 12b

スロットマップ照合装置照合

4.3 Carrier Slot Verification E87

13a プロセスモジュールにおけるウェーハ処理状態報告の収集

1.3 Utilization and Reliability Management 4.7 Multi-Module Wafer Tracking Events

E90 √√√√

13b キャリアに対する処理状態報告の収集 1.3 Utilization and Reliability Management E87 √√√√

13c ウェーハに対する処理状態報告の収集


E90 √√√√

13d コントロールジョブ／プロセスジョブの実行状態における処理状態報告の収集

1.3 Utilization and Reliability Management E40/E94 √√√√

13e

処理状態の収集

ウェーハが定常的に存在する（搬送モジュールは除く）装置内のウェーハ位置の収集


E90 √√√√

14a ホストが与えた情報を利用する－ E87 √√√√ 14b

ウェーハ識別子の提供方法製造装置が生成した情報を利用する－ E87

15a レシピによって与える－ E40 √√√√

15b プロセス条件の与え方レシピとバリアブルパラメータによって与

える

1.5 Variable Parameter Support 5.2 Variable Parameter Change Between Wafers

E40 √√√√

16a マニュアルスタート－ E40 /E94

16b 処理開始方法

オートスタート－ E40 /E94 √√√√




17a S16F7、S16F9にてイベントを上げる 1.2 Compliance to Communication Standards E5

17b

プロセスジョブ関連イベント送付 S6F11にてイベントを上げる 1.2 Compliance to

Communication Standards E5 √√√√

18a 次ジョブ開始可能－－

18b

QTAT キャリア搬入中における実行可能ジョブの開始次ジョブ開始不可－－ √√√√

18c 実行中ジョブ中断－－

18d

QTAT処理 QTAT 対象キ

ャリア搬入完了時における実行中ジョブの中断

実行中ジョブ継続－－ √√√√

19a オペレータが介入し、搬入完了状態とする

－ E84 √√√√

19b

搬入時オペレータが介入し、搬入開始前の

状態とする－ E84 √√√√

19c オペレータが介入し、搬出完了状態とする

－ E84 √√√√

19d

自動ハンドオフ失敗

搬出時オペレータが介入し、搬出開始前の

状態とする－ E84 √√√√

20a 処理を継続する E87 20b

読込みエラー処理を中断する E87 √√√√

20c 処理を継続する E87 20d

スロットマップ情報不一致処理を中断する E87 √√√√

20e 処理を継続する E87 20f

スロットマップ照合失敗

ダブル（クロス）スロット処理を中断する E87 √√√√

21a そのまま処理を続ける－ E87

21b

キャリア IDの読み込みができない

オペレータが介入し処理続行できるか判断する

－ E87 √√√√

21c オペレータが介入し処理続行できるか判断する－ E87 √√√√

21d

キャリア ID 照合失敗時の対応

キャリア IDは読み込めたがホスト照合でエラーとなった

エラーとなったキャリアへの処理はやめる

－ E87

22a 既に装置に存在する他のプロセスジョブの完了や、キャンセルを待つ

－ E40 √√√√

22b

プロセスジョブを作成するのに充分な空きスペースが装置にない場合

既に装置に存在する他のプロセスジョブをキャンセルする

－ E40

22c 既に装置に存在する他のコントロールジョブの完了や、キャンセルを待つ

－ E94 √√√√

22d

コントロールジョブを作成するのに充分な空きスペースが装置にない場合

既に装置に存在する他のコントロールジョブをキャンセルする

－ E94

22e

エラーが発生したキャリアはそのままで、ホストからプロセスジョブが再作成されるのを待つ

－ E40

22f

ジョブ作成失敗時の対応

ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合

エラーが発生したキャリアを搬出し、プロセスジョブを再作成した後で、再度搬入処理からおこなう

－ E40 √√√√




22g

エラーが発生したキャリアはそのままで、ホストからコントロールジョブが再作成されるのを待つ

－ E94

22h

ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示された場合

エラーが発生したキャリアを搬出し、コントロールジョブを再作成した後で、再度搬入処理からおこなう

－ E94 √√√√

22I

エラーが発生したキャリアはそのままで、ホストからコントロールジョブが再作成または、プロセスジョブが作成されるのを待つ

－ E94

22j

ホストから指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブが含まれていた場合

エラーが発生したキャリアを搬出し、ホストからコントロールジョブが再作成または、プロセスジョブが作成された後で、再度搬入処理からおこなう

－ E94 √√√√

23a

クランプ／ドック／アンドック／アンクランプ時の失敗への対応

オペレータが介入し処理続行できるか判断する

－－ √√√√

表 2-1 運用項目一覧

2.2.1.1. 装置立上げ時、通常運用時のコントロールモードコントロールモードは、ホストと製造装置の協調した動作の程度を定義するものであり、装

置単位で持つものとする。各モードにおける協調の程度は次の通りとする。なお、各コントロールモードにおいて実現

される機能に違いはないものとする。

(1) オンラインリモート：ホストが製造装置の状態（アラーム、イベント）を監視するとともに制御をおこなう。

(2) オンラインローカル：ホストが製造装置の状態（アラーム、イベント）を監視するが、制御はオペレータが

装置パネルを利用しておこなう。 (3) オフライン：

オペレータが装置パネルを利用して製造装置の状態（アラーム、イベント）を監視す

るとともに制御をおこなう。

2.2.1.2. キャリア IDの使用方法キャリアを識別するためにキャリア IDを使用するものとし、次の２つの使用方法がある。 (1) ロードポート上のキャリア IDリーダで読み込みのみをおこなう。



(2) ロードポート上のキャリア IDリーダ／ライタで読み書きの両方をおこなう。

2.2.1.3. アクセスモードアクセスモードは、材料（キャリア）の搬送手段の管理に用いられ、工場としての意思を装

置へ伝えるため、さらに装置に搬送の排他処理を行わせるために利用される。 (1) オート：

自動搬送機で搬送（搬入／搬出）を行う。自動搬送機と製造装置の間でのキャリア自

動受渡しは、SEMI E84 に定義されているキャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェイスを使用しなくてはならない。

(2) マニュアル：マニュアル搬送機（人手含む）で搬送（搬入／搬出）を行う。CIM ガイドライン 3.2には、手動によるキャリアの移載を行なっている間に、製造装置は自動ハンドシェー

クによる受渡しと同様の方法でハンドシェークが出来ることを規定している。SEMI Ballot 3098A は、ロードポートオペレータインターフェイスを用いて、受け渡しを実行する方法を規定している。

2.2.1.4. アクセスモードの管理単位材料（キャリア）の搬送手段の管理に用いられるアクセスモードの管理単位としては、装置

単位、ロードポート単位、ロードポートグループ単位の３つがある。 (1) 装置単位：

装置全体で１つのアクセスモードを持つ。複数のロードポートがある場合には、全て

のロードポートのアクセスモードは、同じとなる。 (2) ロードポート単位：

ロードポート１つずつで個別にアクセスモードを持つ。 (3) ロードポートグループ単位：

物理的に隣り合って存在し、キャリア搬送に対する共通のモードを共有する単位をロ

ードポートグループと呼び、１つ以上のロードポートグループが装置に定義される。

その１つ以上のロードポートグループ単位で管理をおこなう。

2.2.1.5. 連続移載１回の搬送で、搬出と搬入を行うことを連続移載という。

2.2.1.6. 同時移載１回の搬送で、２キャリアを同時に搬入または、搬出することを同時移載という。



2.2.1.7. キャリア搬入出時の誤操作防止アクセスモードがオートの場合に、オペレータが誤ってキャリアを搬入したり、搬出したり

する誤操作を減らすために、クランプ／アンクランプの動作をアクセスモードによって変更

する。 (1) 搬入時の場合

1-1. アクセスモード：オートの場合 a. キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェイス開始時にクランプ機構をアン

クランプにする。 b. キャリアがロードポートにない場合には、クランプ機構をアンクランプにする。

1-2. アクセスモード：マニュアルの場合 a. キャリアがロードポートにない場合には、クランプ機構をアンクランプにする。 b. オペレータアクセススイッチ押下時にクランプ機構をアンクランプにする。

(2) 搬出時の場合 2-1. アクセスモード：オートの場合

a. 処理終了でクランプ機構をアンクランプにする。 b. キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェイス開始時にクランプ機構をアン

クランプにする。 2-2. アクセスモード：マニュアルの場合

a. 処理終了でクランプ機構をアンクランプにする。 b. オペレータアクセススイッチ押下時にクランプ機構をアンクランプにする。

2.2.1.8. デリバリポジションにおける FOUPの固定デリバリポジションではキャリア ID の照合がおこなわれる。照合をおこなっている間にキャリアを外部から容易に動かすことができる状況は望ましくない。

2.2.1.9. キャリア ID照合キャリア ID 照合とは、搬入されたキャリアがホストが認識しているキャリアと正しいかどうかを照合する方法で、装置照合とホスト照合がある。 (1) 装置照合：

ホストが搬入予定のキャリアの ID を事前に装置へ通知する。到着したキャリアが予定したものである場合、装置が自動的に ID が正しいことを識別し、そのキャリアを受入れる。

(2) ホスト照合：ホストがキャリア IDを装置へ事前に通知せずに、装置がキャリア IDを読み取る場合に使用される。この場合、キャリア ID はホストに送られ、ホストがそのキャリアを受入れるかどうかを決定する。



2.2.1.10. ロードポート予約ロードポート予約とは、あらかじめポートを予約することにより搬入／搬出の競合を防いだ

り、効率良い搬送を行うための方法である。 (1) Bind：

キャリア IDをロードポートと関連づける。搬入されたキャリアの ID照合は、装置にておこなわれる。到着したキャリアが予定したものである場合、装置が自動的に IDが正しいことを識別し、そのキャリアを受入れる。もしロードポートと関連づけられ

た以外のキャリアが、到着すると、Bind にて予約していたキャリア情報は、新たに読み込まれたキャリア ID にて上書きされ、ホストへ処理を続行するかの確認がおこなわれる。

(2) ReserveAtPort：ロードポートの予約をおこなうが、キャリア IDまでは指定せずに、キャリア IDの照合は、ホスト照合にておこなわれる。

(3) 予約なし：ロードポートの予約はおこなわずに、装置は搬入されたキャリアを受付ける。キャリ

ア IDの照合は、ホスト照合にておこなわれる。

2.2.1.11. スロットマップ照合スロットマップ照合とは、キャリア搬入時にキャリア内の各スロットにウェーハが存在する

か否かを、スロットマップリーダによって読み取り、それをホストまたはオペレータが認識

しているスロット毎のウェーハ有無情報と比較することで、処理すべきウェーハが正しいス

ロットに存在するか否かを判断することを意味する。スロットマップ照合には、キャリア ID照合と同様に装置照合とホスト照合がある。 (1) 装置照合：

ホストがあるキャリアで予定するスロットマップを事前に装置へ通知する。到着した

キャリアのスロットマップがホストの通知したものと一致すると、装置は､スロット

マップが正しいことを識別し、そのキャリアを受入れる。 (2) ホスト照合：

ホストがスロットマップを装置に事前に通知せずに、装置がスロットマップを読み取

る場合に使用される。この場合、キャリアスロットマップはホストに送られ、ホスト

がそのキャリアを受入れるかどうか決定する。

2.2.1.12. 処理状態の収集処理状態とは、製造装置がどのような状態にあるかを示すものである。製造装置の状態を示すには以下のものがある。



(1) プロセスモジュールにおけるウェーハ処理の状態 (2) キャリアの状態 (3) ウェーハの状態 (4) コントロールジョブ／プロセスジョブの実行状態 (5) ウェーハのトラッキング状態

ホストまたはオペレータは、これらの状態を把握することによって、装置がどのような状態

であるのかを完全に把握することが可能となる。装置はこれらの処理状態が遷移したタイミングでホスト、または装置パネルに遷移先（トラ

ッキング先）情報をイベントで通知することにより、ホストまたはオペレータが装置状態を

把握することが可能となる。

2.2.1.13. ウェーハ識別子の提供方法

製造装置で使用するウェーハの識別情報とは、製造装置内でのウェーハ管理や製造装置が外

部に提供する情報内で利用されるウェーハの識別子を意味し、情報源の違いによってホスト

が与えた情報を利用する場合と製造装置が生成した情報を利用する場合がある。 (1) ホストが与えた情報を利用する：

ホストがコンテンツマップ情報にて与えた情報をウェーハに対する識別情報とする。 (2) 製造装置が生成した情報を利用する：

ホストからのウェーハに対する識別情報が与えられない場合には、製造装置は、コンテ

ンツマップ情報としてキャリア IDとサブストレート IDを使用して識別情報を作成する。

2.2.1.14. プロセス条件の与え方プロセス処理をおこなうときのプロセス条件の指定方法には、レシピのみで条件を与える場

合とレシピとバリアブルパラメータの両方を与える場合とがある。

(1) プロセス条件をレシピのみで与える：

予めレシピ作成時に想定したプロセス条件のみによってレシピを構成しなくてはな

らないことから、その一部の条件が異なる場合でも個別にレシピを作成する必要があ

る。

(2) プロセス条件をレシピとバリアブルパラメータで与える：バリアブルパラメータは、レシピを構成するプロセス条件を実行毎に一時的に変更す

ることができることから、レシピを一部の条件が異なる場合でも個別に作成する必要

はなく、バリアブルパラメータの値を変更することによりプロセス条件を変更するこ

とができる。



2.2.1.15. 処理開始方法処理開始方法とは、ジョブ（コントロールジョブとプロセスジョブ）の処理開始タイミング

の指示方法であり、ジョブの生成時に指定することができる。 (1) マニュアルスタート：ホストの判断でサービスコマンドにて処理を開始する方法 (2) オートスタート：装置の判断にて、プロセス実行資源の準備ができたら自動で処理

を開始する方法

2.2.1.16. プロセスジョブ関連イベント送付プロセスジョブ関連のイベントを上げる時に使用するストリームファンクションとして

SECS-Ⅱ（E5）では、S16F7（Process Job Alert Notify）、S16F9（Process Job Event Notify）が定義されているが、GEM（E30）では、イベントとして、S6F11（Event Report Send）が定義されている。 (1) S16F7、S16F9にてイベントを上げる：

プロセスジョブ関連のイベントは、SECS-Ⅱに定義されているストリームファンクションである S16F7（Process Job Alert Notify）、S16F9（Process Job Event Notify）にてホストへ上げる

(2) S6F11にてイベントを上げる：プロセスジョブ関連のイベントも GEMにて定義されている S6F11（Event Report Send）にてホストへ上げる。イベントを１つのストリームファンクションにまとめることと、ダイナミックリンクレポートを使用することができる。

2.2.1.17. QTAT処理 QTAT(Quick Turn Around Time)は製品の短工期化を意味し、QTATはフレキシブルな顧客納期要求への対応のために必要となる。通常 QTATは装置より上位のレベル（たとえばディスパッチャなど）で生産スケジュールの組み直しをおこなうことで対応するのが一般的であ

るが、既に装置に仕掛かっているものについても対応可能とするために、装置においても処

理の追い越しをおこなうことによって、QTATを実現する必要がある。 1) QTAT 対象バッチのキャリア搬入処理中に待機中バッチのジョブが処理開始可能となった場合に、処理開始可能となった待機中バッチのジョブを開始するか否か。

QTAT 対象キャリア搬入処理中に待機中バッチのジョブが処理開始可能となった場合に、処理開始可能となった待機中バッチのジョブを行うことで、装置の稼働率が上が

る。ただし、QTAT 対象キャリアの搬入が完了した時点で、実行中ジョブの中断あるいは終了を待たなければならなくなり、待機中バッチの処理開始を待つ場合に比べ、

QTAT対象バッチにおける TATは長くなる。 2) QTAT対象キャリアの搬入完了時に現在実行中のジョブを中断するか否か。

現在実行中のジョブを中断し、QTAT 対象バッチのジョブを実行することによって、より TATを短縮することができる。しかし、QTAT対象バッチのジョブ開始前に中断



していたジョブを再開するには、装置の状態を中断前の状態まで完全に戻さなければ

ならないため、装置によっては、改めて前処理を行うことが必要となる場合がある。 QTAT対象キャリアの搬入処理中とは、ホストが QTAT対象バッチのキャリア搬入を開始することを決定した時点から、装置に QTAT対象バッチのキャリアが全て搬入されるまで（厳密には、QTAT対象バッチに対するジョブが生成され、実行開始待ちジョブの先頭にそのジョブが位置づけられるまで）の間とする。

2.2.1.18. 自動ハンドオフ失敗時の対応キャリアハンドオフ異常が発生した場合、装置および自動搬送機は異常が発生した状態でキ

ャリアハンドオフ動作を中断し、オペレータの介入を待っている状態となる。オペレータは、

中断状態にあるキャリアハンドオフ動作を継続させるか、あるいは中止させるかを判断しな

ければならない。・オペレータがキャリアハンドオフ動作を継続（Continue）させる。製造装置は、オペレータからハンドオフ動作の継続を指示されたタイミングで、異常が

発生した直前の状態からハンドオフを再開する。・オペレータがキャリアハンドオフ動作を中止（Cancel）させる。製造装置は、オペレータからハンドオフ動作の中止を指示されたタイミングで、キャリ

アハンドオフパラレル I/Oインターフェイスの信号を初期化し、キャリアハンドオフ動作を終了する。キャリアハンドオフ動作をオペレータから中止された場合、製造装置は

ロードポート上のキャリア有無によって、ハンドオフをやらなかったことにするか、終

わったことにするかを決定する。

2.2.1.19. スロットマップ照合失敗時の対応スロットマップ照合が異常終了したとしても、ホストからウェーハの情報をコンテンツマ

ップとして装置に与えることによって、処理の継続は可能である。しかし、エラーが発生

した場合には、オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認すべきである。

(1) スロットマップ読込み失敗のとき・キャリア処理を中断し、搬出可能な状態とする。オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認するために、装置はキャリア処理を中断

し、キャリアを搬出可能な状態とする。・ホストよりスロットマップ情報を与え、キャリア処理を継続する。ホストが認識しているウェーハ情報を与えることで処理を継続する。

(2) スロットマップ情報がホストの情報と異なるとき・キャリア処理を中断し、搬出可能な状態とする。オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認するために、装置はキャリア処理を中断



し、キャリアを搬出可能な状態とする。・ホスト側の情報を実際の情報に合わせ、キャリア処理を継続する。ホストが認識しているウェーハ情報を与えることで処理を継続する。

(3) クロススロット、ダブルスロットを検知したとき・キャリア処理を中断し、搬出可能な状態とする。オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認するために、装置はキャリア処理を中断

し、キャリアを搬出可能な状態とする。・異常状態にあるウェーハを処理しないようホスト側の情報を修正し、キャリア処理を継

続する。ダブルスロット、クロススロットが発生しているスロットのウェーハ情報を消

した状態で、ウェーハ情報を与えることで処理の継続が可能となる。

2.2.1.20. キャリア ID照合失敗時の対応

キャリア ID照合失敗とは、次の２つの場合が考えられる。 (1) キャリア IDの読み込みができない場合 (2) キャリア IDは読み込めたが、ホスト照合にてエラーとなった場合

(1) キャリア IDの読み込みができない場合の対応・処理を続行する場合

キャリア IDの読み込みができなくても、ホストの指示により処理を続行する。この場合には、ホストから指示されたキャリア IDを持つこととなる。

・処理を取りやめる場合

キャリア IDの位置異常やキャリア IDリーダの異常等の色々な条件をチェックした結果、キャリア IDまたは、キャリアＩＤリーダのメンテナンスが必要となり、そのキャリアへの処理をやめてしまう。

(2) キャリア IDは読み込めたが、ホスト照合にてエラーとなった場合の対応・処理を続行する

キャリア IDが、ホストの予定していたものでない場合でも処理を続行する。・そのキャリアに対する処理はやめるホストから予定していたキャリアと異なるとの指示が出たので、そのキャリアに対する

処理は続行せずに、キャリアを搬出する。

2.2.1.21. ジョブ作成失敗時の対応

ジョブ作成時の失敗とは、次の５つの場合が考えられる。 (1) プロセスジョブを作成するのに充分な空きスペースが装置にない場合 (2) コントロールジョブを作成するのに充分な空きスペースが装置にない場合 (3) ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合



(4) ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示された場合 (5) ホストから指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブが含まれていた場合

(1) プロセスジョブを作成するのに充分な空きスペースが装置にない場合 (2) コントロールジョブを作成するのに充分な空きスペースが装置にない場合・キャリア処理継続－ホストは装置内に空き領域が確保されるのを待つホストが定期的に空き領域を確認し、ジョブ生成のために必要な領域が装置内で確保

できる状態になったタイミングで、ジョブの再作成を指示する。

・キャリア処理継続－ホストが装置内に空き領域を積極的に確保する。ホストが、装置内にある不要な情報を積極的に削除することにより、空き領域を確保し、

ジョブの再作成を指示する。・キャリア処理中止－ホストがキャリア処理を中止する。ホストが、空き領域が不足するためにジョブの作成に失敗したキャリア処理の中止を装

置に要求し、装置はそのキャリアを搬出可能な状態にする。 (3) ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合 (4) ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示された場合 (5) ホストから指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブが含まれていた場合・キャリア処理継続－ホストが外部からの指示を待つ外部からホスト側の情報を修正した後、外部からの指示によりホストが装置にジョブの

再作成を指示する。または、外部からの指示により、ホストが装置に対しキャリア処理

の中止を要求し、装置はそのキャリアを搬出可能な状態にする。・キャリア処理中止－ホストがキャリア処理を中止するホストが、ジョブ作成コマンドの間違いによりジョブ作成できなかったキャリア処理の

中止を装置に要求し、装置はそのキャリアを搬出可能な状態にする。

2.2.1.22. クランプ／ドック／アンドック／アンクランプ時の失敗への対応クランプは、ロードポート上にキャリアを固定するために装置がおこなう処理である。ドッ

クは、FIMS 面に対してキャリアを押しつけて固定するために装置がおこなう処理である。同じようにアンドックは、FIMS 面からキャリアを離す処理である。アンクランプは、ロードポート上のキャリアを搬出できるように、固定していたものを離す処理である。どの処理

とも論理的なものではなく、固定する／開放するという物理的な動作を伴う。 (1) クランプに失敗した場合 (2) ドックに失敗した場合



(3) アンドックに失敗した場合 (4) アンクランプに失敗した場合これらの異常が発生した場合は、オペレータが介入し、メンテナンスをおこなう以外に

方法がない。異常となった状態のままで、キャリアと装置のチェックをおこない、問題

のある部分を修理・調整することになる。

2.2.2. NPW運用モデル

NPWの特定運用ケースの場合の内容について以下に示す。今回検討した範囲は、Filler（定常）、Filler（非定常）、モニターの 3パターンとなる。・Filler（定常）プロセス安定化のため、あらかじめプロセスモジュールに挿入する NPW ・Filler（非定常）処理単位の歯抜けを埋めるために用いる NPW ・モニター装置／製品（処理）の品質を管理（取得）するために用いる NPW NPWにはさまざまな NPWモデル・運用方法・制御方法が存在するが、今回は時間的な制約のため、次の場合に限定して分析をおこなった。従って今回示したものは一例にすぎない。

今後分析を進めることにより、異なった NPW モデル・運用方法・制御方法が明らかになる

かもしれない。



2.2.2.1. Filler（定常）

内部バッファ装置に用いる Filler（定常）は、プロセス処理室内における製品品質の均一化のために、品質のばらつきが大きくなる可能性のあるプロセス処理室内の上部／下部をうめるた

めに使用される。項目項目項目項目説明説明説明説明選選選選

択択択択

Filler（定常）プロセスの安定化のため、あらかじめプロセスモジュールに挿入する。 √√√√

Filler（非定常）プロセスの安定化のため、処理単位の不足を埋める。

Stabilizer プロセスの安定化のため、各プロセスの間で用いる。例）クリーニング

NPW使用目的

Monitor 装置/製品(処理)の品質を管理(取得)するために使用する。例）レートチェック

累積処理累積処理数または累積処理時間が規定数に達した時に使用する。処理切替製品処理条件の切替時に使用する。特定処理特定の製品処理を行う時に使用する。

NPW使用条件

全処理全ての製品処理を行う時に使用する。 √√√√ ロードポート NPWが搬入されたロードポート上にてNPWを保管する。 NPW保管

場所装置内部装置内部にてNPWを保管する。 √√√√ キャリア搬入に用いたキャリアを用いてNPWを保管する。 √√√√ NPW保管

形態ウェーハ単体キャリアを用いないで NPWのみを保管する。製品処理中製品処理中にNPWの加工をおこなう。 √√√√ NPW加工

タイミング製品処理中以外製品処理以外のタイミングで NPWの加工をおこなう。

再利用可能一度使用したNPWを装置外に取り出すことなく再利用可能である。 √√√√ NPW再利

用性再利用不可一度使用したNPWは必ず装置外に取り出さないと再利用できな

い。

製品処理完了製品処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。 NPW処理完了 NPW処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。累積使用回数累積使用回数が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。 √√√√ 累積使用時間累積使用時間が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。

ＮＰＷの種類

NPW使用完了タイミング

装置内保管時間装置内に保管されている時間が規定数に達した時にNPWの使用が完了する。

製品非混在キャリア NPWだけで構成されたキャリアで NPWを搬入する。 √√√√ 製品混在キャリア製品ウェーハと NPWが混在したキャリアでNPWを搬入する。搬入形態ウェーハ単体キャリアを用いないで、ウェーハ単体でNPWを搬入する。ロードポート CMSで管理されているロードポートより NPWを搬入する。 √√√√

搬入

搬入場所ロードポート以外 CMSで管理されていないポートよりNPWを搬入する。非定常型保管必要な時に必要なだけ NPWを保管する。保

管保管方法定常型保管特定の製品処理を対象とせず、定常的にNPWを保管する。 √√√√

同一キャリア使用完了したNPWウェーハを、ウェーハの保管に用いたキャリアと同じキャリアを用いて搬出する。 √√√√

逐次搬出使用完了したNPWウェーハを、使用が完了する都度、保管に用いたものとは別のキャリアを用いて搬出する。製品非混

在キャリア併合搬出使用完了したNPWウェーハを、複数回の使用をまとめて、保管

に用いたキャリアとは別のキャリアを用いて搬出する。

別キャリア

製品混在キャリア逐次搬出使用完了したNPWを、保管に用いているのとは別のキャリアで、

NPWを使用する都度、製品ウェーハとともにNPWを搬出する。

搬出形態

ウェーハ単体キャリアを用いないで、ウェーハ単体でNPWを搬出する。ロードポート CMSにて管理されているロードポートよりNPWを搬出する。 √√√√

ＮＰＷの動き

搬出

搬出場所ロードポート以外 CMSで管理されていないポートよりNPWを搬出する。

表 2-2 Filler（定常）の NPW モデル



説明説明説明説明選選選選択択択択

ジョブ PJ、CJにて指定する。装置定数装置定数にて指定する。 √√√√ キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。

NPW使用条件指定

装置判断装置が自動的に判断する。ジョブ PJ、CJにて指定する。装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。 √√√√

NPW保管場所指定

装置判断装置が自動的に判断する。ジョブ PJ、CJにて指定する。装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。

NPW加工タイミング指定

装置判断装置が自動的に判断する。 √√√√ ジョブ PJ、CJにて指定する。装置定数装置定数にて指定する。 √√√√ キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。

NPW再利用性指定

装置判断装置が自動的に判断する。ジョブ PJ、CJにて指定する。装置定数装置定数にて指定する。 √√√√ キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。

ＮＰＷの条件指定方法

NPW使用完了タイミング指定

装置判断装置が自動的に判断する。 √√√√

図 2-2 Filler（定常）の条件指定方法

制御内容制御内容制御内容制御内容指示者指示者指示者指示者選選選選択択択択

ホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハがプロセス処理位置にあるか判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハのプロセス処理位置への移動を指示するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたか判

断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたこと

をイベントにて通知するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたか判

断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたこと

をイベントにて通知するオペレータホスト √√√√ 装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハを払出すか判断するオペレータホスト √√√√ 装置 Filler（定常）キャリアをコンプリート状態とするか判断するオペレータホスト √√√√ 装置 Filler（定常）キャリアの搬出を指示するオペレータホスト √√√√ 装置

ＮＰＷの制御方法

Filler（定常）キャリアの搬入を指示するオペレータ

図 2-3 Filler（定常）の制御方法



2.2.2.2. Filler（非定常） Filler(非定常)はプロセス処理室内における製品品質の均一化をはかるために、製品ウェーハの歯抜けを補うために用いる。

項目項目項目項目説明説明説明説明選選選選択択択択

Filler（定常）プロセスの安定化のため、あらかじめプロセスモジュールに挿入する。

Filler（非定常）プロセスの安定化のため、処理単位の不足を埋める。 √√√√


NPW使用目的


累積処理累積処理数または累積処理時間が規定数に達した時に使用する。処理切替製品処理条件の切替時に使用する。特定処理特定の製品処理を行う時に使用する。 √√√√

NPW使用条件

全処理全ての製品処理を行う時に使用する。ロードポート NPWが搬入されたロードポート上にてNPWを保管する。 NPW保管






い。


ＮＰＷの種類




搬入







別キャリア



搬出形態


ＮＰＷの動き

搬出


表 2-3 Filler（非定常）の NPW モデル
















図 2-4 Filler（非定常）の条件指定方法


ホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハが必要か判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの使用を指示するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたか

判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたこ

とをイベントにて通知するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたか

判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたこ

とをイベントにて通知するオペレータホスト √√√√ 装置 √√√√ Filler（非定常）キャリアをコンプリート状態とするか判断するオペレータホスト √√√√ 装置 Filler（非定常）キャリアの搬出を指示するオペレータホスト √√√√ 装置


Filler（非定常）キャリアの搬入を指示するオペレータ

図 2-5 Filler（非定常）の制御方法



2.2.2.3. モニター

内部バッファ装置に用いるモニターは、プロセス処理室内での処理品質のばらつきを確かめ

るため、プロセス処理室内の適当と思われる場所に用いられる。

項目項目項目項目説明説明説明説明選選選選択択択択




NPW使用目的

Monitor 装置/製品(処理)の品質を管理(取得)するために使用する。例）レートチェック √√√√


NPW使用条件





再利用可能一度使用したNPWを装置外に取り出すことなく再利用可能である。 NPW再利


い。 √√√√

製品処理完了製品処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。 √√√√ NPW処理完了 NPW処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。累積使用回数累積使用回数が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。累積使用時間累積使用時間が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。

ＮＰＷの種類




搬入



同一キャリア使用完了したNPWウェーハを、ウェーハの保管に用いたキャリアと同じキャリアを用いて搬出する。

逐次搬出使用完了したNPWウェーハを、使用が完了する都度、保管に用いたものとは別のキャリアを用いて搬出する。 √√√√ 製品非混



別キャリア



搬出形態


ＮＰＷの動き

搬出


表 2-4 モニターの NPW モデル




ジョブ PJ、CJにて指定する。 √√√√ 装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。




装置判断装置が自動的に判断する。 √√√√ ジョブ PJ、CJにて指定する。 √√√√ 装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。


装置判断装置が自動的に判断する。ジョブ PJ、CJにて指定する。 √√√√ 装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。





装置判断装置が自動的に判断する。

図 2-6 モニターの条件指定方法


ホスト √√√√ 装置 √√√√ モニターキャリアをコンプリート状態とするか判断するオペレータホスト √√√√ 装置モニターキャリアの搬出を指示するオペレータホスト √√√√ 装置

ＮＰＷの制御方法モニターキャリアの搬入を指示する

オペレータ

図 2-7 モニターの制御方法



3. 構成要求

製造装置は以下の機構により構成されなければならない。

図 3-1 装置の構成

3.1. 装置パネル装置パネルとは、オペレータが装置のオペレーション（マニュアルでの指示、情報表示等）

に使用するコンソールパネルのことであり、製造装置の前面ならびに背面に設置されなくて

はならない。また、前面と背面で同時操作ができないように排他制御されなくてはならない。

さらに、装置パネルを介し次のサービスが提供されなくてはならない。・コントロールジョブの状態表示・プロセスジョブの状態表示・オフラインまたはオンラインローカルモードでのコントロールジョブの生成・オフラインまたはオンラインローカルモードでのプロセスジョブの生成・オフラインまたはオンラインローカルモードでの処理の開始を指示する操作・オフラインまたはオンラインローカルモードでのコントロールジョブの開始待ち行列の

順序操作（指定コントロールジョブの待ち行列先頭への移動）

3.2. スロットマップリーダキャリア搬入時に材料の照合をおこなうために、各スロット内のウェーハの有無をロードポ

ートまたは FIMSポートにてセンシングする機構として、スロットマップリーダが設置され

１２

背面モジュールモジュールモジュールモジュール

ロードポートロードポートロードポートロードポート

装置パネル装置パネル装置パネル装置パネル

３

キャリアキャリアキャリアキャリア IDIDIDID リーダリーダリーダリーダ

ロードポートオペレーターインターフェイスロードポートオペレーターインターフェイスロードポートオペレーターインターフェイスロードポートオペレーターインターフェイス

スロットマップリーダスロットマップリーダスロットマップリーダスロットマップリーダ

前面

キャリアハンドオフキャリアハンドオフキャリアハンドオフキャリアハンドオフパラレルパラレルパラレルパラレル I/OI/OI/OI/O インタフェースポートインタフェースポートインタフェースポートインタフェースポート

キャリアプレゼンスセンサーキャリアプレゼンスセンサーキャリアプレゼンスセンサーキャリアプレゼンスセンサー

キャリアプレースメントセンサーキャリアプレースメントセンサーキャリアプレースメントセンサーキャリアプレースメントセンサー

ドッキングインターフェイスドッキングインターフェイスドッキングインターフェイスドッキングインターフェイス

FIMSFIMSFIMSFIMS ポートポートポートポート

内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファ



ていなくてはならない。

3.3. ロードポート

E15.1 に準拠した双方向タイプのロードポートが、連続処理をおこなうために、少なくとも２つ以上設置されなくてはならない。

3.4. キャリア IDリーダキャリア搬入時に材料の照合をおこなうために、キャリアに付与されたキャリア ID の読み取りをおこなう機構として、E15.1に準拠したキャリア IDリーダがデリバリポジション（デリバリポジションについては図 3-2参照）に設置されていなくてはならない。また、キャリア IDリーダは、”*”、”?”、”~”、”>”、”:” を除く ASCII文字列が読み取り可能でなくてはならない。

3.5. キャリア搬入出検出機構キャリアの搬入出の完了を検出するために、各ロードポートにキャリアプレゼンスセンサー

およびキャリアプレースメントセンサーが設置されていなくてはならない。これらのセンサ

ーは、論理的にも物理的にもそれぞれが独立したものでなくてはならない。 (a) キャリアプレゼンスセンサー

キャリアがロードポートに設置されているかどうかを識別する機構。 (b) キャリアプレースメントセンサー

キャリアがロードポート上に正しい状態で設置されているかどうかを識別する機構。

3.6. クランプ機構

クランプ機構は、キャリアを装置に固定する機構のことである。クランプ機構は以下の条件

を満たさなくてはならない。・デリバリポジションおよびドックドポジションでキャリアを自動的にクランプすること。・装置は搬入時、アクセスモードがオートの場合、キャリアがない時にはクランプ機構をク

ランプ状態にしておき、キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェースによるハンドシェイク開始時にアンクランプ状態とすること。

・装置は搬入時、アクセスモードがマニュアルの場合、キャリアがない時にはクランプ機構

をアンクランプ状態とすること。・装置は搬出時、アクセスモードがオートの場合、キャリアの処理終了後はクランプ機構を

クランプ状態にしておき、キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェースによるハンドシェイク開始時にアンクランプ状態とすること。

・装置は搬出時、アクセスモードがマニュアルの場合、キャリアの処理終了後にクランプ機

構をアンクランプ状態とすること。



図 3-2 キャリア・クランプ位置

3.7. キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェイス

キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェースとは、自動搬送機と装置がキャリアの移載を確実に行うために、移載に関する状態情報やタイミングを伝達するのに用いられる機構の

ことである。キャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェイスは以下の条件を満たすこと。・ E84に準拠すること。・キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェースがロードポート毎に設置されていること。

・キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェースを利用したアクセスモードとキャリア搬入出方法の不整合時の処理がおこなえること。手動搬入出時：・手動搬入出時に AMHSからキャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェースによるアクセス要求があっても、装置はアクセスを拒否すること。

自動搬入出時：・アクセスモードがオート時にキャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェースによるアクセス無しにキャリアを検出した場合、装置はキャリアの搬入を認めないこ

と。・自動搬入出の開始条件は、E84 Ready信号 ON時とすること。

LP EFEM

FIMSﾎﾟｰﾄ

ｷｬﾘｱ

ｷｬﾘｱ

Equipment Process Module

ﾘｿｰｽ(ﾓｼﾞｭｰﾙ)

ｳｪｰﾊ

ﾁｬｰｼﾞ

ﾃﾞｨｽﾁｬｰｼﾞ

内部ﾊﾞｯﾌｧ

ｷｬﾘｱ

ｷｬﾘｱClampﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄｵﾍﾟﾚｰﾀｲﾝﾀｰﾌｪｰｽ

ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵﾌﾊﾟﾗﾚﾙI/O

ｲﾝﾀｰﾌｪｲｽﾎﾟｰﾄ

ｷｬﾘｱ搬入投入

キャリア搬入

自動搬入出時のキャリアハンドオフパラレル I/Oインターフェース動作シーケンスは次のようにすること。

# 動作 SECSⅡ

方向

E84

方向

ホストー

装置間の

メッセージ

LoadPort

Transfer

ステータス

L_R

EQ

(P->A

)

U_R

EQ

(P->A

)

REA

DY (P

->A

)

CS_0

(A->P

)

CS_1

(A->P

)

VA

LID

(A->P

)

TR

_REQ

(A->

P)

BU

SY (A

->P

)

CO

MP

T (A

->P

)

CO

NT (A

->P

)

HO

_AV

BL (P

->A

)

ES (P

->A

)

0 初期状態：

ロード待ち状態

A<-P READY TO

LOAD

OFF

1 AMHSがキャリアを

載せてロードポートへ

到着

A->P

OFF

2 パラレルI/Oインターフ

ェイスが有効になる

A->P

OFF

3 ロードポートの指定

A<-P

OFF

4 AMHS準備完了通知

A->P

OFF

5 ロード開始要求 A<-P TRANSFER

BLOCKED

6 装置からホストへ

通知

H<-E Transfer

Blocked

event

TRANSFER

BLOCKED

OFF

7 ロード開始通知

A->P

ON

8 キャリア検出

A<-P

ON

ON

OFF

9 AMHS処理終了

A->P

ON

10 ロード完了通知

A<-P

ON

ON

ON

11 AMHSドロップオフ完了

A->P

OFF

OFF

OFF

OFF

OFF

OFF

OFF OFF

OFF

OFF ON ON

表 3-1 自動搬入時のキャリアハンドオフパラレル I/O シーケンス

# 動作 SECSⅡ

方向

E84

方向

ホストー

装置間の

メッセー

ジ

LoadPort

Transfer

ステータス

L_R

EQ

(P->A

)

U_R

EQ

(P->A

)

REA

DY (P

->A

)

CS_0

(A->P

)

CS_1

(A->P

)

VA

LID

(A->P

)

TR

_REQ

(A->

P)

BU

SY (A

->P

)

CO

MP

T (A

->P

)

CO

NT (A

->P

)

HO

_AV

BL (P

->A

)

ES (P

->A

)

0 初期状態：ロードポート

にキャリアが載っている

A<-P TRANSFER

BLOCKED

1 キャリア搬出可能通知

H<-E ReadyTo

Load

event

READYTO

LOAD

OFF

2 ホスト指示によりAMHS

到着

A->P

OFF

3 パラレルI/Oインター

フェイスが有効になる

A->P

OFF

4 アンロードポートの指定

A<-P

OFF

5 AMHS準備完了通知

A->P

6 キャリア・

アンクランプ

OFF

7 装置準備完了通知 A<-P

TRANSFER

BLOCKED

8 装置からホストへ

通知

H<-E Transfer

Blocked

event

TRANSFER

BLOCKED

OFF

9 AMHSビジー通知 A->P

ON

10 ロードポートにキャリア

無いと検出された

A<-P

ON

ON

OFF

11 アンロードされた

キャリアをAMHSに格納

A->P

ON

12 装置完了通知

A<-P

ON

ON

ON

13 AMHS完了通知

A->P

14 ロード待ち状態 H<-E Ready to

Load

event

READY TO

LOAD

OFF

OFF

OFF

OFF

OFF

OFF

OFF OFF

OFF

OFF ON ON

表 3-2 自動搬出時のキャリアハンドオフパラレル I/O シーケンス



なお、表 3-1、3-2で使用されている信号の詳細は以下の通りである。

信号名 Passive/ Active

説明

VALID A->P インターフェース通信が有効であることを示す。 ON : 通信は有効である OFF : 通信は有効でない

この信号が ON にされる前に、ロードポートが信号CS_0及び/又は CS_1 によって指定されなければならない。 CS_0 A->P キャリア移載に使用されるロードポートを指定する（E84 6.1.2 ロードポート割当て信号を参照）

1つのロードポート当たり 1つのパラレルI/O デバイス ON : キャリア移載のためにロードポートを使用する OFF : 該当せず

CS_1 A->P キャリア移載に使用されるロードポートを指定する（E84 6.1.2 ロードポート割当て信号を参照） 1つのロードポート当たり 1つのパラレルI/O デバイス

使用されない（OFF） TR_REQ A->P パッシブ装置への移載を要求する。

ON : アクティブ装置は移載を要求した OFF : アクティブ装置は移載を要求しなかった

この信号は OFF になるのは BUSY信号が OFF に移行するときである。 L_REQ P->A キャリアをロードするためにロードポートが割り当てられることを示す。

ON : ロードポートはキャリアをロードするために割り当てられる。 OFF : ロードポートはキャリアをロードするために割り当てられない。

この信号が ON になるのは、ロードポートが CS_0 及び/又は CS_1 によって指定され、VALID 信号がON で

あるときである。この信号が OFF になるのは、ロードポートがキャリアを正確な位置に検出したときである。 U_REQ P->A キャリアをアンロードするためにロードポートが割り当てられることを示す。

ON : ロードポートはキャリア OFF をアンロードするために割り当てられる。 OFF : ロードポートはキャリアをアンロードするために割り当てられない。

この信号がONになるのは、ロードポートが CS_0 及び/又は CS_1 によって指定され、VALID 信号がONにな

るときである。この信号がOFFになるのは、ロードポート上のキャリアが除去されるときである。 READY P->A パッシブ装置がアクティブ装置から搬送要求を受理したことを示す。

ON : パッシブ装置は移載の準備ができている OFF : パッシブ装置は移載の準備ができていない

この信号が ON になるのは、パッシブ装置が搬送要求を受理するときである。またそれが OFF になるのは、

COMPT 信号が ON になるときである。 BUSY A->P 移載がアクティブ装置によって進行中であることを示す。

ON : 移載は進行中である OFF : 移載は進行中ではない

この信号が ON になるのは、アクティブ装置が移載操作を始動するときである。READY が ON でなければな

らないのは、BUSY が ON のときである。それがOFF でなければならないのは、アクティブ装置が移載を終了

し、アクティブ装置リソース位置が移載干渉エリアの外になった後である。パッシブ装置が移載干渉エリア内で機

械的な動きをしてはならないのは、この信号が ON である間である。アクティブ装置が BUSY を OFF にする

のは、L_REQ 又は U_REQ の OFF を確認した後である。 COMPT A->P アクティブ装置が移載操作を終了したことを示す。

ON : 移載は終了している OFF: 移載は終了していない

この信号が ON になるのは、アクティブ装置が移載を終了したときである。（BUSY OFF）。またそれが OFF になるのは、パッシブ装置が移載操作を終了した後である（READY OFF）。

CONT A->P 移載が連続移載であることを指定する。 ON : 連続移載 OFF : 連続移載ではない

この信号が ON になるのは、第１のキャリア移載用の BUSY ON によってである。またそれが OFF になるの

は、後のキャリア移載操作用の BUSY ONによってである。もしパッシブ装置が移載に干渉する機構（例えばシ

ャッタードアのようなもの）を持っているならば、その機構は連続移載中、干渉しない状態（ドアは開いたまま）に保

持しなければならない。



信号名 Passive/ Active

説明

HO_AVBL P->A パッシブ装置が移載操作に利用可能ではないことを示す。それは、さらにパッシブ装置におけるエラーを示すこと

がある。 ON : 移載は可能である。 OFF: 移載は不可能でありエラーになる。

この信号が ON になるのはパッシブ装置の操作が正常である間である。この信号が VALID ON 又は TR_REQ ON によって OFF になるのは、パッシブ装置が、CS_0 及び/又は CS_1 によって指定されたロード

ポートでいくつかの例外を検知するときである。この信号が OFF のままになるのは、パッシブ装置の他のロード

ポートが異常を検知するときである。異常は次のものを含んでいる。 - キャリア検出が正確ではない。 - パッシブ装置が手動のアクセスモードに変更された。 - パッシブ装置が移載不可能な状態である。この信号は、移載操作の開始前にアクティブ装置へのパッシブ装置の状態を指す。

ES P->A アクティブ装置の活動を直ぐに止めることを要求する。 ON : 通常動作 OFF : 停止を要求する

通常、アクティブ装置は VALID ON から VALID OFF まで ES を監視することがある。この信号が OFF にさ

れ移載操作を直ぐに止めるには、危険な状況がパッシブ装置によって検知されるときである。危険な状況に含ま

れるのは、材料、製品又は操作への危害の可能性である。この信号がON になるのは、パッシブ装置の操作が

正常である間である。それが OFF になるのは、パッシブ装置がアクティブ装置の活動を止める必要があるときで

ある。パッシブ装置が ES 信号を OFF にするのは、ES ボタンが押されるとき、又は、移載インタロック異常が生じた

ときである。

表 3-3 エンハンストキャリア移載パラレルＩ/Ｏインターフェイスの信号

3.8. ロードポートオペレータインターフェイス

マニュアルモード時に、キャリアの搬入出をおこなう際にオペレータによって操作される機

構。自動搬送時とマニュアル搬送時のシーケンスを等価とすることができる。ロードポート

オペレータインターフェイスはロードポート毎に設置され、以下に示す表示および操作がお

こなえること。

図 3-3 ロードポートオペレータインターフェイスの構成

PRESENCE インジケータ（黄色）・ロードポートにキャリアが正しく存在することを示す。

PLACEMENT インジケータ（緑色）・ロードポートにキャリアが正しくセットされていることを示す。

LOAD インジケータ（緑色）・キャリアのロード可能／不可能状態を示す。点灯はキャリア搬入が可能であることを示し、消灯はキャリア搬入が不可能であることを示す。

UNLOAD インジケータ（橙色）・キャリアのアンロード可能／不可能状態を示す。点灯はキャリア搬出が可能であることを示し、消灯はキャリア搬出が不可能であることを示す。

Operetor Access インジケータ＆スイッチ（透明）・マニュアル搬入出の開始と終了を装置に通知するためのスイッチ。・マニュアル搬入出の許可および進行状況を示す。ランプ点灯はハンドオフ可能であることを示し、点滅はハンドオフ中であることを示す。

Operator Access

PRESENCE

PLACEMENT

LOAD

UNLOAD



装置は以下に示す、ロードポートオペレータインターフェイスの手動操作によって、キャリ

アの手動搬入出処理を可能とすること。3.8.1章では搬入時の５パターンの操作、3.8.2章では搬出時の４パターンの操作について、その概要とインジケータの変化を示す。

3.8.1. 搬入時オペレーション搬入時のオペレーションは、搬入開始／完了のトリガーにオペレータアクセススイッチを

使用するか、タイマーを使用するかで(1)～(4)の 4 つのパターンにわかれる。これら搬入

時オペレーションは以下の条件を満たさなければならない。

・搬入時の運用方法を、搬入キャンセルを除く下記の４つの操作パターンから１つ選択可

能とし、これを装置定数によって設定できること。・搬入操作終了時、キャリアがない場合は、搬入開始前の状態に戻ること。・搬入の開始条件は、オペレータアクセススイッチ ON時（又はキャリア ON時）とすること。

・アクセスモードがオート時にオペレータアクセススイッチが押下されても無効とするこ

と。

(1) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチを、ロード

ポートにキャリアを搬入移載する前と、搬入移載完了後に押下する場合。

No.

PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タ

オペ

レー

タア

クセ

スス

イッ

チ

1 初期状態（ReadyToLoad) Off Off On Off On

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

2 搬入開始ボタン押下 Off Off On Off Blink 押下

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

3 キャリア搬入 On Off On Off Blink

↓ On Off ↓ ↓

4 搬入完了ボタン押下 On On Off Off Off 押下

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

5 搬入完了 On On Off Off Off



(2) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチを、ロード

ポートにキャリアを搬入移載する前に押下し、搬入移載完了のトリガーはタイマーにて

行う場合。

(3) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチの押下無しにロードポートにキャリアを搬入移載し、搬入移載完了のトリガーはタイマーにて行

う場合。

No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タ

オペ

レー

タア

クセ

スス

イッ

チ


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ On Off ↓ ↓

4 タイマータイムアップ On On Off Off Off

↓ ↓ ↓ ↓ ↓


No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タ

オペ

レー

タア

クセ

スス

イッ

チ


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ On Off ↓ ↓

3 タイマータイムアップ On On Off Off Off

↓ ↓ ↓ ↓ ↓




(4) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチの押下無し

にロードポートにキャリアを搬入移載し、搬入移載完了後にオペレータアクセススイッ

チを押下する場合。

(5) 搬入キャンセルの場合。

No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タ

オペ

レー

タア

クセ

スス

イッ

チ


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ On Off ↓ ↓

3 搬入完了ボタン押下 On On Off Off Off 押下

↓ ↓ ↓ ↓ ↓


No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タ

オペ

レー

タア

クセ

スス

イッ

チ


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ On Off ↓ ↓

4 キャリア取出し On Off On Off Blink

Off ↓ ↓ ↓ ↓

5 搬入完了ボタン押下 Off Off On Off On 押下

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

6 搬入キャンセル Off Off On Off On



3.8.2. 搬出時オペレーション搬出時のオペレーションは、搬出開始／完了のトリガーにオペレータアクセススイッチを使

用するか、タイマーを使用するかで(1)～(3)の３つのパターンにわかれる。これら搬出時オ

ペレーションは以下の条件を満たさなければならない。

・搬出時の運用方法を、搬出キャンセルを除く下記の３つの操作パターンから１つ選択可能

とし、これを装置定数によって設定できること。・搬出操作終了時、キャリアがある場合は、搬出処理のキャンセルとして扱うこと。例え別

のキャリアがあったとしても搬入として扱わないこと。・搬出の開始条件は、オペレータアクセススイッチ ON 時（又はキャリア OFF 時）とすること。

・アクセスモードがオート時にオペレータアクセススイッチが押下されても無効とすること。

(1) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチを、ロードポート上のキャリアを搬出移載する前と、搬出移載完了後に押下する場合。

搬出完了ボタン押下時にキャリアプレゼンスセン

サーオフであれば搬入可能状態とする

No.

PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タLO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タオ

ペレ

ータ

アク

セス

スイ

ッチ

1 初期状態（ReadyToUnload) On On Off On On

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

2 搬出開始ボタン押下 On On Off On Blink 押下

↓ Off ↓ ↓ ↓

3 キャリア搬出 Off Off Off Off Blink

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

4搬出完了ボタン押下

（搬出完了）Off Off Off Off Off 押下

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

5 搬入可能 Off Off On Off On



(2) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチを、ロードポート上のキャリアを搬出移載する前に押下し、搬出移載完了のトリガーはタイマー

にて行う場合。

(3) ロードポートオペレータインターフェースのオペレータアクセススイッチの押下無しにロードポート上のキャリアを搬出移載し、搬出移載完了のトリガーはタイマーにて

行う場合。

タイマータイムアップ時にキャリアプレゼンスセン


タイマータイムアップ時にキャリアプレゼンスセン


No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タLO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タオ

ペレ

ータ

アク

セス

スイ

ッチ


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ Off ↓ ↓ ↓


↓ ↓ ↓ ↓ ↓

4タイマータイムアップ

（搬出完了）Off Off Off Off Off

↓ ↓ ↓ ↓ ↓


No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タオ

ペレ

ータ

アク

セス

スイ

ッチ


↓ Off ↓ ↓ ↓


↓ ↓ ↓ ↓ ↓

3タイマータイムアップ

（搬出完了）Off Off Off Off Off

↓ ↓ ↓ ↓ ↓




(4) 搬出キャンセルの場合。

3.9. 内部バッファ内部バッファとは、装置内のロードポート以外でキャリアを保管する場所のことで、処理前

および処理後のバッファとして、外部とのキャリアの受け渡しと内部での処理との速度やバ

ッチサイズの違いを緩和するのに使用される。この内部バッファが設置されていなければな

らない。なお、内部バッファへのキャリアの搬入出に伴い、物理的なキャパシティ、論理的

なキャパシティ報告の機能がなければならない。

3.10. FIMSポート内部バッファ装置の場合は装置の内部に位置し、実際に処理がおこなわれるプロセスモジュ

ールと結合される場所のこと。装置の内部に設置されていなければならない。

No. PR

ESEN

CEイ

ンジ

ケー

タP

LA

CEM

EN

Tイ

ンジ

ケー

タ

LO

AD

イン

ジケ

ータ

UN

LO

AD

イン

ジケ

ータ

オペ

レー

タア

クセ

スイ

ンジ

ケー

タオ

ペレ

ータ

アク

セス

スイ

ッチ


↓ ↓ ↓ ↓ ↓


↓ Off ↓ ↓ ↓


↓ ↓ ↓ ↓ ↓

4キャリア搬出取りやめ（再

搬入）On Off Off On Blink

↓ On ↓ ↓ ↓

5 搬出完了ボタン押下 On On Off On On 押下

↓ ↓ ↓ ↓ ↓

6 搬出キャンセル On On Off On On



4. 通信要求

ホスト－装置間の通信に関する要求を示す。

4.1. 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）通信リンクを通じてみた半導体製造装置の動作を示し、全ての半導体製造装置を対象に

SECS-Ⅱメッセージの標準的な適用方法を定義している。

4.1.1. 要求条件次に示す GEMの要求条件に準拠していること。

GEM 準拠 GEM の基本条件性能の有無 GEM への準拠備考

状態モデル ■有 □無装置プロセス状態 □有 ■無ホストからの S1F13/14 シナリオ ■有 □無

イベント通知 ■有 □無プロセスジョブ管理にて拡

張有り*1 オンライン確認 ■有 □無エラーメッセージ ■有 □無コントロール（オペレータ起動） ■有 □無

文書化 ■有 □無

□有 ■無

メッセージ説明書が添付

されること追加性能性能の有無 GEM への準拠備考

通信確立 ■有 □無 ■有 □無動的イベントレポート設定変更 ■有 □無 ■有 □無変数データ収集 ■有 □無 ■有 □無トレースデータ収集 □有 ■無 □有 ■無状態データ収集 ■有 □無 ■有 □無アラーム管理 ■有 □無 ■有 □無リモートコントロール ■有 □無 ■有 □無装置定数 ■有 □無 ■有 □無プロセスプログラム管理 ■有 □無 ■有 □無材料移送 ■有 □無 ■有 □無装置端末サービス □有 ■無 □有 ■無クロック ■有 □無 ■有 □無リミット監視 □有 ■無 □有 ■無スプーリング □有 ■無 □有 ■無コントロール（ホスト起動） ■有 □無 ■有 □無拡張有り*2

拡張解説について *1イベント通知のプロセスジョブに関する拡張

プロセスジョブ関連のイベントは S16F7、S16F9だけではなく、S6F11でも報告を可能とすること。また、S16F7、S16F9イベントの有効／無効設定を可能とすること。

*2コントロール拡張



オンラインリモート⇔オンラインローカル間をホストから移行指示可能なサービスを用意

すること。

4.1.2. 状態モデル製造装置は次に示すホスト視点の状態モデルを持つこと。 (1) 通信状態図

図 4-1 通信状態遷移図

状態名コメント

DISABLED ( 通信無効 ) ホストコンピュータとの SECS-Ⅱ通信は存在しない状態である。

この状態に入ったら送信のためにキューに入っていたメッセージはすべて

破棄され、実行中のトランザクションや会話に対しては、それ以降の動作

をすべて終了する必要がある。

ENABLED ( 通信有効 ) SECS-Ⅱに基づいた通信をサポートするように、SECS-Ⅰのような下位レ

ベルのプロトコルは正常に機能することを前提にしている。

NOT COMMUNICATING

( 通信中断 )

通信確立(S1F13,S1F14)と送信中断メッセージ(SxF0)以外のメッセージは

送信されない。この状態には 2 つの AND 下位状態がある。ホスト開始接

続（HOST-INITIATED CONNECT）と装置開始接続

（EQUIPMENT-INITIATED CONNECT）である。装置が通信中断状態にあ

れば、このどちらも機能する。これらの 2 つの下位状態は、装置及びホス

トが同じ時間帯に通信確立を実行するときの装置の動作を明らかにして

いる。

EQUIPMENT-INITIATED CONNECT

( 装置開始接続 )

この状態には通信確立要求確認待ち（Wait CRA）と遅延タイムアウト待ち

（Wait Delay）の 2 つの下位状態がある。通信中断状態になると、直ちに装

置開始接続状態となり、通信確立要求確認待ちへの状態遷移が起こると

ともに、通信遅延タイマーが「時間切れ」にセットされ、すぐに S1F13 を送

信しようとする。

WAIT CRA

( 通信確立要求確認待ち )

通信要求が送信された。装置はホストがその要求を承認するのを待つ。

WAIT DELAY

( 遅延タイムアウト待ち )

接続トランザクションが失敗した。通信遅延タイマーを初期化する。装置

はタイマーの時間切れを待つ。

HOST-INITIATED CONNECT

( ホスト開始接続 )

この状態は、通信中断状態においてホストが開始した S1F13 に対する装

置の動作を示す。

DISABLED

WAIT DELAY

COMMUNICATING

C

3

68

9

COMMUNICATIONS

2

11

1514

1

ENABLED

NOT COMMUNICATING4

WAIT CRFROM HOST

HOST-INITIATEDCONNECT

10

EQUIPMENT-INITIATEDCONNECT

WAIT CRA

57




WAIT CRA FROM HOST

(ホストからの通信確立要求待ち)

装置はホストからの S1F13 を待つ。S1F13 を受信すると、装置は

COMMACK=0 の S1F14 を送信する。

COMMUNICATING

( 通信実行 )

通信が確立された。装置は S1F13 を含めてあらゆるメッセージをホストか

ら受信することができる。装置が通信実行状態にあるときは、ホストコンピ

ュータとの間の SECS 通信は維持されなければならない。通信が無効にさ

れるか通信の喪失が発生するまで、この状態は持続する。

表 4-1 通信状態定義

# 現在の状態トリガー新しい状態コメント 1 (現在の状態に入

る) システムの初期化システムデフォルトシステムデフォルトは通信の無効

または有効に設定される。 2 DISABLED

(通信無効) オペレータが通信無効から通信有

効に切り換える。 ENABLED SECS-Ⅱ通信が有効になる。

3 ENABLED (通信有効)

オペレータが通信有効から通信無

効に切り換える。 DISABLED SECS-Ⅱ通信が禁止される。

4 (通信有効に入る) 通信有効状態に入る。 NOT COMMUNI- CATING (通信中断)

システムの初期化から通信有効に

入ってもよいし、オペレータが通信

有効に切り換えてもよい。 5 (通信開始状態に

入る) (通信中断状態に入る。) WAIT CRA (通信確

立要求確認待) 通信確立開始

6 WAIT CRA (通信確立要求確

認待)

通信トランザクションの失敗 WAIT DELAY (遅延タイマータイム

アウト待)

適切な場合には、キューから出力

されたメッセージは生成順にスプ

ールバッファにいれる。タイマーが

時間切れになるのを待つ。 7 WAIT DELAY

(遅延タイマータイ

ムアウト待)

通信遅延タイマーが時間切れにな

る。 WAIT CRA (通信確立要求確認

待)

S1,F14 を待つ。ホストからの

S1,F13 を受信することもある。

8 WAIT DELAY S1,F13 以外のメッセージを受信す

る。 WAIT CRA (通信確立要求確認

待)

通信を確立するチャンスがあるこ

とを意味する。

9 WAIT CRA (通信確立要求確

認待)

待っていた、 COMMACK=0 の S1,F14 を受信する。

COMMUNICATING (通信実行)

通信が確立される。

10 (ホスト接続開始に

入る) (通信中断状態に入る。) WAIT CR FROM

HOST (ホストからの

通信確立待)

ホストからの S1,F13 を待つ。

14 COMMUNICAT-ING (通信実行)

通信の喪失。(通信の喪失のプロト

コル独自の定義については SEMI E4 (SECS-I)あるいは SEMI E37(HSMS)を参照すること。

NOT COMMUNI- CATING (通信中断)

キューから取り除かれたメッセージ

は必要に応じてスプールバッファ

に入れる。

15 WAIT CR FROM HOST (ホストから

の通信確立要求

待ち)

S1,F13 を受信する。 COMMUNICATING (通信実行)

通信が確立されている。

表 4-2 通信状態遷移定義



(2) コントロール状態モデル

図 4-2 コントロール状態遷移図


OFF-LINE ( オフライン ) この状態では、オペレータが装置の操作盤から操作を行う。装置がオフラ

イン状態であってもメッセージの伝達は可能である。しかし、自動化を目

的とするメッセージの使用は厳しく制限される。

オフライン状態の時には、装置は通信確立のためのメッセージ、もしくは

ホストからのオンライン移行要求に対してしか応答しない。

EQUIPMENT OFF-LINE

( 装置オフライン )

この状態のときには、システムはオフライン状態を保ち、オペレータからの

オンライン移行指示を待つ。

ATTEMPT ON-LINE

( オンライン確立試行 )

オンライン確立試行状態の時には、装置はオペレータからのオンライン状

態への移行指示に応答している。この状態に入るとすぐに装置は S1F1 を

ホストに送信する。

この状態のときは、オペレータによるオンラインまたはオフラインへのスイ

ッチ切り替え操作には反応しないこと。

HOST OFF-LINE

( ホストオフライン )

ホストオフラインとは、オペレータが装置をオンラインにしようとしたが、ホ

ストの許可が得られない状態である。この状態に入るには、オンライン状

態に移行する試みが失敗したか、ホストが装置にオンラインからオフライ

ンへと移行するよう要求したかのどちらかである。

ON-LINE ( オンライン ) オンライン状態の時には、SECS-Ⅱメッセージが交換され、それに基づい

て動作が実行される。装置の操作盤から実際に実行できる性能はホスト

からも同様に実行できなければならない。

オンライン状態の時は、SxF0 メッセージを使用する必要はない。また使わ

ないように推奨する。もし使用するとしたら、メッセージの異常に関連し

て、トランザクションを終了するときだけである。

LOCAL ( ローカル ) オペレータが直接装置の操作を行う。装置の操作盤からあらゆる操作が

できる。

REMOTE ( リモート ) リモートコントロールの GEM 機能に対応する装置であれば、リモート状態

の時にはホストは通信インターフェイスを介して可能な範囲で、装置を操

作する。

表 4-3 コントロール状態定義

CCONTROL1

OFF-LINE

2

EquipmentOFF-LINE

HostOFF-LINE

C

C EquipmentOFF-LINE

ON-LINE

C7

LOCAL REMOTE

8

9

5

4

3

1011

6

12



# 現在の状態トリガー新しい状態コメント 1 (未定義) コントロール状態に入

る。(システム立ち上げ) CONTROL コントロール状態(下位状態は設定により異なる)

装置はデフォルト設定でオンラインもしくはオフラインになる。

2 (未定義) オフライン状態に入る OFF-LINE オフライン状態 (下位状態は設定により異なる)

装置はデフォルト設定でオフラインのどんな下位状態にでもなれる。

3 EQUIPMENT OFF- LINE (装置オフライン)

オペレータがスイッチをオンラインに切り換える。

ATTEMPT ON-LINE (オンライン試行)

オンライン確立状態にあるときはいつでも S1,F1 が送信されることに注意

4 ATTEMPT ON-LINE (オンライン確立試行)

S1,F0 設定条件によりことなる新しい状態

通信の喪失、返信タイムアウト、もしくは S1,F0の受信による。設定条件により装置オフライン、若しくはホストオフラインに移行する。

5 ATTEMPT ON-LINE (オンライン確立試行)

装置はホストから期待した S1,F2を受信する。

ON-LINE (オンライン)

ホストは遷移 7 でオンラインに移行することを通知される。

6 ON-LINE (オンライン)

オペレータがスイッチをオフラインに切り換える。

EQUIPMENT OFF- LINE (装置オフライン)

“装置オフライン”イベント発生。オフラインのとき、イベント返信メッセージは捨てられる。

7 (未定義) オンライン状態に入る。 ON-LINE オンライン状態 (下位状態はリモート/ローカルのスイッチの設定によって決まる。)

“コントロール状態ローカル”または”コントロール状態リモート”イベント発生。イベントレポートは実際に移行したオンラインの下位状態を示す。

8 LOCAL (ローカル)

オペレータがフロントパネルのスイッチをリモートにセットする。

REMOTE (リモート)

“コントロール状態リモート”イベント発生。

9 REMOTRE (リモート)

オペレータがフロントパネルのスイッチをローカルにセットする。

LOCAL (ローカル)

“コントロール状態ローカル”イベント発生

10 ON-LINE (オンライン)

装置は”オフライン切り換え”メッセージ(S1,F15)をホストから受け取る。

HOST-OFFLINE (ホストオフライン)

“装置オフライン”イベント発生。

11 HOST OFF-LINE 装置はオンライン移行要求(S1,F17)を了解する。

ON-LINE (オンライン)

ホストは遷移 7 でオンラインに移行することを通知される。

12 HOST OFF-LINE オペレータがスイッチをオフラインに切り換える。

EQUIPMENT OFF- LINE

“装置オフライン”イベント発生

表 4-4 コントロール状態遷移定義

4.1.3. ホスト開始による S1,F13/F14シナリオ装置は E30に記載されているホストによる通信確立に関する要件を満たすこと。



4.1.4. イベント通知装置は E30に記載されているイベント通知の要件を満たすこと。

今回の検討範囲にて前提としている発生するイベントを示す。イベント名称イベントの基準ステートモデル

Offline OnlineRemote OnlineLocal

コントロール状態モデル

AlarmOccur MaterialHasArrived MaterialHasRemoved & Deleted

4.1.5. オンライン確認装置は E30に記載されているオンライン確認の要件を満たすこと。

4.1.6. エラーメッセージ装置は E30に記載されているエラーメッセージの要件を満たすこと。

4.1.7. コントロール（オペレータ起動）装置は E30に記載されているコントロール（オペレータ起動）の要件を満たすこと。

4.1.8. 文書化装置は E30に記載されている文書化の要件を満たすこと。

4.1.9. 通信確立装置は E30に記載されている通信確立の要件を満たすこと。

4.1.10. 動的イベントレポート設定変更装置は E30に記載されている動的イベントレポートの要件を満たすこと。

4.1.11. 変数データ収集装置は E30に記載されている変数データ収集の要件を満たすこと。

4.1.12. 状態データ収集装置は E30に記載されている状態データ収集の要件を満たすこと。

4.1.13. アラーム管理装置は E30に記載されているアラーム管理の要件を満たすこと。



4.1.14. リモートコントロール装置は E30に記載されているリモートコントロールの要件を満たすこと。

4.1.15. 装置定数装置は E30に記載されている装置定数の要件を満たすこと。また、以下の装置定数を用意すること。

名称適

用型初期値備考

CTRLMODE － INT[1] 0 装置パネルからのコントロールモード変更可／不可設定 0 : 変更可 1 : 変更不可

WAKEUPMODE － INT1[1] 0

装置起動時の初期状態のコントロールモード 0 : オフライン 1 : オンライン-リモート 2 : オンライン-ローカル

UPSIDEFILLER － INT[2] 0

内部バッファ装置における、ボート上(右)側 Filler(定常)使用枚数 0 : 使用しない n : ｎ枚

LOWSIDEFILLER － INT[2] 0

内部バッファ装置における、ボート下(左)側 Filler(定常)使用枚数 0 : 使用しない n : ｎ枚

FILFSTANDCNT － INT[2] 0 FILLER(定常)用 NPW累積使用回数基準値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILFMAXCNT － INT[2] 0 FILLER(定常)用 NPW累積使用回数上限値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILFSTANDTIME － INT[2] 0 FILLER(定常)用 NPW累積使用時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILFMAXTIME － INT[2] 0 FILLER(定常)用 NPW累積使用時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILFSTANDINE － INT[2] 0 FILLER(定常)用 NPW累積装置内保管時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILFMAXINE － INT[2] 0 FILLER(定常)用 NPW累積装置内保管時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILUFSTANDCNT － INT[2] 0 FILLER(非定常)用 NPW累積使用回数基準値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILUFMAXCNT － INT[2] 0 FILLER(非定常)用 NPW累積使用回数上限値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILUFSTANDTIME － INT[2] 0 FILLER(非定常)用 NPW累積使用時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分



名称適

用型初期値備考

FILUFMAXTIME － INT[2] 0 FILLER(非定常)用 NPW累積使用時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILUFSTANDINE － INT[2] 0 FILLER(非定常)用 NPW累積装置内保管時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILUFMAXINE － INT[2] 0 FILLER(非定常)用 NPW累積装置内保管時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

注）データ型は推奨値である。累積使用回数、時間、装置内保管時間の基準値とは、NPWの交換を推奨する値（下限値）を意味し、上限値は NPWの使用限界を示す値を意味する。

4.1.16. プロセスプログラム管理装置は E30に記載されているプロセスプログラム管理の要件を満たすこと。

4.1.17. 材料移送装置は E30に記載されている材料移送の要件を満たすこと。

4.1.18. クロック装置は E30に記載されているクロックの要件を満たすこと。



4.1.19. コントロール（ホスト起動）装置は E30に記載されているコントロール（ホスト起動）の要件を満たすこと。また、次の拡張機能を満たすこと。拡張機能）ホストのリモート及びローカル切り替えコントロールモードのリモートとローカルの切り替えは、ホストコマンドとしてホスト

より送信される。装置はホストコマンドに対応するためのパラメータ名とパラメータ値

を定義すること。

コマンド名パラメータ名パラメータ値

CONTROLMODECHANGE REMOTEMODE 0 : オンライン－リモート 1 : オンライン－ローカル

CARRIRSTATUSCHANGE CARRIERSTATUS 0 : キャリア処理前状態 1 : キャリア処理中状態 2 : キャリア処理完了状態

図 4-3 ホストからのリモート⇔ローカル切り替えシナリオとパラメータ

ホスト装置 S2F41 Host Command Send

S2F42 Host Command Acknowledge



4.2. キャリア管理スタンダード（CMS）キャリア管理スタンダードは、自動及びマニュアルでのキャリア搬送についてホストが情報

を知り、その役割を果たすことを容易にすることを目的としており、次に示す状態モデルを

定義している。・ AMHS機器と製造装置のロードポート間のキャリア搬送・ロードポートのアクセスモード切替え

ロードポートの予約状態・ロードポートとキャリアとの関連状態・キャリア IDの検証、キャリアスロットマップの検証及びキャリアのアクセス状態

4.2.1. 要求条件次に示す CMSの要求条件に準拠していること。

CMS 準拠基本的な CMS 要求条件性能の有無 CMS への準拠備考

ロードポートナンバリング ■有 □無 ■有 □無キャリアスロットナンバリング ■有 □無 ■有 □無ロードポート搬送状態モデル ■有 □無 ■有 □無キャリアオブジェクトの実装 ■有 □無 ■有 □無ロードポート／キャリアの関連状態モデル ■有 □無 ■有 □無キャリア ID 検証のサポート ■有 □無 ■有 □無スロットマップ検証のサポート ■有 □無 ■有 □無追加イベントの実装 ■有 □無 ■有 □無変数データ定義 ■有 □無 ■有 □無アラームの実装 ■有 □無 ■有 □無

追加 CMS 性能性能の有無 CMS への準拠備考関連表示サイン ■有 □無 ■有 □無



4.2.2. 状態モデル製造装置は次に示すホスト視点の状態モデルを持つこと。 (1)ロードポート関連

1.1 AMHS機器とロードポート間の搬送状態モデル AMHS機器とロードポート間の搬送状態は､次の状態モデルに準拠すること。

図 4-4 ロードポートトランスファステート遷移図


LOAD PORT TRANSFER IN SERVICE 状態および OUT OF SERVICE 状態の上位状態

OUT OF SERVICE このロードポートへの搬送、このロードポートからの搬送はできなくなっている。このロー

ドポートを引き続き搬送に利用するには IN SERVICE への遷移が必要である。

IN SERVICE このロードポートへの搬送、このロードポートからの搬送が可能になっている。OUT OF

SERVICE へ遷移するとこのロードポートを搬送に使用できなくなる。

TRANSFER READY IN SERVICE の下位状態。ロードポートをキャリア搬送に使用できる。搬送はマニュアル

かあるいは自動で行い、ロードあるいはアンロードのどちらでもよい。この状態には 2 つ

の下位状態があり、キャリアがロードポートにあるかどうかによって使い分ける。

READY TO LOAD TRANSFER READY 状態に遷移した際、キャリアが指定されたロードポートにないなら、

この下位状態がアクティブになる。この状態の時、外部キャリアあるいはその時点で装

置の内部（つまり内部バッファ）にあるキャリアをロードポートにロードできる。

READY TO UNLOAD TRANSER READY 状態に遷移した際、キャリアが指定されたロードポートにあるなら、こ

の下位状態がアクティブになる。この状態の時、このロードポートからマテリアル搬送装

置へキャリアをアンロードできる。装置がロードポートを使っているときは TRANSFER

BLOCKED へ遷移する。

TRANSFER BLOCKED キャリア搬送はREADY TO LOADでもREADY TO UNLOADでもない。ロードポート関連

の活動が実行されているため、その時点ではこのロードポートからの搬送はできない。

表 4-5 ロードポートトランスファステート定義

LOAD PORT TRANSFERLOAD PORT TRANSFERLOAD PORT TRANSFERLOAD PORT TRANSFERHHHH1111

OUT OF SERVICEOUT OF SERVICEOUT OF SERVICEOUT OF SERVICE

IN SERVICEIN SERVICEIN SERVICEIN SERVICECCCC4444

TRANSFER READYTRANSFER READYTRANSFER READYTRANSFER READY

CCCC5555

READY TO LOADREADY TO LOADREADY TO LOADREADY TO LOAD READY TO UNLOADREADY TO UNLOADREADY TO UNLOADREADY TO UNLOAD

TRANSFER BLOCKEDTRANSFER BLOCKEDTRANSFER BLOCKEDTRANSFER BLOCKED

2222 3333

101010107777 99996666 8888



# 前の状態トリガー新しい状態コメント

1 （状態無し）システムのリセット。 OUT OF

SERVICE

あるいは

IN SERVICE

この遷移はシステムのリセット前のカレント搬

送ステータスが何であったかを基にする。

このイベント報告を取得するために必要な

データ：PortID

2 OUT OF

SERVICE

ホストあるいはオペレータがこのロードポートに

関して IN SERVICE という値を付けて

ChangeServiceStatusサービスを呼び出した。

IN SERVICE この時点でロードポートは搬送に使用可能と

なる。


データ：PortID

3 IN SERVICE ホストあるいはオペレータがこのロードポートに

関して OUT OF SERVICE という値を付けて

ChangeServiceStatusサービスを呼び出した。

OUT OF

SERVICE

ロードポートは搬送に使用できなくなった。

状態遷移後にこのロードポートをキャリア搬送

に使用しようとするとアラームになる。


データ：PortID

4 IN SERVICE サービス：

ホストあるいはオペレータがこのロードポート

に関して IN SERVICE という値を付けて

ChangeServiceStatusサービスを呼び出し

た。

システムリセット：

装置の再初期化によってこの遷移を発生さ

せることができる。

TRANSFER

READY

あるいは

TRANSFER

BLOCKED

IN SERVICE へ入った際のデフォルト状態。キ

ャリアあるいはロードポートがキャリア搬送に

使用できないなら、状態は TRANSFER

BLOCKED になる。そうでなければ

TRANSFER READY である。


データ：PortID

5 TRANSFER

READY

サービス：

ホストあるいはオペレータがこのロードポート

に関して IN SERVICE という値を付けて

ChangeServiceStatusサービスを呼び出し

た。

システムリセット：

装置の再初期化によってこの遷移を発生さ

せることができる。

搬送失敗：

搬送が失敗したら遷移#10によってこの遷移

が発生する。

READY TO

LOAD

あるいは

READY TO

UNLOAD

TRANSFER READY 状態に入った際、キャリ

アがあるなら下位状態は RADY TO

UNLOAD であり、そうでなければ下位状態

はREADY TO LOAD である。

状態が READY TO LOAD の場合、このイベ

ント報告を取得するために必要なデータ

：PortID

状態が READY TO UNLOAD の場合、このイ

ベント報告を取得するために必要な

データ：PortID、CarrierID

6 READY TO

LOAD

マニュアル：

キャリア確認センサがキャリアを検出する。

自動：

PIO ロード搬送が始まり、PIO 準備完了信

号が発生する。

内部バッファ：

このロードポートに関して CarrierOut サー

ビスが開始した。

TRANSFER

BLOCKED

CarrierOut がキューイングされ、装置ロードポ

ートが TRANSFER BLOCKED 状態にある時

は、装置はロードポートを TRANSFER

BLOCKED 状態のままにしておく。


データ：PortID

7 READY TO

UNLOAD

マニュアル：

マニュアルのキャリアアンロード搬送が開始

した。確認センサ信号がキャリアを検出しな

くなったらこれが表示される。

自動：

PIO アンロード搬送が始まり、PIO 準備完了

信号が発生する。


このロードポートに関して CarrierIn サービ

スが開始した。

マニュアル、自動、固定、内部バッファ：

キャリアに対して再度利用することが指示さ

れた

TRANSFER

BLOCKED

CarrierIn がキューイングされ、装置ロードポー

トが TRANSFER BLOCKED 状態にある時

は、装置はロードポートを TRANSFER

BLOCKED 状態のままにしておく。


データ：PortID

8 TRANSFER

BLOCKED

マニュアル：

キャリアアンロード搬送が完了し、ロードポー

トは空になりロード搬送の準備が整ってい

る。

これが表示されるのは2つの条件が満たされ

た場合である。

確認センサ信号がキャリアを検出しなくなっ

た時、および搬送が完了したことがオペレー

READY TO

LOAD

この時点でキャリアを外部エンティティから、あ

るいは装置の内部マテリアル搬送リソースに

よってロードポートへロードできる。


データ：PortID

※１




タに論理的に表示された時。

自動：

PIO アンロード搬送が PIO 完了信号と共に

終了する。


キャリアはロードポートから内部バッファへの

移動を終了し、CarrierOut サービスがこのロ

ードポートに関してキューイングされる。

9 TRANSFER

BLOCKED

マニュアル：

キャリアに入れられているウェーハの処理が

完了した、あるいは CancelCarrier

/CancelCarrierAtPort サービスが発行され

た、そしてキャリアがロードポートのロード/ア

ンロード位置へ戻った。

自動：

キャリアに属しているウェーハの処理が完了

した、あるいは CancelCarrier /

CancelCarrierAtPort サービスが発行され

た、そしてキャリアがロードポートのロード/ア

ンロード位置へ戻った。これは PIO アンロ

ード要求信号によって表示される。


キャリアは内部バッファからロードポートへの

移動を完了した。

READY TO

UNLOAD

この時点でロードポートのキャリアをロードポ

ートから外部エンティティへアンロードできる。

このイベント報告を取得するために必要なデ

ータ：PortID

10 TRANSFER

BLOCKED

搬送が失敗し、キャリアはロードもアンロードも

されなかった。

TRANSFER

READY

遷移 # ５によって決定される TRANSFER

READY の下位状態。

このイベント報告を取得するために必要なデ

ータ：PortID

表 4-6 ロードポートトランスファステート状態遷移定義

※1 トリガの「マニュアル、自動、固定、内部バッファ」の部分のみ Selete にて独自に要求

（SEMI スタンダードに記述なし）



1.2 アクセスモード状態モデル

アクセスモードは、次の状態モデルに準拠すること。

図 4-5 アクセスモード状態遷移図


ACCESS MODE MANUAL 状態および AUTO 状態の上位状態

MANUAL 指定されたロードポートがこの状態にある時は、マニュアル（非 AMHS）キ

ャリア搬送だけが許可される。

AUTO 指定されたロードポートがこの状態にあるときは、自動（AMHS）キャリア

搬送だけが許可される。

表 4-7 アクセスモード状態定義

# 前の状態トリガー新しい状態アクションコメント

1 （状態なし）システムの再スタート。 MANUAL

あるいは

AUTO

（履歴）

アクセスモードは

システムがリセット

される前の状態に

戻る。

このイベント報告を取得するために

必要なデータ：PortGroup

2 MANUAL ホストあるいはオペレータ

が AUTO の値を付けて

ChangeAccess サービスを

実行した。このトリガーは

キャリア搬送時を除いてい

つでも発生させられる。

AUTO この状態遷移後にマニュアル搬送

は許可されない。オペレータは製造

装置のコンソールからもこのトラン

ザクションを引き起こせる。



3 AUTO ホストあるいはオペレータ

が MANUAL の値を付けて

ChangeAccess サービスを

実行した。このトリガーは

キャリア搬送時を除いてい

つでも発生させられる。

MANUAL オペレータは製造装置のコンソー

ルから、あるいはロードポートのマ

ニュアルスイッチでもこのトランザク

ションを引き起こせる。この状態遷

移後に自動搬送は許可されない。



表 4-8 アクセスモード状態遷移定義

MANUAL

AUTO

H

ACCESS MODE

1

2 3



・アクセスモードは、ロードポート毎に管理すること。・アクセスモードの変更は次の期間、禁止されるものとする。・マニュアル時：移載開始時のロードポートオペレーターインターフェイスの

オペレータアクセススイッチ押下から移載終了時のオペレータアクセスス

イッチ押下まで。・オート時：E84 パラレル I/Oインターフェイスを介したハンドシェイクにおいて、

READYを送信してから COMPTを送信するまで。



1.3ロードポート予約の状態モデルロードポート予約の状態は、次の状態モデルに準拠すること。

図 4-6 ロードポート予約状態遷移図


Load Port Reservation NOT RESERVED 状態および RESERVED 状態の上位状態

NOT RESERVED このロードポートに対し、予約がされていない状態

RESERVED このロードポートに対し、将来使用する予約がなされている状態

表 4-9 ロードポート予約状態定義


1 (no state) システムリセット。 NOT

RESERVED

ここではイベントを発生しないこと。

2 NOT

RESERVED

サービス：

ホストまたはオペレータがCancelBindもしくは、

CancelReservationAtPortサービスを装置に予約する。

CarrierOut：

装置主体にてCarrierOut操作を行った場合。

RESERVED このイベント報告を取得するために必

要なデータ：PortID

CarrierIDは、CarrierOutもしくはBind

サービスをトリガーとする。

3 RESERVED サービス：

ホストまたはオペレータがCancelBindもしくは、

CancelReservationAtPortサービスを装置に予約する。

CarrierArrives：

キャリアが予約されたポートに到着した場合。

NOT

RESERVED

このイベント報告を取得するために必

要なデータ：PortID

表 4-10 ロードポート予約状態遷移定義

NOTRESERVED

RESERVED

Load PortReservation1

2 3



1.4 キャリアとロードポート間の関連状態モデルロードポート／キャリア関連状態は、次の状態モデルに準拠すること。

図 4-7 ロードポート／キャリア関連状態遷移図


Load Port / Carrier Association NOT ASSOCIATED 状態および ASSOCIATED 状態の上位状態。

NOT ASSOCIATED このロードポートに対し、キャリアの関連付けがなされていない状態。

ASSOCIATED このロードポートに対し、CarrierID が関連付けされている状態。

この状態のロードポートには新しいキャリアの関連付けができない。

表 4-11 ロードポート／キャリア関連状態定義


1 （状態無し）システムのリセット。 NOT ASSOCIATED

2 NOT ASSOCIATED BINDサービスの実行キャリアID読込み完了時。 ASSOCIATED

3 ASSOCIATED CancelBindサービス実行時CancelCarrierサービ

ス実行時のキャリアアンロード時。

NOT ASSOCIATTED

4 ASSOCIATED CarrierIDの装置照合失敗時。 ASSOCIATED Bindサービス実行時のみ

発生。

表 4-12 ロードポート／キャリア関連状態遷移定義

LOAD PORT/CARRIER ASSOCIATIONLOAD PORT/CARRIER ASSOCIATIONLOAD PORT/CARRIER ASSOCIATIONLOAD PORT/CARRIER ASSOCIATION1111

NOT ASSOCIATEDNOT ASSOCIATEDNOT ASSOCIATEDNOT ASSOCIATED

ASSOCIATEDASSOCIATEDASSOCIATEDASSOCIATED

2222 33334



1.5 ロードポート予約状態とロードポート／キャリア関連状態の関係ロードポート予約状態とロードポート／キャリア関連状態は、次の関係となること。

図 4-8 ロードポート予約とロードポート／キャリア関連状態との関連

Reservation / AssociationReservation / AssociationReservation / AssociationReservation / AssociationVisible Signal（予約済みを示す表示サイン）

Carrier Presence（キャリアがロードポート上にある）

ID ReadReserve

If failsProceedWithCarrier/

CancelCarrieris received

Bind LoadComplete

CarrierOut Start

Carrier OutComplete

Unload orCarrierInComplete

UnloadComplete

RESERVED ASSOCIATED

ASSOCIATED

ASSOCIATED

RESERVED

RESERVED

ASSOCIATED④CarrierOutを使用したアンロード

③Bindを使用したロード

①Bind及びReserveAtPortを使用しない場合のロード②ReserveAtPortを使用したロード



(2) キャリア

2.1 キャリア状態モデルキャリアＩＤの検証は、キャリアＩＤ状態モデル、キャリアスロットマップの検証は、

キャリアスロットマップ状態モデル、キャリアへのアクセス状態は、キャリアアクセッ

シング状態モデルにそれぞれ準拠すること。

図 4-9 キャリア状態遷移図


CARRIER CARRIER ID STATUS、CARRIER SLOTMAP STATUS、および CARRIER

ACCESSING STATUS の上位状態

CARRIER ID STATUS キャリア ID に関する状態を持ち、ID NOT READ、WAITING FOR HOST、ID

VERIFICATION FAILED、IDVERIFICATION OK のサブステータスを持つ。

ID NOT READ キャリア ID が装置によって読み込みが完了していない状態。

WAITING FOR HOST 装置によるキャリア ID の読み込みが成功したか、あるいは失敗した状態で、

ホストからのキャリア ID 照合が完了していない状態。

ID VERIFICATION FAILED ホストでのキャリア ID 照合が行われ、「CancelCarrier」サービスを実行した状

態。

ID VERIFICATION OK ホストまたは装置によるキャリア ID 照合が行われ、キャリア ID 照合が成功し

た状態。

CARRIER SLOTMAP STATUS スロットマップに関する状態を持ち、SLOT MAP NOT READ、WATING FOR

HOST、SLOT MAP VERIFICATION FAILED、SLOT MAP VERIFICATION OK

のサブステータスを持つ。

SLOTMAP NOT READ キャリアが装置に搬入され、装置によるスロットマップの読み込みが完了す

るまでの状態。

CARRIER

1

21

CARRIER SLOT MAP STATUS

SLOT MAP NOT READ

WAITING FOR HOST

SLOT MAP VERIFICATION

OK

SLOT MAP VERIFICATION

FAIL

12

13

14

15 16

C

CARRIER ID STATUS

ID NOT READ

WAITING FOR HOST

ID VERIFICATION

OK

ID VERIFICATION

FAILED

3

4 5

6

7

9

2

8

C 11

10

NOT ACCESSED

IN ACCESS

CARRIER COMPLETE

18

19

17

CARRIER STOPPED

20

CARRIER ACCESSING STATUS

23 22




WAITING FOR HOST ホストからの指示を待っている状態。

SLOTMAP VERIFICATION FAILED スロットマップの読み込みが装置によって行われ、スロットマップ照合のホス

ト照合が失敗した状態。

SLOTMAP VERIFICATION OK スロットマップ照合が完了した状態。

CARRIER ACCESSING STATUS キャリアアクセスに関する状態を持ち、NOT ACCESSED、 IN ACCESS、

CARRIER COMPLETE、CARRIER STOPPED のサブステータスを持つ。

NOT ACCESSED 装置によるキャリアのアクセスがまだ開始していない状態。

この状態であれば、キャリアを搬出することが可能である。

IN ACCESSED 装置によるキャリアのアクセスが開始されており、終了していない状態。

この状態では、キャリアを搬出することはできない。

CARRIER COMPLETE 装置によるキャリアのアクセスが完了し、キャリアが搬出されなければならな

い状態。

CARRIER STOPPED 装置によるキャリアのアクセスが異常終了し、キャリアが搬出されなければ

ならない状態。

表 4-13 キャリア状態定義


1 (no state) 正常:Bindサービスが受信される、あるいはCarrierID

の読取りに成功する。

CARRIER このイベント報告を取得するために必

要なデータ：なし

2 (no state) Bindサービスまたは、Carrier Notificationサービスが

受信される。

ID NOT READ このイベント報告を取得するために必

要なデータ：CarrierID

3 (no state) 正常:

キャリアが到着し、IDリードに成功した。

異常：

キャリアIDリードは成功したが、装置照合結果が失

敗した。

WAITING FOR

HOST


要なデータ：CarrierID、PortID

正常状態では、Bindサービスを使用し

なければ、キャリアID読み込みに成功

した場合に起こり、異常状態では、キャ

リアID読み込みには、成功したが、装置

照合に失敗した場合に起こる。

4 (no state) キャリアID読み込み失敗：

ProceedWithCarrierサービスを受信した。

ID

VERIFICATION

OK



この状態は、Bindサービスを使用してい

ない場合にだけ起こる。

5 (no state) キャリアID読み込み失敗：

CancelCarrierサービスを受信した。

ID

VERIFICATION

FAIL



この状態は、Bindサービスを使用してい

ない場合にだけ起こる。

6 ID

NOT READ

キャリアID読み込みに成功し、装置照合に成功した。 ID

VERIFICATION

OK


要なデータ：PortID、CarrierID

7 ID

NOT READ

キャリアIDの読み込みに失敗した。 WAITING FOR

HOST



8 WAITING

FOR HOST

ProceedWithCarrier サービスを受信した。 ID

VERIFICATION

OK



9 WAITING

FOR HOST

CancelCarrier サービスを受信した。 ID

VERIFICATION

FAIL



10 ID

NOT READ

キャリアID読み込みの省略ができない時に、キャリア

が到着したが、キャリアID Readerが使用できない。

WAITING FOR

HOST



11 ID

NOT READ

キャリアID読み込みの省略が可能な時に、キャリア

が到着したが、キャリアID Readerが使用できない

ID

VERIFICATION

OK



12 (no state) キャリアが到着した。 SLOT MAP

NOT READ

ここではイベントを要求しない。

13 SLOT MAP

NOT READ

スロットマップを読み込み装置照合が成功した。 SLOT MAP

VERIFICATION

OK


要なデータ： PortID (if valid) 、

CarrierID、

LocationID




14 SLOT MAP

NOT READ

ホスト照合正常：

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ読み込み成功し、ホスト照合結果待ち。

装置照合失敗：

スロットマップ読み込みは成功したが、装置照合に

失敗した。

スロットマップ読み込み失敗：

スロットマップを読み込めなかった。

キャリアの中の異常な位置にウェーハがある：

異常ｳｪｰﾊのためにｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ読み込みに失敗した

WAITING FOR

HOST


要なデータ： PortID (if valid) 、

CarrierID 、 LocationID 、 SlotMap (if

valid)

15 WAITING

FOR HOST

ProceedWithCarrier サービスを受信した。 SLOT MAP

VERIFICATION

OK


要なデータ：PortID(if valid)、CarrierID、

LocationID

16 WAITING

FOR HOST

CancelCarrier サービスを受信した。 SLOT MAP

VERIFICATION

FAIL


要なデータ：PortID(if valid)、CarrierID

17 (no state) キャリアオブジェクトが作成された。 NOT

ACCESSED



18 NOT

ACCESSE

D

装置がキャリアへのアクセスを開始した。 IN ACCESS このイベント報告を取得するために必


19 IN ACCESS 装置がキャリアへのアクセスを正常終了した。 CARRIER

COMPLETE



20 IN ACCESS 装置がキャリアへのアクセスを異常終了した。 CARRIER

STOPPED



21 CARRIER 正常：

キャリアが装置からアンロードされた。

サービスにて異常：

CancelBindまたはCancelCarrierNotification

サービスが受信された。

装置による異常：

装置照合に失敗し、装置がCancelBindサービスを

実行した。

(no state) このイベント報告を取得するために必


22 CARRIER

COMPLET

E

装置がキャリアに対して再度利用することを指示され

た。

NOT

ACCESSED



23 CARRIER

STOPPED

装置がキャリアに対して再度利用することを指示され

た。

NOT

ACCESSED



表 4-14 キャリア状態遷移定義

※１ Selete にて独自に要求（SEMI スタンダードに記述なし）

※１ ※１



4.2.3. サービス前提としている運用モデルの範囲で必要なメッセージサービスを示す。

SF コマンド名称説明

CancelCarrier このサービスは現在のキャリア関連のアクションをキャンセルし、キャ

リアをロードポートのアンロード位置あるいは内部バッファへ戻す。戻

す位置はキャリアの製造装置内での位置によって決まる。

CancelCarrierAtPort このサービスは現在のキャリア関連のアクションをキャンセルし、製造

装置はキャリアをロードポートのアンロード位置へ戻す。

ProceedWithCarrier このサービスは製造装置に指定されたキャリアを使って処理を続行

するよう指示する。

S3F17

CarrierOut このサービスはキャリアを内部バッファからロードポートへ移動させ

る。このサービスは、製造装置によってキューイング可能である。

S3F23 ChangeAccess このサービスは製造装置の指定されたポートのアクセスモードを変更

する。

S3F25 ChangeServiceStatus このサービスは製造装置の指定されたロードポートの搬送ステータス

を変更する。

・キャリアの用途（製品、NPW 等）の区別は、キャリアの属性を表す情報であるキャリアの用途情報（Usage）でおこなうこと。

・キャリア IDでキャリア種別を判断しないこと。キャリア ID照合時のProceedWithCarrierサービス内にコンテンツマップ情報が含まれていた場合には、その情報にてウェーハオブジェクトの識別子をつけること。・キャリアに対する処理が継続中のキャリアに対して、ホストからの指示にて、そのキャ

リアを搬出可能状態とするために、次のリモートコマンドをサポートすること。

コマンド名パラメータ名パラメータ値

CARRIERCOMPLETE CARRIERID キャリア ID : キャリア処理終了状態にするキャリア ID

ホスト装置 S2F41 Host Command Send

S2F42 Host Command Acknowledge



4.2.4. キャリア属性

前提としている運用モデルの範囲で必要な属性を示す。

名称定義アクセス要求形式

ObjType オブジェクトタイプ RO Y 1 から 40 文字の Text “Carrier”となる。

ObjID オブジェクト識別子 RO Y 1 から 80 文字の Text CarrierID

と等しい。

Capacity キャリア内のウェーハ枚数の大値 RO Y 正の整数

SubstrateCount キャリア内の現在のウェーハ枚数 RO Y 大でも ”Capacity“以下の整数。

CarrierIDStatus 現在のキャリア ID 照合ステータス RO Y Enumerated:

ID NOT READ, ID READ,ID VERIFICATION OK,

ID VERIFICATION FAILED

CarrierAccessingStatus 現在のキャリアアクセッシングステータス

RO Y Enumerated: NOT ACCESSED, IN ACCESS, CARRIER

COMPLETE, CARRIER STOPPED

ContentMap ロットとウェーハ ID 識別子のリスト。

スロットの１、２および３…ｎと一致している

RO Y List of n structures

n の値は、“Capacity”に等しく、それぞれの構造体は、 LotID とSunstrateID を含む:

1(LotID,SubstrateID) n(LotID,SubstateID) 始めの数字は､スロット位置に

一致する。 LotID がホストから指示されなければ、LotID は null となり構造体

は、次のようになる。 n(“”,SubstrateID) スロットにウェーハがない場合

には、構造体は、次のようになる。 n(“”,””).

LocationID 現在位置の識別子 RO Y 1 から 80 文字の Text

SlotMap スロットマップの読み込みが成功する

までは、ホストから提供され、その後装置によって読み取られるスロット毎のステータスのリスト

RO Y List of 1 to n（n は、大で

“Capacity”以下となる） 1.Enumerated1. n.Enumeratedn.

Enumerated: UNDEFINED,EMPTY, NOT EMPTY,CORRECTLY

OCCUPIDE,DOUBLE SLOTTED,CROSS SLOTTED.(NOT EMPTY は、

スロットのウェーハを正しく検出できない場合を含む）

SlotMapStatus 現在のスロットマップ照合ステータス RO Y Enumerated: SLOT MAP NOT READ, SLOT MAP READ SLOT

MAP VERIFICATION OK, SLOT MAP VERIFICATION FAILED

Usage

キャリアに含まれている材料のタイプ（例えば、 TEST 、 DUMMY 、PRODECT、FILER など）

RO Y Text 装置により定義される

表 4-15 キャリア属性



4.2.5. イベント前提としている状態モデルの範囲での状態遷移のタイミングにて発生するイベントを示す。

イベント名称イベントの基準ステートモデル ReadyToLoad to TransferBlocked TransferBlocked to ReadyToUnload TransferBlocked to ReadyToLoad ReadyToUnload to TransferBlocked InService to OutofService

ロードポートトランスファステータス

Manual to Auto Auto to Manual

アクセスモード

NotReserved to Reserved Reserved to NotReserved

ロードポート予約状態

NotAssociated to Associated Associated to NotAssociated

ロードポート／キャリア関連状態

NotState to WaitingForHost WaitingForHost to IDVerificationOK WaitingForHost to IDVerificationFail

キャリア ID ステータス

SlotmapNotRead to WaitingForHost WaitingForHost to SlotmapVerificationOK WaitingForHost to SlotmapVerificationFail NoStateToWaitingForHost

キャリアスロットマップステータス

NotAccessed to InAccess InAccess to CarrierComplete InAccess to CarrierStopped CarrierComplete to NotAccessed CarrierStopped to NotAccessed

キャリアアクセッシングステータス

Approaching Complete Deleted

キャリアステータス

追加要求として状態遷移のタイミングとは、関係のないイベントを示す。イベント名称説明

CarrierOpened キャリアのドアが開けられたとき CarrierClosed キャリアのドアが閉められたとき BufferCapacityChange 内部バッファの物理的、論理的容量が変化したとき CarrierLocationChange キャリアの位置が変化したとき CarrierID Read Fail キャリア ID の読込みに失敗したとき



4.2.6. 装置定数装置定数として次の項目を設定可能とすること。

名称適用型初期値備考

ACCESSMODE － INT1[1] 2

アクセスモード変更条件 0 : ホストのみ 1 : 装置パネルのみ 2 : 双方可

UNDOCKSTYLE － INT1[1] 0

Carrier Complete 時の Undock 動作タイミング

0 : CarrierComplete 1 : 排出処理開始

UNCLAMPSTYLE － INT1[1] 0

Carrier Complete 時の Unclamp 動作タイミング

0 : CarrierComplete 1 : 排出処理開始

MANUALTIMER － INT[1] 0 マニュアル搬入出時の搬入出完了タイマー値(秒) （タイマー値を 0 とするとタイムアップしない）

MANUALINTYPE － INT[1] 0

マニュアル搬入時のオペレーションタイプ 0 : 搬入開始時：スイッチ押下

搬入終了時：スイッチ押下 1 : 搬入開始時：スイッチ押下

搬入終了時：タイマー 2 : 搬入開始時：オペレーションなし

搬入終了時：タイマー 3 : 搬入開始時：オペレーションなし

搬入終了時：スイッチ押下

MANUALOUTTYPE － INT[1] 0

マニュアル搬出時のオペレーションタイプ 0 : 搬出開始時：スイッチ押下

搬出終了時：スイッチ押下 1 : 搬出開始時：スイッチ押下

搬出終了時：タイマー 2 : 搬出開始時：オペレーションなし

搬出終了時：タイマー

注）データ型は推奨値である。



4.2.7. 状態変数前提としている状態モデルでの状態を示す。ステータスモデル状態

Out of Service Transfer Blocked Ready to Load

ロードポートトランスファーステータス

Ready to Unload Associated

ロードポート／キャリア関連状態 Not Associated Reserved

ロードポート予約状態 Not Reserved ID Not Read Waiting for Host ID Verification OK キャリア ID ステータス

ID Verification Failed Slotmap Not Read Waiting for Host Slotmap Verification OK キャリアスロットマップステータス

Slotmap Verification Fail Not Accessed In Access Carrier Complete

キャリアアクセシングステータス

Carrier Stopped

4.2.8. アラーム次に示すアラーム項目に準拠すること。また、この状態が発生した場合には、アラームを通

知すること。なお、’×’は、アラームテキスト毎に関連及び影響があると思われる項目につけられている。

危険度影響アラームテキスト

潜在切迫オペレータ装置マテリアルパラレル I/O 失敗 ×××× ×××× ×××× ×××× アクセスモード違反 ×××× ×××× ×××× ×××× キャリア ID 読み取り失敗 ×××× ×××× ×××× ×××× キャリア検証失敗 ×××× ×××× スロットマップ読み取り失敗 ×××× ×××× ×××× ×××× スロットマップ検証失敗 ×××× ×××× ×××× スロットマップ状態エラー（ダブルスロット、クロススロット等）

×××× ×××× ××××

OUT OF SERVEICE のロードポート

を使おうとした ×××× ×××× ××××

キャリアプレゼンスセンサーエラー ×××× ×××× ×××× ×××× キャリアプレイスメントセンサーエラー ×××× ×××× ×××× ×××× キャリアクランプ／アンクランプの失敗 ×××× ×××× ×××× キャリアドック／アンドックの失敗 ×××× ×××× ×××× キャリアオープン／クローズの失敗 ×××× ×××× ×××× 内部バッファキャリア移動失敗 ×××× ×××× ×××× キャリアＩＤの重複 ×××× ×××× キャリア移動失敗 ×××× ×××× ×××× ××××


※１



68

4.2.9. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係キャリアの搬入、プロセス処理、キャリア搬出までの一連の動作と状態モデルの遷移との関係を次に示す。

LTS LCAS LPR CS

CIDS CSMS CAS ＃運用＃処理ｽﾃｰﾀｽｲﾍﾞﾝﾄｽﾃｰﾀｽｲﾍﾞﾝﾄｽﾃｰﾀｽｲﾍﾞﾝﾄ

ｽﾃｰﾀｽｲﾍﾞﾝﾄｽﾃｰﾀｽｲﾍﾞﾝﾄｽﾃｰﾀｽｲﾍﾞﾝﾄ

コメント物理的動作

0 初期状態

1 搬入移載 1-1 AMHSが到着しキャリア移載（搬入）

開始

Ready

ToLoad

NotAss

ociated

NotRes

erved

No

State

No

State

No

State

1-2 キャリアハンドオフ開始

Transf

erBloc

ked

Transf

erBloc

ked

E84ReadyON になった

時

1-3 キャリアPresenceセンサーON

1-4 キャリアPlacementセンサーON

1-5 キャリアハンドオフ完了

E84 COMPT

OFFになった時

2 キャリアID

照合

2-1 キャリアをデリバリポジションにてクラ

ンプする

2-2 CarrierID読取り

（キャリアIDが読み込めた）

Waiting

ForHos

t

Waiting

ForHos

t

SlotMa

p

NotRea

d

SlotMa

p

NotRea

d

NotAcc

essed

NotAcc

essed

2-3 ロードポートステータス送信 Associ

ated

Associ

ated

2-4 CarrierID照合OK

2-5 CarrierID照合完了 ID

Verific

ationO

K

ID

Verific

ationO

K

ProcessModule

AMHS

PIO

ProcessModule

Clamp

CarrierID

読込み

ProcessModule

内部バッファ

キャリア

ロードポート FIMS ポート

EFEM

AMHS

PIO



69

LTS LCAS LPR CS




3 内部バッファ 3-1 バッファキャパシティ変更報告

保管 3-2 キャリアロケーション変更報告

3-3 ロードポートステータス送信

3-4 ロードポート搬入可能状態

NotAss

ociated

NotAss

ociated

1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで

1-1～3-4が繰返される

Ready

ToLoad

Ready

ToLoad

4 レシピの確認 4-1 レシピリスト確認

4-2 LOAD問合せ

（装置にレシピがない場合）

4-3 プロセスプログラム送信

4-4 レシピ妥当性送信

5 PJ作成 5-1 PJの空きスペースの確認

CJ作成 5-2 CJの空きスペースの確認

CJ、PJ実行 5-3 PJ生成

5-4 PJ生成完了

5-5 CJ生成

5-6 CJ生成完了

5-7 CJ選択報告

5-8 CJ実行報告

5-9 PJ開始準備

6 スロット

マップ照合

6-1 キャリアロケーション変更報告

（内部バッファからFIMSポートへ）

6-2 キャリアがドックドポジションで自動

でドックされる

6-3 FOUP Open

6-4 スロットマップ読込み完了

6-5 ウェーハオブジェクト作成

6-6 サブストレート取得

6-7 スロットマップ照合OK

Waiting

ForHos

t

Waiting

ForHos

t

6-8 スロットマップ照合完了 SlotMa

pVerifi

cation

OK

SlotMa

pVerifi

cation

OK

ProcessModule

AMHS

PIO

キャリア

ProcessModule

ProcessModule

SlotMap読込みDock



70

LTS LCAS LPR CS




7 処理中 7-1 キャリア処理中

7-2 ウェーハ移動

（ウェーハがキャリアから取られた）

Carrier

InAcce

ss

Carrier

InAcce

ss

7-3 ｳｪｰﾊ移動（キャリアからボートへ）


（ウェーハがボート移動した）

キャリア内のウェーハ枚数分7-2～7-4を繰

返す

7-5 FOUP Close


（FIMSポートから内部バッファへ）

バッチ数分6-1～7-6を繰返す

7-7 Boat Load開始（PJ開始報告）

7-8 ウェーハ実処理開始

8 処理終了 8-1 ウェーハ実処理完了

8-2 アプローチングイベント報告 ApproachingCompleteイ

ベント送付。このイベン

トが送付されるタイミン

グは設定に依存する。

8-3 Boat Unload完了

（PJプロセス終了報告）

ProcessModule

ProcessModule

処理済ウェーハ

ProcessModule

未処理ウェーハ



71

LTS LCAS LPR CS




9 内部バッファ

保管



9-2 FOUP Open


（ウェーハがポートから取られた）

9-4 ｳｪｰﾊ移動（ボートからキャリアへ）


（ウェーハがキャリアへ移動した）

キャリア内のｳｪｰﾊ枚数分9-3～9-5を繰返す

9-6 PJ完了報告

9-7 CJ完了報告

9-8 CJ削除

9-9 CJ削除報告

9-6～9-9はﾊﾞｯﾁ終ｷｬﾘｱ処理終了時のみ

9-10 FOUP Close

9-11 キャリア処理完了



Carrier

Comple

te

Carrier

Comple

te


10 キャリア搬出 10-1 キャリア払出指示

10-2 キャリア払出

（内部バッファ→ロードポート）


Transf

erBloc

ked

Transf

erBloc

ked

10-4 キャリアロケーション変更通知

Associ

ated

Associ

ated

10-5 キャリアがロードポートに払出され

る

10-6 キャリア搬出可能 Ready

To

Unload

Ready

To

Unload

10-7 AMHSが到着しキャリア移載（搬出）

開始

10-8 キャリアハンドオフ開始

Transf

erBloc

ked

Transf

erBloc

ked

10-9 キャリアPresenceセンサーOFF

10-10 キャリアPlacementセンサーOFF

10-11 キャリアハンドオフ完了

10-12 キャリアオブジェクト消滅

10-13 サブストレートオブジェクト消滅

No

State

Delete

d

No

State

Delete

d

No

State

Delete

d


10-15 ロードポート搬入可能状態

NotAss

ociated

NotAss

ociated

1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで

10-1～10-15が繰返される

Ready

ToLoad

Ready

ToLoad

終了状態 Ready

ToLoad

NotAss

ociated

No

State

No

State

No

State

表 4-16 CMS 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係

ProcessModule

ProcessModule

AMHS Clamp

ProcessModule

AMHS Unclamp



73

4.3. コントロールジョブ管理（CJM）コントロールジョブは、装置における１個以上のキャリアに対する装置の処理を定義する。

装置に対する処理とは、キャリア中の材料に対する１個以上のプロセスジョブによって表さ

れる。

4.3.1. 要求条件次に示す CJMの要求条件に準拠していること。

CJM 準拠基本的な CJM 要求条件性能の有無 CJM への準拠備考

プロセスジョブ起動／監視 ■有 □無 ■有 □無マイルストン報告機能 ■有 □無 ■有 □無コントロールジョブオブジェクトの実装 ■有 □無 ■有 □無コントロールジョブ状態モデル ■有 □無 ■有 □無コントロールジョブ待ち行列の実装 ■有 □無 ■有 □無コントロールジョブサービスの実行 ■有 □無 ■有 □無

追加 CJM 性能性能の有無 CJM への準拠備考コントロールジョブの順次実施 ■有 □無 ■有 □無コントロールジョブの並行実施 ■有 □無 ■有 □無コントロールジョブの動的変更 ■有 □無 ■有 □無

4.3.2. 状態モデル製造装置は次に示すホスト視点の状態モデルを持つこと。

図 4-10 コントロールジョブ状態遷移図

QUEUED

SELECTED

WAITING FOR START

EXECUTING PAUSED

COMPLETED

C6

3

4

57

8

9

CONTROL JOB

ACTIVE

2

11 1210

13

1



74


QUEUED コントロールジョブはそれが生成、または de-selection した後にキューに格納される。新しく生成さ

れたコントロールジョブはキューの後尾に位置する。

SELECTED この状態では、コントロールジョブは定められたプロセスジョブを起動しないため、プロセス条件を

変更することができる。プロセス実行資源はこの状態にあるコントロールジョブによって予約されて

いる。コントロールジョブによって要求されている材料が到着しない場合、コントロールジョブはこの

状態を保持する。しかし、コントロールジョブが材料を必要としない場合、またはコントロールジョブ

に付随する初のプロセスジョブが材料を必要としない場合は、この状態を即座に抜ける。

WAITING FOR START コントロールジョブがマニュアルまたはホストからのスタートコマンドを待っている状態である。コン

トロールジョブは StartMethod が FALSE（UserStart）に設定されている材料が到着した場合のみ、

この状態に遷移する。

EXECUTING コントロールジョブに付随するプロセスジョブは、そのプロセスジョブが必要とする資源が利用可能

となり、材料が確認された時、コントロールジョブで指定された順番に起動される。

PAUSED コントロールジョブがこの状態にある場合、そのコントロールジョブに付随するプロセスジョブの始

動を開始してはいけない。

この状態において、「PROCESSING」状態に入っていないプロセスジョブは変更することができる。

またコントロールジョブの各種の属性も変更可能である。

COMPLETED 付随するすべてのプロセスジョブが完了、停止、あるいは中止している状態である場合にこの状

態に入る。この状態においてコントロールジョブはその属性に付いての要求に応答できる。

表 4-17 コントロールジョブ状態定義



75


1 (No state) オペレータコンソールを通してホストあるいはオ

ペレータから"Create"命令を受信。 QUEUED ジョブ待ち行列が一杯の場合、Create

要求は拒否される。 2 QUEUED オペレータコンソールを通してホストあるいはオ

ペレータから"Cancel","Abort"あるいは"Stop"命令を受信。

(No state) 他のコントロールジョブが待ち行列中で

キャンセルされたジョブの後に待ってい

る場合は、キャンセルされたコントロー

ルジョブが待ちを離れた後でギャップを

埋めて前にシフトする。 3 QUEUED 処理資源が次の ControlJob 作業を開始する

量をもつ。 SELECTED 装置においては材料を必要としない。

4 SELECTED オペレータコンソールを通してホストあるいはオ

ペレータから"De-select"命令を受信、コントロ

ールジョブのための材料は未着。

QUEUED この命令は、待ちの頭にあるジョブのた

めの資源が利用可能でない場合は拒

否されなければならない。 Queue Model を参照。

5 SELECTED 初の（あるいは唯一の）プロセスジョブが材料

を要求しない場合に初のプロセスジョブのた

めの材料が到着しあるいはケースの中にある

場合、この遷移はそのプロセスジョブのための

資源が利用可能になると直ちに起きなければな

らない。ControlJob の中の"StartMethod"属性

は Auto に設定される。

EXECUTING キャリアに関連するプロセスジョブはキ

ャリアについての識別子とウェーハスロ

ットマップが確認されるまで起動しな

い。材料を使用しないプロセスジョブは

直ちに起動できる。

6 SELECTED コントロールジョブの中の"StartMethod"属性が

ユーザー始動に設定されている以外は遷移5に

同じ。

WAITING FOR START

7 WAITING FOR START

User START 命令受信。 EXECUTING 遷移5に同じ。

8 EXECUTING オペレータコンソール又は ControlJob を通し

てホストあるいはオペレータから"Pause"メッセ

ージを受信、 PauseEvent が発生。

PAUSED 開始していないプロセスジョブはこの状

態で変更可能。

9 PAUSED オペレータコンソールを通してホストあるいはオ

ペレータから"Resume"メッセージを受信。 EXECUTING

10 EXECUTING ControlJob のために規定する全ての ProcessJobs が完了。

COMPLETED 後処理の完了を含んでよい。

11 ACTIVE オペレータコンソール又はControlJobを通して

ホストあるいはオペレータから"CJStop"メッセー

ジを受信あるいはControlJob下の全てのプロ

セスジョブが停止し材料プロセスが停止。

COMPLETED

12 ACTIVE オペレータコンソールを通してホストあるいはオ

ペレータから"CJAbort"メッセージを受信あるい

は ControlJob の下の全てのプロセスジョブが

中断し材料プロセスが中断。

COMPLETED

13 COMPLETED ControlJob の削除。 (No state) ジョブが少なくとも一日間継続した後に

装置はCOMPLETED ジョブのために

この機能を自動的に実施すべきであ

る。

表 4-18 コントロールジョブ状態遷移定義

76


SF コマンド名称説明

S14F9 CJCreate

サービスユーザーは、新しいコントロールジョブオブジェクトを生成し

てその属性の値を１つ以上割り当てるよう、サービス提供者に要求

できる。そのオブジェクトタイプに許可されていない属性をセットしよ

うとする場合には要求は拒否される。 S14F11 CJDelete ControlJobの削除を要求。

CJPause ControlJob一時停止。 CJResume 一時停止ControlJobのEXECUTING状態への移行を要求。 CJCancel 待ち行列からジョブの削除を要求。 CJStop ControlJobの終了を要求。

S16F27

CJHOQ 特定のコントロールジョブを次に走るコントロールジョブとしての設定

要求。

・装置は複数キャリアを制御する１つのコントロールジョブの作成を許可すること。・装置はコントロールモードに関わらず、コントロールジョブのキュー状態を管理すること。・装置はオンラインリモート時に上位からの要求によりいつでもコントロールジョブのキ

ュー順序状態をホストに通知する機能を持つこと。・装置はオンラインリモート時、ホスト通信によりコントロールジョブのキュー順序操作

（指定ジョブのキュー先頭への移動）を可能とすること。・ QTAT処理を実現するためには、コントロールジョブが Queued状態から Selected状態へ移行できないようにする必要がある。そのために、コントロールジョブのアトリビュート

に以下の項目を追加すること。また、この属性値は、コントロールジョブが Queued状態から Selected状態へ移行するタイミングにてチェックをおこなうこと。

Attribute Type Comments Damming Boolean Queued状態から Selected状態に移行可/不可

True:状態変更禁止 False:状態変更可能 <Default>

・ＣＪ作成時には、次のチェックをおこなうこと。・ＣＪ作成用の空きエリアがあること。・ＣＪの中に指定されたＰＪが存在すること。また、エラー発生時には、エラーコードの内容にてエラー内容の判断が可能なこと。



77

4.3.4. コントロールジョブ属性前提としている運用モデルの範囲で必要なコントロールジョブの属性を示す。

名称定義要求アクセス形式

ObjID ホストが定義するコントロールジョブの識別子 Y RO Text

ObjType オブジェクトタイプ Y RO Text＝‘ControlJob’

CurrentPRJob 現在実行中のプロセスジョブの識別子。プロセ

スジョブが中断中も含む。

Y RO (list of)

PRJobID （see SEMI E40）

DataCollectionPlan コントロールジョブの実行中に使用されるDataCollectionPlan の識別子

Y RW Text

CarrierInputSpec コントロールジョブで使用される材料のキャリア

ID のリスト。空リストも可能。

Y RW (list of)

CarrierID

MtrlOutSpec プロセス終了後の供給元から搬出先への材料

搬送情報。ユニキャリアオペレーションであれば、空リストとなる。CarrierInputSpec が空リストの場合も空リストとなる。

Y RW List of Structure:

SourceMap DestinationMap

MtrlOutByStatus 処理された材料の状態により留まることができる装置内の位置やキャリアの位置情報

Y RW List of Structure: Destination MaterialStatus

PauseEvent コントロールジョブが Pause 状態に移行するイベント ID

Y RW (list of) EventID

ProcessingCtrlSpec このコントロールジョブ内で動作する各プロセスジョブと起動ルールを定義する

Y RW (list of) Structure: PRJobID ControlRule

OutputRule

ProcessOrderMgmt プロセスジョブが開始される順序を決める方法

を定義する

Y RW Enumeration:

List ARRIVAL OPTIMIZE

StartMethod コントロールジョブが自動的に開始することができるか決定する論理的なフラグ。UserStart は、ホストからの通信または、オペレータコンソール

から与えられる。

Y RO Boolean: TRUE－Auto FALSE－UserStart

State コントロールジョブの現在のステータス Y RO Enumerated:

Per State Model

Damming Queued 状態から Selected 状態への状態変更可能／禁止を設定する。

状態変更可能を初期値とする。

Y RW Boolean: TRUE－

状態変更禁止 FALSE－状態変更可能

※１ Seleteにて独自に要求（SEMIスタンダードに記述なし）

表 4-19 コントロールジョブ属性

データ識別子記述形式

CarrierID ウェーハの供給元または搬出先となるキャリアの識別子 Text

ControlRule 付加的なジョブコントロール機能を提供する。この機能は装置タイプ

に依存する。プロセス結果を元にしたプロセス情報の修正に使用されるかもしれない。この属性を使用しない装置では、サポートしない。装置サプライヤはこの属性をサポートする場合には、文書化が必要と

なる。

(list of) Structure:

RuleName RuleValue

Destination ウェーハを置くことができるロケーションの識別子。（識別子は、E90

ウェーハトラッキングスタンダードに従う）

Text

※１



78


DestinationMap

処理を終了した材料キャリアを置くことができる場所。

もし、キャリアポジションのリストが空ならば供給元の順序に従う

Structure:

CarrierID List of SubstrateLocation

MaterialStatus コントロールジョブにより処理が終了した材料に与えられる状態。MaterialStatus と搬出先との関連づけにより、コントロールジョブが材

料を希望の搬出先へ移動することを可能とする。

Equipment dependent

enumeration

OutputRule プロセスジョブの結果に基づく材料状態（Good , Reject , Aborted , Monitor など）を定義する

Equipment dependent

PRJobID SEMI E40 により定義されるプロセスジョブの識別子ホストは、プロセスジョブを作成する時と同じ名前を

ProcessingCtrlSpec に入れなければならない。注：SEMIE40 プロセスジョブによって材料はレシピと関連づけられる

SEMI E40 参照

Rule Value コントロールルールを実行するために装置によって使用される値 Equipment

dependent

RuleName コントロールルールの識別子 Text

SourceMap 処理のために持っていかれる材料の位置情報。位置情報が空であれば、昇順に処理される。

Structure: CarrierID List of

SubstrateLocation

SubstrateLocation ウェーハの供給元、搬出先の位置。キャリアは複数の搬出先を持つ

位置の例となる。キャリア内のウェハの SubstrateLocation はスロット番号となる。

numeric

表 4-20 コントロールジョブ属性データ定義


イベント名称イベントの基準ステートモデル Create and Queued Queued to Selected Selected to Executing Executing to Complete Deleted JobWaitingForStart Paused Resumed Stopped Aborted ControlJobCanceled

コントロールジョブステータス


Queued Selected Waiting for Start Executing Paused


Completed



79

4.3.7. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係キャリアの搬入、プロセス処理、キャリア搬出までの一連の動作と状態モデルの遷移との関

係を示す。 CJ

＃運用＃処理ステータスイベント

コメント

0 初期状態 NoState

1 搬入移載

2 キャリアID照合

3 内部バッファ保管

4 レシピの確認




5-4 PJ生成完了

5-5 CJ生成

5-6 CJ生成完了 Queued Queued

5-7 CJ選択報告 Selected Selected

5-8 CJ実行報告 Executing

5-9 PJ開始準備

Execution

Began

6 スロットマップ照

合



6-2 FOUP Open





6-7 スロットマップ照合完了


7-2 ウェーハ移動（ウェーハがキャリアから取られた）

7-3 ウェーハ移動（キャリアからボートへ）

7-4 ウェーハ移動（ウェーハがボート移動した）

キャリア内のウェーハ枚数分7-2～7-4を繰返す

7-5 FOUP Close







8-2 アプローチングイベント報告

8-3 Boat Unload完了（PJプロセス終了報告）

9 内部バッファ保

管



9-2 FOUP Open

9-3 ウェーハ移動（ウェーハがボートから取られた）

9-4 ウェーハ移動（ボートからキャリアへ）

9-5 ウェーハ移動（ウェーハがキャリアへ移動した）

キャリア内のウェーハ枚数分9-3～9-5を繰返す

9-6 PJ完了報告

9-7 CJ完了報告 Complete Complete

9-8 CJ削除

9-9 CJ削除報告 NoState Deleted

9-6～9-9は、バッチの後のキャリアの処理終了時のみ

9-10 FOUP Close


9-12 キャリアロケーション変更報告（FIMSポートから内部バッファ

へ）


10 キャリア搬出

終了状態 NoState

表 4-21 CJM 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係



80

コントロールジョブの状態遷移タイミングの例を示す。

No. 動作 CJ

0 内部バッファへ搬入 -

ジョブを生成 Queued

1 FIMSポートへ移動開始 Executing

2 FIMSポートへ移動完了

2' SlopMap読込み完了

3 Boatへ移動開始

4 Boatへ移動完了

5 BoatLoad開始

5' 実処理開始

6 実処理終了

6' BoatUnload完了

7 キャリアへ移動開始

8 キャリアへ移動完了 Complete

9 内部バッファへ移動開始

10 内部バッファへ移動完了

図 4-11 コントロールジョブ状態遷移タイミング（Executing～Complete）

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0

内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファモジュールモジュールモジュールモジュール

Location Change

Processing



81

4.4. プロセスジョブ管理（PJM）プロセスジョブは、プロセス実行資源に、材料に対するプロセスを指定してトラッキングを

定義する。材料と処理条件を指示し、材料のプロセス状態の管理をおこなう。

4.4.1. 要求条件次に示す PJMの要求条件に準拠していること。

PJM 準拠基本的な PJM 要求条件性能の有無 PJM への準拠備考

プロセスジョブ処理機能 ■有 □無 ■有 □無マイルストン報告機能 ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブ Abort 機能 ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブオブジェクトの実装 ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブ状態モデル ■有 □無 ■有 □無不完全／不正データ要求拒否 ■有 □無 ■有 □無非サポート機能拒否機能 ■有 □無 ■有 □無

追加 PJM 性能性能の有無 PJM への準拠備考前処理／後処理 ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブ Stop／Pause／Resume 機能 ■有 □無 ■有 □無マニュアル処理開始 ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブの Cancel ■有 □無 ■有 □無材料グループ処理 ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブの同時並行処理 ■有 □無 ■有 □無材料無しプロセスジョブ ■有 □無 ■有 □無プロセスジョブ状態変更通知 ■有 □無 ■有 □無



82

4.4.2. 状態モデル製造装置は次に示すホスト視点の状態モデルを持つこと。

図 4-12 プロセスジョブ遷移図


PRJOB QUEUED この状態では、プロセスジョブが PRJobCreate/Acknowledge ( PRJobCreate Enh ,

PRJobDuplicateCreate , PRJobMultiCreate)メッセージを経てプロセス実行資源に受容

され、処理の実行を待っている状態である。

PRJOB ACTIVE アクティビティに関連するすべての処理が実行される。この状態にある間、プロセスジョ

ブは 4 つの同列名サブセットがあり、これらによりジョブステートを十分説明できる。4 つ

のサブセットとは、Executing、Abort、Stop、Pause、である。

EXECUTING PRJOB ACTIVE のサブステートである。

SETUP この状態にある間、プロセス実行資源は前処理を行い、材料の到着を待ち、材料の処

理に備えている。前処理とはプロセス実行資源において材料の到着に先立ってレシピ

が要求するすべての操作のことである。

WAITING FOR START この状態はマニュアルでスタートする場合にのみ用いられる。

PROCESSING 実際の材料処理を実施している間、この状態となる。

PROCESSING COMPLETE 材料処理が完了するとこの状態となる。プロセス実行資源は材料が払い出され、その

後必要な後処理が実行されるのを待つ。後処理とは、材料の払い出し後にレシピが要

求するプロセス実行資源におけるすべての操作のことである。

PAUSE PRJOB ACTIVE のサブステートである。

NOT PAUSED この状態でジョブは正常に進行する。デフォルトではまず NOT PAUSED の状態となる。

PAUSING プロセス実行資源は初の完全で継続可能な一時停止ポイントまで継続し、その後ア

クティビティを停止する。このアクティビティは、アクティビティの再開が見込め、材料が

完全に維持でき、処理の終目標が達成されるポイントにおいてのみ停止する。

PAUSED すべてのアクティビティは停止しており、プロセスジョブはレジュームコマンドを待ってい

る状態。

ABORT PRJOB ACTIVE のサブステートである。

NOT ABORTING ABORT（中止）の手続きが行われていない状態であり、プロセスジョブは正常に実行さ

れている。

PRJOB QUEUED

SETUP

WAITING FOR START

PROCESSING

PROCESSINGCOMPLETE

NOT PAUSED

PAUSING

PAUSED

NOT STOPPING

STOPPING

NOT ABORTING

ABORTING

Process JobCreated

Process JobCanceled

Process JobComplete

1

2

19

c12

10

11

9

Abort Stop

PausePR JOB ACTIVE

6

3

4

5

7

8 15 18

Executing

13

14

16

17



83


ABORTING ABORT の手続きがされており、直ちにプロセスジョブを終了させている状態である。プ

ロセス実行資源には、安全な状況でもっとも迅速に物理的な挙動を終わらせる責任が

ある。

STOP PRJOB ACTIVE のサブステートである。

NOT STOPPING STOP（停止）の手続きが行われていない状態であり、プロセスジョブは正常に実行され

ている。

STOPPING STOP の手続きがされており、規定に沿った方法で処理を終了させている状態である。

プロセス実行資源には、実行中のアクティビティを次の安全で都合のよいポイントで材

料を完全に保ちながら終了させる責任がある。

表 4-22 プロセスジョブステート定義


1 （ﾌﾟﾛｾｽｼﾞｮﾌﾞ生成）プロセス実行資源が"PRJobCreate"を受け付けた。 PRJOB QUEUED 2 PRJOB QUEUED プロセス実行資源がプロセスジョブに割り当てられた。 PRJOB ACTIVE 3 NOT PRJOB ACTIVE "実行（Executing）"の並列状態へのデフォルト・エントリ SETUP 4 SETUP 材料があり、処理できる状態になった。

"PRProcessStart"属性がセットされている。 PROCESSING

5 SETUP 材料があり、処理できる状態になった。 "PRProcessStart"属性がセットされていない。

WAITING FOR START

6 WAITING FOR START

"PR Job Start Process"を受信した。 PROCESSING

7 PROCESSING 材料の処理が終了した。 PROSESSING COMPLETE

8 PROSESSING COMPLETE

材料が払い出された。資源の後処理が終了した。或いは、

同一材料に対し、別のプロセスジョブが割りつけられた。 Process Job Complete

9 NOT PRJOB ACTIVE "ポーズ中（Pause）"並列状態へのデフォルトエントリ。 NOT PAUSED 10 NOT PAUSED "Pause"コマンドを受信或いは内部でポーズが発生した。 PAUSING 11 PAUSING 全ての実行挙動がポーズした。 PAUSED 12 PAUSED "Resume"コマンドを受信した。 NOT PAUSED 13 NOT PRJOBACTIVE "アボート（Abort）"並列状態へのデフォルトエントリ。 NOT ABORTING 14 NOT ABORTING "Abort"コマンドを受信或いは内部アボートが発生した。 ABORTING 15 ABORTING アボート処理が終了した。 Process Job Complete 16 NOT PRJOB ACTIVE "ストップ（stop）"並列状態へのデフォルトエントリ。 NOT STOPPING 17 NOT STOPPING "Stop"コマンドを受信或いは内部ストップが発生した。 STOPPING 18 STOPPING 全ての実行挙動がストップした。 Process Job Complete 19 PRJOB QUEUED "Cancel"、"Abort"或いは"Stop"コマンドを受信した。 Process Job Canceled

表 4-23 プロセスジョブ遷移定義


SF コマンド名称説明 PJPause プロセスジョブを一時停止する。 PJResume 一時停止したプロセスジョブを再開する。 PJCancel プロセスジョブの取り消しを行う。

S16F5

PJStop プロセスジョブの停止を要求する。

S16F15 PRJobMultiCreate

このサービスは、複数のプロセスジョブを作り出す。各ジョブは、独

特な方法で作り出される。このメッセージは、キャリアにプロセスグ

ループが１つ（ロット）より多くある場合、キャリアにある全てのジョブ

を作り出すのに役立つ。 S16F17 PRJobDequeue 1つまたはそれ以上のジョブを待ち行列の状態から外す



84

SF コマンド名称説明 S16F19 PRGetAllJobs ジョブのリスト入手と未完成なジョブ全ての状態の把握。

S16F21 PRGetSpace このメッセージは、プロセス資源に対して作り出す事が出来るジョブ

の内、残っている分を戻さなければならない。

S16F23 PRJobSetRecipeVariable

レシピの可変パラメータのリストのセッティングを変更する要請を送

る。この要請は、特定されたジョブが、待ち行列／プール、休止、又

は再開待ちのどの状態にもならなければ失敗に終わる。このサー

ビス実装は、オプションである。

・ＰＪ作成時には、次のチェックをおこなうこと。・ＰＪ作成用の空きエリアがあること。・ＰＪの中に指定されたバリアブルパラメータの値が正しい範囲のこと。

また、エラー発生時には、エラーコードの内容にてエラー内容の判断が可能なこと。 4.4.4. プロセスジョブ属性

前提としている状態モデルの範囲でのプロセスジョブ属性を示す。

名称定義要求アクセス形式

ObjID サービスユーザーのための識別子

プロセスジョブが作成されるときに設定される

Y RO Text

ObjType オブジェクトタイプ Y RO Text： “PROCESSJOB”

PauseEvent 装置が自動的に Pausing/Paused 状態に移行するトリガとなるイベント ID

N RO List of： EventID

PRJobState プロセスジョブ状態モデルに対応したジョブのユニークなサブ状態

Text: QUEUED/POOLED SETTING UP

WATING FOR START PROCESSING

PROCESS COMPLETED EXECUTING

PAUSING PAUSE STOPPING

ABORTING

PRMtlNameList 処理される材料の識別子のリスト Y RO List of:

PRMtlName

PRMtlType 処理される材料タイプの識別子 Y RO Enumerated

PRProcessStart プロセスリソースが Ready 状態となったらすぐ処理を開始するかを示す

Ｎ RO Boolean: TRUE －Automatic start

FALSE －Manual start

PRRecipeMethod レシピ指定タイプの詳細

Y RO Enumerated:

Recipe only Recipe with Variable Tuning

RecID レシピの識別子 Y RO Text

RecVariableList レシピがサポートしている変数のリストＮ RO List of:

Recipe Variable

表 4-24 プロセスジョブ属性



85


PRMtlName 処理される材料の識別子 Text

Recipe Variable レシピにてサポートしている変数 Structure composed of:

Recipe VarName Recipe VarValue

Recipe VarName レシピ変数の名前 Text

Recipe VarValue レシピ変数の値 Depends on variable

表 4-25 プロセスジョブ属性データ定義


イベント名称イベントの基準ステートモデル Create and Queued NotPRJobActive to Setup Setup to Processing Processing to ProcessingComplete ProcessingComplete to PRJobComplete PRJobWaitingForStart NotPaused Pausing Paused Aborting Stopping Aborting to PRJobComplete Stopping to PRJobComplete

プロセスジョブステータス


Queued Setup Waiting For Start Processing Processing Complete Process Job Complete Not Paused Pausing Paused Not Aborting Aborting Not Stopping


Stopping



86

4.4.7. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係キャリアの搬入、プロセス処理、キャリア搬出までの一連の動作と状態モデルの遷移との関

係を次に示す。 PJ

PJE PJS PJA PJP ＃運用＃処理

ステータスイベントステータスイベントステータスイベントステータスイベント

コメント

0 初期状態 NoState NoState NoState NoState

1 搬入移載

2 キャリアID照合

3 内部バッファ保管

4 レシピの確認




5-4 PJ生成完了

5-5 CJ生成

PRJOBQU

EUED

PRJOBQU

EUED

5-6 CJ生成完了

5-7 CJ選択報告

5-8 CJ実行報告

5-9 PJ開始準備 SETUP SETUP

6 スロットマッ

プ照合



Not Stopping

Not Aborting

Not Paused

6-2 FOUP Open





6-7 スロットマップ照合完了



（ウェーハがキャリアから取られた）

7-3 ウェーハ移動（キャリアからボートへ）


（ウェーハがボート移動した）


返す

7-5 FOUP Close






Processing Processing


8-2 アプローチングイベント報告

8-3 Boat Unload完了

（PJプロセス終了報告）

9 内部バッファ

保管



Processing

Complete

Processing

Complete

9-2 FOUP Open


（ウェーハがボートから取られた）

9-4 ウェーハ移動（ボートからキャリアへ）


（ウェーハがキャリアへ移動した）


返す

9-6 PJ完了報告 NoState NoState NoState

9-7 CJ完了報告

9-8 CJ削除

9-9 CJ削除報告

9-6～9-9は、バッチの後のキャリアの処理

終了時のみ

PRJob

Complete

↓

NoState

PRJob

Complete

↓

NoState

9-10 FOUP Close





10 キャリア搬出

終了状態 NoState NoState NoState NoState

表 4-26 PJM状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係



87

プロセスジョブの状態遷移タイミングの例を示す。

No. 動作 PJ

0 内部バッファへ搬入－

ジョブを生成 Queued/Pooled

1 FIMSポートへ移動開始 Setup


2' SlopMap読込み完了

3 Boatへ移動開始

4 Boatへ移動完了

5 BoatLoad開始 Processing

5' 実処理開始

6 実処理終了

6' BoatUnload完了 Processing

Complete

7 キャリアへ移動開始

8 キャリアへ移動完了 PRJob Complete



図 4-13 プロセスジョブ状態遷移タイミング（Setup～PRJobComplete）

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


Location Change

Processing



88

4.5. ウェーハトラッキングサービス（STS）ウェーハトラッキングは、装置内のウェーハのトラッキング管理、ロケーション管理をおこ

なうためのサービスを定義する。

4.5.1. 要求条件次に示す STSの要求条件に準拠していること。

STS 準拠基本的な STS 要求条件性能の有無 STS への準拠備考

ウェーハオブジェクト定義 ■有 □無 ■有 □無ウェーハロケーションオブジェクト定義 ■有 □無 ■有 □無ウェーハトラッキングサービス ■有 □無 ■有 □無変数データ ■有 □無 ■有 □無

4.5.2. 状態モデル製造装置は次に示すホスト視点の状態モデルを持つこと。 (1) ウェーハトラッキング

図 4-14 ウェーハトラッキング状態遷移図


SUBSTRATE SUBSTRATE TRANSPORT、SUBSTRATE PROCESSING の上位状態。

この状態は、初のウェーハが装置に供給された時に生成され、ウェーハが装置から

払い出された時に削除される。

SUBSTRATE TRANSPORT AT SOURCE、AT WORK、AT DESTINATION の上位状態。

AT SOURCE ウェーハが初に入る状態。ウェーハを供給するのにキャリアを使用する場合は、ウ

ェーハはキャリアウェーハロケーションにある。

SUBSTRATE

SUBSTRATE TRANSPORT SUBSTRATE PROCESSING

AT SOURCE

AT WORK

AT DESTINATION

1

2 3

4

5 6

7

NEEDS PROCESSING

IN PROCESS

PROCESSED ABORTED

REJECTED

C

PROCESSING COMPLETE

10

11

12

8

9

STOPPED

1314



89


AT WORK ウェーハがソース側のロケーションまたはデスティネーション側のロケーションから取

られ、装置の中間的なウェーハロケーションに存在している状態。

キャリアをウェーハの供給用に用いている場合は、ウェーハがキャリアから取り除か

れ、装置内に位置している状態。

AT DESTINATION キャリアが指定されたデスティネーション側のウェーハロケーションに格納された状

態。この状態であれば、装置からウェーハをアンロードするのにキャリアを使う場合に

はキャリアウェーハロケーションに格納しているか、装置ウェーハロケーションがウェ

ーハを装置から回収するのに使う場合には、そのロケーションに格納している。

SUBSTRATE PROCESSING NEEDS PROCESSING、IN PROCESS、PROCESSING COMPLETE の上位状態。

NEEDS PROCESSING プロセスに必要なものが存在し、それらが完全にそろっていない状態。

ウェーハが初に到着したときのデフォルトエントリーとなる。

IN PROCESS ウェーハに対するプロセスが開始され、まだ完了していない状態。

プロセスはそのウェーハの上で実行される。

PROCESSING COMPLETE ウェーハに対するプロセスが完了した状態。

PROCESSED、ABORTED、REJECTED、STOPPED の上位状態

PRCESSED 全てのウェーハに対するプロセスが正常に終了した状態。以降のプロセスは装置によ

って開始されることはない。

ABORTED プロセス処理中にアボート（中断）された状態。

ウェーハは特別な処置を必要とする。

REJECTED ウェーハに対するプロセスが完了した状態であるが、しかしプロセスの実行結果には

問題があるかもしれない。ウェーハは特別な処置を必要とする。

ウェーハをリジェクトであると認識できない装置については、この状態を必要としない。

STOPPED プロセス処理中にストップ（停止）された状態。

ウェーハは特別な処置を必要とする。

表 4-27 ウェーハトラッキング状態定義

# 前の状態トリガー新しい状態コメント 1 no state ウェーハが登録された。 AT SOURCE 2 AT SOURCE ウェーハが元の位置から取られ、装置の中に持って行

かれた。 AT WORK 装置内のウェーハトラッキン

グが開始された。 3 AT WORK ウェーハが元の位置へ移動した。 AT SOURCE 4 AT WORK ウェーハが現在の装置の位置から新しい装置内の位

置に移動した。 AT WORK ウェーハは装置内のロケー

ションの間を移動した。 5 AT WORK ウェーハが目的地に移動した。 AT

DESTINATION

6 AT DESTINATION

ウェーハが目的地から装置の中の位置に移動した。 AT WORK

7 AT DESTINATION

ウェーハが正常シーケンスに従って装置から取り除か

れた。 (Extinction)

8 AT DESTINATION

ユーザまたは、装置がウェーハを AT SOURCEに変

えるように要求した。 AT SOURCE

9 Any SUBSTRATE substate

ユーザまたは、装置がウェーハを除去するように要求

した。 (Extinction) ウェーハの除去は、ユーザ

または装置により要求され

た。 10 no state ウェーハオブジェクトが作成された。 NEEDS

PROCESSING

11 NEEDS PROCESSING

ウェーハの処理が開始された。 IN PROCESS

12 IN PROCESS ウェーハの処理が完了した。 PROCESSING COMPLETE

13 IN PROCESS ウェーハは再度処理を行うように要求された。 NEED PROCESSING

14 PROCESSING COMPLETE

ウェーハは新たな処理を行うように要求された。

NEEDS PROCESSING

表 4-28 ウェーハトラッキング状態遷移定義


※１



90

(2) ウェーハロケーション

図 4-15 ウェーハロケーション状態遷移図


SUBSTRATE LOCATION UNOCCUPIED、OCCUPIED の上位状態

UNOCCUPIED ウェーハロケーションにウェーハがない状態。

OCCUPIED ウェーハロケーションにウェーハがある状態。

表 4-29 ウェーハロケーション状態定義

# 前の状態トリガー新しい状態コメント 1 UNOCCUPIED ウェーハがウェーハロケーションへ移動する。 OCCUPIED 2 OCCUPIED ウェーハがロケーションから移動する。 UNOCCUPIED

表 4-30 ウェーハロケーション状態遷移定義

4.5.3. サブストレートオブジェクト属性

前提としている状態モデルの範囲でのサブストレートオブジェクトの属性を示す。


LotID ユーザによってウェーハと関連づけられたロットの識別子

RW N Text

MaterialStatus プロセス品質の基準を表現する現在のウェーハのステータス。基準は装置デザインに依存

する。

RO N Enumerated: Equipment

dependent

ObjID オブジェクト識別子 RO Y Text equal to the Substrate ID

ObjType オブジェクトタイプ RO Y Text = “Substrate” SubstDestination 終的にウェーハが戻される位置の識別子

キャリアがウェーハを戻される位置として使用されるときには、キャリア識別子（キャリア ID）とキャリア内のウェーハ位置を数で表したもの

の連結された文字列となる。

RO Y Text

もし空であれば、 Source substrate Location

と等しい

UNOCCUPIED OCCUPIED1

2

C

SUBSTRATE LOCATION



91


SubstHistory ウェーハが通ってきた位置の履歴 RO Y List of Structures:

SubstLocID, TimeIn, TimeOut

SubstLocID ウェーハの装置内の現在位置の識別子 RO Y Text

SubstProcState ウェーハの処理状態

“NEEDS PROCESSING”：装置での処理が要求されてまだ始まっていないことを示す初期状態

“IN PROCESS”：処理が開始された “PROCESSED”：処理が正常終了した “ABORTED”：処理が異常終了した

“STOPPED”：処理が一定の処理ステップの完成時に終了した “REJECTED”：ウェーハは特別な取扱いが必

要である “LOST”：ウェーハは外部要因により取り除かれたか物理的に行方不明となった

RO N Enumerated:

NEEDS PROCESSING IN PROCESS

PROCESSED ABORTED STOPPED

REJECTED LOST

SubstSource 始めにウェーハが存在する位置の識別子キャリアがウェーハが存在する位置として使用

されるときには、キャリア識別子（キャリア ID）とキャリア内のウェーハ位置を数で表したものの連結された文字列となる。

RO Y Text

SubstState ウェーハの搬送状態 RO Y Enumerated: AT SOURCE AT WORK

AT DESTINATION

SubstType ウェーハタイプウェーハ、フラットパネル、CD、または、マスクを含む

RW N Enumerated: WAFER FLAT PANEL

CD MASK

SubstUsage ウェーハがどのように使用されるか。

「製品」、「テスト」、「フィラー」、｢クリーニング｣など

RW N Enumerated:

PRODUCT TEST FILLER

CLEANING

SubstrateUseHistory ウェーハの使用履歴 RO Y List of Structures:

UseCount, UseTime, EquipInTime

表 4-31 サブストレートオブジェクト属性

※1



92


SubstLocID ウェーハが通ってきた装置内の位置

ウェーハが通ってきた SubstLocID からコピーされなければならない

Text

TimeIn ウェーハ位置にウェーハが実際に到着した時刻 Timestamp の定義は、

実装の規約に依存する。

TimeOut ウェーハ位置からウェーハが実際に出発した時刻 Timestamp の定義は、

実装の規約に依存する。

UseCount ウェーハの使用回数（実処理回数）正の整数

UseTime ウェーハの使用時間（実際の処理がおこなわれた時間）正の整数

EquipInTime ウェーハが装置内に入っている時間（サブストレートオブジェクトができて

からの時間）

正の整数

表 4-32 サブストレートオブジェクト属性定義

※１ Seleteでの独自要求（SEMIスタンダードに記述なし） • NPW用キャリアに入っているウェーハを使用する場合は、偏った使い方をせずに、それぞれのウェーハの使用頻度が同じになるように使用すること。


イベント名称イベントの基準ステートモデル Create and AtSource AtSource to AtWork AtWork to AtDestination

ウェーハ搬送状態

NeedsProcessing to InProcess InProcess to ProcessingComplete Deleted

ウェーハ処理状態

Occupied UnOccupied

ウェーハロケーション状態


At Source At Work ウェーハ搬送状態 At Destination Need Processing In Process Processed Aborted Stopped


Rejected Unoccupied

ウェーハロケーション状態 Occupied

※1

※1

※1



93

4.5.6. 状態モデルのステータス遷移と物理的動作の関係ウェーハトラッキングの状態遷移タイミングの例を示す。

図 4-16 STS 状態モデルに沿ったウェーハの動き

STS

No. 処理 Substrate Processing Substrate Transport Substrate Location

0 内部バッファへ搬入

1 FIMSポートへ移動開始


2' SlopMap読込み完了 AT SOURCE

3 Boatへ移動開始 Unoccupied (#1)

4 Boatへ移動完了 AT WORK Occupied (#2)

5 BoatLoad開始

5' 実処理開始 In Process

6 実処理終了 Processing Complete

6' BoatUnload完了

7 キャリアへ移動開始 Unoccupied (#2)

8 キャリアへ移動完了 AT DESTINATION Occupied (#1)



表 4-33 ウェーハトラッキング状態

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


#1Substrate

Location ID(FIMS Port)

Location ChangeProcessing

#2Substrate

Location ID(Boat)



94

4.6. オブジェクトサービススタンダード（OSS）オブジェクトサービスとは、基本的なオブジェクトに関する定義、オブジェクト属性の取得

および属性値の設定方法を定義する。

4.6.1. 要求条件次に示す OSSの要求条件に準拠していること。

OSS 準拠基本的な OSS 要求条件性能の有無 OSS への準拠備考

属性要求（GetAttr.req） ■有 □無 ■有 □無属性セット要求（SetAttr.req） ■有 □無 ■有 □無タイプ要求（GetType.req） ■有 □無 ■有 □無属性名要求（GetAttrName.req） ■有 □無 ■有 □無オブジェクト生成要求（Create.req） ■有 □無 ■有 □無オブジェクト削除要求（Delete.req） ■有 □無 ■有 □無オブジェクト連結要求（Attach.req、Detach.req、

Reattach.req） □有 ■無 □有 ■無

連結されたオブジェクトのアクション要求

（AttachSetAttr.req） □有 ■無 □有 ■無

監督されたオブジェクトのアクション要求

（AttachSupervisedObject.req、

DetachSupervisedObject.req） □有 ■無 □有 ■無


SF コマンド名称説明 S14F1 GetAttr Request オブジェクトに対する属性要求 S14F3 SetAttr Request オブジェクトに対する属性セット要求 S14F5 GetType Request オブジェクトに対するタイプ要求 S14F7 GetAttrName Request オブジェクトに対する属性名要求 S14F9 Create Object Request オブジェクト生成要求

S14F11 Delete Object Request オブジェクト削除要求



95

4.7. 高速SECSメッセージサービス(HSMS)汎用サービス／高速SECSメッセージサービ

スシングルセッションモード(HSMS-SS) 高速 SECS メッセージサービス(HSMS)汎用サービスは、TCP/IP 環境を使用している半導体工場でのコンピュータ間のメッセージの交換に適したインターフェイスを定義している。また、高速 SECSメッセージサービスシングルセッションモード（HSMS-SS）は HSMSを補足するスタンダードであり、HSMS汎用サービスを用い、半導体製造装置通信スタンダード１（SECS-I）を代替することを目的としている。装置は以下の内容を満たすこと。・装置は E37 HSMSに準ずる機能を有すること。・ HSMSは E37.1 HSMS-SSを使用すること。・装置は HSMS パラメータの設定／変更が可能とし、装置内の不揮発メモリに記録すること。

・装置はアクティブモード、パッシブモードの両方をサポートすること。アクティブモード：装置側から TCP/IP接続要求を行うモード。パッシブモード：ホスト側からの TCP/IP接続要求を受け付けるモード。

1) HSMS TCP/IPプロトコルレベルでの接続(TCP/IP接続)と、HSMSで定義されているコントロールメッセージレベルでの接続(HSMS 接続)が定義されており、ホストと装置との間はHSMSに示された手続きにより論理的に接続されなければならない。論理的に接続するために、HSMSでは接続状態図、メッセージフォーマット、通信パラメータが定義されている。接続状態図は、HSMS-SSで定義されている状態マシンを使用するため、ここでは説明しない。また、メッセージフォーマットは以下の通りであるが、HSMS-SS側で制約が設けられているものがある。各データの意味についての説明は、ここでは省略する。

ﾒｯｾｰｼﾞﾍｯﾀﾞﾒｯｾｰｼﾞﾀｲﾌﾟﾊﾞｲﾄ 0-1

ｾｯｼｮﾝ ID

ﾊﾞｲﾄ 2 ﾊﾞｲﾄ 3 ﾊﾞｲﾄ 4

P ﾀｲﾌﾟ

ﾊﾞｲﾄ 5

S ﾀｲﾌﾟ

ﾊﾞｲﾄ 6-9

ｼｽﾃﾑﾊﾞｲﾄ

ﾒｯｾｰｼﾞ

ﾃｷｽﾄ

ﾃﾞｰﾀﾒｯｾｰｼﾞ * W ﾋﾞｯﾄおよび

SECS ｽﾄﾘｰﾑ

SECS

ﾌｧﾝｸｼｮﾝ 0 0

一次: ﾕﾆｰｸ

応答: 一次と同じﾃｷｽﾄ

Select.req * 0 0 0 1 ﾕﾆｰｸなし

Select.rsp .req と同じ 0 ｾﾚｸﾄ

ｽﾃｰﾀｽ 0 2 .req と同じなし

Deselect.req * 0 0 0 3 ﾕﾆｰｸなし

Deselect.rsp .req と同じ 0 ﾃﾞｨｾﾚｸﾄ

ｽﾃｰﾀｽ 0 4 .req と同じなし

Linktest.req 0xFFFF 0 0 0 5 ﾕﾆｰｸなし

Linktest.rsp 0xFFFF 0 0 0 6 .req と同じなし

Reject.req ﾘｼﾞｪｸﾄされた

ﾒｯｾｰｼﾞと同じ

ﾘｼﾞｪｸﾄされたﾒｯｾｰｼﾞの

P ﾀｲﾌﾟあるいは S ﾀｲﾌﾟ理由ｺｰﾄﾞ 0 7

ﾘｼﾞｪｸﾄされたﾒｯｾｰ

ｼﾞと同じなし

Separate.req * 0 0 0 9 ﾕﾆｰｸなし

*は HSMS-SSで指定されていることを示す。

表 4-34 HSMS メッセージフォーマット



96

パラメータには以下のものがある。パラメータは電源が切れたり、システムのソフトウェア

を再ロードしても設定が保持される保管方法にするように、規定されている。

パラメータ名値の範囲最小識別値標準値 T3 応答タイムアウト 1～120 秒 1 秒 45 秒

T5 接続セパレーションタイムアウト

1～240 秒 1 秒 10 秒

T6 コントロールトランザクションタイムアウト

1～240 秒 1 秒 5 秒

T7 Not Selected タイムアウト

1～240 秒 1 秒 10 秒

T8 ネットワークキャラクタ間タイムアウト

1～120 秒 1 秒 5 秒

接続モードパッシブアクティブ

－アクティブ

ローカルエンティティ IP アドレス及びポート No.

TCP/IP 規定

－－

リモートエンティティ IP アドレス及びポート No.

TCP/IP 規定

－－

表 4-35 要求 HSMS パラメータ一覧

2) HSMS-SS

HSMS-SS は HSMS をシングルセッションモードで使用することを目的として、HSMSを補足するものである。 HSMS-SSで示されている状態モデルを以下に示す。

表 4-36 HSMS-SS 状態モデル図

上記モデル図における状態遷移の条件はパッシブモードとアクティブモードとによって

異なる。次にその状態遷移を示す。

TCP/IPNot Connected

HSMSSelected

HSMSNot Selected

TCP/IP Connected

2 3

54

6

1



97

# 以前の状

態

トリガー新しい状

態

アクション

1 －初期化 TCP/IP

Not

Connecte

d

2 TCP/IP

Not

Connected

TCP/IP Connect Succeeds:

1.TCP/IP｢受諾｣が成功する

HSMS

Not

Selected

T7 タイムアウトがスタートする

3 HSMS Not

Selected

HSMS Select Succeeds:

1. Select.req を受信し許可を決定する

HSMS

Selected

1. T7 タイムアウトを取り消し

2. SelectStatus がゼロの

Select.rsp を送信する。

4 HSMS Not

Selected

HSMS Select Fails:

1. Select.req を待って T7 タイムアウト、あるいは

2. Select.req を受信したが拒否を決定し、非ゼロ値の

SelectStatus をつけた Select.rsp を送信する、あるいは

3. Select.req以外のHSMSメッセージを受信する、あるいは

4. レングスが 10 でない HSMS メッセージを受信する、ある

いは

5. 不良な HSMS メッセージヘッダを受信する、あるいは

6. TCP/IP を待って T8 タイムアウトになる、あるいは

7. それ以外のリカバリ不可能な TCP/IP エラー(エンティティ

によって異なる)

TCP/IP

Not

Connecte

d

1. TCP/IP接続をクローズする。

5 HSMS

Selected

HSMS Connection Terminates:

1. 終了を決定し Separate.req を送信する、あるいは

2. Separate.req を受信する、あるいは

3. Linktest.rsp を待って T6 タイムアウトになる、あるいは

4. レングス＜10 の HSMS メッセージを受信する、あるいは

5. エンティティがサポートしている大長より長いレングス

の HSMS メッセージを受信する、あるいは



8. それ以外の訂正不可能な TCP/IP エラー(エンティティに

よって異なる)

TCP/IP

Not

Connecte

d

1. TCP/IP 接続をクローズする

6 HSMS

Selected

データ応答メッセージを待っていて T3 タイムアウトになる。 HSMS

Selected

1. データトランザクションを適宜

（エンティティによって異なる）

取り消すが TCP/IP 接続は終

了させず、

2. エンティティが装置なら、

SECS-II S9F9 を送信する

表 4-37 HSMS-SS パッシブモード接続の状態遷移



98

# 以前の状

態

トリガー新しい状態アクション

1 －初期化 TCP/IP

Not

Connected

2 TCP/IP

Not

Connected

TCP/IP Connect Succeeds:

1.接続を決定する

HSMS Not

Selected

1. TCP/IP Connect および

2. Select.req 送信、および

3. T6 タイムアウトスタート

3 HSMS Not

Selected

HSMS Select Succeeds:

1. SelectStatus がゼロの Select.rsp を受信する

HSMS

Selected

1. T6 タイムアウトを取り消

す

4 HSMS Not

Selected

HSMS Select Fails:

1. Select.rsp を待って T6 タイムアウトになる、あるいは

2. SelectStatusが非ゼロ値の Select.rsp を受信する、あるいは

3. Select.rsp 以外の HSMS メッセージを受信する、あるいは

4. レングスが 10 でない HSMS メッセージを受信する、あるいは



7. それ以外のリカバリ不可能な TCP/IP エラー(エンティティに

よって異なる)

TCP/IP

Not

Connected

1. TCP/IP 接続をクローズ

する、そして

2. T5 タイムアウトをスタート

させる

5 HSMS

Selected

HSMS Connection Terminates:

1. 終了を決定し Separate.req を送信する、あるいは

2. Separate.req を受信する、あるいは

3. Linktest.rsp を待って T6 タイムアウトになる、あるいは

4. レングス＜10 の HSMS メッセージを受信する、あるいは

5. エンティティがサポートしている大長より長いレングスの

HSMS メッセージを受信する、あるいは



8. それ以外の訂正不可能な TCP/IP エラー(エンティティによっ

て異なる)

TCP/IP

Not

Connected

1. TCP/IP 接続をクローズ

する

6 HSMS

Selected

データ応答メッセージを待っていて T3 タイムアウトになる。 HSMS

Selected

1. データトランザクションを

適宜（エンティティによっ

て異なる）取り消すが

TCP/IP 接続は終了させ

ず、

2. エンティティが装置なら、

SECS-II S9F9 を送信す

る

表 4-38 HSMS-SS アクティブモード接続の状態遷移

また、HSMS-SSにおいては、HSMSの機能を制約する内容がある。・セレクト手続きを始められるのは、アクティブモードで TCP/IP接続を確立するエンティティのみである。パッシブモードのエンティティはセレクト手続きを開始できない。

・ HSMS-SSの実装ではディセレクト手続きを使用してはいけない。通信を終わらせるにはセパレート手続きを使う。

99

4.8. 半導体製造装置通信スタンダード２（SECS-Ⅱ）半導体製造装置通信スタンダード２（SECS-Ⅱ）は装置とホスト間で交換されるメッセージの解釈について詳細に定義している。

4.8.1. 使用するストリームファンクション一覧今回の検討範囲では、以下に示すメッセージの送受信が可能であること。

区分

（対象スタンダード） SF 方向名称

S1F0 H⇔E Abort Transaction S1F1 H⇔E Are You There Request S1F2 H⇔E On Line Data S1F3 H⇒E Selected Equipment Status Request S1F4 H<=E Selected Equipment Status Data

S1F11 H⇒E Status Variable NameList Request S1F12 H<=E Status Variable Name S1F13 H⇔E Establish Communication Request S1F14 H⇔E Establish Communications Request Acknowledge S1F15 H⇒E Request OFF-LINE S1F16 H<=E OFF-LINE Acknowledge S1F17 H⇒E Request ON-LINE S1F18 H<=E ON-LINE Acknowledge S2F0 H⇔E Abort Transaction

S2F13 H⇒E Equipment Constant Request S2F14 H<=E Equipment Constant Data S2F15 H⇒E New Equipment Constant Send S2F16 H<=E New Equipment Constant Acknowledge S2F17 H⇔E Date and Time Request S2F18 H⇔E Data and Time Data S2F29 H⇒E Equipment Constant Namelist Request S2F30 H<=E Equipment Constant Namelist S2F31 H⇒E Date and Time Set Request S2F32 H<=E Data and Time Set Acknowledge S2F33 H⇒E Define Report S2F34 H<=E Define Report Acknowledge S2F35 H⇒E Link Event Report S2F36 H<=E Link Event Report Acknowledge S2F37 H⇒E Enable/Disable Event Report S2F38 H<=E Enable/Disable Event Report Acknowledge S2F41 H⇒E Host Command Send S2F42 H<=E Host Command Acknowledge S2F47 H⇒E Variable Limit Attribute Request

GEM

S2F48 H<=E Variable Limit Attribute Send S3F0 H⇔E Abort Transaction

S3F17 H⇒E Carrier Action Request S3F18 H<=E Carrier Action Acknowledge S3F23 H⇒E Port Group Action Request

CMS

S3F24 H<=E Port Group Action Acknowledge

100

区分


S3F25 H⇒E Port Action Request S3F26 H<=E Port Action Request/Acknowledge S5F0 H⇔E Abort Transaction S5F1 H<=E Alarm Report Send S5F2 H⇒E Alarm Report Acknowledge S5F3 H⇒E Enable/Disable Alarm Send S5F4 H<=E Enable/Disable Alarm Acknowledge S5F5 H⇒E List Alarm Request S5F6 H<=E List Alarm Data S6F0 H⇔E Abort Transaction

S6F11 H<=E Event Report Send S6F12 H⇒E Event Report Acknowledge S7F0 H⇔E Abort Transaction S7F1 H⇔E Process Program Load Inquire S7F2 H⇔E Process Program Load Grant S7F3 H⇔E Process Program Send S7F4 H⇔E Process Program Acknowledge S7F5 H⇔E Process Program Request S7F6 H⇔E Process Program Data

S7F17 H⇒E Delete Process Program Send S7F18 H<=E Delete Process Program Acknowledge S7F19 H⇒E Current EPPD Request S7F20 H<=E Current EPPD Data S7F23 H⇔E Formatted Process Program Send S7F24 H⇔E Formatted Process Program Acknowledge S7F25 H⇔E Formatted Process Program Request S7F26 H⇔E Formatted Process Program Data S7F27 H<=E Process Program Verification Send S7F28 H⇒E Process Program Verification Acknowledge S7F29 H<=E Process Program Verification Inquire S7F30 H⇒E Process Program Verification Grant S9F0 H⇔E Abort Transaction S9F1 H<=E Unrecognized Device ID S9F3 H<=E Unrecognized Stream Type S9F5 H<=E Unrecognized Function Type S9F7 H<=E Illegal Data S9F9 H<=E Transaction Timer Timeout

S9F11 H<=E Data Too Long S9F13 H<=E Conversation Time Out S10F0 H⇔E Abort Transaction S10F1 H<=E Terminal Request S10F2 H⇒E Terminal Request Acknowledge S10F3 H⇒E Terminal Display, Single S10F4 H<=E Terminal Display, Single Acknowledge S10F5 H⇒E Terminal Display, Multi-block S10F6 H<=E Terminal Display, Multi-block Acknowledge

GEM

S10F7 H<=E Multi-block Allowed S14F0 H⇔E Abort Transaction S14F1 H⇔E GetAttr Request S14F2 H⇔E GetAttr Data

OSS

S14F3 H⇔E SetAttr Request

101

区分


S14F4 H⇔E SetAttr Data S14F5 H⇔E GetType Request S14F6 H⇔E GetType Data S14F7 H⇔E GetAttrName Request S14F8 H⇔E GetAttrName Data S14F9 H⇔E Create Object Request

S14F10 H⇔E Create Object Acknowledge S14F11 H⇔E Delete Object Request

S14F12 H⇔E Delete Object Acknowledge S16F0 H⇔E Abort Transaction S16F5 H⇒E Process Job Command Request S16F6 H<=E Process Job Command Acknowledge

S16F15 H⇒E PR Job Multi Create PJM

S16F16 H<=E PR Job Multi Create Acknowledge S16F27 H⇒E Control Job Command Request CJM S16F28 H<=E Control Job Command Acknowledge

表 4-39 使用ストリームファンクション一覧

4.8.2. 使用ストリームファンクションメッセージ詳細使用するストリームファンクションの詳細について、使用するスタンダード単位で示す。

4.8.2.1. キャリア管理スタンダード（CMS）関連

SF Command Name Format Data Name Sample Data 説明

S3F17 CancelCarrier <L 5

<A[n]> DATAID "CANCELCARRIER"

<A[n]> CARRIERACTION "Cancel Carrier"

<A[n]> CARRIERSPEC "Carrier001"

<U1[0]> PTN

<L 0

>

>

このサービスは現在の

キャリア関連のアクショ

ンをキャンセルし、キャ

リアをロードポートのア

ンロード位置あるいは

内部バッファへ戻す。

戻す位置はキャリアの

製造装置内での位置

によって決まる。

CancelCarrierAtPort <L 5

<A[n]> DATAID "CANCELCARRIERATPORT"

<A[n]> CARRIERACTION "Cancel Carrier at Port"

<A[0]> CARRIERSPEC

<U1[1]> PTN 1~3

<L 0

>

>

このサービスは現在の

キャリア関連のアクショ

ンをキャンセルし、製造

装置はキャリアをロー

ドポートのアンロード位

置へ戻す。

ProceedWithCarrier <L 5 このサービスは製造装

<A[n]> DATAID "PROCEEDWITHCARRIER" 置に指定されたキャリ

<A[n]> CARRIERACTION "ProceedWithCarrier" アを使って処理を続行

<A[n]> CARRIERSPEC "Carrier001" するよう指示する。

<U1[1]> PTN 1~3 or U1[0]

<L n

<L 2

<A[n]> CATTRID "ContentMap"

<L n

102


<A[n]> CATTRDATA "###########"

| | ウェーハ識別子として

<A[n]> CATTRDATA "###########" ホストが与えた情報を

> 使用するためには、

> キャリアID照合時にコ

<L 2 ンテンツマップ情報を

<A[n]> CATTRID "SubstrateCount" 入れ、スロットマップ情

<U1[1]> CATTRDATA 25 報を入れない。

>

<L 2 また、スロットマップ情

<A[n]> CATTRID 報は、スロットマップ照

<L n 合の時に入れる。

<U1[1]> CATTRDATA 1 この時には、コンテンツ

| | マップ情報は入れない

<U1[1]> CATTRDATA 25

>

>

<L 2

<A[n]> CATTRID "Usage"

<A[n]> CATTRDATA "PRODUCT"

>

>

>

CarrierOut <L 5

<A[n]> DATAID "CARRIEROUT"

<A[n]> CARRIERACTION "CarrierOut"

<A[n]> CARRIERSPEC "Carrier001"

<U1[0]> PTN

<L 0>

>

このサービスはキャリ

アを内部バッファからロ

ードポートへ移動させ

る。このサービスは、製

造装置によってキュー

イング可能である。

S3F23 ChangeAccess <L 3

<A[n]> PGRPACTION "CHANGEACCESS"

<A[n]> PORTGRPNAME "###########"

<L 2

<A[n]> PARAMNAME "AccessMode"

<U1[1]> PARAMVAL 0=MANUAL, 1=AUTO

>

>

このサービスは製造装

置の指定されたポート

のアクセスモードを変

更する。

S3F25 ChangeServiceStatus <L 3

<A[n]> PORTACTION "INSERVICE"

or "OUTOFSERVICE"

<U1[1]> PTN 1~3

<L 0

>

>

このサービスは製造装

置の指定されたロード

ポートの搬送ステータ

スを変更する。

103

4.8.2.2. コントロールジョブ管理（CJM）関連


S16F27 CJPause <L 3

<A[n]> CTLJOBID "CtrlJob001"

<U1[1]> CTLJOBCMD 2

<L 0

>

>

ControlJob開始。

CJResume <L 3


<U1[1]> CTLJOBCMD 3

<L 0

>

>

一次停止ControlJobの

EXECUTING 状態への移行を要

求。

CJCancel <L 3


<U1[1]> CTLJOBCMD 4

<L 0

>

>

待ち行列からジョブの削除を要

求。

CJStop <L 3


<U1[1]> CTLJOBCMD 6

<L 0

>

>

ControlJobの停止を要求。

CJHOQ <L 3


<U1[1]> CTLJOBCMD 8

<L 0

>

>

特定のコントロールジョブを次に

走るコントロールジョブとしての設

定要求。

S14F9 CJCreate <L 3

<A[n]> OBJSPEC "EQUIPMENT"

<A[n]> OBJTYPE "ControlJob"

<L n

<L 2

<A[n]> ATTRID "ControlJobID"

<A[n]> ATTRDATA "CtrlJob001"

>

<L 2

<A[n]> ATTRID "ProcessingCtrlSpec"

<L n ATTRDATA

<A[n]> "PRJob001"

|

<A[n]> "PRJob00n"

>

>

<L 2

<A[n]> ATTRID "CarrierInputSpec"

<L n ATTRDATA

<A[n]> "Carrier001"

|

サービスユーザーは、新しいコン

トロールジョブオブジェクトを生成

してその属性の値を１つ以上割り

当てるよう、サービス提供者に要

求できる。そのオブジェクトタイプ

に許可されていない属性をセット

しようとする場合には要求は拒否

される。

<A[n]> "Carrier00n"

>

>

104


<L 2

<A[n]> ATTRID "MtrlOutSpec"

<A[0]> ATTRDATA

>

<L 2

<A[n]> ATTRID "ProcessOrderMgmt"

<A[n]> ATTRDATA "LIST"

>

<L 2

<A[n]> ATTRID "StartMethod"

<Bool> ATTRDATA TRUE / FALSE

>

>

>

S14F11 CJDelete <L 2

<A[n]> OBJSPEC "EQUIPMENT"

<L 1

<L 2

<A[n]> ATTRID "ControlJobID"

<A[n]> ATTRDATA "CtrlJob001"

>

>

>

ControlJobの削除を要求。

105

4.8.2.3. プロセスジョブ管理（PJM）関連

SF Command Name Format Data Name Sample Data

S16F5 PJPause <L 4

<A[n]> DATAID "PAUSE"

<A[n]> PRJOBID "PRJOB001"

<A[n]> PRCMDNAME "PAUSE"

<L n

<L 2

<A[n]> CPNAME "PausePosition"

<A[n]> OPVAL "Carrier"

>

>

>

プロセスジョブを

一時停止する。

PJResume <L 4

<A[n]> DATAID "RESUME"


<A[n]> PRCMDNAME "RESUME"

<L 0

>

>

一時停止したプロ

セスジョブを再開

する。

PJCancel <L 4

<A[n]> DATAID "CANCEL"


<A[n]> PRCMDNAME "CANCEL"

<L 0

>

>

プロセスジョブの

取り消しを行う。

PJStop <L 4

<A[n]> DATAID "STOP"


<A[n]> PRCMDNAME "STOP"

<L 0

>

>

プロセスジョブの

停止を要求する。

S16F15 PRJobMultiCreate <L 2

<A[n]> DATAID "PRJobMultiCreate"

<L n

<L 6


<B[1]> MF 13

<L n

<L 2

<A[n]> CARRIERID "Carrier001"

<L n

<U1[1]> SLOTID 1

|

<U1[1]> SLOTID 25

>

>

|

<L 2

<A[n]> CARRIERID "Carrier002"

<L n

<U1[1]> SLOTID 1

|

このサービスは、

複数のプロセスジ

ョブを作り出す。

各ジョブは、独特

な方法で作り出さ

れる。このメッセ

ージは、キャリア

にプロセスグルー

プが１つ（ロット）

より多くある場

合、キャリアにあ

る全てのジョブを

作り出すのに役

立つ。

<U1[1]> SLOTID 25

106


>

>

>

<L 3

<A[n]> PRRECIPEMETHOD ?

<A[n]> RCPSPEC ?

<L n

<L 2

<A[n]> RCPPARM ?

** RCPPARVAL ?

>

|

<L 2

<A[n]> RCPPARM ?

** RCPPARVAL ?

>

>

>

<Bool> PRPROCESSSTART TRUE

<U2[1]> PRPAUSEEVENT 0

>

|

<L 6

<A[n]> PRJOBID "PRJOB00n"

<B[1]> MF 13

<L n

<L 2

<A[n]> CARRIERID "Carrier00n"

<L n

<U1[1]> SLOTID 1

|

<U1[1]> SLOTID 25

>

>

|

<L 2

<A[n]> CARRIERID "Carrier00m"

<L n

<U1[1]> SLOTID 1

|

<U1[1]> SLOTID 25

>

>

>

<L 3

<A[n]> PRRECIPEMETHOD ?

<A[n]> RCPSPEC ?

<L n

<L 2

<A[n]> RCPPARM ?

** RCPPARVAL ?

>

|

<L 2

<A[n]> RCPPARM ?

** RCPPARVAL ?

>

>

>

<Bool> PRPROCESSSTART TRUE

107


<U2[1]> PRPAUSEEVENT

>

>

>

S16F17 PRJobDequeue <L n

<A[n] PRJOBID "PRJOB001"

|

<A[n] PRJOBID "PRJOB00n"

>

同類のプロセスジ

ョブ1組を作り出

す。ユーザは、特

有なジョブ識別子

を割り当てる。

S16F19 PRGetAllJobs Header Only ジョブのリスト入

手と未完成なジョ

ブ全ての状態の

把握。

S16F21 PRGetSpace Header Only このメッセージ

は、プロセス資源

に対して作り出す

事が出来るジョブ

の内、残っている

分を戻さなければ

ならない。

S16F23 PRSetRecipeVariavle <L 2


<L n

<L 2

<A[n]> RCPPARNM ?

** RCPPARVAL ?

>

|

<L 2

<A[n]> RCPPARNM ?

** RCPPARVAL ?

>

>

>

レシピの可変パラ

メータのリストの

セッティングを変

更する要請を送

る。この要請は、

特定されたジョブ

が、待ち行列／プ

ール、休止、又は

再開待ちのどの

状態にもならなけ

れば失敗に終わ

る。このサービス

実装は、オプショ

ンである。

108

4.8.2.4. オブジェクトサービススタンダード（OSS）関連


S14F1 GetAttr < L 5

< A[9] >

< A[n] >

<L

< A[n] >

:

< A[n] >

>

< L

< L 3

< A[n] >

**

< U1[1]>

>

:

:

< L 3

< A[n] >

**

< U1[1] >

>

>

< L

< A[n] >

:

< A[n] >

>

>

OBJSPEC

OBJTYPE

ObjID count

ObjID

ObjID

ATTRID

ATTRDATA

ATTRRELN

ATTRID

ATTRDATA

ATTRRELN

ATTRID

ATTRID

"EQUIPMENT"

オブジェクトの指

定の属性値を得

る。

S14F3 SetAttr < L 4

< A[9] >

< A[n] >

<L

< A[n] >

:

< A[n] >

>

< L

< L 2

< A[n] >

**

>

:

:

< L 2

< A[n] >

**

>

>

>

OBJSPEC

OBJTYPE

ObjID count

ObjID

ObjID

ATTRID

ATTRDATA

ATTRID

ATTRDATA

"EQUIPMENT"

オブジェクトの指

定の属性値を設

定する。

S14F5 GetType < L 1

< A[9] >

>

OBJSPEC

"EQUIPMENT"

オブジェクトの型

を得る。

109


S14F7 GetAttrName < L 2

< A[9] >

< L

<A[n] >

:

<A[n] >

>

>

OBJSPEC

ObjType

ObjType

"EQUIPMENT"

オブジェクトの属

性名を得る。



5. 付録

5.1. 通信シナリオ

5.1.1. 通信シナリオについて

・この章に記載されている通信シナリオは、一般的な通信シナリオとして挙げたもので、実際の装置におけるイベント発生の順序はこの通り

ではない。・装置は４章に記載されている各機能詳細に従った操作／イベント発行を行うこと。

5.1.2. 通信シナリオの見方通信シナリオは前提条件とシナリオ本文で構成され、それぞれ以下の(1)、(2)で示される記述方法で述べる。また、シナリオ中で使用されている略語を(3)に示す。

(1) 前提条件記載された通信シナリオの前提となる条件を示す。前提条件の例）

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数１キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブ Carrier ID／Slot Map ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

(2) シナリオ運用項目、処理内容、処理内容に沿ったストリームファンクション、メッセージ、及び各ステータスモデルの遷移を示す。

STL CS STS PJ # 運用 # 処理 SF 方向メッセージ HSMS LTS LCAS

(#n) CIDS CSMS CAS STT STP CJ

PJE PJS PJA PJP コメント

No

State 1 搬入移載 1-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked

S6F12 H->E Ack

1-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived

S6F12 H->E Ack

HS

TB

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

2 キャリアID照合 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host

S6F12 H->E Ack

2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated

S6F12 H->E Ack

2-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier

S3F18 H<-E Ack

WFH

2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK

S6F12 H->E Ack

A

IVO

SNR NAC

各ステータスモデルの遷移を表す

キャリア IDステータスが ”2-1 キャリア ID読み取り”の開始した時点で

No StateからWaiting for Hostに遷移したことを表す

このように区切りが入っておらず、遷移先の状態が書かれていない間は、

ステータスに変化がないことを表す

通信の方向を表し、H<-Eなら装置からホストへメッセージが送信されていることを表す

ストリームファンクション



(3) 使用している略号の説明通信シナリオ中で使用されている略語とその正式名称等を以下に示す。

略語正式文略語正式文 HSMS 高速 SECS メッセージサービス通信状態 STS サブストレートトラッキング(Substrate Tracking) LTS ロードポート搬送状態(LoadPort Transfer State) STT ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾄﾗﾝｽﾎﾟｰﾄ(Substrate Tracking Transport) LCAS ロードポート／キャリア関連状態(LoadPort/Carrier Association State) STP ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾛｾｯｼﾝｸﾞ(Substrate Tracking Processing) LPR ロードポート予約状態(Load Port Reservation State) CJ コントロールジョブステータス(Control Job Status) STL ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾛｹｰｼｮﾝ(Substrate Tracking Location) PJ プロセスジョブステータス(Process Job Status) CS キャリアステータス(Carrier Status) PJE ﾌﾟﾛｾｽｼﾞｮﾌﾞｴｸﾞｾﾞｷｭｰﾃｨﾝｸﾞｽﾃｰﾀｽ(Process Job Executing) CIDS キャリア ID ステータス(Carrier ID Status) PJS プロセスジョブストップステータス(Process Job Stop) CSMS キャリアスロットマップステータス(Carrier Slotmap Status) PJA プロセスジョブアボートステータス(Process Job Abort) CAS キャリアアクセッシングステータス(Carrier Accessing Status) PJP プロセスジョブポーズステータス(Process Job Pause)

表 5-1 ステータスモデル名略号

略語正式文略語正式文略語正式文 A Associated IVO ID Verification OK RTL Ready To Load AD At Destination NAB Not Aborting SNR Slot Map Not Read AS At Source NAC Not Accessed SVF Slot Map Verification Fail AW At Work NAS Not Associated SVO Slot Map Verification OK CC Carrier Complete NP Needs Processing TB Transfer Blocked CS Carrier Stopped NR Not Reserved TNC TCP/IP Not Connected HNS HSMS Not Selected NS Not Stopping UOC Unoccupied HS HSMS Selected OC Occupied WFH Waiting for Host INA In Access PC Processing Complete IP In Process R Reserved IVF ID Verification Fail RTU Ready To Unload

表 5-2 ステータスモデルの状態名略号



略語意味 #1 FIMS ポート #2 Boat 内部

表 5-3 サブストレートトラッキングロケーション情報

5.1.3. 装置起動時／装置シャットダウン時シナリオ

5.1.3.1. 立ち上げシナリオ

前提条件項目条件

コントロールモード起動時オフライン／装置定数オフライン通信有効／無効設定有効アクセスモードオート処理キャリア数－コントロールジョブ数－プロセスジョブ数－ Carrier ID／Slot Map ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

Load Port FIMS


#1Substrate



#2Substrate

Location ID(Boat)

CS STS PJ

＃運用＃処理 SF 方向メッセージ HSMS LTS LCAS LPR STL(#n) CIDS CSMS CAS STT STP

CJ PJE PJS PJA PJP

コメント

0 初期状態 TNC 装置、ホストともに電源ONで、通信準備状態となっている。

H<-E TCP/IP Connect Succeeds

H<-E Select.req

HNS 通信確立 1-1 HSMS通信確立

H->E Select.rsp

ホスト：パッシブ、装置：アクディブ状態

通信確立要求 S1F13 H->E Establish Communication Request

1

1-2

通信確立要求応答 S1F14 H<-E Establish Communication Request Acknowledge

オンライン要求 S1F17 H->E Request ON-LINE 2-1

オンライン報告応答 S1F18 H<-E ON-LINE Acknowledge

オンライン報告 S6F11 H<-E Event Report Send

2 オンライン確認

2-2

オンライン報告応答 S6F12 H->E Event Report Acknowledge

日付及び時刻要求 S2F31 H->E Date and Time Set Request 3 日付及び時刻要求 3-1

日付及び時刻データ S2F32 H<-E Date and Time Set Acknowledge

通信確立要求は、ホストから送信、装置から送信のどちらも

可能

装置状態問合せ S1F3 H->E Selected Equipment Status Request 装置状態把握

（GEM関連データ確認）

4-1

装置状態問合せ応答 S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data

コントロールステータス、アクセスモード、発生中のアラーム

ID等の情報を取得

コントロールジョブステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request

4

（CJ関係データ確認） 4-2

コントロールジョブステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data

CJの全てのID及びそのステータスを取得

プロセスジョブステータス要求 S16F19 H->E PRGetAllJobs （PJ関係データ確認） 4-3

プロセスジョブステータス応答 S16F20 H<-E PRGetAllJobs Acknowledge

PJの全てのID及びそのステータスを取得

キャリアステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request

（CMS関係データ確認） 4-4

キャリアステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data

全てのキャリアのID及びそのステータスを取得

（内部バッファ状態含む）

サブストレートステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request （STS関係データ確認） 4-5

サブストレートステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data

装置で管理している全てのサブストレートのID及びトランスポ

ートステータス、プロセッシングステータスを取得

有効/無効イベントレポート S2F37 H->E Enable/Disable Event Report 5 装置状態設定 5-1

有効/無効イベントレポート確認 S2F38 H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge

アラーム報告有効/無効設定 S5F3 H->E Enable/Disable Alarm Send 5-2

アラーム報告有効/無効確認 S5F4 H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge

6 アクセスモード変更 6-1 ｱｸｾｽﾓｰﾄﾞ設定（ｵｰﾄﾓｰﾄﾞ） S3F23 H->E Change Access

（オートへ） S3F24 H<-E Ack

6-2 アクセスモード変更通知 S6F11 H<-E Auto

S6F12 H->E Ack

アクセスモードを確認し、マニュア

ルの場合のみオートモードへ変

更する

HS

RTL

NA

Not R

ese

rved

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

装置立上げ時は、アクセスモードがマニュアルの為にオート

モードへ変更する

5.1.3.2. 立ち下げシナリオ前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数 ─ コントロールジョブ数 ─ プロセスジョブ数 ─ Carrier ID／Slot Map ─ 搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

STL CS STS PJ

＃運用＃処理 SF 方向メッセージ HSMS LTS LCAS LPR (#n) CIDS CSMS CAS STT STP

CJ PJE PJS PJA PJP

コメント

0 初期状態 RTL NAS NR

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

初期条件は、左記の通りとしているが、立ち

下げをおこなう時の装置の状態に依存する

1 アクセスモード

確認

1-1 指定装置状態要求 S1F3 H->E Selected Equipment

Status Request

アクセスモードを取得

指定装置状態データ S1F4 H<-E Selected Equipment

Status Data

2 アクセスモード

変更

2-1 アクセスモード設定

（マニュアルモード）

S3F23 H->E Change Access

（マニュアルへ） S3F24 H<-E Ack

2-2 アクセスモード変更通知 S6F11 H<-E Manual

S6F12 H->E Ack

装置属性を確認し、アクセス

モードがオートだった場合は、

マニュアルへ変更する

3 3-1 オフラインモード要求 S1F15 H->E Request OFF-LINE

オフライン

移行 S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge

3-2 オフラインモード報告 S6F11 H<-E Equipment Requests

OFF-LINE

装置側は、オフラインに変更されたことを確

認する。

S6F12 H->E Equipment Requests

OFF-LINE Acknowledge

HSM

S S

ELEC

TED



5.1.4. ロット処理シナリオ

5.1.4.1. ロット処理（１）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

# 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP

0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No No No No

(#1,#2) State State State State State State State State State State

1 搬入移載 1-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack WFH SNR NA

2 キャリアID 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host

照合 S6F12 H->E Ack A

2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated

S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack IVO

2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK

S6F12 H->E Ack

3 内部バッファ 3-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange

保管 S6F12 H->E Ack

3-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack NA

3-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated

S6F12 H->E Ack RTL

3-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad

S6F12 H->E Ack

1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで1-1～3-4が繰返される

4 レシピの確認 4-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request

S7F20 H<-E Ack

4-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire

（装置にレシピがない場合） S7F2 H<-E Ack

4-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send

S7F24 H<-E Ack

4-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send

S7F28 H->E Ack

5 PJ作成 5-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace

CJ作成 S16F22 H<-E Ack

CJ、PJ実行 5-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace

S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse

5-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

S16F16 H<-E PR Job Create Ack

5-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 5-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack 5-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 5-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 5-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack 5-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SETUP NS NA NP S6F12 H->E Ack

6 スロット 6-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged マップ照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 6-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 6-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 6-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 6-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 6-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 6-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

7 処理中 7-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

S6F12 H->E Ack

7-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC

（ウエハがキャリアから取られた） S6F12 H->E Ack (#1)

7-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW

（キャリアからボートへ） S6F12 H->E Ack

7-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC

（ウエハがボート移動した） S6F12 H->E Ack (#2)

キャリア内のウエハ枚数分5-2～5-4を繰返す

7-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed

S6F12 H->E Ack


（FIMSポートから内部バッファへ） S6F12 H->E Ack


7-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing

（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack

7-8 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP

S6F12 H->E Ack

8 処理終了 8-1 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC

S6F12 H->E Ack

8-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete

S6F12 H->E Ack

8-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Processing

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack Complete

9 内部バッファ 9-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

保管（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

9-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack

9-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC

（ウエハがボートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2)

9-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD

（ボートからキャリアへ） S6F12 H->E Ack

9-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC

（ウエハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Ack (#1)


9-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob PRJob PRJob PRJob

S6F12 H->E Ack Complete Complete Complete Complete

↓ ↓ ↓ ↓

No No No No

State State State State

9-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete

S6F12 H->E Ack

9-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request

S14F12 H<-E Ack

9-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No

S6F12 H->E Ack State



S6F12 H->E Ack

9-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC

S6F12 H->E Ack




10 キャリア搬出 10-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut

S3F18 H<-E Ack

10-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack

10-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A

S6F12 H->E Ack

10-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R

S6F12 H->E Ack

10-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack

10-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange

S6F12 H->E Ack

10-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU

S6F12 H->E Ack

10-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR

S6F12 H->E Ack

10-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

S6F12 H->E Ack

10-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved

S6F12 H->E Ack

10-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No

S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State

10-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No

S6F12 H->E Ack State State

10-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA

S6F12 H->E Ack

10-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL

S6F12 H->E Ack

1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1～10-14が繰返される

終了状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No No No No


ロット処理（オート）



5.1.4.2. ロット処理（２）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードマニュアル処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

1 搬入移載 1-1 マニュアル搬入開始スイッチ押下 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

（ロード開始） S6F12 H->E Ack

1-2 キャリアをロードポートに置く

1-3 マニュアル搬入完了スイッチ押下 S6F11 H<-E MaterialHasArrived

（ロード終了） S6F12 H->E Ack

2 キャリアID 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA

照合 S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack

2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO

S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack

5-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob

S6F12 H->E Ack Pooled

5-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate

S14F10 H<-E Ack

5-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued

S6F12 H->E Ack

5-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected

S6F12 H->E Ack

5-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing

S6F12 H->E Ack

5-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SETUP NS NA NP

S6F12 H->E Ack

6 スロット 6-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

マップ照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

6-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH

S6F12 H->E Ack

6-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP

S6F12 H->E Ack

6-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC

S6F12 H->E Ack (#1)

6-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier

S3F18 H<-E Ack

6-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO

S6F12 H->E Ack

7 処理中 7-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack







S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



9 内部バッファ 9-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed



S6F12 H->E Ack

Complete Complete Complete Complete

↓ ↓ ↓ ↓

S6F12 H->E Ack No No No No



S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack





S3F18 H<-E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

10-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU S6F12 H->E Ack 10-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR S6F12 H->E Ack 10-9 マニュアル搬出開始スイッチ押下 S6F11 H<-E TransferBlocked TB （アンロード開始） S6F12 H->E Ack 10-10 キャリアをロードポートから取る 10-11 マニュアル搬出完了スイッチ押下 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved （アンロード終了） S6F12 H->E Ack 10-12 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State 10-13 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No S6F12 H->E Ack State State 10-14 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA S6F12 H->E Ack 10-15 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL S6F12 H->E Ack 1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1～10-15が繰返される終了状態 RTL NA NR No No No No No No No No No No No No

State State State State State State State State State State State State

ロット処理（マニュアル）



5.1.4.3. QTAT処理（１）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数６プロセス・ジョブ数２（バッチ毎に１プロセスジョブ）コントロール・ジョブ数２（バッチ毎に１コントロールジョブ） Carrier ID HOST 照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）スタート・メソッドオートバッチ毎のキャリア数３内部バッファ数６バッチ１（C1～C3） CJ1、PJ1 バッチ２（C4～C6） CJ2、PJ2 バッチ３（C7～C9）(特急キャリア) CJ3、PJ3

STL ＃1 FIMS ポート STL ＃2 リソース

処理中 C1～C3の処理終了にてC1～C3 を搬出し、QTAT対象のC7～C9を搬入する

C1

処理終了

待機

中

待機

中

次回

次々

回

C3

C2C7

C9

C8

C4

C6

C5

C1

QTAT発生

処理

中

待機

中次

回内部ﾊﾞｯﾌｧ

C2

C3

C4

C5

C6

C7

C8

C9

向（#n） CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP

初期状態 RTL NA NR OC IVO SNR NA No No Executing Setup NS NA NP バッチ１

(P1, (P1, (P1, (#2) (C1 (C1 (C1 State State (CJ1) (PJ1) (PJ1) (PJ1) (PJ1) の処理は

P2) P2) ,P2) ～～～ (C1 (C1 Queued Queued No No No 開始され

C6) C6) C6) ～～ (CJ2) (PJ2) State State State ている

C6) C6) (PJ2) (PJ2) (PJ2)

1 CJのQueued 1-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定 S14F3 H->E SetAttr.req

からSelected S14F4 H<-E SetAttr.rsp

への遷移

禁止設定

2 バッチ１キャリア 2-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange

スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

照合 2-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack CSMS、

2-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH CAS、

S6F12 H->E Ack （C1） STT、

2-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP STPはC1

S6F12 H->E Ack （C1）（C1）～C3まで

2-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC 順に変わ

S6F12 H->E Ack （#1）る。

2-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier

S3F18 H->E Ack

2-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK SVO

S6F12 H->E Ack （C1）

3 バッチ１処理中 3-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Accsess IA


3-2 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC

（ウェハがキャリアから取られた） S6F12 H->E Ack （#1）

3-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT WORK AW

（キャリアからボートへ） S6F12 H->E Ack （C1）

3-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC

（ウェハがボートへ移動した） S6F12 H->E Ack （#2）

キャリア内のウェハ枚数分3-2～3-4を繰返す


S6F12 H->E Ack

3-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange


バッチ数分2-1から3-6を繰返す


（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack （PJ1）

3-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP CIDS、

S6F12 H->E Ack (C1) CSMS、

4 バッチ１ 4-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC CAS、

処理終了 S6F12 H->E Ack (C1) STT、

4-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete STPはC1

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack ～C3まで

4-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Processing 順に変わ

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack Complete る

(PJ1)

5 バッチ１ 5-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change

内部バッファ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

保管 5-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack


（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）

5-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD

（ポートからキャリアへ） S6F12 H->E Ack （C1）


（ウェハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Ack （#1）

キャリア内のウェハ枚数分5-3から5-5を繰返す

5-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob

S6F12 H->E Ack Complete

(PJ1)

S6F12 H->E Ack (CJ1)

5-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request

S14F12 H->E Ack

5-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted NoState

S6F12 H->E Ack (CJ1)

5-6から5-9は、バッチの後のキャリアの処理終了時のみ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack （#1）

5-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange


バッチ数分5-1から5-12を繰返す


S3F18 H<-E Ack

6-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB 搬出時の

（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack （P1）ロードポー

6-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A トは、装置

S6F12 H->E Ack （P1）にまかせ

6-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R て空いて

S6F12 H->E Ack (P1) いるポート

6-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier LocationChange を使用す

S6F12 H->E Ack る。

6-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange （今回は、

S6F12 H->E Ack 全てポート

6-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU １を使用し

S6F12 H->E Ack （P1）ている）


S6F12 H->E Ack (P1)

S6F12 H->E Ack （P1）


S6F12 H->E Ack

6-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No

S6F12 H->E Ack State State State

(C1) (C1) (C1)



(C1) (C1)





１バッチのキャリア全てが搬出されるまで6-1から6-14が繰返される

7 特急キャリア 7-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

搬入移動 S6F12 H->E Ack （P2）


S6F12 H->E Ack

8 キャリアID照合 8-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA CIDS、

S6F12 H->E Ack （C7）（C7）（C7） CSMS、

8-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A CAS、

S6F12 H->E Ack （P2） STT、

8-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier STPはC7

S3F18 H<-E Ack ～C9まで

8-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO 順に変わ

S6F12 H->E Ack （C7）る

9 特急キャリア 9-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange （8-1～15- 内部バッファ S6F12 H->E Ack 12 まで

保管 9-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrieLocationChange 除く13-8、

S6F12 H->E Ack 14-1）

１バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで9-1～9-4が繰返される

10 レシピの確認 10-1 レシピリストの確認 S7F19 H->E Current EPPD Request

S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack

10-4 レシピ妥当性報告 S7F27 H<-E Process Program Verification Send

S7F28 H->E Ack

11 PJ作成 11-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PR Get Space

CJ作成、 S16F22 H<-E Ack

CJ、PJ実行 11-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJ Queue Space

S1F4 H<-E CJ Queue Space Response



11-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled Pooled

S6F12 H->E Ack （PJ3）


S14F10 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack （CJ3）

11-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected


11-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executiong


11-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup Setup NS NA NP

S6F12 H->E Ack （PJ3）（PJ3）（PJ3）（PJ3）

12 スロットマップ 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange

照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH


12-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP

S6F12 H->E Ack （C7）（C7）


S6F12 H->E Ack （#1）

12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier

S3F18 H->E Ack



13 バッチ１処理中 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E CarrierInAccsess IA










S6F12 H->E Ack

13-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change

13-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP

S6F12 H->E Ack (C7)

14 処理終了 14-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC

S6F12 H->E Ack (C7)

14-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack



(PJ3)

15 内部バッファ 15-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change



S6F12 H->E Ack


（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）






15-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PJ Complete PRJob PRJob PRJob PRJob


(PJ3) (PJ3) (PJ3) (PJ3)

15-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete ↓ ↓ ↓ ↓

S6F12 H->E Ack （CJ3） No No No No

15-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request State State State State

S14F12 H->E Ack (PJ3) (PJ3) (PJ3) (PJ3)

S6F12 H->E Ack

15-11 特急キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC





16 CJQueuedから 16-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除 S14F3 H->E SetAttr.req

Selectedへの S14F4 H<-E SetAttr..rsp

遷移 16-2 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected


16-3 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executiong




17 バッチ２キャリア 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


照合 17-17 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack （C4）（C4）


S6F12 H->E Ack （#1）


S3F18 H->E Ack





以下通常処理と同様な流れとなる。

終了状態 RTL NA NR OC IVO SVO CC AS NP Executing Processing NS NA NP

(P1， (P1，（P1，（#1）（C4 （C4） (C7～（C4）（C4）（CJ2）（PJ2）（PJ2）（PJ2）（PJ2）

P2 P2 P2）～ SNR C9）

C6） C6） NA



5.1.4.4. QTAT処理（２）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数６プロセス・ジョブ数２（バッチ毎に１プロセスジョブ）コントロール・ジョブ数２（バッチ毎に１コントロールジョブ） Carrier ID HOST 照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）スタート・メソッドオートバッチ毎のキャリア数３内部バッファ数６バッチ１（C1～C3） CJ1、PJ1 バッチ２（C4～C6） CJ2、PJ2 バッチ３（C7～C9）(特急キャリア) CJ3、PJ3


待機中のC4～C6を搬出し、QTAT対象の C7～C9を搬入する

C4

処理

中

待機

中次

回

C6

C5C1

C3

C2

C7

C9

C8

入替え

C1

QTAT発生

処理

中

待機

中次

回内部ﾊﾞｯﾌｧ

C2

C3

C4

C5

C6

C7

C8

C9

初期状態 RTL NA NR OC IVO SNR NA No No Executing Setup NS NA NP バッチ１の

（P1、（P1、（P1、 (#2) (C1 State State （CJ1）（PJ1）（PJ1）（PJ1）（PJ1）処理は、

P2) P2) P2) ～ (C1～ (C1～ (C1～ (C1～ Queued Queued No No No 開始され C6） C6） C6） C6） C6）（CJ2）（PJ2） State State State ている（PJ2）（PJ2）（PJ2）

1 CJのQueued 1-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定 S14F3 H->E SetAttr.req

からSelected S14F4 H<-E SetAttr.rsp

への遷移

禁止設定

2 バッチ２搬出 2-1 CJ2キャンセル S16F27 H->E CJCancel Complete

S16F28 H<-E Ack （CJ2）

2-2 CJ2中止報告 S6F11 H<-E CJ Canceled NoState


2-3 PJ2キャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel PRJob

S16F6 H<-E Ack Complete

（PJ2）

2-4 バッチ２キャリアへのアクションの S3F17 H->E Cancel Carrier

キャンセル S3F18 H<-E Ack

2-5 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrier Out

（内部バッファからロードポートへ） S3F18 H<-E Ack

バッチ内のキャリア数分2-4～2-5を繰返す



2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated NA



S6F12 H->E Ack (P1)

2-9 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier Location Change

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack （P1） CSMS,C

2-14 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved AS,STT, S6F12 H->E Ack STPはC4

2-15 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No ～C7まで

S6F12 H->E Ack State State State 順に変わ

（C4）（C4）（C4）る（2-14～

2-16 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA 2-15）




バッチ内のキャリア数分2-7～2-17を繰返す

3 バッチ１キャリア 3-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


照合 3-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack CSMS,C

3-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH AS,STT, S6F12 H->E Ack （C1） STPはC1

3-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP ～C3まで

S6F12 H->E Ack （C1）（C1）順に変わ

3-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC る

S6F12 H->E Ack （#1）（3-1～4- 3-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier 6）

S3F18 H->E Ack

3-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK SVO


4 バッチ１処理中 4-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Accsess IA

S6F12 H->E Ack







S6F12 H->E Ack (C1～

C3)

5 特急キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

搬入移動 S6F12 H->E Ack （P2）

5-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived CIDS,

S6F12 H->E Ack CSMS, 6 キャリアID照合 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA CAS, S6F12 H->E Ack （C7）（C7）（C7）はC7～

6-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A C9まで順

S6F12 H->E Ack （P2）に変わる

6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier （5-1～7

S3F18 H<-E Ack -4））



7 特急キャリア 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange

内部バッファ S6F12 H->E Ack

保管 7-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrieLocationChange

S6F12 H->E Ack





１バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返される

8 レシピの確認 8-1 レシピリストの確認 S7F19 H->E Current EPPD Request

S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack

8-4 レシピ妥当性報告 S7F27 H<-E Process Program Verification Send

S7F28 H->E Ack

9 PJ作成 9-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PR Get Space

CJ作成、 S16F22 H<-E Ack

CJ、PJ実行 9-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJ Queue Space

S1F4 H<-E CJ Queue Space Response



9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled Pooled

S6F12 H->E Ack （PJ3）


S14F10 H<-E Ack



10 バッチ１ 10-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC

処理終了 S6F12 H->E Ack (C1～

C3)

S6F12 H->E Ack



（PJ1）

11 バッチ１ 11-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


保管 11-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened STTはC1

S6F12 H->E Ack ～C3まで

11-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC 順に変わ

（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）る（11-4）






11-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob

S6F12 H->E Ack Complete

（PJ1）



11-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request

S14F12 H->E Ack





S6F12 H->E Ack

11-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC 搬出時の

S6F12 H->E Ack (C1～ロードポー

C3）トは、装置

11-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC にまかせ

（FIMSポートから内部バッファへ） S6F12 H->E Ack (#1) て空いて

バッチ数分11-1～11-12を繰返すいるポート

12 キャリア搬出 12-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut を使用す

S3F18 H<-E Ack る。

12-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB （今回は、

（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack (P1) 全てポート

12-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A １を使用し

S6F12 H->E Ack (P1) ている）


S6F12 H->E Ack (P1)

12-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier Location Change

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack State State State

（C1 （C1 （C1

～～～

C3） C3） C3）

S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack (P1)

１バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで12-1～12-14が繰返される

13 特急キャリア 13-1 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected

処理 S6F12 H->E Ack （CJ3）



13-3 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup Setup NS NA NP CSMS,C

S6F12 H->E Ack （PJ3）（PJ3）（PJ3）（PJ3） AS,STT, 14 スロットマップ 14-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change STPは、

照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack C7～C9ま

14-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened で順に変

S6F12 H->E Ack わる（14-1

14-3 スロットマップ読み込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH ～15-6）

S6F12 H->E Ack (C7)


S6F12 H->E (C7) (C7)


S6F12 H->E Ack （#1）


S3F18 H->E Ack



15 特急キャリア 15-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E CarrierInAccsess IA

処理中 S6F12 H->E Ack （C7）

S6F12 H->E Ack








C9)

16 処理終了 16-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC


C9)


S6F12 H->E Ack



（PJ3）

17 内部バッファ 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change



S6F12 H->E Ack

17-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC GAS,STP

（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）は、C7～

17-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD C9まで順

（ポートからキャリアへ） S6F12 H->E Ack （C7）に変わる

17-5 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC （17-3～

（ウェハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Ack （#1） 17-11）

17-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PJ Complete PRJob PRJob PRJob PRJob


（PJ3）（PJ3）（PJ3）（PJ3）

17-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E CJ Complete Complete ↓ ↓ ↓ ↓

S6F12 H->E Ack （CJ3） No No No No

17-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request State State State State






S6F12 H->E Ack

17-11 特急キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC





18 CJのQueued 18-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除 S14F3 H->E SetAttr.req

から S14F4 H<-E SetAttr.rsp

Selectedへの 18-2 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected

遷移 S6F12 H->E Ack （CJ2）





19 バッチ２キャリア 19-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


照合 19-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack （C4）（C4）


S6F12 H->E Ack （#1）


S3F18 H->E Ack



以下通常処理と同様な流れとなる。

終了状態 RTL NA NR OC IVO SVO CC AS NP Executing Setup NS NA NP

（P1，（P1，（P1，（#1）（C4 （C4） (C7～（C4）（C4）（CJ2）（PJ2）（PJ2）（PJ2）（PJ2）

P2） P2） P2）～ SNR C9）

C6） C5、 NA

C6）（C4、

C6）



5.1.5. エラーリカバリシナリオ

5.1.5.1. エラー内容一覧装置で発生するであろう代表的な異常ケースを、以下の表に示す。次のセクションではこれらに

ついての運用フローの詳細とシナリオを示す。

エラー内容詳細条件キャリア搬入時ハンドオフ失敗キャリアハンドオフ (E84) 失敗キャリア搬出時ハンドオフ失敗スロットマップ読み込みエラースロットマップ情報不一致

FIMS ポートでのスロットマップ照合失敗

ダブルスロット、クロススロットキャリアＩＤ読み込み失敗キャリアＩＤ照合失敗キャリアＩＤ情報不一致プロセスジョブ作成エリア不足コントロールジョブ作成エリア不足間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成指示間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成指示ま

ジョブ作成失敗

指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブが含まれていたデリパリポジションでのクランプ失敗デリパリポジションでのアンクランプ失敗ドックドポジションでのドッキング失敗

（アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗

ドックドポジションでのアンドッキング失敗



5.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗キャリアハンドオフにて異常が発生した場合、装置はホストに異常発生を通知し、キャリ

アハンドオフ動作を終了する。（自動搬送機側のタイマーがタイムアウトすることにより、

それ以上キャリアハンドオフの動作が進行しないため、必然的に装置側のタイマーがタイ

ムアウトすることになる。）装置は異常状態が解除された時点で、キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェイス信号を初期状態に戻した後、ロードポート上のキャリア有無を調べ、以下に示す処理をお

こなう。ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵﾌの方向

異常解除時ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上のｷｬﾘｱ有無

異常解除前のﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｽﾃｰﾀｽ

異常解除後の装置動作異常解除後のﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｽﾃｰﾀｽ

RTL なにもしない RTL ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｰｽﾒﾝﾄｾﾝｻｰ:OFF TB キャリアハンドオフをなかったことにする。 RTL

搬入

ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｰｽﾒﾝﾄｾﾝｻｰ:ON

TB キャリアハンドオフを終わったことにする。キャリア搬入完了後の処理を継続する。

TB

ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｾﾞﾝｽｾﾝｻｰ:OFF

TB キャリアハンドオフを終わったことにする。キャリア搬出後の後処理をおこなう。

RTL

RTU なにもしない RTU

搬出

ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｾﾞﾝｽｾﾝｻｰ:ON TB キャリアハンドオフをなかったことにする。 RTU

エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の２パターンについて示す。 (1) キャリア搬入時キャリアハンドオフ失敗 (2) キャリア搬出時キャリアハンドオフ失敗

なお、E84ハンドシェイク及びタイマー値については、次の章を参照のこと。 5.2.11.、5.2.12 搬入時 E84ハンドシェイク、搬出時 E84ハンドシェイク 5.2.13 E84タイマー一覧

注) RTL:搬入可能状態(ReadyToLoad) TB :ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵﾌ中(TransferBlocked) RTU:搬出可能状態(ReadyToUnload)



151

図 5-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗

コメントオペレータホスト装置AMHS

１ 1) キャリア搬入時　キャリアハンドオフ失敗

キャリア搬入可能を報告する

BEGIN

搬入指示

オペレータ通知

L_REQ：OFF？

搬入指示キャリア搬送

ロードポート到着

TA4 Timer起動

搬入要求

TA4タイムアウト？

アラーム報告

TP3 Timer起動

S6F11：Ready To Load

Yes

No

キャリアセンサー：ON？

TP3タイムアウト？

アラーム報告

No

No

L_REQ：ON

CS_0：ONCS_1：OFFVALID：ON

S5F1：Carrier Hand off Fail


ハンドオフ開始

ハンドオフ中

ハンドオフ許可

TR_REQ：ON

READY：ON

BUSY：ON

S6F11：Transfer Blocked

ｷｬﾘｱを適切な位置にｾｯﾄし、ｱﾗｰﾑをﾘｾｯﾄ

するｱﾗｰﾑ解除報告S5F1：Carrier Handoff Fail Recover

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱがあるか

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬入可能な状態とする

S6F11: Ready To Load

Yes

ｷｬﾘｱ搬入完了とするS6F11: Material Has Arrived

Yes

この場合は、ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄがT/B状態となっているため、ｱﾗｰﾑﾘｾｯﾄ時にﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱが存在すれば、搬入完了としている。

END

END



152

図 5-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗


１ 2) キャリア搬出時　キャリアハンドオフ失敗

キャリア搬出可能を報告する

BEGIN

搬出指示


L_REQ：OFF？

搬出指示キャリア搬送

ロードポート到着

TA4 Timer起動

搬出要求

TA4タイムアウト？

アラーム報告

TP3 Timer起動

S6F11：Ready To Unload

Yes

No

キャリアセンサー：OFF？

TP3タイムアウト？

アラーム報告

Yes

No

L_REQ：ON

CS_0：ONCS_1：OFFVALID：ON

S5F1：Carrier Hand off Fail


ハンドオフ開始

ハンドオフ中

ハンドオフ許可

TR_REQ：ON

READY：ON

BUSY：ON


ｷｬﾘｱを適切な位置にｾｯﾄし、ｱﾗｰﾑをﾘｾｯﾄ

するｱﾗｰﾑ解除報告S5F1：Carrier Handoff Fail Recover

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱがあるか

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬出可能な状態とする

S6F11: Ready To Unload

Yes

ｷｬﾘｱ搬出完了とするS6F11: Material Has Removed

No

この場合は、ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄがT/B状態となっているため、ｱﾗｰﾑﾘｾｯﾄ時にﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱが存在しなければ、搬入完了としている。

END

END



153

自動ハンドオフ中 E84失敗

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

略語意味 #1 FIMS ポート #2 モジュール（ボート）

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


#1Substrate



#2Substrate

Location ID(Boat)

154

キャリア搬入時キャリアハンドオフ失敗



1 キャリア搬入 1-1 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Load RTL NAS NR UOC No No No No No No State No State No No No

（キャリア搬入可能報告） S6F12 H->E Acknowladge (#1,#4) State State State State State State State State

1-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB

（Transfer Blocked） S6F12 H->E Acknowladge

キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生

1-3 キャリア搬入失敗 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Occurred

S5F2 H->E Acknowladge

２異常状態復帰オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示

2-1 キャリアハンドオフ復旧 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recovered


３キャリア異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがあれば、搬入完了とみなす

搬入完了 3-1 搬入完了 S6F11 H<-E Material Has Arrived

155

キャリア搬出時キャリアハンドオフ失敗



1 キャリア搬出 1-1 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU NAS NR OC IVO SVO CC AD PC No State No State No No No

（キャリア搬入可能報告） S6F12 H->E Acknowladge (#1) State State State



キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生

1-3 キャリア搬出失敗 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Occurred


２異常状態復帰オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示

2-1 キャリアハンドオフ復旧 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recovered


３キャリア異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがなければ、搬出完了とみなす

搬出完了 3-1 キャリア搬出移載完了 S6F11 H<-E Material hs Removed


3-2 キャリア移動 S6F11 H<-E Substrate Unoccupied UOC

S6F12 H->E Acknowladge (#U1)


S6F12 H->E Acknowladge State State State


S6F12 H->E Acknowladge State State

3-5 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Associated NAS

（Not Associated） S6F12 H->E Acknowladge

3-6 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Load RTL

（キャリア搬入可能報告） S6F12 H->E Acknowladge



156

5.1.5.3. スロットマップ照合失敗スロットマップ照合が異常終了したとしても、ホストからウェーハの情報をコンテンツマップと

して装置に与えることによって、処理の継続は可能である。しかし、エラーが発生した場合には、

オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認すべきである。従って、どの場合でもオペレータ

がキャリア内のウェ－ハ状態を確認することとする。スロットマップ照合に失敗したキャリアが再度ロードポートから搬入されれば、コントロールジ

ョブは既に装置内に存在するため、装置は直ちにスロットマップ照合に取りかからなければなら

ない。

また、スロットマップ照合に失敗したキャリア以外を使用する場合は、ジョブのキャンセルが行

われる。装置は、ジョブがキャンセルされることにより、既にボートに投入済みのウェーハを元

のキャリアに回収し、そのキャリアを未使用の状態(Not Accessed)にしなければならない。これにより、キャリアを搬出することなく、再バッチ組が可能となる。エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の３パターンについて示す。

(1) スロットマップ読み込み失敗 (2) スロットマップデータエラー

(3) ダブルスロット、クロススロット



157

図 5-3 スロットマップ読込み失敗 1/3


１ (1) スロットマップ読込み失敗

BEGIN

S6F11：FOUP Opened

S6F11：Carrier Location Change

FOUPドア OPEN

スロットマップ読込みエラー発生

スロットマップ読込み結果を通知する

スロットマップ照合完了を通知する

FOUPドア CLOSE

キャリアの取消を要求する


S6F11：FOUP Closed

キャリアの払出しを要求する

S5F1：SlotMap Read Fail

S6F11：Waiting For Host

S3F17：Cancel Carrier

内部バッファからFIMSポートへキャリア移動

FIMSポートから内部バッファへキャリア移動


ロードポートのアクセスステータスを

更新する

ロードポートステータスを更新する

内部バッファからロードポートへ

キャリア移動

内部バッファのキャパシティ変更を報告

キャリア搬出可能な状態とする

S5F1：SlotMap Verification Failed


S6F11：Associated


S6F11：Buffer Capacity Change


2a

S3F17：Carrier Out

ロードポート予約ステータスを更新する

S6F11： Reserved


S6F11： Not Reserved



158



２

スロットマップリータが正常動作するようメンテナンスしたのちキャリアの再搬入を行う

異常発生したｷｬﾘｱを再投入す

るか？

Yes

END

No

ジョブキャンセルコントロールジョブ

停止要求停止要求されたコントロールジョブに関するプロセスジョブの停止を開始する

プロセスジョブが停止したことを

報告する

内部バッファからFIMSポートへ

キャリア移動

FOUPドア OPEN

ウェハをポートから取り出す

ウェハの移動報告

※１

※２

※３

S6F11：Process Job Stopping

S6F11：Process Job Complete

S6F11：Carrire Location Change

S6F11：FOUP Opend

S6F11：Unoccupied（ボート）

S6F11：Substrate At Distination

3a

S16F27：CJStop

ジョブキャンセル

※１ Active状態にあるプロセスジョブ全てについて伴う

※２ FIMSポート上のキャリアに戻すべきウェハ全てについて行う

※３ボートへウェハ投入しているキャリア全てについて行う

2a

(1) スロットマップ読込み失敗

S6F11：Occupied（FIMS）ウェハをキャリアに戻す



159



３


S6F11：FOUP Closed

S6F11：Carrier Stoppedキャリアの中断を

報告する

FOUPドア CLOSE

FIMSポートから内部

バッファへ

キャリア移動

Activeでなかったプロ

セスジョブをキャンセ

ルする

Queued/Pooled状態

にあるプロセスジョブ

を削除する S6F11：PRJob Deleted

S16F5：PRJob Cancel

※４※４

Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態に

あるプロセスジョブ全てに

ついて行う

3a

(1) スロットマップ読込み失敗

コントロールジョブの

削除を要求する

S6F11：CJComplete

S6F11：Deleteｄ

S16F27：CJ Delete

後の

キャリア？


終了を報告する

コントロールジョブを

削除する

Yes

No

END



160

図 5-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3


１ (2) スロットマップ　ホスト照合失敗

BEGIN

S6F11：FOUP Opened


FOUPドア OPEN

スロットマップ読込み結果を通知する

スロットマップ照合完了を通知する

FOUPドア CLOSE

キャリアの取消を要求する

S6F11：FOUP Closed

キャリアの払出しを要求する



内部バッファからFIMSポートへキャリア移動

FIMSポートから内部バッファへキャリア移動


ロードポートのアクセスステータスを

更新する

ロードポートステータスを更新する


キャリア移動




S6F11：Associated



2a

ウェハオブジェクトを生成する

S6F11：Substrate At Source

サブストレート情報を取得する

S6F11：Occupied（FIMS）

S3F17：Carrier Out


S6F11：Reserved

ロードポートを搬出可能な状態とする



S6F11：Not Reserved




161



２



るか？

Yes

END

No




報告する


キャリア移動

FOUPドア OPEN



※１

※２

※３




S6F11：FOUP Opend



3a

S16F27：CJStop





2a

(2) スロットマップホスト照合失敗




163



３


S6F11：FOUP Closed

S6F11：Carrier Stoppedキャリアの中断を

報告する

FOUPドア CLOSE

FIMSポートから内部

バッファへ

キャリア移動

Activeでなかったプロ

セスジョブをキャンセ

ルする

Queued/Pooled状態

にあるプロセスジョブ



※４※４

Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態に

あるプロセスジョブ全てに

ついて行う

3a

(2) スロットマップホスト照合失敗


削除を要求する

S6F11：CJComplete

S6F11：Deleteｄ

S16F27：CJ Delete

後の

キャリア？


終了を報告する

コントロールジョブを

削除する

Yes

No

END



164

図 5-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3


１ (3) ダブルスロット／クロススロット

BEGIN

S6F11：FOUP Opened


FOUPドア OPEN

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ読込み結果を通知する

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合完了を通知する

FOUPドア CLOSE

ｷｬﾘｱの取消を要求する

S6F11：FOUP Closed

ｷｬﾘｱの払出しを要求する



内部ﾊﾞｯﾌｧからFIMSﾎﾟｰﾄへｷｬﾘｱ移動

FIMSポートから内部ﾊﾞｯﾌｧへｷｬﾘｱ移動


ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｱｸｾｽｽﾃｰﾀｽを更新する

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄｽﾃｰﾀｽを更新する

内部ﾊﾞｯﾌｧからﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄトへｷｬﾘｱ移動

内部ﾊﾞｯﾌｧのｷｬﾊﾟｼﾃｨ変更を報告



S6F11：Associated



2a

ｳｪﾊｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄを生成する

S6F11：Substrate At Source

ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄ情報を取得する

S6F11：Occupied（FIMS）

S3F17：Carrier Out

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ予約ｽﾃｰﾀｽを更新する

S6F11：Reserved

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬出可能な状態とする


ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ予約ｽﾃｰﾀｽを更新する



ﾀﾞﾌﾞﾙ（ｸﾛｽ）ｽﾛｯﾄのｱﾗｰﾑを報告する

S5F1：Improper Wafer Position



165



２



るか？

Yes

END

No




報告する


キャリア移動

FOUPドア OPEN



※１

※２

※３




S6F11：FOUP Opend



3a

S16F27：CJStop





2a

(3) ダブルスロット／クロススロット




166



３


S6F11：FOUP Closed

S6F11：Carrier Stoppedキャリアの中断を報告する

FOUPドア CLOSE

FIMSポートから内部バッファへ

キャリア移動

Activeでなかったプロセスジョブをキャンセ

ルする

Queued/Pooled状態にあるプロセスジョブ



※４※４Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態にあるプロセスジョブ全てについて行う

3a

(3) ダブルスロット／クロススロット

コントロールジョブの削除を要求する

S6F11：CJComplete

S6F11：Deleteｄ

S16F27：CJ Delete

後のキャリア？

コントロールジョブの終了を報告する

コントロールジョブを削除する

Yes

No

END



167

スロットマップ照合失敗前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

略語意味 #1 FIMS ポート #2 モジュール（ボート）

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


#1Substrate



#2Substrate

Location ID(Boat)

168

スロットマップリードエラージョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント


1 スロット 1-1 キャリアロケーションチェンジ S6F11 H<-E Carrier Location Changed RTL NAS NR UOC IVO SNR NAC No No Executing Setup NS NA NP

マップ照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Acknowledge (#1) State State

1-2 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Open

S6F12 H->E Acknowledge

1-3 スロットマップ読込み異常発生 S5F1 H<-E Slot Map read ｆailed Occurred


1-4 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting For Host WFH


1-5 スロットマップ読込みNG S3F17 H->E Cancel Carrier

S3F18 H<-E Acknowledge

1-6 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification Failed SVF


1-7 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed



（FIMSポートから内部バッファへ） S6F12 H->E Acknowledge

2 異常キャリアの 2-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrrier Out

払出し S3F18 H<-E Acknowladge



2-3 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Associated A

（Associated） S6F12 H->E Acknowladge

2-4 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Reserved R

（Reserved） S6F12 H->E Acknowladge


（内部バッファからロードポートへ） S6F12 H->E Acknowladge

2-6 内部バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E Buffer Capacity Change


2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU

（キャリア搬出可能報告） S6F12 H->E Acknowladge

2-8 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Reserved NR

（Not Reserved） S6F12 H->E Acknowladge

169



3 ジョブキャンセル 3-1 CJ停止要求 S16F27 H->E CJStop


3-2 PJ状態変更報告 S6F11 H<-E Process Job Ｓｔｏｐｐｉｎｇ Stopping


3-3 PJ完了報告 S6F11 H<-E Process Job Complete PR Job No No No

S6F12 H->E Acknowladge Complete State State State

STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2～3-3を繰り返す。 ↓

3-4 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change OC IVO SVO INA AW NP No

（内部バッファからＦＩＭＳポートへ） S6F12 H->E Acknowladge (#2) State

3-5 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Opened


3-6 ウェーハ移動 S6F11 H->E Substarate Location Unoccuppied UOC

（ウェーハがボートから取られた） S6F12 H<-E Acknowladge (#2)

3-7 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate At Distination AD

（ウェーハがボートからキャリアへ） S6F12 H->E Acknowladge

3-8 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate Location Occuppied OC

（ウェーハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Acknowladge (#1)

1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6～3-8を繰り返す。



3-10 CJ削除要求 S16F27 H->E CJ Delete

S16F28 H<-E Acknowladge

3-11 CJ削除報告 S6F11 H<-E Delete No State


後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9～3-11を行う。



3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Stopped CS


3-14 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC

(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowladge (#1)

ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4～3-14を繰り返す。

170



3-15 プロセスジョブキャンセル S16F5 H->E PRJob Cancel Queued No No No

S16F6 H<-E Acknowladge state Stae State

3-16 プロセスジョブ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete No State


Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15～3-16を繰り返す。

171

スロットマップホスト照合異常ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント








1-4 ウェーハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substarate At Source AS NP


1-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substarate Occupied OC

S6F12 H->E Acknowladge (#1)

172
































3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Stopped CS



173











174

ダブルスロット／クロススロット後ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント






1-3 ダブル（クロス）スロット発生 S5F1 H<-E Improper Wafer Position




1-5 ウェーハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substarate At Source AS NP


1-6 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substarate Occupied OC

S6F12 H->E Acknowladge (#1)



175


































176



3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Not Accessed CS



177

5.1.5.4. キャリア ID照合失敗キャリア ID照合失敗のパターンは、次の２つが考えられる。 (1) キャリア ID読み込み失敗

(2) キャリア IDの不一致どちらの場合とも、エラーが発生しても処理続行をおこなうことは可能だが､オペレータが介入

してキャリアの異常、装置の異常がないかの確認をおこなうことを基本とする。エラー発生時の対応運用フローとシナリオを上記の２パターンについて示す。



178

図 5-12 キャリアＩＤ読込みエラー


１

キャリアアンロードの準備をおこなう

キャリア搬入完了

アラーム通知（CarrierID

Read Failure）

キャリアID読込み

キャリアの処理キャンセルを指示する（CancelCarrierAtPort）

キャリアIDが読込めた？

No

（１）　キャリアID読込みエラー

イベント通知（CarrierID

Read Failure）

キャリア搬出準備完了通知

（ReadyToUnload）

必要に応じてキャリアまたは、装置のメンテナンスをおこなう。

復旧までに時間がかかりそうな場合には、オペレータの判断により、エラーが発生したロードポートをOutofServiceにする。

なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。

キャリアID照合へ

Yes

S5F1 Alarm Report Send

S6F11 CarrierID Read Failure

S3F17 CancelCarrierAtPort

S6F11 Ready To Unload



179

図 5-13 キャリアＩＤの不一致


１

キャリアID照合失敗通知

（ID VerificationFailed）

キャリア搬入完了

キャリアID読込み通知

（Waiting forHost）

キャリアID読込み

キャリアの処理キャンセルを

指示する（CancelCarrier）

キャリアアンロードの準備をおこなう

キャリアオブジェクト作成

キャリアとロードポートを関連づける(Associated)

（２）　キャリアＩＤの不一致

キャリア搬出準備完了通知（Ready ToUnLoad）

必要に応じてキャリアの確認をおこなう

Yes

キャリアIDが期待していたもの

と同じか

No

通常処理へ(キャリアのドック）

S6F11 Waiting for Host

S6F11 Ready To Unload

S6F11 ID Verification Failed

S3F17 CancelCarrier

S6F11Associated



180

キャリア ID照合失敗キャリア IDが読み込めない場合と、キャリア IDは読み込めたが、ホスト照合にてエラーとなった場合の２つの場合を示す。

前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数１ Carrier ID HOST 照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

搬入完了したキャリアの IDを読み込もうとしたが読み込時にエラーが発生した。

C1

搬入完了

搬入完了したキャリアの IDを読み込めたが、ホスト照合でエラーが発生した。

C1

搬入完了

C1

キャリアＩＤ読み込みエラー発生

C1

キャリアＩＤの不一致発生

181

キャリア ID読み込み失敗（処理続行不可能な場合）


向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 0 初期状態 TB NAS NR No No No No No No No No No No No

（ロードポート１にキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State State State State

搬入完了状態） RTL P2, P2,

(P2, P3) P3)

P3)

1 キャリアID照合 1-1 CarrierID読取り S5F1 H<-E Alarm Report Send

（読み込み失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

1-2 キャリアID読み取りエラー S6F11 H<-E CarrierID Read Fail

S6F12 H->E Ack

2 処理続行可能？ 2-1 ホストで処理続行するか判断する

3 処理続行不可能 3-1 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrierAtPort

な場合 S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack (P1)

182

キャリア IDの不一致 # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント


（ロードポート１にキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State State State State


(P2, P3) P3)

P3)

1 キャリアID照合 1-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NAC

（キャリアIDは、読み込めた） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack (P1)

1-3 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier IVF

S3F18 H<-E Ack 必要に

1-4 キャリアID照合失敗 S6F11 H<-E ID Verification Failed 応じて

S6F12 H->E Ack キャリアの

2 キャリア搬出 2-1 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU チェックを

S6F12 H->E Ack (P1) おこなう



183

5.1.5.5. ジョブ作成失敗

エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の５パターンについて示す。

(1) プロセスジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合（フローのみ） (2) コントロールジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合（フローのみ） (3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合 (4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合 (5) ホストからコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブ指示された場合（フロー、シナリオは、（４）、（５）で共通）



184

図 5-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合


１

PJ作成用の空きエリア確認

作成可能なPJの空きエリアを報告

PJの空きエリアは足りている？

作成済みPJの完了または、キャンセルを待

つ

No

（１）　プロセスジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合

S16F21 PRGetSpace

S16F22 PRGetSpace Send

ＰＪ、ＣＪの両方の空きエリアがあることを確認してから、ＰＪ、ＣＪの順序でジョブを

作成する。

通常処理と同様となる

Yes



185

図 5-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合


１

CJ作成用の空きエリア確認

作成可能なCJの空きエリアを報告

CJの空きエリアは足りている？

作成済みCJの削除または、キャンセルを待

つ

No

（２）　コントロールジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合

S1F3 CJQueueSpace

S1F4CJQueueSpaceResponse


作成する。


Yes



186

図 5-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3


（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合

PJ作成用の空きｴﾘｱ確認

PJ作成(PRJobMultiCreate)

作成可能なPJの空きｴﾘｱを報告

PJ作成失敗

PJの空きｴﾘｱは足りている？

Variableパラメータ内容が正しい

？

Yes

No

S16F21 PRGetSpace


CJ作成用の空きｴﾘｱ確認作成可能なCJの

空きｴﾘｱを報告

S1F3 CJQueueSpace

S1F4 CJQueueSpace Response


S16F16 PRJobCreate Ack

3a

１

ＰＪを作り直す？

2aNo

CJの空きｴﾘｱは足りている？

Yes


作成する。

Yes

Variableパラメータ以外の内容が

正しい？

YesNo

ジョブ作成時のエラーは、エラーコードによりエラー内容の判断ができること


オペレータの判断でＰＪを作り直すかどうかを決める。

PJ作成用の空きｴﾘｱができるのを待つ

No

CJ作成用の空きｴﾘｱができるのを待つ

No


YesS16F16 PRJobCreate Ack



187



（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合２

間違ったPJの修正をおこなう

PJ作成用の空きｴﾘｱ確認


作成可能なPJの空きｴﾘｱを報告

PJの空きｴﾘｱは足りている？

Yes

S16F21 PRGetSpace


CJ作成用の空きｴﾘｱ確認作成可能なCJの

空きｴﾘｱを報告

S1F3 CJQueueSpace



CJの空きｴﾘｱは足りている？

Yes


作成する。

PJ作成

2a

PJの作成を指示する

以下は、通常処理と同様となる


CJ作成用の空きエリアができるのを待つ

No

PJ作成用の空きエリアができるのを待つ

No



188



（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合

3a

３

ｷｬﾘｱの処理ｷｬﾝｾﾙを指示する

(CancelCarrier)キャリア払い出し

(Transfer Blocked)

S3F17 CancelCarrier

バッチ内のキャリア数分だけ処理を繰り返す

ロードポートステータスを更新する(Reserved)


S6F11：Associated


キャリア搬出可能

S6F11：Material Has Removed

キャリア搬出指示

キャリア搬出

搬出指示

搬出開始報告

搬出完了報告

搬出開始

搬出完了




キャリアオブジェクトを削除する

ロードポートステータスを変更する

(Not Associated)


S6F11：Deleted

S6F11：Not Associated



キャリア移動



S6F11：Reserved

ロードポートステータスを更新する(Associated)

ロードポート予約解除


エラーが発生したバッチのキャリアを全て搬出する



189

図 5-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3


１（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合

PJ作成用の空きエリア確認


作成可能なPJの空きエリアを報告

CJ作成(CJCreate)

PJの空きエリアは足りている？

Yes

Yes

Yes

S16F21 PRGetSpace


CJ作成用の空きエリア確認

作成可能なCJの空きエリアを報告

S1F3 CJQueueSpace




CJ作成失敗

メッセージフォーマットが正しい？

No

S14F9 CJCreate

S14F10 CJCreate Ack


Yes

CJで指定しているPJがある？

No

3a

CJを再作成する？

2a

No

YesYes


作成する。

キャリアをそのままの状態にしておきＣＪの再作成をおこなう場合と、作成済みのＰＪをキャンセルして、キャリアを払い出す場合がある。

Variableパラメータ内容が正しい

？

Variableパラメータ以外の内容が

正しい？

Yes

ジョブ作成時のエラーは、エラーコードによりエラー内容の判断ができること


No


No


ホストから間違ったﾌﾟﾛｾｽｼﾞｮﾌﾞ作成が指示され

た場合と同様となる

No



NoS14F10 CJCreate Ack

No



190



２（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合


S1F3 CJQueueSpace

正しいCJを再作成する

CJを再作成する(CJCreate)


CJを再作成する

S14F9 CJCreate


作成可能なCJの空きリアを報告

CJ作成用の空きエリアの確認

既にＰＪは作成済みだが、ＰＪから再作成するかをオペレータが判断する

CJだけを再作成する

2a

今回作成したＰＪを削除し、ＰＪ、ＣＪともに

再作成する

PJから再作成する？

Yes

PJキャンセル報告

S16F5 PRJobCancel

S6F11 PRJob Complete

今回作成したPJをキャンセルする(PRJobCancel)

通常のＰＪ、ＣＪ作成処理と同様となる

CJだけを再作成する

正しいCJを再作成する

ＣＪ作成用の空きエリアができるのを待つYes

No

S14F10 CJCreate Ack

No



191



（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合

3a

３


(CancelCarrier)キャリア払い出し(Transfer Blocked)

S3F17 CancelCarrier

バッチ内のキャリア数分だけ処理を繰り返す

ロードポートステータスを更新する(Reserved)


S6F11：Associated


キャリア搬出可能

S6F11：Material Has Removed

キャリア搬出指示

キャリア搬出

搬出指示

搬出開始報告

搬出完了報告

搬出開始

搬出完了S6F11：Transfer Blocked



キャリアオブジェクトを削除する

ロードポートステータスを変更する

(Not Associated)


S6F11：Deleted

S6F11：Not Associated



キャリア移動



PJキャンセル報告(PRJob Complete)

S16F5 PRJobCancel 今回作成したPJをキャンセルする(PRJobCancel)


S6F11：Reserved

ロードポートステータスを更新する(Associated)

ロードポート予約解除

既に作成済みのＰＪをキャンセルし、バッチ分のキャリアを全て搬出する

作成済みのＰＪをキャンセルし、バッチ分のキャリアを全て搬出

する



192

ジョブ作成失敗シナリオ前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数３プロセス・ジョブ数１コントロール・ジョブ数１ Carrier ID HOST 照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）バッチ毎のキャリア数３内部バッファ数６バッチ１（C1～C3） CJ1、PJ1


ジョブ作成でエラーが発生したら、内部バッファへ搬入済みの C1～C3 キャリアを搬出する。 C1

搬入完了


C2

C3

C1

C3

C2

C1

C3

C2


193

ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合（ＰＪの再作成をおこなう場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SNR NAC No No No No No No No

（内部バッファ内のキャリアC1～C3 (P1, (P1, (P1, State (C1～ (C1～ (C1～ State Stete State State State State State

キャリアＩＤ照合完了状態） P2, P2, P2, C3) C3) C3)

レシピ妥当性に問題ないことを P3) P3) P3)

確認済み

1 PJ作成 1-1 ＰＪの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace

失敗 S16F22 H<-E PRGetSpace Send

1-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace


1-3 PJ作成失敗 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

S16F16 H<-E PRJob Create Ack

2 ＰＪを再作成する 2-1 ＰＪの再作成をおこなうか判断する

か判断する

3a ＰＪの再作成を 3a-1 ＰＪの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace オペレー

おこなう場合 S16F22 H<-E PRGetSpace Send タをコール

3a-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace し、ジョブ

S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse 内容の

3a-3 PJ作成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate 修正を

S16F16 H<-E PRJob Create Ack おこなう

3a-4 ＰＪ作成完了 S6F11 H<-E PRJob Pooled PRJob

S6F12 H->E Ack Pooled

以下通常処理と同様となる

194

ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合（ＰＪの再作成をおこなわない場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 3b ＰＪの再作成を 3b-1 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier

おこなわない S3F18 H<-E Ack

場合 3b-2 キャリア払出 S6F11 H<-E Transfer Blocked

（内部バッファからロードポート） S6F12 H->E Ack

3b-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A(P1)

S6F12 H->E Ack

3b-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R(P1)

S6F12 H->E Ack

3b-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack

3b-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange

S6F12 H->E Ack

3b-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU

S6F12 H->E Ack (P1)

3b-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR

S6F12 H->E Ack (P1)

3b-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB

S6F12 H->E Ack (P1)

3b-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved

S6F12 H->E Ack

3b-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No CIDS,

S6F12 H->E Ack State State State CSMS,

3b-12 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NAS (C1) (C1) (C1) STPは、

S6F12 H->E Ack (P1) C1から

3b-13 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL C3まで

S6F12 H->E Ack (P1) 繰返す

バッチ内のキャリア数分3b-1～3b-13を

繰返す

195

ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合

（ＣＪだけの再作成をおこなう場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SVO NAC No No No No No No No

（内部バッファ内のキャリアC1～C3 (P1, (P1, (P1, State (C1～ (C1～ (C1～ State Stete State State State State State

キャリアＩＤ照合完了状態） P2, P2, P2, C3) C3) C3)

レシピ妥当性に問題ないことを P3) P3) P3)

確認済み

1 PJ作成 1-1 ＰＪの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace

失敗 S16F22 H<-E PRGetSpace Send

1-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace


1-3 PJ作成失敗 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

S16F16 H<-E PRJob Create Ack

1-4 PJ生成完了 S3F17 H->E PR Job Pooled PRJob

S3F18 H<-E Ack Pooled

1-5 CJ生成失敗 S14F9 H->E CJCreate

S14F10 H<-E Ack

2 ＣＪを再作成 2-1 ＣＪの再作成をおこなうか判断する

するか判断するオペレー

3a ＣＪの再作成を 3a-1 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace タをコール

おこなう場合 S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse し、ジョブ

3a-2 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate 内容の

S14F10 H<-E Ack 修正を

3a-3 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued おこなう

S6F12 H->E Ack

以下通常の処理と同様となる

196


（ＰＪ、ＣＪともに再作成をおこなう場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 3b PＪのキャンセル 3b-1 PJキャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel

S16F6 H<-E Ack

3b-2 PJキャンセル報告 S6F11 H<-E PR Job Complete PRJob

S6F12 H->E Ack Canceled

4b 通常のＰＪ、ＣＪ以下通常のＰＪ、ＣＪ作成の処理と ↓

作成処理同様となる No State


（ＣＪの再作成をおこなわない場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ PJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 3c ＣＪの再作成を 3c-1 PJキャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel

おこなわない S16F6 H<-E Ack

場合 3c-2 PJキャンセル報告 S6F11 H<-E PR Job Complete Process

S6F12 H->E Ack Job

3c-3 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier Canceled

S3F18 H<-E Ack ↓

4c キャリア搬出 4c-1 キャリア払出 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB NoState

（内部バッファからロードポート） S6F12 H->E Ack (P1)

4c-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A(P1)

S6F12 H->E Ack

4c-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R(P1)

S6F12 H->E Ack

4c-4 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack

197


向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 4c-5 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange

S6F12 H->E Ack

4c-6 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU

S6F12 H->E Ack (P1)

4c-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR

S6F12 H->E Ack (P1)

4c-8 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB

S6F12 H->E Ack (P1)

4c-9 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved

S6F12 H->E Ack CIDS,

4c-10 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No CSMS,

S6F12 H->E Ack State State State CAS、

4c-11 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NAS (C1) (C1) (C1) C1から

S6F12 H->E Ack (P1) C3まで

4c-12 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL 繰返す

S6F12 H->E Ack (P1)

バッチ内のキャリア数分3c-3～4c-12を

繰返す



198

5.1.5.6. （アン）クランピング／（アン）ドッキング失敗（アン）クランプ／（アン）ドッキングは、どの処理とも論理的なものではなく、固定する／開

放するという物理的な動作を伴う。従ってどの場合の失敗でもオペレータが介入し、どのように

対応するかの判断をおこなう。エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次のパターンについて示す。

(1) デリバリポジションでクランピングに失敗した場合 (2) ドックドポジションでドッキングに失敗した場合 (3) ドックドポジションでアンドッキングに失敗した場合 (4) デリバリポジションでアンクランピングに失敗した場合



199

図 5-22 クランピング失敗


（１）　クランピング失敗

キャリアを持って来る

アラーム通知（Clamp Failure）

デリバリポジションでキャリアを

クランプする

キャリアをクランプできた？

No

キャリア IDの読込みはクランプ完了後におこなう

キャリアハンドオフパラレル I/O

インタフェース正常終了

キャリアを移載完了し移動する

PIO


１

クランプ時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと

オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServiceにする


キャリアまたは、クランプ機構をメンテナン

スする

キャリア、クランプ機構をチェックする


Yes




200

図 5-23 ドッキング失敗


（２）　ドッキング失敗

アラーム通知（Dock Failure）

アラーム受信

キャリアをドッキングできた？

No

FIMSポートでキャリアをドックする

CJ:ExecutingPJ:Setup状態

キャリアロケーション変更報告

内部バッファからFIMSポートへの

キャリア移動

１

S6F11 Carrier Location Change


ドック時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと



CJをStopするCJをStopする

S6F11 Stopped


キャリア、ドック機構をチェックする

キャリアまたは、ドック機構のメンテナンス

をおこなう

エラーが発生したキャリアに対しての

CJ,PJを止める（PJはCJを止めることにより止まる）

S6F11 PRJob Stopping

S16F27 CJStop

PJ終了中報告

PJ終了報告

ＣJ終了報告


Yes




201

図 5-24 アンドッキング失敗


（３）　アンドッキング失敗

アラーム通知（Undock Failure）

キャリアをアンドッキング

できた？

No

キャリア内のウェハへの処理が全て終了しFOUPが閉じられている

キャリアをアンドックする

１

アラーム受信


アンドック時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと

オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServuceにする


CJをStopするCJをStopする

キャリア、アンドック機構をチェックする

キャリアまたは、アンドック機構のメンテナ

ンスをおこなう

エラーが発生したキャリアに対しての

CJ,PJを止める（PJはCJを止めることにより止まる）S16F27 CJStop

S6F11 Stopped


S6F11 PRJob StoppingPJ終了中報告

PJ終了報告

ＣJ終了報告

通常の処理と同様となる

Yes




202

図 5-25 アンクランピング失敗


（４）　アンクランピング失敗１

搬出処理開始

アラーム通知（Unclamp Failure）

AMHSのPIO開始にて

アンクランピングを開始する

アンクランピング成功？

No

PIO



キャリア、アンクランプ機構をチェックする

キャリア、アンクランプ機構のメンテナン

スをおこなう

アンクランプ時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと



Yes




クランピング失敗

前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数３コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送

配送後

Carrier ID／スロットマップ照合 HOST 照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

搬入完了したキャリアのクランプ時にエラーが発生した。

C1

搬入完了

C1

クランプ時にエラー発生

クランプに失敗した場合



（ロードポート１のキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State State State State


(P2, P3) P3)

P3)

1 クランプ失敗 1-1 Carrierクランピング失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

（クランピング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 メンテナンス 2-1 キャリアまたは、クランプ機構の

操作メンテナンスをおこなう

（オペレータが判断し、必要に応じて

ロードポートをOutofServiceにする）



ドッキング失敗


コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数３コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送

配送後


ProcessModule

ドッキング時にエラー発生

ドッキングに失敗した場合


向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SNR NAS No No Executing Setup NS NA NP

（内部バッファ内のキャリアC1～C3 (P1, (P1, (P1, State (C1～ (C1～ (C1～ State State

キャリアＩＤ照合完了状態） P2, P2, P2, C3) C3) C3) (C1～ (C1～

P3) P3) P3) C3) C3)

1 ドック失敗 1-1 Carrierドック失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

（ドッキング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 ジョブのストップ 2-1 CJをストップする S16F27 H->E CJStop

S16F28 H<-E Ack

2-2 PJストップ処理中報告 S6F11 H<-E PRJob Stopping Stopp

S6F12 H->E Ack ing

2-3 PJストップ報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PJC PJC PJC PJC

S6F12 H->E Ack ↓ ↓ ↓ ↓

2-4 CJストップ報告 S6F11 H<-E Stopped Completed No No No No

S6F12 H->E Ack State State State State

3 メンテナンス 3-1 キャリアまたは、ドッキング機構の



アンドッキング失敗



配送後


ProcessModule

アンドッキング時にエラー発生

アンドッキングに失敗した時でオペレータが介入し、処理続行可能かを判断する場合


向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 0 初期状態 RTL NAS NR OC IVO SVO CC AD PC Executing Processing Not Not Not

（ボート内のウエハへの処理が全て (P1, (P1, (P1, (#1,#2) (C1, (C1, (C1, (C1, (C1, Complete Stopp Abort Paused

終了し、1キャリア目のウエハは、内部 P2, P2, P2, C2, C2 C2) C2) C2, Ing Ing

バッファに戻っている。2キャリア目に P3) P3) P3) C3) C3) INA AW C3)

ウエハが全て戻り、FOUPが閉じられて (C3) (C3)

いる。）

1 アンドック失敗 1-1 Carrierアンドック失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

（アンドッキング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 ジョブのストップ 2-1 CJをストップする S16F27 H->E CJStop

S16F28 H<-E Ack

2-2 PJストップ処理中報告 S6F11 H<-E PRJob Stopping Stopp

S6F12 H->E Ack ing

2-3 PJストップ報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PJC PJC PJC PJC

S6F12 H->E Ack ↓ ↓ ↓ ↓

2-4 CJストップ報告 S6F11 H<-E Stopped Completed No No No No

S6F12 H->E Ack State State State State

3 メンテナンス 3-1 キャリアまたは、ドッキング機構の



アンクランピング失敗



配送後


デリバリポジションでのアンクランプ時にエラーが発生した。

C1

デリバリポジションへの完了

C1

アンクランプ時にエラー発生

アンクランピングに失敗した時で、オペレータ介入にて処理可能か判断する場合


向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP PJE PJS PJA PJP 0 初期状態 TB A NR No IVO SVO CC AD PC NoState NoState No No No

（ウエハへの処理が全て終了し、 (P1) (P1) (P1, State (C2, (C2, (C2, (C2, (C2, State State State

処理終了したウエハは、内部バッファ内 RTL NAS P2, C3) C3) C3) C3) C3)

のキャリアに戻っている。1キャリア目 P2, (P2, P3)

は、搬出済み。２キャリア目の P3) P3)

アンクランピングでエラー発生）

1 アンクランプ 1-1 Carrierアンクランピング失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

失敗（アンクランピング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 メンテナンス 2-1 キャリアまたは、アンクランプ機構の



5.1.6. NPW運用シナリオ

5.1.6.1. NPW 運用シナリオ一覧

NPWを使用した次のケースのシナリオを示す。次のセクションではこれらについての運用フローの詳細とシナリオを示す。

ＮＰＷ使用目的詳細条件Ｆｉｌｌｅｒ（定常）条件指定を装置定数にておこなうＦｉｌｌｅｒ（非定常）条件指定を装置定数にておこなうＭｏｎｉｔｏｒジョブにて条件指定をおこなう

なお、NPW 回収用の空キャリアを製品キャリアとは別に用意する。



5.1.6.2. Filler（定常）NPW 運用シナリオ

内部バッファ装置に用いる Filler（定常）は、プロセス処理室内における製品品質の均一化のために、品質のばらつきが大きくなる可能性のあるプロセス処理室内の上部／下部をうめるた

めに使用される。以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。 2) 装置定数に以下の情報を用意すること。

上（左）側 Filler（定常）ウェーハ使用枚数下（右）側 Filler（定常）ウェーハ使用枚数累積使用回数基準値：NPWの交換を推奨する累積使用回数累積使用回数上限値：NPWの使用限界を示す累積使用回数

3) Filler(定常)用NPWキャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意すること。



項目項目項目項目説明説明説明説明選選選選

択択択択




NPW使用目的



NPW使用条件







い。


ＮＰＷの種類




搬入搬入場所

ロードポート以外 CMSで管理されていないポートよりNPWを搬入する。非定常型保管必要な時に必要なだけ NPWを保管する。保






別キャリア



搬出形態


ＮＰＷの動き

搬出


表 5-4 Filler（定常）の NPW モデル
















図 5-26 Filler（定常）の条件指定方法


ホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハがプロセス処理位置にあるか判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハのプロセス処理位置への移動を指示するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたか判

断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたこと

をイベントにて通知するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたか判

断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたこと

をイベントにて通知するオペレータホスト √√√√ 装置 √√√√ Filler（定常）ウェーハを払出すか判断するオペレータホスト √√√√ 装置 Filler（定常）キャリアをコンプリート状態とするか判断するオペレータホスト √√√√ 装置 Filler（定常）キャリアの搬出を指示するオペレータホスト √√√√ 装置


Filler（定常）キャリアの搬入を指示するオペレータ

図 5-27 Filler（定常）の制御方法



図 5-28 Filler(定常) 運用フロー (1)


１

Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）

定常型のＦｉｌｌｅｒを搬入する前に、あらかじめ装置定数にて次の項目を設定する。１．上（左）側使用枚数２．下（右）側使用枚数３．累積使用回数基準値４．累積使用回数上限値

ジョブは、Filler(定常）以外についての処理条件を設定する。

製品キャリアとは別に、キャリアＵｓａｇｅがFiller(定常）のキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合、スロットマップ照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく

2a

装置定数設定

Filler(定常）キャリア搬入処理

Filler（定常）キャリアID照合処理

Filler（定常）キャリア内部バッファ保管処理

製品キャリア搬入処理

製品キャリアID照合処理

製品キャリア内部バッファ保管処理

レシピの確認

ＰＪ作成、ＣＪ作成





２


Ｆｉｌｌｅｒ（定常）が必要な枚数だけウェーハを持って来る。１つのキャリアだけでは足りない場合には、処理を複数回繰り返す

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）の場所に

ウェーハが入っている？

No

Yes

2a

ＦＯＵＰを空け、スロットマップ照合

をおこなう

3a

ジョブを開始する

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳポー

トへ移動させる

スロットマップ照合ＯＫ

ウェーハを処理位置へ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ

移動する





３


3a

製品バッチ数のキャリアを全て、処理位置へ移動する。バッチ数分だけ、キャリアの処理を繰り返す。

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数上限値を超えた

か？

Yes

4b

Filler（定常）のウェーハ毎に使用回数履歴を管理すること

Filler（定常）のウェーハは、偏った使用をしないこと。

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数基準値を超えた

か？

Yes

No

4a

Filler（定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数上限値となった場合には、そのウェーハをキャリアへ払い出すこと。

Filler（定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数基準値となった場合には、そのキャリアに対するApproachingComplteイベントを上げること。

4d

No

製品用キャリアのスロットマップ照合

処理中

処理完了

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）ウェーハ毎の使用回数履歴を更新

する

Filler(定常）用ウェーハをキャリアへ払出す

Filler(定常）用ウェーハを払出す

アプローチングコンプリートイベント通知 Filler(定常）用ウェーハ

を払出すか決める





４Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）

4a

Filler(定常）を払出す？

Yes

5b

No

4b4d 払出すFiller(定常）用キャリ

アが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

Filler(定常）用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

S2F41 CarrierStatusChangeにてそのキャリアへの処理を終了すること。

4c

4d

5a

Filler(定常)キャリアを払出すか判断する時に、ホストは、次回処理でもＦｉｌｌｅｒ(定常）ウェーハが足りるかをこ考慮する。

Filler(定常）用キャリアを払出す

キャリア払出し指示受信

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）用のキャリアを内部

バッファからＦＩＭＳポートへ移動さ

せる

Filler(定常）用ウェーハを処理

位置からFOUPへ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファ

へ移動する

Filler(定常）用キャリア

搬出処理






５Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）

5a

通常の製品キャリアの搬入と同様となる。

キャリア搬入可能通知

製品キャリアは、バッチ数分だけ搬出する

5b

Filler(定常）キャリア搬出

済み？

Yes

次の製品キャリアの搬入可能状態となる。

Filler（定常）キャリア払出通知

製品キャリア搬出処理

Filler(定常）用キャリア搬出処理

Filler(定常）用キャリア搬入処理



Filler（定常）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT） Filler（定常）への条件指定装置定数

製品キャリア C1～C4、 Filler（定常）キャリア C5、 Filler（非定常）キャリア C6 がある。

C1

製品キャリアC1～C4

Filler(定常）キャリアC5


C2

C3

C4

C5

C6

Filler(非定常）キャリア

C6

1 装置定数設定 1-1 装置定数設定 S2F15 H->E Equipment Constant Send

S2F16 H->E Ack

2 Filler（定常） 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

キャリア搬入 S6F12 H->E Ack

移載 2-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived

S6F12 H->E Ack

3 Filler（定常） 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA

キャリアID照合 S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

4 Filler（定常） 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange


保管 4-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

5 製品キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

搬入移載 S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host



S6F12 H->E Ack

6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier WFH SNR NA

S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack







9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack

9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SETUP NS NA NP

9-9

S6F12 H->E Ack Filler（定常）用ウェーハが必要か装置が判断する必要な場合は、No.10,11の処理をおこなう。不要な場合は、No.12の処理へ

10 Filler（定常）用キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged ウェーハが必要

10-1

（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

な場合 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened （Filler（定常）の

10-2

S6F12 H->E Ack

スロットマップスロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host 照合）

10-3

S6F12 H->E Ack

10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

11 Filler（定常） 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

キャリア処理中 S6F12 H->E Ack

キャリア内の必要ウエハ枚数分112～11-4を繰返す


S6F12 H->E Ack



12 製品キャリア 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 照合 12-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

13 製品キャリア 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

処理中 S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



Filler（定常）ウェーハの使用履歴を更新する

15 製品処理終了で No.17の処理へ

Filler（定常）

ウェーハの累積

使用回数上限値

を超えた場合

（キャリア内の

全ウェーハ)

16 製品処理終了でアプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete

Filler（定常）

16-1

S6F12 H->E Ack

ウェーハの累積新しいFiller（定常）キャリアを使用するか判断する。

使用回数基準値新しいFiller（定常）キャリアを使用する場合は、No.17の処理へ

を超えた場合新しいFiller（定常）キャリアを使用しない場合は、Np.18の処理へ

（キャリア内の 16-2 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete

全ウェーハ） S2F42 H<-E Ack

製品処理終了で No.18の処理へ

Filler（定常）

ウェーハの累積

使用回数基準値

を超えなかった

場合（キャリア内

の全ウェーハ）

17 Filler（定常） 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

内部バッファ 17-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened










S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



18 製品キャリア 18-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed


保管 18-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack



18-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Destination AD

↓ ↓ ↓ ↓

No No No No



S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




19 Filler（定常） 19-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut

キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack

が必要な場合 19-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

No.17のFiller(定（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack

常)キャリアの保 19-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A

管処理をおこな S6F12 H->E Ack

った場合 19-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

20 製品 20-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




5.1.6.3. Filler（非定常）NPW 運用シナリオ

Filler(非定常)はプロセス処理室内における製品品質の均一化をはかるために、ボート内のウェーハの歯抜けを補うために用いる。なお、Filler（非定常）用の NPWは再利用可能であるものとする。以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。 2) 装置定数に以下の情報を用意すること。累積使用回数基準値：NPWの交換を推奨する累積使用回数累積使用回数上限値：NPWの使用限界を示す累積使用回数

3) Filler(非定常)用NPWキャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意すること。




択択択択




NPW使用目的


累積処理累積処理数または累積処理時間が規定数に達した時に使用する。処理切替製品処理条件の切替時に使用する。特定処理特定の製品処理を行う時に使用する。 √√√√

NPW使用条件

全処理全ての製品処理を行う時に使用する。ロードポート NPWが搬入されたロードポート上にてNPWを保管する。 NPW保管






い。


ＮＰＷの種類




搬入搬入場所







別キャリア



搬出形態


ＮＰＷの動き

搬出


















図 5-33 Filler（非定常）の条件指定方法


ホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハが必要か判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの使用を指示するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたか

判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された上限値を超えたこ

とをイベントにて通知するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたか

判断するオペレータホスト装置 √√√√ Filler（非定常）ウェーハの累積使用枚数が設定された基準値を超えたこ

とをイベントにて通知するオペレータホスト √√√√ 装置 √√√√ Filler（非定常）キャリアをコンプリート状態とするか判断するオペレータホスト √√√√ 装置 Filler（非定常）キャリアの搬出を指示するオペレータホスト √√√√ 装置


Filler（非定常）キャリアの搬入を指示するオペレータ

図 5-34 Filler（非定常）の制御方法



図 5-35 Filler(非定常) 運用フロー (1)


１

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

非定常型のＦｉｌｌｅｒを搬入する前に、あらかじめ装置定数にて次の項目を設定する。１．累積使用回数基準値２．累積使用回数上限値

ジョブは、製品についての処理条件を設定する。

製品キャリアとは別に、キャリアＵｓａｇｅがFiller(非定常）のキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合、スロットマップ照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく

2a

装置定数設定

Filler(非定常）キャリア搬入処理

Filler（非定常）キャリアID照合処理

Filler（非定常）キャリア内部バッファ保

管処理



製品キャリア内部バッファ

保管処理

レシピの確認


ジョブ開始

製品キャリアスロットマップ

照合





２Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

2a

Filler（非定常）のウェーハが必要かどうかは、装置が判断すること。

3a

製品、Ｆｉｌｌｅｒ（定常）等必要なウェーハを処理

室へ入れる

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）用のキャリアを内部バッファからＦ

ＩＭＳポートへ移動させる

ＦＯＵＰを空け、スロットマップ照合をおこなう


ウェーハを処理位置へ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動

する





３Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

3a

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数基準値を超えた

か？

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数上限値を超えた

か？

Filler(非定常）を搬出する？

Yes

No

4a

Yes

No

4c

No

Yes

4b

Filler（非定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数上限値となった場合には、ウェーハをキャリアに払い出すこと。

Filler（非定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数基準値となった場合には、そのキャリアに対するApproachingComplteイベントを上げること。

処理中

処理完了

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）ウェーハ毎の使用回数履歴

を更新する

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）キャリア搬出処理

アプローチングコンプリートイベント通知





４Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

払出すFiller(非定常）用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

4a

S2F41 CarrierCompleteにてそのキャリアへの処理を終了すること。

Filler(非定常）用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

5b

4b

4c

5a

Filler(非定常）用キャリアを払出す

キャリア払出し指示受信

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳポー

トへ移動させる

Filler(非定常）用ウェーハを処理

位置からFOUPへ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファ

へ移動する

Filler(非定常）用キャリアのロードポートへの払出を

指示する






５Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

5a

通常の製品キャリアの搬入と同様となる。

キャリア搬入可能通知

製品キャリアは、バッチ数分だけ搬出する

5b

Filler(非定常）キャリア搬出

済み？

Yes

Filler(非定常）用キャリアのロードポートへの払出を

指示する

Filler(非定常）用キャリア搬出処理


Filler（非定常）キャリア

搬入処理



Filler（非定常）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT） Filler（定常）への条件指定ジョブ

製品キャリア C1～C4、 Filler（定常）キャリア C5、 Filler（非定常）キャリア C6 がある。

C1




C2

C3

C4

C5

C6

Filler(非定常）キャリア

C6

S2F16 H->E Ack

2 Filler（非定常） 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB



S6F12 H->E Ack

3 Filler（非定常） 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

4 Filler（非定常） 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

S6F12 H->E Ack

6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

7 製品キャリア 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack

9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack 9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SETUP NS NA NP

9-9

S6F12 H->E Ack 10 製品キャリア 10-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 照合 10-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 10-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

11 製品キャリア 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

処理中 S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack




Filler(非定常)ウェーハが必要かを装置が判断する。

Filler（非定常）ウェーハが必要な場合は、No.12以降の処理をおこなう。

Filler(非定常)ウェーハが不要な場合は、No.14以降の処理をおこなう。

12 Filler（非定常）キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged 用ウェーハが

12-1

（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

必要 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened （Filler（非定常）

12-2

S6F12 H->E Ack

のスロットマップスロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host 照合）

12-3

S6F12 H->E Ack

12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

13 Filler（非定常） 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

キャリア処理中 S6F12 H->E Ack

ウェーハ1枚目の処理開始時のみ







キャリア内の必要ウエハ枚数分13-2～13-4を繰返す


S6F12 H->E Ack



14 実処理 14-1 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing

処理終了（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack


S6F12 H->E Ack

14-3 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



Filler（非定常）ウェーハの使用履歴を更新する

15 Filler（非定常） 15-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

内部バッファ 15-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack



アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete

15-8

S6F12 H->E Ack

処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェーハの類積使用回数が基準値を越えた場合、1回のみ送信

15-9 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete CC

S2F42 H<-E Ack

ホストが新しいFiller(非定常)キャリアを使用することを決定した場合、上記コマンドを送信

15-10 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete

S6F12 H->E Ack

ホストからキャリアステータス変更要求を受信するか、もしくは、処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェ

ーハの累積使用回数が上限値を越えた場合に送信

16 製品キャリア 16-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed


保管 16-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack





16-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied

OC

↓ ↓ ↓ ↓

No No No No



S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




17 Filler（非定常） 17-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut


が必要な場合 17-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




5.1.6.4. モニター NPW 運用シナリオ

内部バッファ装置に用いるモニターは、ボート内での処理品質のばらつきを確かめるため、ボ

ート内を均等に分けるように用いられる。なお、モニター用の NPWは再利用不可であるものとする。以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) モニター用 NPW 保管キャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用

意すること。




択択択択



Stabilizer プロセスの安定化のため、各プロセスの間で用いる。例）クリーニング √√√√

NPW使用目的



NPW使用条件





再利用可能一度使用したNPWを装置外に取り出すことなく再利用可能である。 NPW再利


い。 √√√√

製品処理完了製品処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。 √√√√ NPW処理完了 NPW処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。累積使用回数累積使用回数が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。累積使用時間累積使用時間が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。

ＮＰＷの種類




搬入搬入場所



同一キャリア使用完了したNPWウェーハを、ウェーハの保管に用いたキャリアと同じキャリアを用いて搬出する。




別キャリア



搬出形態


ＮＰＷの動き

搬出






ジョブ PJ、CJにて指定する。 √√√√ 装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。




装置判断装置が自動的に判断する。 √√√√ ジョブ PJ、CJにて指定する。 √√√√ 装置定数装置定数にて指定する。キャリア Usage 指示されたキャリアUsageにて装置が判断する。







装置判断装置が自動的に判断する。

図 5-40 モニターの条件指定方法


ホスト √√√√ 装置 √√√√ モニターキャリアをコンプリート状態とするか判断するオペレータホスト √√√√ 装置モニターキャリアの搬出を指示するオペレータホスト √√√√ 装置

ＮＰＷの制御方法モニターキャリアの搬入を指示する

オペレータ

図 5-41 モニターの制御方法



図 5-42 Monitor 運用フロー (1)

コメントオペレータホスト装置

１

モニター

AMHS

製品キャリアとは別に、キャリアＵｓａｇｅがMonitorのキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく

製品キャリアを搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファに保管する。

続けて、Monitor用NPWを回収するための空キャリアを搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファに保管する。

ジョブで、どのMonitor用NPWを使用するかを指定する。

2a

Monitorキャリア搬入処理

MonitorキャリアID照合処理

Monitorキャリア内部バッファ保管処理




モニター回収用キャリア搬入処理

モニター回収用キャリアID照合処理

モニター回収用キャリア内部バッファ保管処理

レシピの確認






２

モニター

AMHS

2a

ここでは、ジョブ開始後にジョブで指定されているMonitor用NPWの処理について示している。

ここでは、製品ウェーハの移動より先にMonitor用NPWの移動をおこなっているが、製品ウェーハの移動をが先になっても問題はない。

3a

一度スロットマップ照合を完了しているNPWキャリアであれば、再びスロットマップ照合をおこなう必要はない。

ジョブを開始する

Monitor用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳ

ポートへ移動させる

FOUPを開け、スロットマップを読

み込む


Monitor用NPWをジョブで指定された位置

へ移動する


移動する





３

モニター

AMHS

3a

4a

回収用空キャリアについてもスロットマップ照合をおこなう必要がある。なお、空キャリアにはウェーハがないはずなので、CarrierInAccess状態になるタイミングは、スロットマップ照合完了時とする。

CarrierInAccessにならなければ、ジョブ開始後に、誤って空キャリアを払出される恐れがある。

製品キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

FOUPを開け、スロットマップを読み込む

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合OK

製品ウェーハをジョブで指定された位置

へ移動する


移動する

Monitor回収用キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ

移動させる

FOUPを開け、スロットマップ読込みをお

こなう

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合OK


移動する





４

モニター

AMHS

4a

製品キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

ＦＯＵＰを開け、製品ウェーハを回

収する


移動する

空キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

FOUPを開け、Montior用NPWを回

収する


移動する

5a

ウェーハ処理開始

ウェーハ処理中

ウェーハ処理終了





５

モニター

AMHS

5a

Ｍｏｎｉｔｏｒ用ＮＰＷキャリアを

払出す？

Yes

Monitor用キャリア終了処理


Monitor回収lキャリア搬出処理

Monitor用キャリア搬出処理



Monitor 前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリア＋Ｍｏｎｉｔｏｒ回収用１キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map 照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT） Filler（定常）への条件指定装置定数

製品キャリア C1～C2、 Monitor回収用キャリア C3、 Filler（定常）キャリア C4、 Filler（非定常）キャリア C5 Monitorキャリア C6 がある。

C1




C2

C3

C4

C5

C6Filler(非定常）

キャリアC7

C7

C8

MonitorキャリアC8

Monitor回収キャリア

C5

S2F16 H->E Ack

2 Ｍｏｎｉｔｏｒ 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB



S6F12 H->E Ack

3 Ｍｏｎｉｔｏｒ 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

4 Ｍｏｎｉｔｏｒｷｬﾘｱ 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack

6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack

S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返されるこの中には回収用ｷｬﾘｱも含める


S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack




Ｍｏｎｉｔｏｒについ S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse

ての処理条件も 9-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

ジョブの中に含 S16F16 H<-E PR Job Create Ack

める。 9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack

9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack 9-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SETUP NS NA NP S6F12 H->E Ack

10 Ｍｏｎｉｔｏｒ用 10-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合 10-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 10-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host S6F12 H->E Ack 10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

11 Ｍｏｎｉｔｏｒ用 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

ウェーハ投入 S6F12 H->E Ack







Monitor用ウェーハとして必要枚数分11-2～11-4を繰返す

S6F12 H->E Ack



12 製品キャリア 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 照合 12-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

13 製品ウェーハ 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

投入 S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack

14 Monitor回収用 14-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack スロットマップ 14-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened 照合 S6F12 H->E Ack 14-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 14-4 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 14-5 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



15 実処理 15-1 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing

処理終了（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack


S6F12 H->E Ack

15-3 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



16 Monitorウェーハ 16-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

回収用キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

に回収 16-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack

ﾎﾞｰﾄ内のMonitorウェーハ枚数分15-3～15-5を繰返す


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



17 製品ウェーハ 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

キャリアに回収（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack







キャリア内のMonitorウエハ枚数分16-3～16-5を繰返す



↓ ↓ ↓ ↓

No No No No



S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




18 Monitor回収用 18-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack










S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack

S6F12 H->E Ack


Monitor保管用キャリアをキャリアを搬出するかをホストが判断する。

20 Monitor保管用 20-1 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete

キャリア終了 S2F42 H<-E Ack

要求 20-2 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC

S6F12 H->E Ack

21 Monitor保管用 21-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

5.2. 通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット

通信シナリオで使用した SECS-Ⅱメッセージ及び E87ハンドシェークシーケンスを例として、立上げ処理、ロット処理、立ち下げ処理の 3つに分けて示す。なお、で囲んだ番号とシナリオの処理番号は一致している。

5.2.1. 立上げ処理

1-2

S1F13 H->E Establish Communication Request < S1F13 W < L > > S1F14 H<-E Establish Communication Request Acknowledge < S1F14 < L 2 < B[1] 0 > < L 2 < A[n] > // MDLN < A[n]> // SOFTREV > > >

2-1 S1F17 H->E Request ON-LINE <SIF17> S1F18 H<-E ON-LINE Acknowledge <S1F18 <B[1] 0> //ONLACK >

2-2

S6F11 H<-E Event Report Send < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 100 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 100 > < L 2 <A[16] > // GEM timestamp <U1[1] 2 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote > > > > > S6F12 H->E Event Report Acknowledge < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1

S2F31 H->E Date and Time Set Request < S2F31 W < A[16] > // YYYYMMDDhhmmsscc > S2F32 H<-E Date and Time Set Request Ack < S2F32 < B[1] 0 > // TIACK >

4-1

S1F3 H->E Selected Equipment Status Request < S1F3 W < L n < U2[1] > // SVID : : < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < L n < ? > // SV : : < ? > // SV > >

4-2

S14F1 H->E GetAttr Request < S14F1 W

< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 1

< A "State" > >

> > S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2

< L 2 < L # // # = number of Objects

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 1

< L 2 < A "State" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> : :

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 1

< L 2 < A "State" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> > < L 2

< B[1] > // OBJACK < L 0 >

> >

>

4-3

S16F19 H->E PR Get All Jobs < S16F19 > S16F20 H->E PR Get All Jobs Acknowledge < S16F20 < L n < L 2 <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > < L 2 <A[n] "PRJob002" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > : : < L 2 <A[n] "PRJob005" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > > >

4-4


< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "Carrier" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 4

< A "CarrierIDStatus" > < A "CarrierAccessingStatus" > < A "SlotMapStatus" > < A "LocationID" >

> >

>

S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2


< L 2 < A[n] > // ObjID < L 4

< L 2 < A "CarrierIDStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SlotMapStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "LocationID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> : :

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 4

< L 2 < A "CarrierIDStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SlotMapStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "LocationID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> > < L 2

< B[1] > // OBJACK < L 0 >

> >

>

4-5


< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "Substrate" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 2

< A "SubstrateProcState" > < A "SubstrateLocID" >

> >

> S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2


< L 2 < A[n] > // ObjID < L 2

< L 2 < A "SubstrateProcState" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SubstrateLocID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> : :

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 2

< L 2 < A "SubstrateProcState" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SubstrateLocID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> > < L 2

< B[1] > // OBJACK < L 0 >

> >

>

5-1

S2F37 H->E Enable/Disable Event Report < S2F37 W < L 2 < Bool TRUE > < L 0 > // All Event Enable > > S2F38 H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge < S2F38 < B[1] 0 > >

5-2

S5F3 H->E Enable/Disable Alarm Send < S5F3 W < Bool TRUE > // ALED < U2[0] > // ALID ( All Alarm Enable ) > S5F4 H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge < S5F4 < B[1] 0 > >

6-1

S3F23 H->E Change Access < S3F23 W < L 3 < A[n] "CHANGEACCESS" > < A[n] > // Port Group Name < L 2 < A[n] "AccessMode" > < U1[1] 1 > // Access Mode 0=Manual, 1=Auto > > > S3F24 H<-E Ack < S3F24 < U1[1] 0 > CAACK >

6-2 S6F11 H<-E Auto

< S6F11 W < L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 260 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 503 > // RPTID < L, 2 <U1[1]> // PortID <U1[1] 1> // AccessMode > > > >

>

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.2. ロット処理

1-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2

< L 2 < A[n] “ContentMap”> // CATTRID < L n

< A[n] “Carrier001wf01”> // CATTRDATA : :

< A[n] “Carrier001wf25”> // CATTRDATA >

> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRUDUCT" > // CATTRDATA > > >

> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

2-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W

< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 3-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >

4-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >

4-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > >

S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

4-4 S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >

5-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >

5-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >

5-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L

< A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >

5-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID

< Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

5-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID

<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/SETUP" >

6-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

6-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 7-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/PROCESSING" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-3 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/PROCCOMPLETE" >

9-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-6

S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

9-7

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-8

S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

9-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-10

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-12

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-1

S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W

< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >

>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

10-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-4

S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-6

S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W


> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-9


10-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.3. 立ち下げ処理

1-1 S1F3 H->E Selected Equipment Status Request < S1F3 W < L n < U2[1] > // SVID : : < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < L n < ? > // SV : : < ? > // SV > >

2-1

S3F23 H->E Change Access < S3F23 W < L 3 < A[n] "CHANGEACCESS" > < A[n] > // Port Group Name < L 2 < A[n] "AccessMode" > < U1[1] 0 > // Access Mode 0=Manual, 1=Auto > > > S3F24 H<-E Ack < S3F24 < U1[1] 0 > CAACK >

2-2 S6F11 H<-E Manual

< S6F11 W < L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 260 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 503 > // RPTID < L, 2 <U1[1]> // PortID <U1[1] 0> // AccessMode > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1 S1F15 H->E Request OFF-LINE < S1F15 W > S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge < S1F16 < B[1] 0 > // OFLACK >

3-2 S6F11 H<-E Equipment Requests OFF-LINE < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 100 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 100 > < L 2 <A[16] > // GEM timestamp <U1[1] 0 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote > > > > > S6F12 H->E Equipment Requests OFF-LINE Acknowledge < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.4. QTAT処理（１）内部バッファ内のキャリアを搬出せずに、現在処理中のキャリアが終了してから特急キャ

リアの処理をおこなう場合を示す。

1-1 S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool TRUE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >

2-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > >

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

2-7

S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 3-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : :

<A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-5

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/PROCESSING" >


3-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/PROCCOMPLETE" >


5-1

5-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


5-4

S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


5-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-7 S6F11 H<-E CJ Complete

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-8 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

5-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-11 S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute

<U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-12


6-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

6-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

< U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-3


6-4 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID

<U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-5




> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-8

S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-9 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3

< A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-10 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


6-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


7-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205> // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


8-1

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2


< A[n] “Carrier00Nwf01”> // CATTRDATA : :

< A[n] “Carrier00Nwf25”> // CATTRDATA >

> < L 2


> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

8-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-2 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2

< U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


9-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute

<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



10-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n

< ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

10-4

S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >



11-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 >

: < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2

<L <A “PRJob00n”> //PROCESSJOB ID

> <L

<Bool TRUE> <L >

> >

>

11-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK

<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >


11-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2

< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

11-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/SETUP" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 12-2

12-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

13-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : :

13-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

13-8

S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK

<A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/PROCCOMPLETE" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >


15-2

15-4

S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-6

S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

15-8


15-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


15-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >

15-12


16-1

S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool FALSE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool FALSE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 >

> > >


16-3 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-4 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 >

< L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/SETUP" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>


17-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute

<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



17-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3

< A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.5. QTAT処理（２）内部バッファ内のキャリアを搬出してから特急キャリアの処理をおこなう場合を示す。

1-1 S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool TRUE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >

2-1 S16F27 H->E CJCancel < S16F27 W < L 3 < A[n] > // ControlJobID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD (CJCancel=4) < L > > > < S16F28 H<-E < L 2 < Bool TRUE > // ACKA < L > > >

2-2

S6F11 H<-E CJ Canceled <S6F11 W <L <U2 1> <U2 505> //Event= CJCanceled <L <L <U2 600> //Report 600 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Control Job ID <U1[1] 7> // Current State of the CJ model > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-3 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > > 2-4 3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

2-5



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

2-6 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute

<U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-9

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 2-11

2-12

S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-13

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-14 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-15 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-16

S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID

<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-17 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

3-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2


3-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-4

S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >


3-7

S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 4-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-5

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >




4-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2

< U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-1

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute

<U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-3

S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2


< A[n] “Carrier00Nwf01”> // CATTRDATA : :

< A[n] “Carrier00Nwf25”> // CATTRDATA >

> < L 2


> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

6-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W >

S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >


8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

8-4

S7F27 H<-E Process Program Verification Send

< S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >



9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L

< L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2


> <L

<Bool TRUE> <L >

> >

>

9-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >


9-5

S14F9 H->E CJCreate

< S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : :

< A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

9-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 10-1

S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >




11-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID

< U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-2


11-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID

<L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-4


11-5

S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > >

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-6





11-8

S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC

< L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >


11-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-11


11-12

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

12-1 S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W


>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

12-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID

<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-4 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-5

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 12-7


12-8 S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1>

<U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-9 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-10 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID

12-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

13-3 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID

<A[n] "PRJOBACTIVE/SETUP" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model

<A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-1


14-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



14-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

< U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID

<L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


15-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-7

S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBACTIVE/PROCESSING" >


15-8

S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-1

S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 >

< L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-1


17-2


17-3

S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-4


17-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 >

17-6




< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-8



17-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-11


17-12 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID >

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-1

S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool FALSE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool FALSE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >

18-2 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > >

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

19-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID

< L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-2


19-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID

<A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


19-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3

<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


19-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >

5.2.6. E84 Fail （１）キャリア搬入時キャリアハンドオフ失敗

1-1 S6F11 H<-E Ready To Load < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-3 S5F1 H<-E Carrier Transfer Failed (Alarm) <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >

2-1 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recover <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >

3-1

S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

（２）キャリア搬出時キャリアハンドオフ失敗

1-1 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-3 S5F1 H<-E Carrier Transfer Failed (Alarm) < S5F1 W < L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID

< A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >

2-1 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recover <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >

3-1

S6F11 H<-E Material Has Removed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2 S6F11 H<-E Substrate Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute

: : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-3 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-4 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-6 S6F11 H<-E Ready To Load < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.7. スロットマップ照合エラー（１）スロットマップリードエラー発生後ジョブキャンセル


1-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1] > // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-3 S5F1 H<-E Slot Map Read Failed (Alarm) < S5F1 W

< L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >

1-4 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1] > // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[9] “READ FAIL” > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

1-5 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

1-6 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-8 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID

> S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

2-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >


2-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

<U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >

3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2

< U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >


3-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


3-4 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >



3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3

< A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-9 S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >


3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-13 S6F11 H<-E Carrier Stopped < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 211 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID

> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4 < A[n] “CANCEL” > // DATAID < A[n] “PRJob001” > // PRJOBID < A [n] “Cancel” > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >

（２）スロットマップホスト照合異常発生後ジョブキャンセル



1-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[n] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-4 S6F11 H<-E Substarate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-5 S6F11 H<-E Substarate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

1-9 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >



> S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>


2-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID

<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >



> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

< U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >

3-5 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > >

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-9 S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC

< L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >


3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4

< A[n] “CANCEL” > // DATAID < A[n] “PRJob001” > // PRJOBID < A [n] “Cancel” > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >

（３）ダブルスロット/クロススロット発生後、ジョブキャンセル



1-3 S5F1 H<-E Improper Wafer Position (Alarm) < S5F1 W < L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID < A[40] > // ALTX

> > S5F2 H->E Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >

1-4 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[n] “IMPROPER WAFER POSITION” > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-5 S6F11 H<-E Substarate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute

<A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-6 S6F11 H<-E Substarate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-8 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-10 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID

<A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>


2-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L

<A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > >

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >




3-5 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3

< A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-9

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >


3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >

3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4 < A[n] “CANCEL” > // DATAID < A[n] “PRJob001” > // PRJOBID < A [n] “Cancel” > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >

5.2.8. キャリア ID照合失敗

（１）キャリア ID読み込み失敗

1-１

S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W

<L, 3 // ALCD

< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >

1-2

S6F11 H<-E Carrier ID Read Fail < S6F11 W

< L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 295 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 500 > // RPTID < L, 9 > <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1

S3F17 H->E CancelCarrier at Port < S3F17 W

< L < A[n] "CANCELCARRIERATPORT" > // DATAID < A[n] "CancelCarrieratPort" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L >

> >

S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L

< U1[1] 0 > // CAACK < L >

> >

3-2

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

（２）キャリアＩＤの不一致

1-１

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-2

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-3 S3F17 H->E CancelCarrier

< S3F17 W < L

< A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L >

> >

S3F18 H<-E Ack

< S3F18 < L

< U1[1] 0 > // CAACK < L >

> >

1-4 S6F11 H<-E ID Verification Failed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 216 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 4 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-1

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

5.2.9. ジョブ作成失敗

（１）プロセスジョブ作成失敗



1-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L

< A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 < L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 1 > // ACKA < L > > > >

3a-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >

3a-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >

3a-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier

< L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2


> <L

<Bool TRUE> <L >

> >

>

3a-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >


3b-1 S3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

3b-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID

3b-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W


> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-7 S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID

3b-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-9

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-10


3b-11

3b-12 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-13 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

（２）コントロールジョブ作成失敗



1-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL

> : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 < L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >

1-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >


1-5

S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2

< A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] " ControlJob00n " > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA

> < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 1 > // OBJACK < L > > > >

3a-1 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >

3a-2 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID

< A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

3a-3 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 >

< L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

3b-1 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > >

3b-2 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


3c-1 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME

< L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > >

3c-2 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


3c-3 S3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

4c-1

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205> // CEID < L 1 < L 2

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-3 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID

< > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-4 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-5 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W


> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

4c-6 S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-7 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-8

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-9


4c-10

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID

4c-11 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-12 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.10. （アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗（１）クランプ失敗

1-１


<L, 3 // ALCD

（２）ドッキング失敗

1-1


<L, 3 // ALCD





2-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

（３）アンドッキング失敗

1-1


<L, 3 // ALCD





2-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

（４）アンクランピング失敗

1-1


<L, 3 // ALCD

5.2.11. Filler（定常）NPW シナリオ

1-1

S2F15 H->E Equipment Constant Send <S2F15 W

<L, n <L,2 < ??? > // ECID

< ??? > // ECV > ： <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >

> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >


2-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute

> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "SFILLER" > // CATTRDATA (Static Filler) > > >

> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >

3-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-2

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-1

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRODUCT" > // CATTRDATA > > >




< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID

< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2


7-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID

<U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



8-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > >

S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >

9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

9-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID

< L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

9-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



10-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>


10-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >


10-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>



11-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


11-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute :

: <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


11-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >

13-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

13-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 13-8 S6F11 H<-E Substrate In Process

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


14-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



16-1 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-2 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] “CarrierComplete” > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] “CARRIEID” > // CPNAME <U1[1] 2 > // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >


17-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

17-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3

<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


17-6

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

17-7


17-8

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > >

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >



>



18-5

S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



18-7

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID

<U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-8



18-10

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W

18-11


18-12

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID

< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

19-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-3


19-4


19-5

19-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-8


19-9

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID

19-10


19-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


19-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


20-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

20-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2

20-3


20-4

S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID

< > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


20-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

20-7


20-8

20-9


20-10


20-11

S6F11 H<-E Deleted

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


20-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.12. Filler（非定常）NPW シナリオ

1-1


<L, n <L,2 < ??? > // ECID

< ??? > // ECV > ： <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >

> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >




3-1



> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "DFILLER" > // CATTRDATA (Dynamic Filler) > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-2

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >





6-1


> < L 2

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



>


10-3


< S6F12 < B[1] 0 > >



>




> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >




12-3


< B[1] 0 > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-2 S6F11 H<-E Substrate In Process

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > >

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


15-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >



15-6




15-7



15-9 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] “CarrierComplete” > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] “CARRIERID” > // CPNAME <A[n] “Carrier00n” > // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >

15-10

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



16-3

S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



16-7

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-8



16-10

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2

16-11


16-12

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair

<L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

17-2

17-3


17-4


17-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID

17-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID

<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-8


17-9

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-10


17-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

18-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-3


18-4

S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

18-7


18-8


18-9

S6F11 H<-E TransferBlocked

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-10


18-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1

< L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

<U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5.2.13. Monitor NPW シナリオ

1-1


<L, n <L,2 < ??? > // ECID

< ??? > // ECV > ： <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >

> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >




3-1



> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "MONITOR" > // CATTRDATA > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-2

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >





6-1


> < L 2

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



>


10-3


< S6F12 < B[1] 0 > >



>




> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >




12-3


< B[1] 0 > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] “VERIFICATION NEEDED” > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>



14-6 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > >

> > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 15-2 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-3 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack

< S6F12 < B[1] 0 > >




16-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2

< U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute >

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-6


16-7

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-8

17-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


17-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK

<A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


17-7

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-8


17-9

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-10


17-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

17-12


18-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

18-2


18-3


18-4

S6F11 H<-E Reserved

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-6


< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp

<A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-7


18-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID

< > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-9


18-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-11


18-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >



19-1

>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

19-2


19-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute

19-4


19-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-7


19-8

19-9


19-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

< U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-11


19-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 >

19-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID

20-1 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] “CarrierComplete” > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] “CARRIERID” > // CPNAME <A[n] “Carrier00n”> // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >

20-2

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >

21-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

21-2


21-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

21-4


21-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

21-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

21-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

< B[1] 0 > >

21-8


21-9


21-10

21-11


21-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

< U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


21-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



5.2.14. 搬入時 E84ハンドシェークシーケンス

L REQ(P A)

U REQ(P A)

READY(P A)

CS_0(A P)

CS_1(A P)

VALID(A P)

TR REQ (A P)

BUSY(A P)

CONT(A P)

COMPT (A P)

HO_AVBL

(P A)

CS isSpecified

TransferStart

Carrier isdetected

Transfer isCompleted

ReleaseCS is

specified

(P A)ES

3

6



5.2.15. 搬出時 E84ハンドシェークシーケンス

L_REQ(P A)

U_RE Q(P A)

REA DY(P A )

CS_0(A P)

CS_1(A P)

VA LID(A P)

TR_REQ (A P)

BUSY(A P)

CON T(A P)

COM PT (A P)

HO_A V BL

(P A)

CS isSpecified

TransferStart

Carrier isrem oved

Transfer isCom pleted

ReleaseCS is

specified

(P A)ES

59

62



5.2.16. E84タイマー一覧 AMHS 側監視タイマー

タイマータイマータイマータイマー監視内容監視内容監視内容監視内容標準値標準値標準値標準値単位単位単位単位範囲範囲範囲範囲

TA1 VAILD 信号 ON から L_REQ/U_REQ 信号 ON まで 2 秒 1-999

TA2 TR_REQ 信号 ON から READY 信号 ON まで 2 秒 1-999

TA3 COMPT 信号 ON から READY 信号 OFF まで 2 秒 1-999

TA4 BUSY 信号 ON から L_REQ(U_REQ)信号 OFF まで 60 秒 1-999

※ １ Selete にて独自に要求（SEMI スタンダードに記述なし）

製造装置側監視タイマー


TP1 L_REQ/U_REQ 信号 ON から TR_REQ 信号 ON まで 2 秒 1-999

TP2 READY 信号 ON から BUSY 信号 ON まで 2 秒 1-999

TP3 BUSY 信号 ON からキャリアプレースメントセンサーON まで（搬入時）、またはキャリアプレゼンスセンサーOFF まで（搬出時）

60 秒 1-999

TP4 L_REQ/U_REQ 信号 OFF から BUSY 信号 OFF まで 60 秒 1-999

TP5 BUSY 信号 OFF から VAILD 信号 OFF まで 2 秒 1-999

TP6 VAILD 信号 OFF から次のハンドオフのための VAILD 信号 ONまで（連続移載のための CONT 信号が ON である場合に監視する）

2 秒 1-999

AMHS 側遅延タイマー


TD1 VAILD 信号 OFF から次のハンドオフのための VAILD 信号 ONまで（連続移載を必要とする場合に使用する）

1 秒 1-999

5.2.17. イベントレポートフォーマット

今回のシナリオで使用しているイベントレポートの ID及びフォーマットを次に示す。 ReportID

500 Loadport and Carrier state

<A[16]> // GEM timestamp

<U1[1]> // PortTransfer State

<U1[1]> // PortID

<A[n]> // CarrierID

<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute

<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute

<U1[1]> // Port Association State VID

<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute

501 Carrier state and Aproaching


<A[n]> // CarrierID


<U1[1]> // Carrier Complete remain time

502 Carrier state and Slotmap State



<U1[1]> // PortID

<A[n]> // CarrierID

<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute

<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute

<U1[1]> // Port Association State VID


<A[n]> // Reason

< L

< U1[1] > // Slotmap

:

< U1[1] > // Slotmap

>

510 Buffer Capacity


<A[n]> // CarrierID

<L //BufferPartitionInfo

<A[n]> // PartitionID- ID of Partition

<A[n]> // PartitionType

<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity

<U1[1]> // Partition Capacity

<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity

>

512 Carrier Location State


<A[n]> // CarrierID

<A[n]> // Location ID

<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair

<L


<A[n]> // CarrierID

>

>

515 Loadport Reserve State

<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK


<U1[1]> // PortID

<A[n]> // CarrierID

<U1[1]> // Port Reservation State

530 Substrate State


<A[n]> // LotID attribute

<L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

<A[n]> // WaferID attribute

:

:


>

<A[n]> // SubstLocIDAttribute

<U1[1]> // SubstProc State Attribute

<U1[1]> // SubstState Attribute

<A[n]> // SubstUsage Attribute

531 Substrate Location State



<L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1


:

:


>

600


<A[n]> // Control Job ID

<U1[1]> // Current State of the CJ model

700


<A[n]> // Process Job ID

<A[n]> // PRJobState attribute- Current State of the PJ model

<A[n]> // recipe ID for this process job



5.3. STS、PJ、CJ、キャリアアクセッシングステータスの状態遷移内部バッファ装置の状態モデルの遷移タイミングは、次のようになる。

図 5-47 STS、PJ、CJ、キャリアアクセッシングステータスの状態モデルに沿ったウェーハの動き

STS No 動作 Substrate

Processing

Substrate

Transport

Substrate

Location

PJ CJ Carrier

Accessing

Status

Carrier

Location 備考

0 内部バッファへ

搬入

NotAccess

ed

内部

バッファ

ジョブの生成 Queued Queued

1 FIMSポートへ

移動開始

Setup Executing

2 FIMSポートへ

移動完了

FIMS

2' SlopMap

読込み完了

AT

SOURCE

3 Boatへ移動開始 Unoccupied

(#1)

InAccess

4 Boatへ移動完了 AT WORK Occupied

(#2)

キャリア内のウェーハ枚数分3～4を繰り返す

バッチ内のキャリア数分1～4を繰り返すウェーハ搬入済みの

空キャリアを内部バッ

ファへ戻す処理も含む

5 BoatLoad開始 Processing

5' 実処理開始 In Process

6 実処理終了 Processing

Complete

6' BoatUnload完了 Processing

Complete

7 キャリアへ

移動開始

Unoccupied

(#2)

FIMS 空キャリアをFIMSポー

トへ移動する

8 キャリアへ

移動完了

AT

DESTINATI

ON

Occupied

(#1)

PRJob

Complete

Complete Carrier

Complete

キャリア内のウェーハ枚数分7～8を繰り返す

SubstrateTransport は

ウェーハ単位、

CarrierAccessingStatu

sはキャリア単位

それ以外は、全てのキ

ャリアが終了した時と

なる


移動開始


移動完了

内部

バッファ

バッチ内のキャリア数分7～10を繰り返す

表 5-7 処理状態の遷移タイミング

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


#1Substrate



#2Substrate

Location ID(Boat)

PJ の Setup 状態への移行タイミング

は、装置に依存する。



5.4. サービス一覧 STD SF コマンド名称説明

CancelCarrier

このサービスは現在のキャリア関連のアクションをキャンセ

ルし、製造装置は、製造装置内のキャリアの位置によって

キャリアをﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｱﾝﾛｰﾄﾞ位置あるいは内部ﾊﾞｯﾌｧへ戻

す。

CancelCarrierAtPort このサービスは現在のキャリア関連のアクションをキャンセ

ルし、製造装置はキャリアをロードポートのアンロード位置

へ戻す。

ProceedWithCarrier このサービスは製造装置に指定されたキャリアを使って処

理を続行するよう指示する。

S3F17

CarrierOut このサービスはキャリアを内部バッファからロードポートへ

移動させる。このサービスは、製造装置によってキューイン

グ可能である。

S3F23 ChangeAccess このサービスは製造装置に指定されたキャリアを使って処

理を続行するよう指示する。

CMS

S3F25 ChangeServiceStatus このサービスは製造装置の指定されたロードポートの搬送

ステータスを変更する。

S14F9 CJCreate

サービスユーザーは、新しいコントロールジョブオブジェクト

を生成してその属性の値を１つ以上割り当てるよう、サービ

ス提供者に要求できる。そのオブジェクトタイプに許可され

ていない属性をセットしようとする場合には要求は拒否され

る。 S14F11 CJDelete ControlJobの削除を要求。

CJPause ControlJob開始。

CJResume 一時停止ControlJobのEXECUTING状態への移行を要

求。 CJCancel 待ち行列からジョブの削除を要求。 CJStop ControlJobの終了を要求。

CJM

S16F27

CJHOQ 特定のコントロールジョブを次に走るコントロールジョブとし

ての設定要求。 PJPause プロセスジョブを一時停止する。 PJResume 一時停止したプロセスジョブを再開する。 S16F5 PJCancel プロセスジョブの取り消しを行う。


このサービスは、複数のプロセスジョブを作り出す。各ジョ

ブは、独特な方法で作り出される。このメッセージは、キャ

リアにプロセスグループが１つ（ロット）より多くある場合、キ

ャリアにある全てのジョブを作り出すのに役立つ。

S16F17 PRJobDequeue 同類のプロセスジョブ1組を作り出す。ユーザは、特有なジ

ョブ識別子を割り当てる。 S16F19 PRGetAllJobs ジョブのリスト入手と未完成なジョブ全ての状態の把握。

S16F21 PRGetSpace このメッセージは、プロセス資源に対して作り出す事が出

来るジョブの内、残っている分を戻さなければならない。

PJM

S16F23 PRJobSetRecipeVariable

レシピの可変パラメータのリストのセッティングを変更する

要請を送る。この要請は、特定されたジョブが、待ち行列／

プール、休止、又は再開待ちのどの状態にもならなければ

失敗に終わる。このサービス実装は、オプションである。 S14F1 GetAttr Request オブジェクトに対する属性要求。 S14F3 SetAttr Request オブジェクトに対する属性セット要求。 S14F5 GetType Request オブジェクトに対するタイプ要求。 S14F7 GetAttrName Request オブジェクトに対する属性名要求。

OSS

S14F9 Create Object Request オブジェクト生成要求。



STD SF コマンド名称説明 S14F11 Delete Object Request オブジェクト削除要求。

5.5. イベント(S6F11)一覧今回の検討範囲で使用しているイベントを次に示す。

STD イベント名称イベントの基準ステートモデル

Offline OnlineRemote OnlineLocal

コントロール状態モデル

AlarmOccur MaterialReceived

GEM

MaterialRemoved & Deleted

ReadyToLoad to TransferBlocked TransferBlocked to ReadyToUnload ReadyToUnload to TransferBlocked

ロードポートトランスファステータス

Manual to Auto Auto to Manual アクセスモード

NotReserved to Reserved Reserved to NotReserved ロードポート予約状態

NotAssociated to Associated Associated to NotAssociated ロードポート／キャリア関連状態

NotState to WaitingForHost WaitingForHost to IDVerificationOK キャリア ID ステータス

SlotmapNotRead to WaitingForHost WaitingForHost to SlotmapVerificationOK NoStateToWaitingForHost

キャリアスロットマップステータス

NotAccessed to InAccess InAccess to CarrierComplete InAccess to NotAccessed

キャリアアクセッシングステータス

Approaching Complete Deleted キャリアステータス

CarrierOpened CarrierClosed BufferCapacityChange

CMS

CarrierLocationChange

Create and Queued Queued to Selected Selected to Executing Executing to Complete Deleted JobWaitingForStart Paused Resumed Stopped Aborted

CJM

ControlJobCanceled


Create and Queued NotPRJobActive to Setup Setup to Processing Processing to ProcessingComplete ProcessingComplete to PRJobComplete PRJobWaitingForStart

PJM

NotPaused




STD イベント名称イベントの基準ステートモデル Pausing Paused Aborting

Stopping

Create and AtSource AtSource to AtWork AtWork to AtDestination

ウェーハ搬送状態

NeedsProcessing to InProcess InProcess to ProcessingComplete Deleted


Occupied

STS

UnOccupied ウェーハロケーション状態



5.6. 装置定数一覧今回の検討範囲で使用している装置定数を次に示す。注）データ型は推奨値である。

STD 名称型初期値備考

CTRLMODE INT[1] 0

装置パネルからのコントロールモード

変更可／不可設定 0 : 変更可 1 : 変更不可

WAKEUPMODE INT1[1] 0

装置起動時に切り替えを試みるコントロールモード 0 : オフライン 1 : オンライン-リモート 2 : オンライン-ローカル

UPSIDEFILLER INT[2] 0

内部バッファ装置における、ボート上(右)側 Filler(定常)使用枚数 0 : 使用しない n : ｎ枚

LOWSIDEFILLER INT[2] 0

内部バッファ装置における、ボート下(左)側 Filler(定常)使用枚数 0 : 使用しない n : ｎ枚

FILFSTANDCNT INT[2] 0

FILLER(定常)用 NPW 累積使用回数基準値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILFMAXCNT INT[2] 0

FILLER(定常)用 NPW累積使用回数上限値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILFSTANDTIME INT[2] 0

FILLER(定常)用 NPW 累積使用時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILFMAXTIME INT[2] 0

FILLER(定常)用 NPW累積使用時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILFSTANDINE INT[2] 0

FILLER(定常)用 NPW 累積装置内保管時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILFMAXINE INT[2] 0

FILLER(定常)用 NPW累積装置内保管時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

GEM

FILUFSTANDCNT INT[2] 0

FILLER(非定常)用 NPW 累積使用回数基準値 0 : 使用しない n : ｎ回




FILUFMAXCNT INT[2] 0

FILLER(非定常)用 NPW累積使用回数上限値 0 : 使用しない n : ｎ回

FILUFSTANDTIME INT[2] 0

FILLER(非定常)用 NPW 累積使用時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILUFMAXTIME INT[2] 0

FILLER(非定常)用 NPW累積使用時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

FILUFSTANDINE INT[2] 0

FILLER(非定常)用 NPW 累積装置内保管時間基準値 0 : 使用しない n : ｎ分

GEM

FILUFMAXINE INT[2] 0

FILLER(非定常)用 NPW累積装置内保管時間上限値 0 : 使用しない n : ｎ分

ACCESSMODE INT1[1] 2

アクセスモード変更条件 0 : ホストのみ 1 : 装置パネルのみ 2 : 双方可

UNDOCKSTYLE INT1[1] 0

Carrier Complete 時の Undock 動作タイミング 0 : CarrierComplete 1 : サービスによる 2 : 排出処理開始

UNCLAMPSTYLE INT1[1] 0

Carrier Complete 時の Unclamp 動作タイミング 0 : CarrierComplete 1 : サービスによる 2 : 排出処理開始

MANUALTIMER INT[1] 0

マニュアル搬入出時の搬入出完了タイ

マー値(秒) （タイマー値を 0 とするとタイムアップし

ない）

CMS

MANUALINTYPE INT[1] 0

マニュアル搬入時のオペレーションタイプ

0 : 搬入開始時：スイッチ押下搬入終了時：スイッチ押下

1 : 搬入開始時：スイッチ押下搬入終了時：タイマー

2 : 搬入開始時：オペレーションなし搬入終了時：タイマー

3 : 搬入開始時：オペレーションなし搬入終了時：スイッチ押下




MANUALOUTTYPE INT[1] 0

マニュアル搬出時のオペレーションタイプ

0 : 搬出開始時：スイッチ押下搬出終了時：スイッチ押下

1 : 搬出開始時：スイッチ押下搬出終了時：タイマー

2 : 搬出開始時：オペレーションなし搬出終了時：タイマー

5.7. 状態変数一覧

今回のシナリオで使用している状態遷移モデルの状態を次に示す。

STD ステータスモデル状態 Out of Service Transfer Blocked Ready to Load

ロードポートトランスファーステータス

Ready to Unload Manual

アクセスモード状態 Auto Associated

ロードポート／キャリア関連状態 Not Associated Reserved

ロードポート予約状態 Not Reserved ID Not Read Waiting for Host ID Verification OK キャリア ID ステータス

ID Verification NG Slotmap Not Read Waiting for Host Slotmap Verification OK キャリアスロットマップステータス

Slotmap Verification NG Not Accessed In Access Carrier Complete

CMS

キャリアアクセシングステータス

Carrier Stopped Queued Selected Waiting for Start Executing Paused

CJM コントロールジョブステータス

Completed Queued Setup Waiting For Start Processing Processing Complete Process Job Complete Not Paused Pausing Paused Not Aborting

PJM プロセスジョブステータス

Aborting



STD ステータスモデル状態 Not Stopping Stopping

Process Job Complete At Source At Work ウェーハ搬送状態 At Destination Need Processing In Process Processed Aborted Stopped


Rejected Unoccupied

STS

ウェーハロケーション状態 Occupied

5.8. アラーム一覧次に示すアラーム項目に準拠すること。また、この状態が発生した場合には、アラームをホス

トへ通知すること。なお、’×’は、アラームテキスト毎に関連及び影響があると思われる項目につけられている。

危険度影響 STD アラームテキスト潜在切迫オペレータ装置マテリアル

パラレル I/O 失敗 ×××× ×××× ×××× ×××× アクセスモード違反 ×××× ×××× ×××× ×××× キャリア ID 読み取り失敗 ×××× ×××× ×××× ×××× キャリア検証失敗 ×××× ×××× スロットマップ読み取り失敗 ×××× ×××× ×××× ×××× スロットマップ検証失敗 ×××× ×××× ×××× スロットマップ状態エラー（ダブルスロット、クロススロット等）

×××× ×××× ××××

OUT OF SERVEICE のロードポートを

使おうとした ×××× ×××× ××××

キャリアプレゼンスセンサーエラー ×××× ×××× ×××× ×××× キャリアプレイスメントセンサーエラー ×××× ×××× ×××× ×××× キャリアクランプ／アンクランプの失敗

※１ ×××× ×××× ××××

キャリアドック／アンドックの失敗 ×××× ×××× ×××× キャリアオープン／クローズの失敗 ×××× ×××× ××××

CMS

内部バッファキャリア移動失敗 ×××× ×××× ××××




5.9. NPWモデル

製品ウェーハ以外に装置で使用されるウェーハを総称して NPWと呼ぶ。NPWにはさまざまなタイプが存在するが、そのタイプを NPW分析モデルとして以下に示す。なお、選択欄にチェックマークがついていない項目については、本書において、該当する運

用を想定しないことを示す。




択択択択



Stabilizer プロセスの安定化のため、各プロセスの間で用いる。例）クリーニング √√√√

NPW使用目的

Monitor 装置/製品(処理)の品質を管理(取得)するために使用する。例）レートチェック √√√√

累積処理累積処理数または累積処理時間が規定数に達した時に使用する。 √√√√

処理切替製品処理条件の切替時に使用する。 √√√√ 特定処理特定の製品処理を行う時に使用する。 √√√√

NPW使用条件

全処理全ての製品処理を行う時に使用する。 √√√√ ロードポート NPWが搬入されたロードポート上にてNPWを保管する。 √√√√ NPW保管



タイミング製品処理中以外製品処理以外のタイミングで NPWの加工をおこなう。 √√√√


用性再利用不可一度使用したNPWは必ず装置外に取り出さないと再利用でき

ない。 √√√√

製品処理完了製品処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。 √√√√ NPW処理完了 NPW処理が完了することによって、NPWの使用が完了する。 √√√√ 累積使用回数累積使用回数が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。 √√√√ 累積使用時間累積使用時間が既定値に到達した時にNPWの使用が完了する。 √√√√

ＮＰＷの種類


装置内保管時間装置内に保管されている時間が規定数に達した時にNPWの使用が完了する。 √√√√

製品非混在キャリア NPWだけで構成されたキャリアで NPWを搬入する。 √√√√ 製品混在キャリア製品ウェーハとNPWが混在したキャリアでNPWを搬入する。搬入形態ウェーハ単体キャリアを用いないで、ウェーハ単体でNPWを搬入する。ロードポート CMSで管理されているロードポートより NPWを搬入する。 √√√√

搬入搬入場所

ロードポート以外 CMSで管理されていないポートよりNPWを搬入する。非定常型保管必要な時に必要なだけ NPWを保管する。 √√√√ 保




在キャリア併合搬出使用完了したNPWウェーハを、複数回の使用をまとめて、保

管に用いたキャリアとは別のキャリアを用いて搬出する。 √√√√

別キャリア

製品混在キャリア逐次搬出

使用完了したNPWを、保管に用いているのとは別のキャリアで、NPWを使用する都度、製品ウェーハとともにNPWを搬出する。

搬出形態

ウェーハ単体キャリアを用いないで、ウェーハ単体でNPWを搬出する。製品処理開始前製品処理を開始する前に搬出する。 √√√√ 製品処理完了時製品処理が完了することによって搬出する。 √√√√ 搬出タイ

ミング搬出キャリア満杯搬出用キャリアが使用完了したNPWで満杯となった時に搬出

する。 √√√√

ロードポート CMSにて管理されているロードポートよりNPWを搬出する。 √√√√

ＮＰＷの動き

搬出


表 5-8 NPW 分析モデル

上記の表で示された分析モデルの各カテゴリについてそれぞれ１つを選択することによって、



NPW の特性が明らかとなる。しかし、各カテゴリにおいては組み合わせが不可能なものも存在する。そ

れらを以下に示す。

表 5-9 NPW 分析モデル組合せ

組合せが不可能なパターン組合せが不可能なパターン組合せが不可能なパターン組合せが不可能なパターン存在しない理由存在しない理由存在しない理由存在しない理由使用目的が「Filler（定常）」または「Filler（非定常）」

の NPW であれば、製品ウェーハを処理する際に必ず必要となる。したがって、使用条件は「全処理」以外にはならない。

使用目的が「Filler（定常）」または「Filler（非定常）」のNPW

であれば、製品ウェーハを処理している中に必要となる

はずである。したがって、NPW加工タイミングは「製品処理

中以外」にはならない。

使用目的が「Stabilizer」であるNPWならば、製品ウェーハ

を処理している中に使用することはない。したがって、

NPW加工タイミングは「製品処理中」にはならない。

使用目的が「Monitor」であるNPWならば、NPW処理が完了

した後、装置外に取り出し、検査をおこなうことになる。した

がって、NPW再利用性は「再利用可能」にはならない。

表 5-10 分析モデルにおいて存在しない組合せ一覧(1/2)

Filler（定常）

NPW使用目的

累積処理

NPW使用条件

処理切替Filler（非定常）

特定処理

Filler（定常）

NPW使用目的

製品処理中以外

NPW加工ﾀｲﾐﾝｸﾞ

Filler（非定常）

Stabilizer

NPW使用目的

製品処理中


Monitor

NPW使用目的

再利用可能

NPW再利用性

累積処理 × × ○ ○切替処理 × × ○ ○特定処理 × × ○ ○全処理 ○ ○ ○ ○ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○装置内部 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

NPW保管形態ｷｬﾘｱ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ｳｪｰﾊ単体 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × ○

製品処理中 ○ ○ × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○製品処理中以外 × × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○再利用可能 ○ ○ ○ × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○再利用不可 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○製品処理完了時 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × ○ ○NPW処理完了時 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × ○累積使用回数 ○ ○ ○ × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○累積使用時間 ○ ○ ○ × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○装置内保管時間 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

搬入形態製品非混在ｷｬﾘｱ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○搬入場所ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

非定常型保管 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○定常型保管 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

搬出形態同一ｷｬﾘｱ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

別ｷｬﾘｱ-非混在-逐次 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

別ｷｬﾘｱ-非混在-併合 ○ ○ ○ × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○搬出場所ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○備考) ○は組合せ可能な項目を示しており、×は組合せ不可能な項目を示している。

非定常型保管

定常型保管

同一ｷｬﾘｱ

別ｷｬﾘｱ-非混在-逐次

全処理

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ

Filler(定常)

NPW使用条件

NPW保管場所

Filler(非定常)

Stabilizer

累積使用時間

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ以外

ｷｬﾘｱ

製品処理中

製品処理中以外

再利用可能

再利用不可

NPW再利用性

保管方法

NPW使用目的

NPW使用条件NPW保管場所


NPW保管形態

Monitor

累積処理

処理切替

特定処理

搬入場所

搬入形態

装置内保管時間

製品非混在ｷｬﾘｱ


別ｷｬﾘｱ-非混在-併合

搬出形態

製品処理完了時

保管方法


NPW再利用性

NPW使用完了ﾀｲﾐﾝｸﾞ


ｳｪｰﾊ単体

NPW処理完了時

累積使用回数



組合せが不可能なパターン組合せが不可能なパターン組合せが不可能なパターン組合せが不可能なパターン存在しない理由存在しない理由存在しない理由存在しない理由

使用目的が「Monitor」であるNPWならば、NPW処理が完了

したことにより、使用を完了しなければ、検査をおこなうこと

ができない。したがって、NPW使用完了タイミングは「累積

使用回数」や「累積使用時間」になることはない。

使用目的が「Monitor」のNPWは、NPW処理が完了した時に装置外に搬出することになる。したがって、搬出形態が「併合」となることはない。

使用目的が「Filler」の NPWは、製品ウェーハと同じタイミングで使用されることになる。したがって、製品処理前に「Filler」の NPWを搬出することはない。

使用目的が「Monitor」であるNPWは、NPW処理が終了した時に装置外に搬出することになる。したがって、搬出キャリアが満杯になったときを Monitor の搬出タイミングとするべきではない。

NPWの保管場所が「ロードポート」であるならば、ウェーハ単体を保管することは物理的に無理である。

NPW 再利用性を「再利用可能」とすることと、NPW使用完了タイミングを「NPW処理完了時」とすることは、矛盾している。

表 5-11 分析モデルにおいて存在しない組合せ一覧(2/2)

Monitor

NPW使用目的

別ｷｬﾘｱ-非混在-併合

搬出形態

Filler（定常）

NPW使用目的

製品処理開始前

搬出ﾀｲﾐﾝｸﾞ

Filler（非定常）

Monitor

NPW使用目的

搬出ｷｬﾘｱ満杯

搬出ﾀｲﾐﾝｸﾞ


NPW保管場所

ｳｪｰﾊ単体

NPW保管形態

再利用可能

NPW再利用性

NPW処理完了


Monitor

NPW使用目的

累積使用回数


累積使用時間



5.10. 用語集本書で使用している用語の説明を記述する。（本文中に説明のあるものは除く）

・ GEMGEMGEMGEM（（（（Generic Equipment ModelGeneric Equipment ModelGeneric Equipment ModelGeneric Equipment Model））））包括的装置モデル：通信リンクを通じてみた装置の動作を規定する SEMIスタンダード。

・ HSMSHSMSHSMSHSMS（（（（High Speed SECS Message ServiceHigh Speed SECS Message ServiceHigh Speed SECS Message ServiceHigh Speed SECS Message Service）））） TCP/IPプロトコルを使用した高速 SECS メッセージ通信を規定する SEMIスタンダード。

・ CMSCMSCMSCMS（（（（Carrier Management StandardCarrier Management StandardCarrier Management StandardCarrier Management Standard））））キャリア管理のための SEMIスタンダード。

・ STS (STS (STS (STS (Substrate Tracking StandardSubstrate Tracking StandardSubstrate Tracking StandardSubstrate Tracking Standard)))) 製造装置内のウェーハ（製造された製品：ウェーハ）のトラッキングに関するスタンダード。

・ホストホストホストホスト（（（（HostHostHostHost））））装置と通信をするインテリジェントシステム

・製造装置製造装置製造装置製造装置（（（（Production EquipmentProduction EquipmentProduction EquipmentProduction Equipment））））製品を製造するのに使われる装置。ウェーハソーター、プロセス装置、および計測装置を含

み、マテリアル搬送装置は除く。

・エッチング装置エッチング装置エッチング装置エッチング装置

ウェーハまたは、ウェーハ表面上に形成された薄膜の全面または特定した部分を必要な厚さ

だけ食刻(エッチング)する装置。

・ストッカーストッカーストッカーストッカー（（（（StockerStockerStockerStocker））））製造装置外で、キャリアを保管するための棚。

・ AMHSAMHSAMHSAMHS（（（（Automated Material Handling SystemAutomated Material Handling SystemAutomated Material Handling SystemAutomated Material Handling System））））自動マテリアル搬送システム：工場にある材料を保管および搬送する自動システム。

・工程内搬送工程内搬送工程内搬送工程内搬送（（（（Intrabay TransportIntrabay TransportIntrabay TransportIntrabay Transport））））工場内にある、単数あるいは、複数のベイ専用搬送のこと、キャリアのストッカー製造装置

間、製造装置―製造装置間の搬送を担う。

・ OHTOHTOHTOHT（（（（Overhead Hoist TransportOverhead Hoist TransportOverhead Hoist TransportOverhead Hoist Transport））））オーバーヘッドホイスト搬送：天井に渡したレールに沿って動く搬送装置で、ホイスト機構

によりロードポートに垂直にアクセスする。

・ AGVAGVAGVAGV（（（（Automated Guided VehicleAutomated Guided VehicleAutomated Guided VehicleAutomated Guided Vehicle））））自動誘導式ビークル：地上に設置してある自動誘導装置を持つ搬送装置。多関節ロボット等

でロードポートにアクセスする。



・ RGVRGVRGVRGV（（（（Rail Guided VehicleRail Guided VehicleRail Guided VehicleRail Guided Vehicle））））レール誘導式ビークル：地上のレールに沿って動く搬送装置。スカラロボット等でロードポ

ートにアクセスする。

・ PGVPGVPGVPGV（（（（Person Guided VehiclePerson Guided VehiclePerson Guided VehiclePerson Guided Vehicle））））オペレータ誘導式ビークル。手動／自動による移載機構を備えた手押し台車。

・ PIOPIOPIOPIO（（（（Parallel Input/Output InterfaeParallel Input/Output InterfaeParallel Input/Output InterfaeParallel Input/Output Interfae））））パラレルインプット／アウトプットインターフェース。AMHS 機器とロードポートの間のステータスのハンドシェイクを行う。

・ FOUPFOUPFOUPFOUP（（（（Front Opening Unified PodFront Opening Unified PodFront Opening Unified PodFront Opening Unified Pod））））ウェーハを入れるための密閉されたキャリア。

・ OCOCOCOC（（（（Open CassetteOpen CassetteOpen CassetteOpen Cassette））））ウェーハを入れるための密閉されていないオープンなキャリア。

・キャリアキャリアキャリアキャリア（（（（CarrierCarrierCarrierCarrier））））ウェーハを収納する場所があるコンテナ。

・キャリアキャリアキャリアキャリア IDIDIDID（（（（CarrierIDCarrierIDCarrierIDCarrierID））））読取可能でユニークなキャリアの識別子。

・キャリアキャリアキャリアキャリア IDIDIDIDリーダリーダリーダリーダ（（（（CarrierID ReaderCarrierID ReaderCarrierID ReaderCarrierID Reader））））装置がキャリアのキャリア IDを読み取るための機器。

・スロットマップスロットマップスロットマップスロットマップ（（（（SlotMapSlotMapSlotMapSlotMap））））キャリアのどのスロットのウェーハが置かれているかを表す情報。正しいか間違っているか

を問わない。

・スロットマップリーダスロットマップリーダスロットマップリーダスロットマップリーダ（（（（Slot Map ReaderSlot Map ReaderSlot Map ReaderSlot Map Reader））））装置がスロットマップを読み取るための機器。

・ロードロードロードロード（（（（LoadLoadLoadLoad））））キャリアをロードポートに置くオペレーション。搬入とも呼ぶ。

・アンロードアンロードアンロードアンロード（（（（UnUnUnUnloadloadloadload））））キャリアをロードポートから外すオペレーション。搬出とも呼ぶ。

・クランプクランプクランプクランプ（（（（ClampClampClampClamp））））キャリアを搬入／搬出できない様に固定する動作。

・アンクランプアンクランプアンクランプアンクランプ（（（（UnclampUnclampUnclampUnclamp））））キャリアを搬入／搬出できる様にクランプ状態を解除する動作。

・ FIMSFIMSFIMSFIMS面面面面ロードポート上でキャリアが製造装置に結合される部分。



・ドックドックドックドック（（（（DockDockDockDock）））） FOUPを FIMS面に押しつける動作。

・アンドックアンドックアンドックアンドック（（（（UndockUndockUndockUndock）））） FOUPを FIMS面からはなす動作。

・ドアオープンドアオープンドアオープンドアオープン（（（（Door OpenDoor OpenDoor OpenDoor Open）））） FOUPのフロント面にあるドアを開けること。

・ドアクローズドアクローズドアクローズドアクローズ（（（（Door CloseDoor CloseDoor CloseDoor Close）））） FOUPのフロント面にあるドアを閉めること。

・ロードポートロードポートロードポートロードポート（（（（Load PortLoad PortLoad PortLoad Port））））装置のインターフェースロケーションで、キャリアがロード及びアンロードされる場所。

・バッファバッファバッファバッファ（（（（BufferBufferBufferBuffer））））製造装置または製造装置内でキャリアを置いておく一つあるいは複数のロケーション。

・固定バッファ装置固定バッファ装置固定バッファ装置固定バッファ装置（（（（Fixed Buffer EquipmentFixed Buffer EquipmentFixed Buffer EquipmentFixed Buffer Equipment））））キャリアの保管用には固定されたロードポートしかなく内部バッファをもたない装置。ウェ

ーハはロードポートでキャリアから直接ロードおよびアンロードされ処理される。

・内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファ（（（（IIIInternal Buffernternal Buffernternal Buffernternal Buffer））））キャリアを保管するための装置内のロケーション。ロードポートは除く。

・リソースリソースリソースリソース（（（（ResourceResourceResourceResource））））材料(ウェーハ)をプロセスする資源（チャンバー、モジュール）

・コントロールジョブコントロールジョブコントロールジョブコントロールジョブ（（（（Control JobControl JobControl JobControl Job））））装置における一個以上のキャリアについての作業単位を定める。キャリアの中に保たれる材

料に加えられる一個以上のプロセスジョブの組によって表される。通常 CJと略する。・プロセスジョブプロセスジョブプロセスジョブプロセスジョブ（（（（Process JobProcess JobProcess JobProcess Job））））プロセス実行資源に対する材料プロセスジョブで、材料に対するプロセスを指定してトラッ

キングするもの。通常 PJと略する。・ジョブジョブジョブジョブ

コントロールジョブ(CJ)、プロセスジョブ(PJ)の両者を包含してこう呼ぶ。・レシピレシピレシピレシピ（（（（RecipeRecipeRecipeRecipe））））事前に準備され、再利用可能な命令、設定値あるいはパラメータでプロセス実行資源により

制御され、材料からみたプロセス環境を決定する。

・バリアブルパラメータバリアブルパラメータバリアブルパラメータバリアブルパラメータ（（（（Variable ParameterVariable ParameterVariable ParameterVariable Parameter））））可変パラメータ：レシピ本体に含まれ、フォーマルに定義された設定値（パラメータ）で、

実際の値を外部から与えることが許されるもの。

・プロセスプログラムプロセスプログラムプロセスプログラムプロセスプログラム（（（（Process ProgramProcess ProgramProcess ProgramProcess Program））））装置がコントロールできる前もって計画された再利用可能な指示、設定およびパラメータの



一部で製造されるオブジェクトから見たプロセシング環境を決定し、各の処理と処理の間、

あるいは一連の処理サイクルの合間に変更される可能性がある。

・ PPIDPPIDPPIDPPID（（（（Process Program IDProcess Program IDProcess Program IDProcess Program ID））））プロセスプログラムを識別するのに使われるテキスト文字列。

・ QTATQTATQTATQTAT（（（（Quick Turn Around TimeQuick Turn Around TimeQuick Turn Around TimeQuick Turn Around Time））））工場内で材料をプロセスルートに従って早く動くことを意図すること。

・ NPWNPWNPWNPW（（（（Non Product WaferNon Product WaferNon Product WaferNon Product Wafer））））非製品ウェーハのことであり、ダミーやプロセスチェック等に使うウェーハの総称。

・材料材料材料材料（（（（MaterialMaterialMaterialMaterial））））装置間を搬送される個々の物体。ウェーハ、キャリアなどを含む。

・連続移載連続移載連続移載連続移載 1 回の搬送で搬出と搬入をおこなうこと。

・同時移載同時移載同時移載同時移載

1 回の搬送で 2キャリア同時に移載すること。

製造装置オンライン機能要求仕様書¼ˆ旧)/ライン...製造装置オンライン機能要求仕様書...

Documents

Transcript of 製造装置オンライン機能要求仕様書¼ˆ旧)/ライン...製造装置オンライン機能要求仕様書...