2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A...

45
2020年1月度 在庫リスト No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年 1 真空装置 CVD装置 RS15-21180A プラズマCVD装置 CME-400Et ULVAC MA09-3487 2 真空装置 CVD装置 RS16-11880A プラズマCVD装置 CME-200 ULVAC MA01-1027 2001 3 真空装置 CVD装置 RS18-42160A CVD装置 P-5000(W-CVD) AMAT 5971 1993 4 真空装置 CVD装置 RS18-42310A CVD装置 P-5000(W-CVD) AMAT 4255 1994 5 真空装置 CVD装置 RS18-25140A CVD装置 Eagle10 ASM 8109 1997 6 真空装置 CVD装置 RS16-45700A プラズマCVD装置 PD-3800LT サムコ 32S2725 2011 7 真空装置 CVD装置 RS16-45710A プラズマCVD装置 PD-3800LT サムコ 32A2797 2011 8 真空装置 CVD装置 RS16-45720A プラズマCVD装置 PD-3800LT サムコ 32A2798 2011 9 その他装置 UVキュア装置 RS14-22690A 遠紫外線応用装置 DUV-25x4B GSユアサ 00 E 5L 10 その他装置 UVキュア装置 RS14-30260A UVキュア装置 UMA-1002-HC93SMV (Casette to Cassette) ウシオ電機 9701006 1998 11 その他装置 UVキュア装置 RS16-45610A UVキュア装置 ISI1005 大宮工業 ISI1005-1 2011 12 その他装置 UVキュア装置 RS16-42650A UVキュア装置 TVC-8011 東京応化工業 V-0409124 2004 13 その他装置 UVキュア装置 RS16-42660A UVキュア装置 TVC-8011 東京応化工業 V-0510125 2005 14 その他装置 UVキュア装置 RS16-45960A UVキュア装置 TVC-8022 東京応化工業 V-1009132 2011 15 その他装置 アライナー装置 RS18-80490A アライナー MA-20 MIKASA 2151 2005 16 その他装置 アライナー装置 RS18-25120A マスクアライナー MPA500FAB キヤノン 407432 17 その他装置 アライナー装置 RS18-25130A マスクアライナー MPA500FAB キヤノン 403372 18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A ウエハ露光装置 PA-150MAD 清和光学 46102 2002 20 その他装置 ステッパー装置 RS16-45930A ミニステッパー NES1-h4 ニコン 0900201 2010 21 その他装置 ステッパー装置 RS16-45940A ミニステッパー NES1-h4 ニコン 1100802 2011 22 真空装置 イオン注入装置 RS18-42140A 中電流イオン注入装置 EXCEED 2300AH 日新イオン F01622 2005 23 真空装置 ドライエッチング 装置 RS14-12310A ドライエッチング装置 NE-5000N ULVAC MV98-1002 2000 24 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-10120A ドライエッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-8003 2007 25 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-45670A ドライエッチング装置 NE-950EX ULVAC MA09-3469 2011 26 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-45680A ドライエッチング装置 NE-950EX ULVAC MA10-5009 2011 27 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-45690A ドライエッチング装置 NE-950EX ULVAC MA09-3470 2011 28 真空装置 ドライエッチング 装置 RS18-10640A ドライエッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-1110 2006 29 真空装置 ドライエッチング 装置 RS19-25080A UHVドライエッチング装 UPE-2000-OSAP ULVAC MB02-5003 2002 30 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-42160A ドライエッチング装置 MUC-21-098 SPP 58743 2009 31 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-42130A ドライエッチング装置 DEA-506T キヤノン アネル EVP-24130 1992 32 真空装置 ドライエッチング 装置 RS16-42090A ドライエッチング装置 E725SC パナソニック 076E10118 2007 33 真空装置 ドライエッチング 装置 RS18-42050A 酸化膜ドライエッチング装 TE8500ESC 東京エレクトロ K85053 2008 34 真空装置 ドライエッチング 装置 RS18-42040A ドライエッチング装置 M-308FX 日立ハイテク 96C0228421 1996 35 真空装置 ドライエッチング 装置 RS18-42330A ドライエッチング装置 M-318 日立ハイテク - 1995 36 真空装置 アッシング装置 RS18-10280A アッシング装置 UNA-2000 ULVAC MV94-1002 37 真空装置 アッシング装置 RS13-31230A アッシング装置 1000P GLEN TECHNOLOGIE S 10271 2000 1

Transcript of 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A...

Page 1: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1 真空装置 CVD装置 RS15-21180A プラズマCVD装置 CME-400Et ULVAC MA09-3487

2 真空装置 CVD装置 RS16-11880A プラズマCVD装置 CME-200 ULVAC MA01-1027 2001

3 真空装置 CVD装置 RS18-42160A CVD装置 P-5000(W-CVD) AMAT 5971 1993

4 真空装置 CVD装置 RS18-42310A CVD装置 P-5000(W-CVD) AMAT 4255 1994

5 真空装置 CVD装置 RS18-25140A CVD装置 Eagle10 ASM 8109 1997

6 真空装置 CVD装置 RS16-45700A プラズマCVD装置 PD-3800LT サムコ 32S2725 2011

7 真空装置 CVD装置 RS16-45710A プラズマCVD装置 PD-3800LT サムコ 32A2797 2011

8 真空装置 CVD装置 RS16-45720A プラズマCVD装置 PD-3800LT サムコ 32A2798 2011

9 その他装置 UVキュア装置 RS14-22690A 遠紫外線応用装置 DUV-25x4B GSユアサ 00 E 5L

10 その他装置 UVキュア装置 RS14-30260A UVキュア装置

UMA-1002-HC93SMV

(Casette to Cassette) ウシオ電機 9701006 1998

11 その他装置 UVキュア装置 RS16-45610A UVキュア装置 ISI1005 大宮工業 ISI1005-1 2011

12 その他装置 UVキュア装置 RS16-42650A UVキュア装置 TVC-8011 東京応化工業 V-0409124 2004

13 その他装置 UVキュア装置 RS16-42660A UVキュア装置 TVC-8011 東京応化工業 V-0510125 2005

14 その他装置 UVキュア装置 RS16-45960A UVキュア装置 TVC-8022 東京応化工業 V-1009132 2011

15 その他装置 アライナー装置 RS18-80490A アライナー MA-20 MIKASA 2151 2005

16 その他装置 アライナー装置 RS18-25120A マスクアライナー MPA500FAB キヤノン 407432

17 その他装置 アライナー装置 RS18-25130A マスクアライナー MPA500FAB キヤノン 403372

18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A

19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A ウエハ露光装置 PA-150MAD 清和光学 46102 2002

20 その他装置 ステッパー装置 RS16-45930A ミニステッパー NES1-h4 ニコン 0900201 2010

21 その他装置 ステッパー装置 RS16-45940A ミニステッパー NES1-h4 ニコン 1100802 2011

22 真空装置 イオン注入装置 RS18-42140A 中電流イオン注入装置 EXCEED 2300AH 日新イオン F01622 2005

23 真空装置

ドライエッチング

装置 RS14-12310A ドライエッチング装置 NE-5000N ULVAC MV98-1002 2000

24 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-10120A ドライエッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-8003 2007

25 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-45670A ドライエッチング装置 NE-950EX ULVAC MA09-3469 2011

26 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-45680A ドライエッチング装置 NE-950EX ULVAC MA10-5009 2011

27 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-45690A ドライエッチング装置 NE-950EX ULVAC MA09-3470 2011

28 真空装置

ドライエッチング

装置 RS18-10640A ドライエッチング装置 NE-550C ULVAC MV06-1110 2006

29 真空装置

ドライエッチング

装置 RS19-25080A

UHVドライエッチング装

置 UPE-2000-OSAP ULVAC MB02-5003 2002

30 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-42160A ドライエッチング装置 MUC-21-098 SPP 58743 2009

31 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-42130A ドライエッチング装置 DEA-506T

キヤノン アネル

バ EVP-24130 1992

32 真空装置

ドライエッチング

装置 RS16-42090A ドライエッチング装置 E725SC パナソニック 076E10118 2007

33 真空装置

ドライエッチング

装置 RS18-42050A

酸化膜ドライエッチング装

置 TE8500ESC

東京エレクトロ

ン K85053 2008

34 真空装置

ドライエッチング

装置 RS18-42040A ドライエッチング装置 M-308FX 日立ハイテク 96C0228421 1996

35 真空装置

ドライエッチング

装置 RS18-42330A ドライエッチング装置 M-318 日立ハイテク - 1995

36 真空装置 アッシング装置 RS18-10280A アッシング装置 UNA-2000 ULVAC MV94-1002

37 真空装置 アッシング装置 RS13-31230A アッシング装置 1000P

GLEN

TECHNOLOGIE

S 10271 2000

1

Page 2: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

38 真空装置 アッシング装置 RS16-83000A アッシング装置 TCA-7822S

tokyo ohaka

kogyo T-9804525 1998

39 真空装置 蒸着装置 RS11-11910A 真空蒸着装置 EX-550-D10-B ULVAC MH90-1086 1991

40 真空装置 蒸着装置 RS11-30140A 真空蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE59-1362-4 1985

41 真空装置 蒸着装置 RS12-14190A 真空蒸着装置 EBX-10D ULVAC SE56-1351-3 1981

42 真空装置 蒸着装置 RS13-30160A 蒸着装置 VEP-1000 ULVAC MF06-1008 2007

43 真空装置 蒸着装置 RS15-11860A 真空蒸着装置 ei-7L ULVAC MA12-5005 2013

44 真空装置 蒸着装置 RS15-20560A 真空蒸着装置 EX-400-C08 ULVAC MH92-5012 1992

45 真空装置 蒸着装置 RS16-10460A 真空蒸着装置 EX-550-C10 ULVAC MH62-5010 1987

46 真空装置 蒸着装置 RS16-11720A 真空蒸着装置 MiniLab ULVAC MA04-1042 2005

47 真空装置 蒸着装置 RS16-11730A 真空蒸着装置 EBX-8C特 ULVAC MH61-0490 1986

48 真空装置 蒸着装置 RS16-11840A 真空蒸着装置 MCS-3000S ULVAC MB92-8002 1992

49 真空装置 蒸着装置 RS16-12190A 真空蒸着装置 EX-400 ULVAC MH90-1015 1991

50 真空装置 蒸着装置 RS16-21730A 真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC MH60-5255 1986

51 真空装置 蒸着装置 RS16-22200A 真空蒸着装置 EBX-1000T ULVAC MA01-5010 2002

52 真空装置 蒸着装置 RS16-22330A 真空蒸着装置 EBH-6 ULVAC XS90-2114

53 真空装置 蒸着装置 RS16-46020A 真空蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA02-7011 2003

54 真空装置 蒸着装置 RS17-10010A 真空蒸着装置 EBX-1000T ULVAC SA99-1147-A 2000

55 真空装置 蒸着装置 RS17-11130A 真空蒸着装置 EBS-10A ULVAC SE53-1136-4 1978

56 真空装置 蒸着装置 RS17-40140A 真空蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA99-5006

57 真空装置 蒸着装置 RS17-40440A 真空蒸着装置 EBX-1000 ULVAC MA00-7004

58 真空装置 蒸着装置 RS18-10250A 真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC ME61-0077

59 真空装置 蒸着装置 RS18-10260A 真空蒸着装置 EBV-6DA ULVAC MH90-1026

60 真空装置 蒸着装置 RS18-10670A 真空蒸着装置 EX-1300-C20 ULVAC MH95-5019 1996

61 真空装置 蒸着装置 RS18-10830A 真空蒸着装置 EBX-8C ULVAC RN90-1076 1991

62 真空装置 蒸着装置 RS18-11180A 真空蒸着装置 EX-550-T10 ULVAC MH93-1013 1994

63 真空装置 蒸着装置 RS18-11270A MBE装置 MBE-BC2400 ULVAC MB92-1093 1992

64 真空装置 蒸着装置 RS18-12660A

レーザ過熱式ガス中蒸発装

置 大口径触媒微粒子堆積装置 ULVAC MB04-1032 2004

65 真空装置 蒸着装置 RS18-20010A 真空蒸着装置 EBX-2000C ULVAC

SA00-

3015/MA01-1025 2002

66 真空装置 蒸着装置 RS19-10760A 蒸着装置 EX-650 ULVAC MH93-1025

67 真空装置 蒸着装置 SC19-10060A 蒸着装置 ei-Opt ULVAC MA09-3101-0 2010

68 真空装置 蒸着装置 SC19-10070A 蒸着装置 ei-Opt ULVAC MA09-3103-0 2010

69 真空装置 蒸着装置 RS18-11390A 光学式蒸着装置 SGC-12SAC

SHOWA

SHINKU 00-4223 2001

70 真空装置 蒸着装置 SC19-10040A 蒸着装置 SGC-26WA

SHOWA

SHINKU 00-4507 2001

71 真空装置 蒸着装置 SC19-10050A 蒸着装置 SGC-26WA

SHOWA

SHINKU 00-4508 2001

72 真空装置 蒸着装置 RS14-22890A 真空蒸着装置 特殊蒸着装置EVP-34234

キヤノン アネル

バ EE995142 2001

73 真空装置 蒸着装置 RS14-22800A 真空蒸着装置 BMC-700 シンクロン 900073 1990

74 真空装置 蒸着装置 RS15-11930A 高真空蒸着装置 SEC-16C 昭和真空 02-4069 2002

75 真空装置 蒸着装置 RS16-11640A 高真空蒸着装置 SEC-10D 昭和真空 11-4110 2011

76 その他装置 CMP装置 RS16-40180A CMP/ポリッシング/研磨 nTrepid 6EH Strasbaugh - 2010

77 その他装置 CMP装置 RS16-20030A CMP/ポリッシング/研磨 MAT-BC15C エムエーティー 14-0017 2014

78 その他装置 CMP装置 RS16-20040A CMP/ポリッシング/研磨 MAT-MGR-15F エムエーティー 15-0030 1996

79 その他装置 ゴミ検査装置 RS12-14220A ウエハ異物検査装置 WM-1500 トプコン 01250019 1997

80 その他装置 ゴミ検査装置 RS12-14240A ウエハ異物検査装置 WM-1500 トプコン 000370032 1997

81 真空装置 その他装置 RS15-81240A 真空接合装置 真空接合装置 Ayumi Industry 2012

2

Page 3: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

82 その他装置 スクラバー装置 RS18-42170A 表面スクラバー SSW80A

大日本スクリー

ン 53700-2695 1994

83 その他装置 スクラバー装置 RS18-42250A Mジェットスクラバー ACA-001A-113A 島田理化工業 U06431 1996

84 真空装置 熱処理装置 RS16-11870A 赤外線ランプアニール装置 RTA-85/85 アドバンス理工 MR004005 2001

85 真空装置 熱処理装置 RS16-20380A 赤外線ランプ装置 RTA-0208S アドバンス理工 - 2009

86 真空装置 凍結乾燥装置 RS13-22010A 真空凍結乾燥装置 DFM-09A-S ULVAC MF99-5104 2000

87 真空装置 超高真空装置 RS16-12270A 超高真空排気装置 超高真空排気装置 ULVAC MB00-5024

88 排気装置 排気装置 RS18-10270A 排気装置 可搬型排気装置

キヤノン アネル

バ EVP-0099A

89 その他装置 加熱装置 RS19-20010A 卓上型ランプ加熱装置 MILA3000-P-N advance riko ZR994036 2000

90 その他装置 加熱装置 RS18-11410A キュア炉 MSC-600

KYUSHU

NISSHO 2109-0065 2010

91 その他装置 加熱装置 RS11-82790A 小型オーブン 3606 Lab-Line -

92 その他装置 加熱装置 RS17-40420A 小型アロイ炉 ALY-98/98 アドバンス理工 MR024008-1

93 その他装置 加熱装置 RS17-25440A 恒温器 SU-220 エスペック 130130

94 その他装置 加熱装置 RS17-25430A 恒温器 DN410H ヤマト科学 42800682

95 その他装置 加熱装置 RS15-20790A 電気炉 206M100M30X108H

光洋リンドバー

グ HI-0714 1990

96 その他装置 加熱装置 RS15-30080A エコリフロー炉 SNR-615 千住金属工業 1507011 2007

97 その他装置 加熱装置 RS12-13380A ベーク炉 LTI-601ED 東京理化器械 10225465

98 洗浄装置 洗浄装置 RS14-30500A

手動3槽式シャワー洗浄装

置 WBTA03-W12

Sancha Electric

Manufacturing 4H30004 2008

99 その他装置 洗浄装置 RS16-45820A 枚葉洗浄装置 TWPS-064-TJ

TAKADA

CORPORATION 10110140-1 2011

100 その他装置 洗浄装置 RS14-30510A 流水洗浄装置 YW-00S-RH サクラ精機 09020988 2009

101 その他装置 洗浄装置 RS16-45860A 酸洗浄ドラフト 酸洗浄ドラフト

東朋テクノロジ

- ME11150 2011

102 その他装置 洗浄装置 RS16-45910A 酸ウェットステーション IZ0エッチ

東朋テクノロジ

- ME11680 2012

103 その他装置 洗浄装置 RS16-45920A リンサードライヤー 180RN

東朋テクノロジ

- 1010207 2011

104 その他装置 外観検査装置 RS14-41010A CNC画像測定システム VMR-3020 NIKON 1302262 2001

105 その他装置 外観検査装置 RS14-41210A 外観検査装置 VI-4302 トプコン 00264303

106 真空装置 エッチング装置 SC19-10020A ドライエッチング装置 NE-950EXK ULVAC MA10-3402-0 2010

107 その他装置

コーターデベロッ

パー装置 RS18-40210A TEL塗布/現像機 MK-5

東京エレクトロ

ン 521574 1991

108 その他装置 コーター装置 RS16-20340A レジストコーター フィルムUVコーター 渕上ミクロ - 2004

109 真空装置

スパッタリング装

置 RS12-10620A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME93-5021 1994

110 真空装置

スパッタリング装

置 RS12-12270A

ロードロック式スパッタリ

ング装置 IBS-6000 ULVAC MB04-1012 2004

111 真空装置

スパッタリング装

置 RS12-14050A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-450-C10 ULVAC

MH61-

0502(NH8978) 1987

112 真空装置

スパッタリング装

置 RS13-11150A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 MLX-3000N ULVAC ME96-1064 1997

113 真空装置

スパッタリング装

置 RS13-22040A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-350-D06 ULVAC MH62-5073 1988

114 真空装置

スパッタリング装

置 RS13-30170A スパッタリング装置 CS-200 ULVAC MA07-1009 2007

115 真空装置

スパッタリング装

置 RS13-31270A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 MLX-3000N ULVAC ME99-1017

3

Page 4: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

116 真空装置

スパッタリング装

置 RS15-10250A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC

ME95-1042

(WT06-

10010A)

117 真空装置

スパッタリング装

置 RS15-10600A スパッタリング装置 SH-450-C12 ULVAC MH61-5356 1987

118 真空装置

スパッタリング装

置 RS15-11830A

カルーセル型スパッタリン

グ装置 ULDiS-200UCP ULVAC MA13-5002 2013

119 真空装置

スパッタリング装

置 RS15-20940A 巻取スパッタ装置 SPW-030 ULVAC MF04-7002 2006

120 真空装置

スパッタリング装

置 RS15-21040A

バッチ式スパッタリング装

置 MPS-2000-HC2 ULVAC MB97-5001 1997

121 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-11580A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 CERAUS Zi-1000N ULVAC ME00-1075-0 2001

122 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-12100A スパッタリング装置 SME-200 ULVAC MA02-1027 2003

123 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-12180A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-450 ULVAC MH62-0042 1982

124 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-12280A スパッタリング装置 MUE-ECO ULVAC MB99-1033 2000

125 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-12320A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 CERAUS ZX-1000 ULVAC ME96-1073 1995

126 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-13540A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-100B ULVAC MH61-0496 1987

127 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-21440A スパッタリング装置 BC6643 ULVAC ZB03-5028 2003

128 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-21870A

カルーセル型スパッタリン

グ装置 ULDiS-903CHL ULVAC MA06-1005 2007

129 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-22090A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 ENTRON-EX W200S ULVAC ME05-5010 2006

130 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-83160A スパッタリング装置 SPW-020 ULVAC MF56-0145 1982

131 真空装置

スパッタリング装

置 RS17-11080A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-700L-C16 ULVAC MH94-1038 1995

132 真空装置

スパッタリング装

置 RS17-20020A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-700M-C12 ULVAC MH94-5042 1995

133 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-10220A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-450特型 ULVAC MH62-5026 1988

134 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-10850A

バッチ式スパッタリング装

置 SIH-3040 ULVAC MH97-1020 1998

135 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-10860A スパッタリング装置 SMD-450 ULVAC MH99-1008 2000

136 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-11190A

バッチ式スパッタリング装

置 SH-350H ULVAC MH63-0211 1989

137 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-11460A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 SPZ-1000 ULVAC SH95-1891 1996

138 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-11470A スパッタリング装置 Utech-4543 ULVAC 1996

139 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21300A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 CERAUS Z-1000 ULVAC ME96-5023 1996

140 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21410A スパッタリング装置 SME-200J ULVAC MA09-3118 2010

141 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21420A スパッタリング装置 SME-200J ULVAC MA09-3119 2010

142 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21430A スパッタリング装置 SME-200J ULVAC MA09-3168 2010

4

Page 5: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

143 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21440A スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA09-3312 2010

144 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21450A スパッタリング装置 SIV-200S ULVAC MA09-3313 2010

145 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21620A スパッタリング装置 SRH-420MC ULVAC MA06-3463-0 2007

146 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-10010A

カルーセル型スパッタリン

グ装置 SV-4540 ULVAC MH63-0301 1989

147 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-10080A スパッタリング装置 MPS-4000-L4特 ULVAC MB01-7001 2002

148 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-10540A スパッタリング装置 SIV-3545 ULVAC

MA02-1006-

0/SA02-1006-1 2003

149 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-10670A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 MLX-3000N ULVAC ME98-1003 1999

150 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-10800A

超高真空スパッタリング装

置 MPS-4000-C4 ULVAC MB04-1035-0 2005

151 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-30040A スパッタリング装置 ENTRON-EX W300 ULVAC ME05-4533-0 2006

152 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10000A スパッタリング装置 SMD-1800X ULVAC MH17-4717-0 2018

153 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10010A スパッタリング装置 Magest S200 ULVAC ME04-1040-0 2005

154 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10030A スパッタリング装置 SCH-135A ULVAC XH12-4777 2012

155 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10080A スパッタリング装置 SCH-135T ULVAC ZR11-4730-0 2011

156 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10090A スパッタリング装置 SRH-530 ULVAC MA06-3464-0 2007

157 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10110A スパッタリング装置 STD-1500VR ULVAC MH11-1027-0 2011

158 真空装置

スパッタリング装

置 SC19-10120A スパッタリング装置 SPW-165C2 ULVAC MF10-3008 2011

159 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-21370A スパッタリング装置 ENDURA 5500 AMAT 325564

160 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-25030A スパッタリング装置 Centura-PVD AMAT 確認中 1996

161 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-42190A スパッタリング装置 Centura-PVD AMAT 2536 1996

162 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-42290A スパッタリング装置 ENDURA AMAT 308018 2000

163 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-12770A スパッタリング装置 SPF-312

CANON

ANELVA

164 真空装置

スパッタリング装

置 RS19-10740A

ロードロック式スパッタリ

ング装置 SPH-2610

SHOWA

SHINKU 06-4209 2007

165 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-10320A スパッタリング装置 TS-PVN-1 アフティー E90-013

166 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-40800A スパッタリング装置 C-7730FH

キヤノン アネル

バ EVP-38386 2003

167 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-40820A スパッタリング装置 C-7730FH

キヤノン アネル

バ EVP-40163 2005

168 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-40840A スパッタリング装置 E-730S-FH

キヤノン アネル

バ EVP-50263 2007

169 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-10240A スパッタリング装置 SPF-313H

キヤノン アネル

バ EVP-18377

170 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-11560A 小型スパッタリング装置 SM-2110 三栄理研 -

5

Page 6: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

171 真空装置

スパッタリング装

置 RS15-10020A

インターバック式スパッタ

リング装置 SPH-2500-RF 昭和真空 00-4422 2001

172 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-11480A

対向ターゲットスパッタ装

対向ターゲットスパッタ装

置 東栄科学産業 2002

173 真空装置

スパッタリング装

置 RS18-10940A スパッタリング装置 CFS-04ES 徳田製作所 01 2000

174 真空装置

スパッタリング装

置 RS16-11570A 小型スパッタリング装置 小型スパッタリング装置 日本電子 -

175 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS12-13100A スピンドライヤー装置 SPD-160RN airbrown 9806090

176 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS18-40520A スピンドライヤー H840-6 arbrown K0426B

177 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS14-41320A スピンドライヤー H1120RNN KOKUSAN K0371 2004

178 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS14-40690A スピンドライヤー装置 SRD-470S Semitool C175815

179 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS14-80360A スピンドライヤー PSC-101 Semitool 10401,1

180 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS18-11440A スピンドライヤー装置 SRD840S-1-1-E-ML Semitool 16473.1.2

181 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS16-45880A スピンドライヤー H840A

Toho

technology 1006-0147A

182 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS16-45900A スピンドライヤー H840A

Toho

technology 1006-0147B

183 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS18-40510A スピンドライヤー装置 スピンドライヤー(3) unknown 不明

184 その他装置

スピンドライヤー

装置 RS18-42150A スピンドライヤー装置 スピンドライヤー 東邦化成 - 1993

185 その他装置 その他 RS13-31210A ウェハ接合装置 EVG620 EVG S020115 2003

186 その他装置 その他 RS16-45750A エキシマUV照射装置 SCQ05

Hitachi High

Tecnologies - 2010

187 その他装置 その他 RS15-80860A 高純度不活性ガス精製装置 MB20G MBRAUN -

188 その他装置 その他 RS16-20070A 拡散炉(横型) YPS624F0102 015175 Ohkura Electric 299717 2011

189 真空装置 その他 RS16-20050A 真空貼合装置 HTP200SV エムエーティー -(銘板なし) 2013

190 その他装置 その他 RS16-21960A

微小穴自動ファイリングシ

ステム

微小穴自動ファイリングシ

ステム オリンパス -

191 その他装置 その他 RS18-42210A プラズマ剥離装置 MAS8220 キヤノン 22046 2002

192 真空装置 その他 RS16-12130A エキシマレーザー

LAMBDA PHYSIK

Compex102 コヒレント 0302E8073

193 その他装置 その他 RS16-46220A バーコードプリンター SG412R サトー - 2011

194 その他装置 その他 RS18-12400A 蛍光X線分析装置 SEA-1000A

セイコーインス

ツル 1600257000049 2004

195 その他装置 その他 RS16-11770A 赤外加熱システム 赤外加熱システム セン特殊光源 - 2005

196 その他装置 その他 RS16-46050A チップカウンター Mp siries タカノ MP7211CC 2003

197 その他装置 その他 RS18-42260A ウェハ外観検査装置 OST-3 ニコン 20657 1995

198 その他装置 その他 RS18-42270A ウェハ外観検査装置 OST-3 ニコン 205890 1994

199 その他装置 その他 RS14-30390A 印刷機 LS-34TVA

ニューロング精

密工業 063-1612 2008

200 計測器 その他 RS14-41030A 非接触三次元測定装置 NH-4N ミタカ 7114 2003

201 計測器 その他 RS18-42200A 蛍光X線分析装置 3620 リガク NR42027 1992

202 計測器 その他 RS14-41100A 表面形状測定装置 SP-500BW

東レエンジニア

リング A1012762026 2005

203 計測器 その他 RS14-41200A 表面形状測定装置 SP-500BW300

東レエンジニア

リング 01250002 2005

6

Page 7: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

204 計測器 その他 RS18-21180A フルオートプローバー P-12XL

東京エレクトロ

ン PH4301 2003

205 計測器 その他 RS18-21190A フルオートプローバー P-12XL

東京エレクトロ

ン PH05226 2007

206 計測器 その他 RS18-42180A 表面粗さ測定装置 E-ST-VS21A-1 東京精密 A012411 2000

207 その他装置 その他 RS18-42300A エミッション解析装置 PHEMOS-200 浜松ホトニクス 1H0016 2001

208 その他装置 その他 RS16-46190A 圧力画像解析装置 FPD-9210 Ver.2 富士フイルム 7A06466 2008

209 その他装置 ダイシング装置 RS14-22880A LEDチップソーター LED Chip Sorter ASM 76-79-2237

210 その他装置

テープリムーバ装

置 RS16-45530A テープリムーバ装置 ISI1004 大宮工業 ISI1004-1 2011

211 その他装置 デベロッパー装置 RS15-12480A スピンデベロッパー AD-1200 清和光学 64531 2002

212 その他装置 デベロッパー装置 RS15-12490A スピンデベロッパー AD-1200 清和光学

213 その他装置 ブレーキング装置 RS16-45550A ブレーキング装置 DBM-602R

ダイトロンテク

ノロジー A103076-01 2011

214 その他装置 ブレーキング装置 RS16-45560A ブレーキング装置 DBM-602R

ダイトロンテク

ノロジー A103076-02 2011

215 その他装置 ブレーキング装置 RS16-45570A ブレーキング装置 DBM-602R

ダイトロンテク

ノロジー A104151-01 2011

216 その他装置 ブレーキング装置 RS16-45590A ブレーキング装置 DBM-602R

ダイトロンテク

ノロジー A113330 2011

217 その他装置 プロービング装置 RS14-80290A ITOオートプローバー ITOオートプローバー unknown -

218 その他装置 ボンディング装置 RS18-11450A ボンディング装置 SGM-6301 SHUWA 011019

219 その他装置 ボンディング装置 RS14-30380A ボンダー FA1000 アドウェルズ - 2009

220 その他装置 マウンター装置 RS14-80280A ALウェッジボンダー 4523-AD

キューリック&

ソファ 750218

221 その他装置 マウンター装置 RS14-41920A テープマウンター DAM-812M タカトリ 78144 2003

222 その他装置 マウンター装置 RS16-45600A ウェーハマウンタ装置 ISI1002 大宮工業 ISI1002-1 2011

223 真空装置

マルチチャンバ型

スパッタリング装

置 SC19-10100A

マルチチャンバ型スパッタ

リング装置 ENTRON W300T ULVAC ME06-9614-0 2007

224 計測器 顕微鏡 RS16-21950A 共集点顕微鏡システム AX10 lmgaerA1/M1 カールツァイス 1020952192 2005

225 膜厚測定装置 光学式膜厚計 RS18-42070A 薄膜測定装置 UV-1050 KLAテンコール

950971UV/1000A

IS PH1 1996

226 膜厚測定装置 光学式膜厚計 RS13-31650A 分光エリプソメーター GES5e semilab 61H##3608 2008

227 膜厚測定装置 光学式膜厚計 RS16-41620A 光干渉式膜厚測定装置 M6100UV ナノメトリクス 99120039 1999

228 膜厚測定装置 光学式膜厚計 RS16-46010A 透過率測定器 (分光光度計) FE-12 大塚電子 HH41-0628 2011

229 膜厚測定装置 光学式膜厚計 RS16-41630A エリプソメーター UT-300 堀場製作所 4095822001 2000

230 その他装置 除害装置 RS18-80500A 除害装置 MAK-025

TOMOE

SHOKAI

231 膜厚測定装置 触針式段差計 RS18-10590A 触針式段差計 P-10 KLAテンコール 03010563

232 膜厚測定装置 触針式段差計 RS16-45790A 触針式段差計 P-40H

東朋テクノロジ

- 10100556 2011

233 真空装置 真空凍結乾燥装置 RS18-10840A 真空凍結乾燥装置 DF-020H ULVAC MF95-1111 1995

234 真空装置 真空凍結乾燥装置 RS18-11510A 真空凍結乾燥装置 DFM-09A-S特型 ULVAC MF02-1002 2002

235 真空装置 真空凍結乾燥装置 RS12-13890A 凍結乾燥装置 JFD-310 JEOL JK121026-129 2002

7

Page 8: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

236 真空装置 真空凍結乾燥装置 RS15-21190A 真空凍結乾燥機 RLE-204(バッチ式)

KYOWA

VACUUM

ENGINEERING 85105 1985

237 真空装置 凍結乾燥装置 RS19-20140A 凍結乾燥装置 DFM-05B-S ULVAC MF02-5011 2003

238 真空装置

熱処理装置

(RTP、DIFF、

LP) RS15-10200A ゴールドイメージ炉 RHL-P1210CP ULVAC D87086

239 真空装置

熱処理装置

(Rtp、Diff、

Lp) RS14-12280A 赤外線ランプアニール装置 RTA-4000 アドバンス理工 MR060013-0 2007

240 ガス分析計 本体 RS14-41870A ICP発光分光分析装置 Rigaku CIROS CCD リガク 4N0021 2001

241 電源 AC電源 RS16-22380A AC電源 MDX5K

アドバンスエナ

ジー 30454

242 電源 AC電源 RS16-22390A AC電源 MDX-500

アドバンスエナ

ジー -

243 電源 AC電源 RS16-81160A AC電源

MDX MAGNETRON

DRIVE

アドバンスエナ

ジー 18882

244 電源 DC電源 RS11-82110A DC電源 DCL100 ULVAC 000007 2000

245 電源 DC電源 RS11-82120A DC電源 DCL100 ULVAC 00009 2000

246 電源 DC電源 RS11-82130A DC電源 DCL100 ULVAC 000010 2000

247 電源 DC電源 RS12-10200A イオンボンバード電源 DCP-505 ULVAC 2002002 2002

248 電源 DC電源 RS12-81110A DC電源 DCR1502A ULVAC 1992 2339 2002

249 電源 DC電源 RS14-21140A DC電源 Ulstream20 ULVAC

E0656711UL0251

0 2012

250 電源 DC電源 RS14-21150A DC電源 Ulstream20 ULVAC

E1080311UL0261

7 2012

251 電源 DC電源 RS15-80800A DC電源 DCR1502A ULVAC 1992 2121

252 電源 DC電源 RS16-13610A DC電源 DCR1502A ULVAC 19922394 2008

253 電源 DC電源 RS16-13810A DC電源 DCL100 dual ULVAC

S/N:003004・

L/N:36170222 2004

254 電源 DC電源 RS16-13820A DC電源 DCL100 dual ULVAC

S/N:003005・

L/N:36170222 2004

255 電源 DC電源 RS16-20700A DC電源コントローラー ARQUEST D-1000 ULVAC 2002353 2002

256 電源 DC電源 RS16-20710A DC電源コントローラー ARQUEST D-1000 ULVAC 2002351 2002

257 電源 DC電源 RS19-11200A DC電源 DCS0052B ULVAC 299033

258 電源 DC電源 RS09-80780A MDX-L12 0190-42049 AMAT 1018318 2015

259 電源 DC電源 RS18-12330A DC電源 RPG100 ENI

260 電源 DC電源 RS18-12340A DC電源 RPG100 ENI

261 電源 DC電源 RS12-81000A DC電源 EX-1500L2 TAKASAGO 1211598046

262 電源 DC電源 RS08-20410A DC電源 MDL-15

アドバンスエナ

ジー 145679 F/R D 1999

263 電源 DC電源 RS15-11620A DC電源 Pinnacle 20K

アドバンスエナ

ジー 333645 F/R B 2004

264 電源 DC電源 RS16-13730A DC電源

ASCENT60K 440/480V

HV O

アドバンスエナ

ジー

S/N:839987 F/R

D・M/N:

31520004-111 D 2012

265 電源 DC電源 RS16-13800A DC電源

Pinnacle 20K HZ 208V

PFP HE P16

アドバンスエナ

ジー

S/N:798675・

P/N:3152420-

117 2011

266 電源 DC電源 RS16-81350A DC電源 Pinnacle 6K

アドバンスエナ

ジー 744763 F/RP

267 電源 DC電源 RS18-12250A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 297259 2002

8

Page 9: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

268 電源 DC電源 RS18-12260A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 380377

269 電源 DC電源 RS18-12280A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 370928

270 電源 DC電源 RS18-12290A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 370694

271 電源 DC電源 RS18-12310A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 279669

272 電源 DC電源 RS18-20910A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 909123 F/R E

273 電源 DC電源 RS18-20920A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 909124 F/R E

274 電源 DC電源 RS18-20930A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 909125 F/R E

275 電源 DC電源 RS18-20940A DC電源 Pinnacle plus 10K

アドバンスエナ

ジー 909126 F/R E

276 電源 DC電源 RS11-20290A DC電源 PR-500-10LGB

松定プレシジョ

ン 045547S 2009

277 電源 EB電源 RS11-81620A 蒸発用EBガン EGK-3C ULVAC 183100264 1991

278 電源 EB電源 RS11-81640A 蒸発用EBガン EGL-35 ULVAC 177100197 1991

279 電源 EB電源 RS17-80020A 蒸発用EBガン EGL-35 ULVAC 177100244

280 電源 EB電源 RS13-81420A EB電源 JST-16F JEOL -

281 電源 EB電源 RS15-20950A 電子銃 JST-100C JEOL - 2003

282 電源 EB電源 RS17-80580A EB電源ユニット EB電源ユニット 日本電子 -

283 電源 EB電源 RS14-81070A EB電源 JST-10F 日本電子

BS101131-274

CB

284 電源 EB電源 RS14-81170A EB電源 JST-10F 日本電子

BS101097-669

ZD Y323

285 電源 EB電源 RS15-81180A EB電源 JST-10F 日本電子

BS101379-

1576LH

286 電源 EB電源 RS16-82180A EB電源 JEBG-203NB 日本電子 -

287 電源 EB電源 RS17-11180A EB電源 JEOL GUN 日本電子

288 電源

RFマッチング

ボックス NS-5074 RFマッチングボックス MBX-1330A3 ULVAC ー

289 電源

RFマッチング

ボックス NS-5076 RFマッチングボックス MBX-2705A3 ULVAC ー

290 電源

RFマッチング

ボックス NS-5077 RFマッチングボックス MBX-2710A3 ULVAC ー

291 電源

RFマッチング

ボックス NS-5085 RFマッチングボックス MBX-13150F ULVAC ー

1467 電源

RFマッチング

ボックス NS-5079 RF電源【ULVAC】 MBX-2780A4 ULVAC ー

292 電源 RF電源 NS-5065 RF電源 RFS-1305A3 ULVAC ー

293 電源 RF電源 NS-5066 RF電源 RFS-1310A3 ULVAC ー

294 電源 RF電源 NS-5068 RF電源 RFS-2705A3 ULVAC ー

295 電源 RF電源 NS-5069 RF電源 RFS-2710A3 ULVAC ー

296 電源 RF電源 NS-5071 RF電源 RFS-2780A3 ULVAC ー

297 電源 RF電源 NS-5082 RF電源 RFS-13150F ULVAC ー

298 電源 RF電源 RS11-22900A

RFオートマッチングコン

トローラー AMC-1AR ULVAC 92005

299 電源 RF電源 RS11-22920A VDCモニター VDC-1A ULVAC 91020

300 電源 RF電源 RS11-81340A フェーズシフター PHS36VM ULVAC 393005 1999

301 電源 RF電源 RS11-82170A RF電源 RFS-13100A3 ULVAC 203002 2004

302 電源 RF電源 RS13-11060A RFマッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 397034 1998

9

Page 10: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

303 電源 RF電源 RS13-11080A RFマッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 394017

304 電源 RF電源 RS13-21520A RF電源 RFS-27400F ULVAC 210002

305 電源 RF電源 RS13-21580A RF電源 RFS-1310L ULVAC 209008

306 電源 RF電源 RS13-21610A RF電源 MBX-27400F ULVAC 310002

307 電源 RF電源 RS13-21670A RFマッチングボックス MBX-1310L ULVAC 309009

308 電源 RF電源 RS15-11190A RFマッチングボックス MBX-05EA2 ULVAC 395086

309 電源 RF電源 RS16-13670A RF電源 RFS-13100U ULVAC

S/N:206003・

L/N:66170725 2007

310 電源 RF電源 RS16-13690A RFマッチングボックス MBX-13100A ULVAC

S/N:305003・

L/N:66170168 2006

311 電源 RF電源 RS16-13700A RFマッチングボックス MBX-13100A ULVAC

S/N:305002・

L/N:66170194 2006

312 電源 RF電源 RS16-13710A RFマッチングボックス MBX-1305Lu(AMCなし) ULVAC

S/N:311008・

L/N:WZ2581 2011

313 電源 RF電源 RS16-13720A RFマッチングボックス MBX-1305Lu(AMCなし) ULVAC

S/N:311007・

L/N:WZ2580 2011

314 電源 RF電源 RS16-13830A RF電源 RFS-1350L ULVAC

S/N:208001・

L/N:WX4497 2008

315 電源 RF電源 RS16-13840A RF電源 RFS-1350L ULVAC

S/N:208002・

L/N:WX4833 2008

316 電源 RF電源 RS16-80470A RF電源コントローラ RPF-30CA ULVAC 391016

317 電源 RF電源 RS18-11240A RF電源 RFS-1330L ULVAC 213002 2014

318 電源 RF電源 RS19-80110A RF電源/マッチングBOX RFS-1330A3/MBX-1330A ULVAC

204011(L/N:4617

0598)/304016(L/

N:46170599) 2005

319 電源 RF電源 RS19-80120A RF電源 RGN-1302 ULVAC

204023(L/N:5617

0123)/-

(L/N:56170122) 2005

320 電源 RF電源 RS18-80670A RF電源 AX-2000Ⅲ ADTEC 10155100674

321 電源 RF電源 RS18-80680A RF電源 AX-2000Ⅲ ADTEC 10204400022

322 電源 RF電源 RS15-11630A RF電源 OEM-2000-01M1 ENI C116 2004

323 電源 RF電源 RS15-11650A RF電源 OEM-1250-01 ENI C112 2004

324 電源 RF電源 RS15-11660A RF電源 OEM-1250-01 ENI C278 2004

325 電源 RF電源 RS16-11080A マッチングボックス MWJ-2013B ENI 1656M 2013

326 電源 RF電源 RS16-11090A マッチングボックス MWJ-2013B ENI 1657M 2013

327 電源 RF電源 RS16-81290A RF電源 B5108715AR-E HUTTINGER 200047705

328 電源 RF電源 RS16-81410A RF電源 PFG-300RF HUTTINGER 200048575

329 電源 RF電源 RS13-80270A RF電源 AX-1000LFⅢ アドテック 10154000084

330 電源 RF電源 RS14-20270A マッチングボックス AMVG-1000-AV3 アドテック 10220600021 2009

331 電源 RF電源 RS14-20300A マッチングボックス AMVG-1000-12.5M-CT アドテック 10235800007 2009

332 電源 RF電源 RS14-20310A マッチングボックス AMVG-1000-12.5M-CT アドテック 10179100020 2009

333 電源 RF電源 RS15-12290A RF-PAHSE SHIFTER APG-201-MA1 アドテック 10217800004

334 電源 RF電源 RS15-12300A RF-PAHSE SHIFTER APG-201-MA1 アドテック 10217800003

335 電源 RF電源 RS16-10680A マッチングボックス AMVG-3000-DA-2 アドテック 10224400008

336 電源 RF電源 RS16-10690A マッチングボックス AMVG-3000-DA-2 アドテック 10224400007

337 電源 RF電源 RS16-11020A RF電源 AX-2000Ⅲ-A-12.5M アドテック 10204400057

338 電源 RF電源 RS16-11030A マッチングボックス AMVG-2000-12.5M-FV アドテック 10204500039

339 電源 RF電源 RS16-22410A RF電源 ATX-600

アドバンスエナ

ジー 49246 F/R B

340 電源 RF電源 RS16-81400A RF電源 RFX-600A

アドバンスエナ

ジー 665844

341 電源 RF電源 RS11-22690A

RF電源 コントロールパ

ネル SP-RKC 京三製作所 L/N WB3563 2004

10

Page 11: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

342 電源 RF電源 RS11-22710A RF電源 MAK5A 京三製作所 0107015 2004

343 電源 RF電源 RS11-22720A RF電源 MAK5A 京三製作所 0107014 2004

344 電源 RF電源 RS11-22730A RF電源 PHS-2C-SK1 京三製作所 L/N WB3569 2004

345 電源 RF電源 RS14-31190A RF電源 RFK200ZD 京三製作所 0605001

346 電源 RF電源 RS16-81430A RF電源 MAK5A-TG1 京三製作所 1112001

347 電源 RF電源 RS16-82960A RF電源 RFK20Z-T07 京三製作所 9803229 1998

348 電源 RF電源 RS16-82970A RF電源 RFK20Z-T07 京三製作所 9803230 1998

349 電源 RF電源 RS16-82980A RF電源 MAK5 京三製作所 9803260 1998

350 電源 RF電源 RS16-82990A RF電源 MAK5 京三製作所 9803261 1998

351 真空装置付属品

イオン注入装置付

属品 RS07-80240A ソースマグネット電源 PS60-6 KENWOOD

352 その他コンポーネント エアシャワー RS18-42240A エアシャワー(特型) 743502067 ダン化学 - 1985

353 その他コンポーネント エアシャワー RS18-42220A エアシャワー AAS-14-6ARS-1.5 映光産業 A2999909101 1991

354 計測器 オシロスコープ RS07-80340A オシロスコープ SS-7804/02 岩崎通信機 02513445

355 計測器 オシロスコープ RS14-23470A オシロスコープ SS-7802A 岩崎通信機 515625579 2000

356 計測器 オシロスコープ RS16-22800A オシロスコープ SS-5711 岩崎通信機 91318468

357 真空装置付属品 ガス制御部品 RS19-80060A

マスフローコントローラー

ユニット

SEC-

400Mark3/CNT:PAC-D2 HORIBA STEC

4379430300/3203

219064 2005

358 真空装置付属品 ガス制御部品 RS19-80070A

マスフローコントローラー

ユニット

SEC-

400Mark3/CNT:PAC-D2 HORIBA STEC

4414070200/3203

219088 2005

359 真空装置付属品 ガス制御部品 RS19-80080A

マスフローコントローラー

ユニット

SEC-

400Mark3/CNT:PAC-D2 HORIBA STEC

4379430500/3203

219069 2005

360 真空装置付属品 ガス制御部品 RS19-80150A

マスフローコントローラー

ユニット

SEC-

400Mark3/CNT:PAC-D2 HORIBA STEC

4379430200/3203

219075 2005

361 真空装置付属品 ガス制御部品 RS19-80160A

マスフローコントローラー

ユニット

SEC-

400Mark3/CNT:PAC-D2 HORIBA STEC

4414070100/3203

219065 2005

362 真空装置付属品 ガス制御部品 RS09-11490A APCバルブ 253A-11792 MKS 92031106L

363 真空装置付属品 ガス制御部品 RS14-31110A APCバルブ 600シリーズ MKS 001814998

364 真空装置付属品 ガス制御部品 RS14-31120A APCバルブ 600シリーズ MKS 001843366

365 真空装置付属品 ガス制御部品 RS14-31130A APCバルブ 600シリーズ MKS 001843367

366 真空装置付属品 ガス制御部品 RS12-81010A APC VAT 65048-JH52 VAT A-247132

367 真空装置付属品 ガス制御部品 RS11-20930A マスフローコントローラー SEC-4400M(MK3) 堀場エステック 3422582475 2007

368 真空装置付属品 ガス制御部品 RS14-11990A マスフローコントローラー SEC-7340LDR 堀場エステック 1312500580 2000

369 真空装置付属品 ガス制御部品 RS14-12000A マスフローコントローラー SEC-7340LDR 堀場エステック 281505605 2000

370 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-21140A マスフローコントローラー SEC-7330R O2 堀場エステック 1332100410

371 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-21150A マスフローコントローラー SEC-7330R O2 堀場エステック 1332100212

372 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-21170A マスフローコントローラー SEC-7330R O2 堀場エステック 1332102300

373 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-21210A マスフローコントローラー SEC-E40 Ar 堀場エステック 133160537

374 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-21240A マスフローコントローラー SEC-E40 O2 堀場エステック 34 3720 7384

375 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-22880A マスフローコントローラー SEC-421 堀場エステック -

376 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-22910A マスフローコントローラー SEC-310 堀場エステック -

377 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-22930A マスフローコントローラー SEC-400MK2 堀場エステック -

11

Page 12: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

378 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82480A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 9081 5402 2012

379 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82490A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 9113 0232 2012

380 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82500A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 4839 2159 2012

381 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82510A マスフローコントローラー SEC-Z524MGXN 堀場エステック 34 7745 8419 2012

382 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82520A マスフローコントローラー SEC-Z524MGXN 堀場エステック 34 3442 4008 2012

383 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82530A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 6297 1585 2012

384 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82540A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 2203 0339 2012

385 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82550A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 4974 4353 2012

386 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82560A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 6247 1548 2012

387 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82570A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 1945 5597 2012

388 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82580A マスフローコントローラー SEC-Z524MGXN 堀場エステック 34 4978 1235 2012

389 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82590A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 7660 6434 2012

390 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82600A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 6226 7765 2012

391 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82610A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 7949 6058 2012

392 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82620A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 2028 9086 2012

393 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82630A マスフローコントローラー SEC-Z524MGXN 堀場エステック 34 2051 1347 2012

394 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82640A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 1952 9731 2012

395 真空装置付属品 ガス制御部品 RS16-82650A マスフローコントローラー SEC-Z514MGX 堀場エステック 34 9140 8115 2012

396 真空装置付属品 ガス制御部品 RS17-10380A マスフローコントローラー SEC-E40 堀場エステック 4080530100

397 真空装置付属品 ガス制御部品 RS17-10390A マスフローコントローラー SEC-E40 堀場エステック 4080530200

398 真空ポンプ クライオポンプ RS08-26980A クライオポンプ CRYO-U12HSP ULVAC 9601334

399 真空ポンプ クライオポンプ RS09-10230A クライオポンプ CRYO-U6H ULVAC 9508243

400 真空ポンプ クライオポンプ RS11-25460A クライオポンプヒーター RBH-6 ULVAC

401 真空ポンプ クライオポンプ RS11-80350A スーパートラップ温調器 STC-1(INV) ULVAC S-0823A 2005

402 真空ポンプ クライオポンプ RS13-81510A クライオポンプ CRYO-U12HSP ULVAC 9612511

403 真空ポンプ クライオポンプ RS14-10160A クライオポンプ CRYO-U8H ULVAC 9401413D 2000

404 真空ポンプ クライオポンプ RS14-10610A クライオ温度計パネル クライオ温度計パネル ULVAC - 2000

405 真空ポンプ クライオポンプ RS15-10800A フレキシブルホース 一式 フレキシブルホース 一式 ULVAC -

406 真空ポンプ クライオポンプ RS15-81080A クライオポンプ CRYO-U22H ULVAC 0710489

407 真空ポンプ クライオポンプ RS15-81090A クライオポンプ CRYO-U22H ULVAC 0710490

408 真空ポンプ クライオポンプ RS15-81120A

クライオポンプコンプレッ

サー C30VR ULVAC XC 1709G

409 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10700A 冷凍機アダプター

C30PZ-S1用(UC2800-

010-06) ULVAC -

12

Page 13: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

410 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10710A 冷凍機アダプター

C30PZ-S1用(UC2800-

010-06) ULVAC -

411 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10720A 冷凍機アダプター

C30PZ-S1用(UC2800-

010-06) ULVAC -

412 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10730A 冷凍機アダプター

C30PZ-S1用(UC2800-

010-06) ULVAC -

413 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10740A 冷凍機コード UC2800-010-05 ULVAC -

414 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10750A 冷凍機コード UC2800-010-05 ULVAC -

415 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10760A 冷凍機コード UC2800-010-05 ULVAC -

416 真空ポンプ クライオポンプ RS16-10770A 冷凍機コード UC2800-010-05 ULVAC -

417 真空ポンプ クライオポンプ RS16-82200A クライオポンプ CRYO-U20PU ULVAC 8509107

418 真空ポンプ クライオポンプ RS16-82830A クライオポンプ CRYO-U10PU ULVAC 0012306

419 真空ポンプ クライオポンプ RS16-83140A クライオポンプ CRYO-U12H ULVAC 9605389

420 真空ポンプ クライオポンプ RS17-10820A クライオポンプ CRYO-U6H ULVAC 0802928 D 2006

421 真空ポンプ クライオポンプ RS17-11010A クライオポンプ CRYO-U22P/C40 ULVAC

0212004 /

021323

422 真空ポンプ クライオポンプ RS17-80210A スーパートラップ温調器 STC-2A(INV)1kW ULVAC 0807039R 2008

423 真空ポンプ クライオポンプ RS17-80220A スーパートラップ温調器 STC-2A(INV)1kW ULVAC 1101204R 2008

424 真空ポンプ クライオポンプ RS17-80680A

クライオポンプコンプレッ

サー C30MV ULVAC

425 真空ポンプ クライオポンプ RS18-10680A クライオポンプ CRYO-U20P ULVAC 9412225

426 真空ポンプ クライオポンプ RS18-10700A

クライオポンプコンプレッ

サー C40 ULVAC 010203

427 真空ポンプ クライオポンプ RS18-11940A クライオポンプ CRYO-U10PU ULVAC 0111392

428 真空ポンプ クライオポンプ RS18-11990A

クライオポンプコンプレッ

サー C30MV ULVAC VK2197

429 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12010A スーパートラップ冷凍機 RMS10 ULVAC 0912581

430 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12020A 冷凍機ユニット R20 ULVAC MAB476R

431 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12040A スーパートラップ冷凍機 RMS50 ULVAC RMEB212

432 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12050A 冷凍機ユニット RS50 ULVAC REB289

433 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12060A 冷凍機ユニット RS50 ULVAC REB269

434 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12070A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC S-0685A

435 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12080A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC S-0687A

436 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12090A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC C-110-20

437 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12100A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC S-0453A

438 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12110A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC S-0337A

439 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12120A スーパートラップ温調器 STC-1C(INV) ULVAC 13021079R

440 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12130A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC S-0265A

441 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12150A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 0808019R

442 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12160A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 0808018R

443 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12170A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 1401187R

444 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12180A スーパートラップ温調器 STC-2A ULVAC 1401188R

445 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12190A

スーパートラップコント

ローラー TRAP CONTROLLER ULVAC 0911009

446 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12200A

スーパートラップコント

ローラー TRAP CONTROLLER ULVAC 0911010

447 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12210A スーパートラップ温調器 STC-1 ULVAC 1304047

448 真空ポンプ クライオポンプ RS18-12220A

スーパートラップコント

ローラー TRAP CONTROLLER ULVAC 1309049

449 真空ポンプ クライオポンプ RS18-80150A

クライオポンプコンプレッ

サー C30MVE ULVAC VA1008

450 真空ポンプ クライオポンプ RS19-11250A

クライオポンプコンプレッ

サー C30MVR ULVAC XK1558G

451 真空ポンプ クライオポンプ RS19-80190A クライオポンプ CRYO-U8H ULVAC 0508060 D

13

Page 14: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

452 真空ポンプ クライオポンプ RS19-80310A

クライオポンプコンプレッ

サー C15R ULVAC DE1246

453 真空ポンプ クライオポンプ RS19-80320A

クライオポンプコンプレッ

サー C10 ULVAC CW3010

454 真空ポンプ クライオポンプ RS19-80330A

クライオポンプコンプレッ

サー C10 ULVAC CW2999

455 真空ポンプ クライオポンプ RS19-80350A クライオポンプ CRYO-U10HL ULVAC 0506038

456 真空ポンプ クライオポンプ RS09-15060A クライオコンプレッサー 8510 CTI 67A9608665

457 真空ポンプ クライオポンプ RS16-80560A クライオポンプ P-087C

キヤノン アネル

バ AF2Z107

458 真空ポンプ クライオポンプ RS11-22300A クライオポンプ Torr8F ブルックス S/N:70H9638328

459 真空ポンプ クライオポンプ RS11-22320A クライオポンプ Torr8F ブルックス S/N70C9530128

460 その他コンポーネント グローブボックス RS19-10320A

バキュームグローブボック

ス MDB-1BHRK

Miwa

Manufacturing 16041 2003

461 その他コンポーネント グローブボックス RS19-80020A グローブボックス DBD-2BK

Miwa

Manufacturing 17167 2005

462 真空計

スパッタリング装

置 RS16-12850A 隔膜真空計 CCMT-1000A ULVAC 0180 2000

463 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS11-81420A ME-Ⅱユニット ME-Ⅱ ULVAC シリアル無し 1999

464 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS11-81440A ME-Ⅱaユニット ME-Ⅱa ULVAC シリアル無し 1999

465 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS12-11180A

MLX-300Nプロセスチャン

バー

MLX-3000Nプロセスチャ

ンバー ULVAC ME00-5016 2000

466 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS12-81120A MLX-3000N用C1室1式 MLX-3000N用C1室1式 ULVAC

467 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS13-11130A オートローダー Zi-1000用 オートローダー ULVAC ME97-1038 1998

468 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS15-80830A 真空槽

ZX用ノーマルカソードユ

ニット ULVAC ME02-5001

469 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS19-80100A DC電源/異常放電プロテクター DCS0202B/A2KH-25C ULVAC

196131(L/N:04L0

06)/005002(L/N:

56170185) 2005

470 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS19-80230A レートコントローラー RCT-040SS ULVAC 052820-SS12 2005

471 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS19-80430A 2吋カソード 2吋カソード Pascal

472 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS19-80440A スパッタチャンバー スパッタチャンバー Pascal

473 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS19-80410A スパッタユニット スパッタユニット

sumitomo

Heavy

Industries

474 真空装置付属品

スパッタ装置付属

品 RS15-80810A HP電源 GP0110-20R 高砂製作所 1019493015

475 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS14-12420A スパッタリング装置準備室 MPS-2000 準備室 ULVAC - 2000

476 真空計 その他 RS17-81210A

IGコントローラー内FIL

POWボード 02-144-27002 ULVAC -

477 真空計 その他 RS16-81280A 分配機 MSU 200 BALZERS 031

478 計測器 その他 RS16-81170A インバータ MITY SERVO VE37EF MSテクノ A13394901

479 その他コンポーネント その他 RS18-25170A

架台付き円筒型真空チャン

バー

架台付き円筒型真空チャン

バー unknown ― 2015

480 真空ポンプ その他 RS18-11120A NEG PUMP NEG PUMP

キヤノン アネル

バ GP-PWM0005-B

481 計測器 その他 RS14-41000A CNC画像測定システム VM-250 ニコン -

14

Page 15: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

482 計測器 その他 RS16-12040A FT-IR Spectrum100 パーキンエルマ 77039 2006

483 その他コンポーネント その他 RS16-81390A 超音波発信器 S85170-12HP ブランソン

GKG1203JPN114

5

484 その他装置付属品 その他 RS16-81420A 超音波発信器 BG-3906 ブランソン SM1140120

485 真空装置付属品 その他 RS14-80730A 極低温冷凍機 Poly Cold PFC-200A ST ブルックス 20548 1995

486 その他コンポーネント その他 RS16-11780A グローブボックス UG-800

ユナイテッドイ

ンスツルメンツ - 2003

487 その他コンポーネント その他 RS18-42230A エアシャワー D245749601 映光産業 - 1997

488 計測器 その他 RS16-80030A ポータブルph計 HM-30P

東亜ディーケー

ケー 691893

489 計測器 その他 RS18-10580A シート抵抗測定器 VR-120S 不明 DT00-001 2003

490 真空バルブ その他バルブ RS16-10860A 排気スロットルバルブ T3BIB-28559 MKS 016796801

491 真空バルブ その他バルブ RS16-11000A 排気スロットルバルブ T3BIB-28858 MKS 016994630

492 真空バルブ その他バルブ RS16-12060A バルブ 253B-1-2CF-2 MKS 17186423

493 真空バルブ その他バルブ RS16-22690A バタフライバルブ 61140-PA52-0001/0033 VAT A-733736

494 真空バルブ その他バルブ RS16-22700A ゲートバルブ 10844-CE44-0005/0848 VAT A755457

495 真空バルブ その他バルブ RS16-22710A 真空ゲートバルブ 12044-JA44-0003/0094 VAT A352921

496 真空バルブ その他バルブ RS16-81920A 圧力コントローラ 650PM-16PL-0005/0095 VAT -

497 真空バルブ その他バルブ RS17-10130A ゲートバルブ(4インチ) ゲートバルブ(4インチ) VAT

f14-104971/2

14040-JE44-AAZ1

498 真空バルブ その他バルブ RS17-10140A ゲートバルブ(4インチ) ゲートバルブ(4インチ) VAT

F14-114105/8

14040-JE44-AAZ2

499 真空バルブ その他バルブ RS11-21570A ガスバルブ

SCV 316L 10K-3/8 STD

(N.C.0.4~0.7Mpa)

キッツエスシー

ティー シリアル無し

500 真空バルブ その他バルブ RS14-80900A

8インチ2ポジションゲー

トバルブ

8インチ2ポジションゲー

トバルブ

フジ・テクノロ

ジー

501 真空バルブ その他バルブ RS16-80080A ゲートバルブ ゲートバルブ フジキン -

502 真空バルブ その他バルブ RS16-82150A ゲートバルブ ゲートバルブ フジキン

503 真空ポンプ その他ポンプ RS15-10090A イオンポンプ PST-030CU ULVAC 13-0021 2014

504 真空ポンプ その他ポンプ RS15-10100A イオンポンプ PST-030CU ULVAC 13-0036 2014

505 真空ポンプ その他ポンプ RS15-10110A イオンポンプ PST-030CU ULVAC 13-0034 2014

506 真空ポンプ その他ポンプ RS15-10120A イオンポンプ PST-030CU ULVAC 13-0020 2014

507 真空ポンプ その他ポンプ RS15-10130A イオンポンプ PST-030CU ULVAC 13-0022 2014

508 真空ポンプ その他ポンプ RS15-10150A

イオンポンプコントロー

ラー GST-1A ULVAC 5425104

509 真空ポンプ その他ポンプ RS18-11080A イオンポンプ PST-200AXⅡ ULVAC 00-0020

510 真空ポンプ その他ポンプ RS16-82390A 真空ポンプ VP0660-V1003-A1-0001 日東工器 20300197

511 真空計 その他真空計本体 RS12-80640A サーモカップル真空計 MTG-012

キヤノン アネル

バ M9156827

512 真空計 その他真空計本体 RS12-80650A サーモカップル真空計 MTG-012

キヤノン アネル

バ M9156829

513 真空装置部品 その他装置部品 RS18-80510A ホットプレート

Hot-plate(4105-1015-

100) Kyushu-Nissho

514 電源 その他電源 RS11-82190A 異常放電防止器 A2K A2KH-25C ULVAC 6008 2007

515 電源 その他電源 RS18-80720A 静電チャック電源 ESC5KM6R AIDTECH A10514G 2010

516 電源 その他電源 RS18-80520A イオンガン用電源 MARKⅡ CONTROLLER

COMMONWEA

LTH

SCIENTIFIC

517 電源 その他電源 RS07-80170A スキャナー電源 MODEL KE898 VEY

Kawashima

Engineering 99021

518 電源 その他電源 RS07-80180A HVデバイダー SL-600 SPELLMAN C24603-009

15

Page 16: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

519 電源 その他電源 RS17-80820A 静電チャック電源 ESC1.5KS232 エイド技研 A2K044D

520 電源 その他電源 RS18-80210A 静電チャック電源 ESC1.5KS250 エイド技研 A05201F 2005

521 電源 その他電源 RS14-10420A ディセル電源 PS/ER30N10-Y10A グラスマン

M918808-

01FR001004 2000

522 電源 その他電源 RS16-80020A EDP電源 HAL 301 S/3 ハイデン研究所

3F3S-

285/PIC/71932/E

523 電源 その他電源 RS16-82470A UPS UPS3010SP-BS

ユタカ電機製作

所 45346051200036

524 電源 その他電源 RS16-82690A UPS UPS3010SP

ユタカ電機製作

所 45319031200506

525 電源 その他電源 RS16-81380A ESC電源 HECA-3B2*2-LRf

松定プレシジョ

ン H001157L

526 真空ポンプ ターボ分子ポンプ NS-3012 ターボ分子ポンプ UTM-6300FHA ULVAC ー

527 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS07-80060A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EM-2003M ULVAC EZT-009 1999

528 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS09-14740A タ-ボ分子ポンプ TMP-202LM ULVAC 9006 1995

529 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS11-25350A ターボ分子ポンプ UTM-1200FW ULVAC 120F004 1993

530 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS12-81060A タ-ボ分子ポンプ UTM-2300FW/D1B ULVAC 2300F0206

531 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS13-20260A ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0220

532 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS13-20270A ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0221

533 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS13-20280A ターボ分子ポンプ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0207

534 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS13-21470A ターボ分子ポンプ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0447 2010

535 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS13-21790A ターボ分子ポンプ UTM-500FW ULVAC 050F016

536 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-21000A ターボ分子ポンプ UTM-50 ULVAC 005P848 1990

537 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11340A ターボ分子ポンプ UTM-1500 ULVAC 150P136

538 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-12510A ターボ分子ポンプ UTM-3301FW ULVAC 3301F 0252

539 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-10450A ターボ分子ポンプ UTM-700FW ULVAC 070F045

540 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-10460A ターボ分子ポンプ UTM-700FW ULVAC 070F069

541 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS11-12020A ターボ分子ポンプ STP-300 EDWARDS 1084A 1997

542 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-10470A ターボ分子ポンプ FT-700W

mitsubishiheav

y industries

FTI-700W-T7-

185U

543 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-80730A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D2203MT SHIMADZU TKF014 2010

544 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-11260A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D303M SHIMADZU NKB392

545 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-11270A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D303M SHIMADZU NKB383

546 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-80040A ターボ分子ポンプユニット TMP-803M/EI-D1003M SHIMADZU LZM211/LCK203 2005

547 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-80140A ターボ分子ポンプユニット TMP-303M/EI-D303M SHIMADZU LZL147/LKB159 2005

16

Page 17: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

548 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-80240A ターボ分子ポンプユニット TMP-803M/EI-D1003M SHIMADZU LZM209/LKC205 2005

549 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS16-22420A ターボ分子ポンプ TMH1000

ファイファーバ

キューム 12532209

550 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS16-22430A ターボ分子ポンプ TMH521 IS

ファイファーバ

キューム 13783624

551 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS16-22440A ターボ分子ポンプ TMH521

ファイファーバ

キューム 13060244

552 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS16-22460A ターボ分子ポンプ TMH260 P

ファイファーバ

キューム 12629688

553 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-81210A ターボ分子ポンプ FT-2300-W1N1 三菱重工 E-10552 2007

554 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS13-21800A ターボ分子ポンプ TS440VW

大阪真空機器製

作所 S440-485

555 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-21610A ターボ分子ポンプ TG2400MVWB

大阪真空機器製

作所 639 2012

556 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-80430A

ターボ分子ポンプコント

ローラー TG1003VM-70

大阪真空機器製

作所 658

557 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS19-80380A ターボ分子ポンプ TG2400MVWB

大阪真空機器製

作所 0134/V3F05A14 2005

558 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-10100A ターボ分子ポンプ TMP-803MC 島津製作所 LZM-167 2000

559 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-12830A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D203M 島津製作所 MKA036

560 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-20150A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D1303MT(LFU1) 島津製作所 RKD109 2009

561 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-20160A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D1303MT(LFU1) 島津製作所 RKD110 2009

562 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS14-20170A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-D1303MT(LFU1) 島津製作所 RKD112 2009

563 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-12200A ターボ分子ポンプ TMP-1303LM 島津製作所 PZA407

564 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-12220A ターボ分子ポンプ TMP-1303LM 島津製作所 PZA404

565 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-80310A ターボ分子ポンプ TMP-202LM/EI-202M 島津製作所 BF67 1996

566 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-80320A ターボ分子ポンプ TMP-202LM/EI-202M 島津製作所 -

567 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-80330A ターボ分子ポンプ TMP-202LM/EI-202M 島津製作所 EYF054 1999

568 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-80340A ターボ分子ポンプ TMP-202LM/EI-202M 島津製作所 BF92 1996

569 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-80370A ターボ分子ポンプ TMP-1002LM 島津製作所 -

570 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-80680A ターボ分子ポンプ TMP-203LM 島津製作所 RZK054

571 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS15-81220A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-2300W-D3R 島津製作所 PVDF84 2008

572 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS16-82710A ターボ分子ポンプ TMP-2203LMTG 島津製作所 TZG210

573 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS16-82750A ターボ分子ポンプ TMP-2203LMTG 島津製作所 TZG230

574 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS17-25360A ターボ分子ポンプ FT-3500D-W1B1 島津製作所 10227

575 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS17-25370A ターボ分子ポンプ FT-3500D 島津製作所 PEP075

17

Page 18: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

576 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11350A ターボ分子ポンプ TMP-550L 島津製作所 6203

577 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11590A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-3301W D3-REA 島津製作所 ADVD0305

578 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11640A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-3301W D3-REA 島津製作所 ABVD0270

579 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11650A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-3301W D3-REA 島津製作所 ABVD0596

580 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11700A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-3301W D3-REA 島津製作所 ADVD0291

581 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11720A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-3301W D3-REA 島津製作所 ABVD0458

582 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11740A

ターボ分子ポンプコント

ローラー FTI-3301W D3-REA 島津製作所 ADVD0314

583 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-11770A ターボ分子ポンプ TMP-V3304LM 島津製作所

584 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-80160A ターボ分子ポンプ TMP-803MC 島津製作所 JZM070 1997

585 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-80170A ターボ分子ポンプ TMP-2003MC 島津製作所 FZN061 2000

586 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-80180A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-203M 島津製作所 FZQ076 2000

587 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-80190A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-2003M 島津製作所 FZT056 2000

588 真空ポンプ ターボ分子ポンプ RS18-80200A

ターボ分子ポンプコント

ローラー EI-2003M 島津製作所 FZT593 2000

589 その他装置付属品 チラーユニット RS19-10310A チラーユニット CA-1112 EYELA 60500377

590 その他コンポーネント チラーユニット RS19-80360A チラーユニット CTP-3000 EYELA 60509596

591 その他コンポーネント チラーユニット RS14-20330A チラーユニット EXL-1006 RISSHI 0404136 2009

592 その他コンポーネント チラーユニット RS14-20340A チラーユニット EXL-1006 RISSHI 0404137 2009

593 その他コンポーネント チラーユニット RS16-22080A チラー HRG005-A-B SMC MV025

594 その他コンポーネント チラーユニット RS19-10340A チラーユニット HRG-010-W-AC SMC SP016 2014

595 その他コンポーネント チラーユニット RS16-21300A

大型水冷インバーターチ

ラー RKE3750-VW-SP オリオン機械 510005

596 その他コンポーネント チラーユニット RS16-21310A

大型水冷インバーターチ

ラー RKE3750-VW-SP オリオン機械 510008

597 その他コンポーネント チラーユニット RS16-21320A

大型水冷インバーターチ

ラー RKE3750-VW-SP オリオン機械 510006

598 その他コンポーネント チラーユニット RS16-21330A

大型水冷インバーターチ

ラー RKE3750-VW-SP オリオン機械 709019

599 その他コンポーネント チラーユニット RS16-82380A

クーリングサーキュレー

ター CTW401S ヤマト科学 51311011

600 真空装置付属品 チラーユニット RS14-11690A 真空排気用超低温冷却装置 Neo Cold RCT-501S 新明和工業 DL050507

601 真空ポンプ ドライポンプ NS-1257 ドライポンプ PDR-090CH ULVAC ー

602 真空ポンプ ドライポンプ NS-1573 ドライポンプ LR3600 ULVAC ー

603 真空ポンプ ドライポンプ NS-2682 ドライポンプ LR3601-R ULVAC ー

604 真空ポンプ ドライポンプ NS-2687 ドライポンプ LR3601-R ULVAC ー

605 真空ポンプ ドライポンプ NS-6002 ドライポンプ CR16A-11 ULVAC ー

606 真空ポンプ ドライポンプ NS-6003 ドライポンプ CR16A-22 ULVAC ー

607 真空ポンプ ドライポンプ NS-6007 ドライポンプ LR3600 ULVAC ー

608 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20420A ドライポンプ LR1800 ULVAC NK03-2990-1

609 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20430A ドライポンプ LR1800 ULVAC NK03-2991-2

610 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20440A ドライポンプ LR1800 ULVAC NK03-2921-2

18

Page 19: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

611 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20450A ドライポンプ LR1800 ULVAC NK03-2923-1

612 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20460A ドライポンプ LR1800 ULVAC YK04-0027-1

613 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20470A ドライポンプ LR1800 ULVAC NK03-2990-3

614 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20480A ドライポンプ LR1800 ULVAC A85A-00366

615 真空ポンプ ドライポンプ RS13-20560A ドライポンプ LR180 ULVAC A85A-00020 2003

616 真空ポンプ ドライポンプ RS13-21270A ドライポンプ LR180 ULVAC A85A-00022 2003

617 真空ポンプ ドライポンプ RS13-21280A ドライポンプ LR180 ULVAC A85A-00031 2003

618 真空ポンプ ドライポンプ RS13-21350A ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10296 2011

619 真空ポンプ ドライポンプ RS13-21360A ドライポンプ LR3601-TT ULVAC A128A-10236 2010

620 真空ポンプ ドライポンプ RS13-21720A ドライポンプ LR1800特型 ULVAC A103A-10433

621 真空ポンプ ドライポンプ RS13-21730A ドライポンプ LR1800特型 ULVAC A103A-10434

622 真空ポンプ ドライポンプ RS14-11380A ドライポンプ PDR-090CLN ULVAC A93A-00545 2000

623 真空ポンプ ドライポンプ RS14-80850A スクロール型ドライポンプ DVS-631 ULVAC 231158 2004

624 真空ポンプ ドライポンプ RS16-12510A スクロール型ドライポンプ DVS-631 ULVAC 810050

625 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20390A ドライポンプ DYM-12RAN-09CN ULVAC BK01-3128-1 2002

626 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20400A ドライポンプ DYM-12RAN-09CN ULVAC BK01-3128-3 2002

627 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20410A ドライポンプ DYM-12RAN-09CN ULVAC NK00-2213-1 2002

628 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20420A ドライポンプ DYM-12RAN-09CL ULVAC NK00-2807-1 2002

629 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20430A ドライポンプ DYM-12MCN-09CL ULVAC NK00-2213-2 2002

630 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20440A ドライポンプ DYM-12RAN-09CL ULVAC BK01-3128-2 2002

631 真空ポンプ ドライポンプ RS16-82800A スクロール型ドライポンプ DIS-251 ULVAC KE407

632 真空ポンプ ドライポンプ RS18-12850A ドライポンプ LR1800 ULVAC A103B-00045

633 真空ポンプ ドライポンプ RS18-12860A ドライポンプ DYM-12RAH-18CU ULVAC

A69A-

01015/A87A-

00034

634 真空ポンプ ドライポンプ RS18-20220A ドライポンプ LR300 ULVAC A100A-10070 2010

635 真空ポンプ ドライポンプ RS19-10050A ドライポンプ DA-60D ULVAC 070931T

636 真空ポンプ ドライポンプ RS19-20080A ドライポンプ DA-241S ULVAC 1000209 2010

637 真空ポンプ ドライポンプ RS19-20090A ドライポンプ DA-241S ULVAC 1000210 2010

638 真空ポンプ ドライポンプ RS19-80340A ドライポンプ ER150 ULVAC A96A-00181

639 真空ポンプ ドライポンプ RS14-20610A ドライポンプ IH600 エドワーズ 027436149 2004

640 真空ポンプ ドライポンプ RS14-20620A ドライポンプ IH600 エドワーズ 037830833 2004

641 真空ポンプ ドライポンプ RS16-81250A ドライポンプ IQDP40 エドワーズ 046315458

642 真空ポンプ ドライポンプ RS14-80260A スクロール型ドライポンプ G-200

ガードナーデン

バー BN10027658

643 真空ポンプ ドライポンプ RS17-25380A ドライポンプ T1000 トヨタ自動織機 06E002

644 真空ポンプ ドライポンプ RS09-12200A ドライポンプ A30W 荏原製作所 C#50375

645 真空ポンプ ドライポンプ RS12-11280A ドライポンプ A30W 荏原製作所 C70771 2000

646 真空ポンプ ドライポンプ RS12-11290A ドライポンプ A30W 荏原製作所 C80285 2000

647 真空ポンプ ドライポンプ RS14-30750A ドライポンプ ES A300W 荏原製作所 DHA00241 2005

648 真空ポンプ ドライポンプ RS14-30760A ドライポンプ ES A300W 荏原製作所 DHA00240 2005

649 真空ポンプ ドライポンプ RS15-81230A ドライポンプ VOS100 荏原製作所 DJA00334

650 真空ポンプ ドライポンプ RS16-82760A ドライポンプ EST100WN 荏原製作所 DGB00102

651 真空ポンプ ドライポンプ RS16-82770A ドライポンプ EST100WN 荏原製作所 DGB00112

652 真空ポンプ ドライポンプ RS16-82930A ドライポンプ AA70W 荏原製作所 BW80094D

653 真空ポンプ ドライポンプ RS17-80510A ドライポンプ EST100WN 荏原製作所 DGB00117 2011

654 真空ポンプ ドライポンプ RS12-13260A ドライポンプ SD60VⅡU-079-50 樫山工業 9603412

655 真空ポンプ ドライポンプ RS12-13280A ドライポンプ SD60VⅡU-079-50 樫山工業 9603415

656 真空ポンプ ドライポンプ RS14-10070A ドライポンプ SDE90U-020 樫山工業 00J0321 2000

19

Page 20: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

657 真空ポンプ ドライポンプ RS14-10080A ドライポンプ SDE90U-024 樫山工業 01C0605 2000

658 真空ポンプ ドライポンプ RS14-20570A ドライポンプ HC450 樫山工業 00F015 2000

659 真空ポンプ ドライポンプ RS14-20580A ドライポンプ HC450 樫山工業 00F016 2000

660 真空ポンプ ドライポンプ RS14-80250A ドライポンプ MU300-002 樫山工業 04J0221

661 真空ポンプ ドライポンプ RS15-12030A ドライポンプ SDE303A 樫山工業 09ZUN29046

662 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20920A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06B0470

663 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20930A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06F0654

664 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20940A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 05L0388

665 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20950A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06B0469

666 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20960A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06C0505

667 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20970A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 05L0390

668 真空ポンプ ドライポンプ RS16-20980A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06G0658

669 真空ポンプ ドライポンプ RS16-21000A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06C0503

670 真空ポンプ ドライポンプ RS16-21010A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06C0504

671 真空ポンプ ドライポンプ RS16-21020A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06F0655

672 真空ポンプ ドライポンプ RS16-21030A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 06G0679

673 真空ポンプ ドライポンプ RS16-21040A ドライポンプ SDE120Z-3 樫山工業 08XDN22348

674 真空計 ピラニ真空計 RS16-13280A ピラニ真空計ケーブル

WPB-10用_ピラニ真空計

ケーブル ULVAC -

675 真空計 ピラニ真空計 RS16-20620A ピラニ真空計 EM301 ULVAC - 2002

676 真空計 ピラニ真空計 RS16-20630A ピラニ真空計 EM301 ULVAC - 2002

677 真空計 ピラニ真空計 RS16-22020A ピラニ真空計 GP-1020 ULVAC -

678 真空計 ピラニ真空計 RS16-22030A ピラニ真空計 GP-1020 ULVAC -

679 真空計 ピラニ真空計 RS16-22490A ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC 2696 1993

680 真空計 ピラニ真空計 RS16-80140A ピラニ真空計 GP-2ARY ULVAC 00503 1987

681 真空計 ピラニ真空計 RS16-81040A ピラニ真空計 GP-1SRY(C) ULVAC 00H277297

682 真空計 ピラニ真空計 RS17-10990A ピラニ真空計 GP-1SRY(A) ULVAC 19588

683 真空計 ピラニ真空計 RS17-20820A ピラニ真空計 GP-1000 ULVAC - 1997

684 真空計 ピラニ真空計 RS18-20680A ピラニ真空計 BPR2 ULVAC 19116G 2010

685 真空計 ピラニ真空計 RS18-20780A ピラニ真空計 BPR2 ULVAC 19076G 2010

686 真空計 ピラニ真空計 RS17-80150A ピラニ真空計 VGC402 インフィコン 786 2008

687 真空計 ピラニ真空計 RS17-80160A ピラニ真空計 VGC402 インフィコン 789 2008

688 真空計 ピラニ真空計 RS16-22590A ピラニ真空計 MPG-012

キヤノン アネル

バ Z6251776

689 真空計 ピラニ真空計本体 RS11-23270A ピラニ真空計 DV-6200 ULVAC 006760116373

690 真空計 ピラニ真空計本体 RS11-23280A ピラニ真空計 DV-6200 ULVAC 006740115388

691 真空計 ピラニ真空計本体 RS11-82300A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 11384 2006

692 真空計 ピラニ真空計本体 RS11-82310A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 12298 2006

693 真空計 ピラニ真空計本体 RS11-82320A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 12287 2006

694 真空計 ピラニ真空計本体 RS11-82330A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 12286 2006

695 真空計 ピラニ真空計本体 RS14-10260A ピラニゲージコントロール MPG16/12ch ULVAC FPGO-045 2000

696 真空計 ピラニ真空計本体 RS14-81030A ピラニ真空計 GP-1SRY(C) ULVAC

本体97B092274

表示部97B092274

697 真空計 ピラニ真空計本体 RS14-81040A ピラニ真空計 GP-1SRY(C) ULVAC

本体52372 表示

部97B092127 1998

20

Page 21: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

698 真空計 ピラニ真空計本体 RS14-81130A ピラニ真空計 GP-1SRY(C) ULVAC

本体42108 表示

部94L1893

699 真空計 ピラニ真空計本体 RS15-12130A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 21406G 2009

700 真空計 ピラニ真空計本体 RS15-12140A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 22023G 2010

701 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-22550A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 01117 2001

702 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-22560A ピラニ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC 01118 2001

703 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-81010A ピラニ真空計 GP-1SRY(C) ULVAC R-G0618

704 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-81070A ピラニ真空計 GP-1SRY(A) ULVAC R-E7843

705 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-81080A ピラニ真空計 GP-1SRY(A) ULVAC R-C8357

706 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-81090A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 32406 1991

707 真空計 ピラニ真空計本体 RS16-81110A ピラニ真空計 GP-1SRY ULVAC 64251

708 真空計 ペニング真空計 RS16-81120A ペニング真空計 AIM-X-NW25 エドワーズ 150125317

709 電源 マグネット電源 RS14-12190A GNDマグネット電源 ESS50-200-2-D-GBⅡ TDKラムダ - 2000

710 計測器 マルチメーター RS15-20990A 電位計

DIGITAL

ELECTROMETER_TR8652 アドバンテスト 04250092 1995

711 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ NS-3006

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A-without-Inv. ULVAC ー

712 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ NS-3007

メカニカルブースターポン

PRC-012A-without-

Motor-&-Inv. ULVAC ー

713 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ NS-3009

メカニカルブースターポン

プ PRC-036C-T ULVAC ー

714 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ NS-3010

メカニカルブースターポン

プ PRC-036C-T ULVAC ー

715 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ NS-3011

メカニカルブースターポン

プ PRC-036C-T ULVAC ー

716 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-82840A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012AS ULVAC A69A-02064 2004

717 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-11270A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A ULVAC A69A-00801 2002

718 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-11280A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A ULVAC A69A-02096 2004

719 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-11290A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A ULVAC A69A-00940 2003

720 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-11300A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A ULVAC A69A-02058 2004

721 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-11310A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A ULVAC A69A-01137 2003

722 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-11320A

メカニカルブースターポン

プ PRC-012A ULVAC A69A-01700 2004

723 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-20370A

メカニカルブースターポン

プ PMB-040B ULVAC 1-00356 2008

724 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS17-80620A

メカニカルブースターポン

プ PMB-006CM ULVAC A15A-01641 2000

725 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-10770A

メカニカルブースターポン

プ PRC-006A ULVAC A068B-00528 2015

21

Page 22: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

726 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-11890A

メカニカルブースターポン

プ PMB-024CM ULVAC A19A-00444

727 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-11900A

メカニカルブースターポン

プ PMB-024CM ULVAC A19A-00526

728 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-11910A

メカニカルブースターポン

プ PMB-024CM ULVAC A19A-00527

729 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-12600A

メカニカルブースターポン

プ PMB-001A ULVAC 不明

730 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-12800A

メカニカルブースターポン

プ PRC-006A ULVAC A68A-02101

731 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-12810A

メカニカルブースターポン

プ PRC-006A ULVAC A68A-00964

732 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-21060A

メカニカルブースターポン

プ PMB-006CM ULVAC A15A-00118 1990

733 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-21140A

メカニカルブースターポン

プ PMB-040B ULVAC 1-00361 2008

734 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS18-21590A

メカニカルブースターポン

プ PMB-024C ULVAC A18A-01012 2008

735 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS19-10110A

メカニカルブースターポン

プ PRC-006A ULVAC A68A-02309

736 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS19-10390A

メカニカルブースターポン

プ PMB-040B ULVAC 1-00190

737 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS19-10710A

メカニカルブースターポン

プ PMB-040B ULVAC 1-00066

738 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS19-10720A

メカニカルブースターポン

プ PMB-024C ULVAC A18A-00464

739 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS19-11150A

メカニカルブースターポン

プ PMB-001CM ULVAC A11A-03833

740 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ SC18-10000A

メカニカルブースターポン

プ PRC-006A ULVAC 2015

741 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21840A

メカニカルブースターポン

プ RA9001hl Leybold 858527 1985

742 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21050A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 06G221

743 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21060A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 06B212

744 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21070A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 06A166

745 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21080A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 06A188

746 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21090A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 05L136

747 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21100A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 06F289

748 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS16-21110A

メカニカルブースターポン

プ MSB3600-3 樫山工業 06B211

749 真空ポンプ

メカニカルブース

ターポンプ RS14-30800A

メカニカルブースターポン

プ SMB-C06 神港精機 280855 2008

750 電源

異常放電防止ユ

ニット RS17-21120A 異常放電防止器 A2K A2K-ITO80 ULVAC - 1997

751 電源

異常放電防止ユ

ニット RS17-21130A 異常放電防止器 A2K A2K-ITO80 ULVAC - 1997

752 電源

異常放電防止ユ

ニット RS17-21140A 異常放電防止器 A2K A2K-ITO80 ULVAC - 1997

753 電源

異常放電防止ユ

ニット RS17-21150A 異常放電防止器 A2K A2K-ITO80 ULVAC - 2008

22

Page 23: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

754 電源

異常放電防止ユ

ニット RS17-21160A 異常放電防止器 A2K A2K-ITO80 ULVAC - 2008

755 電源 加熱電源 RS11-82210A 加熱電源 PCH-300C-B シマデン 411054-002 2004

756 電源 加熱電源 RS11-82220A 加熱電源 PCH-300C-B シマデン 411053-035 2004

757 電源 加熱電源 RS11-82540A 加熱電源 PCH-300C-B シマデン

758 電源 加熱電源 RS11-82550A 加熱電源 PCH-300C-B シマデン

759 電源 加熱電源 RS11-82560A 加熱電源 PCH-300C-B シマデン

760 電源 加熱電源 RS13-20850A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-027

761 電源 加熱電源 RS13-20860A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-026

762 電源 加熱電源 RS13-20870A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-025

763 電源 加熱電源 RS13-20880A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-039

764 電源 加熱電源 RS13-20890A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-050

765 電源 加熱電源 RS13-20900A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-056

766 電源 加熱電源 RS13-20910A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-058

767 電源 加熱電源 RS13-20920A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-077

768 電源 加熱電源 RS13-20930A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-069

769 電源 加熱電源 RS13-20940A 加熱電源 PSH-306C シマデン U406-071

770 電源 加熱電源 RS17-10950A 加熱電源 PSH-086 シマデン S-7300 1995

771 電源 加熱電源 RS17-80410A 加熱電源 PSH-075 シマデン S-8527 1999

772 真空計 隔膜真空計 RS16-22670A バラトロン真空計 TYPE270 MKS 96076204A

773 真空計 隔膜真空計 RS16-81610A バラトロン真空計 628B11TBE1B MKS 014695807

774 真空計 隔膜真空計 RS16-81620A バラトロン真空計 628BU5TBF1B MKS 014687873

775 真空計 隔膜真空計 RS16-82400A ピラニ真空計 945-A-120-PA MKS 1210126953

776 真空計 隔膜真空計 RS16-82410A ピラニ真空計 945-A-120-PA MKS 1208024280

777 真空計 隔膜真空計 RS16-82420A ピラニ真空計 945-A-120-PA MKS 1210126951

778 真空計 隔膜真空計測定子 RS14-80860A バラトロン真空計

TYPE113/627B-15910(測

定子) MKS

7948/001528830

(測定子)

779 真空計 隔膜真空計測定子 RS19-80050A バラトロンセンサーユニット

627B.1TBD1B/CNT:PDR-

CJ1C-BCD MKS

001760328/00177

4398

780 真空計 隔膜真空計測定子 RS19-80130A バラトロンセンサーユニット

627B.1TBD1B/CNT:PDR-

CJ1C-BCD MKS

001760325/00177

4397

781 真空計 隔膜真空計本体 RS09-10940A バラトロン真空計 127AA-00001E MKS 78760-1B0

782 真空計 隔膜真空計本体 RS11-30070A バラトロン真空計 628A.1TBF-S MKS 000065664

783 計測器 顕微鏡 RS19-10730A コンフォーカル顕微鏡 OPTIPHOT-200C NIKON 695087 9999

784 計測器 顕微鏡 RS14-40800A 実体顕微鏡 SZ-STS オリンパス SZ1145

785 計測器 顕微鏡 RS14-80490A 金属顕微鏡 PM-10KA オリンパス 207985

786 計測器 顕微鏡 RS14-80470A 金属顕微鏡 OPTIPHOT 150S ニコン 9102612

787 計測器 顕微鏡 RS16-46060A 実体顕微鏡 SMZ800 ニコン 1002460/1002391 2000

788 真空計 広帯域真空計 RS16-22060A 広帯域真空計 OCTIE ISO2 ULVAC -

789 真空計 広帯域真空計 RS16-22730A 広帯域真空計 Single Gauge

ファイファーバ

キューム -

790 真空計 広帯域真空計 RS16-22740A 広帯域真空計 Single Gauge

ファイファーバ

キューム -

791 真空計

広帯域真空計測定

子 RS18-80750A トランスデューサー 628D.1TDF1B MKS 017546289

792 真空計 広帯域真空計本体 RS19-80090A PG/IG真空計 CMB16PM ULVAC CB00609 2005

793 真空計 広帯域真空計本体 RS19-80200A PG/IG真空計 CMB16PM ULVAC CB00607 2005

794 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-21500A 真空L型バルブ VAP-300WⅡ ULVAC 000189

795 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-21510A 真空L型バルブ VAP-300WⅡ ULVAC 000185

23

Page 24: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

796 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-21520A 真空L型バルブ VAP-300WⅡ ULVAC 000184

797 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-21560A L型圧空式真空バルブ VLP-U3/4S ULVAC 800361

798 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-82410A L型圧空式真空バルブ VLP-US-25KF ULVAC 22647 2006

799 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-82420A L型圧空式真空バルブ VLP-US-25KF ULVAC

800 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS12-12950A L型圧空式真空バルブ VLP-U3/4S ULVAC 800111 2000

801 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS14-20720A L型圧空式真空バルブ VLP-U1 1/2S ULVAC 510312

802 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80390A L型圧空式真空バルブ VLP-US-25KF ULVAC 019620

803 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80400A L型圧空式真空バルブ VLP-US-25KF ULVAC 019562

804 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80410A L型圧空式真空バルブ VLP-US-25KF ULVAC 019603

805 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80420A L型圧空式真空バルブ VLP-US-25KF ULVAC 019842

806 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80430A L型圧空式真空バルブ VLP-US-40KF ULVAC 510162

807 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80440A L型圧空式真空バルブ VLP-US-40KF ULVAC 510164

808 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80450A L型圧空式真空バルブ VLP-US-40KF ULVAC 510152

809 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS18-11920A L型圧空式真空バルブ VLP-U8SR ULVAC 832175

810 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS18-12560A L型圧空式真空バルブ VLP-U2S ULVAC 021002

811 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS18-12570A L型圧空式真空バルブ VLP-U2 ULVAC 029369

812 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS18-21170A L型圧空式真空バルブ VLP-U14 ULVAC 148251 2010

813 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS18-80320A L型圧空式真空バルブ VLP-10 ULVAC

814 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10210A L型圧空式真空バルブ VLP-U14 ULVAC 148224

815 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10220A L型圧空式真空バルブ VLP-U3 ULVAC 041442

816 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10230A L型圧空式真空バルブ VLP-U1 ULVAC 025616

817 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10240A L型圧空式真空バルブ VLP-U1 ULVAC 025623

818 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10500A L型圧空式真空バルブ VLP-U22 ULVAC 220014

819 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10510A L型圧空式真空バルブ VLP-U14 ULVAC 147016

820 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-11160A L型圧空式真空バルブ VAP-U150 ULVAC 25001

821 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-11180A L型圧空式真空バルブ VLP-V1 ULVAC 0805A-00587

822 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-11190A L型圧空式真空バルブ VLP-V1 ULVAC 0805A-00586

823 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80390A 10in ゲートバルブ 10in ゲートバルブ fujitecnology

1641353/MFG.No

:000054

24

Page 25: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

824 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80400A 10in ゲートバルブ 10in ゲートバルブ fujitecnology

1641353/MFG.No

:000053

825 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80060A 真空ゲートバルブ 11210-0159 HVA 95-01971

826 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80070A 真空ゲートバルブ 11220-0150X HVA 01-17156

827 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80180A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8005

828 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80260A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8007F9

829 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80270A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8001F9

830 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80280A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8004

831 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80290A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8003

832 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80300A 角型ゲートバルブ KOSLARZE-Ⅱ irie koken 3KF8006

833 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80240A 真空L型バルブ XLA-16F9NB SMC -

834 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80250A 真空L型バルブ XLG-80 SMC -

835 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-82450A 高真空L型バルブ XLC-40L SMC

836 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-81010A 高真空L型バルブ XLG-160-1 SMC -

837 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-13510A 真空バルブ XLG-40 SMC -

838 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-13520A 真空バルブ XLG-40 SMC -

839 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-80170A 高真空L型バルブ XLC-100 SMC ―

840 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80150A 真空L型バルブ 26328-KA11-0001 VAT 0253

841 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80170A 真空L型バルブ Series 24(KF-25) VAT F-24-60045-1078

842 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80190A 真空L型バルブ Series 26(KF-16) VAT F-26-60049-894

843 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80210A 真空L型バルブ Series 26(KF-40) VAT F-26-60317-201

844 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-20710A 振子式高真空バルブ 16250-JA28 VAT 不明

845 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-22220A 高真空ゲートバルブ 14048-CE34-0005 VAT F14-104723/2

846 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-22260A 高真空ゲートバルブ 14036-CE44-AAC1 VAT F14-109375/3

847 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS11-81820A 高真空ゲートバルブ 14040-CE24-1004 VAT F14-100068/2

848 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80380A 高真空ゲートバルブ 14040-CE24-1004 VAT F14-99129/2

849 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-21690A 高真空バルブ 64246-JE52-001/0248 VAT A-1279375 2011

850 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-21700A 高真空バルブ 64246-JE52-001/0249 VAT A-1279378 2011

851 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-21710A 高真空ゲートバルブ 14046-JE24-0006/0326 VAT A‐1271073 2011

25

Page 26: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

852 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-21720A 高真空ゲートバルブ 14046-JE24-0006/0328 VAT A-1271076 2011

853 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-22850A ゲートバルブ F12-47890-01 VAT -

854 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-80100A 真空ゲートバルブ 02010-BE44-0001 VAT F02-104050/8

855 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-80230A 真空ゲートバルブ 02010-AA24-1009/0016 VAT A-219772

856 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-80400A 真空ゲートバルブ 02010-BA24-0001/0053 VAT A-223856

857 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS16-80520A 真空ゲートバルブ 02010-AE24-ADH10001 VAT A-220187

858 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS17-10150A ゲートバルブ(4インチ) 14040-JE44-AAZ2 VAT

859 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS17-10160A ゲートバルブ(4インチ) 14040-JE44-AER1/1 VAT

860 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS17-10280A バルブコントローラー PM-5 VAT

641PM-16PL-

0002/789

861 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS17-10300A バルブコントローラー PM-5 VAT

641PM-16PL-

0002/667

862 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-81000A 高真空バルブ

300×100ツインロールカ

ムゲート弁 VTEX MH10-1019

863 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS18-11760A 振子式高真空バルブ IPV250 VTEX

864 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS09-80040A

真空圧空式バタフライバル

ブ 1021001

フジ・テクノロ

ジー 100003

865 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10250A

真空圧空式バタフライバル

ブ 1090900

フジ・テクノロ

ジー 150295

866 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10260A

真空圧空式バタフライバル

ブ 1091000

フジ・テクノロ

ジー 152265

867 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS19-10270A

真空圧空式バタフライバル

ブ 1091000

フジ・テクノロ

ジー 152264

868 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS14-11700A 真空バルブ LAV-K6 大亜真空 120123-2

869 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS14-11720A 真空バルブ LCAV-40 大亜真空 1201172-16

870 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80240A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 KVW0318

871 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80250A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 KV081002

872 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80260A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 KVW0315

873 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80270A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 6019501

874 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80280A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 KVW0316

875 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80750A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 -

876 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80760A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 -

877 真空バルブ

高真空(圧空作

動) RS15-80770A 仕切りバルブ 5KV-UL8 入江工研 -

878 真空バルブ 高真空(圧空式) RS11-20740A L型バルブ VLP-U06SW-R ULVAC 070276 2007

879 真空バルブ 高真空(圧空式) RS11-21540A L型バルブ VLP-U06AW ULVAC 068771

26

Page 27: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

880 真空バルブ 高真空(手動) NS-3022 L型手動式真空バルブ VLH-SB080JH ULVAC ー

881 真空バルブ 高真空(手動) RS12-10750A L型手動式真空バルブ VLH-2 ULVAC - 2002

882 真空バルブ 高真空(手動) RS17-10410A L型高真空バルブ XLA-25A-F9N SMC

883 真空バルブ 高真空(手動) RS17-10420A L型高真空バルブ XLA-25A-F9N SMC

884 真空バルブ 高真空(手動) RS16-13000A 真空バルブ オールメタル手動バルブ 不明 -

885 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS16-81330A パソコン/インヘリター ELC98-06DT16-STD2 ULVAC 051NH00802

886 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS16-81340A パソコン/インヘリター ELC98-06DT16-STD2 ULVAC 051NH00805

887 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS18-80440A 蒸発源 KCP-40 ULVAC

888 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS18-80450A 蒸発源 KCP-40 ULVAC

889 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS18-80460A 蒸発源 KCP-40 ULVAC

890 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS18-80470A 蒸発源 KCP-08 ULVAC

891 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS18-80480A 蒸発源 KCP-08 ULVAC

892 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS14-81100A イオンガン MARKⅡ

COMMONWEA

LTH

SCIENTIFIC E3178

893 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS14-81180A イオンガン MARKⅡ I/O

COMMONWEA

LTH

SCIENTIFIC P2075

894 真空装置付属品 蒸着装置付属品 RS15-80850A 真空グローブボックス 真空グローブボックス 不明 MH10-1019

895 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-11520A ネオコールド RCT762S 新明和工業 T101903

896 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-11530A ネオコールド RCT762S 新明和工業 T101904

897 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-11540A ネオコールド RCT762S 新明和工業 T103603

898 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-11550A ネオコールド RCT762S 新明和工業 T103601

899 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-11560A ネオコールド RCT762S 新明和工業 T103003

900 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-11570A ネオコールド RCT762S 新明和工業 T103005

901 真空装置付属品 蒸着装置部品 RS18-12360A ネオコールド RCT762S 新明和工業

902 搬送 真空搬送ロボット RS19-80250A 搬送ロボット KEYTRAN-3 ULVAC K3-161

903 水晶発振式成膜コントローラ

水晶発振式成膜コ

ントローラ付属部

品 RS18-80420A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用ベーカブルセンサ CRTS-4U ULVAC

904 水晶発振式成膜コントローラ

水晶発振式成膜コ

ントローラ本体 RS16-22370A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-1A ULVAC -

905 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS09-80700A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-25 ULVAC P252851

906 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS09-80710A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-25 ULVAC P252855

907 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS09-80720A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-65CM ULVAC P651125

908 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS09-80750A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-200CM ULVAC P200075

909 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS09-80760A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-250CM ULVAC P250036

910 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS11-12160A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-25F ULVAC シリアル無し 1997

911 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS16-12480A 圧空式超高真空バルブ VUGP-150CS ULVAC P150307

912 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS16-12900A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-65 ULVAC P650785

913 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS16-12910A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-65CM ULVAC P651047

914 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS16-12920A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-65CM ULVAC P651053

27

Page 28: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

915 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS16-13240A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-40F ULVAC P402462

916 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS18-11360A 圧空式超高真空L型バルブ VULP-100 ULVAC P950540 2016

917 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS19-10520A 圧空式超高真空バルブ VUGP-100 ULVAC P100335

918 真空バルブ

超高真空(圧空作

動) RS10-27620A 真空L型バルブ 28332-GE41-0003 VAT A-719543 2000

919 真空バルブ 超高真空(手動) RS12-10700A 手動式超高真空バルブ VUH-251C ULVAC - 2002

920 真空バルブ 超高真空(手動) RS12-10710A 手動式超高真空バルブ VUH-651 ULVAC MG54-0017 2002

921 真空バルブ 超高真空(手動) RS12-10720A 手動式超高真空L型バルブ VULH-40 ULVAC - 2002

922 電源 定電圧電源 RS16-82370A 24V電源 S8VS-24024A/ED2 オムロン

923 真空計 電離真空計 RS16-12430A 電離真空計 GM-1000 ULVAC 1632 2002

924 真空計 電離真空計 RS16-12440A 電離真空計 GM-1000 ULVAC 02313 2007

925 真空計 電離真空計 RS16-12450A 電離真空計 GM-1000 ULVAC 02314 2007

926 真空計 電離真空計 RS16-12460A 電離真空計 GM-2001 ULVAC 0411 2003

927 真空計 電離真空計 RS16-12470A 電離真空計 GM-1000 ULVAC 0339 2002

928 真空計 電離真空計 RS16-12860A 電離真空計 GM-1000 ULVAC -

929 真空計 電離真空計 RS16-12870A 電離真空計 GM-1000 ULVAC -

930 真空計 電離真空計 RS16-22660A 電離真空計 GM-1000 ULVAC 0079 1992

931 真空計 電離真空計 RS18-80370A 電離真空計測定子 WIN-N3 ULVAC

932 真空計 電離真空計 RS18-80380A 電離真空計測定子 WIN-N1 ULVAC

933 真空計 電離真空計 RS18-80390A 電離真空計測定子 WIN-N1 ULVAC

934 真空計 電離真空計 RS16-21990A 電離真空計 MIG-921

キヤノン アネル

バ -

935 真空計 電離真空計 RS16-22000A 電離真空計 MIG-921

キヤノン アネル

バ -

936 真空計 電離真空計 RS16-22010A 電離真空計 MIG-921

キヤノン アネル

バ -

937 真空計 電離真空計 RS18-10330A 電離真空計 NI-10D

キヤノン アネル

バ 516267

938 真空計 電離真空計本体 RS14-81080A 電離真空計 GI-D6 ULVAC 3255 1998

939 真空計 電離真空計本体 RS14-81160A 電離真空計 GI-D6 ULVAC 2693

940 真空計 電離真空計本体 RS14-31050A 電離真空計 M-420HG

キヤノン アネル

バ EL057222

941 真空計 電離真空計本体 RS14-31060A 電離真空計 M-420HG

キヤノン アネル

バ EL057267

942 真空計 電離真空計本体 RS14-31080A 電離真空計 M-420HG

キヤノン アネル

バ EL057211

943 真空計 電離真空計本体 RS14-31090A 電離真空計 M-420HG

キヤノン アネル

バ EL057215

944 真空計 電離真空計本体 RS14-31100A 電離真空計 M-420HG

キヤノン アネル

バ EL057216

945 排気SET 排気SET RS14-12460A 排気セット YM-SEMI-300C(特) ULVAC BK97-2367 1997

946 排気SET 排気SET RS18-12580A 排気セット YH-500A ULVAC 1-03285

947 排気SET 排気SET RS18-80310A 排気セット UTM-50排気セット ULVAC P678  81822

948 排気SET 排気SET RS09-21240A 排気セット DP40-+EH250 EDWARDS 5274A/7270FF

949 真空装置付属品 搬送ロボット RS15-11670A 搬送ロボット XU-MVS3102 ULVAC S03547-1-03 2000

950 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11250A 搬送ロボット VM0529-024A ULVAC -

951 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11260A 搬送ロボット VM0529-024A ULVAC -

952 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11270A 搬送ロボット VM0529-024A ULVAC -

28

Page 29: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

953 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11280A 搬送ロボット VM0529-024A ULVAC -

954 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11290A 搬送ロボット VM0529-024A ULVAC -

955 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11300A 搬送ロボット VM0529-024A ULVAC -

956 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11320A 搬送ロボット VM0267-025C ULVAC -

957 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11330A 搬送ロボット VM0267-025C ULVAC -

958 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11340A 搬送ロボット VM0267-025C ULVAC -

959 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11350A 搬送ロボット VM0267-025C ULVAC -

960 真空装置付属品 搬送ロボット RS14-40890A 移載機 WL300-Sorter-HW ITOCHU -

961 真空装置付属品 搬送ロボット RS17-80640A 大気搬送ロボットユニット

UTWF-5000/CS-

7100/YC-1515 アシスト A06261150-1

962 真空装置付属品 搬送ロボット RS18-80010A 大気搬送ロボットユニット

UTWF-5100/CS-

7100/YC900 アシスト

A04260940-

1/A04260940-

1/A04260970-1 2000

963 真空装置付属品 搬送ロボット RS18-80020A 真空搬送ロボットユニット UTV-F2600W/CS-7100 アシスト

A04260910-1(共

通) 2000

964 真空装置付属品 搬送ロボット RS14-41690A ウエハーローダー AL110-L86 オリンパス A008010

965 真空装置付属品 搬送ロボット RS14-10230A 大気ロボット SPR-101-X099 ダイヘン X0333Y3996901 2000

966 真空装置付属品 搬送ロボット RS14-23520A 大気ロボット SPR-101-X1099 ダイヘン X0333Y3912901 2000

967 真空装置付属品 搬送ロボット RS16-11230A 真空搬送ロボット UTV-F2550HTA-001 ダイヘン A87160801-1

968 真空ポンプ 付属品 RS11-81330A クライオスーパートラップ CRYO-T8S ULVAC 0005540 1999

969 真空ポンプ 付属部品 RS11-22390A クライオスーパートラップ CRYO-T8C ULVAC 9912442

970 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS11-80290A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC

136-136

Ver.2.04 2005

971 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS11-80710A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC

137-137

Ver.2.04 2005

972 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS11-80720A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC

252-252

Ver.2.04 2007

973 真空ポンプ 付属部品 RS14-20730A 水冷バッフル 6in 水冷バッフル ULVAC

974 真空ポンプ 付属部品 RS14-81060A オイルミストトラップ TM-3 ULVAC

975 真空ポンプ 付属部品 RS15-11520A クライオスーパートラップ CRYO-T6E ULVAC 0011129 2004

976 真空ポンプ 付属部品 RS15-11570A クライオスーパートラップ CRYO-T8SN ULVAC 0011687 2004

977 真空ポンプ 付属部品 RS15-80510A クライオスーパートラップ CRYO-T4X ULVAC -

978 真空ポンプ 付属部品 RS15-80700A クライオスーパートラップ CRYO-T4X ULVAC 9404004

979 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS15-80890A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用蒸着センサ CRTS-4 ULVAC HE4180-400E

980 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS15-80900A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用蒸着センサ CRTS-4 ULVAC HE4180-400E

981 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS15-80910A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用蒸着センサ CRTS-4 ULVAC HE4180-400E

982 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS15-80920A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用蒸着センサ CRTS-4 ULVAC HE4180-400E

983 真空ポンプ 付属部品 RS16-10790A クライオスーパートラップ CRYO-T8FA(ISO-F) ULVAC 1007819 2010

984 真空ポンプ 付属部品 RS16-10800A クライオスーパートラップ CRYO-T8FA(ISO-F) ULVAC 1007822 2010

985 真空ポンプ 付属部品 RS16-10810A クライオスーパートラップ CRYO-T8FA(ISO-F) ULVAC 1007820 2010

29

Page 30: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

986 真空ポンプ 付属部品 RS16-10880A 冷凍機コード

72990405_(12M)C10/C30

用 冷凍機コード ULVAC -

987 真空ポンプ 付属部品 RS16-10890A 冷凍機コード

72990405_(12M)C10/C30

用 冷凍機コード ULVAC -

988 真空ポンプ 付属部品 RS16-10900A 冷凍機コード

72990405_(12M)C10/C30

用 冷凍機コード ULVAC -

989 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11410A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 107 2004

990 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11420A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 110 2004

991 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11430A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 112 2004

992 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11440A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 115 2004

993 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11450A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 117 2004

994 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11460A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 118 2004

995 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11470A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 219 2006

996 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS16-11480A

水晶発振式成膜コントロー

ラ用マルチセンサ CRTS-12NS ULVAC 220 2006

997 真空ポンプ 付属部品 RS16-11520A オイルミストタラップ TMX-2 ULVAC -

998 水晶発振式 成膜コントローラ 付属部品 RS18-80530A

CRTM-9000用液晶ディス

プレイパネル LM32019T R ULVAC 06C04022Q

999 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS18-80540A

CRTM-9000用3.5インチフ

ロッピーディスク D353M3D ULVAC 6B24BT1253

1000 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS18-80550A CRTM-9000用 ACファン 3610PS-10T-B30 ULVAC 3610PS-10T-B30

1001 水晶発振式 成膜コントローラ 付属部品 RS18-80570A

CRTM-9000用液晶ディス

プレイパネル LM32019T R ULVAC -

1002 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS18-80580A

CRTM-9000用3.5インチフ

ロッピーディスク D353M3D ULVAC 6B24BT1249

1003 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS18-80590A CRTM-9000用 ACファン 3610PS-10T-B30 ULVAC -

1004 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS18-80600A CRTM-9000用ACファン SSカード ULVAC SS1405

1005 水晶発振式成膜コントローラ 付属部品 RS18-80650A CRTM-9000用ACファン SSカード ULVAC SS1451

1006 真空ポンプ 付属部品 RS19-10790A オイルミストトラップ TM-4 ULVAC ‐

1007 真空ポンプ 付属部品 RS14-80130A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI 106C0001401

1008 真空ポンプ 付属部品 RS14-80140A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI -

1009 真空ポンプ 付属部品 RS14-80150A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI 106H9901183

1010 真空ポンプ 付属部品 RS14-80160A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI 106C9901108

1011 真空ポンプ 付属部品 RS14-80170A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI k042581

1012 真空ポンプ 付属部品 RS14-80180A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI 106E0202064

1013 真空ポンプ 付属部品 RS14-80190A

クライオポンプ用コント

ローラー CTIコントローラー CTI C0302250

1014 真空ポンプ 付属部品 RS16-81630A クライオポンプケーブル 8112097G125 CTI -

1015 真空ポンプ 付属部品 RS15-81100A クライオ温度表示計 CRYO METER MBT

アルバッククラ

イオ 07094698C

30

Page 31: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1016 真空ポンプ 付属部品 RS15-81110A クライオ温度表示計 CRYO METER MBT

アルバッククラ

イオ 07094699C

1017 真空ポンプ 付属部品 RS16-80250A クライオトラップ P-100CT 住友重機工業 -

1018 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS14-81050A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-8000 ULVAC 0118 1998

1019 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS14-81140A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-5000 ULVAC 0968 1995

1020 リークディティクタ 本体 RS16-11660A

ヘリウムリークディティク

タ HELIOT-303 ULVAC 1493

1021 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS18-10390A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 2396 2008

1022 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS18-10410A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 2400 2008

1023 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS18-10450A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 2089

1024 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS18-10470A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 1714

1025 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS18-10480A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 1713

1026 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS18-10490A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 605

1027 リークディティクタ 本体 RS18-11210A

ヘリウムリークディティク

タ HELIOT-701 ULVAC 1841 2006

1028 ガス分析計 本体 RS18-11310A マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-101 ULVAC 0212

1029 ガス分析計 本体 RS18-12520A 小型分圧モニター MALIN ULVAC 00133

1030 ガス分析計 本体 RS18-12530A 小型分圧モニター MALIN ULVAC 00620

1031 ガス分析計 本体 RS18-80430A マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-101 ULVAC

1032 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS19-80210A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 1453 2005

1033 水晶発振式成膜コントローラ 本体 RS19-80220A

水晶発振式成膜コントロー

ラ CRTM-9000 ULVAC 1454 2005

1034 ガス分析計 本体 RS19-80370A ガス分析計 RG-202 ULVAC 505

1035 ガス分析計 本体 RS11-11690A 質量ガス分析計

Transpector2

TSPTT100(9546) インフィコン LOTT23B02800

1036 ガス分析計 本体 RS11-11700A 質量ガス分析計

Transpector2(911-242-

G1U H100M) インフィコン 70003237

1037 ガス分析計 本体 RS13-11430A

ガス分析システム

(TRANSPECTOR_XPR) XPR-TR100 (0397) インフィコン H8TR15B00372

1038 ガス分析計 本体 RS14-22840A 質量ガス分析計

Transpector2 TSPTT200

(9615) インフィコン LOTT23C02894

1039 ガス分析計 本体 RS14-22850A 質量ガス分析計

Transpector2 TSPTT200

(10328) インフィコン B2TT26C03925

1040 ガス分析計 本体 RS14-22860A 質量ガス分析計

Transpector2

TSPTT200(9668) インフィコン MOTT23C02969

1041 ガス分析計 本体 RS14-22870A 質量ガス分析計

Transpector2 TSPTT200

(10067) インフィコン C1TT24C03427

1042 ガス分析計 本体 RS16-10430A 質量ガス分析計 Transpector TSP TC100 インフィコン J5TC35B03214

1043 電源 無停電電源 RS18-80710A 無停電電源 POWLI BX50FW OMRON

68210040038018

G

1044 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS16-12070A 油回転真空ポンプ GHD-120 ULVAC 41922

1045 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS17-11490A 油回転真空ポンプ D-950DK ULVAC A07B-03270 2004

31

Page 32: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1046 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS17-11500A 油回転真空ポンプ PVD-180 ULVAC 1-11544

1047 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS17-80320A 油回転真空ポンプ GVD-201 ULVAC 98659 1999

1048 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11290A 油回転真空ポンプ D-330D ULVAC 1-03330

1049 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11780A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-04050

1050 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11790A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-01827

1051 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11800A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-03047

1052 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11810A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-01821

1053 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11820A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-03049

1054 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11830A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-01826

1055 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11840A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-03037

1056 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11860A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-03046

1057 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12420A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-05256 2007

1058 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12430A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-02366 2002

1059 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12440A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-05257 2007

1060 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12450A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-05856 2007

1061 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12480A 油回転真空ポンプ D-330DK ULVAC A01B-05600 2010

1062 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12590A 油回転真空ポンプ D-330K ULVAC 1-08481

1063 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12790A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A036B-00115

1064 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-12870A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC A32A-01989

1065 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-20090A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-06834 2010

1066 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-20190A 油回転真空ポンプ VS2401 ULVAC A36A-04773 2010

1067 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-21240A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC 1-02450 1980

1068 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-21500A 油回転真空ポンプ D-950DK ULVAC A07A-00320 1989

1069 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-21510A 油回転真空ポンプ D-950DK ULVAC A07B-00846 1995

1070 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-21520A 油回転真空ポンプ D-950DK ULVAC A07B-00147 1993

1071 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-21570A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC A32A-03244 2008

1072 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-21580A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC A32A-03345 2008

1073 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10030A 油回転真空ポンプ GLD-201A ULVAC 1443029 1905

32

Page 33: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1074 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10130A 油回転真空ポンプ D-330DK ULVAC A01B-02852

1075 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10140A 油回転真空ポンプ D-650DK ULVAC A03A-00450

1076 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10150A 油回転真空ポンプ VD151 ULVAC NB200A-00027

1077 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10160A 油回転真空ポンプ VD151 ULVAC NB200A-00028

1078 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10170A 油回転真空ポンプ VD301 ULVAC A63A-02298

1079 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10180A 油回転真空ポンプ VD301 ULVAC A63A-02299

1080 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10410A 油回転真空ポンプ PKS-030 ULVAC A31A-00550

1081 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10420A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC A32A-01386

1082 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10430A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC A32A-01399

1083 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10480A 油回転真空ポンプ D-330DK ULVAC A01B-01702

1084 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10690A 油回転真空ポンプ PKS-070 ULVAC A32A-02284

1085 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10810A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190158T 2019

1086 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10820A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 160199T 2016

1087 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10830A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190155T 2019

1088 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10840A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190160T 2019

1089 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10850A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190161T 2019

1090 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10860A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190159T 2019

1091 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10870A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190162T 2019

1092 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10880A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190156T 2019

1093 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10890A 油回転真空ポンプ G-50SA ULVAC 190163T 2019

1094 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10900A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85077 2019

1095 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10910A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85227 2019

1096 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10920A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85213 2019

1097 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10930A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85229 2019

1098 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10940A 油回転真空ポンプ G-10DA ULVAC 85211 2019

1099 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10950A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 190177T 2019

1100 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10960A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 190178T 2019

1101 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10970A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 190179T 2019

33

Page 34: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1102 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10980A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 180188T 2018

1103 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10990A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 180011T 2018

1104 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11000A 油回転真空ポンプ G-20DA ULVAC 180010T 2018

1105 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11010A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 180200T 2018

1106 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11020A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 180364T 2018

1107 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11030A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 180249T 2018

1108 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11040A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 190209T 2019

1109 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11050A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 190208T 2019

1110 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11060A 油回転真空ポンプ G-50DA ULVAC 180363T 2018

1111 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11070A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 190124T 2019

1112 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11080A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 180761T 2018

1113 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11090A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 180350T 2018

1114 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11100A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 180765T 2018

1115 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11110A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 180762T 2018

1116 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11120A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 180351T 2018

1117 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11130A 油回転真空ポンプ GLD-051 ULVAC 180352T 2018

1118 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-11140A 油回転真空ポンプ D-950K ULVAC A068B-04327

1119 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS14-11430A 油回転真空ポンプ 2015SD Alcatel 619757

1120 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10060A 油回転真空ポンプ E2M-18 EDWARDS 28361

1121 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS19-10070A 油回転真空ポンプ E2M-18 EDWARDS 076056714

1122 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS16-82330A 油回転真空ポンプ 215SDTLJM アルカテル AM705216 2012

1123 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS16-82340A 油回転真空ポンプ 215SDTLJM アルカテル AM705217 2012

1124 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS16-11960A 油回転真空ポンプ E2M40PEPE エドワーズ 109445281

1125 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS16-22830A 油回転真空ポンプ E2M8 エドワーズ 962072161

1126 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11040A

913-7000コンビネーショ

ンポンプ① 913-7000

キヤノン アネル

バ U-1872547

1127 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11050A

913-7001コンビネーショ

ンポンプ② 913-7001

キヤノン アネル

バ U-0872361

1128 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11060A

913-7002コンビネーショ

ンポンプ③ 913-7002

キヤノン アネル

バ U-1872534

1129 真空ポンプ 油回転真空ポンプ RS18-11070A

913-7003コンビネーショ

ンポンプ④ 913-7003

キヤノン アネル

バ U-3873075

34

Page 35: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1130 真空ポンプ 油拡散ポンプ RS17-11480A 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-02572 2014

1131 真空ポンプ 油拡散ポンプ RS19-10190A 油拡散ポンプ ULK-04 ULVAC A42A-02169

1132 真空ポンプ 油拡散ポンプ RS19-10440A 油拡散ポンプ PFL-22 ULVAC 1-00647

1133 真空ポンプ 油拡散ポンプ RS19-11170A 油拡散ポンプ ULK-06A ULVAC A43A-01255

1134 真空ポンプ 油拡散ポンプ RS13-20040A 油拡散ポンプ CDP-3700

キヤノン アネル

バ 1539

1135 真空ポンプ 油拡散ポンプ RS16-21590A 油拡散ポンプ DPF-18Z 大亜真空 99027-2

1136 真空装置部品 CVD装置部品 RS18-80740A パソコン CV-221J HPC Systems 10135500001

1137 真空装置部品 CVD装置部品 RS18-80690A 大気搬送ロボット S0286

TAZMO

CO,LTD S02861090007 2010

1138 真空装置部品 CVD装置部品 RS18-80700A アライナー S0297

TAZMO

CO,LTD S02971080004 2010

1139 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80600A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088394

1140 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80610A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088400

1141 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80620A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088405

1142 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80630A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088401

1143 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80640A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088412

1144 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80650A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088395

1145 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80660A グリッド RF-350/8 Zone VEECO A088429

1146 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80680A グリッド

RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270428

1147 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80690A グリッド

RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270077

1148 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80700A グリッド

RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270106

1149 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80710A グリッド

RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270107

1150 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80720A グリッド

RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270105

1151 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80740A グリッド

RF-420/6

Spacer,EM,CT,Pat1 VEECO C270441

1152 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80790A グリッド 1-Q1/Nexus IBE VEECO C1192

1153 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80810A グリッド Aris 1-Q1/Nexus IBE VEECO A811014

1154 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80820A グリッド 1-Q1/Nexus IBE VEECO C810102

1155 真空装置部品 CVD装置部品 RS16-80830A グリッド 1-Q1/Nexus IBE VEECO A811018

1156 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS07-80130A ビームチェッカー BPO12V-R16 ULVAC BP012V-R16

1157 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS07-80140A ビームチェッカー BPO14V-R16 ULVAC BP014-R16

1158 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS07-80150A ビームコントロール IMX-3500S BC9301 ULVAC

1159 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS07-80230A アクセルディセル電源 MDL-2/10 ULVAC 62809

1160 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10310A コンタミドリフトチューブ コンタミドリフトチューブ ULVAC - 2000

1161 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10340A Qレンズ Qレンズ ULVAC - 2000

1162 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10560A ソースゲートバルブ ソースゲートバルブ ULVAC U-00005 2000

1163 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10570A ウェーブガイドベロー ウェーブガイドベロー ULVAC - 2000

1164 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10590A スキャナーユニット スキャナーユニット ULVAC - 2000

35

Page 36: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1165 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23490A

ビームコントロールイン

ターフェースユニット

BEAM CONT INTERFACE

UNIT ULVAC BM0301 2000

1166 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81060A

VACUUM CONTROL

PANEL IW630 VP0903 ULVAC -

1167 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81070A イオン注入装置部品 IW630 DC0903 ULVAC -

1168 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81180A MASS PRE AMPボード IB2041-705-09 ULVAC -

1169 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81190A MFC-1ボード 94-3700-27010-1B ULVAC -

1170 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81200A

IGコントローラー内FIL POWボー

ド 92-144-27002 ULVAC -

1171 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81220A IG CONTROL 92-1400-27011-1 ULVAC -

1172 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81230A PSDO CONTROL 94-3740-23005B ULVAC -

1173 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81240A HV CONTROL EM05-1520-23003 ULVAC -

1174 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81250A PSDO 94-3700-27007 MPX-3 ULVAC -

1175 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81260A PSDO CONTROL EM94-3720-23010B ULVAC -

1176 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81270A HV CONTROL 91-4800-27002-1 ULVAC -

1177 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80110A スキャンコントローラ SX1304_Ver.2 ULVAC

1178 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23110A EXTターミナルCONT EM-BEX0 EMI EX0301 2000

1179 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23120A HVターミナルCONT EM-BHV0 EMI HC0301 2000

1180 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23140A IG CONTROL EM-FIG1 EMI 2000

1181 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23170A ベーパライザ電源 EM-ABP1 EMI 2000

1182 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80870A ビームアンプ EM-WBA EMI BA0701

1183 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80890A

アークフィラメントコント

ローラ EN-AWFC EMI -

1184 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS07-80360A EB電源ユニット FC9821-Xa(NEC) NEC S922109MA

1185 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10320A PC(メイン) FC-9821Xa Model2 NEC S082007MA 2000

1186 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-11260A プラズマモニター EMICON PLASUS EC150601MC

1187 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80840A PGコントロール SD-FPG0 MPG16/13ch SDS FPGO-041

1188 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80850A IG CONTROL

SD-FIG0 MUKTI-ION

GAUGE SDS MIG5031

1189 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80880A ビームモニター IW-630 BEAM モニター SDS R3-006;1121213

1190 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80090A ビームモニター IW-630 BEAM モニター SDS R2-002

1191 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81030A

I/S マニホールドユニッ

I/S マニホールドユニット

(1) SMC -

1192 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81040A

B/S マニホールドユニッ

B/S マニホールドユニッ

ト SMC -

36

Page 37: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1193 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81050A

E/S マニホールドユニッ

E/S マニホールドユニッ

ト SMC -

1194 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80700A ソースマグネット電源 EMSⅡ7.5-130-2-D TDKラムダ 20J9673

1195 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80750A Qマグネット電源2 EMS10-500-2D-GBⅣ TDKラムダ 20H8885

1196 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80030A OFアライナー OFH-101A アシスト

A05260910-1(共

通)

1197 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80920A メインPC用ディスプレー Flexscan L350 エイゾー -

1198 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80940A E/S PLCユニット E/S PLCユニット オムロン -

1199 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80970A HVT PLCユニット HVT PLCユニット オムロン -

1200 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80980A EXT PLCユニット EXT PLCユニット オムロン -

1201 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80990A I/S 入出力ユニット I/S 入出力ユニット(1) オムロン -

1202 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81000A B/L 入出力ユニット

B/L 入出力ユニット

(1) オムロン -

1203 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81010A E/S 入出力ユニット E/S 入出力ユニット オムロン -

1204 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23250A DCオフセット電源 UL152G1255 グラスマン 2000

1205 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23340A HV電源 UL180P5G1255 グラスマン 2000

1206 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81120A 偏向電源 PS/MK05N15-Y10A グラスマン

M835938-01-

A961015

1207 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-11900A 引出電源 SL40N300X スペルマン - 2000

1208 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-11920A

サプレッションバイアス電

源 PCM5N120X スペルマン - 2000

1209 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-12170A HV電源 SL260P2080X2652 スペルマン - 2000

1210 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80710A 引出電源 SL40P200X2896 スペルマン C31628-006

1211 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80720A アクセルディセル電源 PCM10N120X2909 スペルマン 67063-1-A00032

1212 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80760A DECEL電源 SL40N300X2895 スペルマン C31628-007

1213 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80770A

サプレッションバイアス電

源 PCM5N120X2898 スペルマン C31612-010

1214 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80790A HV電源 SL260P2080X2652 STAK スペルマン C31627-006

1215 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80800A HVデバイダー HV300X2916 スペルマン C31627-005

1216 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80810A

サプレッションバイアス電

源 PCM5N120X2898 スペルマン C31389-008

1217 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80830A ビームフィルタ電源 PCM30P120X2899 スペルマン C31627-006

1218 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80050A DECEL電源 SL40N300X2895 スペルマン C25238-002

1219 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23440A ティーチングBOX E4477A ダイヘン E4477Y329111 2000

1220 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10760A

タッチパネルコントロー

ラー 3801EI00

タッチパネルシ

ステムズ N8976 2000

37

Page 38: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1221 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23200A アクセルディセル電源 TK-A0021 テクノ電気工業 2000

1222 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80780A スキャナー電源 P0621N-H-JX

トレックジャパ

ン 121

1223 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80060A スキャナー電源 P0621N-H-JX

トレックジャパ

ン 117 2000

1224 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80740A Qマグネット電源1 P62C-8350AB パワーテン 0115C0067

1225 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81130A マグネット電源 P86C-100250AC パワーテン -

1226 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80670A

プラテンコントローラ/Y

スキャンユニット

XU-CM1900P/XU-

CM1900C/XU-AVS1900 安川電機 S03415-22-03

1227 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80040A

プラテンコントローラ/Y

スキャンユニット

XU-CM1900P/XU-

CM1900C/XU-AVS1900 安川電機

S03415-22-

02/S03415-21-

02/S03415-1-02 2000

1228 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23150A プリアンプ KW-FPR3 関西電子 2000

1229 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80900A プリアンプ KW-FPR3-S 関西電子 121

1230 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23210A

アナライザーマグネット電

源 UX035-60 高砂製作所 2000

1231 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23460A HV電源増幅器 UL180P5GI222 高砂製作所 5990018 2000

1232 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-12140A モニタ RDT141S 三菱電機 - 2000

1233 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80690A アークフィラメント電源 SW-A1005 昭和電子 121970

1234 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81110A アークフィラメント電源 SW-A1005 昭和電子 117019

1235 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-10550A べーパライザ電源 べーパライザ電源

川崎エンジニア

リング 009 2000

1236 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-80860A

スキャンプロファイルモニ

ター SPM-30 東京カソード H07281

1237 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80070A

スキャンプロファイルモニ

ター SPM-30 東京カソード H0680 2000

1238 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS17-81160A 純水カートリッジ C-30S型 日本錬水 -

1239 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS18-80120A メインPC HF-W25F-40WJ-A 日立製作所

MFG NO:421262-

1 2000

1240 真空装置部品

イオン注入装置部

品 RS14-23080A ディスプレー T1501-GY 飯山 2000

1241 真空装置部品 ガス制御部品 RS12-80660A マスフローコントローラー FC-770C アエラ 4YEP035

1242 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22750A マスフローコントローラー FC260E アエラ 840244

1243 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22940A マスフローコントローラー FC-7700C アエラ -

1244 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22950A マスフローコントローラー FC-780 アエラ -

1245 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22960A マスフローコントローラー FC-780C アエラ -

1246 真空装置部品 ガス制御部品 RS18-12540A マスフローコントローラー FCR-7700CT アエラ C160920079

1247 真空装置部品 ガス制御部品 RS18-12550A マスフローコントローラー FCR-7700CT アエラ C160920075

38

Page 39: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1248 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-10910A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F3L-

CF4 フジキン -

1249 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-10920A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F3L-

CF4 フジキン -

1250 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-10930A マスフローコントローラー

FCST1030LUC-4J2-F3L-

CF4 フジキン -

1251 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-10940A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F3L-

COF2 フジキン -

1252 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-10950A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F3L-

COF2 フジキン -

1253 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-10960A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F3L-

COF2 フジキン -

1254 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13350A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F2L-

AR フジキン K-ZELB-000 2013

1255 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13360A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F1L-

AR フジキン K-ZEVA-000 2013

1256 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13370A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F1L-

AR フジキン K-ZEV9-000 2013

1257 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13380A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F1L-

AR フジキン K-ZEV8-000 2013

1258 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13410A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F100-

O2 フジキン K-ZEV5-000 2013

1259 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13420A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F100-

O2 フジキン K-ZEV4-000 2013

1260 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13430A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F200-

AR フジキン K-ZEVB-000 2013

1261 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13440A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F200-

AR フジキン K-ZEVD-000 2013

1262 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13450A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F200-

AR フジキン K-ZEVC-000 2013

1263 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13460A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F500-

O2 フジキン K-ZELA-000 2013

1264 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-13470A マスフローコントローラー

FCST1005LUC-4J2-F500-

O2 フジキン K-ZEL9-000 2013

1265 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22890A マスフローコントローラー MC-100R リンテック -

1266 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22980A

マスフローコントローラー

電源 RP-100 リンテック -

1267 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22870A マスフロー信号ケーブル SC-D4-S-3M 堀場エステック -

1268 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-22970A

マスフローコントローラー

電源 PAC-S5 堀場エステック -

1269 真空装置部品 ガス制御部品 RS16-82660A ピエゾバルブ PV-1202MO 堀場エステック UEKK7Y0C 2012

1270 真空装置部品 ガス制御部品 RS17-10400A

マスフローコントローラー

電源 PAC-6K 堀場エステック 1001358

1271 その他装置部品

コーターデベロッ

パー装置 RS16-40100A

コーターデベロッパー用

パーツ

コーターデベロッパー用

パーツ

東京エレクトロ

ン - 2011

1272 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81310A

WM-2500用 SMIFインデ

クサー SMIFインデクサー ASYST 1501-S08420K

1273 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS12-81230A

WM-2500用 受光偏向板

モータセット 受光偏向板モータセット

CHIBA

PRECISION 3910/39004

1274 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS12-81200A

WM-2500用 VMEコン

ピュータ TVC-22TPK ELSENA 101277 2000

1275 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81300A

WM-2500用 VMEコン

ピュータ TVC-22TPK ELSENA 101253 2000

1276 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81380A

WM-2500用 VMEコン

ピュータ TVC-22TPK ELSENA 101136

39

Page 40: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1277 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81320A

WM-2500用 ロボットコ

ントローラセット UTW4300P MECS

994123010-

1/999120510-2

1278 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81290A WM-2500用 メインPC ETM-33-CA

SMART

Modular

Technologies EK3/42522800 2000

1279 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81370A WM-2500用 メインPC ETM-33-CA

SMART

Modular

Technologies EK3/49543100

1280 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81330A

WM-2500用 レーザー電

源セット レーザー電源セット

Spectra-

Physics

09041767/B0330

20

1281 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS12-81220A

WM-2500用 スピンモー

タドライバセット

スピンモータドライバセッ

TAMAGAWA

SEIKI

モーターA0027/

ドライバー27121 2000

1282 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81350A

WM-2500用 スピンモー

タドライバセット

スピンモータドライバセッ

TAMAGAWA

SEIKI A0023/23855 2000

1283 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS12-81210A

WM-2500用 Zセンサ

ノッチセンサ Zセンサ ノッチセンサ TOPCOM

Z用 001004/

エッジ用

000202

1284 その他装置部品 ゴミ検査装置部品 RS17-81340A

WM-2500用 Zセンサ

ノッチセンサ Zセンサ ノッチセンサ TOPCOM 000706/000702

1285 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS11-82880A 直線導入機構 BMMG-402 ULVAC 96070158

1286 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80460A 真空槽

ZX-1000用 ウェハーリフ

ター ULVAC SE96-9615-1 1996

1287 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80470A 真空槽

ZX-1000用 オートロー

ダー ULVAC SE96-9615-1 1996

1288 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80490A カセットエレベーター

ZX-1000用 カセットエレ

ベーター ULVAC SE96-9615-1 1996

1289 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80500A シールド昇降機構

ZX-1000用 シールド昇降

機構 ULVAC SE96-9615-1 1996

1290 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80550A メインバルブ ZX-1000用 メインバルブ ULVAC SE96-9615-1

1291 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80610A 真空槽 ZX-1000 L1モジュール ULVAC SE96-9615-1

1292 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80620A 真空槽 ZX-1000 L7モジュール ULVAC SE96-9615-1

1293 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80630A 真空槽 ZX-1000 M3モジュール ULVAC SE96-9615-1

1294 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80640A 真空槽 ZX-1000 H4モジュール ULVAC SE96-9615-1

1295 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80650A 真空槽 ZX-1000 M5モジュール ULVAC SE96-9615-1

1296 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80660A 真空槽 ZX-1000 M6モジュール ULVAC SE96-9615-1

1297 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80820A

ZX用プロセスチャンバー

+カセット室+コアチャン

バー

ZX-1000用 114type

Module ULVAC ME02-5001

1298 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80840A 真空槽

ZX-1000用 オートロー

ダー ULVAC ME02-5001

1299 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS19-80030A スパッタ室チャンバー SATELLA用スパッタ室チャンバー ULVAC MH04-1038 2005

1300 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-12170A AMAT製PVD装置用PC1 0220-21472 AMAT 1-18994-95-3277

1301 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-12210A

ASSY STAND ALONE

MONITOR 0010-76244 AMAT

22295-09

13794-04

1302 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-15320A

ASSY STAND ALONE

MONITOR 0010-76244 AMAT T-22295-97-3571

40

Page 41: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1303 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80790A CASSETTE 0010-21438 AMAT -

1304 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80800A PM PARTS PM PARTS AMAT -

1305 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80810A LAMP, BAKEOUT 0190-13035 AMAT

1306 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80820A

BRKT, PILLOW BLOCK

SOURCE 0020-20156 AMAT -

1307 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80830A

KIT, 8 INCH SHIELD

CLAMP 0240-20551 AMAT -

1308 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80840A

LIST, 5 INCH SHIELD

OPTION PARTS 0240-20022 AMAT -

1309 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80850A

KIT, 8 INCH SHIELD

CLAMP 0240-20551 AMAT -

1310 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80860A

ADAPTOR 11.3 " SOURCE

WIDE BODY CHAMBER 0020-22547 AMAT -

1311 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80870A

ADAPTER 13" SOURCE

WIDE BODY CHAMBER 0020-23046 AMAT -

1312 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80880A HP ROBOT O/H PARTS HP ROBOT O/H PARTS AMAT -

1313 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80890A ASSY, DUAL DRIVER 0010-20331 AMAT

1314 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80900A INSULATOR SOURCE 13" 0020-21664 AMAT

1315 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80910A

INSULATOR SOURCE

11.3" 0020-21462 AMAT

1316 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80920A

MAGNET, ASSY DURA

SOURCE

MAGNET, ASSY DURA

SOURCE AMAT

1317 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80930A A-Type13"Al 0010-20225 AMAT

1318 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80940A 15V電源 ASSY, PWRSP 15V AMAT 15156-01

1319 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS09-80950A ASSY, 11.3.LID ASSY, 11.3.LID AMAT

1320 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-12410A PVDスタンダードボディ PVDスタンダードボディ AMAT

1321 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80240A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1322 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80250A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1323 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80260A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1324 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80270A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1325 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80280A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1326 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80290A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1327 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-80300A テープヒーター FHS-3125 AMAT

1328 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS07-80330A ESC電源 ESC3KS240 eidogiken A9904 1999

1329 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS13-10220A

ライトウェーブメジャメン

トシステム 81640A アジレント DE39402101

41

Page 42: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1330 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS16-22990A N2トラップ 956-7153

キヤノン アネル

バ -

1331 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS18-11130A

チタンサブリメーションポ

ンプコントロール 922-9119

キヤノン アネル

バ 773-2493-7

1332 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS11-82390A 温調計 SR82 シマデン

1333 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS11-82490A モータドライバ MR-J2S-20A 三菱電機 M99D61048

1334 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS16-22760A 真空チャンバー

スパッタ装置用 真空チャ

ンバー 生成理化 -

1335 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS16-22770A 真空チャンバー

スパッタ装置用 真空チャ

ンバー 生成理化 -

1336 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80570A リレーボード RYB 日本ミニコン -

1337 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80580A リレーボード RYB 日本ミニコン -

1338 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80590A リレーボード RYB 日本ミニコン -

1339 真空装置部品 スパッタ装置部品 RS15-80600A リレーボード RYB 日本ミニコン -

1340 真空装置部品 その他 NS-5024 アルフォイル アルフォイル ULVAC ー

1341 真空装置部品 その他 NS-5025 配管継手 UFC306-000FT ULVAC ー

1342 真空装置部品 その他 NS-5026 配管継手 UFC253-000RH ULVAC ー

1343 真空装置部品 その他 NS-5027 配管継手 UFC306-000RH ULVAC ー

1344 真空装置部品 その他 NS-5028 配管継手 UFC306-250RH ULVAC ー

1345 真空装置部品 その他 NS-5029 配管継手 UFC253/114 ULVAC ー

1346 真空装置部品 その他 NS-5030 ガスケット

UFE070GS(10 Gaskets /

set ) ULVAC ー

1347 真空装置部品 その他 NS-5031 配管接手 IFE114-065 ULVAC ー

1348 真空装置部品 その他 NS-5032 配管接手 IFT152-100 ULVAC ー

1349 真空装置部品 その他 NS-5033 配管接手 IFX114-065 ULVAC ー

1350 真空装置部品 その他 NS-5037 電流導入端子 CMS5D80-1P ULVAC ー

1351 真空装置部品 その他 NS-5038 電流導入端子 CMS2D09-1PF ULVAC ー

1352 真空装置部品 その他 NS-5039 電流導入端子 CMS10D80-1PF ULVAC ー

1353 真空装置部品 その他 RS14-80840A

簡易ロードロック付搬送

(コア)チャンバー

簡易ロードロック付搬送

(コア)チャンバー ULVAC

1354 真空装置部品 その他 RS16-13020A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1355 真空装置部品 その他 RS16-13030A コンフラットフランジ UFC152 ULVAC -

1356 真空装置部品 その他 RS16-13040A コンフラットフランジ UFC152 ULVAC -

1357 真空装置部品 その他 RS16-13050A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1358 真空装置部品 その他 RS16-13060A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1359 真空装置部品 その他 RS16-13070A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1360 真空装置部品 その他 RS16-13080A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1361 真空装置部品 その他 RS16-13100A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1362 真空装置部品 その他 RS16-13110A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1363 真空装置部品 その他 RS16-13120A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1364 真空装置部品 その他 RS16-13130A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1365 真空装置部品 その他 RS16-13140A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1366 真空装置部品 その他 RS16-13150A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1367 真空装置部品 その他 RS16-13160A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1368 真空装置部品 その他 RS16-13170A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1369 真空装置部品 その他 RS16-13180A コンフラットフランジ UFC203 ULVAC -

1370 真空装置部品 その他 RS16-13200A コンフラットフランジ UFC152 ULVAC -

42

Page 43: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1371 真空装置部品 その他 RS16-13220A コンフラットフランジ UFC070 ULVAC -

1372 真空装置部品 その他 RS16-22680A 昇降シリンダー H-40 ULVAC -

1373 真空装置部品 その他 RS16-81670A エンドポイントモニター DBM-3 ULVAC -

1374 真空装置部品 その他 RS18-11090A フランジ ICF-070 ULVAC 954-7609

1375 真空装置部品 その他 RS18-11100A フランジ ICF-034 ULVAC -

1376 真空装置部品 その他 RS18-11370A XY機構 XY機構 ULVAC -

1377 真空装置部品 その他 RS18-80330A 回転導入端子 TDU-04FM ULVAC

1378 真空装置部品 その他 RS18-80340A 回転導入端子 TDU-04FM ULVAC

1379 真空装置部品 その他 RS18-80350A 回転導入端子 TDU-04FM ULVAC

1380 真空装置部品 その他 RS18-80360A 回転導入端子 TDU-04FM ULVAC

1381 真空装置部品 その他 RS09-15570A ホース ホース AMAT

1382 真空装置部品 その他 RS16-11990A フランジ ICF-203 Edwards 07-76186

1383 真空装置部品 その他 RS16-10970A ロボシリンダー

RCP2-RMA-I-PM-4-175-

P1-X02-B-RH-TSB-SP IAI -

1384 真空装置部品 その他 RS17-80960A BEAM PLCユニット BEAM PLCユニット オムロン -

1385 真空装置部品 その他 RS18-11140A 搬送用モーター50W HA-FF053G1/MR-J2-10A 三菱電機 -

1386 真空装置部品 その他 RS16-82120A 超高真空チャンバー 超高真空チャンバー(1) 山下電装

1387 真空装置部品 その他 RS18-10960A サンプル搬送系制御盤 サンプル搬送系制御盤

大阪真空機器製

作所 - 2002

1388 真空装置部品 その他 RS18-10970A 真空配管 搬送系 TP

大阪真空機器製

作所 -

1389 真空装置部品 その他 RS18-10980A 真空配管 ICF152-1316L

大阪真空機器製

作所 -

1390 真空装置部品 その他 RS18-10990A 真空配管 ICF152-1134L

大阪真空機器製

作所 -

1391 真空装置部品 その他 RS18-11000A 真空配管 ICF152-1550L

大阪真空機器製

作所 -

1392 真空装置部品 その他 RS18-11010A 真空配管 ICF152-1200L

大阪真空機器製

作所 -

1393 真空装置部品 その他 RS18-11020A 真空配管 ICF152-1550L

大阪真空機器製

作所 -

1394 真空装置部品 その他 RS18-11030A 真空配管 ICF152-1550L

大阪真空機器製

作所 -

1395 真空装置部品 その他 RS18-11110A トロッコ基板ホルダー トロッコ基板ホルダー

大阪真空機器製

作所 -

1396 真空装置部品 その他装置部品 RS16-10980A アライナー S0292-A ULVAC -

1397 真空装置部品 その他装置部品 RS16-10990A アライナー3インチキット PS00001032 ULVAC -

1398 真空装置部品 その他装置部品 RS16-80320A

Housing Weldment

Fixture NIBE 038606201 VEECO -

1399 真空装置部品 その他装置部品 RS18-80400A 温調計 SDC-36 アズビル 100428361

1400 真空装置部品 その他装置部品 RS18-80410A 温調計 SDC-36 アズビル 100429043

1401 その他装置部品 その他部品 RS18-10080A

HEPAフィルター 6セッ

ト 1A-5711765TLF

日本エアーテッ

H11275043 他5

1402 その他装置部品 その他部品 RS14-10600A マニュアルスイッチ マニュアルスイッチ 不明 - 2000

1403 その他装置部品 加熱装置部品 RS16-12150A ホットプレート ND-1 アズワン 8IM0327

1404 その他装置部品 加熱装置部品 RS16-12160A ホットプレート ND-1 アズワン -

1405 その他装置部品 加熱装置部品 RS16-46260A ホットプレート ND-1 アズワン 11EM0280

1406 その他装置部品 加熱装置部品 RS16-46270A ホットプレート ND-1 アズワン 11EM0348

1407 その他装置部品 加熱装置部品 RS16-46280A ホットプレート ND-1 アズワン 11EM0364

1408 その他装置部品 加熱装置部品 RS16-46290A セラミックホットプレート CHP-170D アズワン 80500624-06

43

Page 44: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1409 真空装置部品 蒸着装置部品 RS14-80740A 抵抗加熱電源 PSE-072 ULVAC E-6312 1990

1410 真空装置部品 蒸着装置部品 RS14-80750A 抵抗加熱電源 PSE-072 ULVAC E-6313 1990

1411 真空装置部品 蒸着装置部品 RS15-20360A レートコントローラー RCT-040L ULVAC SKC-0124-M070 2003

1412 真空装置部品 蒸着装置部品 RS15-20370A レートコントローラー RCT-040L ULVAC SKC-0124-M071 2003

1413 真空装置部品 蒸着装置部品 RS15-20380A レートコントローラー RCT-040L ULVAC SKC-0124-M072 2003

1414 真空装置部品 蒸着装置部品 RS15-20390A レートコントローラー RCT-040L ULVAC SKC-0124-M064 2003

1415 真空装置部品 蒸着装置部品 RS15-81030A 蒸着装置部品 HE4180-740 ULVAC MH10-1019

1416 真空装置部品 蒸着装置部品 RS15-81040A 同軸蒸発源 HE4180-741 ULVAC MH10-1019

1417 真空装置部品 蒸着装置部品 RS16-10380A 抵抗加熱電源 PSE-074 ULVAC S-6642

1418 真空装置部品 蒸着装置部品 RS16-10390A 抵抗加熱電源 PSE-074RT ULVAC E-7284

1419 真空装置部品 蒸着装置部品 RS16-10410A 抵抗加熱4点切替機

型式なし_抵抗加熱4点切替

機 ULVAC -

1420 真空装置部品 蒸着装置部品 RS16-82910A ガラスベルジャー

ガラスベルジャー φ400×

L480 ULVAC -

1421 真空装置部品 蒸着装置部品 RS16-82920A 真空チャンバー

メタルベルジャー φ400×

L350 ULVAC -

1422 真空装置部品 蒸着装置部品 RS18-11380A トンネルチャンバー トンネルチャンバー ULVAC -

1423 真空装置部品 蒸着装置部品 RS17-80420A タッチパネル GP577R-SC11 Pro-face 27507770399 1999

1424 真空装置部品 蒸着装置部品 RS18-11320A 蒸着 ルツボ PBN KM-13(S) 不明 -

1425 真空装置部品 電気制御 RS16-10420A 制御盤

バッチ蒸着・SP標準TYPE

用制御盤 ULVAC

1426 真空装置部品 電気制御 RS14-23430A モニター S501J

Mouse

Computer 30031090 2000

1427 真空装置部品 電気制御 RS07-80350A シーケンサ

C200HS ID217×2 OD219

×2 OMRON

1428 真空装置部品 電気制御 RS16-82430A 温調計 E5AR-CC4WW-DRT オムロン

001-22Z10・

0001K1

1429 真空装置部品 電気制御 RS16-82440A 温調計 E5AR-CC4WW-DRT オムロン

001-22Z10・

0003K1

1430 真空装置部品 電気制御 RS16-82450A 温調計 E5AR-CC4WW-DRT オムロン

001-22Z10・

0005K1

1431 真空装置部品 電気制御 RS16-82460A 温調計 E5AR-CC4WW-DRT オムロン

001-22Z10・

0002K1

1432 真空装置部品 電気制御 RS17-10070A シーケンサ C200HX オムロン -

1433 真空装置部品 電気制御 RS17-10080A シーケンサ C200HX オムロン -

1434 真空装置部品 電気制御 RS17-25410A シーケンサ CJ1G CPU45H オムロン ‐

1435 真空装置部品 電気制御 RS17-25420A タッチパネル NS12-TSO1B-V2 オムロン 05005030

1436 真空装置部品 電気制御 RS17-80950A VAC PLCユニット VAC PLCユニット オムロン -

1437 真空装置部品 電気制御 RS17-81020A ポンプ入出力ユニット ポンプ入出力ユニット オムロン -

1438 真空装置部品 電気制御 RS18-10900A シーケンサ C200H-CPU02 オムロン 0461

1439 真空装置部品 電気制御 RS16-10020A モーターコントローラー HC-55 キーエンス 5149398

1440 真空装置部品 電気制御 RS16-82670A タッチパネル VT3-S12 キーエンス

SO(4113)#

ECA110074N

1441 真空装置部品 電気制御 RS16-82680A タッチパネル VT3-S12 キーエンス

SO(4113)#

ECA110073N

1442 真空装置部品 電気制御 RS16-22810A PLC FXシリーズ 三菱電機 -

1443 真空装置部品 電気制御 RS16-22820A タッチパネル A9GT-RS4 三菱電機 0103B

1444 真空装置部品 電気制御 RS16-81960A PLC A2USH 三菱電機 -

1445 真空装置部品 電気制御 RS16-81970A PLC A2USH 三菱電機 -

1446 真空装置部品 電気制御 RS16-81980A PLC A2USH 三菱電機 -

1447 真空装置部品 電気制御 RS16-82360A シーケンサ Q06H CPU 三菱電機

1448 真空装置部品 電気制御 RS16-81320A パソコン BBC-7600-CEN-W2K 日立ハイテク -

44

Page 45: 2020年1月度 在庫リスト...18 その他装置 アライナー装置 RS18-10310A マスクアライナー M-2L ミカサ XT15-18020A 19 その他装置 アライナー装置 RS15-11310A

2020年1月度 在庫リスト

No カテゴリー カテゴリー2 管理番号 品名 型式 メーカー名 製造番号 製造年

1449 真空装置部品 電気制御 RS16-81870A モノクロメーター モノクロメーター 不明 068

1450 真空装置部品 電気制御 RS18-80230A ラック ラック 不明

1451 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80180A ZX-1000用IGボード GS-IG ULVAC -

1452 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80190A ZX-1000用IGボード GS-IG ULVAC -

1453 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80200A ZX-1000用IGボード GS-IG ULVAC -

1454 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80210A ZX-1000用IGボード GS-IG ULVAC -

1455 真空装置部品 電気制御部品 RS11-82400A シーケンサ Q61P 三菱電機

1456 真空装置部品 電気制御部品 RS15-12160A シーケンサ Q12H 三菱電機 -

1457 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80100A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1458 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80130A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1459 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80140A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1460 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80150A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1461 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80160A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1462 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80170A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1463 真空装置部品 電気制御部品 RS15-80220A D I/Oボード K-380-02 日本ミニコン -

1464 真空装置部品 搬送ロボット RS16-11010A 搬送ロボット S0286-R ULVAC -

1465 真空装置部品 搬送ロボット RS16-81190A 搬送ロボット XU-RCM4901R(A) 安川電機 S32295-1-01

1466 真空装置部品 搬送ロボット RS16-81310A 搬送ロボット XU-RSM4800R(A) 安川電機 S32295-11-01

45