ივანე ჯავახიშვილის სახელობის თბილისის სახელმწიფო უნივერსიტეტი ზუსტ და საბუნებისმეტყველო მეცნიერებათა ფაკულტეტი

პრეზენტაცია თემაზე:

ფ ო ტ ო ლ ი ტ ო გ რ ა ფ ი ა

საგანი : თანამედროვე ნანო–ტექნოლოგიებილექტორი : ამირან ბილილაშვილი

ავტორი : გოდერძი ულუმბერაშვილი

ფოტოლიტოგრაფია, ანუ ე.წ. ოპტიკური ლიტოგრაფია, არის პროცესი, რომელიც გამოიყენება მიკროფაბრიკაციაში გარკვეული სურათის გადასატანად თხელი ან მოცულობითი ფირებების ზედაპირზე. ამ პროცესში გამოიყენება სინათლე იმისათვის, რომ სურათი გადატანილ იქნეს ფოტოშაბლონიდან სპეციალურ სინათლის მგრძნობიარე ქიმიურ ნივთიერებაზე

ფოტოლიტოგრაფიის გამოყენება

ფოტოშაბლონის ქიმიური დმუშავება

ულტრაიისფერი გამოსხივება

ფოტოშაბლონი

შემკრები ლინზაშემცირებული გამოსახულება

სამუშააო ფირფიტა

ზედაპირის გასუფთავება ფირფიტის მომზადება ფოტორეზისტის გამოყენება ექსპოზიცია და გამჟღავნება მოწამვლა ფოტორეზისტის მოცილება ფოტოშაბლონი რეზოლუცია სინათლის წყაროები

ფოტოლიტოგრაფიის საფეხურები

თუ ზედაპირზე არის ორგანული ან არაორგანული ნაერთები, ისინი უნდა მოიხსნას ქიმიური დამუშავებით. მაგალითად ხსნარებში, რომლებიც შეიცავენ წყალბადის პეროქსიდს

ზედაპირის გასუფთავება

საწყის ეტაპზე ფირფიტა უნდა გაცხელდეს გარკვეულ ტემპერატურამდე იმისათვის, რომ ზედაპირიდან მოხდეს ტენის მოცილება. ფირფიტები, რომლებიც დიდი ხნის განმავლობაში ინახებოდა საჭიროა მათი ქიმიური დამუშავება, რათა ზედაპირიდან მოიხსას ყოველგვარი დაბინძურება.

ფირფიტის მომზადება

ფირფიტაზე ეფინება ფოტორეზისტი ცენტიფუგის საშუალებით ფოტორეზისტი არის ბლანტი, თხევადი სითხე, რომელიც ეწვეთება მაღალი სიჩქარით მბრუნავ ფირფიტაზე და იშლება მთელ მის ზედაპირზე ერთგვაროვანი ფენის სახით.

ფოტორეზისტის გამოყენება

სურათი, რომელიც დაიხატება ფოტოშაბლონზე იქმნება კომპიუტერული პროგრამით. შემდეგ ეს სურათი მრავლდება და გადაიტანება კვარცის ფირფიტაზე, რომელიც დაფარულია ქრომით.

ფ ო ტ ო შ ა ბ ლ ო ნ ი

დამატებითი ფოტომასალა

2015.05.14

დ ა ს ა ს რ უ ლ ი