ルーツ流量計 - トキコシステムソリューションズ株式会社GS-F1301-01 ルーツ流量計 計量部標準仕様 作動原理 性能特性 (a) (b) (c) (d) 流入方向
RK-1200シリーズRK-1200シリーズ コフロック 社製...
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一 般 工 業 ガ ス 用 圧 力 調 整 器 Ⅰ 分 析 用 標 準 ガ ス ・ 理 科 学 機 器 用 圧 力 調 整 器 Ⅱ 半 導 体 用 特 殊 材 料 ガ ス 高 純 度 ・ 超 高 純 度 キ ャ リ ア ガ ス 用 圧 力 調 整 器 Ⅲ 一 般 工 業 ガ ス 供 給 設 備 ・ 機 器 Ⅳ 分 析 用 標 準 ガ ス 供 給 設 備 ・ 機 器 Ⅴ 大 臣 認 定 に つ い て Ⅶ 高 圧 ガ ス の 法 律 Ⅷ 参 考 資 料 Ⅸ 半 導 体 用 特 殊 材 料 ガ ス 高 純 度 ・ 超 高 純 度 キ ャ リ ア ガ ス 供 給 設 備 ・ 機 器 Ⅵ 136 Ⅱ フロート式流量計 C RK-1200 シリーズ コフロック㈱社製 装置組込用流量計（精密ニードル・バルブ付） 流量計, その他 フロート式流量計 1 最大流量 全長 【概要】 【外観寸法図】 【標準仕様】 【キャパシティーリスト】 Air（大気圧条件流量） 【ご注文方法】 ■記入例 【特長】 ●超微少の流量制御が可能です。 ●精密ニードルバルブ使用。 ●下部、上部2タイプのバルブ。 ●豊富なバリエーション。 【用途】 【AIR 60～100L/MIN】 ●機器組込み用に‥‥ ●分析、実験室の流量チェックに‥‥ ●半導体関連ガス機器に‥‥ ●バイオ産業ガス機器に‥‥ ●真空ライン制御に‥‥ 【カット寸法図】 本器は高精度フロート式流量計と、精密流量計制御のできるニードルバルブを 組み合わせた、高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計 測制御に最適の製品です。 5 m R/min ○ ― ― ― 1 R/min ○ ○ ○ ○ 10 m R/min ○ ○ ― ― 2 R/min ○ ○ ○ ○ 20 m R/min ○ ○ ― ― 3 R/min ○ ○ ○ ○ 30 m R/min ○ ○ ― ― 5 R/min ○ ○ ○ ○ 50 m R/min ○ ○ ○ ― 10 R/min ○ ○ ○ ○ 100 m R/min ○ ○ ○ ○ 15 R/min ○ ○ ○ ○ 150 m R/min ○ ○ ○ ○ 20 R/min ○ ○ ○ ○ 200 m R/min ○ ○ ○ ○ 30 R/min ○ ○ ○ ○ 300 m R/min ○ ○ ○ ○ 50 R/min ○ ○ ○ ○ 500 m R/min ○ ○ ○ ○ 100 R/min ― ○ ― ― 120mm 150mm 200mm 250mm 120mm 150mm 200mm 250mm SUS製 SUS316 バイトン オプション；フッソ樹脂 カルレッソ、パーフロ他 120℃ Rc1/4（標準） パイレックス パイレックス、SUS316 アクリル BS製 真鍮 NBR 70℃ ＊オプション；Rc1/8 φ6、8ホースニップル Air，N2，O2，H2，He， Ar，CO2 （実ガス校正） 他ガスは換算校正、実ガス校正別途ご相談 ＊オプション；2種流体目盛 0.5～5m R/minから10～100 R/min ＊オプション；0.5～3m R/min フルスケールの±2％以内（計測ポイント） ＊オプション；フルスケールの±1％以内 （計測ポイント） 100m R /min以下；1.0MPa 5 R /min以下；0.7MPa 10 R/min以下；0.5MPa 10：1 ＊オプション 20：1 最大流量 全長 RK-1200 RK-1200 12 SS 1/4 Air 2 R /min 0.2 MPa 0.1 MPa 12 15 20 25 SS B U D 1/4 1/8 6・8H 特殊 流 体 流 量 供 給 圧 力 出 口 圧 力 D 12…120mm 15…150mm 20…200mm 25…250mm ＊全長 Rc1/4メネジ（標準） Rc1/8メネジ（オプション） φ6、8ホースニップル（オプション） その他、特殊（オプション） ＊接続 SS…SUS316 B…真鍮 ブロック材質 U…上部（オプション） D…下部（標準） ＊ニードル弁位置 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ① ② ③ ⑧ 材 質 本体ブロック テーパー管 パッキン フロート 保護カバー 耐 温 度 接 続 口 流 体 名 流 量レンジ 精 度 耐 圧 有効目盛 25（30） E 20 4-M3 A B 17 C 30（35） 13 37 取付ナット 2-M17P1 2-Rc1/8 2-Rc1/4 前板 D 2-φ18 D 25（30） 20 4-φ4 φ17 B A 73 ※図は下部ニードルの場合です。 上部ニードルの場合、上下寸法が逆になります。 ※（ ）内は50L/MINの寸法です。 呼称に依る各部寸法 A B C D E 呼称 各部 12 80 86 120 100 15 110 116 150 130 20 160 166 200 180 25 210 216 250 230 160 166 200 180 36 H20 2L 29 （36） 29 （36） 31 （36） 31 （36） 20 30 4-φ4 φ17 116 110 3 2-φ18 130 130 20 30 150 110 116 20 20 36 37 35 13 パネル埋込取付 （前面カバー共締め） パネル表面取付 （付属ナットによる取付）
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一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ
136
Ⅱ フロート式流量計
C
RK-1200シリーズ コフロック㈱社製 装置組込用流量計（精密ニードル・バルブ付）
流量計, その他 フロート式流量計 1
最大流量全長
【概要】
【外観寸法図】
【標準仕様】
【キャパシティーリスト】 Air（大気圧条件流量）
【ご注文方法】
■記入例
【特長】 ●超微少の流量制御が可能です。
●精密ニードルバルブ使用。
●下部、上部2タイプのバルブ。
●豊富なバリエーション。
【用途】 【AIR 60～100L/MIN】 ●機器組込み用に‥‥
●分析、実験室の流量チェックに‥‥
●半導体関連ガス機器に‥‥
●バイオ産業ガス機器に‥‥
●真空ライン制御に‥‥
【カット寸法図】
本器は高精度フロート式流量計と、精密流量計制御のできるニードルバルブを組み合わせた、高級グレードのバルブ付フロート式流量計です。微少流量の計測制御に最適の製品です。
5mR/min○―――1
R/min○○○○
10mR/min○○――2
R/min○○○○
20mR/min○○――3
R/min○○○○
30mR/min○○――5
R/min○○○○
50mR/min○○○―10
R/min○○○○
100mR/min○○○○15
R/min○○○○
150mR/min○○○○20
R/min○○○○
200mR/min○○○○30
R/min○○○○
300mR/min○○○○50
R/min○○○○
500mR/min○○○○100
R/min―○――
120mm150mm200mm250mm
120mm150mm200mm250mm
SUS製
SUS316
バイトンオプション；フッソ樹脂カルレッソ、パーフロ他
120℃
Rc1/4（標準）
パイレックス
パイレックス、SUS316アクリル
BS製
真鍮
NBR
70℃＊オプション；Rc1/8φ6、8ホースニップル
Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（実ガス校正）他ガスは換算校正、実ガス校正別途ご相談＊オプション；2種流体目盛0.5～5mR/minから10～100R/min＊オプション；0.5～3mR/minフルスケールの±2％以内（計測ポイント）＊オプション；フルスケールの±1％以内 （計測ポイント）100mR/min以下；1.0MPa5R/min以下；0.7MPa10R/min以下；0.5MPa10：1 ＊オプション 20：1
最大流量全長
RK-1200
RK-1200 12 SS 1/4 Air 2R/min
0.2MPa
0.1MPa
12152025
SSB
UD
1/41/86・8H特殊
流 体
流 量
供給圧力
出口圧力
D
12…120mm15…150mm20…200mm25…250mm
＊全長
Rc1/4メネジ（標準）Rc1/8メネジ（オプション）φ6、8ホースニップル（オプション）その他、特殊（オプション）
＊接続
SS…SUS316B…真鍮
ブロック材質
U…上部（オプション）D…下部（標準）
＊ニードル弁位置
① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦
④ ⑤ ⑥ ⑦
⑧
① ② ③ ⑧
材 質
本体ブロックテーパー管
パ ッ キ ン
フ ロ ー ト保護カバー耐 温 度
接 続 口
流 体 名
流量レンジ
精 度
耐 圧
有 効 目 盛
25（30）E
20
4-M3
A B17
C
30（35）13
37
取付ナット
2-M17P1
2-Rc1/82-Rc1/4
前板
D 2-φ18
D
25（30）
20
4-φ4
φ17
B A73
※図は下部ニードルの場合です。 上部ニードルの場合、上下寸法が逆になります。※（ ）内は50L/MINの寸法です。
呼称に依る各部寸法
A B C D E
呼称 各部 12
8086120100
15 110116150130
20 160166200180
25 210216250230
16016620018036
H20 2L
29（36）
29（36）
31（36）
31（36）
20
30
4-φ4
φ17
116
110
3
2-φ18130
130
2030
150
110
116
2020
36
37 35 13
パネル埋込取付（前面カバー共締め）
パネル表面取付（付属ナットによる取付）
