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물리학과 첨단기술 MAY 2012 60 (주)파크시스템스 세계 최고의 초정밀 원자현미경, NX10 출시 ▲ AFM image. ▲ 세계 최고의 연구용 원자 현미경 NX10. 원자현미경을 기반으로 하는 나노계측 기술은 나노미터 수준의 물성 구조 및 성분을 계측하고 분석해내는 기술로 나 노기술의 발전을 주도하는 가장 중요한 기술이다. 신물질, 바이오, 의학진단 , 에너지, 친환경 기술 등 미래산업 발전의 원동력 및 근간이 되는 나노계측장비인 원자현미경은 수천만 배의 배율로 물질 의 원자단위까지 볼 수 있는 차세대 초정 밀 측정장비로서 물체의 형상을 나노(10 억 분의 1) 수준까지 볼 수 있다. 이 원자현미경의 최고 기술을 가지 고 나노계측산업의 선도적인 역할을 하 있는 회사가 바로 ()파크시스템스 (www.parkafm.com, 대표이사 박상일 ) 이다. 파크시스템스는 원자현미경 시스 템과 옵션, 소프트웨어를 포함하여 가능 한 최대 범위의 원자현미경 솔루션과 최상의 서비스를 제공하는 기업으로, 양한 어플리케이션에 대한 고객의 필요 와 요구에 맞도록 제작된 제품 라인이 돋보인다. 서울대 물리학과를 졸업하고 미국 스 탠퍼드 대학에서 박사학위를 받은 박상 일 대표는 원자현미경을 세계 최초로 개발한 스탠퍼드대 켈빈 퀘이트 교수의 연구실 출신으로 그곳에서 연구한 이론 을 바탕으로 제품을 상용화해 원자현미 경 분야에서 세계 최고의 자리에 올랐 . 파크시스템스는 국내 순수 원천기술 로 만든 혁신적인 제품 XE 시리즈를 통 해 세계 유명 기업 및 연구기관으로부 터 인정을 받으며 그 우수성이 세계적 으로 입증되었다. 그 동안의 축적된 기술과 노하우로 파크시스템스는 최근 새로운 제품라인 인 세계 최고의 초정밀 원자현미경, NX10을 선보였다. NX1028년간의 기술력과 연구 산업 분야에서 나노계측 사업을 선도하는 글로벌기업으로서의 명성을 기반으로 탄생되었으며 , 차세대 연구자들에게 합리적인 가격으로 최상 의 이미지 정확성 , 스캔속도, 팁 보존성 을 제공해준다. 박상일 대표는 우리의 독창적인 원자 현미경 기술은 산업 분야의 나노 계측 뿐 아니라 살아있는 세포 연구에도 가 장 적합하게 쓰일 수 있는 것으로 입증 됐다고 설명하며, “NX101989년 이 후 원자현미경을 상용화하면서 수많은 혁신을 거듭한 결과이며 많은 사람의 기대를 넘어설 제품 이라고 말했다. 시장이 커짐에 따라 고객의 요구도 다양해지는 만큼 시장의 요구에 부응하 는 더 좋은 제품을 만들기 위해 앞으로 도 꾸준히 노력할 것 이라는 각오도 밝 혔다.

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물리학과 첨단기술 MAY 201260

(주)파크시스템스 세계 최고의 초정밀 원자현미경, NX10 출시

▲ AFM image.

▲ 세계 최고의 연구용 원자 현미경 NX10.

원자 미경을 기반으로 하는 나노계측

기술은 나노미터 수 의 물성․구조

성분을 계측하고 분석해내는 기술로 나

노기술의 발 을 주도하는 가장 요한

기술이다. 신물질, 바이오, 의학진단, 신에 지, 친환경 기술 등 미래산업 발 의

원동력 근간이 되는 나노계측장비인

원자 미경은 수천만 배의 배율로 물질

의 원자단 까지 볼 수 있는 차세 정

측정장비로서 물체의 형상을 나노(10억 분의 1) 수 까지 볼 수 있다.이 원자 미경의 최고 기술을 가지

고 나노계측산업의 선도 인 역할을 하

고 있는 회사가 바로 (주) 크시스템스

(www.parkafm.com, 표이사 박상일)이다. 크시스템스는 원자 미경 시스

템과 옵션, 소 트웨어를 포함하여 가능

한 최 범 의 원자 미경 솔루션과

최상의 서비스를 제공하는 기업으로, 다양한 어 리 이션에 한 고객의 필요

와 요구에 맞도록 제작된 제품 라인이

돋보인다.서울 물리학과를 졸업하고 미국 스

탠퍼드 학에서 박사학 를 받은 박상

일 표는 원자 미경을 세계 최 로

개발한 스탠퍼드 빈 퀘이트 교수의

연구실 출신으로 그곳에서 연구한 이론

을 바탕으로 제품을 상용화해 원자 미

경 분야에서 세계 최고의 자리에 올랐

다. 크시스템스는 국내 순수 원천기술

로 만든 신 인 제품 XE 시리즈를 통

해 세계 유명 기업 연구기 으로부

터 인정을 받으며 그 우수성이 세계

으로 입증되었다.그 동안의 축 된 기술과 노하우로

크시스템스는 최근 새로운 제품라인

인 세계 최고의 정 원자 미경, NX10을 선보 다. NX10은 28년간의

기술력과 연구․산업 분야에서 나노계측

사업을 선도하는 로벌기업으로서의

명성을 기반으로 탄생되었으며, 차세

연구자들에게 합리 인 가격으로 최상

의 이미지 정확성, 스캔속도, 보존성

을 제공해 다.박상일 표는 “우리의 독창 인 원자

미경 기술은 산업 분야의 나노 계측

뿐 아니라 살아있는 세포 연구에도 가

장 합하게 쓰일 수 있는 것으로 입증

다”고 설명하며, “NX10은 1989년 이

후 원자 미경을 상용화하면서 수많은

신을 거듭한 결과이며 많은 사람의

기 를 넘어설 제품”이라고 말했다. 한 “시장이 커짐에 따라 고객의 요구도

다양해지는 만큼 시장의 요구에 부응하

는 더 좋은 제품을 만들기 해 앞으로

도 꾸 히 노력할 것”이라는 각오도 밝

혔다.

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물리학과 첨단기술 MAY 2012 61

▲ 2011 MRS Fall Meeting.

NX10은 산업에서 가장 앞선 Z서보

스피드, XYZ스캐 의 선형성, 클로우즈

드 루 디텍터(Closed loop detector)의 노이즈 감소, 최소화된 써멀 드리

트(thermal drift)를 특징으로 하는 세계

최고의 연구용 True Non-Contact(진정

한 비 모드) 원자 미경이다. 한

크시스템스의 NX10은 매우 사용성이

좋은 제품으로서 능숙한 유 는 물론

신규 유 도 편리하고 알기 쉽게 원자

미경을 사용할 수 있다.로벌 업․마 담당 유 국 상

무이사는 “NX10은 10년 신 인

XE시리즈 원자 미경을 출시한 이후 우

리가 오랫동안 기 해온 제품이다.”라고

하며 “우리가 보유한 최상의 노이즈

감소, 클로우즈드 루 기술로 결코 이

에는 도달할 수 없었던 원자 미경

측정 결과에 한 정확성을 얻게 되었

다.”고 말했다. “차세 연구자들이

연구비로 구비할 수 있을 만큼 합리

인 가격으로 제공한다”고 덧붙 다.NX10은 Z서보 스피드를 통해 가장

높은 정확성, 가장 빠른 스캔속도, 오랜

보존성을 가능하게 하는 크시스템

스만의 진정한 비 모드를 더욱 향

상시켰다. NX10의 진보된 XYZ 클로우

즈드 루 스캐닝은 크시스템스의 최

상의 노이즈 감소 Z 센서를 기반으로

한다. Z 스캐 의 실시간 구동을 모니터

함으로써, 고속 스캐닝을 진행하는 동안

에도 피에조 크립 는 에지 오버슛의

문제없이 진정한 샘 표면의 특징들을

기록한다. 한 진보된 클로우즈드 루

스캐닝 디자인으로, NX10은 빈번하고

복잡한 보정을 할 필요 없이 정확한 샘

토포그라피를 기록한다.NX10의 출시로, 크시스템스는 세

계 최고의 연구용 원자 미경을 선보이

게 다. NX10은 NX라인의 개발에 따

른 향후 제품들과 더불어, 범 한 원

자 미경 어 리 이션과 연구에 한

요구에 부합할 것이며, 정 하고 정확한

결과를 원하는 차세 연구자들을 한

유용한 장비가 될 것이다.나노분야는 기 연구 분야에서 응용

연구 분야로 그리고 산업분야와 의료분

야로 빠르게 넓 가고 있으며 이에 따

라 나노계측분야의 핵심 연구 장비인

원자 미경의 미래가 밝을 것으로 보인

다. 앞으로 원자 미경과 인 한 분석․

계측 장비 분야로도 진출할 것으로 계

획하는 크시스템스의 신 인 기술

과 시장선도성은 미래 사업의 핵심역량

이자 시장원동력이 될 것이다. 과감한

연구․개발과 투자, 세계 으로 인정받은

기술력과 시장성을 갖춘 크시스템스

는 나노계측산업을 선도하는 로벌 기

업으로 성장하고 있다.