本カタログに掲載した製品及び製品の技術（ソフトウェアを含む）は、「外国為替及び外国貿易法」等に定める規制貨物等（技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。

（ADV/2018-3/200）

108-6290 東京都港区港南2-15-3 品川インターシティC棟Tel (03) 6433-3977 FAX (03) 6433-3757 http://www.ave.nikon.co.jp/glass/index.htm

ガラス事業室

Glass.Sales@nikon.com

フッ化カルシウム単結晶（蛍石、CaF2)Nikon Calcium Fluoride

＊1

＊2

＊3

＊4

＊5

＊6

＊7

＊8

文献値

JOGIS09-1975

JOGIS10-1994

JOGIS07-2006

JOGIS06-1999

ISO 9689:1990

注釈

n2−1= ＋ ＋ ＋P1 λ2

λ2−Q1

P2 λ2

λ2−Q2

P3λ2

λ2−Q3

P4 λ2

λ2−Q4

Δnabs = D0ΔT D1ΔT 2n2−12n D2ΔT 3 E0ΔT E1ΔT 2

λ2−λ2tk

＋ ＋ ＋＋

デジタルソリューションズ事業部

■ NICF_J_P1-2

-

-

-

-

t

s

r

C

C'

He-Ne

D

d

e

F

F'

g

h

i

-

-

-

-

KrF

-

ArF

-

2.32542

1.97002

1.52958

1.0603

1.01398

0.85211

0.70652

0.65627

0.64385

0.63280

0.58929

0.58756

0.54608

0.48613

0.47999

0.43584

0.40466

0.36502

0.33415

0.31270

0.29673

0.2804

0.2484

0.19416

0.1934

0.18489

1.42211

1.42401

1.42613

1.42850

1.42879

1.43002

1.43166

1.43245

1.43267

1.43288

1.43380

1.43384

1.43492

1.43700

1.43726

1.43946

1.44148

1.44488

1.44848

1.45170

1.45463

1.45823

1.46786

1.50059

1.50133

1.51052

波長[µm] 屈折率

※各特性は代表値として記載しています。

nd 1.43384 νd 95.26

ne 1.43492 νe 94.72

測定条件：℃ 5.22 ：度温 % 05： 度湿

aPh 52.3101 ：圧気

P1

P2

P3

P4

Q1

Q2

Q3

Q4

5.81797965E-01

3.73232342E-01

8.36771960E-02

2.36293749E+00

2.47744200E-03

1.03202600E-02

1.03234730E-02

7.38225998E+02

分散式の定数 ＊7

Ps,t

PC,s

Pd,C

Pe,d

Pg,F

Pi,h

P's,t

P'C',s

P'd,C'

P'e,d

P'g,F'

P'i,h

0.2697

0.5332

0.3046

0.2388

0.5389

0.7465

0.2675

0.5769

0.2540

0.2368

0.4783

0.7404

部分分散比

℃

- 40 ~ -20

+20 ~ +40

+60 ~ +80

-10.6

-11.5

-12.1

-10.3

-11.2

-11.8

-9.8

-10.6

-11.2

1060.0 nm 546.23 nm 365.12 nm

絶対屈折率の温度係数Absolute Δn/ΔT [10-6/℃]

D0

D1

D2

- 3.16E-05

- 2.05E-08

9.02E-13

E0

E1

λ /µm

4.32E- 07

2.04E- 10

1.15E- 01

絶対屈折率の温度係数の関係式の定数　Absolute Δn/ΔT ＊8

F - C

F'- C'

0.004554

0.004592

部分分散

ΔP C,t

ΔP C,s

ΔP F,e

ΔP g,F

ΔP i,g

-0.1940

-0.0918

0.0183

0.0553

0.2642

異常分散性

光学的性質

劈開面

分子量

耐候性

CR(S)

表面法耐酸性

AR(S)

粉末法耐酸性

AR(P)

耐洗剤性

PR(S)

水に対する溶解度 (20 ℃)

誘電率 (27 ℃) ＊1

[Class] ＊4

[Class]

[Class] ＊5

[Class] ＊6

[g/l] ＊1

(111)

78.08

1

3

1

1

0.016

6.81

結晶構造 立方晶、蛍石型結晶

化学的・電気的性質

線熱膨張係数

熱伝導率(20℃)

融点

比熱容量

熱拡散率

α

λ

-

c

κ

℃)

℃)

℃)

+70

+25

+300

~

~

~

- 30

0

+20

(

(

(

[10-6 /℃]

[10-6 /℃]

[10-6 /℃]

[W/m・K]

[℃]

[J/g・K]

[10-7m2/sec ]

18.4

18.4

20.8

9.70

1360

0.893

35.60

熱的性質

ヤング率

ポアソン比

ヌープ硬さ

摩耗度

剛性率

圧縮弾性率

モース硬度

光弾性応力定数

(q11-q12) @193nm

[GPa]

[kgf/mm2]＊2

＊3

[GPa]

[GPa]

＊1

[10-12/Pa]

E

μ

HK

A

G

-

-

-

146<100>

101<110>

91<111>

0.21

164

301

34.6

83.8

4

1.77

機械的性質

比重 3.18

εr

F2

157 nm ArF

193 nm KrF

248 nm i線

365 nm g線

436 nm

NICF-VNICF-ANICF-UNICF-S

< 0.5

NICF-VNICF-ANICF-UNICF-S

< 1 < 1.5 < 2 < 3 < 4 < 5 < 10 < 40 指定なし

at 633 nm

均質性［ppm］

グレード

NICF-V

NICF-A

NICF-U

NICF-S

≧99.5（at 157 nm）≧99.8（at 193 nm）≧99.8（at 248 nm）

ー

内部透過率[%]試料厚さ：10mm

A

B

C

ー

レーザ耐久性

真空紫外領域、ArF （193 nm）ArF （193 nm）KrF （248 nm）

紫外領域　可視領域　赤外領域

推奨波長域歪

※ 面方位や各種特性の指定が可能です。※ φ30～φ260mm、t5～t35mm以外の寸法に関しては、各種特性は個別相談とさせていただきます。※ レーザ耐久性の表記は、当社グレード間で比較した際の目安であり、Vグレードが最も耐性があります。

2 - 20 nm/cm

ご要望に応じます

ー

ニコンのフッ化カルシウム単結晶　NICFシリーズ

NICFシリーズの優れた特徴 NICF-V, A, U の特性

NICF　透過率領域

光透過特性

NICF　屈折率均質性の対応可能範囲

グレード

レーザ耐久性超高純度原材料の選定と管理、結晶育成プロセスの最適化によりフッ化カルシウム中の不純物濃度を極限までに低減し、さらに高い結晶性を有することで、優れたレーザ耐久性を実現しました。

大口径化ニコンは、大型で高品質なフッ化カルシウム単結晶のリーディング･サプライヤーです。絶え間ない工程改善と結晶育成条件の最適化により、格子欠陥および構造欠陥を最小限に抑えた大口径フッ化カルシウム単結晶の育成を実現しました。

屈折率均質性独自の結晶育成技術と熱処理技術により、卓越した屈折率均質性を達成しています。

波長 ［nm］試料厚さ :10 mm

－真空紫外 - 紫外領域 －

内部透過率［

%］

100 150 200 250 3000

20

40

60

80

100

NICF-VNICF-ANICF-U

波長 ［nm］試料厚さ :10 mm

－真空紫外-可視-赤外領域 －

内部透過率［

%］

0 2000 4000 6000 8000 10000 12000

100

80

60

40

20

0

NICF-V,-A,-U,-S

■ NICF_J_P1-2

-

-

-

-

t

s

r

C

C'

He-Ne

D

d

e

F

F'

g

h

i

-

-

-

-

KrF

-

ArF

-

2.32542

1.97002

1.52958

1.0603

1.01398

0.85211

0.70652

0.65627

0.64385

0.63280

0.58929

0.58756

0.54608

0.48613

0.47999

0.43584

0.40466

0.36502

0.33415

0.31270

0.29673

0.2804

0.2484

0.19416

0.1934

0.18489

1.42211

1.42401

1.42613

1.42850

1.42879

1.43002

1.43166

1.43245

1.43267

1.43288

1.43380

1.43384

1.43492

1.43700

1.43726

1.43946

1.44148

1.44488

1.44848

1.45170

1.45463

1.45823

1.46786

1.50059

1.50133

1.51052

波長[µm] 屈折率

※各特性は代表値として記載しています。

nd 1.43384 νd 95.26

ne 1.43492 νe 94.72

測定条件：℃ 5.22 ： 度温 % 05 ： 度湿

aPh 52.3101 ： 圧気

P1

P2

P3

P4

Q1

Q2

Q3

Q4

5.81797965E-01

3.73232342E-01

8.36771960E-02

2.36293749E+00

2.47744200E-03

1.03202600E-02

1.03234730E-02

7.38225998E+02

分散式の定数 ＊7

Ps,t

PC,s

Pd,C

Pe,d

Pg,F

Pi,h

P's,t

P'C',s

P'd,C'

P'e,d

P'g,F'

P'i,h

0.2697

0.5332

0.3046

0.2388

0.5389

0.7465

0.2675

0.5769

0.2540

0.2368

0.4783

0.7404

部分分散比

℃

- 40 ~ - 20

+20 ~ +40

+60 ~ +80

-10.6

-11.5

-12.1

-10.3

-11.2

-11.8

-9.8

-10.6

-11.2

1060.0 nm 546.23 nm 365.12 nm

絶対屈折率の温度係数Absolute Δn/ΔT [10-6/℃]

D0

D1

D2

- 3.16E- 05

- 2.05E- 08

9.02E- 13

E0

E1

λ /µm

4.32E- 07

2.04E- 10

1.15E- 01

絶対屈折率の温度係数の関係式の定数　Absolute Δn/ΔT ＊8

F - C

F'- C'

0.004554

0.004592

部分分散

ΔP C,t

ΔP C,s

ΔP F,e

ΔP g,F

ΔP i,g

-0.1940

-0.0918

0.0183

0.0553

0.2642

異常分散性

光学的性質

劈開面

分子量

耐候性

CR(S)

表面法耐酸性

AR(S)

粉末法耐酸性

AR(P)

耐洗剤性

PR(S)

水に対する溶解度 (20 ℃)

誘電率 (27 ℃) ＊1

[Class] ＊4

[Class]

[Class] ＊5

[Class] ＊6

[g/l] ＊1

(111)

78.08

1

3

1

1

0.016

6.81

結晶構造 立方晶、蛍石型結晶

化学的・電気的性質

線熱膨張係数

熱伝導率(20℃)

融点

比熱容量

熱拡散率

α

λ

-

c

κ

℃)

℃)

℃)

+70

+25

+300

~

~

~

- 30

0

+20

(

(

(

[10-6 /℃]

[10-6 /℃]

[10-6 /℃]

[W/m・K]

[℃]

[J/g・K]

[10-7m2/sec ]

18.4

18.4

20.8

9.70

1360

0.893

35.60

熱的性質

ヤング率

ポアソン比

ヌープ硬さ

摩耗度

剛性率

圧縮弾性率

モース硬度

光弾性応力定数

(q11-q12) @193nm

[GPa]

[kgf/mm2]＊2

＊3

[GPa]

[GPa]

＊1

[10-12/Pa]

E

μ

HK

A

G

-

-

-

146<100>

101<110>

91<111>

0.21

164

301

34.6

83.8

4

1.77

機械的性質

比重 3.18

εr

F2

157 nm ArF

193 nm KrF

248 nm i線

365 nm g線

436 nm

NICF-VNICF-ANICF-UNICF-S

< 0.5

NICF-VNICF-ANICF-UNICF-S

< 1 < 1.5 < 2 < 3 < 4 < 5 < 10 < 40 指定なし

at 633 nm

均質性［ppm］

グレード

NICF-V

NICF-A

NICF-U

NICF-S

≧99.5（at 157 nm）≧99.8（at 193 nm）≧99.8（at 248 nm）

ー

内部透過率[%]試料厚さ：10mm

A

B

C

ー

レーザ耐久性

真空紫外領域、ArF （193 nm）ArF （193 nm）KrF （248 nm）

紫外領域　可視領域　赤外領域

推奨波長域歪

※ 面方位や各種特性の指定が可能です。※ φ30～φ260mm、t5～t35mm以外の寸法に関しては、各種特性は個別相談とさせて戴きます。※ レーザ耐久性の表記は、当社グレード間で比較した際の目安であり、Vグレードが最も耐性があります。

2 - 20 nm/cm

ご要望に応じます

ー

波長 ［nm］試料厚さ :10 mm

ニコンのフッ化カルシウム単結晶　NICFシリーズ

NICFシリーズの優れた特徴 NICF-V, A, U の特性

NICF　透過率領域

光透過特性　－真空紫外 - 紫外領域－

NICF　屈折率均質性の対応可能範囲

グレード

レーザ耐久性超高純度原材料の選定と管理、結晶育成プロセスの最適化によりフッ化カルシウム中の不純物濃度を極限までに低減し、さらに高い結晶性を有することで、優れたレーザ耐久性を実現しました。

大口径化ニコンは、大型で高品質なフッ化カルシウム単結晶のリーディング･サプライヤーです。絶え間ない工程改善と結晶育成条件の最適化により、格子欠陥および構造欠陥を最小限に抑えた大口径フッ化カルシウム単結晶の育成を実現しました。

屈折率均質性独自の結晶育成技術と熱処理技術により、卓越した屈折率均質性を達成しています。

内部透過率［

%］

100 150 200 250 3000

20

40

60

80

100

NICF-VNICF-ANICF-U

本カタログに掲載した製品及び製品の技術（ソフトウェアを含む）は、「外国為替及び外国貿易法」等に定める規制貨物等（技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。

2020-03

デジタルソリューションズ事業部108-6290 東京都港区港南2-15-3 品川インターシティC棟Tel （03） 6433-3978　FAX （03） 6433-3763https://digital-sol.nikon.com/

フッ化カルシウム単結晶（蛍石、CaF2)Nikon Calcium Fluoride

＊1

＊2

＊3

＊4

＊5

＊6

＊7

＊8

文献値

JOGIS09-1975

JOGIS10-1994

JOGIS07-2006

JOGIS06-1999

ISO 9689:1990

注釈

n2−1= ＋ ＋ ＋P1 λ2

λ2−Q1

P2 λ2

λ2−Q2

P3 λ2

λ2−Q3

P4 λ2

λ2−Q4

Δnabs = D0ΔT D1ΔT 2n2−12n D2ΔT 3 E0ΔT E1ΔT 2

λ2−λ2tk

＋ ＋ ＋＋

ご注意