Infrared and Raman Spectroscopy of Acceptors in Diamond: Boron Impurities
-
Upload
hyunjung-kim -
Category
Documents
-
view
212 -
download
0
Transcript of Infrared and Raman Spectroscopy of Acceptors in Diamond: Boron Impurities
����� ����� ��� �� ���� � �����
������� �������������� ��� ���� ��������� ��� ��!"� �
������� �� ���� � �������� � �� ���� ������ ������� ����� �� �������
�������� �� ��� � � ������� ��� �� �� ������� ��� �� �� ����� �����# �� ��� ����� ��
��� ������ ������ ����������� ������� �� ������ ���
��� �� �������� ���� ! ��" #$ ��%��� � !� ��"�� & '(���� ���
� � #��) �* +!��� �� +,�", ���$������ -�� ��*����� � �.��./'���� ���
$����%�# &�'�� �� �����
������������� ��'�� �������'� �� ���'�(�� �'��� ����'�� ����''��( ���� ))�� #��"��#� �� *� ���� "��+"�#� #��"��#� �,����� ���'����'����� -�"�� �'��������� �� ��� ���'�'�#� �'�(������( �� ������ ��� ��� ('���# ����� �' �� ��� ���'"�� �������# ������� ��� ����.�'��� ������'��'�� )� �##�+���� �� ��� ���'�'�# -�"�� ���� ��%��( �+�/� ���� ������� ��� ��� ��� � ������� �'�������� ��������'� �� �� ����'���� $�"�� ���� ��#�' ��� ��(� '�������� �� � 0��'�+1�2'�� ����'��'�"���'���� �� ��� �,������ � 3���+4��' �������(� ! ��"��'���� �� ��� ���'�'�# ��# $�"�� �����'� ����'��+#���# ����'� ��# � � #��"��#� ���*� ���+���'(� ������ �� ����' ��''�����#��( �����'���4�� ����'����� �,�'������ ��' ��� ������� �'��� ������� �� ��� ����'���� $�"�� ��� �� �� ��#���� �,��'�"����� #�#���# �'�" �� ����'��"��'���� �� ����������� �� ��� 5'����� ��"���������# ��� 6��� �����' ������ ������� '���'#�# �� ��� ��"� �,��'�"���� ���# ��� �������' ������+�'������ 4�� 7��"�� ������ �� �� �,������ ��� �'�#����# ��(�� ��"������� ��# ��� ���' �'���������*����� ��� �� "������� ! ����'� ��'"����# �� ��'"� �� ��� �'�������# ��� "��� ������'����,����� ��� ����'%�# �%� �'#�'��(� ���'�6������ �� ��� 7��"�� ��"�������� ��# ��� ��(� ��#"�(����#� �� ��� �+�����'� �� ��� ���� 5���#�� ����( �� ����� ���������� ����'���� �����'������ ���������'� ��# #���'� �� ��(�������� �� ���'����'�6��( #��"��# �� � "���'�� ��' ���# ����� ����'�+�����
�� �����������
)�� �'(� ���#(��� ��(� ����'�� ��# ��� "�������� 8�9 �� *� �� ��� �,�������� ���'+"� ���#����%��� 8�9 "�/� #��"��# %�'� ���'����%� ��' ��(� ��"��'���'� ���# ����� ���+�'����� 8 9� )� ���� �����,� ��� ('�*�� �� #��"��# �� ��� ��(�+�'����'�.��(�+��"��'�+��'� :1:4� 8;9 ��# ���"��� %���' #��������� �<=� 8 � >9 �'� "��������� ��� �����* �'�#��� ���������� ����'��# �����0
� �0 �� � 0 � �� ����'������� #��"��#*��� �<=� ��# ����( ��� "���'�� ���� �'�#���#� ('�* ���(� �'����� *��� :1:4� �'���'�" ������ #������ �' ���"��� �"��'����� ��# �� �������� ��"�������� '�������( ���� ����� �<= ('�*� "���'��� )� #���'� �' �������'� �'� ���� #����'���� ���'�#���# �������� �'����� �� ����'��# �������'������ #�'��( ('�*��� #��"��# *� �� � ��(����������"����#����' ��' ��(� ��*�' ���'������!� �� �� ��# ?�� ('��� ))) ��# < ������������� �"��'����� �'� �,�����# �� ����%� ��
����* �������'� ��# #���'� �� #��"��# 8�9� )� �� ����'�����( �� ���� ���� ��� :������� ��# '������%��� "����'�"���� ��'��'"�# �� ��� �,�'�"�� '�'� �+���� ����'������''��( #��"��#� 8�9� ��� ��+���# ���'�(��+�'�� ���� ))� �����"���� �� � �������� ����"��'���'� ���#�# �"�'����%� ��� "�������� ��# ��� �������' ����6����� ���'(� 8@�
�������� �� �� ��� )$ ��# $�"�� �����'������ �� !������'� �� =��"��# �
��9� )� *�� ���������# ���� ��� �������' �� ����'�� ����''��( ���� ))� �����"��� �� ���('��� ))) ��'�� 8�� �� � 9� 5�'�� ��� ����� ���� ����'��'���# ���� "��+"�#� #��+"��#� �� *� 8� � �;9� 5�'�� �������'������ � ���> �"� ���'����'�6� ��� ����'� ��+��''��( ���� ))� �����"���� *��� �� �<= #��"��#� �������'������ �� ��(� �� ���� �"�
��� �� ���'�#���# 8� 9� A��� �+���� #����( ��#�' ����'�� ��� B���� ��' �+���� #����(��� ��* ��(�� �� ��'���� 8�>9�4�� �'����� ����' �������� �� ��� -�"�� �����'� �� ������������� ��'�� �������'� ��
#��"��#� �,��'�# *��� 0��'��' 4'�����'" )��'�'�# 04)$� ��# $�"�� �����'������� ���+�'���# *��� �,��'�"���� '����� �'�" ��� '����� ��%����(������ �� ��� �����'� 8�� �� ��9�
�� ���������� ����������� �� ���� �������� ������ ������ !������������
!� �� *� /��*�� � ������������� ('��� ))) ��'��� '������( � ('��� )< ���� ���" ���� ��"���� ��"����#����'� �� �� �������' *��� � ��� ����# �� �� �� ����������� �*��"��'���'��� )� ��� �������%� "��� ����'� �&4� 8� 9 ����#��( ����.�'��� ������������� ������ �'� ���������# *��� ��� � ���
�� � ��# �����
�� � %����� ���# "�,�"� �����#
�� ��� 6��� �����'� 4�� *�%� ��������� �� ��� ����# ������ �'� �'�#���� �� ��#'�(������%���� ��������� ��# 5��� ��������� ���'����'����� �� ��� %����� ���# "�,�"������������ *��� ��� 4# ��""��'� �� ��� ������������� �������'� ��� ����# ������ �'����'����'�6�# �� �>� ��� �' �� ��""��'�� 4�� ��� ��� ��# ������� ('���# ������ ��%��� ��# �� ��""��'�� '�������%��� 4�� ���#��( ���'(��� �� ��� �+�/� ��# �+�/� �������'� #���'"���# �� ��� �������%� "��� ��'�"���'�� �' �B��%����� �� ��� -�����(�' ��'�"+���'� 8�;9� ��# ��� #�����'�� �������� �� ��� ����� )� �##������ ��� ����# ������ "�(���,��'����� ������ �'�(������( �� ��� #���'��'�� �'�" �&4� ����� ��� ��+���# 11 ���� 2 ��� ����� 8� � � 9�4�� ����.�'��� �������( �� ��� %����� ���# �� #��"��#� ����� ��� ���'(� ����'������
�� ���*��� ��� � ����� � ��# ��� �����
�� � %����� ���# "�,�"�� ��� ���� #�#���# ��
$���� 8�>9 �� ��� ����� �� �����'�� '�������� �� ����� :�� "����'�"���� ���#�#� > "�< *��'��� A���6�� �� �� 8��9 �������# � %��� �� � � "�<� 4�� ��''�+����#��( ����+�'��� �������( �� ��� �� ('���# ������� ��� ���# ��� �� ��� ��"� �� ���*��� -���'� ��# 5�#�'����� ��' �������'� �� �� 8��9� '������ ��''��� �� �� 8�@9 ��%��������# �� �@ "�< ��' ��'�� �������'� �� #��"��#�
"� #���� ����������� �� �$� �������
)� 0�(� �� ��� ����'����� �����'�" �� � ����'� ���� ))� ��# �� � ���� ))� #��"��#�'���'#�# �� C� �'� ��"��'�# �� ��� �����'� '��(� ���� �� >��� �"��� A��� �������'� #����� ��� ��"� "���+������ �����'�� �� ��� '��(� ���� �� � �� �"��� ��� ����))� �����"�� �,������ �%�' �*����+��(�� #������� ��# ���'� �,�������� ���� �� %�'���(���*�#���� 4���� ���� ���������� ��� -�"�� �����'�" �� ��� ������������� ��'�� �����+��'� �� #��"��# 8��9� 4�� ����� ���*� ��� ��"��'���� ���*��� � ����'� ��# � � � ����))� #��"��# �� ��� '��(� �� ��� ���'� �,�������� ����� 4�� �����'� �'� '�"�'/��� ������' �,��� ��''�����#���� �%�� �� ��� "������� #����� 0�'���'� ���� �,����� � ���B�������'�� ��� ��''�����#��( ���� �� ��� � � #��"��# �'� �!�*�" �� !��!� ����� ���� ������ �%�,���) )� ����'���� ��� "���+������ �����'�� �� ��� � � #��"��# �'�������# �� �3� ���'(��� *��� '������ �� ����� �� ��� ����'� #��"��# �� �� �� �� �,+
� �������� �� �� ��
�����# �'�" ��� %�'��� �'���� ���'�,�"����� <�!� �����( ����'#��( �� ��� ��%�'���B��'� '��� �� ��� �%�'�(� �������� "��� �� ��'���� ����� �4������ 4�� ���+���'(� �� ��������� �'����( �'�" ����'��.������ ������(� �� #�������# �� ����� �� �� 8 �9 �� ������� �� ��� ��#�'��� (��� �����'� �� ����' � "��'������� ����'�'������� ��' ��� ����'%�+������
%� #���� ����������� �� �$� ���� ������
! �'�������� *���� �����'� �� ��� ���'�'�# �� ��*�# �� ��� ����'�� #���� ��������'�� "�� �' "�� ��� "������� ����� �� ��� $�"�� �����'�" '�B��'��( � ���+%�������(���'�6������� )�#��#� �� � �����" *��� � �����' �� ��%�'���� �� ��� ����� ('��� ��""�+�'�� ��� '�� �� "���� �,������ ������ ���� � (�%�� �'�������� ��� �� ����'%�# �����' ����� ���'�'�# �' �� ��� $�"�� ������ ��� ��� �� ����� 4� ��� �,���� ��� ����# ������ ���� �������' �� �&4 �'� �,���#�#� ��� ��%�'���� ��""��'� �� ��� �'�/�� ��# ����#������ �������� �� �� �� DD�%��E �' DD�##E ��'���� �� ���� � ����� ��� �� � �� �'���������*� �����' �� ��� ���'�'�# ��� �� ��'��##�� �� ��� $�"�� ������� ���%�'���� ��� �'����+����� ���*��� �%�� ��'��� ������ *� �� ����'%�# �� ��� $�"�� ������ ��� ��� �� ������'�'�#� ���� �������� '��� *� ��� �� ��'��� �� ��� �,���� ��� ('���# ��# �,����#������ �'� ��� �������%� "���+�/�� ��*�%�'� 4# ���� ��""��'� "��� �*��� �'�%��� )���� �����,� �� ����� �����#�'������� *� �,��'�# ��� $�"�� �����'�" �� ��'��+#���#
)$ ��# $�"�� �����'������ �� !������'� �� =��"��#� 5�'�� )"��'�����
0�(� �� 4�� ����'����� �����'�" �� � ����'� ���� ))� ��# � ����'� ���� ))� #��"��#� ��� ����'���*��( ��� -�"�� �'��������� �� ��� ��'�� �������'� 4�� ����� ���*� ��� -�"�� �����'�" ����'�� �������'� �� � ����'� ��# � � � ���� ))� #��"��# $���� 8��� �@9�
#��"��# �� ��� '��(� �,���#��( �'�" � �� �� �"�� ��# ������#�# �� ����'%��( ������ ��� � ������� �'�������� *��� � $�"�� ����� �� �� �>�� �"�� �>�� �"��� ��' �����'� � �� ���� ))� #��"��# �� �� C� 4�� $�"�� �'��� �������� ��' �'��������� ����(��' ���( �%�� ��'��� ������ �� ��(��������� '�#���# ��# ���� �'��������� ������ ����'+%����� 8�@9� 4�� ���� �� ��� �� ��� �� � �����'�" '���'#�# *��� ���� ))� �����"�����'���' �����'"� ��� ����������� �� �� *��� ��'�� �������'��0�(�'� � #������ ��� $�"�� �����'�" �� � ����'� ���� ))� #��"��#� �� *���� ��� ��
����'���� �'��������� ��� 5'����� ��"������� ���������# *��� ��� �'���%�'�� ��������4!� ��# ��(���#��� �������� -!� ��( *�%���(�� ������ %��'������ ��# ��� 6��������' $�"��+����%�� ���'�'�# ��'��##�� ������ ������ ���� 8�@9 �'� ���'� ����� )� ��'���'#�# �� ��� '�(��+��(� ������'��( (��"��'�� 0��55� 50�� ��� �� �� C *��'� 0� � ���� ��� � ����� ��# 5 � ���� � 4��� ��� ������'��( (��"��'� ������ ��� ������ *�%� %����' ���� ���( ����� � (���'����( ��� 4! ��# -! 5'����� ��"�������� 0'�" �� ����'��"��'+���� �� ��� ��������� �� �� ��# ���� �� ��� *� #�#��� ��� �������' �������'����� �� ��� �;��� ��>� � ���> �"� � 4�� $�"�� �'���+�������� ��' ��� -! ��# 4! 5'�������"������� ��# �� �'� (�%�� �� $��� 8�@9� ! #�����# ���#� �� ��� ��"��'���'� #����#+���� ��# ���'�6����� ������� �� � %�'���� �� ������'��( (��"��'��� ��� �����'" ����'�(�� �� ��� �� ��� �� ��� ��� ��� ��� � ������� ��� $�"�� �'��������� 4�� �'�(�� ����� ����� �� �� �'�" �>�� �"�� ���� "�<� �� ����'� #��"��# �� �>�� �"�� ���� "�<��� � � #��"��# �� �(��� �� �� ���(�� �� ���+���'(� ��������$������ *� '���'��# 8��9 ���� ��� �� ���� *��� �,�"���# ��#�' ��� ��(� '��������
�� � 0��'�+1�2'�� ����'��'�"���'� '�%��� � #����� ����'���# �� ������ ��� � �"��� ��+#�����%� �� � ����������� ��""��'� �'��/��( �� ��� ���'��# #�(���'��� ('���# ������4��� ��� �� ���� �'�" � ��"��'���� �� �� �� 0�(� �� '���'#�# *��� � #���� ('����(�����'�"���'� ��# ���� �� 0�(� �� '���'#�# *��� � ���#�" 0��'�+1�2 '�� ����'��'�"���'�
; �������� �� �� ��
0�(� �� 5'����� ��"������� 4! ��# -!�� ��� $�"�� ��� �� ��� ��� ��� � �������� ��# �� ������ 6��� �����' ������ ������ �'�B������ '���'#�# �� ��� '�(�� ��(� ������'��( (��"��'�0��55� 50�� �� $���� 8��� �@9�
4�� #�'��� �'�������� ���*��� ��� �%�� ���� *���� ��� ��� ��� '���%��� *��� � $�"������� �� ����� ���;� �"��� �'�%�#�� � '�"�'/��� �����'"����� �� ��� ��""��'� �*�'+��( �'����( �'�" � ������ 3���+4��' #����'�����
&� �'������ (�����)������ �$� *����� ������ �� ��
�����'������� "����'�"���� *��� �����"��� ��������# �� �,��'�� ����,�� ��'��� ��#"�(����� ���#� ����� ���6�+�����'������ ��# 7��"�� �����'������ 8�9 ���# ��� ���� ��"+"��'� �� ��� �������' �� *� �� #�(���'������ #���'"����� �������� ���������� ��# �+�����'� ���'����'�6��( ��� ����# ������� ����� ��� ������ ����� �� ��� �� �'�������� �� �����#�' �� �'���'�'� ����,�� ��'��� �� �,��'������ � ����� ��# � �������( ���� � #�����*��'��� ��� �� ���� ����� "�'�� ������� ���� '�������( ����' C'�"�'�F #�(���'���� 4������ �� ��� ��� ��� �,����� � #����� 8�9� 1'��"���'� �,��'�"���� ��#��# �����'� �����'�#�������G�#�' �� �,��'�� �����# "�(����� ���# ��� ��� ��� ��� ����� ���� 4 H I�� �I�� ��I
�� � I� 7��"�� ����%�� *��'��� ������� ��� #���"����� ���� % H �I�� ��I� ����%���)� ��� �� ���*� 8��� ��9 ���' $�"�� ��*�# �'��������� ��� �� �,�����# ��''�����#��(�� � %�4 �� �� ��# ������' ���' �����'"��( �� � ��� )� �##������ ���' $�+"�� ���� ���'���# �� �'��������� ���*��� ��� 7��"�� ����%�� �� �� $�"��+����'��+��'�"�(����� '��������� $�"��+�1$� �'� �,�����#� ���� �,��'�"���� ��%� ���� ��'+'��# ��� ��' � ���( 8���9� 8���9� �' 8���9� �"�����( � %�'���� �� ������'��( (��"��'����
)$ ��# $�"�� �����'������ �� !������'� �� =��"��#� 5�'�� )"��'�����
0�(� � �� 4�� $�"�� ��� �� �� �� ��� 0��55� 50�� �� (��"��'� '���'#�# *��� � ('����( #����"�����'�"���' �� 6 C ��# 6�'� "�(����� ���# 7�� �� 4�� �� ��� �� ��� 5����� � ��5� 0� (��+"��'� �� 6 C ��# 6�'� "�(����� ���# '���'#�# *��� � ���#�" 0��'�+1�2'�� ����'��'�"���'� 4����(� '�������� ���*� ��� 3���+4��' �������( �� �� $��� 8��9�� �� 4�� 7��"�� �������( �� �� �� 5H > 4 �� ��� 0��50� � 5��� 5 ������'��( (��"��'�� 5 �� ���� � 0� �� ���� � ��# �� �� ���� � 4�� ���' 7��"����"������� '���'#�# *��� � ��=+����# �'��� ('����( �����'�"���' ��''�����# ��� %�4 �� �'��������� $���� 8��� ��9�
4�� ���' � ��� 7��"�� ��"������� �� �� ��' ��� 0��50� � 5��� 5 ������'��( (��"��'���# � H > 4� '���'#�# *��� � ��=+����# �'��� ('����( �����'�"���'� �'� #������# ��0�(� �� 4�� ����'%����� �� ��� $�"��+�1$ ���� '�B��'�� ��� ��(�+'��������.��(�+�����'��� �� � 0��'�+1�2'�� ����'��'�"���'� 0��' $�"��+�1$ �'��������� �'� �,�����#��� ��# �� ��' �4 �� ��# ��� ��# ��� ��' �4 �� � ��' ���/�� ��# J ��' ����+���/���� )� 0�(� ;�� �� ��# �� �� *� �� 4! ��# -! �'� ���*� ��' � H > 4� ���������'��( (��"��'� ����( ��00� 0�� 5 *��'��� �� 0�(� ;�� ��50� 5�� 5� ��� ��# ���
�����' ���( *��� 4! ��# -!� :�'� 0� �� ��# 5 �'� ��� ����� �,���! ��"�'������%� ���#� �� ��� 7��"�� ������ �� �� ��� '�����# �� � ��"���� %�'���+
������ �� ��� $�"�� �������� '��� ��# �# �� � ���B�� �%� �'#�'��( �� ��� 7��"������%�� �� �� ��# ��� �' �B��%����� �� ��� ��(�� ��# "�(����#�� �� �� ��# ��� ����'���� ��# ���� �+�����'� �� ��� �������'+����# ���� ��# ���� ��� ��� ����� ��� �,+�'�"� "��� ������'��� �� ��� %����� ���# �� '������# �� ��� '����%� ����������� �� ���7��"�� ��"��������
+� !�������, ����-�
0'�" ��� '����� ��# #���������� �� ��� ���'�'�# ��# $�"�� �����'������ �� ��'���������'� �� #��"��# �'������# �� ���� '�%��*� �� �� ���' ���� "��� ��� �� ��'�� �����
> �������� �� �� ��
0�(� ;� �� 4�� $�"��+�1$ ���� �� ��#�� �4 ���� 4! ��# -! 5'�������"������� '���'#�# *��� � ���#�"0��'�+1�2'�� ����'��'�"���' �� ��� '�(����(� ������'��( (��"��'� ��00� 0�� 5��# 7 > 4� �� 4�� $�"��+�1$ ������� ��# ��� �4 ���� 4! ��# -! ����50� 5�� 5 ������'��( (��"��'� ��#7 ; 4� :�'� 0 �� ���� � � �� ���� � ��#5 �� ����
��� ���� ��""��'� �� ��� �"��'��� ��# �� ��� ���# �,�'�"�" *��� *���� ��� ����#������ �'� ���������#� ��(�� ��� ����.�'��� �������( �� ��� �� ('���# ����� �� ��� �������'��# ��� "��� ������'��� �� ��� %����� ���# �� '������# �� ��� -�����(�' ��'�"���'�� !�� �����'������� ���'����'�6����� ����#��( ��������#����%��� �� ��%����� ��#�������+�� �� ��������( #��"��# �� � "���'�� ��' ���# ����� ����'������ 0�'���' ���#��� �� ��������'� �'� ����# �� ��� �� �"��'���� '�� �� �#��������( #���'� ��# �� #��������(����' ����'���� ������� )� �� �,�����# ����� �� �� ��� ���� �� ����* #���'� �� �� ��# ?����� ����'���� ������ �� #���'+����# ����'��� �� #��"��# *� �,����� � "���+%���#�(���'��� �'�(������( �� ��� ����''���� �� ��� ���#������ ���# "���"� �*�� �'�" ���6��� �����'� )� #��"��# �� �� �� ��� ���#������ ���# "���"� ����' �� �+������ �� ���5'����� 6���� ����� ������� '�����( �� "��� ������'��� ��# ��� DD���"���E �������(#�� �� DD����'� ��E ��''������� �'� ������ �� �����#�'��� ����'��� 8�9� 4�� '����� ���+���� �� ��� ����'��'����� �� 1 #���'� �� #��"��# �� �'�"����( �� ���� �����,� 8�>9� -������� ��� ����� �����'������ ��#�' ��'��'������ ��������� �� �� ��%����� ��' ��� ��+��(��� �� �'�%�#�� �� ����'���# *��� ��� "�(����+�����'������ �� ��� �� $�"�� ��� ����'�� �������'� #�������# �� ���� '�%��*�
������������� 4�� �����'� ��/��*�#(� �����'� �'�" ��� K������ �������0���#����� ?'��� K�� =&$ @�+��� �� �� 1�'#�� ��# �'�" ��� G��� =���'�"��� �����'(�� 5�� &���'�� �������� ?'��� K�� A+ �+��@+�K?+ �� �� !'(���� K������-���'���'��
���������
8�9 �� �� ����� �#��� 4�� 1'���'���� �� K���'� ��# ��������� =��"��#� !��#�"�� 1'���� ���=��(� �@@�� ���� �� ��'�����'� ��� !����#�, �� 3� �� 0��#� ��� >>@ ��# >� ��
8�9 �� �� �������� � �� !������� � �� �� �������� � "� ��� #� �� ���� �� "� ������ ��# �� �# �� � 1���� $�%� 5 %�� ���; �@@���"� ��� #� �� ���� �� "� ������ �� �� �������� ��# � �� !������� � 1���� $�%� -���� ./� �>; �@@ ��
8 9 �� $� ����� ��# $� $� ������ ������� �%�� @� �@������ �� $������� ��"����#� ���� 4������ %� >� �@�@���� ���%��� <����" ��������� 3��I!�(���� �� �@@@��
8;9 �� #� !����� �� �� ����� �� � �� ���� ��# �� � ���� &� K���'� �.+� � �@ ��8 9 � �� �'� ����� G��� 1����� K�� � ���� ��# � ���� �@>���8>9 !� (� )� ������� )� (� �������'� (� � "�%���'���� !� (� �*������ (� �� ���+�'� ��# �� (�"�' �����'� 3� �'���� ?'�*�� �� �� �@>���
8�9 �� �� ����� ��# �� ��� ������ $��� 1'�('� 1���� %%� ��@� �@����8�9 �� �� $���� �� 1������ !"���'#�"� ��� ;�@ �@ ��� �/� �� �@ ;��8@9 ,� �� ������ ��# �� ��&�� 1'��� 1���� ���� -��#��� 5 +0� �@ �@ >��8��9 #� �� ���*���� 1'��� 1���� ���� -��#��� 5 ./� ��� �@ ���8��9 �� �� $������ ��# �� � �� ������� 3� 1���� � %� ���@ �@����8��9 �� � $� ��%�� 1���� $�%� 5 .� ; >� �@� ��8� 9 �� $� "�����-�� � ��# �� �� $������� 3� 1���� = 0� @ � �@�>��8�;9 �� �� ������� ��# � �� !������� � =��"��#� $���� &���'� �� ��� �@@���8� 9 �� � �-���� �� !� ���� ���� ��# �� $� ������ &���'� $��� ���� 5�� �"� > �@@���8�>9 �� ��� ��������� �� ����%�� �� ���� � ��# �� ������� 1���� $�%� 5 &0� ��@�; �@@@��8��9 �������� ��� �� �� ������ �� ��� ������ ��# �� �� �������� ���# ����� ��""��� �/��
�>� �@@���8��9 �������� ��� �� (����������� �� �� ������ �� ��� ������ � � �������� ��# �� �� ��.
������ 1���� $�%� -���� .0� ���> �@@���8�@9 �������� ��� �� (����������� �� �� ������ �� ��� ������ � � �������� ��# �� �� ��.
������ 1���� $�%� 5 &.� � � �@@���
)$ ��# $�"�� �����'������ �� !������'� �� =��"��#� 5�'�� )"��'����� �
8��9 �������� ��� �� �� ������ �� ��� ������ � � �������� ��# �� �� �������� 1���� $�%�-���� �"� � ; �@@@��
8��9 �������� ��� �� �� ������ �� ��� ������ � � �������� ��# �� �� �������� 1���� $�%�-���� �"� ;�;� �@@@��
8��9 �������� ��� /� !� ����'��� �� �� ������ �� ��� ������ � � �������� ��# �� �� �����������������#�
8� 9 � ����� ��� ���# ����� 1������� <�� � �#�� �� ����� ��# )� �� �+���� !��#�"�� 1'���� K�*L�'/ �@ � �� � ���
8�;9 �� � "������� � 1���� $�%� �/�� �� � �@ >��8� 9 �� �� #���������� $�%� &�#� 1���� &/� �@� �@����8�>9 $� �� ������ 1���� $�%� -���� .� � �@>��� 4�� 1������ �� ��"����#����'�� 4�� )�������� ��
1������ ��# 1������ �������� -��#�� �@>� �� ��>��8��9 � ��������� � $� ����� ��# 0� �� $� ��������� 1���� $�%� 5 &/� ��� ; �@@;��8��9 0� 1� "�*� � ��# �� !���� ������ ���# ����� ��""��� �&� >> �@����8�@9 �� �� ���� � $� ����� ��# �� ��&� ���# ����� ��""��� ��"� ;�� ������8 �9 �� �� $������� �� $� "�-���� �� )�'���� ��# �� ������ 1���� $�%� -���� +&� �@� �@@���
� �������� �� �� ��� )$ ��# $�"�� �����'������ �� !������'� �� =��"��#