メカニカルブースターポンプ【PRCシリーズ】 -...
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メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、 粗引ポンプの排気速度が低下する 10kPa ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニ カルブースターポンプです。オプションで大気圧駆動型も選べます。 PRC-012A メカニカルブースターポンプ【PRC シリーズ】 オイルフリー ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸 気に対しても安定した性能が得られます。 キャンドモータ採用 キャンドモータを採用することで、大気／真空のメカニカル シールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリー ンな環境でご使用いただけます。 耐腐食性に優れた表面処理 主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施 しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面 処理無も用意しています。 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ） 粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間 が短縮できます。 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 分析機器、リークテスト装置 ガス置換、充填、真空断熱 熱処理炉、溶解炉 その他各種真空装置 排気速度曲線 用 途 特 長 10 -1 10 2 10 3 10 4 10 5 [Pa] 1 10 PRC-018A 50Hz PRC-018A 60Hz PRC-012A 60Hz PRC-012A 50Hz Pumping Speed PRC-012A/PRC-018A PRC-003A/PRC-006A 2000 1800 1600 1400 1200 1000 800 600 400 200 0 0 10000 12000 14000 16000 18000 20000 22000 24000 26000 28000 30000 32000 8000 6000 4000 2000 [m 3 /h] [L/min] PRC-012A (50Hz) VS1501 (50Hz) PRC-012A (60Hz) VS1501 (60Hz) PRC-018A (50Hz) VS2401 (50Hz) PRC-018A (60Hz) VS2401 (60Hz) Pressure 10 -1 10 2 10 3 10 4 10 5 [Pa] 1 10 Pressure Pumping Speed [m 3 /h] [L/min] PRC-006A 60Hz PRC-006A 50Hz PRC-003A 60Hz PRC-003A 50Hz PRC-003A (50Hz) VD601 (50Hz) PRC-003A (60Hz) VD601 (60Hz) PRC-006A (50Hz) VD901 (50Hz) PRC-006A (60Hz) VD901 (60Hz) 600 500 400 300 200 100 0 0 10000 8000 6000 4000 2000 低真空ポンプ 低真空 ポンプ
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メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する 10kPa ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。オプションで大気圧駆動型も選べます。
PRC-012A
メカニカルブースターポンプ【PRC シリーズ】
オイルフリー ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。 キャンドモータ採用
キャンドモータを採用することで、大気／真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。 耐腐食性に優れた表面処理
主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ）
粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。
蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 分析機器、リークテスト装置 ガス置換、充填、真空断熱 熱処理炉、溶解炉 その他各種真空装置
排気速度曲線
用 途
特 長
10-1 102 103 104 105[Pa]1 10
PRC-018A 50Hz
PRC-018A 60Hz
PRC-012A 60Hz
PRC-012A 50Hz
Pum
ping
Spe
ed
PRC-012A/PRC-018A
PRC-003A/PRC-006A
2000
1800
1600
1400
1200
1000
800
600
400
200
00
100001200014000160001800020000220002400026000280003000032000
8000600040002000
[m3/h][L/min]
PRC-012A (50Hz)VS1501 (50Hz)PRC-012A (60Hz)VS1501 (60Hz)PRC-018A (50Hz)VS2401 (50Hz)PRC-018A (60Hz)VS2401 (60Hz)
Pressure
10-1 102 103 104 105[Pa]1 10Pressure
Pum
ping
Spe
ed
[m3/h][L/min]
PRC-006A 60Hz
PRC-006A 50Hz
PRC-003A 60Hz
PRC-003A 50Hz
PRC-003A (50Hz)VD601 (50Hz)PRC-003A (60Hz)VD601 (60Hz)PRC-006A (50Hz)VD901 (50Hz)PRC-006A (60Hz)VD901 (60Hz)
600
500
400
300
200
100
00
10000
8000
6000
4000
2000
低真
空ポ
ンプ
低真空ポンプ
国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
お問い合わせ
www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部
1329N/2013106000TL
冷却水入口 Rc3/8冷却水入口 Rc3/8301
369
185 115330
(86) 575 181
400 175
218
485 275
360540759(152)
140 140 140
(20) 406203188
112
203
170320
196296
155 141356(5.6)
178
130250 110400
冷却水入口 Rc3/8535 269
140 140170
320
620 370
460735
989
235
313
212
114
138
66
150
406203 203
208 10220 155
188112
4293 118
155
155
185 34
0
618.5
212.5406
338 179166
198(121)
130300
178
25120120
270
4-φ12
4-φ15
4-φ14
4-φ15
163
86
81
81
114
4293 118
155
185 34
0155φ27
3
212
24 3295 12
014
514
517
5 320
77 260
94 115
115
113
14597
（対面）
（対面）
124.
5
97
（対面）
112
151
モータ制御機器（オプション）
モータ制御機器（オプション）
モータ制御機器（オプション）
給油口 G3/8
給油口 G3/8
給油口 G3/8
給油口 G3/8
排油口 G3/8
排油口 G3/8
排油口 G3/8
排油口 G3/8
冷却水出口 Rc3/8
冷却水入口 Rc3/8 冷却水出口 Rc3/8
冷却水出口 Rc3/8
吸気口フランジJIS B 2290 VG80 相当
吸気口フランジJIS B 2290 VG100 相当
吸気口フランジJIS B 2290 VG80 相当
冷却水出口 Rc3/8
吸気口フランジJIS B 2290 VG150 相当
吸気口フランジJIS B 2290 VF80 相当
吸気口フランジJIS B 2290 VF80 相当
吸気口フランジJIS B 2290 VF80 相当
吸気口フランジJIS B 2290 VF100 相当
（対面）
4-φ5
モータ制御機器（オプション）寸法図※大気圧駆動型にのみ使用※適所に設置願います。
外 形 寸 法 図
単位：mmPRC-003A
PRC-012A
PRC-006A
PRC-018A
仕 様
メカニカルブースターポンプ【PRC シリーズ】
型式 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
最大排気速度 50Hzm3/h（L/min） 280（4670） 500（8330） 1000（16700） 1500（25000）
60Hz 330（5500） 600（10000） 1200（20000） 1800（30000）
最大吸入圧力 50HzPa
1.2×103 1.3×103 1.2×103
60Hz 9.3×102 1.1×103 9.3×102
最大許容圧力差 50HzPa
4.0×103 7.3×103 4.3×103
60Hz 3.3×103 6.0×103 3.2×103
到達圧力 ＊1 Pa 4.0×10-1 6.7×10-1
駆動可能圧力 Pa ～ 1.0×105（大気圧駆動型）モータ出力（極数） ＊2 kW 0.75（2） 2.2（2） 3.7（2） 5.5（2）使用油 ＊3 ULVOIL R-4所要油量 L 0.7 1.5 1.9冷却方式 水冷
一時側圧力 MPa 0.3
冷却水 出入口差圧 MPa 0.01以上冷却水量 L/min 2 3冷却水温度 ＊4 ˚C 5～ 30
吸気口径 JIS-B-2290 VG80相当 VG100相当 VG150相当排気口径 JIS-B-2290 VF80相当 VF100相当外形寸法（W×D×H） mm 296×575×260 356×619×320 406×759×340 406×989×340質量 ＊5 kg 51 86 118 150標準補助ポンプ ＊6 VD601 VD901 VS1501 VS2401オプション 大気圧駆動（インバータ）、潤滑油、潤滑室別排気ポート注意 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 到達圧力：4.0×10-1Pa＝3.0×10-3 Torr、圧力：0.05MPa＝0.5kgf/cm2
PRCシリーズは耐圧防爆、安増防爆には対応できません。＊1 ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。マクライド真空計では4.0×10-2 Paになります。 ＊2 AC200V（50Hz／ 60Hz）、AC220V（60Hz）、3相＊3 オプションで合成油：R-7000、フッ素油：J25Fが選定できます。 ＊4 冷却水温が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。＊5 標準ポンプの値。（オプション：インバータは含まず）＊6 標準補助ポンプの性能によりメカニカルブースタポンプの性能が変化します。上記データは、標準補助ポンプと組み合わせた場合の値です。
