コーティング装置

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工具コーティングの専門家、CemeCon

CemeConは最適な成膜技術を開発し、最適な生産プラントを建設することにより、世界最高級のPVD及びCVDダイヤモンド・コーティングを実現しています。当社が誇る世界最大級のコーティング・センターでは、毎日、数万台もの精密工具をお客様のためにコーティングしています。このコーティング・センターで30年にわたり培った経験とノウハウは、日々、当社のPVD及びCVDダイヤモンド・コーティング装置の開発に活かされています。それはまた、生産性、人間工学、処理品質、コスト効率の面でお客様に恩恵をもたらしています。

3

コーティング・センターでは、お客様の注文に応じてコーティング・

サービスを行っています。

お客様の自社生産ラインに、当社のコーティング装置を組み込むこ

とも可能です。

ベースはお客様のニーズ。何を選ぶかはお客様次第です。

当社のコーティング・サービスを利用するか、または当社のコーティング装置を生産ラインに組み込むかにかかわらず、常に高品質の結果が得られます。当社はお客様の仕事を簡素化します。お客様それぞれのコーティングの問題を解決するために、ご要望に応じてあらゆるレベルのサポートを提供します。お客様がお望みの場合、当社のコーティング・サービス・センターでテストを行い、そのプロセス全体をお客様の施設に移すことも可能です。

当社のコーティング・サービスを利用するか、または当社のコーティング装置を生産ラインに組み込むかにかかわらず、常に高品質の結果が得られます。当社はお客様の仕事を簡素化します。お客様それぞれのコーティングの問題を解決するために、ご要望に応じてあらゆるレベルのサポートを提供します。お客様がお望みの場合、当社のコーティング・サービス・センターでテストを行い、そのプロセス全体をお客様の施設に移すことも可能です。

4 CemeConのPVDスパッタ・コーティング

CemeConのPVDスパッタ・コーティング切削工具や部品に対する、滑らかでドロップレットのないコーティング

CemeConは1986年以来、PVDスパッタ技術を利用した硬質材料コーティングのパイオニアとして活躍してきました。スパッタリングの際、素材はコーティングを作るために気化され、固体の状態から直接、気体の状態へと変化します。従来のプロセスでは、コーティング素材を溶融させる必要があります。この方式では、ドロップレット（液滴）の生成によりコーティング構造に欠陥が生じるため、コーティングの表面が非常に粗くなることが避けられません。スパッタリングの際には、こうしたドロップレットは生じません。これはスパッタ技術の重要な利点であり、その結果、理想的なコーティングと極めて滑らかで欠陥のない表面が保証されます。スパッタ技術のもう1つの利点は、コーティング膜の内部応力が大幅に低減されるこ

とです。これにより、AITiNコーティングでは厚さを15µmにすることも可能です。これは摩耗量が大きいすべてのケースで、この上なく優れた利点となります。すべてのPVDシステムに組み込まれているプラズマ・ブースターとパルス・バイアス技術は、非常に高度なプラズマ・イオン化をもたらします。その結果、十分でしかもソフトな洗浄、表面の活性化、卓越したコーティングの密着性が実現します。密着性を評価するためのスクラッチ試験では、100NがCemeConのDCスパッタ・システムの標準値です。HiPIMSはスパッタ技術を進化させた方式です。CC800® HiPIMSにより、CemeConは世界に類を見ない、純HiPIMSコーティングに基づく費用対効果の高い生産技術を提供しています。

極めて高い平滑性： 表面にドロップレットを残すプロセス（左）とは対照的に、PVDスパッタ・プロセス（右）の表面は極めて滑らかです。

スパッタリングは非常に柔軟性の高い技術です。現在知られているすべてのコーティングに利用できます。金属でも、酸化物でも、窒化物でも、またホウ化物や炭化物でも、スパッタリングを使えば、ほぼあらゆるコーティング素材で成膜できるのです。スパッタリングには限界がありません。直径0.1mmに満たない最小クラスの極小径工具からホブ・カッターや非常

に重い部品にまで適用可能です。伝導性の基材に対しても非伝導性の基材に対しても、伝導性と非伝導性の両方のコーティングを施すことができます。ほとんどのコーティングは250°C～500°Cの温度で生成されます。しかし、スパッタリング・プロセスでは、150°Cを下回る温度でもコーティング可能です。

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6 DCスパッタ・コーティング・システム

DCスパッタ・コーティング・システム

DCスパッタ技術を利用したCemeConのコーティング・システムは、特に柔軟性に優れており、極めて広く適用できます。数十年にわたり、世界中の多くの工具コーティングの主力となっています。必要な処理量に応じて、MLバージョンとXLバージョンが利用可能です。どちらも窒化物、ホウ化物、及び炭素系のあらゆる素材ですばやく簡単にコーティングできます。拡張モジュールを追加すれば、さらに個別的な調整が可能となります。CC800®/9 MLは、中程度のロット数量でバッチやコーティング素材に頻繁な変更がある場合に経済的なシステムです。オプションのフレックス・モジュールを使用する

と、能力をさらに拡張して当面の注文量にすばやく対応できます。その柔軟性の高さから、CC800®/ 9MLラインは研究開発において有用性を実証しています。このシステムはオープンなモジュール型の設計となっているため、測定装置など多くの機能拡張やオプションを装備できます。CemeConは、大バッチ数量または大型部品向けにCC800®/9 XLを開発しました。MLモデルと同じ外形寸法で、コーティングの処理量はかなり大きくなります。ドリル4,500本、または切削インサート及び工具16,400個を、わずか1回の処理で最大長さ800mm、直径650mmにわたってコーティングします。電気油圧駆動によるクイックチェンジ・テーブ

ルにより、ツール・バッチのすばやい積載と取り出しが可能です。

7 DCスパッタ・コーティング・システム

CC800®/9 ML 6 (10)

CC800®/9 XL

コーティング範囲 Ø x h [mm] Ø400 x 400 (Ø650 x 400) Ø650 x 700

基材テーブル、Ø x Øターン・テーブル×構成数

[mm] 本

Ø400 x Ø130 x 6 (Ø650 x Ø130 x10)

Ø650 x Ø130 x 10

クイックチェンジ・テーブル 機械式または電気油圧式 電気油圧式

スパッタ・カソード 枚、 [mm] 4 x 500 4 x 800

最大積載寸法 Ø x h [mm] Ø400 x 800 (Ø650 x 800) Ø650 x 800

処理能力（ドリルØ6mm x 60mmの場合） item 1,800 (3,000) 4,500処理能力（インサート12.7mm x 3.5mmの場合） item 4,920 (8,200) 16,400

最大積載重量 [kg] 250 (500) 500

サイクル・タイム（Hyperlox® 3µmの場合*） [h] 5 6

プロセスブースター技術を利用したスパッタリング

ブースター技術を利用したスパッタリング

前処理方式（プラズマ・エッチング） ブースターとMFエッチング

ブースターとMFエッチング

導電性コーティング 可能 可能

非導電性コーティング 不可 不可

非導電性基材 不可 不可

定格出力 [kW] 60 80

1バッチ当たりの消費電力 （Hyperlox® 3µmの場合*） [kWh] 120 200

外形寸法（W x L x H） [mm3] 1,050 x 3,350 x 2,200

1,050 x 3,350 x 2,200

装置重量（未積載時） 3,000 – 3,300 ~ 3,300

DCマグネトロン・スパッタリング

カソード

バイアス

DC パルス

DC

ALOX® SN2コーティング、厚さ12.5µm

CC800®/9 ML CC800®/9 XL

ML 6 ML 10

400 mm

650 mm 650 mm

コーティング容量

XL

700 mm

130 mm 130 mm400 mm

400 mm

130 mm

* 10mmフライスに対して

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HiPIMS：PVDコーティング技術の未来コーティングの高密度化、高硬度化、高靱性化、そして切削性能の向上。これらすべてを2µm/hの成膜速度で実現

HiPIMS（高出力インパルス・マグネトロン・スパッタリング）は、スパッタ技術を進化させた次世代のテクノロジーです。この技術は、現在の市場にある一般的なコーティング技術及び方式の利点をすべて兼ね備えています。DCスパッタリング・プロセスと同様に、HiPIMSは滑らかでドロップレットがなく、内部応力も少ないコーティングを、ほぼあらゆる組成で成膜できま

す。HiPIMSの特徴は、スパッタリングする金属の極めて高いイオン化率です。最大130Nというスクラッチ試験の結果は、コーティングの優れた密着性を証明しており、これは高水準のイオン化率と直接関係しています。HiPIMSコーティングは高密度とほぼアモルファス状態の膜構造により、高い硬度と靱性を兼ね備えています。工具の切刃のような3次元の物体の全周にわたっ

てばらつきのない均一な膜厚分布が得られ、最適な摩耗保護を容易に実現できます。CemeConはHiPIMS技術を体系的に磨き上げ、工業用コーティングに即適用できるレベルまで引き上げました。技術的には、これは成膜速度2µm/hで最大限の柔軟性と最高レベルの生産性が実現されるということです。

HiPIMSでは、電力ピークを集中させて非常に高密度のプラズマを形成することにより、コーティング素材を極めて高い率でイオン化します。高度にイオン化された高流量の金属から、極めて高密度でほぼアモルファス状態のコーティング構造が生み出されます。

高度な金属イオン化により、実現し得る最高のコーティング密着性が確保されます。シリコン添加により非常に高い硬度を実現したInoxaCon®コーティングのスクラッチ試験では、120Nという極めて優れた結果が得られています。AlTiNをベースにしたFerroCon®のスクラッチ試験では、その値は最大130Nに達します。これにより、切削が非常に難しい材料についても加工可能となります。

高度なイオン化により、非常に高密度で緊密なコーティング構造が実現します。こうしたきめ細かい構造はまた、高い硬度と靱性を備えています。HiPIMSを成膜に利用すると、コーティングは極めて均質に成長します。また、切削工具の形状が非常に複雑な場合でも、切刃の全周にわたってほぼ均一なコーティング厚となります。

HiPIMSはスパッタ・プロセスの一種です。ほぼあらゆる素材をスパッタリングできます。これは周期表の各元素を組み合わせることにより、無限に多様なコーティングを実現できるということです。

欠陥が生じず、アンテナ効果もありません。HiPIMS技術はドロップレットを生じず、切刃に損傷や丸みを与えることもないため、極めて小さな工具にも非常に有用です。

CC800® HiPIMSは、純HiPIMSモードで2µm/hの成膜速度と4～5時間の処理時間を実現します。6つすべてのカソードを使用した場合は、3µm/hの成膜速度を発揮できます。

切刃の全周にわたる均質なコーティングほぼ100%の金属イオン化 最高水準の密着性

最大限の柔軟性 極小径工具に最適 純HiPIMSコーティングによる最大限の経済性

Ar+

Magnetron

Me Me Me

Me+ Me+ Me+

HiPIMS Plasma

HiPIMS：PVDコーティング技術の未来

10 HiPIMSコーティング・システム

HiPIMSコーティング・システム

CC800® HiPIMSは、従来のDCスパッタ・コーティング・システムのあらゆる利点と最新のHiPIMS技術の機能を兼ね備えています。このシステムには計6個のスパッタ・カソードが装備されており、そのうちの4つはHiPIMSモードまたはDCモードのいずれかで動作可能です。その他2つのDCカソードは、例えば、より複雑な多層コーティングを行ったり、カラー・コーティングやトップ・コーティングを施したり、単に成膜速度を上げたりする目的で使用されます。1つのプロセス内でこれらの技術を極めて自由に組み合わせることにより、非常に低い生産コストでコーティング設計に無限の幅が得られます。純HiPIMSモードでは、2µm/hの成膜速度と4～5時間

の処理時間を達成できます。6つのカソードすべてを同時に動作させると、成膜速度は3µm/hに達します。これは1,800本の軸物工具または5,000個のインサート・チップのコーティング能力としては、それまでに考えられないほど短い生産時間でした。CC800® HiPIMSは、CemeConが提供しているすべてのスパッタ・コーティングと、市場で利用可能なほぼすべてのPVDコーティングを処理できます。しかも、カスタム・メイドのプロセスを開発するのに最適な装置です。使いやすいユーザー・インタフェース「DataView」とプランニング・ツール「DataPlan」が組み込まれているため、各コーティング・ソリューションを容易に設計できます。コーティングは市場にお

ける自社製品の注目度を高め、お客様が競争で優位に立つことを可能にします。その他の特徴、例えば、タブレットやスマートフォンによる使いやすいリモート操作、メンテナンスしやすい部品、完全自動のカソード・シャッター、ドアの自動密閉、コーティング・テーブルの迅速な交換に対応したユニットなども、最先端の高性能コーティングの処理と開発に最適なコーティング・システムであるCC800® HiPIMSの重要な特徴の一部です。

11 HiPIMSコーティング・システム

CC800® HiPIMS

コーティング範囲、Ø x h [mm] Ø400 x 400

基材テーブル、Ø x Øターン・テーブル×構成数 [mm]、本 Ø400 x Ø130 x 6

クイックチェンジ・テーブル

スパッタ・カソード 枚、[mm]

6 x 500（4つのHiPIMS/DC両用カソードと2つのDC専用カソード、 全カソードにシャッターを装備）

最大積載寸法 Ø x h [mm] Ø400 x 800

処理能力（ドリルØ6mm x 60mmの場合） 本 1,800処理能力（インサート12.7mm x 3.5mmの場合） 個 4,920

最大積載重量 [kg] 250

成膜速度 µm/h純HiPIMSモード：2µm/h DCまたはハイブリッド・モード：最大3µm/h

サイクル・タイム（FerroCon®の場合*） [h] 4.5

プロセスHiPIMSとブースター技術を利用したスパッタリング。CemeConの主要なコーティングはすべて処理可能。

前処理方式（プラズマ・エッチング） ブースター、MF及びHiPIMSエッチング

導電性コーティング 可能

非導電性コーティング 可能

非導電性基材 可能

定格出力 [kW] 801バッチ当たりの消費電力（FerroCon® 3µmの場合*） [kWh] 120

外形寸法（B x L x H） [mm3] 1,450 x 3,350 x 2,200

装置重量（未積載時） [kg] ~ 3,500

チャンバー・ドアの密閉 Automatic closing

* 10mmフライスに対する純HiPIMSモードでのコーティング

HIPIMS （高出力インパルス・マグネトロン・スパッタリング）

カソード

バイアス

DC パルス

DC

チャンバー・ドアの直感的なタッチ制御と空気圧式アクチュエーターにより、装置の日常的な操作は容易です。

HiPIMS

HiPIMS

HiPIMS

400 mm

400 mm

130 mm

コーティング容量

HiPIMSの高エネルギー・プラズマ

12 CemeConのCVDダイヤモンド・コーティング

CemeConのCVDダイヤモンド・コーティンググラファイト、ガラス繊維または炭素繊維強化プラスチック（GFRP、CFRP）や複合材料を加工するための特許取得済み多層コーティング

グラファイト、繊維強化プラスチック (複合材料) や研磨性非鉄金属を加工する際に、最大限の摩耗保護を実現するためのコーティングとして使用される世界で最も硬い材料。

CemeConは長年にわたり、CVD技術を利用して切削工具や部品にダイヤモンド・コーティングを施しています。これは10,000ビッカース近くの硬度を持つ真のsp3結晶ダイヤモンドです。20年以上前、CemeConは熱フィラメント・プロセスを開発して市場を成熟させました。そして今、ダイヤモンドのコーティングと技術で世界的なリーダーとなっています。

熱フィラメント・プロセスでは、ダイヤモンドをガスから生成します。H2-CxHyガス中で、炭素は純粋な結晶ダイヤモンドとなって単離されます。このプロセスでは毎時最大4カラットのダイヤモンドを生成できます。用途に応じて、マイクロ結晶、ナノ結晶、または多層コーティングとして成膜することが可能です。全自動コーティング技術と基材の最適な前処理の組み合わせにより、厚さ20µm以上で抜群の密着性を持つコーティングを施すことができます。

CemeConの特許取得済みの多層技術は、コーティング内の各層を互いにかみ合わせることによって最大限の安定性を確保します。クラックが発生しても層の境界を越えて広がることはできません。その極めて高い硬度（天然ダイヤモンドに近い最大10,000 HV0.05）のため、CCDia®

製品群のコーティングはいずれも非常に優れた耐摩耗性を発揮します。CCDia®コーティングを施すと、超硬合金製の軸物工具やインサート・チップの性能は大幅に向上します。ダイヤモンド・コーティングは熱伝導率が高いため、熱は速やかに放散します。これは炭素繊維強化プラスチックやガラス繊維強化プラスチックなど、温度に敏感な材料を加工する際に極めて重要です。この特性により、加工時の処理速度を引き上げることが可能になります。これらすべての特性から、CCDia®ラインのコーティング素材は、VDI規格3323（ドイツ技術者協会規格）に基づき、グラファイト、複合材料、非鉄金属、未焼結材やセラミックスを加工する際の最善の選択肢となります。

ダイヤモンド・コーティングにより、ますます多くの部品が強化されています。ダイヤモンドは極めて硬く、ほとんど変形しません。ほぼあらゆる媒体に対して化学的に不活性で、摩擦が非常に小さく、しかも熱伝導性に優れています。こうした独特な特性から、さまざまな業界で絶えずダイヤモンド・コーティングの新たな適用分野が生まれています。

基材

マイクロ結晶ダイヤモンド・コーティング

ナノ結晶ダイヤモンド・コーティング

多層ダイヤモンド・コーティング

出典： エアバス

基材

基材

14 ダイヤモンド・コーティング・システム

ダイヤモンド・コーティング・システム

CC800® Diamondは、繊維強化プラスチック、グラファイト、研磨性非鉄金属用の切削工具を、世界で最も硬いコーティング素材である真のダイヤモンド結晶でコーティングします。

CC800® Diamondでは、極めて滑らかで特に密着性に優れたナノ結晶、結晶、または多層ダイヤモンド・コーティングを80種類以上の超硬材種に施すことができます。熱フィラメント・プロセスにより、複雑

な3次元形状の工具や部品でも厳しい公差内で非常に均質なコーティング厚分布となります。

そのコンパクトな外形寸法にもかかわらず、CC800® Diamondは市場で最も処理能力の高い自動ダイヤモンド・コーティング・システムです。3つのコーティング・チャンバーを互いに独立して運用できるため、特に柔軟性が高く経済的です。

多層コーティングによる平滑性、極めて優れた密着性と耐摩耗性

15 ダイヤモンド・コーティング・システム

複合材製の航空機翼。リベット用の穴は、ダイヤモンド・コーティングした工具で穴あけ加工とリーマ加工が行われています。

グラファイト加工用のCCDia® Carbon Speedでコーティングしたマイクロ・エンドミル

CCDia® MultiSpeed Plus（17µm厚の純ダイヤモンド）でコーディングしたルーター／CCDia® AeroSpeed®でコーティングした座ぐり用ドリル、航空機生産における標準

熱フィラメント・ダイヤモンド・コーティング・システム

水平 垂直

フィラメント

CC800® Diamond

コーティング範囲、処理区分 x（W x D x H） [mm] 1 x（740 x 360 x 30）または3 x（50 x 560 x 70）

最大積載寸法 Ø x h [mm] 工具：30 x 500

最大積載重量 [kg] 250

プロセス 熱フィラメント

導電性コーティング 可能

非導電性コーティング 可能

非導電性基材 可能

定格出力 [kW] 90

外形寸法（W x L x H） [mm] 1,260 x 3,600 x 2,070

装置重量（未積載時） [kg] 4,000

16 ターンキー方式の自社内コーティング・システム

ターンキー方式の自社内コーティング・システム自社内でのコーティング能力は競争上の強み

CemeConでは日々、コーティングを行っています。そしてその作業は、切削工具向けの世界最大級のコーティング・センターで行われています。ターンキー・ソリューションは、この豊富な経験とCemeConの実績あるコーティングをお客様の生産システムに組み込むものです。切削工具では、コーティングが競争上の極めて重要な強みとなることがよくあります。独自のコーティング・システムを組み込むと、それに伴って得られる技術に基づき、自社製品に対する完全なコントロールが確立され、柔軟で迅速な対応も可能になります。コーティング・システム、基材の前処理、及び周辺装置を含む包括的なパッケージは、ワークフロー全体をカバーします。

こうした包括的な構成は、技術と実績あるプロセスの結果にほかなりません。これにより、自社内コーティング技術の導入が容易になります。300件ものシステム完工実績を有するCemeConは、お客様のプロジェクト・パートナーとして、責任を持って各ターンキー・ソリューションの開発に当たります。サービス・チームは、納期、スペース、及びユーティリティに関する計画を策定し、各国別の詳細事項を考慮に入れ、公的機関との連携を支援し、即運用可能な実働コーティング・システムを納入します。お客様は、CemeConによる継続的なコーティング開発の恩恵を受けることができます。当社開発チームは、将来のニーズに関していつでもお客様を支援します。包括

的なサポートとサービスにより、システムの継続的な運用が保証されます。

CemeConのターンキー・ソリューションは、最大限の柔軟性と最高水準の生産性を発揮します。

17 ターンキー方式の自社内コーティング・システム

CC800®： シンプルで効率的な高品質のコーティング

CemeConのCC800®システム・シリーズはモジュール型の設計であり、滑らかでドロップレットのないPVDスパッタ及びHiPIMSコーティング用のモデルと、超硬CVDダイヤモンド・コーティング用のモデルがあります。いずれもコンパクトなデザインで、優れた品質と最高水準の性能を兼ね備えています。

• 全自動プロセス制御• グラフィカル・ユーザー・インタフェース• 完全なインターネット接続機能• 利用可能なすべてのコーティングに対

応したフレキシブルな設計• 新たな材料にも対応可能

CemeConはそれぞれのお客様に助言を行い、ほぼいかなる部品サイズや単位数量にも適応したソリューションを提供します。工具メーカーであれ、コーティング請負業者や研究開発機関であれ、すべてのお客様が自らのニーズに合わせて設計された、完結したターンキー・ソリューションを利用できます。これは 前処理及び後処理技術、洗浄、冷却、圧縮空気システムや品質検査装置など、必要な周辺装置をすべて含みます。すべてのコンポーネントが生産

プロセスとインフラストラクチャーに組み込まれ、既存の設備が効果的に使用されます。CemeConのコーティング・サービスは、選択したシステム・モデルについて、またお客様の用途に合わせてカスタマイズしたコーティング・プロセスについて、お客様の従業員が集中的なトレーニングを受けることができる理想的な機会です。技術者が現場で、新しいコーティング・システムのシンプルな操作方法についてトレーニングを提供します。そのため、お客様は自社内システムを導入した直後から、安心して工具のコーティングを開始できます。

CemeConのターンキー・コーティング・ラインを選ぶ3つの妥当な理由

• CemeConのコーティング・サービスで実証済みのコーティング・プロセスを、実績のあるコーティング・システムで実行できます。

• 個別に最適化した生産プロセスにより、迅速で効率的な生産が保証されます。

• 出発点からの手厚いサービス： CemeConが事前計画全体を担当し、システムと周辺装置をセットアップします。

コーティング、基材、及び形状を同一のサプライヤーが調整することなくして、理想的な工具を生み出すことはできません。

コーティング技術の社内導入をぜひご活用ください。

世界中のシステムとお客様を年中無休でサポート（※現在、日本国内では9～18時のサポート）

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18 周辺装置や付属品を最適な方法で統合

コーティングの品質は、最適に組み合わされたプロセス内の必要なステップすべての影響を受けます。CemeConは、完結した自社内コーティング・センターに必要なすべてのコンポーネントを、最適な組み合わせで提供します。CemeConの強みは、 付属品やすべてのコンポーネント、前処理・後処理用の装置とプロセス、及び品質管理を、常にお客様のニーズや既存のインフラストラクチャーに適応させることです。

周辺装置や付属品を最適な方法で統合

ブラスト・システムと洗浄システム

CemeConのブラスト・システムと洗浄システムでは、基材を最適な状態に整えることができます。ブラスト・システムは、工具からばりや研磨焼けをなくし、遊離したカーバイド粒子やコバルト汚れを取り除きます。必要に応じて、切刃の状態を最適に整えることができます。洗浄システムは不純物を穏やかに、かつ完全に取り除きます。この製品ラインは、中小規模の生産量向けの手動システムから、大規模なコーティング・センターの完全自動システムまでに対応します。ブラスト媒体や洗浄媒体を再生できるため、これらのソリューションはいずれも環境に優しく経済的です。

品質管理

製品の受け取り時と発送時の品質管理に関しては、CemeConはあらゆるニーズに対応して適正な試験装置を提供します。カスタム・メイドの品質保証パッケージを、ボール・クレータリング・テスト装置、ロックウェル・テスター、顕微鏡、及びインパクト・テスターから構成できます。

冷却システム

コーティング処理中、冷却システムは熱を放散させ、必要なプロセスの信頼性を確保します。CemeConは、あらゆる規模のシステムとすべてのコーティング技術に対して、コンパクトで堅牢な省エネルギー型の冷却システムを提供します。

ターゲット

CemeConのターゲットは、特殊な結合プロセスにより、最高水準の品質とプロセスの信頼性を確保しています。これらのターゲットはコーティング・プロセスに合わせて最適化され、プラグ技術に基づき幅広い材料から選択して利用可能です。

ブラスト・システムと洗浄システム

19 コーティング装置一覧

コーティング装置一覧

CC800®/9 ML 6 (10)

CC800®/9 XL

CC800®

HiPIMSCC800®

Diamond

コーティング範囲、Ø x h* [mm] Ø400 x 400（Ø650 x 400） Ø650 x 700 Ø400 x 400

1 x（740 x 360 x 30）または3 x（50 x 560 x 70）

基材テーブル、Ø x Øターン・テーブル×構成数

Ø400 x Ø130 x 6（Ø650 x Ø130 x 10） Ø650 x Ø130 x 10 Ø400 x Ø130 x 6 用途に依存

クイックチェンジ・テーブル 機械式または電気油圧式 電気油圧式 オプション

スパッタ・カソード 枚、[mm] 4 x 500 4 x 800

6 x 500（4つのHiPIMS/DC両用カソードと2つのDC専用カソード、 全カソードにシャッターを装備）

フィラメント

最大積載寸法 Ø x h [mm] Ø400 x 800（Ø650 x 800） Ø650 x 800 Ø400 x 800 工具：Ø30 x 500

処理能力（ドリルØ6mm x 60mmの場合）

本 1,800（3,000） 4,500 1,800 プロセスに依存

処理能力（インサート12.7mm x 3.5mmの場合）

個 4,920（8,200） 16,400 4,920 プロセスに依存

最大積載重量 [kg] 250（500） 500 250 250

サイクル・タイム（Hyperlox® SN2 3µmの場合**）

[h] 5 6 4.5（FerroCon®） プロセスに依存

プロセス ブースター技術を利用したスパッタリング

ブースター技術を利用したスパッタリング

HiPIMSとブースター技術を利用したスパッタリング。CemeConの主要なコーティングはすべて利用可能。

熱フィラメント

前処理方式（プラズマ・エッチング）

ブースターとMFエッチング

ブースターとMFエッチング

ブースター、MF及びHiPIMSエッチング

導電性コーティング 可能 可能 可能 可能

非導電性コーティング 不可 不可 可能 可能

非導電性基材 不可 不可 可能 可能

定格出力 [kW] 60 80 80 90

1バッチ当たりの消費電力（Hyperlox® 3µmの場合**）

[kWh] 120 200 120（FerroCon®） プロセスに依存

チャンバー・ドアの密閉 手動 手動 自動 自動

外形寸法（W x L x H） [mm3] 1,050 x 3,350 x 2,200 1,050 x 3,350 x 2,200 1,450 x 3,350 x 2,200 1,260 x 3,600 x 2,070

装置重量（未積載時） 3,000～3,300 ～3,300 ～3,500 ～4,000

* CC800® Diamond： コーティング範囲、処理区分 x（W x D x H）** 10mmフライスに対して

CC_J

P_2

019_

1.1ドイツ CemeCon AG / 電話番号： +49 2405 4470 122 / coatingtechnology@cemecon.de

米国 CemeCon Inc. / 電話番号： +1 607 562 2363 / info@cemecon.com

中国 CemeCon Coating Technology Co., Ltd. 蘇州 / 電話番号： +86 512 891 74919 / china@cemecon.com

日本 CemeCon株式会社 / Alexander Marxer / 電話番号： +81 3 6459 4430 / japan@cemecon.com

チェコ共和国 CemeCon s.r.o. / 電話番号： +420 539 003 501 / info@cemecon.cz

デンマーク CemeCon Scandinavia A/S / 電話番号： +45 7022 1161 / info@cemecon.dk

インド M+V Marketing & Sales Pvt. Ltd. / Manish Adwani / 電話番号： +91 9158 99 99 56 / india@cemecon.com

韓国 Hangil Trading Company / Mr. Hong-Sik Cho / 電話番号： +82 10 9389 7825 / hongsik.cho@hangilkorea.com

台湾 DKSH / Tim Liu / 電話番号： +886 922 614 775 / tim.liu@dksh.com

ロシア ZAO Rosmark-Steel / Ilya Mozgov / 電話番号： +7 812 336 27 27 / mozgov@rosmark.ru

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