Elektronikus EszkElektronikus Eszközök Tanszéközök Tanszék

19991999

INTEGRÁLT INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREKMIKRORENDSZEREK

MEMS = Micro- Electro- Mechanical MEMS = Micro- Electro- Mechanical SystemsSystems

Hogy mit lehet megcsinálni… Hogy mit lehet megcsinálni… !!

A “nano-gitár”A “nano-gitár”

Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!atom!

Egy “befEgy “befüggesztett” elemüggesztett” elemFunkció: „hot plate”Funkció: „hot plate”

Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m

HOGYAN HOGYAN KÉSZÜL?KÉSZÜL?

A front-oldali megmunkálásA front-oldali megmunkálásKristálytani iránytól függő, szelektív Kristálytani iránytól függő, szelektív

marásmarás

A felület: A felület:

<100><100> sík sík

<111> s<111> síkokíkok

Alkalmazás:Alkalmazás: gyorsulásmérő, rezgésmérőgyorsulásmérő, rezgésmérő

Szeizmikus Szeizmikus tömegtömeg

Rugalmas nyakRugalmas nyak

Piezorezisztív Piezorezisztív érzékelőérzékelő

(hídkapcsolásban(hídkapcsolásban))

A feláldozandó (sacrified) A feláldozandó (sacrified) rétegréteg

Például: SiO2 a poli alatt

Feláldozandó réteggel Feláldozandó réteggel készült csapágykészült csapágy

Ez a himba elfordulhat

Függesztett membrán, Függesztett membrán, feláldozandó réteggelfeláldozandó réteggel

Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás:

elmozdulás keltéselmozdulás keltés

dx

dCU

UC

dx

d

dx

dWF 2

2

2

1...

2

Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás:

szögelfordulás keltésszögelfordulás keltés

Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás: mikro-motormikro-motor

A mikro-motor légrése és A mikro-motor légrése és csapágyazásacsapágyazása

Elektrosztatikus Elektrosztatikus mozgatás:mozgatás:

billenőtükrös fénymodulátorbillenőtükrös fénymodulátor

Ez egy Ez egy MOEMSMOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical : Micro- Opto- Electro- Mechanical SystemSystem

A LIGA eljárásA LIGA eljárás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás A maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus

rétegnövesztésrétegnövesztés

Ezek itt fém Ezek itt fém fogaskerekek!fogaskerekek!