建设项目环境影响报告表

项目名称：呼和浩特市欧通能源科技有限公司半导

体硅料清洗项目

建设单位：呼和浩特市欧通能源科技有限公司

编制单位：内蒙古珊瑚环保技术有限公司

编制日期：2019年 7月

仅供呼和浩特市欧通能源科技有限公司半导体硅料清洗项目送审稿使用

1

《建设项目环境影响报告表》编制说明

《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质

的单位编制

1．项目名称——指项目立项批复时的名称，应不超过 30 个字

（两个英文字段作一个汉字）。

2．建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起

止地点。

3．行业类别——按国标填写。

4．总投资——指项目投资总额。

5．主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住

宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，

应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。

6．结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制

的分析结论，确定污染防止措施的有效性，说明本项目对环境造成的

影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响

的其他建议。

7．预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项

目，可不填。

8．审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批

复。

1

附图 1：建设项目地理位置图

附图 2：项目改造区域位置平面图

附图 3：厂平面布置图

附件 1：委托书

附件 2：投资项目同意备案告知书

附件 3：内蒙古自治区环境保护厅关于绿色可再生能源太阳能电

池用硅单晶材料产业化工程一期项目环境影响报告书的批复

附件 4：内蒙古自治区环境保护厅关于绿色可再生能源太阳能电

池用硅单晶材料产业化工程一期项目竣工环境保护验收的意见

附件 5：内蒙古自治区环境保护厅关于绿色可再生能源太阳能电

池用单晶硅材料产业化工程二期项目环境影响报告书的批复

附件 6：呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公

司绿色可再生能源太阳能电池用单晶硅材料产业化工程二期项目竣

工环保验收的批复

附件 7：呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公

司 CFZ 单晶用晶体硅及超薄金刚石线单晶硅切片项目环境影响报告

书的批复

附件 8：呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公

司 CFZ 单晶用晶体硅及超薄金刚石线单晶硅切片项目竣工环保验收

的批复

附件 9：内蒙古自治区环境保护厅关于内蒙古中环光伏材料有限

公司可再生能源太阳能电池和半导体集成电路用单晶硅材料产业化

2

工程三期项目环境影响报告书的批复

附件 10：呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限

公司可再生能源太阳能电池和半导体集成电路用单晶硅材料产业化

工程三期项目竣工环保验收的批复

附件 11：监测报告

1

建设项目基本情况

项目名称 呼和浩特市欧通能源科技有限公司半导体硅料清洗项目

建设单位 呼和浩特市欧通能源科技有限公司

法人代表 何文兵 联系人 刘建国

通讯地址 呼和浩特市赛罕区金桥开发区工业二区宝力尔街

联系电话 13327106030 传真 邮政编码 010010

建设地点 呼和浩特市赛罕区金桥开发区工业二区宝力尔街

立项审批部

门 赛罕区工业和信息化局 批准文号

2019-150105-41-03-

016970

建设性质 新建扩建□技改□ 行业类别及

代码

电子元件及电子专用材料

制造 C398

占地面积

（m2） 665

绿化面积

（m2） /

总投资

（万元） 936

其中：环

保投资

（万元）

70

环保投资

占总投资

比例

7.5%

评价经费

（万元） 预期投产日期 2019 年 9 月

工程内容及规模

1、项目建设由来

半导体硅片的生产对于纯净度、加工精度有极高的要求，目前最先进的半

导体芯片量产制程已经达到 10nm 级别，意味着相邻线路间只有 10 个原子的

间距，是头发宽度的一万分之一。要保证最后的产品能实现预定的功能，半导

体硅片的纯净度和表面平整度都要达到很高的标准。

作为硅片生产的原材料单晶硅，其纯度要达到 99.9999999%（9 个 9），最

先进的制程工艺则要达到 99.999999999%（11 个 9）的纯度。优质的硅材料产

品决定了硅单晶的拉制良率及硅单晶后期的加工过程良率，同时硅材料的检验

工艺是否完整可靠，对单晶的品质控制起着至关重要的作用。

当前全球的半导体芯片制造产能正在向中国转移，中国已经成为全球最大

的半导体市场，同时在 5G、物联网、人工智能的带动下，会对半导体材料产

业链对上游大直径硅片及晶圆需求持续旺盛，产能缺口将长期存在。从全球来

看，硅晶圆产业具有很高的垄断性，全球一半以上的产能集中在日本，而且硅

片的尺寸越大、纯度越高，垄断情况就越严重。

为了打破国外公司对中国半导体硅片材料市场的垄断，保证国内硅片供应

的安全性及集成电路产业链的完整和稳定，实现中国半导体制造行业真正的

“中国制造”，内蒙古中环领先半导体材料有限公司（以下简称：中环领先）

2

于 2018 年投资建设了集成电路用 8-12 英寸硅单晶项目（设计年产能 99 吨 8

英寸轻掺单晶硅棒、435 吨 8 英寸重掺砷单晶硅棒、60 吨 12 英寸轻掺单晶硅

棒生产能力）和集成电路用大直径半导体硅单晶项目（设计年产能 715 吨 8 英

寸轻掺单晶硅棒、390 吨 12 英寸轻掺单晶硅棒的生产能力），两个项目的建设

将突破大直径半导体单晶硅片的国产化，为我国集成电路产业的国产化提供先

进、安全的硅片原材料，两个项目投产后，每月单晶硅料的下料量在 40t（480t/a）

左右。为了提高单晶硅产品品质和进一步降低企业的生产成本，内蒙古中环领

先半导体材料有限公司（简称：中环领先）和欧通能源协商一致，决定实施本

项目，由欧通能源投资建设（单晶硅料由中环领先采购），为中环领先提供单

晶硅料的清洗服务。

2、评价依据

2.1 任务依据

（1）环评委托书

2.2 法律、法规及政策性依据

（1）《中华人民共和国环境保护法》2015.1.1 施行

（2）《中华人民共和国环境影响评价法》2016.9.1 施行

（3）《中华人民共和国大气污染防治法》2016.1.1 施行

（4）《中华人民共和国水污染防治法》2018.1.1 施行

（5）《中华人民共和国环境噪声污染防治法》2018.12.29 修订

（6）《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》2005.4.1.施行，2016.11.7

修正

（7）《中华人民共和国清洁生产促进法(2012 修订)》2012.7.1 施行

（8）《中华人民共和国水法》（2002.10.1 施行，2016.7.2 修正）

（9）《产业结构调整指导目录（2013 年修改版）》（国家发改委令［2013］

第 21 号）

（10）《建设项目环境保护管理条例》2017.10.1 施行

（11）《国务院关于印发水污染防治行动计划的通知》国发〔2015〕17 号，

2015.4.2

（12）《国务院关于印发大气污染防治行动计划的通知》国发〔2013〕37

号

（13）《国家危险废物名录》2016.8.1 施行。

2.3 技术依据

（1）《建设项目环境影响评价技术导则 总纲》（HJ2.1-2016）

（2）《环境影响评价技术导则 大气环境》（HJ2.2-2018）

3

（3）《环境影响评价技术导则 声环境》（HJ2.4-2009）

（4）《环境影响评价技术导则 地表水环境》（HJ/T 2.3-2018）

（5）《环境影响评价技术导则 土壤环境（试行）》（HJ 964—2018）

（6）《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ/T 169-2018）

（7）《建设项目危险废物环境影响评价指南》（环境保护部公告 2017 年第

43 号，2017.10.1 起施行）

2.4 其他相关文件

（1）《呼和浩特市欧通能源科技有限公司半导体硅料清洗项目可行性研究

报告》；

（2）建设单位提供的其它技术资料；

（3）《绿色再生能源太阳能电池用硅单晶材料产业化工程一期项目环境影

响报告书》及环评批复；

（4）《绿色再生能源太阳能电池用硅单晶材料产业化工程二期工程环境影

响报告书》及环评批复，竣工验收监测报告及批复；

（5）《内蒙古中环光伏材料有限公司可再生能源太阳能电池和半导体集成

电路用单晶硅材料产业化工程三期项目环境影响报告书》及环评批复，竣工验

收监测报告及批复；

3、项目工程概况

项目名称：呼和浩特市欧通能源科技有限公司半导体硅料清洗项目

建设性质：新建

建设地点：本项目拟建于内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区金桥开发区内蒙

古中环光伏材料有限公司现有一期工程生产厂房二层，项目厂房位置坐标为

N40°42′53.16″、E111°45′22.96″。建设项目地理位置见附图 1。

建设内容：项目租赁内蒙古中环光伏材料有限公司现有一期生产厂房二层

665 平方米，并通过厂房改造以满足项目所需的生产场所，项目购置生产工艺

设备 16 台（套），用于建设 4 条半导体硅料清洗生产线，项目的建设服务于内

蒙古中环领先半导体材料有限公司集成电路用大硅片项目对半导体硅料的使

用品质需求，项目设计日处理能为 12t；新建晶体样片检验预处理实验室，对

单晶硅样片进行铬酸浸泡和水洗，处理后样片送检。

项目建设期：3 个月。

项目投资：项目总投资 936 万元，环保投资 70 万元，占总投资的 7.5%。

劳动定员及工作制度：本项目利用现有工作人员 8 人，年工作 250 天，每

天 8 小时工作时间。

4

表 4 项目组成一览表

工程

类别

单项工程

名称 工程建设内容概况 备注

主体

工程

单晶硅清

洗线

内蒙古中环光伏材料有限公司现有一期生产厂房二层 665

平方米，并通过厂房改造以满足项目所需的生产场所，新

增生产工艺设备 16 台（套），包含手动清洗线 4 套，包装

台 4 台、封口机等。设计产能为日产 12t。

新建晶体样片检验预处理实验室，对单晶硅样片进行铬酸

浸泡和水洗，处理后样片送检。

新建

辅助

工程

仓储

单晶硅料贮存于项目所在生产车间的原料暂存库 新建

氢氟酸、硝酸、三氧化铬等化学品存储在中环三期现有

1280m2 危险化学品库内。

依托 空压站 依托一期厂房动力车间空压站，不新增设备

纯水站 依托一期厂房动力车间原有纯水系统，不新增纯水制备设

备

公用工

程

供电工程 依托现有工程所用 110kV 电源

依托

供暖工程 本项目均在现有厂房内进行改造，热源依托现有工程供热

管网，主要由金桥热电厂提供

供水工程 依托内蒙古中环光伏材料有限公司现有项目供水系统

制冷 依托一期厂房动力车间冷冻站，不再增设冷冻设备

环保

工程

废气治理

酸性废气处理：新建酸性废气洗涤塔，处理后的气体通

过 15m 高排气筒排放。

烘干废气：烘干过程中产生的极少量粉尘通过真空泵

抽吸后进入布袋除尘器进行处理，经 15m 高排气筒排入大

气。

新建

废水治理

酸性废水以及酸性废气喷淋净化装置产生的废水排入二期

污水处理站（处理能力 30m3/h）处理，统一由厂区废水南

排放口经园区管网排入金桥污水处理厂

依托

固废治理 废铬酸用塑料桶收集后暂存于三期项目所建设的 400m2 的

危废库。 依托

噪声治理 生产设备位于封闭车间内，设备采用基础减震 新建

依托工程：

本项目的依托工程包括辅助工程、公用工程及环保工程。具体内容有仓储、

空压站、纯水站、供电系统、供暖工程、供水工程、制冷、废气处理、废水处

理、一般固废储存和危险固废储存间。

5

表 2 本项目依托工程批复及验收情况一览表

项目名称 环境影响评价

批复 验收批复 依托内容

绿色可再生能源太阳能电池用硅单

晶材料产业化工程一期项目

内环审

[2009]26 号

内环验

[2012]61 号

车间、纯水

站、空压站、

制冷

绿色可再生能源太阳能电池用单晶

硅材料产业化工程二期项目

内环审

[2011]78 号

呼环证验字

[2014]15 号 废水处理

内蒙古中环光伏材料有限公司可再

生能源太阳能电池和半导体集成电

路用单晶硅材料产业化工程三期项

目

内环审

[2015]21 号

呼环证验字

[2016]56 号

危废库、危险

化学品库

（1）仓储

中环厂区建设有 1280m2 危险化学品库，暂存酸洗工艺所需的硝酸、氢氟

酸以及检测实验室酸浸泡工艺所需三氧化铬,硝酸的暂存量为 5 桶（1000L）、

氢氟酸的暂存量为 1 桶（1000L）。

（2）空压站

本项目所需的生产用压缩空气由中环一期厂房动力车间空压站提供。一期

厂房空压站配置 6 台螺杆式空气压缩机，4 用 2 备，总供气量为 84Nm3/min（即

3967.49 万 m3/年），中环一期厂房现有工艺所需压缩空气为 2232 万 m3/年，剩

余 1735.49 万 m3/年，本项目压缩空气使用量为 1.2 万 m3/年，一期厂房空压站

可以满足本项目生产压缩空气需求。

（3）纯水站

项目清洗机用水为纯水，纯水由中环光伏现有纯水系统供给。项目现有纯

水系统供应能力为 100m3/h，实际使用量为 26m3/h，则富余纯水供给量约 74m

³/h；本项目纯水用量约为 4.09m3/h，纯水系统能够满足本项目新增纯水用水需

求。本次评价不新增纯水制备设备。

（4）供电系统

项目所需电源由中环厂区原有 110kV 变电站 10kV 线路经一期厂房原有 4

台 SCB10-2500kVA/10kV/0.4kV 配电变压器提供，可满足本项目需求。

（5）供暖工程

本项目均在现有厂房内进行改造，热源依托现有工程供热管网，主要由金

桥热电厂提供，能够满足本项目的供热要求。本项目距离金桥热电厂为 500m。

（6）供水工程

项目所需均为市政自来水，利用厂区现有室外环网，依托内蒙古中环光伏

材料有限公司现有项目供水系统。中环光伏现富余 210.00m3/h 的水量，项目新

增新鲜水用量约为 4.34m3/h，现有供水能力能够满足本项目用水需求。

6

（7）制冷

本项目空调所需冷源由一期厂房动力车间离心式冷水机组，制冷量为

8750kW，供/回水温度 8/15℃。冷冻水采用一次泵闭式循环系统、系统由冷水

机组、冷冻水循环泵、定压补水装置、管道、阀门及附件等组成，冷水管道采

用架空敷设方式。原有设计冷负荷为 5250kW，现有剩余 3500kW，本项目冷

负荷为 350KW，一期厂房动力车间冷冻站可以满足本项目的空调用冷需求。

（8）废水排放

本项目产生的废水主要为生产废水和纯水制备废水，产生的废水依托中环

二期项目的污水处理站。

本项目酸性废水与喷淋洗涤塔产生碱液共计 4.29m3/h 进入中环二期项目

污水处理站中 30m3/h 的酸性废水处理系统处理（现有工程酸性废水处理量为

22.96m3/h，剩余 7.04m3/h 的处理量）。根据中环一期项目环评及验收，纯水生

产过程中产生的浓盐水用于进行厂区内卫生、防尘用水及冲厕用水，不外排。

（9）危险固废储存

本项目产生的废铬酸依托中环三期项目现有工程的 1 座 400m2 危废间，本

项目产生的废铬酸 12.5t/a，采用 1m3 的酸桶贮存，贮存量为 3 桶左右，危废间

可满足依托需要。

7

项目所在车间 项目所在车间

项目北侧 110KV 变电站 中环光伏三期项目危废库及危险化学品库

酸洗生产线 手动酸洗

图 1 项目周边情况及依托工程

4、产品方案

本项目加工产品为半导体单晶硅料，设计产量为 600t/a（酸洗料 480t/a、

水洗料 120t/a），经过加工清洗后的硅料以满足集成电路用单晶硅的使用需求。

8

表 3 单晶硅纯度及相关技术要求

项目 单位 单晶硅纯度等级

IC 级品 1 级品 2 级品

表面金属杂

质浓度

Fe ppbw ≤0.56 ≤1.0 ≤5.0

Cr ppbw ≤0.14 ≤0.15 ≤1.0

Ni ppbw ≤0.14 ≤0.15 ≤1.0

Al ppbw ≤0.5 ≤0.8 ≤2.0

Cu ppbw ≤0.14 ≤0.1 ≤1.0

Zn ppbw ≤0.28 ≤0.3 ≤1.0

Na ppbw ≤0.56 ≤0.5 ≤3.0

K ppbw ≤0.42 ≤0.4 ≤2.0

5、主要设备

项目新增生产工艺设备 16 台（套），具体设备情况表 4 所示。

表 4 主要生产工艺设备一览表

设备名称 规格型号/技术参数 数量

（台/套）

手动清洗线（4 条酸洗，1 条水洗） HBS19020 4

包装台 非标定制 4

封口机 KCF-460 4

二次配 4

铬酸浸泡橱 1

合计 16

6、主要原辅材料

本项目生产原料主要为单晶硅料、氢氟酸、硝酸等。本项目主要原辅材料

使用情况见表 5，产品理化、毒理性质见表 6。

表 5 主要原辅材料使用情况

序号 原辅料名称 规格型号 单位 年用量 供应商

1 单晶硅料 吨 600 480t/a 酸洗、120t/a 水

洗

2 氢氟酸

优级纯 30%

（1000L 桶

装）

升 3,900 昆山

3 硝酸

优级纯 65%

（1000L 桶

装）

升 30,000 昆山

4 三氧化铬 桶装 kg 1250

5 碱液 kg 811.8

6 酒精 kg 1250.63

7 净空袋 套 50000 桐城

8 缠绕膜 卷 165

9

9 标签打印纸 卷 197.2

表 6 本工程主要原辅材料及理化、毒理性质

序号 名

称 理化性质 危险特性 毒性指标

1 硝

酸

纯品为无色透明发烟液

体，有酸味,相对密度（水

=1）1.50（无水），相对密

度（空气=1）2.17，与水

混溶,蒸汽压 4.4kPa

（20℃）。本项目混酸中

用到的硝酸浓度为 26%。

具有强氧化性、

强腐蚀性。与易

燃物（如苯）和

有机物（如糖、

纤维素等）接触

会发生剧烈反

应，甚至引起燃

烧,与碱金属能

发生剧烈反应。

硝酸液及硝酸蒸气对皮

肤和粘膜有强刺激和腐

蚀作用。浓硝酸烟雾吸

入后可引起急性氮氧化

物中毒。吸入可引起肺

炎。大鼠吸入

LC5049ppm/4 小时。

2

氢

氟

酸

无色透明有刺激性臭味的

液体,与水混溶,相对密度

（水=1）1.26（75%）；相

对密度（空气=1）1.27。

腐蚀性极强。遇

H 发泡剂立即燃

烧。能与普通金

属发生反应，放

出氢气而与空气

形成爆炸性混合

物。

LC501276ppm，1 小时

（大鼠吸入），有剧毒。

3

氢

氧

化

钠

氢氧化钠为白色半透明结

晶状固体。其水溶液有涩

味和滑腻感。有腐蚀性。

在空气中易潮解。固碱吸

湿性很强，暴露在空气

中，吸收空气中的水分

子，最后会完全溶解成溶

液， 但液态氢氧化钠没

有吸湿性。极易溶于水，

溶解时放出大量的热。易

溶于乙醇、甘油。

与酸发生中和反

应并放热。遇潮

时对铝、锌和锡

有腐蚀性，并放

出易燃易爆

的氢气。本品不

会燃烧，遇水和

水蒸气大量放

热，形成腐蚀性

溶液。具有强腐

蚀性。

侵入途径：吸入、食

入、经皮吸收、眼睛接

触。急性毒性：LD50

900mg/kg， LC50

3124ppm（大鼠吸入，

1h）。

本品有强烈刺激和腐蚀

性，粉尘或烟雾会刺激

眼和呼吸道，腐蚀鼻中

隔；皮肤和眼和氢氧化

钠直接接触可引起灼

伤，误服会造成消化道

灼伤，粘膜糜烂、出血

和休克。

7、公用工程及辅助设施

7.1、给水

项目所需自来水利用生产厂房现有自来水，清洗过程中使用的纯水最大用

10

量为 3.075m³/h，配置铬酸用水 0.0025m3/h，铬酸清洗用水 0.0031m3/h，纯水

制备率为 75%，则制备纯水所需的新鲜水量为 4.1008m3/h。生产厂房内现有

100m³/h 纯水系统可以满足项目需求。

7.2、排水

本项目纯水依托现有工程，不再分析纯水制备废水。本项目排水主要为生

产废水。

清洗过程中产生含尘废水、酸性废水，项目新增一支 DN80PPR 管，引至

车间一层的中转站 PW 收集罐内，最终进入厂区内二期废水站处理，处理达标

后排至园区污水管网，最终排入金桥污水处理厂。

本项目用排水情况见表 8，本项目水平衡见图 2。

表 8 工程排水一览表

序号 用水项目 用水标准

m3/h 排污类型

排放量

m3/h 备注

1 纯水 3.076

酸性废水（清

洗、喷淋） 3.06 污水处理站

铬酸水洗废水 0.0031 危废

配置铬酸 0.0025 危废

水蒸气 0.01 烘干

2 纯水制备系

统用水 4.101 浓盐水 1.025

纯水制备率

为 75%

图 2 项目水平衡图 单位：m3/h

7.3、供电

项目所需电源由中环厂区原有 110kV 变电站 10kV 线路经一期厂房原有 4

台 SCB10-2500kVA/10kV/0.4kV 配电变压器提供，可满足本项目需求。

7.4、供暖

本项目均在现有厂房内进行改造，热源依托现有工程供热管网，主要由金

桥热电厂提供，能够满足本项目的供热要求。

7.5、气体动力

新鲜水

5.14

纯水站

4.89

清洗、喷淋用

水 3.06

浓盐水 1.025

中环二期污水

处理站

用于厂区卫

生、防尘用水

及冲厕用水

烘干废气 0.01

配置铬酸用于

晶体检验、水

洗用水 0.0056

废铬酸液送中环

三期危废间贮存

11

压缩空气：项目压缩空气使用量为 10m³/h，由厂房内现有动力站内空压

系统提供，空压站现有 1 台空压机，单台产气量为 14.8Nm³/min，排气压力

1.6MPa。

氮气：项目氮气使用量为 24m³/h，利用厂房内现有氮气主管网，现有厂房

内氮气接自厂区氮气站氮气储罐。

8、平面布置

本项目生产厂房位于厂区内西侧，项目对一期生产厂房内二层 665m2的区

域进行改造，改造部分主要布局设备为手动清洗线设备、包装台和封口机，项

目改造区域位置平面图见附图 2。

9、项目相关符合性分析

（1）产业政策符合性分析

本项目单晶硅原料进行清洗，提高原料品质，符合《产业结构调整指导目

录 2011 年本（2013 年修正）》内容，属于鼓励类中第二十八“信息产业”中的

第 22 条“半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料”项目，

项目的建设符合国家产业政策要求。

（2）选址合理性分析

项目选址位于内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区金桥开发区内蒙古中环光

伏材料有限公司现有一期生产厂房。项目厂址西南约 0.8km 为金桥热电厂，北

面相隔约 1km 有内蒙古田野化工集团与甲醇厂和中石油总公司的炼油厂，西

北面约 1.1km 为天平营子村，南侧 1.3km 为旭泥板村，西南 1.3km 为茂盛营

村，东北 0.7km 为后白庙村，东南 1.38km 为前白庙村。项目产生的各项污染

物均采取了防治措施，清洗生产线产生的酸性废气通过新建一座喷雾洗涤塔处

理达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准限值

后排放；检测实验室铬酸浸泡过程产生的废铬酸属于危险废物，暂存于中环三

期项目建设的危废库内，交由有资质单位进行处理；噪声采取降噪措施后可满

足相应标准要求。同时项目周边交通便利，基础设施完善，项目不在自然保护

区、饮用水水源保护区等环境敏感区域，本项目在原有厂房内进行改造新建，

不新增占地，所以项目选址合理。

（3）与园区规划符合性

呼和浩特金桥经济技术开发区位于呼和浩特市区南部，为内蒙古自治区人

民政府于于 2001 年 12 月批准设立的自治区级开发区[内政字[2001]353 号]，

呼和浩特金桥经济技术开发区总体规划于 2004 年 8 月获得内蒙古自治区建设

厅批复[内建规[2004]168 号]，2006 年 3 月内蒙古自治区环境科学研究院编制

12

完成了《呼和浩特金桥经济技术开发区区域开发环境影响报告书》并于 2006

年取得内蒙古自治区环保局的审查意见[呼环批字[2006]2 号]。

金桥开发区经过十几年的开发建设，截止到 2012 年，累计完成基础设施

建设投资 20 亿元，累计完成固定资产投资 450 亿元，累计完成招商引资到位

资金 390 亿元。2011 年，自治区政府批准为首家自治区级呼和浩特市光伏材

料产业示范基地。2012 年，申报自治区级高新技术产业开发区获得通过。原有

规划思路已不适应开发区的发展需要，须对原规划的空间布局结构进行完善、

功能结构进行调整、产业布局进行优化。在此背景下金桥经济技术开发区管委

会委托哈尔滨工业大学承担《金桥经济技术开发区总体规划（调整）》的环境

影响评价工作，并于 2016 年 3 月 7 日召开了《金桥经济技术开发区总体规划

（调整）环境影响报告书》审查会，根据审查小组所提意见，审查小组对于园

区产业定位提出的意见是控制发展煤化工产业并取消 500 万吨/年炼油项目，

认可光伏材料、新材料业等产业的发展规划和布局。

本项目属于电子元件及电子专用材料制造生产项目，位于三类工业用地范

围内单晶硅生产企业现有厂房，与开发区总体规划空间、产业布局相符，故符

合《呼和浩特市金桥经济技术开发区总体规划（调整）（2013-2030）》的要求。

（4）生态保护红线

根据《内蒙古自治区人民政府办公厅关于印发划定并严守生态保护红线工

作方案的通知》内政办发〔2017〕133 号。2018 年上半年，按照自治区党委、

政府审议意见，完成《内蒙古生态保护红线划定方案（送审稿）》，履行国家层

面技术审核程序，并按审核意见进行调整；同步启动生态保护红线相关管控政

策研究。2018 年下半年，形成《内蒙古生态保护红线划定方案（报批稿）》，由

环境保护部、国家发展改革委报国务院审批后，自治区人民政府发布实施。开

展生态保护红线勘界定标试点工作。

截至目前，虽然生态保护红线划定方案（报批稿）尚未发布实施，但是为

了促进区域生态恢复治理和自然资源保护利用，提高生态产品供给能力和生态

系统服务功能，本项目根据生态红线的主要划定依据，本项目范围内无饮用水

水源地、自然保护区、风景名胜区等特殊环境敏感区。

13

建设项目所在地自然环境社会环境概况

自然环境简况(地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植

被、生物多样性等)

1、地理位置条件

赛罕区地处呼和浩特市向东南发展的主方向，辖区内大部分地域列入了全

市城市规划扩展的主要区域。地理坐标为东经 111°40′至 112°10′，北纬

40°36′至 40°57′。东距首都北京 500 公里，北距二连浩特内陆口岸 490 公

里，西至草原钢域包头 150 公里，西南至天然气和煤储量丰富的鄂尔多斯市

260 公里，京包铁路、京藏高速公路、110 国道穿境而过，呼和浩特白塔国际

机场坐落境内，是沟通北京、连接西北，通往各省的重要通道。

呼和浩特金桥经济开发区位于呼和浩特市市区东南部，隶属于呼和浩特市

赛罕区，与市区相连，交通干线密集，纵横交错，形成四通八达的路网系统。

北与呼和浩特市市区贯通，经 110 国道、109 国道可抵达北京、天津、环北海

经济圈和长江三角洲地区。开发区内年运输量达 200 万吨的铁路专用线，与京

兰铁路相通，辐射全国各地。

本项目位于内蒙古呼和浩特市赛罕区金桥开发区工业二区宝力尔街，内蒙

古中环光伏材料有限公司院内。

2、地形地貌条件

呼和浩特地处阴山山脉中段，黄河北岸的土默特平原的中南部，北依大青

山，南濒大小黑河，总地势东北高，西南低，呈自然缓坡地形，坡度多在 6-13%。

平均海拔高度 1050m。

3、气候与气象

赛罕区属中温带大陆性季节风气候，四季气候变化明显，差异较大，其特

点：冬季漫长严寒，夏季短暂炎热，春秋两季气候变化剧烈。该地区年平均气

温为 7.3℃，极端最高气温为 38.9℃，极端最低气温为-26.6℃；年平均气压为

896.2hPa；年平均相对湿度为 52%；年降水量为 393.2mm，年极端最高降水量

629.5mm；年蒸发量为 1365.6mm；年日照时数 2662.7h；年平均风速为 1.8m/s，

十分钟平均最大风速为 18.3m/s；年均主导风向为东风。

4、水文地质条件

呼和浩特市属于洪积与冲击的山前倾斜平原，地下水赋存于第四季松散

砂、砂砾石中，主要靠北部大青山及东部蛮汉山山区基岩裂隙水的侧向补给和

14

大气降水补给，径流条件好，地下水资源丰富。本地区潜水水位埋深介于 5-30m

之间，含水层厚度约 15-30m，单位涌水量 500-1000m3/d•m。潜水总硬度偏高

且局部地区已受到污染。承压水市区北部含水层埋深 40-50m，向南逐渐增至

100-120 之间，单位涌水量 500-1000m3/d，地下水化学类型以 HCO3-Ca•Mg 型

为主，溶解性总固体小于 1000mg/L，各项化验指标完全符合《生活饮用水卫

生标准》，水质良好。

5、土壤与植被

呼和浩特地区的土壤类型多样，有山地草甸土，灰色森林土、灰褐土、栗

褐土、新积土、粗骨土、潮土、盐土、沼泽土和风沙土 10 个土类，17 个亚类，

62 个土属，138 个土种。

呼和浩特地区地处土默川平原地带，多年的农业生产，使原有的草地资源

替代为人工栽培植物，因此本区的野生植物种类较少，主要种类有野葱、蘑菇、

沙棘、黄芪、针茅等。本区的草地植被明显特征是植物群落结构简单，草层低

矮、稀疏，多为单层结构，群落的数量特征普遍偏低。植被多以多年生中旱生

和旱中生和强旱生类植物为主。

15

环境质量状况

建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空

气、地表水、地下水、声环境、生态环境等)

1、环境空气质量现状

（1）区域环境质量现状评价

根据呼和和特市环保局发布的《呼和浩特市 2018 年环境质量状况》，全年

优良天数达到 272 天，达标天数比例为 81.9%。

2018 年，根据全市 8 个环境空气自动监测结果显示：全市可吸入颗粒物

（PM10）年平均浓度为 86 微克/立方米（扣除沙尘影响）；细颗粒物（PM2.5）

年平均浓度为 36 微克/立方米（扣除沙尘影响）；二氧化硫(SO2)年平均浓度为

20 微克/立方米；二氧化氮(NO2)年平均浓度为 41 微克/立方米；臭氧（O3）日

最大 8 小时滑动平均值第 90 百分位数浓度 150 微克/立方米；一氧化碳（CO）

24 小时平均第 95 百分位数为 2.2 毫克/立方米。环境空气监测结果统计表见表

9。

表 9 环境空气监测结果统计表

污染

物

年评价指

标

现状浓度/

（ug/m3）

标准值/

（ug/m3）

占标率/%

达标情

况

超标

倍数

超标

率/%

PM10 年平均质

量浓度 86 70 123% 不达标 1.23 23

PM2.5 年平均质

量浓度 36 35 103% 不达标 1.03 3

SO2 年平均质

量浓度 20 60 33% 达标 / /

NO2 年平均质

量浓度 41 40 103% 不达标 1.03 3

O3 8h 平均质

量浓度 150 160 94% 达标 / /

CO 百分位数

日平均 2.2 4 55% 达标 / /

从环境空气质量现状监测数据结果可以看出，污染物 PM10、PM2.5、NO2

年平均质量浓度不符合《环境空气质量标准》（GB3095－2012）中的年平均浓

度限值。O3 的 8h 平均质量浓度符合《环境空气质量标准》（GB3095－2012）

中的日最大 8 小时平均浓度限值；SO2 的年平均质量浓度和 CO 的百分位数日

16

平均浓度符合《环境空气质量标准》（GB3095－2012）中相应要求。由此可知，

项目所在区域城市环境空气质量不达标。其中，PM10 的超标倍数为 1.23，超标

率 23%；PM2.5 的超标倍数为 1.03，超标率 3%；NO2 的超标倍数为 1.03，超标

率 3%。

（2）环境质量现状监测

为了解项目拟建地环境质量现状，根据导则要求本次环评在项目拟建设厂

址下风向茂盛营村设一个监测点进行监测，委托检测单位为内蒙古寰宇环境科

技有限公司，监测时间为 2019 年 6 月 21 日-2019 年 6 月 27 日。监测点具体情

况见表 10 和图 3。

表 10 大气环境现状监测结果

监测项目

监测值范围

（mg/m3） 统计

个数

标准限值

(mg/m3)

是否超标

(超标率%) 茂盛营村

氟化物 24 小时平均 0.00016~0.00030 7 0.007 否

NOx 1 小时平均 0.015~0.059 28 0.25 否

24 小时平均 0.011~0.016 7 0.1 否

由监测结果可知，监测点中各项监测因子均未出现超标现象，满足《环境

空气质量标准》（GB3095—2012）二级标准要求，评价区环境空气质量良好。

2、噪声环境现状

为了解项目拟建地噪声环境质量现状，根据该项目拟建地的目前状况，本

次评价在项目场区四周各设一个监测点进行监测。委托监测单位为内蒙古寰宇

环境科技有限公司，监测时间为 2019 年 6 月 21 日。监测点具体情况见表 11

和图 3。

表 11 各点噪声监测结果表 单位：dB（A）

监测点位 监测时

间

监测项目 Leq

昼间 标准限

值

达标情

况 夜间

标准限

值

达标情

况

厂界

1#东

6 月 21

日

49.4

65

达标 44.5

55

达标

2#南 50.5 达标 46.2 达标

3#西 53.5 达标 45.9 达标

4#北 56.2 达标 48.7 达标

执行

标准

执行标准《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中 3 类标准

（昼间 65dB，夜间 55dB）

根据监测结果表明，各监测点位昼夜间噪声值均未出现超标现象，昼、夜

间噪声值均可满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）3 类声环境功能区标准。

说明项目所在区域声环境质量良好。

3、地下水环境质量现状

17

本次引用内蒙古中晶科技研究院新型碳纤维复合材料产业化项目环境影

响评价地下水现状监测数据，描述区域地下水环境质量现状。内蒙古中晶科技

研究院新型碳纤维复合材料产业化项目位于本项目西北侧，委托监测单位为内

蒙古航峰检测技术有限公司，监测时间为 2018 年 08 月 29 日。各点位的监测

时间均在近 3 年内，点位与本项目属同一水文地质单元。

1.监测布点

地下水水质现状监测点共 7 个，地下水水位现状监测点共 14 个。

表 12 地下水环境监测点位

编号 位置 井用途

含

水

层

与项目

位置关

系

距厂

区距

离

（m）

井深

（m）

监测

项目 备注

1# 西黑河

农灌井 浅

层

下游 5030 25

水质

及水

位

为实

测数

据，

监测

时间

为2018

年 8

月

2# 后白庙村 上游 2550 31

3# 天平营村 下游 860 26

4# 茂盛营村

东北 侧向 1760 53

5# 茂盛营村 侧向 3600 24

6# 新营子村 下游 3360 10

7# 项目厂区 厂区内 280 40

8# 姚府 村集中供

水井

深

层 下游 4280 150

水位

9# 西黑河村

南 农灌井

浅

层

下游 4900 60

10# 新营子村

北 下游 3100 40

11# 前白庙村 村集中供

水井

深

层 上游 4180 150

12# 八拜村西

农灌井 浅

层

上游 4790 60

13# 园区北 侧向 3240 30

14# 后白庙村

北 上游 3420 45

地下水水质检测结果见表 13。由监测结果可知，各监测因子标准指数均小

于 1，满足《地下水质量标准》（GB/T14848－2017）中 III 类标准，评价区地

下水质量良好。

18

表 13 地下水水质监测及标准指数评价结果

监测点

监测项目 标准值

1#西黑河 2#后白庙村 3#天平营村 4#茂盛营村东北 5#茂盛营村 6#新营子村 7#项目厂区

监测值 标准指

数 监测值

标准指

数 监测值

标准指

数 监测值

标准指

数 监测值

标准指

数 监测值

标准指

数 监测值

标准指

数

pH 值 6.5~8.5 7.83 0.55 7.77 0.51 7.85 0.57 7.67 0.45 7.61 0.41 7.89 0.59 7.77 0.51

总硬度 450 208 0.46 312 0.69 263 0.58 375 0.83 352 0.78 227 0.50 285 0.63

溶解性总固

体 1000 291 0.29 620 0.62 349 0.35 683 0.68 561 0.56 346 0.35 452 0.45

耗氧量 3.0 2.6 0.87 1.67 0.56 1.76 0.59 1.84 0.61 2.18 0.73 1.67 0.56 2.18 0.73

氨氮 0.5 0.171 0.34 0.165 0.33 0.169 0.34 0.398 0.80 0.267 0.53 0.173 0.35 0.182 0.36

氰化物 0.05 <0.002 ---- <0.002 ---- <0.002 ---- <0.002 ---- <0.002 ---- <0.002 ---- <0.002 ----

挥发酚 0.002 <0.0003 ---- <0.0003 ---- <0.0003 ---- <0.0003 ---- <0.0003 ---- <0.0003 ---- <0.0003 ----

氯化物 250 7.15 0.03 32.6 0.13 22.5 0.09 36.1 0.14 42.7 0.17 22 0.09 37.2 0.15

氟化物 1.0 0.32 0.32 0.31 0.31 0.33 0.33 0.29 0.29 0.23 0.23 0.35 0.35 0.31 0.31

亚硝酸盐 1.0 <0.001 ---- <0.001 ---- <0.001 ---- <0.001 ---- <0.001 ---- <0.001 ---- <0.001 ----

硝酸盐 20 0.12 0.01 8.08 0.40 0.68 0.03 19.3 0.97 18.9 0.95 0.63 0.03 1.19 0.06

硫酸盐 250 0.84 0.00 167 0.67 34.1 0.14 97 0.39 103 0.41 0.13 0.00 73.8 0.30

镉 0.005 <5×10-4 ---- <5×10-4 ---- <5×10-4 ---- <5×10-4 ---- <5×10-4 ---- <5×10-4 ---- <5×10-4 ----

铬（六价） 0.05 <0.004 ---- <0.004 ---- <0.004 ---- <0.004 ---- <0.004 ---- <0.004 ---- <0.004 ----

铁 0.3 <0.020 ---- <0.020 ---- <0.020 ---- <0.020 ---- <0.020 ---- <0.020 ---- <0.020 ----

锰 0.1 <0.005 ---- 0.0233 0.23 0.0233 0.23 <0.005 ---- 0.0536 0.54 <0.005 ---- 0.0536 0.54

铅 0.01 <2.5×10-3 ---- <2.5×10-3 ---- <2.5×10-3 ---- <2.5×10-3 ---- <2.5×10-3 ---- <2.5×10-3 ---- <2.5×10-3 ----

砷 0.01 <1×10-3 ---- <1×10-3 ---- <1×10-3 ---- <1×10-3 ---- <1×10-3 ---- <1×10-3 ---- <1×10-3 ----

汞 0.001 <1×10-4 ---- <1×10-4 ---- <1×10-4 ---- <1×10-4 ---- <1×10-4 ---- <1×10-4 ---- <1×10-4 ----

总大肠菌群 3.0 未检出 ---- 未检出 ---- 未检出 ---- 未检出 ---- 未检出 ---- 未检出 ---- 未检出 ----

菌落总数 100 74 0.74 59 0.59 63 0.63 70 0.70 68 0.68 61 0.61 52 0.52

19

图 3 现状监测布点图

全 年（C=23.1%）

0.0

5.0

10.0

15.0N

NNE

NE

ENE

E

ESE

SE

SSES

SSW

SW

WSW

W

WNW

NW

NNW

图 例

大气评价范围

厂址

空气质量监测点位

噪声监测点位

茂盛

营村

20

图 4 地下水监测布点示意图

中晶研究院

本项目

21

主要环境保护目标（列出名单及保护级别）

项目周边范围内无自然保护区、风景名胜区、文物保护单位及水源地保护

区。项目区保护目标见表 14，项目环境保护目标图见图 5。

表 14 环境保护目标表

保护目标名称 距离 km 方位 备注

大气环境三级

后白庙 0.7 东北 992 人

前白庙 1.38 东南 1062 人

茂盛营村 1.32 西南 466 人

新营子 1.76 西南 714 人

旭泥板 1.33 南 466 人

天平营村 1.1 西北 1018 人

声环境 3 类 厂界外 200m 范围内无敏感点

地下水Ⅲ类 厂区及周围 1000m 范围内浅层地下水

22

图 5 本项目环境保护目标图

全 年（C=23.1%）

0.0

5.0

10.0

15.0N

NNE

NE

ENE

E

ESE

SE

SSES

SSW

SW

WSW

W

WNW

NW

NNW

图例

环境保护目标

后白庙村

前白庙村

旭泥板村

天平营村

新营子村

茂盛营村

本项目

所在厂

址 1.76km

23

评价适用标准

环

境

质

量

标

准

1、环境空气质量评价标准执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）

二级标准，具体标准见表 15。

表 15 《环境空气质量标准》（GB3095-2012）

污染物名

称 取值时间 浓度限值 单位 备注

SO2

1 小时平均 500

ug/m3

《环境空气质

量标准》

（GB3095-

2012）中的二

级标准

日平均 150

年平均 60

NO2

1 小时平均 200

日平均 80

年平均 40

NOx

1 小时平均 250

日平均 100

年平均 50

PM10 日平均 150

ug/m3 年平均 70

氟化物 1 小时平均 20

ug/m3 日平均 7

TSP 24 小时均值 300

ug/m3 年均值 200

2、项目所在区域环境噪声评价标准执行《声环境质量标准》（GB3096-

2008）3 类标准。具体标准见表 16。

表 16 《声环境质量标准》（GB3096-2008）

类别 昼间 夜间

3 类标准 dB(A) 65 55

3、项目所在区域地下水环境评价标准执行《地下水质量标准》

（GB/T14848-2017）Ⅲ类标准，具体标准见表 17。

24

表 17 《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）

序

号 指标 单位

标准限

值

序

号 指标 单位

标准限

值

1 pH 值 无量纲 6.5~8.5 12 氟化物 mg/L ≤1.0

2 耗氧量 mg/L ≤3.0 13 铁 mg/L ≤0.3

3 溶解性总

固体 mg/L ≤1000 14 锰 mg/L ≤0.1

4 总硬度 mg/L ≤450 15 砷 mg/L ≤0.01

5 硫酸盐 mg/L ≤250 16 汞 mg/L ≤0.001

6 氯化物 mg/L ≤250 17 镉 mg/L ≤0.005

7 氨氮 mg/L ≤0.5 18 铅 mg/L ≤0.01

8 硝酸盐 mg/L ≤20 19 六价铬 mg/L ≤0.05

9 亚硝酸盐 mg/L ≤1.0 20 细菌总数 CFU/mL ≤100

10 挥发酚 mg/L ≤0.002 21 总大肠菌

群 CFU/100mL ≤3

11 氰化物 mg/L ≤0.05

污

染

物

排

放

标

准

1、项目大气污染物排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-

1996）二级标准限值要求，具体标准见表 18。

表 18 大气污染物综合排放标准

序

号 污染物 最高允许排放浓度 排气筒高度 m

最高允许排放速率kg/h

1 氟化物 9.0 mg/m3 15 0.1

2 NOx 240mg/m3 15 0.77

2、项目施工期噪声排放执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》

（GB12523-2011）中标准；营运期场界噪声排放执行《工业企业厂界环境

噪声排放标准》（GB12348-2008）中 3 类声环境功能区标准。具体标准见

表 19、20。

表 19 《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011） 单位：dB

（A）

昼间 夜间

70 55

表 20 《工业企业厂界环境噪声排放限值》（GB12348-2008） 单位：dB

（A）

功能区 昼间 夜间

3 类 65 55

3、项目污水排放执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级排放

标准，详情见表 21。

25

表 21 污水排放标准限值 单位：mg/L

控制项目 pH COD 氨氮 BOD5 SS 动植物

油

氟化物

三级标准 6~9 500 -- 300 400 100 20

4、一般固废执行《一般工业固体废物贮存、堆置场污染控制标准》

（GB18599-2001）相关标准及 2013 年修改单中相关要求；危险固废执行

《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）相关标准及 2013 年修改

单中相关要求。

总

量

控

制

指

标

按照我国对总量控制的有关要求，总量控制指标的项目为 SO2、NOX、

COD、氨氮，污水处理站环评报告按照设计能力计算的污染物排放量，总

量已涵盖在污水处理站污染物总量中。本项目大气污染物为 NOx 和氟化

物，无 SO2。根据工程分析，项目 NOx排放量为 0.062t/a。

26

建设项目工程分析

工艺流程简述

1、施工期

本项目施工期主要是在原有厂房内进行场地清理、设备安装及设备调试，具

体工艺流程及产污环节分析如下：

场地清理 设备安装 设备调试 扫尾工程

扬尘噪声

固废 固废

图 6 建设项目施工期工艺流程及产污环节示意图

2、运营期

本项目硅料清洗技术是天津环博科技有限责任公司自主开发、制造，应用于

硅料清洗的设备。该设备实现从人工上料，一级冲洗，二级冲洗，超声清洗，烘

干到人工下料的清洗流程。包括以下几个部分：

2.1 项目主要生产工艺流程如图 7 所示。

图 7 酸洗（氢氟酸+硝酸）工艺流程

（1）备料、分装：硅料经拆箱、分装至清洗料框；酸洗处理原料量为 480t/a。

（2）溢流漂洗：将装填硅料的清洗料框放置在冲洗槽内，冲洗槽分一级冲

洗，二级冲洗，使用 45%氢氟酸和 70%的硝酸，其中氢氟酸和硝酸的比例为 1:5。

酸洗产生的酸洗废气 G1、G2 经碱液喷淋洗涤塔净化后通过排气筒排放。为防止

酸洗中的杂质对单晶硅品质产生影响，需采取溢流方式将酸冲洗出去，溢流口设

在上方，溢流口设有滤网，防止大块物料随酸溢流而造成损失，槽体中带有过滤

沉淀滤网，溢流废酸 W1 经过滤送废水管道。一级冲洗，二级冲洗槽每次可放入

原料分装 溢流漂洗 超声波清洗

烘箱烘干 检验包装

27

混酸 45L，处理 800kg 硅料后将不能使用，废酸 W2 排入下方沉淀水箱后排废水

管道。再次放酸前需使用纯水对一级冲洗，二级冲洗槽进行清洗，清洗废水 W3

过滤沉淀后排放至废水管道。

（3）经酸洗后的硅料传至超声波清洗槽，使用纯水，对硅料进行超声波清

洗，超声波清洗后的纯水经过滤后通过水泵打入一级冲洗槽二次利用。

（4）经超声波纯水清洗后的硅料传至电烘箱，烘干废气 G3 收集后经排气

筒直接排放，洗料经过烘干、冷却后送至包装台。

（5）检测包装：检测主要是挑选出非硅料物质，未洗净的硅料返回清洗机

进行再次清洗。

2.2 项目水洗主要生产工艺流程图如图 8 所示。

图 8 水洗工艺流程

（1）水洗原料装至清洗料框内；水洗处理原料量为 120t/a；

（2）溢流漂洗：将装填硅料的清洗料框放置在冲洗槽内，进行冲洗；

（3）超声波清洗：使用纯水对硅料进行超声波清洗；

（4）烘干：将清洗完硅料置于烘箱内进行烘干，洗料经烘干、冷却后送至

包装台；

（5）检验包装：未洗净的硅料返回清洗机进行再次清洗。

2.3 本期工程新建晶体样片检验预处理实验室，铬酸处理后的硅片用于检验

单晶硅片是否合格，采用酸洗（铬酸浸泡）工艺。项目生产工艺流程图如图所示：

图 9 晶体检验工艺流程图

（1）铬酸溶液配制：将三氧化铬与一定比例纯水配制铬酸（约 20%）对单

晶硅棒的切片进行腐蚀，水洗后硅片送检。为实验工程，根据检验结果调整铬酸

浓度（20%以下），以达到最利于检验的效果，产排污按照最大量核算。

单晶硅切片

铬酸浸泡、水洗

铬酸溶液配备

检验包装

水洗原料 溢流漂洗 超声波清洗

烘箱烘干 检验包装

28

（2）将需进行检验的半导体级单晶切片；

（3）将需要检测的硅片送入盛有腐蚀液检验槽进行浸泡处理；

（4）对腐蚀后的硅片进行检验、包装。

晶体检验在室验柜中完成，检验过程中，为保证处理效果，严格控制检验槽

的温度在 20℃以下，且每批硅片处理完，检验槽产生废铬酸腐蚀液、清洗废水作

为危废进行收集贮存后送有资质单位处理。下批检测将重新配置腐蚀液。

图 10 酸洗工艺排污流程

单晶硅料 未洗净的硅料

一级冲洗

二级冲洗

超声波清洗

电烘干

检测

氢氟酸、硝酸

冷却包装

废气

废料

废水

G1

G2

G3

酸洗废水

酸洗废水

含尘废水

未洗净硅料

29

图 11 水洗工艺排污流程图

图 12 晶体检验工艺排污流程图

铬酸

单晶硅切片

酸洗槽

水洗

检测

包装

废铬酸

单晶硅料 未洗净的硅料

一级冲洗

二级冲洗

超声波清洗

电烘干

检测

纯水

冷却包装

废气

废料

废水

G4

含尘废水

含尘废水

含尘废水

未洗净硅料

废料

30

一、主要污染工序

1、施工期

本项目在原厂房内改造，施工期工程量较小，主要为设备安装。项目施工期

对环境产生影响的因子主要有：施工生活污水、固体废物、施工噪声等。

1）施工期产生的大气污染物主要为新增设备安装与调试过程中搬运等产生

的动力起尘。因项目施工期较短，且为间歇性污染，影响范围较小，因此对周围

环境影响较小。

2）本次施工过程中主要对新增设备进行安装与调试，因此不产生生产废水。

施工期产生的废水主要为少量的施工人员生活污水。本项目工程量较小，施工人

员也较少，生活污水的排放量较小，且依托厂区内现有生活配套设施，产生的生

活污水经厂区内一体化污水处理设施处理后排入园区管网。

3）施工期间噪声影响主要来自在施工作业时设备安装产生的噪声，主要包

括设备安装、调试时的打击声。因施工期较短，且为间歇性噪声，因此对周围环

境影响较小。

4）施工期的固体废物主要是建筑垃圾及生活垃圾。项目施工建筑垃圾主要

为厂房改造拆除墙体的壁板、废砖块，以及场地清理及扫尾工段产生的包装箱、

塑料等。施工过程中产生的建筑垃圾由建筑单位统一收集后，集中处理。施工期

产生的生活垃圾依托厂区内现有生活配套设施，集中收集后交由当地环卫部门统

一收集处置。项目施工期固体废物均可妥善处理，对环境影响较小。

2、营运期

1）废气

项目运营期废气主要为酸洗废气、烘干废气以及无组织排放废气。

2）废水

本项目废水来源主要为酸洗废水、超声波清洗废水和纯水制备废水。

3）噪声

项目运营期噪声主要来自手动清洗线设备、包装机、风机等设备运行噪声，

其等效声级＜100dB(A)。

4）固体废物

项目运营期固体废物主要来自于生产固废。项目生产未洗净硅料、溢流过滤

物以及晶体检验车间产生的废酸。

二、污染源强分析

31

1、施工期污染源强分析

项目施工期工程量较小，施工期污染物排放量较小。

1.1、废气

项目施工粉尘主要来自建筑垃圾搬运的风力扬尘，建筑材料车辆运输所产生

的道路扬尘和装卸材料等作业扬尘。其中，车辆行驶产生的扬尘占总扬尘的 60%

以上，尤其在干燥及风速较大时更为明显。通过类比调查可得，施工粉尘源强为

0.211～0.35lmg/Nm3。

1.2 废水

项目施工期废水主要为人员生活污水。项目工程量小，施工人员按平均 8 人

/d 计，施工人员用水量按 30L/d·人，则施工人员用水量约 0.24m3/d，排污系数

为 0.8，则施工人员每天生活污水量约 0.19m3，生活污水主要的污染因子为 SS、

BOD、COD、氨氮及油脂类，生活污水依托厂区内现有生活配套设施，经厂区内

一体化污水处理设施处理后排入园区管网。

1.3 噪声

施工期间噪声影响主要来自在施工作业时设备安装产生的噪声，主要包括设

备安装、调试时的打击声。施工机械噪声源强一般在 70-85dB(A)之间，施工不同

阶段将产生不同程度的噪声污染。

1.4 固体废物

本工程施工期产生的固体废弃物主要为建筑垃圾以及施工人员产生的生活

垃圾。

①建筑垃圾

建筑垃圾大多为固体废弃物，一般是在建设过程中产生的。项目建筑垃圾主

要为厂房改造拆除墙体的壁板、废砖块，以及场地清理及扫尾工段产生的包装箱、

塑料等。对于可以回收利用的回收利用，不能利用的由建筑单位统一收集后，集

中处理。在建设过程中，施工单位应规范运输，不要随意倾倒建筑垃圾，尽量减

少对周围环境的影响。

②生活垃圾

本项目施工期产生的生活垃圾主要以有机物为主，如剩饭菜、粪便等。生活

垃圾产量按 0.5kg/d（人）计，则施工生活垃圾产量为 4kg/d。

本项目施工单位生活垃圾依托厂区内现有生活配套设施，集中收集后交由当

地环卫部门统一收集处置，以免对周围环境造成明显影响。

32

2、运营期污染源强分析

2.1 废气

项目运营期废气主要为酸洗废气、烘干废气以及无组织排放废气。项目废气

排放情况表见表 25。

（1）酸洗废气

酸洗废气包括一级冲洗，二级冲洗废气，主要污染物为 pH、氟化氢、氮氧

化物。根据建设单位提供资料以及类比中环光伏二期项目可知，本项目酸洗过程

中氮氧化物产生量为 1.248t/a，氟化物产生量为 0.026t/a。产生的酸洗废气通过酸

洗槽配备的集气罩收集引入二级碱液喷淋洗涤塔进行处理，风量为 2000m3/h，处

理后的气体通过 15m 高排气筒排放。集气设备集气效率为 99%，酸性废气洗涤

塔氮氧化物去除效率 95%，氟化物去除效率 95%，则本工艺氮氧化物排放速率

0.03kg/h，氮氧化物经洗涤塔净化后排放浓度为 15.44mg/m3，氟化物排放速率

0.0006435kg/h，氟化物排放浓度为 0.32mg/m3。

（2）烘干废气

烘干废气主要成分为水蒸气，根据建设单位提供的设计资料，废气量为

500m3/h，洗料含水率为 2%，则水蒸气排放量为 12.2t/a，通过 15m 排气筒排放。

（3）无组织废气

项目酸洗车间由于集气效率会产生含氢氟酸、硝酸及装卸料粉尘废气等污染

物废气，以无组织废气形式排放，但本项目清洗生产区设计净化级别为万级，生

产厂房屋顶设置滤筒式除尘设备，粉尘经收集处理后排至室外大气，因此环境影

响较小。

表 23 主要废气污染源治理措施一览表

排放

源名

称及

编号

烟气量(Nm3/h)

产生量

治理措施

及效率

排放量

主要

污染

物

产生

浓度mg/N

m3

产生速

率kg/h

产生

量

t/a

排放

浓度mg/N

m3

排放

速率kg/h

排放

量 t/a

酸洗

废气 2000

氮氧

化物 312 0.62 1.25

经集气罩

收集后经

二级碱液

喷淋洗涤

处理，集

气效率99%

15.44 0.03 0.062

氟化

物 6.5 0.013 0.03 0.32 0.0006

0.001

3

烘干

废气 2000 -- -- -- --

主要为水

分 -- -- --

33

2.2 废水

本项目废水主要为生产废水。纯水制备依托现有纯水站余量，不新增纯水制

备设备，本次评价不再分析纯水制备废水。生产废水主要为酸洗废水、超声波清

洗废水。项目废水排放情况见表 24。

（1）酸性废水

本项目酸性废水主要包含酸洗溢流废酸、清洗排酸、酸洗槽清洗废水、以及

超声波清洗废水，排入中环光伏二期污水处理站。

①酸洗溢流废酸

酸洗槽需进行溢流，产生溢流废酸，根据建设单位提供的资料，溢流废酸量

为 0.0057m3/h，排入中环光伏二期污水处理站进一步处理。

②清洗排酸

酸洗槽冲洗一定数量的硅料后，由于杂质增多，需进行排酸，根据建设单位

提供的资料，每条线排酸量为一天 2 次，每次排酸 45L/次，0.01m3/h 排入中环光

伏二期污水处理站。

③酸洗槽清洗废水

酸洗槽冲洗排酸后，进行清洗处理，产生清洗废水，根据建设单位提供的资

料，每条线酸洗槽清洗废水排放量为一天 2 次，每次排水 160L/次，0.04 m3/h 排

入中环光伏二期污水处理站。

④超声波清洗废水

超声波清洗工序产生清洗废水，据建设单位提供的资料，每条线超声波清洗

废水排放量为 3m3/h，排入中环光伏二期污水处理站。

⑤喷淋废水

本项目酸洗废气采用喷淋洗涤处理，产生喷淋废水量为 0.02m3/h，排入中环

光伏二期污水处理站。

本项目的酸性废水产生量为 3.0757m3/h，根据《内蒙古中环光伏材料有限公

司 CFZ 单晶用晶体硅及超薄金刚石线单晶硅切片项目》，本项目酸性废水主要污

染物为 pH 1~1.5、氟化物 2300mg/L。以上酸性废水经污水处理站含氟废水均质

槽后调解 pH，用 NaOH 溶液中和，再加入 CaCl2 溶液，生成含氟化钙沉淀和硝

酸钠、硝酸钙溶液，随后加入 PAC 和 PAM 絮凝剂絮凝，依次排入沉淀池污泥

池，经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，废水进入酸性废水均质槽，进一

步中和处理后达标排放至金桥污水处理厂。

（2）纯水制备浓盐水

34

本项目酸洗过程中所使用纯水依托现有中环光伏一期项目纯水站制备，本项

目酸洗槽清洗、超声波清洗以及单晶硅片检验工序均使用纯水，纯水使用量为

3.076m3/h，纯水制备率为 75%，则浓盐水产生量为 1.025m3/h，本项目浓盐水产

生量为 1.025m3/h，主要污染物为 COD200 mg/L，氨氮 35mg/L 和全盐量 3000

mg/L，浓水回用于厂内降尘及冲厕无外排。

表 24 主要废水污染源治理措施一览表

类别 名称

废水产

生量m3/h

污染物名

称

污染物产

生量浓度mg/L

治理设施 排放

规律

含酸废

水

溢流废酸 0.0057

pH 1~1.5

中环二期项目

污水处理站处

理

间断

清洗排酸 0.01

酸洗槽清洗废水 0.04

超声波清洗废水 3 氟化物 2300

喷淋废水 0.02

浓盐水 纯水制备浓盐水 1.02

COD 200

氨氮 35

全盐量 3000

2.3 固体废物

本项目固体废物主要包括：未洗净硅料和溢流过滤物、废铬酸液等。

（1）未洗净硅料

本工程检测工序将会产生未洗净硅料，根据现有工程及建设单位提供资料，

产生量约为送检量的 10%，产生量约为 60t/a，直接返回清洗生产线进一步清洗。

（2）溢流过滤物

本项目酸洗及超声波冲洗过程，溢流废水产生溢流过滤物，主要成分为硅尘，

含有少量酸性废水，产生量为 0.6t/a，pH 值较高，属于危险固废，交由有资质单

位处置。

（3）晶体检验车间废铬酸液

本项目新建晶体检验车间，晶体检验车间采用铬酸进行处理，产生含铬酸废

酸，主要成分为铬酸，根据建设单位提供资料，废铬酸产生量为 12.5t/a，依托中

环三期项目现有工程的 1 座 400m2 危废间，采用 1m3 的酸桶贮存，贮存量为 3 桶

左右，危废间可满足依托需要。

表 25 主要固体废物产生情况及处置措施

序

号

固废来源

及名称

产生

量 t/a

主要

成分

固废类

型

危废

编号 处置方式 贮存方式

1 未洗净硅

料 60 硅

一般工

业固废 ---

不在厂房贮

存，直接返

回清洗生产

线进一步清

洗

/

35

2 溢流过滤

物 0.6

硅PH

危险废

物

交由有资质

单位处置 《危险废物贮存污染控

制标准》（GB18597-

2001） 3 废酸 12.5 铬酸 危险废

物 ---

交由有资质

单位处置

2.4 噪声

项目运营期噪声主要来自清洗机、风机、各种泵类等设备运行噪声，其等效

声级＜100dB(A)。采用设备基础减震处理，采用低噪设备，放置室内，利用封闭

厂房隔声降低环境噪声源强度。主要噪声源排放见表 26。

表 26 噪声源排放一览表

编号 噪声源 声源强度

dB(A)

工作

特性 控制措施

降噪效

果dB(A)

降噪后声

级 dB(A)

1 清洗机 ＜100 连续 封闭厂房，消声器及隔

音操作室 40 ＜60

2 风机 ＜80 连续 封闭厂房，消声器及隔

音操作室 25 ＜55

3 泵 ＜100 连续 室内及隔音操作室 30 ＜70

36

项目主要污染物产生及预计排放情况

内容

类型

排放源

(编号) 污染物名称

处理前产生浓度及产

生量(单位)

排放浓度及排放量

(单位)

大

气

污

染

物

酸洗废气

氮氧化物 312 mg/m3 1.25t/a 15.44mg/m3，0.062t/a

氟化物 6.5 mg/m3 0.03 t/a 0.32mg/m3，0.0013t/a

水

污

染

物

含酸废水6151m3/a

pH

氟化物

1~1.5

2300mg/m3 0.02t/a

6~9

6.5mg/m3 0.056kg/a

固

体

废

物

未洗净硅料 60t/a 回用

溢流过滤物 0.6t/a 安全处置

废铬酸 12.5t/a 安全处置

噪

声

项目运营期噪声主要来自清洗机、风机、各种泵类等设备运行噪声，其等效声

级＜100dB(A)。

生态影响：项目拟建于内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区金桥开发区内蒙古中环光伏

材料有限公司现有一期生产厂房，不新增用地，不会对周围生态环境产生不利影响。

37

环境影响分析

一、施工期环境影响分析及防治措施

1.环境空气

施工期废气污染主要为施工造成的粉尘、扬尘污染。施工场地的粉尘、扬

尘可采取以下抑尘措施：施工在已建成厂房内进行改造，有效降低扬尘排放，

同时施工现场、运输道路应当适时洒水或喷水，保持潮湿；做好运输车辆的日

常保养。

本项目主要进行部分厂房改造，施工工程量很小，施工期通过采取以上污

染防治措施减小施工扬尘废气的影响，则施工期大气污染物对周围环境空气影

响较小。

2.水环境

建设期的废水排放主要来自建筑施工人员的生活污水。施工人员生活污水

产生量较少，利用厂内现有生活设施及污水处理系统，污水进入现有污水管网

排入园区污水处理厂。

3.声环境

施工期主要环境影响是施工机械噪声对周围环境的影响。一般施工机械噪

声源强为 70～85dB（A）之间。应加强施工管理，用噪声较低的环保型设备。

项目施工在现有厂房内，通过采取选用低噪声设备，禁止夜间施工，加强

对施工人员的管理降低人为噪声等措施，可以达到《建筑施工场界环境噪声排

放标准》（GB12523-2011）的要求，能够被周围声环境所接受。

4.固体废物

施工期固体废物主要为施工人员生活垃圾和建筑垃圾。

项目建筑垃圾可以回收利用的回收利用，不能利用的由建筑单位统一收集

后，集中处理；施工期产生的生活垃圾集中收集后交由当地环卫部门统一收集

处置。施工期固体废物均可得到妥善处置，因此施工期固体废物对周围环境产

生影响较小。

综上所述，本项目施工期间虽然会对环境产生一些不利的影响，但在落实

环保措施并加强施工管理的前提下，可使施工期对环境的影响降低到最小程

度，且施工过程是短暂的，其影响将随着施工结束而消失，因此是可以被周围

环境所接受的。

38

二、营运期环境影响分析及防治措施

1、大气环境影响分析及防治措施

项目运营期废气主要为酸洗废气，根据工程分析可知，本项目有组织排放

的氮氧化物约 0.062t/a，氟化物约 0.0013t/a。

表 27 排放口参数表

编

号 名称

排气

筒高

度/m

排气

筒出

口内

径/m

烟气流速/

（m3/h）

烟气

温度

/℃

年排放

小时数

排放工

况

污染物排放速

率/（kg/h）

NOx 氟化

物

1 酸洗

废气 15 0.4 2000 20 2000

正常排

放 0.03 0.0006

2 烘干

废气 15 0.4 2000 40 2000

正常排

放 -- --

表 28 估算模型

参数 取值

城市/农村选项 城市/农村 农村

人口数（城市选项时） /

最高环境温度/℃ 38.9℃

最低环境温度/℃ -26.6℃

土地利用类型 建设用地

区域湿度条件 干燥气候

是否考虑地形 考虑地形 □是 □否

地形数据分辨率/m /

是否考虑岸线

熏烟

考虑岸线熏烟 □是 □否

岸线距离/km /

岸线方向/° /

根据预测结果可知，项目各污染物最大地面小时浓度出现在下风向 59m，

氮氧化物最大落地浓度为 0.572μg/m3，占标率 Pmax 为 0.23%，评价等级为三

级；氟化物最大落地浓度 0.012μg/m3，占标率 Pmax 为 0.06%，评价等级为三

级。可见，酸洗槽排放的各污染物对环境空气质量的影响比较小，最大落地浓

度不超标。

项目酸洗废气氮氧化物最大排放浓度为 15.44mg/m3、排放速率为

0.03kg/h，氟化物最大排放浓度为 0.32 mg/m3，排放速率为 0.0006kg/h，满足

《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准限值要求，措施可行。

2、水环境影响分析及防治措施

本项目废水主要为生产废水。生产废水主要为酸洗废水、超声波清洗废水、

纯水处理站浓盐水。

39

（1）酸性废水

本项目酸性废水主要包含酸洗溢流废酸、清洗排酸、酸洗槽清洗废水、以

及超声波清洗废水，排入中环光伏二期污水处理站。

①酸洗溢流废酸

酸洗槽需进行溢流，产生溢流废酸，根据建设单位提供的资料，溢流废酸

量为 0.0057m3/h，排入中环光伏二期污水处理站进一步处理。

②清洗排酸

酸洗槽冲洗一定数量的硅料后，由于杂质增多，需进行排酸，根据建设单

位提供的资料，每条线排酸量为一天 2 次，每次排酸 45L/次，0.01m3/h 排入中

环光伏二期污水处理站。

③酸洗槽清洗废水

酸洗槽冲洗排酸后，进行清洗处理，产生清洗废水，根据建设单位提供的

资料，每条线酸洗槽清洗废水排放量为一天 2 次，每次排水 160L/次，0.04 m3/h

排入中环光伏二期污水处理站。

④超声波清洗废水

超声波清洗工序产生清洗废水，据建设单位提供的资料，每条线超声波清

洗废水排放量为 3m3/h，排入中环光伏二期污水处理站。

⑤喷淋废水

本项目酸洗废气采用喷淋洗涤处理，产生喷淋废水量为 0.02m3/h，排入中

环光伏二期污水处理站。

本项目的酸性废水产生量为 3.0757m3/h，根据《内蒙古中环光伏材料有限

公司 CFZ 单晶用晶体硅及超薄金刚石线单晶硅切片项目》，本项目酸性废水主

要污染物为 pH 1~1.5、氟化物 2300mg/L。以上酸性废水经污水处理站含氟废

水均质槽后调解 pH，用 NaOH 溶液中和，再加入 CaCl2 溶液，生成含氟化钙

沉淀和硝酸钠、硝酸钙溶液，随后加入 PAC 和 PAM 絮凝剂絮凝，依次排入沉

淀池污泥池，经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，废水进入酸性废水均

质槽，进一步中和处理后达标排放至金桥污水处理厂。

（2）纯水制备浓盐水

本项目酸洗过程中所使用纯水依托现有中环光伏一期项目纯水站制备，本

项目酸洗槽清洗、超声波清洗以及单晶硅片检验工序均使用纯水，纯水使用量

为 3.076m3/h，纯水制备率为 75%，则浓盐水产生量为 1.025m3/h，本项目浓盐

水产生量为 1.025m3/h，主要污染物为 COD200 mg/L，氨氮 35mg/L 和全盐量

3000 mg/L，浓水回用于厂内降尘及冲厕无外排。

（2）废水处理达标分析

40

酸性废水：中环二期项目建设有处理量为 30m3/h 的酸性废水处理站。主

要处理工艺流程图见图 13，含氢氟酸和硝酸的酸性废水经过含氟废水均质槽

后调解 pH，用 NaOH 溶液中和，再加入 CaCl2 溶液，生成含氟化钙沉淀和硝

酸钠、硝酸钙溶液，然后加入 PAC 和 PAM 絮凝剂絮凝，依次排入沉淀池污泥

池，经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，送渣厂堆埋。废水进入酸性废

水均质槽，进一步中和处理后外排。

图 13 酸性废水处理工艺流程图

类比《内蒙古中环光伏材料有限公司绿色可再生能源太阳能电池用单晶硅

材料产业化工程二期项目》的验收监测报告中的数据可知，酸性废水处理设施

处理效果如下表 29。

表 29 酸性废水处理设施处理效果 单位 mg/L

采样位置 pH 氟化物

酸洗废水处理设施出口 6-9 6.5

去除效率 -- 99.7%

（GB8978-1996）三级排放标准 6-9 20

出水水质 pH 和氟化物均满足出《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中

三级标准排放要求。

（3）废水处理可行性分析

呼和浩特市金桥污水处理厂进水水质指标如表 30 所示。

表 30 金桥污水处理厂进水水质 单位 mg/L

项目 pH（无量

纲） COD BOD 氨氮 SS TN TP

水质 6-9 ≤430 ≤185 ≤30 ≤210 ≤40 ≤5

根据工程分析可知，本项目总排放口的污水水质分析如下：

酸洗废水出水水质 PH6-9，氟化物 6.29mg/L，符合金桥污水处理厂进水水

41

质要求。

中环二期污水处理站剩余处理量 7.04m3/h，本项目进入二期污水处理站的

废水量为 3.0757m3/h，说明现有污水处理系统可以处理本项目产生的废水。

综上所述，项目产生废水依托现有处理设施可行，本项目产生的废水经不

同处理工艺处理后均满足金桥污水处理厂进水水质要求，且项目位于金桥污水

处理厂收水范围内，污水管网已接入项目所在区域，故本项目污水排放方案可

行，项目运营期废水对周围环境影响较小。

3、声环境影响分析及防治措施

项目运营期噪声主要来自清洗机、风机、各种泵类等设备运行噪声，其等

效声级＜100dB(A)。设计尽量选用低噪声设备，并考虑一定的消声、隔声及减

震等措施，以降低噪声的传播。

主要防制措施如下：

①首先在设计中应选用低噪声设备。对噪声较高的设备，设隔声操作间。

②在设备安装时应注意保证安装精度，并采取减振基础。

③对泵房水泵安装时应采取减振基础，泵座基础安装弹性衬垫和保护套，

泵进出口管路加装避震喉，水泵电动机安装隔声罩，并将水泵设置在室内，以

降低车间内噪声向外环境辐射。

评价将整个连续噪声区看作一个特大声源，称为整体声源。声波在传播过

程中能量衰减的因素颇多。在预测时，为留有较大余地，以噪声对环境最不利

的情况为前提，只考虑屏障衰减、距离衰减，其他因素的衰减不计。运营期厂

界噪声的预测值详见表 31。

表 31 运营期噪声的预测值 单位：Leq[dB(A)]

位置（昼间） 现状值

贡献值 预测值

昼间 夜间 昼间 夜间

厂界东侧 1# 49.4 44.5 18.0 49.4 44.5

厂界南侧 2# 50.5 46.2 18.0 50.5 46.2

厂界西侧 3# 53.5 45.9 33.7 53.6 46.2

厂界北侧 4# 56.2 48.7 26.8 56.2 48.7

项目投产后，在采取降噪措施后，各噪声源厂界昼间、夜间噪声影响值均

能满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3 类标准的限值

要求。

4、固体废物环境影响分析及防治措施

项目运营期固体废物主要来自于生产固废，主要为未洗净硅料、溢流过滤

物、晶体检验车间产生废酸。

项目未洗净硅料产生量为 60t/a，直接返回清洗生产线进行清洗，不在厂房

42

内进行贮存，不外排。

项目溢流过滤物主要成分为硅酸，含少量酸性废水，属于危险废物，交由

有资质单位处置，产量为 0.6t/a。

项目晶体检验车间产生的废酸主要成分为铬酸，产生量为 12.5t/a，依托中

环三期项目现有工程的 1 座 400m2 危废间，采用 1m3 的酸桶贮存，贮存量为 3

桶左右，危废间可满足依托需要。

项目各类固体废物均可得到妥善处置，因此，本项目产生的固体废物不会

对周围环境造成明显不良影响。

5、环境风险分析及防治措施

本项目生产过程中产生重大事故的装置主要有氢氟酸、硝酸贮罐、以及新

建的酸洗槽和晶体检验槽。罐区、酸洗槽和晶体检验槽可能由于损坏、腐蚀等

原因引起有毒有害物质泄漏，影响环境空气，对人员健康产生影响。

本项目涉及到的危险物质主要为硝酸、氢氟酸和三氧化铬，涉及到这些危

险物质的相关生产工段及储存过程风险情况见表 32。

表 32 生产及储存过程风险识别一览表

序

号 功能单元 危险介质 危险因素 可能发生的事故

1 多晶硅原

料酸洗槽 硝酸、氢氟

酸、三氧化

铬

泄漏、人为

操作失误、

建设不规范

泄漏后不及时收集，会直接流入附

近水体或下渗，造成地表水、地下

水或土壤污染。同时泄漏后硝酸遇

易燃物、金属会发生反应剧烈反

应，甚至会引起燃烧；氢氟酸遇 H

发泡剂立即燃烧，与金属发生反应

与空气会形成爆炸性混合物。三氧

化铬与易燃物（如苯）和可燃物

（如糖、纤维素等）接触会发生剧

烈反应，甚至引起燃烧。与还原性

物质如镁粉、铝粉、硫、磷等混合

后, 经摩擦或撞击, 能引起燃烧或爆

炸。具有较强的腐蚀性。

2 晶体检验

槽

3 酸液储存

区

硝酸、氢氟

酸、三氧化

铬

容器破损、

人为操作失

误、储存区

建设不规范

（1）运输风险防范措施

本项目产品以及原辅材料等均采用汽车运输，这些危险化学品原辅材料及

产品的运输均存在环境风险问题。易在桥梁路段和经过人群工作生活密集区等

发生泄漏污染伤害事故。公路运输一旦遇到险情或发生事故，应采取相应的安

全消防措施，在最短时间内报警，通知厂内风险应急救援部门与有关公安消防

等机关启动应急机制，采取堵漏、喷淋等措施，有效控制事故的发生和发展。

（2）布置和建筑安全措施

43

①按规定划分泄漏危险区域，在泄漏危险区域选用防腐型仪表，电器及通

讯设备。②本项目通风考虑整体通风与局部排风相结合，避免死角造成有害物

质的聚集，对有粉尘排放工序，设置除尘装置。

（3）工艺设计及机械设备安全措施

① 根据规范对承重的钢框架、支架、管架等采取可靠的耐火保护措施，

以提高钢结构的耐火极限。②对于与工艺物料直接接触的设备、管道、阀门选

用合适的耐腐蚀材料制作，电机及仪表造型应考虑防腐。建构筑物设计采用耐

腐蚀的建筑材料和涂料。③生产装置防爆区内设计静电接地，具有火灾、爆炸

危险的场所，以及静电危害人身安全、金属用具等均应接地。④在工艺设计中

对主要物料，装置内反应器等主要设备的温度、压力、流量等进行遥控和监测，

使工业生产在最佳状态下安全运行，—旦发生异常立即自动报警以便及时调

整。

（4）消防、火灾和爆炸防范措施

①本项目阀门管线设备泄漏等一般事故的概率，根据类比调查为 10-1/年，

即在设备的寿命范围内可能发生一次。如管理不善容易发生事故，为此，应加

强设备的管理与维修、切实做好火灾、爆炸和消防等安全措施。②本项目装置

内的设备、管道、建构筑物之间保持一定的防火间距。有火灾爆炸危险场所的

建构筑物的结构形式以及选用材料应符合防火防爆要求，具有可燃气体、易燃

气体的生产装置设防静电接地系统，具有火灾爆炸危险的生产设备和管道设计

安全阀、爆破板、水封、阻火器等防爆阻火设施。③生产装置及建构筑物的布

置充分利用自然采光。具有火灾、爆炸、毒物危害的作业区设计事故状态时，

能延时工作的事故照明，装置内潮湿和高温等危险环境采用安全电压。④ 各

厂房均按规定合理设置楼梯、走道、安全出口以利发生火灾时人员的紧急疏散。

（5）建立健全的安全环境管理制度

① 公司应建立健全的健康/安全/环境管理制度，并严格予以执行。②严格

执行我国有关的劳动安全、环境保护、工业卫生的规范和标准，最大限度地清

除事故隐患，一旦发生事故应采取有效措施，降低因事故引起的损失和对环境

的污染。③ 加强工厂、车间的安全环保管理，对全厂职工进行安全环保的教

育和培训，实行上岗证制度。④厂内见有企业消防站，定期演练，确保风险事

故处置效率。

三、环保投资估算

本项目总投资 936 万元，环保投资为 70 万元，占项目总投资的 7.5%，本

项目运营期环保投资见表 33。

44

表 33 环保措施投资估算

项目 污染源 环保措施 环保投资

（万元） 备注

废气 酸洗废气 集气罩+喷淋洗涤塔+排气筒（15m）

一套 60 依托

废水 生产废水 中环光伏公司现有污水处理站 0 依托

噪声 生产设备噪声 减震、消声、隔音等 2 新增

固废

未洗净硅料 直接返回清洗生产线进一步清洗 0 依托

溢流过滤物 交由有资质的单位的处理

2 依托

废铬酸 6 依托

总计 70

表 34 环境保护“三同时”验收一览表

类别 污染源 污染物 环保措施 验收标准

废气

酸洗废气 NOx、氟化物

新建喷淋洗涤塔一座，

通过酸洗池配备的集气

罩集气，处理后的气体

通过 15m 高排气筒排放

满足《大气污染物综合排放

标准》（GB16297-1996）新污

染源二级标准限值

烘干废气 -- 新建 15m 高排气筒，烘

箱产生废气直接排放 /

废水 生产废水 pH、氟化物

依托中环光伏材料有限

公司 CFZ 单晶硅片工

程污水处理站

满足《污水综合排放标准》

（GB8978-1996）三级标准，

最后排至园区污水管网

噪声 生产设备 Leq（A） 低噪设备、减振、隔声

满足《工业企业厂界环境噪

声排放标准》（GB12348-

2008）中 3 类标准

固废

危险废物 废铬酸 交由有资质单位处理

危险固废采用专用包装包装

后，暂存于危险废物暂存

仓，仓库设计符合国家《危

险废物贮存污染控制标准》

（GB18597-2001） 溢流过滤物 交由有资质单位处置

一般固废 未洗净硅料 不贮存，直接回清洗生

产线进一步清洗 /

四、环境管理和监测计划

1.环境管理

根据《建设项目环境保护设计规定》的要求，本工程应在“三同时”的原

则下配套建设相应的污染治理措施，一方面为有效保护区域环境提供良好的技

术基础，另一方面科学的管理、监督这些环保设施的运行又是保证治理效果的

必要手段。项目运营后，建设单位依托原有的环保和安全机构，负责环境管理、

环境监测和事故应急处理，其主要职责为：

45

⑴根据环境保护主管部门的环保要求，制定、组织、落实、检查本单位的

环境保护工作计划、环境管理统计等工作。

⑵负责宣传贯彻执行国家环保政策和法规。

⑶制定本单位的发展规划。

⑷制定可行的应急计划，并检查执行情况，确保污染治理措施出现故障时，

不对环境造成严重污染。

⑸开展环保教育培训，提高企业员工的环保素质。

⑹负责日常环境保护管理工作。

2.环境监测

环境监测是指在工程施工期、运营期对主要污染源进行有计划的监测。环

境监测的任务是对生产过程中产生的废气、噪声等进行监测，为环境管理部门

加强工艺设备管理，强化环境管理，编制环保计划，制订防治污染对策提供科

学依据。

项目建成投产后，公司可委托第三方检测公司定期对项目污染源及厂界环

境状况进行例行监测，保证环境保护工作的顺利进行。

建设项目排放的各类污染物、环境噪声的测试方法；各类样品的采集、保

存、处理技术规范；污染物的监测采样及分析方法、监测数据的处理，监测仪

器表的精度要求等，按国家标准、环保部颁发标准和有关规定执行。

①废气排放监测：酸洗废气喷淋塔排气筒设置采样监测位置。

②废水排放监测：在厂内各污水处理系统进、出口、以及厂内总排口设置

采样监测点位。

③噪声监测：厂界噪声监测。

本项目废气、废水、噪声监测点位、监测因子和频次见表 34。

表 34 环境监测工作内容一览表

监测项目 监测点位 监测因子 监测频次

废气 酸洗废气喷淋洗涤塔排气筒出

口 NOx、氟化物 1 次/月

废水 废水处理站

COD、BOD5、

SS、氨氮、氟化

物、pH

在线

噪声 厂界 等效 A 声级 1 次/半年

46

建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果

内容

类型

排放源

(编号) 污染物名称 处理措施 预期效果

大

气

污

染

物

酸性废

气 NOx、氟化物

新建酸性废气洗涤塔，处

理后的气体通过 15m 高排

气筒排放

达到《大气污染物综合

排放标准》（GB16297-

1996）新污染源二级标

准限值

水

污

染

物

生产废

水

COD、

BOD、SS、

氨氮、pH

经二期工程污水处理站处

理后排入园区管网

达到《污水综合排放标

准》（GB8978-1996）中

三级标准

固

体

废

弃

物

未洗净硅料 不贮存，直接返回清洗生

产线进一步清洗 /

溢流过滤物 交由有资质单位处置 达到《危险废物贮存污

染控制标准》

（GB18597-2001） 废酸 交由有资质单位处理

噪

声 各设备生产运行噪声

选用低噪声通风设备，采

取必要的吸声、隔声、消

声和减振措施

达到《工业企业厂界噪

声排放标准》（GB3096-

2008）中 3 类标准要求

生态保护措施及预期效果：

本项目位于内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区金桥开发区内蒙古中环光伏

材料有限公司现有一期生产厂房，主要为生产厂房内建设，不改变土地利用性

质，不新增用地，不会对生态环境产生影响。

47

结论与建议

1、项目概况

呼和浩特市欧通能源科技有限公司租赁内蒙古中环光伏材料有限公司现

有一期生产厂房二层 665 平方米，并通过厂房改造以满足项目所需的生产场

所，项目购置生产工艺设备 16 台（套），用于建设 4 条半导体硅料清洗生产线

以及晶体检验预处理实验室，项目的建设服务于内蒙古中环领先半导体材料有

限公司集成电路用大硅片项目对半导体硅料的使用品质需求，项目设计日产能

为 12t。项目总投资 936 万元。

2、相关符合性分析结论

本项目符合《产业结构调整指导目录 2011 年本（2013 年修正）》内容，属

于鼓励类中第二十八“信息产业”中的第 22 条“半导体、光电子器件、新型

电子元器件等电子产品用材料”项目，说明项目的建设符合国家现行产业政策

要求。

项目选址位于内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区金桥开发区内蒙古中环光

伏材料有限公司现有厂房二层，项目厂址西南约 0.8km 为金桥热电厂，北面相

隔约 1km 有内蒙古田野化工集团与甲醇厂和中总公司的炼油厂，西北面约

1.1km 为天平营子村，南侧 1.33km 为旭泥板村，西南 1.32km 为茂盛营村，东

北 0.7km 有后白庙村，东南 1.38km 为前白庙村，厂址周围 500m 范围内无环

境敏感点，项目周边交通便利，基础设施完善，项目不在自然保护区、饮用水

水源保护区等环境敏感区域，本项目在原有厂房内进行改造，不新增占地，项

目选址合理。

3、环境质量现状评价结论

根据内蒙古自治区环境监测中心站编制的 2018 年 8 月城市空气质量月报

显示，项目所在区域环境空气质量现状属于达标区域。

项目特征污染物氟化物和氮氧化物环境质量现状数据于 2019 年 6 月 16 日

-6 月 22 日由内蒙古寰宇环境科技有限公司对进行现场监测，监测结果可知，

监测点氟化物和氮氧化物小时浓度监测值均不超标。

项目声环境质量现状于 2019 年 6 月 21 日进行现场监测，监测结果表明，

各监测点位昼夜间噪声值均未出现超标现象，昼、夜间噪声值均可满足《声环

境质量标准》（GB3096-2008）3 类声环境功能区标准。说明项目所在区域声环

境质量良好。

4、环境影响分析结论

4.1 施工期环境影响分析结论

48

1）施工期大气环境影响结论

项目施工期扬尘等经采取相应措施后，对项目地大气环境的影响较小。

2）施工期水环境影响

项目施工人员生活污水依托厂区内现有生活配套设施，经厂区内一体化污

水处理设施处理后排入园区管网，对项目区周边水环境影响较小。

3）施工期声环境影响

项目施工期施工噪声采取相应措施处理后，对周边声环境的影响较小。

4）施工期固体废物影响

施工建筑垃圾对于可以回收利用的回收利用，不能利用的由建筑单位统一

收集后，集中处理，施工人员生活垃圾依托厂区内现有生活配套设施，集中收

集后交由当地环卫部门统一收集处置，不会对周围环境造成影响。

4.2 营运期环境影响防治措施

1）大气污染防治措施

本项目废气主要为酸洗废气，主要污染物为氟化氢和氮氧化物，通过酸洗

槽配备的集气罩由风机引入酸性废气洗涤塔，处理后通过 15m 高排气筒排放。

2）水污染防治措施

项目酸洗工艺主要产生酸洗溢流废酸、清洗排酸、酸洗槽清洗废水、超声

波清洗废水喷淋废水均含有酸性物质，依托中环光伏二期项目现有酸性废水处

理系统处理达标后排至园区污水管网。综上所述，项目运营期废水对周围环境

影响较小。

3）声环境影响防治措施

项目运营期噪声通过采用低噪声设备、进行基础减振、隔声等措施，降低

噪声源强。在采取降噪措施后，各噪声源厂界昼间、夜间噪声影响值均能满足

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3 类标准的限值要求。

4）固体废物防治措施

项目检测工序将会产生未洗净硅料，根据现有工程及建设单位提供资料，

产生量约为送检量的 10%，产生量约为 60t/a，直接返回清洗生产线进一步清

洗。

项目酸洗及超声波冲洗过程，溢流废水产生溢流过滤物，主要成分为硅尘，

含有少量酸性废水，产生量为 0.6t/a，pH 值较高，属于危险固废，交由有资质

单位处置。

项目新建晶体检验车间，晶体检验车间采用铬酸进行处理，产生含铬酸废

酸 12.5t/a，依托中环三期项目现有工程的 1 座 400m2 危废间，采用 1m3 的酸桶

贮存，贮存量为 3 桶左右，危废间可满足依托需要。

49

项目各类固体废物均可得到妥善处置，因此，本项目产生的固体废物不会

对周围环境造成明显不良影响。

5、综合结论

本项目的建设与国家的产业政策相符。项目在采用本次环境影响评价提出

的各项污染防治措施后，对项目周围环境不会产生显著性不良影响。因此，从

环境保护角度而言，该项目选址与建设是可行的。

建议

1.在施工过程中要加强管理，提高施工人员的环保意识，尽量将对周围环

境的影响降到最小。

2.加强运营期环保设施管理及维护，确保污染物连续稳定达标排放。

3.环保设施稳定运行后，做好项目竣工环保验收工作。

4.作为危险化学品使用、生产与贮运项目，为确保项目正常运行，最大限

度的减少事故的发生，根据《危险化学品安全管理条例》的相关要求，在生产、

贮存时应加强环境风险的管理。

50

预审意见

公 章

经办人 年 月 日

下一级环境保护行政主管部门审查意见

公 章

经办人 年 月 日

51

审批意见：

公 章

经办人 年 月 日

52

注释

一、本报告表应附以下附件、附图：

附图一 项目地理位置图

附图二 项目总平面布置图

附图三 厂平面布置图

附件一 项目环境影响评价委托书

二、如果本报告表不能说明项目产生的污染及对环境造成的影响，应进行

专项评价。根据建设项目的特点和当地环境特征，应选下列 1－2 项进行专项

评价。

1.大气环境影响专项评价

2.水环境影响专项评价（包括地表水和地下水）

3.生态影响专项评价

4.声影响专项评价

5.土壤影响专项评价

6.固体废弃物影响专项评价

7.以上专项评价未包括的可列专项，专项评价按照《环境影响评价技术导

则》中的要求进行。

53

附图 1 建设项目地理位置图

本项目

54

附图 2 厂平面布置图

55

附图 3 厂平面布置图

56

附件 1 委托书

57

附件 2 （项目备案文件）

58

附件 3《绿色可再生能源太阳能电池用硅单晶材料产业化工程一期项目》环

评批复

59

60

61

附件 4 《内蒙古自治区环境保护厅关于绿色可再生能源太阳能电池用硅单晶材料产业化工

程一期项目》工环境保护验收的意见

62

63

64

附件 5 《内蒙古自治区环境保护厅关于绿色可再生能源太阳能电池用单晶硅材料产业化工

程二期项目》批复

65

66

67

附件 6 《呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公司绿色可再生能源太阳能

电池用单晶硅材料产业化工程二期项目》竣工环保验收的批复

68

69

70

附件 7《呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公司 CFZ 单晶用晶体硅及超

薄金刚石线单晶硅切片项目》环境影响报告书的批复

71

72

73

74

附件 8《呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公司 CFZ 单晶用晶体硅及超

薄金刚石线单晶硅切片项目》竣工环保验收的批复

75

76

77

附件 9《内蒙古自治区环境保护厅关于内蒙古中环光伏材料有限公司可再生能源太阳能电池

和半导体集成电路用单晶硅材料产业化工程三期项目》环境影响报告书的批复

78

79

80

附件 10：《呼和浩特市环境保护局关于内蒙古中环光伏材料有限公司可再生能源太阳能电池

和半导体集成电路用单晶硅材料产业化工程三期项目》竣工环保验收的批复

81

82

83

附件 11 监测报告

84

85

86

87

88

89

90

建设项目环评审批基础信息表

填表单位（盖章）： 呼和浩特市欧通能源科技有限公司 填表人（签字）： 项目经办人（签字）：

建 设项 目

项目名称 呼和浩特市欧通能源科技有限公司半导体硅料清洗项目

建设内容、规模

建设内容：项目租赁内蒙古中环光伏材料有限公司现有一期生产厂房二层665平方米，并

通过厂房改造以满足项目所需的生产场所，项目购置生产工艺设备16台（套），用于建

设4条半导体硅料清洗生产线，项目的建设服务于内蒙古中环领先半导体材料有限公司集

成电路用大硅片项目对半导体硅料的使用品质需求，项目设计日产能为12t。

项目代码1

建设地点 呼和浩特市赛罕区金桥开发区工业二区宝力尔街15号

项目建设周期（月） 3.0 计划开工时间 2019年7月

环境影响评价行业类别 电子元件及电子专用材料制造 预计投产时间 2019年10月

建设性质 新建 国民经济行业类型2 电子元件及电子专用材料制造（C398）

现有工程排污许可证编号

（改、扩建项目）项目申请类别 新申项目

规划环评开展情况 已开展 规划环评文件名 《呼和浩特金桥经济技术开发区区域开发环境影响报告书》

规划环评审查机关 呼和浩特市环境保护局 规划环评审查意见文号 呼环批字[2006]2号

建设地点中心坐标3

（非线性工程）经度 111.756690 纬度 40.715396 环境影响评价文件类别 环境影响报告表

建设地点坐标（线性工程） 起点经度 起点纬度 终点经度 终点纬度 工程长度（千米）

总投资（万元） 936.00 环保投资（万元） 70.00 所占比例（%） 7.50%

建 设单 位

单位名称 正蓝旗华鑫再生资源有限公司 法人代表 何文兵

评价单位

单位名称 内蒙古珊瑚环保技术有限公司 证书编号 12351543510150296

统一社会信用代码

（组织机构代码）911501005788946887 技术负责人 刘建国 环评文件项目负责人 邰阳 联系电话 13948915262

通讯地址呼和浩特市赛罕区金桥开发区宝力尔

街15号联系电话 13327106030 通讯地址 呼和浩特市新城区成吉思汗大街东段中恒国润商业楼B座三层310室

污染物排放量

污染物

现有工程（已建+在建）

本工程（拟建或调整变更）

总体工程（已建+在建+拟建或调整变更）

排放方式①实际排放量（吨/年）

②许可排放量（吨/年）

③预测排放量（吨/年）

④“以新带老”削减量

（吨/年）

⑤区域平衡替代本工程

削减量4（吨/年）

⑥预测排放总量（吨/年）

⑦排放增减量（吨/年）

废水

废水量(万吨/年) 0.87 0.87 0.87 不排放

COD 间接排放： 市政管网

氨氮 集中式工业污水处理厂

总磷 直接排放： 受纳水体_______________________________

总氮

废气

废气量（万标立方米/年） 800.00 800.00 800.00 /二氧化硫 /氮氧化物 0.06 0.06 0.06 /颗粒物 /

挥发性有机物 /

项目涉及保护区与风景名胜区的

情况

影响及主要措施

生态保护目标名称 级别

主要保护对象

（目标）工程影响情况 是否占用

占用面积

（公顷）生态防护措施

自然保护区 避让 减缓 补偿 重建（多选）

饮用水水源保护区（地表） / 避让 减缓 补偿 重建（多选）

饮用水水源保护区（地下） / 避让 减缓 补偿 重建（多选）

风景名胜区 / 避让 减缓 补偿 重建（多选）

注：1、同级经济部门审批核发的唯一项目代码

2、分类依据：国民经济行业分类(GB/T 4754-2011)3、对多点项目仅提供主体工程的中心坐标

4、指该项目所在区域通过“区域平衡”专为本工程替代削减的量

5、⑦＝③－④－⑤，⑥＝②－④＋③