超高純度ガス精製器「ファインピュアラー」

酸素用

複数の触媒及び吸着剤の組み合わせにより、簡単・低コストでppbレベルの超高純度ガスが得られます。

特 長

製品ラインナップ

ご採用先様

■不活性ガス、水素、酸素に対応■経済的（再生可能）

●微量分析計用キャリアガス、ゼロガス●溶接用シールドガス

●各種半導体製造装置、CVD装置など、高純度を 要求される雰囲気ガス、パージガス

●各種メーカー様（半導体、光ファイバー、自動車、分析計、精密装置） ●大学、各種研究機関様

高純度ガス（ ＞99.999vol.% ）

※寸法は裏面の寸法図をご参照願います

■入口ガス純度条件

（単位ppb）

不純物成分

精製ガス

分析計

H2 COCH4 CO2 H2O

＜10 ＜10＜10 ＜10 ＜10（D.P.-100℃）

RGA GCGC GC 露点計

■精製保証値

■超高純度・長寿命・コンパクト

■適用ガス ■適用ガス

新開発の化学吸着剤を採用し、長寿命化・コンパクト化を実現。また構造のシンプル化により、コンタミネーション防止性を向上。

■入口ガス純度条件高純度ガス（ ＞99.999vol.% ）

■精製保証値 （単位ppb）

不純物成分

精製ガス

分析計

O2 CO CO2 H2O

＜1 ＜1 ＜1 ＜1（D.P.-110℃）

API-MS API-MSGCAPI-MSor

露点計

当該技術の適用先（用途）

MFP-1/MFP-2～3.0/～5.0(L/min)

FPI-1/FPH-1～15/～30(NL/min)

FPI-2/FPH-2～30/～60(NL/min)

FPI-3/FPH-3～50/～100(NL/min)

FPI-4/FPH-4～300(NL/min)

近日リリース予定

FPI-W-3/FPH-W-3～100/～200(NL/min)（省スペースタイプ）

FPO-1～20(NL/min)

■超高純度高活性クリーン触媒により、不純物除去性能が飛躍的に向上。シンプルな構造なので、コンタミネーション防止性を向上。反応管の断熱に真空断熱法を採用することで、クリーンルーム内に設置してもダストの発生無し（FPO-1,2型）

FPI型・FPH型 N2 FPO型 O2Ar He Ne Xe Kr H2

〒541-0041 大阪市中央区北浜四丁目７番19号（住友ビルディング第３号館５F）TEL：06－4706－2701産業ガス営業部 営業チーム

https://www.liquidgas.co.jp/

不活性ガス用 水素用

※電源：AC100V 300W

ラインナップ

b

bb

a

a

a

バルブ付

バルブなし

バルブ付

型　式

470（612） 652.8（805.2）

27.2φ 34φ 48.6φ 76.3φ

③ FPI(H)-1 ④ FPI(H)-2 ⑤ FPI(H)-3 ⑦ FPI(H)-4

寸法（mm）

a

b

型　式

84.0（226.2）

34.0φ 42.7φ

① MFPI(H)-1 ② MFPI(H)-2

寸法（mm）

a

b

a FPO-2

b

型　式

544

726

⑥ FPI(H)-W-3

寸法（mm）

a

b

※電源：　AC100V 300W

対象ガス種

不活性ガスN2ArHeNeXeKr

SUS316L EP

0.0098～0.971

常　温 0.0098MPaG未満

350℃/常温(反応筒/吸着筒）

0.049MPaG未満

0.003μｍSUS316L

高純度ガス（純度99.999vol%以上）

1/4VCRオス（メス）

1/4VCRメス

1/4VCRオス（メス）

1/2 VCRオス（メス）

1/2 VCRオス（メス）

3/8VCRオス（メス）

3/8VCRオス（メス）

有

有

有

4,380

1,460

45

35.6

25.6

2.6

～ 20.0

～ 20.0

～ 0.5

③ FPO-2

② FPO-1

① FPO-M

有 10,200 102,000 8.6～ 200.0 ⑥ FPH-W-3

有／無 1,867 18,670 1.6（2.2）～100.0 ⑤ FPH-3

～ 300.0 ⑦ FPH-4

有／無 833 8,330 1.0（1.6）～60.0 ④ FPH-2

有／無 531 5,310 0.7（1.3）～30.0 ③ FPH-1

有／無 56 560 0.3（0.9）～5.0 ② MFPH-2

有／無 33 330 0.2（0.8）～3.0 ① MFPH-1

有／無 2,054 20,540 1.6（2.2）～50.0 ⑤ FPI-3

～ 300.0 ⑦ FPI-4

有／無 916 9,165 1.0（1.6）～30.0 ④ FPI-2

有／無 585 5,850 0.7（1.3）～15.0 ③ FPI-1

有／無 56 560 0.3（0.9）～5.0 ② MFPI-2

有／無 33 330 0.2（0.8）～3.0 ① MFPI-1

水素H2

酸素※

O2

流量NL/min 型　式 バルブ弁 本体材質 使用圧

MPaG 温　度 圧　損 内蔵フィルタ

入口ガス純度条件 5N

寿命（精製量 約Nm3）

6N

重量 kg接　続

0.098～0.971

【寸法図】

b

a

バルブなし

FPO-M FPO-1

有～100.0 ⑥ FPI-W-3 11,200 112,000 8.6

3,888 38,880 4.2（4.8）

3,888 38,880 4.2（4.8）

型　式

250

589

① FPO-M

寸法（mm）

a

b

469

1,049

② FPO-1

855

1,055

③ FPO-2

a

b

a

b

a

b

最大流量 10NL/min

寸法 W600 × L600 × H1,800（mm）重量 約100kg

電源（消費電力） AC100V（150W）接続 1/4inVCR （オス）計装空気 0.5MPaG

HPHe-10ヘリウム精製装置■コスト削減■純度4Nの工業用ヘリウムを6N以上の高純度ヘリウムに精製可能

適用ガス

精製保証値

入口ガス純度条件

除去対象不純物

He

トータル 100ppm（4N）以下

トータル 6ppb（8N4）以下

N2 , CH4 , O2 , CO , CO2 , H2O

ハイピュアラー■自動再生型 超高純度ガス精製器

適用ガス

流　量

ユーティリティー

不活性ガス、水素、酸素、空気

3～10Nm3/h

LN2 10L/週

電力(単相100Vまたは単相200V)計装空気水素（不活性ガス用のみ、 純度99.999%、2NL/min）

新製品 ファインピュアラー FPI-1GTR ■電源BOX一体型　　■ヘリウム不足対策に！

適用ガス He , Ne , Ar , Kr , Xe

入口ガス純度条件 トータル 10ppm（5N）以下

精製保証値 トータル 10ppb（8N）以下

除去対象不純物 H2 , N2 , CH4 , O2 , CO , CO2 , H2O

最大流量 1.0NL/min

寸法 φ114× H472(mm)

重量 7.8kg

電源（消費電力） AC100V（55W）

接続 1/16in Swagelok(メス)

不活性ガス用 水素用 酸素用

（　　）はバルブ付きの場合

有／無

有／無

（）：バルブ付寸法 （）：バルブ付寸法

※消費電力及び計装空気の流量・圧力はモデルにより異なりますので　各モデルの取扱説明書をご参照下さい。