Презентация

Авторассистент кафедры конструирования электронных средств ТТИ ЮФУКлунникова ЮВНаучный руководительзав каф КЭС ТТИ ЮФУ дтн профессор член-корреспондент РАЕНМалюков СП

Монокристаллы сапфира являются отличным конструкционным материалом микроэлектроники

Монокристалл сапфира находит широкое применение в авиационной космической химической ювелирной промышленности в медицине в металлургии где оборудование в целом или его отдельные элементы эксплуатируются в экстремальных условиях при одновременном воздействии агрессивных сред высоких давлений механических нагрузок и так далее

Актуальная задача обеспечения требуемого качества кристаллов может быть решена только при наличии эффективных инновационных средств позволяющих заранее определять параметры при которых получается бездефектный кристалл и контролировать качество продукции

УДК 681518666128Оптимизация производства сапфираПлакат 2 плакатов 29

2

3

применение моделей и алгоритмов математического и информационного обеспечения получения изделий из сапфира в производстве выпуск промышленного образца

1 Поиск оптимального сочетания параметров роста кристаллов2 Разработка моделей охватывающих факторы процесса имеющие корреляционную зависимость которую трудно обнаружить3 Разработка математического и информационного обеспечения получения изделий из сапфира для электронной техники для того чтобы уйти от интуитивного выбора технологом параметров технологического процесса4 Коммерциализация научно-технической разработки



4


Оптические детали заготовки стержни

Офтальмологические скальпели

Линзы

5


Сапфировые имплантаты ndash для костей позвонков протез бедра

В стоматологии ndash сапфировые брекеты

6


Стальные сопла пескоструйных аппаратов

Часовые камни часовые стекла

7


сапфировые подложки в микроэлектронике

Сапфир легированный Ti - одна из основных активных сред перестраиваемых лазеров и соответственно лазерные элементы

8


броня из искусственного сапфира

сапфировые иллюминаторы

9

10

Метод Достоинства Недостатки

1 МетодВернейля

1 Отсутствие контейнера и связанных с ним проблем2 Однородность распределения легирующих добавок по длине кристалла3 Кристаллизация в открытом муфеле с возможностью регулирования

окислительно-восстановительного потенциала атмосферы кристаллизации изменением отношением H2O2 в пламени

4 Возможность введения в кристалл большого количества легирующих добавок и возможность выращивания кристалла части которых имеют разное содержание примесей рубиновых стержней с сапфировыми наконечниками

5 Техническая простота реализации и низкая себестоимость кристаллов

1 Высокие температурные градиенты в зоне кристаллизации (30-100 градмм) способствующие возникновению в кристаллах больших остаточных напряжений

2 Методзоннойплавки

1 Возможность одновременно с выращиванием регулировать содержание примесей

2 Высокая эффективность

1 Низкая производительность2 Большая продолжительность 3 Высокая стоимость4 Максимальные габариты лодочки -

длина 50 см толщина 2-3 см длина расплавленной зоны 5 см

3 МетодЧохраль-ского

1 Отсутствие контакта со стенками тигля 2 Достаточно легко можно менять диаметр растущего кристалла и

визуально контролировать рост

1 Значительная химическая неоднородность выращиваемых кристаллов выражающаяся в монотонном изменении состава последовательных слоев кристалла вдоль направления роста

4 Метод гори-зонтально-направленнойкристаллизации (ГНК)

1 Постоянная площадь расплава2 Возможность выращивать монокристаллы большого сечения

эффективное удаление примесей3 Возможность проведения многократной предростовой

перекристаллизации материала что способствует глубокой очистке кристаллизуемого вещества и позволяет значительно снизить требования к чистоте исходных шихтовых материалов

1 Наличие контакта выращиваемого монокристалла с контейнером с чем связано загрязнение расплава и возникновение в кристалле остаточных напряжений трещин

2 Небольшая толщина кристалла ndash до 50 мм

5 МетодСтепа-нова

1 Высокая скорость отвода тепла позволяет выращивать кристалл на достаточно больших скоростях

2 Большая производительность3 Возможность вырастить сапфировые профили которые невозможно

изготовить механической обработкой

1 Получение кристаллов с большой плотностью структурных дефектов


11

Модель Достоинства Недостатки

Физические и математические модели тепло- и массопереноса при выращивании монокристаллов направленной кристаллизации

bullСформулированы упрощенные модели тепло- и массопереноса для периодов цикла ГНК

bullВведение в модели уравнений баланса массы и примесей позволяет одновременно решать задачи тепловую формирования высоты кристалла и распределения примесей в ней

bullМодели дают ценную информацию для совершенствования процесса выращивания кристаллов

bullДаны рекомендации по выращиванию кристалла с постоянной высотой по длине и ведению процесса с остановкой контейнера и снижением мощности нагревателя

bullТепловой процесс в системе рассматривается как квазистационарный

bullТемпературное поле ndash одномерное

Численная модель процессов теплообмена при выращивании монокристаллов лейкосапфира методом ГНК

bullУчет различных периодов цикла кристаллизацииbullДвумерная модель используется для отслеживания положения и формы

фронта кристаллизации в зависимости от текущих температурных условийbullМодели дают ценную информацию для создания оптимальной конструкции

теплового узла ростовой установки для производства кристаллов с пониженным уровнем дислокаций

bull Двумерность моделиbull Требуется большое количество

памяти

Математическая модель осевого распределения температуры в трубчатых кристаллах лейкосапфира выращиваемых из расплава способом Степанова

bullМатематическая модель описывает процессы теплообмена в тепловой зонеbullПроведено математическое моделирование процессов теплообмена и анализ

основных факторов обеспечивающих управление распределением температуры в кристалле

bullОдномерность модели

Модель температурных и термоупругих полей в сапфире в трехмерных криволинейных координатах

bullРазработан математический аппарат с вычислительным программным обеспечением для расчетов полей температур напряжений перемещений и деформаций в частности для Al2O3

bullМодель открывает возможность вычислительного эксперимента для проектирования новых ростовых устройств или усовершенствования существующих

bull Не учитывается распределение температур в конусной части кристалла

УДК 681518666128Оптимизация производства сапфира Плакат 11 плакатов 29


12

13


Подготовка исходных данных для расчета

Моделирование процессов получения

монокристаллов сапфира

Оптимизация технологического

процесса

Подготовка предъявляемых требований по

качеству

Задание теплофизических условий процесса

получения монокристаллов

сапфира

Выбор в БД исходных данных

Экспертная оценка значимости

технологических параметров на

качество монокристаллов

сапфира

Ввод исходных данных

Систематизация промежуточных

результатов расчета (таблица зависимости уровня дефектов и др при разных заданных

режимах)

Изменение наиболее значимых исходных

данных

Получение зависимости уровня

дефектов от наиболее значимых

технологических параметров

Разработка оптимизационной модели процесса


сапфира

Выбор условий и решение полученной

оптимизационной модели

Оптимальные параметры технологии


сапфира

Входные данные

Оптимальные параметры

14


Технология получения монокристаллов сапфира

Исполнительное устройство

Измерители информации (цифровые датчики)

Обработка информации управляющим субъектом

Алгоритмы анализа и сбора информации


Выходные данные

поставляютсязаказывает

поступаетобрабатывает

осуществляютобрабатываются

выращиваетобразуется в

управляетвыращивает


Печь

печи

МоделиСтепепь вакуумаСкорость выращиванияМощность нагревателяВес лодочкиВес компоновки

Кристалл

кристалла печи (FK)

Вес кристалла после выгрузкиДлинаШиринаВысотаПроцент содержания трещинПроцент содержания примесейПроцент содержания включенийПроцент содержания блоковПроцент содержания пузырьковКатегория качестваОриентация

Резка кристалла на изделия

изделия договора (FK) кристалла (FK) печи (FK) сотрудника (FK)

Скорость резанияФорма изделияТолщинаГлубина нарушенного слояШероховатостьЧастота вращенияМодель станкаЦенаКласс шлифовки

Заказчик

договора

Название фирмыРегионГородУлицаДом

Персонал

сотрудника

ФамилияИмяОтчествоДолжность

Печь_Персонал

печи (FK) сотрудника (FK)


15

16

Эскиз конструкции печи СЗВН 155320 1 ndash теплоизоляционные экраны 2 ndash контейнер с кристаллом сапфира 3 ndash вольфрамовый нагреватель 4 ndash устройство для механического перемещения лодочки (волокуша) 5 ndash тепловой узел

Задача о нахождении распределения температуры в системе кристалл-расплав-шихта сводится к решению уравнений теплопроводности

0 lt x lt xL 0 lt y lt yL 0 lt z lt zL

где i = 123 ndash соответственно кристалл расплав и шихта ia ndash коэффициенты температуропроводности W ndash скорость

движения контейнера Граничные условия для системы уравнений (1) отражающие неразрывность тепловых полей и тепловых потоков на границах раздела сред записываются в виде следующих соотношений

(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па

Экспери-ментальное значение у

см-2

Расчётное значение

у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375

x1 ndash скорость движения лодочки (ммчас)

x2 ndash мощность нагревателя (кВт) x3 ndash степень вакуума (Па) y ndash количество пузырей на единицу площади (см-2)

Уравнение в физических переменных y=325562+6375x1-15875x2-1365625x3+56250x2x3

Сравнительная характеристика экспериментальных и расчетных данных

Интерфейс программного модуля

Гистограммы отражающие разницу расчетных и экспериментальных значений


21

22

Прогнозиро-вание

Оценкапараметров

Градиенттемпера-

тур нафронтероста

Формированиерекомендаций

Анализотклонений

Пониже-ние

степенидефект-ности

Повыше-ние


Степеньвакуума

Тепло-войузел

Ско-рость

кристал-лизации

Мощ-ность

нагрева-теля

Материалконтей-

нера

Ка-чествошихты

Пространст-венная

ориентация


Вид обработки с [мкм] hбоктр

[мкм]

1 Полировка свободным абразивом05 мкм

0098 0013


0153 0018

1 ДСШ свободным абразивом3 мкм

1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647

Результаты исследования

Параметры поверхности сапфира обработки алмазным порошком АСМ 2820и АСМ 10

Микрофотографии поверхности сапфира после обработки алмазным порошком АСМ 2820 и АСМ 10

Трехмерное изображение участка поверхности пластины сапфира после механической полировки

c ndash глубина приповерхностного поврежденного слояhбоктр ndash глубина залегания формируемых трещин


23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3

Для монокристаллов сапфира первым методом расчета получены следующие значения длина радиальных трещин CR = 01068 нм длина боковых трещин СL = 1566 нм зона деформации S = 3172 нмДля монокристаллов сапфира величина зоны деформации кристалла рассчитанная по другому методу составляет

3865 нм что согласуется с результатами полученными ранее

Влияние материала шлифовальника (1 ndash латунь 2 ndash чугун 3 ndash стекло) и радиуса абразива на глубину приповерхностного поврежденного слоя (а) и глубину залегаемых боковых трещин сапфира (б)

0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27


1 Разработана методика проектирования математического и информационного обеспечения получения монокристаллов сапфира которая является универсальной для технологических процессов получения различных материалов для электронной техники

2 Разработана модель влияния параметров процесса выращивания на качество монокристаллов сапфира отражающая в аналитическом виде степень влияния скорости лодочки мощности нагревателя и степени вакуума на количество пузырей на единицу площади кристалла как одну из характеристик кристалла Построена модель оптимизации временных параметров технологического процесса учитывающая различные уровни дефектов Определены основные практические приемы сокращения цикла кристаллизации при получении монокристаллов сапфира которые позволяют снизить длительность цикла кристаллизации Разработана трехмерная модель решения задачи теплообмена в кристаллах сапфира позволяющая выявить распределение температурного поля в кристалле На основании трехмерной модели решения задачи теплообмена в кристаллах сапфира создан пакет компьютерных программ для расчета полей температур С помощью разработанной численной модели проведен ряд расчетов для изучения влияния теплофизических свойств материалов на процесс кристаллизации монокристаллов сапфира

3 Разработана информационная система получения изделий из сапфира которая позволяет дать точную характеристику получаемых кристаллов и которая позволяет не только систематизировать большие информационные массивы данных но и выявить закономерности влияния факторов на рост кристалла Разработана экспертная система позволяющая выбрать оптимальные режимы роста монокристаллов сапфира мощность нагревателя (20 ndash 225 кВт) степень вакуума (210 -2 ndash 610-3 Па) скорость роста кристалла (4 ndash 6 ммч) пространственная ориентация качество шихты (99996 ndash 99999 ) и представить прогноз категории качества кристалла Эта система позволяет увеличить выход кристаллов соответствующих выбранной категории качества

28

По материалам работы опубликовано 27 печатных работ4 статьи - в центральных технических журналах рекомендованных ВАКсв-во об оф регистрации программы laquoПрограмма расчета и выбора параметров роста монокристаллов лейкосапфираraquo для ЭВМ 2008612944 от 18062008 гсв-во об оф регистрации программы laquoПрограмма расчета распределения температуры в процессе роста монокристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизацииraquo для ЭВМ 2011612757 от 20042011 г


bull ЗАО laquoМонокристаллraquo (г Ставрополь)

bull ООО laquoСекторraquo (г Рыбинск)

bull ООО laquoЗавод Кристаллraquo (гТаганрог)

bull ООО laquoКремний-Югraquo (г Таганрог)

НИР по программе УМНИК laquoРазработка системы управления процессом выращивания монокристаллических структурraquo (2008 ndash 2009 гг) НИР по программе УМНИК laquoРазработка программных модулей системы управления механической обработкой монокристаллов сапфираraquo (2009 ndash 2010 гг) гос регистрации 01201051745 НИР 13403 laquoИсследование технологии получения монокристаллов лейкосапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации на установках типа СЗВН-15532 СЗВН 175raquo (2005 г)

29

Благодарю за внимание

Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

Монокристаллы сапфира являются отличным конструкционным материалом микроэлектроники

Монокристалл сапфира находит широкое применение в авиационной космической химической ювелирной промышленности в медицине в металлургии где оборудование в целом или его отдельные элементы эксплуатируются в экстремальных условиях при одновременном воздействии агрессивных сред высоких давлений механических нагрузок и так далее

Актуальная задача обеспечения требуемого качества кристаллов может быть решена только при наличии эффективных инновационных средств позволяющих заранее определять параметры при которых получается бездефектный кристалл и контролировать качество продукции


2

3





4




Линзы

5




6




7




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

3





4




Линзы

5




6




7




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29


4




Линзы

5




6




7




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29




Линзы

5




6




7




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29




6




7




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29




7




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29




8




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29




9

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

10





























11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

11














памяти











12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29


12

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

13






процесса


качеству



сапфира





сапфира




режимах)


данных






сапфира





сапфира



14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

14















Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29







Печь

печи


Кристалл






Заказчик

договора


Персонал






15

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

16






(1) )()()()()(

2

2

2

2

2

2

x

zyxTW

z

zyxT

y

zyxT

x

zyxTa

zyxT iiiii

i


)()( 2

21

1 x

zyxT

x

zyxT TT

)()( 3

32

2 x

zyxxT

x

zyxxT TT

)( 44

321 hotsss TTqqq

Oslash25

0

Oslash90

154

100

Oslash

14

35080

5545 Oslash8

720

700

1 2 3 4 5

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

17

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м


18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

18

0 005

01

015

02

025

03

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

x м

T К


19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

19

0 005 01 015 02 025 031200

1400

1600

1800

2000

2200

2400

2600

035

T К

x м



20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29


20

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

опы-

та

x1

ммчас

x2

кВт

x3

Па


см-2


у см-2

1 6 205 006 26 25625

2 6 205 002 32 34125

3 8 205 002 49 46875

4 8 205 006 38 38375

5 6 225 002 5 4625

6 6 225 006 2 0625

7 8 225 006 12 13375

8 8 225 002 17 17375








21

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

22







Пониже-ние


Повыше-ние




Ско-рость


Мощ-ность



нера






[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29


[мкм]


0098 0013


0153 0018


1067 007647


5315 02549


1339 05098


23 07647







23

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

0 r мкм

150

120

90

c мкм

60

30

16 32 48 64 80

1

2

3




0

06

12

16 32 48 64 80 r мкм

18

24

3

hбоктр мкм

3

2

1


24


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29


25


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29


26

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

27





28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

28








29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

29


Slide 1

Slide 2

Slide 3

Slide 4

Slide 5

Slide 6

Slide 7

Slide 8

Slide 9

Slide 10

Slide 11

Slide 12

Slide 13

Slide 14

Slide 15

Slide 16

Slide 17

Slide 18

Slide 19

Slide 20

Slide 21

Slide 22

Slide 23

Slide 24

Slide 25

Slide 26

Slide 27

Slide 28

Slide 29

Презентация

Documents

Transcript of Презентация