半導体工学Ⅰ
白方 祥
シリコン単結晶の結晶成長(引き上げ法)
CZ法によるシリコン単結晶
クリーンルーム
クリーンルーム内部
イオン注入機
電子線描画装置
ステッパーシリコンウエハーにパターンを描画
太陽光発電所
GaAsを用いた半導体レーザ赤外光で発振
InGaAlPを用いた赤色半導体レーザ
InGaN半導体レーザ最近ではブルーレイ
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