Y 지침서 - Edwardsdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/... · 적합성 선언 본 제품은...

A652-01-890Y판

지침서

RV3, RV5, RV8 및 RV12 회전식 베인 펌프

A 65X-YY-ZZZ

펌프 유형 변형품 모터 설명X YY ZZZ

2 = RV3 01 ~ 99 903 = 220-240V, 50/60Hz, 단상3 = RV5 904 = 100/200V, 50/60Hz, 단상4 = RV8 905 = 200-230/380-460V, 50/60Hz, 3상5 = RV12 906 = 110-115/120V 50/60Hz, 단상

925 = 200-230/380-460 V, 50/60 Hz, 3상

원본 지침의 번역본

P200

-00-

540

Issu

e L

다.

적합성 선언

본 제품은 ISO 9001:2015에 대해 인증을 받은 품질 관리 시스템에 따라 제조되었습니다.

Edwards Ltd, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, UK

다음 제품에 대하여

A65X – YY – ZZZ

펌프 종류 제품군 모터 설명 X YY ZZZ 2 = RV3 01에서 99까지 903 = 220-240V, 50/60Hz, 단상 3 = RV5 904 = 100/200V, 50/60Hz, 단상 4 = RV8 905 = 200-230/380-460V, 50/60Hz, 3상 5 = RV12 906 = 110-115/120, 50/60Hz, 단상 925 = 200-230/380-460V, 50/60Hz, 3상 저전압으로 설정

위 제품은 다음과 같은 유럽 CE 법규의 해당 요건을 준수합니다. 2006/42/EC 기계류 지침

2014/35/EU 하위 전기 조립품에 적용 가능한 저전압 지침(LVD)

2011/65/EU 특정 위험 물질의 제한(RoHS) 지침 조화 표준의 관련 요건 기준: EN 1012-2:1996 +A1:2009

압축기 및 진공 펌프. 안전 요구 사항. 진공 펌프

EN 60034-1:2010 회전하는 전기 기계. 정격 및 성능

EN 61010-1:2010 * 측정, 제어 및 연구 용도의 전기 장비에 대한 안전 요구 사항. 일반 요구 사항

*단상 펌프 전용 펌프와 함께 제공되는 사용 설명서에 따라 설치되는 경우 해당 펌프는 EN 61010-1을 준수하는 것입니 본 제품은 또한 다음 사항을 준수합니다. CSA-C22.2 No.77-2014# 기본적인 과열 보호 기능이 있는 모터

CSA-C22.2 No.100-2014# 모터 및 발전기

CSA-C22.2 No.61010-1-12

측정, 제어 및 실험실 용도의 전기 장비에 대한 안전 요구 사항 - Part 1: 일반 요구 사항

UL61010-1 제 3판

측정, 제어 및 실험실 용도의 전기 장비에 대한 안전 요구 사항 - Part 1: 일반 요구 사항

#단상 펌프 전용 캐나다 표준 협회 및 보험협회 안전연구소

이 신고서에는 본 신고서의 날짜 이후의 모든 제품 일련 번호가 기재되어 있습니다.

2018년 03월 19일, Burgess Hill

날짜 및 장소 Mr Ian Keech Vice President Engineering, High Vacuum Division

본 신고서는 EN ISO 17050-1 및 관련 지침 요건을 기반으로 합니다.

목차

A652-01-890 Y판

목차

절 페이지

1 소개 ................................................................................................. 1

1.1 범위 및 정의 .............................................................................................................. 11.2 ATEX 지침의 의미 ........................................................................................................ 21.3 설명 ........................................................................................................................ 41.4 성능 모드 및 제어 장치 .................................................................................................. 41.4.1 모드 선택기 ............................................................................................................... 41.4.2 가스 발라스트 조절 ...................................................................................................... 51.5 구조 ........................................................................................................................ 5

2 기술 자료 ........................................................................................... 7

2.1 작동 및 보관 조건 ........................................................................................................ 72.2 성능 ........................................................................................................................ 72.2.1 일반 ........................................................................................................................ 72.2.2 성능 특성 .................................................................................................................112.3 기계 데이터 ..............................................................................................................122.4 소음 및 진동 데이터 ....................................................................................................122.5 윤활 데이터 ..............................................................................................................122.6 전기 데이터: 단상 펌프 ................................................................................................142.6.1 전기 케이블 ..............................................................................................................142.7 전기 데이터: 3상 펌프 ..................................................................................................15

3 설치 ............................................................................................... 17

3.1 안전 .......................................................................................................................173.2 시스템 설계시 고려사항 ................................................................................................173.3 포장의 개봉과 점검 .....................................................................................................183.4 펌프 위치 정하기 ........................................................................................................183.5 펌프에 오일 채우기 .....................................................................................................183.6 전기 설치: 단상 펌프 ...................................................................................................193.6.1 모터의 점검 및 구성 ....................................................................................................193.6.2 전기 공급장치에 펌프 연결 ............................................................................................193.6.3 회전 방향 점검 ..........................................................................................................193.7 전기 설치: 3상 펌프 ....................................................................................................213.7.1 모터의 점검 및 구성 ....................................................................................................213.7.2 지역 전기 공급장치에 펌프 연결 ......................................................................................213.7.3 회전 방향 점검 ..........................................................................................................233.8 흡입구 및 배출구 연결부 ...............................................................................................233.9 시스템 누출 테스트 .....................................................................................................24

4 작동 ............................................................................................... 25

4.1 ATEX 지침의 의미 .......................................................................................................254.1.1 소개 .......................................................................................................................254.1.2 가연성/자연 발화 물질 .................................................................................................254.1.3 가스 퍼지 .................................................................................................................264.2 펌프 제어 장치 사용 방법 ..............................................................................................264.2.1 소개 .......................................................................................................................264.2.2 모드 선택기 ..............................................................................................................274.2.3 가스 발라스트 조절 .....................................................................................................274.3 시작 절차 .................................................................................................................284.4 극한 진공 얻기 ..........................................................................................................284.5 응축성 증기 펌핑 ........................................................................................................294.6 오일 오염 제거 ..........................................................................................................29

Xpla

nati

on 2

6144

08/

2018

© Edwards Limited 2018. All rights reserved. i페이지Edwards 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

A652-01-890 Y판목차

4.7 자동 작동 .................................................................................................................294.8 종료 .......................................................................................................................30

5 유지 보수 ......................................................................................... 31

5.1 안전 정보 .................................................................................................................315.2 유지 보수 계획 ..........................................................................................................325.3 오일량 점검 ..............................................................................................................325.4 오일 교체 .................................................................................................................335.5 흡입구 필터 점검 및 청소 ..............................................................................................335.6 가스 발라스트 조절 장치 점검 및 청소 ...............................................................................345.7 오일량 투사 유리 청소 .................................................................................................355.8 모터 팬 커버 및 케이스 청소 ..........................................................................................365.9 펌프 청소 및 분해 검사 .................................................................................................365.10 새 블레이드 장착 ........................................................................................................365.11 모터 상태 테스트 ........................................................................................................365.12 결함 발견 .................................................................................................................365.12.1 소개 .......................................................................................................................365.12.2 펌프가 시동되지 않을 경우 ............................................................................................365.12.3 펌프가 지정된 성능에 도달하지 못할 경우(극한 진공에 도달하지 못할 경우) .................................375.12.4 펌프의 소음이 심할 경우 ...............................................................................................375.12.5 펌프 표면 온도가 100°C를 넘을 경우 ................................................................................375.12.6 펌프 스위치를 끈 후 완전 진공 상태로 유지되지 않는 경우 ......................................................375.12.7 펌프 속도가 불충분한 경우 ............................................................................................385.12.8 외부 오일 누출이 있는 경우 ...........................................................................................38

6 보관 및 폐기 ..................................................................................... 39

6.1 보관 .......................................................................................................................396.2 폐기 .......................................................................................................................39

7 서비스 및 예비 부품 ............................................................................ 41

7.1 소개 .......................................................................................................................417.2 서비스 ....................................................................................................................417.3 예비 부품 .................................................................................................................417.4 부속품 ....................................................................................................................437.4.1 소개 .......................................................................................................................437.4.2 흡입구 집수통 ...........................................................................................................437.4.3 흡입구 먼지 필터 ........................................................................................................437.4.4 흡입구 건조 트랩 ........................................................................................................437.4.5 흡입구 화학 트랩 ........................................................................................................447.4.6 포라인 트랩 ..............................................................................................................447.4.7 배출구 미스트 필터 .....................................................................................................447.4.8 가스 발라스트 어댑터 ..................................................................................................447.4.9 오일 량 배출 키트 ....................................................................................................447.4.10 오일 배출 연장 ..........................................................................................................447.4.11 배기 노즐 키트 ..........................................................................................................447.4.12 방진장치 ..................................................................................................................447.4.13 솔레노이드 작동 가스 발라스트 밸브 ................................................................................447.4.14 솔레노이드 작동식 배관 밸브 .........................................................................................44

8 PFPE 지원 RV 펌프 .............................................................................. 47

8.1 요약 .......................................................................................................................478.2 설치 .......................................................................................................................478.3 작동 .......................................................................................................................478.4 유지 보수 .................................................................................................................47

장비를 반납하려면 이 설명서 마지막에 있는 HS 양식을 작성하십시오.

ii페이지 © Edwards Limited 2018. All rights reserved.Edwards 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

목차

A652-01-890 Y판

그림

그림 페이지

1 RV 펌프 .................................................................................................................... 32 고진공 모드의 성능 특성(흡입 압력에 한 펌핑 속도) ...........................................................113 치수(mm) ................................................................................................................134 모터 전압 구성: 단상 펌프 .............................................................................................205 3상 전기 연결: 200–230V ...............................................................................................226 3상 전기 연결: 380–460V ...............................................................................................227 흡입 필터 조립체 ........................................................................................................338 가스 발라스트 조절 어셈블리 .........................................................................................349 투사 유리 어셈블리 .....................................................................................................3510 부속품 ....................................................................................................................45

표

표 페이지

1 작동 및 보관 조건 ........................................................................................................ 72 일반 성능 자료 ........................................................................................................... 73 성능 자료: 고진공 모드 ................................................................................................. 84 성능 자료: 고처리량 모드 ............................................................................................... 95 성능 특성 .................................................................................................................106 기계 데이터 ..............................................................................................................127 소음 및 진동 데이터 ....................................................................................................128 윤활 데이터 ..............................................................................................................129 전기 데이터(부품 번호가 -903 또는 -906로 끝나는 단상 펌프) ...................................................1410 전기 데이터(부품 번호가 -904로 끝나는 단상 펌프) ...............................................................1411 권장 지역 공급 보호 장비 ..............................................................................................1412 권장 전선 세트 ..........................................................................................................1513 전기 데이터(부품 번호가 -905로 끝나는 3상 펌프) ................................................................1514 유지 보수 계획 ..........................................................................................................3215 스페어 및 유지 보수 키트 ..............................................................................................4216 부속품 품목 번호 ........................................................................................................43

관련 서적

출판 제목 출판 번호

진공 펌프 및 진공 시스템 안전 P400–40–890

관련 상표

Fomblin®은 Ausimont SpA의 등록 상표입니다.

© Edwards Limited 2018. All rights reserved. iii페이지Edwards 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

A652-01-890 Y판

이 페이지는 의도적으로 비워두었습니다.

iv페이지 © Edwards Limited 2018. All rights reserved.Edwards 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

소개

A652-01-890 Y판

1 소개

1.1 범위 및 정의

본 설명서는 Edwards RV3, RV5, RV8 및 RV12 회전식 베인 펌프의 설치, 작동 및 유지 보수에 관한 지침을 제공합니다. 펌프를 이 설명서에 지정한 로 사용해야 합니다.

펌프를 설치하고 작동하기 전에 이 설명서를 읽으십시오. 중요한 안전 정보는 "경고"와 "주의" 지침으로 강조되어 있으며, 이러한 지침을 반드시 준수해야 합니다. "경고"와 "주의"는 아래와 같이 사용됩니다.

주의

주의는 지침을 준수하지 않으면 장비 손상이나 관련 장비 및/또는 공정에 차질을 일으킬 수 있는 경우에 주어집니다.

본 설명서에서 사용되는 단위는 SI 국제 단위계를 따릅니다.

다음 경고 라벨이 펌프에 부착되어 제품 문서의 전반에 걸쳐 사용될 수 있습니다.

경고

경고는 지침을 준수하지 않으면 부상이나 사망에 이를 수 있는 경우에 제공됩니다. 표시된 실제 기호는 위험에 따라 달라질 수 있습니다.

경고 - 적절한 안전 지침을 준수하거나 위험이 있을 확률이 있는 곳에 주의가 필요합니다.

경고 - 위험한 전압. 위험한 전압으로 인한 위험을 표시합니다.

경고 - 뜨거운 표면. 표시된 품목이 뜨거울 수 있으며 예방 조치 없이 만지면 안된다는 뜻입니다.

경고 - 무거운 물체. 물리적 손상을 입을 잠재적 위험을 표시하며 옮기려면 적절한 리프팅 장비가 필요합니다.

경고 - 보호 장비를 사용하십시오. 적절한 보호 장비를 사용해야 한다는 뜻입니다.

© Edwards Limited 2018. All rights reserved. 1페이지Edwards 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

A652-01-890 Y판소개

1.2 ATEX 지침의 의미

본 장비는 폭발 잠재성이 있는 환경에서 사용할 목적으로 고안된 장비와 보호 시스템과 관계되는 EC 회원국 법률의 략적인 기준에 해 1994년 3월 23일 제정된 유럽 의회 및 위원회(European Parliament and the Council) 지침 94/9/EC를 준수하는 그룹 II 분류 3 장비의 요건을 충족시킬 수 있게 설계되었습니다. (ATEX 지침)

ATEX 분류 3은 장비 내부의 잠재적 점화 원인과 관련하여 적용됩니다. ATEX 분류는 장비가 폭발 잠재성이 있는 외부 환경이 존재하는 곳에서 사용할 목적으로 설계되지 않았으므로, 장비 외부에 있는 잠재적 점화 원인과 관련하여 적용되지 않습니다.

지침에 정의된 로 정상 작동 중에 펌프 내부의 잠재적 점화 원인은 전혀 없지만, 예측되는 매우 드문 고장 상태에서 잠재적 점화 원인이 존재할 수 있습니다. 따라서, 펌프가 가연성 물질과 혼합물을 주입하도록 설계되어 있긴 하지만, 반드시 모든 정상적이고 합리적으로 예측되는 환경 하에서 해당 물질과 혼합물이 폭발 한계 내에 해당되지 않도록 작동 절차를 준수해야 합니다. 분류 3은 가연성 물질이나 혼합물이 폭발 한계 내에 해당하는 동안 펌프를 통해 통과하도록 허용하는 매우 드문 고장이 발생하는 경우의 점화 방지 기능이 적합한지 확인하는 기준이 됩니다.

가연성이나 자연 발화 물질이 장비 내에 있을 경우, 다음과 같이 하십시오.

공기가 장비에 들어가지 않도록 합니다.

시스템에 새는 틈이 없는지 확인합니다.

자세한 내용은 Edwards에 문의하십시오. 자세한 내용은 이 설명서 끝 부분의 주소 페이지를 참조하십시오.

2페이지 © Edwards Limited 2018. All rights reserved.Edwards 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

소개

A652-01-890 Y판

그림1 - RV 펌프

1. 전기 흡입구 커넥터2. 전압 표시기3. 인양 핸들*

4. NW25 흡입구 포트5. 가스 발라스트 조절6. 오일 급유기 플러그7. NW25 배출구 포트

* RV3 및 RV5 펌프에만 해당: 인양 브래킷이 RV8 및 RV12 펌프에 장착됩니다.

8. 오일량 투사 유리9. 오일 배출 플러그10.고무 발판(4개)11.모드 선택기12. On-Off 스위치†

13.모터 팬 커버14.올바른 회전 방향

† 단상 펌프에만 해당참고: 단상 RV3/RV5 펌프 표시

© EdwEdwa

ards Limited 2018. All rights reserved. rds 및 Edwards 로고는 Edwards Limited의 상표입니다.

3페이지

A652-01-890 Y판소개

1.3 설명

Edwards RV 회전식 베인 펌프가 그림 1에 표시되어 있습니다. 다음 설명에 나오는 괄호 안의 품목 번호는 그림 1을 참조하십시오. RV 펌프는 2단 오일 밀봉 슬라이딩 베인 진공 펌프입니다. 펌프에는 NW25 흡입구(4) 및 배출구(7) 포트, 가스 발라스트 조절(5) 및 모드 선택기(11)가 있습니다. 흡입구 밸브는 펌프가 꺼질 때 흡입구를 막아 공기와 오일이 진공 시스템으로 역류하는 것을 막아줍니다.

RV3 및 RV5 펌프에는 길이 조절이 가능한 인양 핸들(3)이 있습니다. RV8 및 RV12 펌프에는 인양 브래킷이 적합한 인양 장치와 함께 사용하도록 장착되어 있습니다.

오일 펌프는 RV 펌프에서 진공 펌핑 메커니즘에 압축 오일을 공급합니다. 투사 유리(8)를 통해 오일 박스의 오일량과 상태를 확인할 수 있습니다. 오일 박스에는 2개의 오일 급유기 플러그(6)와 1개의 오일 배출 플러그(9)가 제공됩니다.

펌프 메커니즘은 유연한 모터 결합을 통해 단상 또는 3상 전기 모터에 의해 직접 구동됩니다. 모터는 케이스에 들어 있으며 모터 냉각 팬에 의해 모터 핀을 따라 유입되는 공기로 냉각됩니다. 펌프는 모터 결합부에 장착된 추가 팬에 의해 냉각됩니다.

단상 모터에는 On/Off 스위치(12)와 온도반응식 과부하 방지장치가 장착되어 있습니다. 모터가 너무 뜨거우면 온도반응식 과부하 방지장치가 펌프 스위치를 끕니다. 온도반응식 과부하 방지장치는 자동 리셋 방식으로, 모터가 냉각되면 장치가 리셋되고, (수동으로 리셋되어야 하는 적합한 제어 장치를 결합하지 않았을 경우: 3.6.2절 및 3.7.2절 참조) 모터는 재시동됩니다.

2009년 연말에 향상된 모터가 RV 펌프에 장착되었습니다. 이러한 모터에는 알루미늄 터미널 상자와 외부에서 접근 가능한 전압 전환 스위치를 장착할 수 있습니다. 이러한 모터의 도입으로 모든 전압과 주파수 조건을 포함하는 모터 범위가 4개의 변형품에서 2개로 축소되었습니다. 모든 모터를 교체하여 사용할 수 있으며 펌프 성능에는 영향을 주지 않습니다.

펌프는 고무 발판(10)이 달린 바닥판 위에 설치됩니다. 적합한 진동 차단기와 기타 액세서리에 한 자세한 내용은 7절에 나와있습니다.

PFPE 지원 펌프에 한 자세한 내용은 8절을 참조하십시오.

1.4 성능 모드 및 제어 장치

펌프에는 2개의 제어 장치 즉, 모드 선택기(11)와 가스 발라스트 조절(5) 장치가 있습니다. 이러한 제어 장치를 6가지로 조합하여 작동 특징에 따라 다양하게 선택함으로써 주어진 조건에서 펌프의 성능을 최적화할 수 있습니다.

1.4.1 모드 선택기

모드 선택기는 두 가지 위치가 있습니다. 4.2절을 참조하여 위치를 선택하십시오. 이 설명서의 나머지 부분에서는 다음과 같은 규칙이 사용됩니다.

고진공 모드는 기호로 지정됩니다.

고처리량 모드는 기호로 지정됩니다.

모드 선택기를 고진공 모드 로 설정하면 가압 오일이 하위 진공 단계에만 공급됩니다. 이 작동 모드에서 펌프는 가능한 최고의 극진공을 제공합니다.

모드 선택기를 고처리량 모드 로 설정하면 가압 오일이 상위 진공 단계와 하위 진공 단계에 공급됩니다. 이 작동 모드에서 펌프는 오랫동안 높은 흡입 압력을 유지할 수 있습니다.


소개

A652-01-890 Y판

1.4.2 가스 발라스트 조절

높은 증기 부하를 견디기 위해 펌프에 가스-밸러스트가 장착되어 펌프된 가스에 수반되는 증기가 응축하는 것을 방지합니다.

가스-밸러스트 밸브를 통해 공기가 저진공 단계로 도입됩니다. 또는 질소와 같은 불활성 가스를 적절한 외부 밸브를 통해 공급할 수도 있습니다.

가스-밸러스트 제어기에는 세 개의 위치가 있습니다.

닫힘(‘0’ 위치)

낮은 유동량(‘I’ 위치)

높은 유동량(‘I’ 위치)

1.5 구조

펌프 샤프트와 로터는 높은 등급의 주조 강철로 만들어집니다. 펌프 몸체와 오일 박스는 주조 알루미늄으로 만들어집니다. 펌프로 공급되는 가스에 노출되는 모든 펌프 표면에는 구리나 아연, 카드뮴은 전혀 사용되지 않았습니다.

구조물의 다른 재료로는 탄화플루오르 탄성중합체, 니트릴, 실리콘, 화학 작용 방지 폴리머, 니켈 및 스테인레스 강철이 있습니다.


A652-01-890 Y판



기술

자료

A652-01-890 Y판

2 기술 자료

2.1 작동 및 보관 조건

2.2 성능

2.2.1 일반

참고: 표 2 및 표 3에서는 Pneurop 표준 6602(1979)에 지정된 로 콜드 트랩이 없는 진공 챔버에서 커패시턴스 다이아프램 게이지를 사용하여 총 압력을 측정했습니다.

표 1 - 작동 및 보관 조건

매개 변수 참조 자료

주변 온도 범위(작동시) +12 ~ +40°C

주변 온도 범위(보관시) -30 ~ +70°C

펌프 몸체의 정상 표면 온도* +50 ~ +70°C

최 습도(작동시) 90% RH

최 고도(작동시) 2000m

오염도 2

설치 분류 II

사용 장소 실내용

* 극한 진공에서 주변 온도가 20°C일 때.

표 2 - 일반 성능 자료


고진공 모드 성능 표 3 참조

고처리량 모드 성능 표 4 참조

역류 방지 보호 1 x 10-5mbar l s-1, 1 x 10-3Pa l s-1

가스 발라스트 흐름 없이 최 초기 압력 상승 1 x 10-1mbar, 10Pa

RV3 RV5 RV8 RV12

최 배기량: m3 h-1

50Hz 전기 공급장치60Hz 전기 공급장치

3.74.5

5.85.0

9.711.7

14.217.0

최 펌핑 속도 (Pneurop 6602, 1979): m3 h-1


3.33.9

5.16.2

8.510.0

12.014.2

최 허용 흡기 압력 및 가스 발라스트 흡기 압력

바 게이지 0.5 0.5 0.5 0.5

Pa 1.5 x 105 1.5 x 105 1.5 x 105 1.5 x 105

최 허용 배출 압력

바 게이지 0.2 0.2 0.2 0.2

Pa 0.2 x 105 0.2 x 105 0.2 x 105 0.2 x 105


A652-01-890 Y

판

8페이지

© Edw

ards Limited 2018. A

ll rights reserved.Edw

ards 및 Edw

ards 로고는

Edwards Lim

ited의

상표입니다

.

기술 자료

표 3 - 성능 자료: 고진공 모드

RV8 RV12

상 3상 단상 3상

2 x 10-3 2 x 10-3

2 x 10-1 2 x 10-1

3 x 10-2 3 x 10-2

3 3

5 5

.06 0.04 0.06 0.04

10 7 7 5

x 103 7 x 102 7 x 102 5 x 102

6 x 10-2 6 x 10-2

6 6

16 16

.22 0.20 0.29 0.25

38 34 32 28

x 103 3.4 x 103 3.2 x 103 2.8 x 103

고진공 모드

매개 변수 단위RV3 RV5

단상 3상 단상 3상 단

가스 발라스트 조절 닫힘('0' 위치)

총 극한 압력 mbar 2 x 10-3 2 x 10-3

Pa 2 x 10-1 2 x 10-1

가스 발라스트 조절 낮은 유량('I' 위치)

총 극한 압력 mbar 3 x 10-2 3 x 10-2

Pa 3 3

가스 발라스트 흐름 l min-1 5 5

최 수증기 펌핑 속도 kg h-1 0.06 0.04 0.06 0.04 0

최 수증기 흡입 압력 mbar 27 18 16 11

Pa 2.7 x 103 1.8 x 103 1.6 x 103 1.1 x 103 1

가스 발라스트 조절 높은 유량('II' 위치)

총 극한 압력 mbar 1.2 x 10-1 1 x 10-1

Pa 1.2 x 101 1 x 101


최 수증기 펌핑 속도 kg h-1 0.22 0.12 0.22 0.12 0


Pa 8 x 103 5.4 x 103 5 x 103 3.2 x 103 3.8

© Edw


ll rights reserved.9페이지

Edwards 및

Edwards 로

고는

Edwards Lim

ited의

상표입니다

.

기술 자료A652-01-890 Y

판표 4 - 성능 자료: 고처리량 모드

RV8 RV12

상 3상 단상 3상

3 x 10-2 3 x 10-2

3 3

4 x 10-2 4 x 10-2

4 4

5 5

.06 0.04 0.06 0.04

10 7 7 5

x 103 7 x 102 7 x 102 5 x 102

6 x 10-2 6 x 10-2

6 6

16 16

.22 0.20 0.29 0.25

38 34 32 28

x 103 3.4 x 103 3.2 x 103 2.8 x 103

고처리량 모드

매개 변수 단위RV3 RV5

단상 3상 단상 3상 단

가스 발라스트 조절 장치 닫힘('0' 위치)

총 극한 압력 mbar 3 x 10-2 3 x 10-2

Pa 3 3

가스 발라스트 조절 낮은 유량('I' 위치)

총 극한 압력 mbar 6 x 10-2 6 x 10-2

Pa 6 6


최 수증기 펌핑 속도 kg h-1 0.06 0.04 0.06 0.04 0


Pa 2.7 x 103 1.8 x 103 1.6 x 103 1.1 x 103 1

가스 발라스트 조절 높은 유량('II' 위치)

총 극한 압력 mbar 1.2 x 10-1 1 x 10-1

Pa 1.2 x 101 1 x 101


최 수증기 펌핑 속도 kg h-1 0.22 0.12 0.22 0.12 0


Pa 8 x 103 5.4 x 103 5 x 103 3.2 x 103 3.8

A652-01-890 Y

판

10페이지

© Edw


ll rights reserved.Edw

ards 및 Edw

ards 로고는

Edwards Lim

ited의

상표입니다

.

기술 자료

표 5 - 성능 특성

모드 가스 발라스트 조절

높은 유동량(‘II’ 위치)

총 극한 압력

mbar Pa

1.2 x 10-1(RV3)1.0 x 10-1(RV5)

6 x 10-2(RV8/12)

1.2 x 101(RV3)1.0 x 101(RV5)6.0(RV8/12)

최 수증기 펌핑 속도

단상 펌프 3상 펌프

0.22kg h-1(RV3/5/8)0.29kg h-1(RV12)

0.12kg h-1(RV3/5)0.20kg h-1(RV8)0.25kg h-1(RV12)

총 극한 압력

mbar Pa

1.2 x 10-1(RV3)1.0 x 10-1(RV5)

6 x 10-2(RV8/12)

1.2 x 101(RV3)1.0 x 101(RV5)6.0(RV8/12)



0.22kg h-1(RV3/5/8)0.29kg h-1(RV12)

0.12kg h-1(RV3/5)0.20kg h-1(RV8)0.25kg h-1(RV12)

선택기위치 닫힘(‘0’ 위치) 낮은 유동량(‘I’ 위치)

고진공 모드 총 극한 압력 총 극한 압력

mbar Pa mbar Pa

2 x 10-3 2 x 10-1 3 x 10-2 3

최적 용도극한 압력



0.06kg h-1 0.04kg h-1

고처리량 모드 총 극한 압력 총 극한 압력

mbar Pa mbar Pa

3 x 10-2 3 6 x 10-2(RV3/5)4 x 10-2(RV8/12)

6(RV3/5)4(RV8/12)

위 지속적 흡입 압력에 사용50mbar/5 x 103Pa



0.06kg h-1 0.04kg h-1

기술

자료

A652-01-890 Y판

2.2.2 성능 특성

참고: 아래 설명된 성능 특성은 탄화수소 오일을 사용할 때에 해당됩니다.

모든 선택기 및 가스 발라스트 조절 장치 위치에 따라 펌프의 성능 특성의 정의됩니다. 이러한 성능 특성들은 표 3 및 표 4에 모두 표시되어 있습니다.

표 5에는 6가지 가능한 조절 위치 조합 각각에 한 극한 진공 및 최 수증기 흡입 압력이 나와 있습니다. 그림 2의 곡선 0, I 및 II는 고진공 모드 의 흡입 압력과 펌핑 속도의 관계를 보여줍니다.

그림2 - 고진공 모드의 성능 특성(흡입 압력에 한 펌핑 속도)


A652-01-890 Y판기술

자료

2.3 기계 데이터

2.4 소음 및 진동 데이터

2.5 윤활 데이터

참고: 회전식 펌프 오일에 한 Edwards MSDS(물질안전보건자료)를 요청하여 얻을 수 있습니다.

표 6 - 기계 데이터


치수 그림 3 참조

보호 수준(IEC 34-5: 1981)

단상 펌프3상 펌프

IP44IP54

최 경사 각도 10°

모터 회전 속도


1470r min-1

1760r min-1

최 질량 RV3 RV5 RV8 RV12

펌프와 모터 포함, 오일 제외 25.0kg 25.0kg 28.0kg 29.0kg

표 7 - 소음 및 진동 데이터


음압*

* ISO 11201에 따라 고진공 모드 에서 펌프 끝의 극한 진공 1m에서 50Hz 작동 상태로 측정했습니다.


48dB(A)50dB(A)

진동 심각도†

† ISO 2372(1974)에 따라 흡기 포트에서 측정


Class 1CClass 1C

표 8 - 윤활 데이터


권장 오일*

* 주변 온도가 2.1절에 지정된 한도를 벗어난 상태에서 펌프를 작동하거나 응축성 증기를 펌핑할 때 펌프 성능을 최적화하려면 다른 오일이 필요할 수 있습니다.

탄화수소 지원 펌프PFPE 지원 펌프

Edwards Ultragrade 19Krytox 1506 또는 Fomblin 06/6

오일 용량 RV3 RV5 RV8 RV12

최 0.70리터 0.70리터 0.75리터 1.00리터

최소 0.42리터 0.42리터 0.45리터 0.65리터


기술

자료

A652-01-890 Y판

그림3 - 치수(mm)

1. On-off 스위치(단상 펌프에만 해당)2. 인양 브래킷(RV8 및 RV12 펌프에만 해당, RV3 및

RV5 펌프에는 인양 핸들이 장착됨)

A. 단상 펌프의 평면도B. 단상 펌프의 측면도C. 3상 펌프의 측면도D. 단상 펌프의 정면도

펌프 A*

* 단상 펌프

A†

† 3상 펌프

B C D E F G H I J K

RV3 430 429 158 225 127 29 78 230 120 37 32 –

RV5 430 429 158 225 127 29 78 230 120 37 32 –

RV8 470 469 158 225 161 35 78 230 120 37 32 261

RV12 490 489 158 225 181 35 78 230 120 37 32 261


A652-01-890 Y판기술

자료

2.6 전기 데이터: 단상 펌프

참고: Edwards는표 9와 표 10에 명시된 최고 등급의 현지 공급 보호 장비를 사용할 것을 권장합니다. 더 높은 등급의 보호 장비는 절 로 사용하면 안됩니다.

이중 전압, 이중 주파수 모터는 단상 전기 공급장치로 설계되었으며 50Hz나 60Hz에서의 작동에 적합합니다. 모터는 수동으로 110-120V 및 220-240V의 통상 공급전압으로 전환할 수 있습니다(3.6.1절 참조).

냉펌프가 시작되면 모터는 최 몇 초간 표 9와 표 10과 같이 시작 회로가 가동됩니다. 적절한 정격 및 사전 승인된 타임래그 퓨즈를 반드시 사용하여 펌프 시동 시 불필요한 퓨즈 고장을 방지합니다(현지 및 지방 전기 법률에 따라). 5분 이내에 펌프 내의 오일이 가열되면 전류가 표 9와 표 10에 명시된 전부하전류로 천천히 감소합니다.

2.6.1 전기 케이블

지역 요건에 한 권장 전선 세트 및 퓨즈.

표 9 - 전기 데이터(부품 번호가 -903 또는 -906로 끝나는 단상 펌프)

펌프정격 공급

(V)주기(Hz)

전력(W)

전부하 전류(A)

RV3, RV5, RV8 및 RV12

220–240 50 450 3.4

230–240 60 550 3.0

110 50 450 6.8

115–120 60 550 6.9

표 10 - 전기 데이터(부품 번호가 -904로 끝나는 단상 펌프)

펌프정격 공급

(V)주기(Hz)

전력(W)

전부하 전류(A)

RV3, RV5, RV8 및 RV12

200 50 450 4.2

200–210 60 550 4.1

100 50 450 8.3

100–105 60 550 8.0

표 11 - 권장 지역 공급 보호 장비

구역 전압 (V) 정격 (A)

영국 230 5

유럽 230 5

미국 110 13

일본 100 13


기술

자료

A652-01-890 Y판

2.7 전기 데이터: 3상 펌프

이중 전압, 이중 주파수 모터는 3상 전기 공급장치로 설계되었으며 50Hz나 60Hz에서의 작동에 적합합니다. 공칭 전압 220–240 V 또는 380–460 V (3.7.1절 참조)용 모터는 수동으로 구성될 수 있습니다. 펌프는 380–460V의 통상 전기를 공급하도록 미리 설정되어 있습니다.

콜드 펌프 시동 시 모터는 표 13에 표시된 시동 전류를 최 0.5초 동안 끌어옵니다. 모터가 해당 정격 회전 속도에 이르면 전류는 빠르게 감소합니다. 오일 및 펌프를 예열하는 5분 이내로, 공급된 전류가 표 13에 지정된 전부하 전류의 최값까지 서서히 감소합니다.

예열 펌프 시동 시 모터는 표 13에 표시된 시동 전류를 최 0.5초 동안 끌어옵니다. 공급된 전류는 전부하전류로 즉시 떨어지게 됩니다.

펌프의 전기 합선 및 접지 결함은 사전 승인된 적절한 배지 회로 보호용 차단기 또는 표 13의 값을 가진 클래스 CC 퓨즈를 전원 연결 지점에 장착하여 예방할 수 있습니다.

표 12 - 권장 전선 세트

설명 정격 커플러 유형 품목 번호

전선 세트 어셈블리, 영국 케이블 스타일 = H05VV-F, 3 x 1.0 mm2, 300 V, 70°C, 최 길이 2.0미터

플러그 유형 = BS1363 영국 플러그

기기 커플러 = IEC60320 스타일 C14

퓨즈 유형 = BS1363 10 Amp 퓨즈, IEC60320 스타일로

직렬 입력 A50505000

전선 세트 어셈블리, 유럽 케이블 스타일 = H05VV-F, 3 x 1.0 mm2, 300 V, 70°C, 최 길이 2.0미터

플러그 유형 = 유럽 Schuko VDE 승인, 이중 접지 정격 16 A 250 V


직렬 입력 A50506000

전선 세트 어셈블리, 미국/캐나다 (200 - 230 V)

케이블 스타일 = SJT, 3 x 14 AWG, 300 V, 90 °C, VW-1 최 길이 3.0미터

플러그 유형 = NEMA, 6-15P 플러그


N/A

표 13 - 전기 데이터(부품 번호가 -905로 끝나는 3상 펌프)

펌프정격 공급

(V)주기(Hz)

전력(W)

전부하 전류(A)

시작 전류(A)

권장 공급

보호 장비 (A)*

* 전원 보호에 관한 현지 및 지역 전기 법규를 준수하십시오.

RV3 및 RV5 200–220 50 250 1.7 10.2 2.5

200–230 60 300 1.7 10.2 2.5

380–415 50 250 1.0 5.7 2.5

460 60 300 1.0 7.0 2.5

RV8 및 RV12 200–208 50 450 2.5 14.0 4.0

200–230 60 550 2.9 12.0 4.0

380–415 50 450 1.5 9.0 2.5

460 60 550 1.5 8.7 2.5


A652-01-890 Y판



설치

A652-01-890 Y판

3 설치

3.1 안전

RV 펌프가 용도에 적합한지 확인합니다. 해당 애플리케이션에 해 RV가 적합한지 확신할 수 없는 경우, 진공 펌프와 진공 시스템 안전에 한 Edwards의 가이드라인(본 안내서 앞 장의 목차 끝에서 관련 출판물 참조)을 참조하시거나 Edwards에 연락하여 상담을 받으십시오.

RV 펌프의 설치는 적절한 교육을 받은 기술자가 감독 하에 수행해야 합니다. 펌프 설치 시에 아래 열거된 안전 지침을 준수해야 하고, 펌프를 기존 시스템과 연결할 때는 특별히 주의합니다. 각각의 안전 예방조치에 한 세부 내용은 지침의 해당 부분에 설명되어 있습니다.

오염된 부품을 취급하고자 할 때에는 적절한 안전복을 착용합니다. 오염된 부품은 퓸 후드 내부에서 해체 및 청소합니다.

설치 작업을 시작하기 전에 귀사의 진공 시스템을 환기 및 정화시킵니다.

오랫동안 노출되면 유해하므로 오일 미스트를 흡입하거나 펌프 오일이 과도하게 피부에 접촉하지 않도록 적절한 예방 조치를 취합니다.

펌프 시스템의 다른 구성부품의 전기 공급장치를 차단하여 우발적으로 작동되는 일이 없도록 합니다.

발에 걸려 넘어지지 않도록 전기 공급장치 케이블을 안전하게 배선합니다.

3.2 시스템 설계시 고려사항

펌프 시스템을 설계할 때 아래 사항들을 고려합니다.

Edwards는 응축성 증기가 펌핑되기 전에 펌프를 예열하거나 펌프를 사용하지 않을 때 진공을 유지할 수 있도록 포어라인 진공 격리 밸브를 사용할 것을 권장합니다.

공정 가스로부터 고온의 열이 펌프로 전달되는 것을 피해야 합니다. 그렇지 않으면 펌프가 과열되어 정지되고 모터의 온도반응식 과부하 방지장치가 작동하게 됩니다.

주변 온도가 높고 가스 처리량이 많은 경우, 펌프 본체의 온도는 70°C를 초과할 수 있습니다. Edwards는 이러한 환경에서 고온의 표면에 접촉하지 않도록 추가적인 보호 장비를 사용하기를 권장합니다.

배기 배관이 막혀서는 안 된다는 점에 유의하십시오. 최 배기압은 표 2에 나와 있습니다. 배기 격리 밸브가 장착된 경우, 밸브가 닫힌 상태에서 펌프를 작동해서는 안 됩니다.

펌핑 시스템 작동을 중지하는 경우 불활성 가스를 정화하여 위험 가스를 안전한 농도로 희석해야 합니다. 퍼지 가스를 펌프로 주입하는 데 적합한 가스 발라스트 어댑터를 부속품으로 사용할 수 있습니다(7.4.8절 참조). 필요 시 Edwards Application 팀에 문의하여 희석 요건에 한 더 많은 조언을 얻으십시오.

경고

설치 작업자는 펌프 시스템에 의해 처리되는 펌프 오일 및 관련 제품에 관한 안전 수칙에 해 숙지하고 있어야 합니다.

경고

탄화수소 지원 RV 펌프를 위험물 펌핑에 사용하지 마십시오. PFPE 지원 펌프는 산소 분야에 적합합니다. 8절을 참조하십시오.

이 절의 안전 지침을 준수하고 적절한 예방 조치를 취하십시오. 그렇지 않으면 부상이나 장비 손상을 일으킬 수 있습니다.

신체의 일부를 진공 장치에 접촉하지 마십시오.


A652-01-890 Y판설치

3.3 포장의 개봉과 점검

1. 모든 포장재를 제거하고 펌프를 포장 박스에서 꺼냅니다.

2. 흡기 및 배기 포트에서 보호 커버를 제거하고 펌프를 검사합니다. 펌프가 손상된 경우 3일 이내에 펌프의 품목 번호와 주문 번호, 공급자의 송장(invoice) 번호를 명시하여 공급자나 운송자에게 서면으로 통보합니다. 모든 포장재는 확인용으로 잘 보관합니다. 펌프가 손상되었으면 사용하지 말아야 합니다.

펌프를 즉시 사용하지 않는다면 보호 커버를 다시 씌워둔다. 6.1절에 설명된 바와 같이 적절한 환경에 펌프를 보관합니다. 물품 폐기는 다음을 참조합니다.6.2절

3.4 펌프 위치 정하기

RV3 및 RV5 펌프에는 손으로 이동할 때 사용하는 인양 핸들이 있습니다. 기계식 인양 장치를 사용할 경우 장치를 핸들에 연결하지 마십시오. 신 모터와 펌프 본체 주위의 슬링을 사용하여 고정하십시오.

펌프를 평평하고 단단한 바닥에 설치합니다. 오일량 투사 유리가 보이고 오일 급유기 플러그, 모든 선택기 및 가스 발라스트 조절 장치에 접근 가능한 위치에 펌프를 설치합니다.

펌프를 케이스 안에 설치할 경우 펌프 주변의 온도가 40°C를 초과하지 않도록 펌프 양쪽 끝에 적당한 환기 공간이 있어야 합니다. 펌프 주변과 실내 벽 사이에는 최소한 25mm의 공간이 있어야 합니다.

3.5 펌프에 오일 채우기

아래 설명한 로 펌프에 오일을 채웁니다. 권장 오일은 2.5절을 참조하십시오. 괄호 안의 품목 번호는 그림 1을 참조하십시오.

1. 오일 충전기 플러그(6) 중 하나를 제거합니다.

2. 오일량이 투사 유리 상단 베젤의 MAX 표시(8)에 도달할 때까지 오일을 펌프에 주입합니다. 오일량이 MAX 표시를 초과한 경우 배출 플러그(9)를 제거하고 초과된 오일을 펌프에서 배출합니다.

3. 몇 분 후에 오일량을 다시 점검합니다. 이제 오일량이 MAX 표시 아래에 있는 경우 오일을 펌프에 보충합니다.

4. 오일 급유기 플러그를 다시 장착합니다. 플러그를 손으로 꽉 조입니다. 너무 꽉 조이지 마십시오.

경고

RV8과 RV12 펌프의 질량은 약 29kg입니다.

RV8와 RV12 펌프에는 적절한 기계식 리프팅 장비를 펌프의 리프팅 브래킷에 부착합니다. RV8와 RV12를 옮기는 데에는 슬링을 사용할 필요가 없습니다.

경고

탄화수소 지원 펌프는 농도가 25%를 초과하는 다량의 산소를 처리하는 데 사용하지 마십시오. 펌프 오일 박스에서 화재 또는 폭발이 발생할 위험이 있습니다. PFPE 지원 펌프를 사용할 수 있습니다. 8절을 참조하십시오.


설치

A652-01-890 Y판

3.6 전기 설치: 단상 펌프

3.6.1 모터의 점검 및 구성

주의

모터가 귀사의 전기 공급장치에 맞게 구성되어 있는지 확인합니다. 모터가 전기 공급장치에 맞게 구성되지 않은 상태에서 펌프를 작동시키면 모터가 손상됩니다.

괄호 안의 품목 번호는 그림 4를 참조하십시오.

모터 커버의 전압 선택기 스위치(3)에 표시된 전압이 귀사의 전기 공급장치 전압과 일치하는지 확인합니다. 그렇지 않을 경우 펌프 모터의 구성을 변경하여 귀사의 전기 공급장치 전압과 같도록 해야 합니다. 아래 절차를 따르십시오.

1. 전압 선택기 스위치 커버(5)를 고정하는 두 개의 고정 나사(6)를 풉니다.

2. 전압 선택기 스위치 커버(5)를 제거하고 전압 선택기 스위치(3)를 체 위치로 전환합니다.

3. 전압 선택기 스위치 커버(5)를 뒤집어서 전압 선택기 스위치(3) 위에 다시 장착합니다.

4. 두 개의 고정 나사(6)를 다시 장착합니다.

3.6.2 전기 공급장치에 펌프 연결

참고: 전기 공급에 고장이 있은 후 전원 공급이 복원되는 경우 펌프 모터가 자동으로 재시작되는 것을 방지하려면 펌프를 전기 공급 고장 후 반드시 수동으로 재설정해야 하는 적절한 제어 장비를 통해 전원 공급 장치에 연결합니다.

1. 모터의 On/Off 스위치(그림 4, 항목 4)가 ‘Off’ 위치에 있는지 확인합니다.

2. 케이블 끝의 몰드형 IEC 커넥터를 모터의 전기 흡입구 커넥터(그림 4, 항목 2)에 끼웁니다.

3. 다른 한쪽 끝의 플러그(장착시)를 귀사의 전기 공급장치에 연결합니다. 플러그가 장착되지 않은 경우, 케이블의 전선을 전기 공급장치의 올바른 단자에 연결합니다.

3.6.3 회전 방향 점검

주의

펌프 모터가 올바른 방향으로 회전하는지 확인합니다. 그렇지 않을 경우, 펌프와 귀사의 진공 시스템이 가압 상태가 될 수 있습니다.

괄호 안의 품목 번호는 그림 1을 참조하십시오.

1. 모터 팬 커버(13)를 통해 모터 냉각 팬을 검사합니다.

2. On/Off 스위치(12)를 사용하여 모터에 몇 초 동안 전기를 공급합니다.

3. 모터 냉각 팬이 모터 팬 커버 위 화살표가 가리키는 올바른 방향(14)으로 회전하는지 점검합니다. 회전 방향이 올바르지 않은 경우, 즉시 전기 공급장치의 스위치를 끄고 공급자나 Edwards에 문의하십시오.

경고

RV 펌프의 설치가 현지 및 국가 안전 요구 조건에 부합하는지 확인하십시오. 펌프는 적절한 퓨즈로 연결되고 적절히 접지된 전원 공급 장치로 보호되어야 합니다. 권장 전선 세트는 섹션 2.4를 참조하십시오.


A652-01-890 Y판설치

그림4 - 모터 전압 구성: 단상 펌프

A. 모터의 평면도B. 전압 선택기 스위치 커버 보기C. On/Off 스위치 보기

1. 단자함2. 전기 흡입구 커넥터3. 전압 선택기 스위치4. On-Off 스위치5. 전압 선택기 스위치 커버6. 고정 나사7. 'I'(on) 위치8. '0'(off) 위치


설치

A652-01-890 Y판

3.7 전기 설치: 3상 펌프

3.7.1 모터의 점검 및 구성

주의

모터가 귀사의 전기 공급장치에 맞게 구성되어 있는지 확인합니다. 모터가 전기 공급장치에 맞게 구성되지 않은 상태에서 펌프를 작동시키면 모터가 손상됩니다.

1. 모터 터미널 상자의 커버를 고정하는 나사를 제거합니다. 커버를 분리합니다.

2. 터미널 상자의 내부에서 케이블 그랜드를 분리하여 터미널 상자 측면의 케이블 리드스루 구멍에 장착합니다.

3. 모터가 귀사의 전기 공급장치에 맞게 구성되어 있는지 확인합니다. 필요한 경우 귀사의 전기 공급장치에 맞게 배선(그림 5 및 그림 6, 항목 1)을 재구성합니다.

200–230V 전기 공급장치의 경우 그림 5에 표시된 로 배선을 구성해야 합니다.

380–460V 전기 공급장치의 경우 그림 6에 표시된 로 배선을 구성해야 합니다.

3.7.2 지역 전기 공급장치에 펌프 연결

참고: 전기 공급장치가 장애 후 복원될 때 펌프 모터가 자동으로 다시 시작되는 것을 방지하려면 전기 공급장치 문제 발생 시 수동으로 리셋해야 하는 적합한 제어 장비를 통해 전기 공급장치에 펌프를 연결합니다.

표 13에 표시된 정격 최 부하 전류에 맞게 조정 가능한 열 과전류 보호 기능이 있는 스타터 또는 회로 차단기를 사용하여 전기 공급장치와 모터를 연결해야 합니다. 표 13의 퓨즈 정격은 참고용으로만 제공됩니다. 열 과전류 보호 장치 공급업체에서 퓨즈와 과전류 보호 장치가 올바르게 작동하도록 다른 값을 지정할 수 있습니다. 사용된 퓨즈가 표 13에 표시된 시동 전류에 적합한지 확인합니다.

1. 모터 터미널 상자에서 커버를 분리합니다.

2. 터미널 상자의 내부에서 케이블 그랜드를 분리하여 터미널 상자 측면의 케이블 리드스루 구멍에 장착합니다. 도구를 사용하여 3.75Nm 토크로 조입니다.

3. 케이블 그랜드에 전기 공급장치 케이블을 통과시킵니다. 전기 공급장치 케이블의 지름은 7 ~ 11mm 범위 내에 있어야 합니다.

4. 그림 5 및 그림 6에 표시된 로 절연 크림프 커넥터를 사용하여 케이블의 전선을 터미널 U1, V1 및 W1과 터미널 상자의 접지에 연결합니다. 접지 터미널 연결부를 2.13 ~ 2.87Nm 토크까지 조여야 합니다.

5. 케이블 외피가 꽉 조일 때까지 케이블 그랜드의 돔형 너트를 조입니다. 도구를 사용하여 2.5Nm 토크로 조입니다. 이때 너무 꽉 조이지 마십시오.

6. 커버 가스켓의 위치가 올바른지 확인하고 커버를 터미널 상자에 다시 장착한 다음 나사로 고정합니다.

경고

RV 펌프의 전기 설비가 지역 및 국가 안전 관련 사항에 맞는지 확인합니다. 펌핑 시스템은 적합한 퓨즈 및 보호 장치가 설치된 전기 공급장치에 연결되어야 하며 올바르게 접지되어야 합니다.


A652-01-890 Y판설치

그림5 - 3상 전기 연결: 200–230V

그림6 - 3상 전기 연결: 380–460V

A. 스타터/접촉기B. 모터 터미널 상자

1. 링크

A. 스타터/접촉기B. 모터 터미널 상자

1. 링크


설치

A652-01-890 Y판

3.7.3 회전 방향 점검

주의

펌프 모터가 올바른 방향으로 회전하는지 확인합니다. 그렇지 않을 경우, 펌프와 귀사의 진공 시스템이 가압 상태가 될 수 있습니다.

1. 그림 1을 참조하십시오. 모터 팬 커버(13)를 통해 모터 냉각 팬을 검사합니다.

2. 모터에 몇 초 동안 전기를 공급합니다.

3. 모터 냉각 팬이 모터 장착 플레이트 위 화살표가 가리키는 올바른 방향으로 회전하는지 점검합니다. 회전 방향이 잘못된 경우에는 다음을 수행하시오.

즉시 전기 공급장치의 스위치를 끕니다.

펌프에 전기 공급장치를 차단합니다.

터미널 상자 커버를 분리하고 전선 L1 및 L3을 교체합니다. 그림 5 및 그림 6을 참조하십시오.

터미널 상자에 커버를 다시 장착합니다.

3.8 흡입구 및 배출구 연결부

펌프를 진공 시스템에 연결하기 전에 펌프 흡입구 포트에 중심유지 링과 흡입구 필터(펌프와 함께 제공됨)를 장착합니다(그림 3 참조, 항목 4).

펌프를 진공 시스템에 연결할 때 아래 정보를 참고합니다. 아래 설명된 액세서리에 해서는 7절을 참조하십시오. 펌프 연결시 표준 NW25 피팅재(제공 안됨)를 사용합니다.

최적의 펌핑 속도를 내려면 펌프 흡기구에 연결된 배관이 가능한 짧아야 하고 내부 직경은 25mm 이상이어야 합니다.

진공 배관을 잘 지지하여 접합부의 부하를 방지합니다.

필요한 경우 시스템 배관에 연성 벨로즈를 사용해서 진동이 전달되는 것을 줄이고 결합부 조인트의 부하를 방지합니다. 연성 벨로즈를 사용하는 경우에는 최 압력 정격이 장치에서 생성될 수 있는 최고 압력보다 큰 벨로즈를 사용해야 합니다. Edwards 연성 벨로즈를 사용하십시오.

응축성 증기를 펌핑하거나 먼지가 많은 적용 분야에서 펌프를 사용할 경우 적절한 흡입구 트랩을 사용하십시오.

펌프가 정지되었을 때 진공 상태를 유지하거나 응축 가능한 증기를 펌핑할 경우 적절한 밸브를 사용하여 진공 시스템에서 펌프를 차단하십시오.

밀봉면이 깨끗하고 흠집이 없는지 확인합니다.

경고

배기구를 적절한 처리 시설에 연결하여 위험한 가스나 증기가 주변 기로 방출되는 것을 막아야 합니다. 오염된 응축액이 펌프로 역류하지 않도록 집수통을 사용합니다.


A652-01-890 Y판설치

다음과 같은 경우 펌프 배출구에 오일 미스트 필터를 장착하십시오.

가스 발라스트 조절 장치를 개방한 상태(‘I’ 또는 ‘II’ 위치)로 펌프를 사용할 경우

흡입 압력이 10mbar(1 x 10³ Pa)를 초과하는 상태로 장시간 펌프를 작동할 경우

기 압력에서 펌프를 자주 펌핑 다운할 경우

오일 미스트 필터는 펌프에서 배칠되는 오일을 포집합니다. 오염되지 않은 오일은 재사용할 수 있습니다.

3.9 시스템 누출 테스트

RV 펌프 설치 후 시스템에서 누출되는지 테스트하여 발견된 누출 부위를 밀봉하고 물질이 시스템 밖으로 누출되거나 공기가 시스템으로 스며들지 않게 합니다.


작동

A652-01-890 Y판

4 작동

4.1 ATEX 지침의 의미

4.1.1 소개

본 장비는 폭발 잠재성이 있는 환경에서 사용할 목적으로 고안된 장비와 보호 시스템과 관계되는 EC 회원국 법률의 략적인 기준에 해 1994년 3월 23일 제정된 유럽 의회 및 위원회(European Parliament and the Council) 지침 94/9/EC를 준수하는 그룹 II 분류 3 장비의 요건을 충족시킬 수 있게 설계되었습니다. (ATEX 지침)

ATEX 분류 3은 장비 내부의 잠재적 점화 원인과 관련하여 적용됩니다. ATEX 분류는 장비가 폭발 잠재성이 있는 외부 환경이 존재하는 곳에서 사용할 목적으로 설계되지 않았으므로, 장비 외부에 있는 잠재적 점화 원인과 관련하여 적용되지 않습니다.

지침에 정의된 로 정상 작동 중에 펌프 내부의 잠재적 점화 원인은 전혀 없지만, 예측되는 매우 드문 고장 상태에서 잠재적 점화 원인이 존재할 수 있습니다. 따라서, 펌프가 가연성 물질과 혼합물을 주입하도록 설계되어 있긴 하지만, 반드시 모든 정상적이고 합리적으로 예측되는 환경 하에서 해당 물질과 혼합물이 폭발 한계 내에 해당되지 않도록 작동 절차를 준수해야 합니다. 분류 3은 가연성 물질이나 혼합물이 폭발 한계 내에 해당하는 동안 펌프를 통해 통과하도록 허용하는 매우 드문 고장이 발생하는 경우의 점화 방지 기능이 적합한지 확인하는 기준이 됩니다.

4.1.2 가연성/자연 발화 물질

가연성이나 자연 발화 물질이 장비 내에 있을 경우, 다음과 같이 하십시오.

공기가 장비에 들어가지 않도록 합니다.

시스템에 새는 틈이 없는지 확인합니다.

불활성 가스 정화(예를 들면, 질소 정화)를 사용해 펌프 흡입구에 들어오는 가연성 가스나 증기를 희석시킵니다. 또는, 불활성 가스 정화를 사용해 펌프 및 배출 배관에 있는 가연성 가스나 증기의 농도를 해당 가스의 공개된 폭발 하한계(LEL: Lower Explosive Limits)의 1/4 미만으로 낮춥니다.

펌프 가스 밸러스트 연결부에서 불활성 가스 정화를 사용해 펌프 메커니즘과 배출 배관 내부의 가연성 증기 응축을 방지합니다.

경고

신체의 일부를 진공 장치에 노출하지 마십시오. 부상을 입을 수 있습니다.

경고

펌프로 공급되는 가스가 연소 범위에 들어가지 않도록 반드시 해당 지침을 준수하고 아래 예방 조치를 취해야 합니다.


A652-01-890 Y판작동

4.1.3 가스 퍼지

불활성 가스 정화 스위치를 켜서 공정이 시작하기 전에 펌프와 배기관으로부터 공기를 제거합니다. 공정 마지막에 남은 가연성 가스 또는 증기가 펌프와 배기관에서 완전히 정화된 후에만 정화 유동 스위치를 끕니다.

가연성 증기를 생성하는 액체가 펌프 배출구에 존재할 수 있는 경우, 이 액체가 존재하는 동안은 RV3, RV5, RV8 및 RV12 회전식 베인 펌프에 한 불활성 가스 정화가 항상 켜져 있어야 합니다. 가연성 액체는 응축의 결과로 전면라인에 존재할 수도 있고, 공정 진행 중에 이동할 수도 있습니다.

희석에 필요한 불활성 가스의 유량을 계산할 때는 발생할 수 있는 가연성 가스/증기에 한 최 유량을 고려합니다. 예를 들면, 전체 유동 제어기가 공정에 가연성 가스를 공급하는 데 사용되는 경우, 전체 유동 제어기가 완전히 개방된 경우 발생할 수 있는 가연성 가스에 한 유량을 가정합니다.

불활성 가스 퍼지 유량을 지속적으로 측정합니다. 유량이 필요한 수준 이하로 내려갈 경우 펌프에 한 가연성 가스 또는 증기의 흐름을 중지합니다.

참고: 펌프와 함께 제공되는 진공 펌프 및 진공 시스템 안전 설명서(간행물 번호 P400-40-890)를 읽어 보십시오.

4.2 펌프 제어 장치 사용 방법

4.2.1 소개

모드 선택기(그림 1, 항목 11) 및 가스 발라스트 조절 장치(그림 1, 항목 5)를 사용하여 해당 용도에 한 RV 펌프의 성능을 최적화합니다. 표 3 및 표 4에는 제어 설정별 펌프의 성능 특성이 나와 있습니다. 펌프를 끈 상태나 작동 중인 상태에서 모드 선택기와 가스 발라스트 조절 장치의 위치를 변경할 수 있습니다.

경고

안전한 수준으로 위험 가스를 희석시키기 위해 불활성 가스 정화를 사용할 경우, RV3, RV5, RV8 및 RV12 회전식 베인 펌프가 불활성 가스 공급에 실패할 때 작동을 중단하는지 확인합니다.

경고

펌프로 공급되는 가스가 연소 범위에 들어가지 않도록 반드시 해당 지침을 준수하고 아래 예방 조치를 취해야 합니다.


작동

A652-01-890 Y판

4.2.2 모드 선택기

참고: 펌프는 고진공 모드 를 선택한 상태로 제공됩니다. 고진공 모드가 선택된 상태에서 모드 선택기를 손으로 돌려서 고처리량 모드를 선택할 수 없는 경우 모드 선택기의 평평한 부분에 장착된 적절한 공구를 사용하여 선택기를 돌리십시오.

모드 선택기는 펌프의 고진공 단계에 한 가압 오일 흐름을 제어합니다(1.4.1절 참조). 다음과 같은 방법으로 모드 선택기를 두 위치 중 하나로 돌릴 수 있습니다.

고진공 모드 를 선택하려면 손으로 모드 선택기를 시계 방향으로 끝까지 돌려서 잠급니다. 고진공 모드를 선택한 경우 모드 선택기와 펌프 측면 패널의 내부 표면 사이에 약 3mm의 간격이 있습니다. 이 모드를 사용하여:

극한 진공을 얻습니다.

깨끗한 가스를 펌핑합니다.

깨끗한 응축성 증기를 펌핑합니다.

고처리량 모드 를 선택하려면 모드 선택기를 반시계 방향으로 끝까지 돌려서 펌프 측면 패널의 내부 표면에 닿으면 손으로 가볍게 조입니다. 이 모드를 사용하여:

높은 가스 처리량(흡입 압력이 50mbar 초과)으로 장시간 작동할 경우.

오염된 응축성 증기를 펌핑합니다.

오일의 오염을 제거합니다.

4.2.3 가스 발라스트 조절

가스 발라스트 조절 장치를 사용하여 펌프의 저진공 단계로 유입되는 공기 또는 불활성 가스의 양을 조절합니다(1.4.2절 참조). 가스 발라스트를 사용하면 펌프 내에 오일을 오염시킬 수 있는 증기 응축물이 생기는 것을 막을 수 있습니다. 가스 발라스트 조절 장치는 아래 세 개의 위치 중 하나를 선택하여 바꿀 수 있습니다.

가스 발라스트를 닫으려면 제어기를 ‘0’ 위치로 돌립니다. 이 설정을 사용하여:

극한 진공을 얻습니다.

건조 가스를 펌핑합니다.

가스 발라스트를 낮은 유동량 상태로 선택하려면 제어기를 ‘I’ 위치로 바꿉니다. 이 설정을 사용하여:

저농도의 응축성 증기를 펌핑합니다.

오일의 오염을 제거합니다.

가스 발라스트를 높은 유동량 상태로 선택하려면 제어기를 ‘II’ 위치로 바꿉니다. 이 설정을 사용하여:

고농도의 응축성 증기를 펌핑합니다.

낮은 유량 또는 높은 유량 가스 발라스트를 사용할 경우 펌프의 오일 손실률이 높아집니다. 가능하면 높은 유량 가스 발라스트(‘II’ 위치) 신 낮은 유량 가스 발라스트(‘I’ 위치)를 선택하여 오일 손실을 최소화하십시오.


A652-01-890 Y판작동

4.3 시작 절차

오일이 오염되거나, 펌프 온도가 12°C 미만이거나, 전기 공급장치 전압이 전압 표시기에 지정된 최저 전압(그림 4, 항목 3)보다 10% 이상 높은 경우 펌프가 몇 분 동안 낮은 속도로 작동할 수 있습니다. 단상 펌프에서 펌프가 계속해서 낮은 속도로 작동할 경우 모터 열 과부하 방지장치가 열리고 펌프가 중지됩니다. 모터가 냉각되면 열 과부하 방지장치가 자동으로 리셋되고 펌프가 다시 시작됩니다.

1. 펌프 오일량이 오일량 투사 유리 베젤의 MAX 표시와 MIN 표시 사이에 있는지 확인합니다. 그렇지 않은 경우 5.3절을 참조하십시오.

2. 모드 선택기를 시계 방향으로 끝까지 돌려서 고진공 모드 를 선택하거나, 반시계 방향으로 끝까지 돌려서 고처리량 모드 를 선택합니다(4.2.2절 참조).

3. 필요에 따라 가스 발라스트 조절 장치를 ‘0’, ‘I’ 또는 ‘II’ 위치로 돌립니다(4.2.3절 참조).

4. 펌프에 전기를 공급합니다. 단상 펌프의 경우 On/Off 스위치를 사용합니다.

5. 극한 진공에 도달하거나, 응축성 증기를 펌핑하거나, 펌프 오일의 오염을 제거하려면 각각 4.4절, 4.5 및 4.6의 절차를 참조하십시오. 그렇지 않으면 진공 시스템 격리 밸브를 엽니다.

4.4 극한 진공 얻기

펌프가 2.2절에 지정된 성능에 도달하지 않는 경우 공급업체 또는 Edwards에 문의하기 전에 시스템 설계 문제가 아닌지 확인하십시오. 특히, 진공 시스템에 사용된 모든 물질(펌프 오일 포함, 아래 참조)의 증기압이 펌프에 해 지정된 극한 진공보다 훨씬 낮아야 합니다. 지정된 성능에 도달하지 못하는 원인은 5.12.3절을 참조하십시오. 가장 일반적인 원인은 다음과 같습니다.

압력 측정 방법이나 게이지 헤드가 적당하지 않거나 게이지 헤드가 고장났습니다.

권장 오일이 아닌 오일을 사용했고 오일의 증기압이 펌프에 해 지정된 극한 진공보다 높은 경우

극한 진공에 도달하려면 다음 절차를 따르십시오.

1. RV 펌프를 진공 시스템에서 차단합니다.

2. 모드 선택기를 돌려서 고처리량 모드 를 선택하고, 가스 발라스트 조절 장치를 낮은 유량(‘I’ 위치)로 설정하고, 펌프를 1시간 이상 또는 밤새도록 작동하여 오염된 오일을 완전히 제거합니다.

3. 모드 선택기를 돌려서 고진공 모드 를 선택하고 가스 발라스트 조절 장치를 닫습니다(‘0’ 위치).

진공 시스템 격리 밸브를 열고 극한 진공으로 펌핑 다운합니다.

경고

시스템 설계시 배기 배관이 막히는 일이 없도록 주의합니다.


작동

A652-01-890 Y판

4.5 응축성 증기 펌핑

공정 가스 중에 높은 비율의 응축성 증기가 있을 경우는 가스 발라스트(가스 발라스트 조절 장치를 I 또는 II 위치에 설정)를 사용합니다.

1. 진공 시스템 격리 밸브를 닫습니다.

2. 모드 선택기를 시계 방향으로 끝까지 돌려서 고진공 모드 를 선택하거나, 반시계 방향으로 끝까지 돌려서 고처리량 모드 를 선택합니다(4.2.2절 참조).

3. 가스 발라스트 조절 장치를 높은 유량(‘II’ 위치)으로 돌리고 펌프를 30분 동안 작동하여 오일을 예열합니다. 그러면 펌프에서 증기가 응축되는 것을 방지할 수 있습니다.

4. 가스 발라스트 조절 장치를 해당 분야에 필요한 위치(4.2.3절 및 표 3 및 표 4의 데이터 참조)로 설정합니다.

5. 진공 시스템 격리 밸브를 엽니다.

응축성 증기를 펌핑한 후 필요 시 4.6절의 절차에 따라 오일의 오염을 제거합니다.

4.6 오일 오염 제거

펌프에는 깨끗한 오일을 주입해야 합니다. 오일이 혼탁하거나 변색된 경우 공정 과정에서 증기로 오염된 것입니다.

1. 오일량 투사 유리(그림 1, 항목 8)로 오일의 상태를 확인합니다. 오일이 혼탁하거나 변색된 경우 아래 2단계의 절차를 계속합니다.

2. 진공 시스템 격리 밸브를 닫습니다.

3. 모드 선택기를 반시계 방향으로 끝까지 돌려서 고처리량 모드 를 선택합니다. 가스 발라스트 조절 장치를 낮은 유량(‘I’ 위치)으로 설정합니다.

4. 오일이 깨끗해질 때까지 펌프를 작동합니다.

4.7 자동 작동

RV 펌프는 2.1절에 지정된 정상 작동 조건에서 자동으로 작동하도록 설계되었습니다. 14일 이내의 간격으로 또는 더 자주( 용량 가스 또는 증기를 펌핑할 경우) 펌프를 검사하십시오.

단상 펌프의 경우 임계 온도 또는 전류량이 초과되면 과부하 방지장치가 펌프를 전기 공급장치로부터 차단하여 모터를 보호합니다. 과부하 방지장치는 모터가 냉각되면 자동으로 리셋됩니다. 펌프를 검사할 때 열 과부하 장애 및 자동 리셋 주기에 따라 펌프가 작동하지 않는지 확인합니다. 필요한 경우 모드 선택기를 고처리량 모드 로 변경하고 펌핑된 가스의 열 부하를 줄여서 펌프가 과열되는 것을 방지하십시오.


A652-01-890 Y판작동

4.8 종료

다음 절차에 설명된 로 펌프를 종료하기 전에 오일의 오염을 제고하십시오. 그러면 오염된 오일로 인해 펌프가 손상되는 것을 방지할 수 있습니다.

1. 필요한 경우 4.6절을 참조하여 오일의 오염을 제거하십시오.

2. 진공 시스템 절연 밸브가 열려 있는 경우 밸브를 닫습니다.

3. 가스 발라스트 조절 장치를 ‘0’ 위치로 설정하여 가스 발라스트를 닫습니다.

4. 단상 펌프의 경우 On/Off 스위치를 사용하여 펌프를 끕니다.

5. 펌프 전기 공급장치의 스위치를 끕니다.


유지

보수

A652-01-890 Y판

5 유지 보수

5.1 안전 정보

PFPE 지원 펌프의 경우 펌프를 유지 보수하기 전에 8절을 참조하십시오.

펌프의 유지 보수는 적절한 교육을 받은 기술자가 감독 하에 수행해야 합니다. 지역 및 국가 안전 규정을 준수합니다.

유지 보수 기술자가 펌프 시스템에서 처리되는 제품 및 펌프 오일과 관련된 안전 절차를 숙지하고 있는지 확인합니다.

작업을 시작하기 전에 모든 필요 부품이 준비되어 있고 올바른 종류인지 점검합니다.

펌프와 다른 구성품의 전기 공급을 차단하여 우발적으로 작동되는 일이 없도록 합니다.

손상된 O 링 또는 실은 재사용하지 마십시오.

유지 보수를 완료한 후 전기 공급장치가 분리된 경우 펌프 회전 방향을 다시 점검합니다.

펌프와 펌프 오일은 작업 중에 펌프되는 공정 화학물질에 의해 오염될 수 있습니다. 유지 보수 전에 펌프의 오염을 제거하고 만약 오염된 경우 위험물질의 영향으로부터 사람들을 보호하기 위한 적절한 예방조치를 취해야 합니다.

펌프가 310°C 이상으로 가열되었을 경우 존재할 수 있는 불소화합물의 열분해 생성물을 만지거나 흡입하지 마십시오. 불소 화합물은 평상시에는 안전하지만 310°C 이상으로 가열되면 매우 위험한 물질(불화 수소산을 포함한 물질)로 분해될 수 있습니다. 펌프를 잘못 사용하거나 오작동한 경우 또는 화기에 노출된 경우 펌프가 과열될 수 있습니다. 펌프에 사용되는 불소화합물에 한 MSDS(물질안전보건자료)를 요청하여 얻을 수 있습니다. 공급업체나 Edwards에 문의하십시오.

필요한 경우 모터와 함께 제공된 제조업체의 지침서에 지정된 로 모터를 유지 보수합니다.

경고

아래의 안전 지침을 준수하고 적절한 예방 조치를 취하십시오. 그렇지 않으면 부상이나 장비 손상을 일으킬 수 있습니다.

경고

유지 보수 작업을 시작하기 전에 펌프가 냉각되도록 합니다(피부에 닿아도 되는 안전한 온도가 되도록). 온도 과부하 장비로 펌프를 재시작하는 경우 펌프가 꺼졌는지 확인하십시오.


A652-01-890 Y판유지

보수

5.2 유지 보수 계획

표 14에 표시된 계획표에서는 정상 사용 중인 RV 펌프를 유지 보수하는 데 필요한 일상 유지 보수 작업을 자세히 설명합니다. 각 작업에 한 지침은 해당 절에서 제공합니다.

펌프가 용제와 같은 부식 또는 마모성이 강한 가스 및 증기나 유기물 및 유기산을 펌프하는데 사용될 경우에는 보다 잦은 유지 보수가 필요합니다. 이 경우 펌프 실을 매년 교체하십시오. 사용 가능한 예비 부품에 한 자세한 내용은 7.3절을 참조하십시오. 필요시, 이전 경험에 의거하여 유지 보수 계획을 조정합니다.

RV 펌프를 유지 보수할 경우 Edwards 예비 부품 및 유지 보수 키트를 사용하십시오. 이 키트에는 유지 보수 작업에 필요한 모든 부품이 포함되어 있습니다. 예비 부품과 키트의 품목 번호는 7.3절에 나와 있습니다.

5.3 오일량 점검

참고: 필요한 경우 펌프를 작동하는 중에 오일량을 점검할 수 있습니다. 펌프의 스위치를 끄고 펌프와 펌핑 시스템의 다른 부품을 전기 공급장치에서 차단한 다음 펌프에 오일을 보충해야 합니다.

괄호 안의 항목은 그림 1을 참조하십시오.

1. 투사 유리(8)에서 오일량이 투사 유리 베젤의 MAX 표시와 MIN 표시 사이에 있는지 확인합니다.

2. 오일량이 MIN 표시에 가깝거나 아래에 있는 경우 급유기 플러그(6) 중 하나를 제거하고 오일이 MAX 표시에 도달할 때까지 저수조에 오일을 보충합니다. 오일량이 MAX 표시를 초과한 경우 배출 플러그(9)를 제거하고 초과된 오일을 펌프에서 배출합니다. 급유기 플러그를 다시 장착합니다.

3. 오일이 오염된 경우 5.4절에 설명된 로 펌프에서 오일을 배출하고 깨끗한 오일을 다시 보충합니다.

표 14 - 유지 보수 계획

작동 주기 참조 절

오일량 점검 매월 5.3

오일 교체 3000시간마다 5.4

흡입구 필터 점검 및 청소 매년 5.5

가스 발라스트 조절 장치 점검 및 청소 매년 5.6

오일량 투사 유리 청소 매년 5.7

모터 팬 커버 및 케이스 청소 매년 5.8

펌프 청소 및 분해 검사 15000시간마다 5.9

새 블레이드 장착 3000시간마다 5.10

모터 상태 테스트 15000시간마다 5.11


유지

보수

A652-01-890 Y판

5.4 오일 교체

1. 그림 1을 참조하십시오. 펌프를 약 10분 동안 작동하여 오일을 예열한 다음 펌프를 끕니다. 그러면 오일의 점착성이 내려가서 펌프에서 쉽게 배출할 수 있습니다.

2. 펌프를 전기 공급장치에서 차단하고 진공 시스템에서 분리합니다.

3. 오일 충전기 플러그(6) 중 하나를 제거합니다.

4. 펌프 모터 밑에 적절한 블록을 받쳐서 펌프를 기울인 다음 배출 플러그(9) 밑에 적당한 용기를 놓습니다. 배출 플러그를 제거하고 오일을 용기에 배출합니다.

5. 펌프에서 배출된 오일이 오염된 경우 충전기 구멍에 깨끗한 오일을 부어 펌프 밖으로 배출되게 합니다. 펌프의 오일 저수조가 완전히 세척될 때까지 이 단계를 반복합니다.

6. 배출 플러그를 다시 장착하고 블록을 제거한 다음 펌프를 진공 시스템에 다시 연결합니다.

7. 적절한 용기에 깨끗한 오일을 채우고 오일량이 투사 유리 상단 베젤의 MAX 표시(8)에 도달할 때까지 급유기 구멍으로 오일을 주입합니다.

8. 오일이 펌프로 배출되는 동안 몇 분간 기다립니다. 필요하면 오일을 보충합니다. 급유기 플러그를 다시 장착합니다.

5.5 흡입구 필터 점검 및 청소

1. 그림 7을 참조하십시오. 진공 시스템을 펌프 흡입구 포트(3)에서 분리하고 센터링 링과 필터 조립체(1) 및 O 링(2)을 분리합니다. 센터링 링과 O 링을 점검합니다. 세척이 끝나면 5단계를 계속합니다. 세척되지 않으면 2단계를 계속합니다.

2. O 링(2)을 센터링 링 및 필터 조립체(1)에서 분리합니다. O 링에 세척제가 접촉되는 일이 없도록 합니다.

3. 센터링 링 및 필터 조립체를 적절한 세척제로 닦고 건조시킵니다.

4. 필요시, O 링을 보풀이 없는 깨끗한 마른 천으로 닦습니다.

5. 센터링 링 및 필터 조립체와 O 링을 흡입구 포트에 재장착합니다. 진공 시스템을 펌프 흡입구 포트에 다시 장착합니다.

그림7 - 흡입 필터 조립체

1. 센터링 링 및 필터 조립체2. O-링3. 흡입구 포트


A652-01-890 Y판유지

보수

5.6 가스 발라스트 조절 장치 점검 및 청소

참고: 가스 발라스트 필터 부분(그림 8, 항목 7)은 안착면에 접착제로 고정되어 있습니다. 분리하지 마십시오.

1. 그림 8을 참조하십시오. 가스 발라스트 조절 장치(1)를 높은 유량 위치('II' 위치)로 바꿉니다.

2. 제어기를 압축 스프링(6)에 해 누를 수 있는 데까지 누른 후 반시계 방향으로 살짝 돌려서 총검형 돌기(bayonet lugs, 5)가 풀리도록 하여 제어기를 분리합니다.

3. 필요시, 제어기를 보풀이 없는 깨끗한 마른 천으로 닦고 공기 구멍(3)이 막히지 않았는지 확인합니다.

4. 제어기를 가스-밸러스트 흡입구에 재장착하고 압축 스프링이 총검형 돌기 사이에 잘 자리잡았는지 확인합니다.

5. 제어기를 누를 수 있는 데까지 누르고 시계 방향으로 살짝 돌려서 총검형 돌기가 맞물리도록 합니다.

6. 가스 발라스트 조절 장치를 필요한 위치로 조정합니다.

그림8 - 가스 발라스트 조절 어셈블리

1. 가스 발라스트 조절2. O-링3. 공기 구멍4. O-링5. 총검형 돌기6. 압축 스프링7. 필터 부분


유지

보수

A652-01-890 Y판

5.7 오일량 투사 유리 청소

괄호 안의 품목 번호는 그림 9를 참조하십시오.

1. 5.4절에 설명된 로 오일을 배출합니다.

2. 두 개의 나사(1)를 풀고 베젤(2), 투사 유리(3) 및 O 링(4)을 오일 박스(5)에서 분리합니다.

3. 적절한 세척액으로 나사, 베젤 및 투사 유리를 세척합니다.

4. O 링을 보풀이 없는 깨끗한 마른 천으로 닦습니다.

5. 오일 박스의 투사 유리를 천으로 닦습니다.

6. O 링, 투사 유리 및 베젤을 다시 장착하고 두 개의 나사로 고정합니다.

7. 5.4절에 설명한 로 펌프에 오일을 다시 채웁니다.

8. 투사 유리가 누출되지 않는지 확인합니다.

그림9 - 투사 유리 어셈블리

1. 나사(2개, M6 x 20)2. 베젤3. 투사 유리4. O-링5. 오일 박스


A652-01-890 Y판유지

보수

5.8 모터 팬 커버 및 케이스 청소

모터 팬 커버와 케이스를 깨끗하게 유지하지 않을 경우 모터에 한 공기 흐름이 제한되어 펌프가 과열될 수 있습니다.

1. 펌프를 정지시키고 전기 공급장치를 차단합니다.

2. 마른 천과 부드러운 솔로 팬 커버와 케이스의 먼지와 묵은 때를 제거합니다.

5.9 펌프 청소 및 분해 검사

세척 및 분해 검사 키트와 함께 제공된 지침에 설명된 로 펌프를 세척하고 분해 검사합니다(7.3절 참조).

5.10 새 블레이드 장착

블레이드 키트와 함께 제공된 지침에 설명된 로 펌프에 새 블레이드를 장착합니다(7.3절 참조).

5.11 모터 상태 테스트

전기 장비의 주기적 시험을 위한 자체 규정에 따라 펌프 모터의 접지 연속성과 절연 저항도를 테스트합니다.

단상 RV 펌프의 모터는 IEC 1010–1 규정을 준수합니다. IEC 1010–1 규정을 준수하려면 접지 연속성이 0.1 보다 작고 절연 저항이 10M보다 커야 합니다.

모터가 이 테스트에 실패하면 모터를 교체해야 합니다.

5.12 결함 발견

5.12.1 소개

결함을 찾으려면 다음 절에 나오는 결함 조건 및 가능한 원인 목록을 참조하십시오. 이 지침에 따라 결함을 해결할 수 없는 경우 가까운 Edwards 서비스 센터에 문의하십시오.

5.12.2 펌프가 시동되지 않을 경우

전기 공급장치 퓨즈가 고장난 것입니다.

전기 공급장치 전압이 모터의 전압과 일치하지 않습니다.

배기관 또는 배출구 필터(장착된 경우)가 막혀 있습니다.

오일 온도가 12°C 미만입니다.

오일 점성이 너무 높습니다.

오일이 오염되었습니다.

장시간 보관 후 펌프가 막혔습니다.

오염물을 펌핑한 후 펌프를 세워두어 펌프가 막혔습니다.

모터에 이상이 있습니다.


유지

보수

A652-01-890 Y판

5.12.3 펌프가 지정된 성능에 도달하지 못할 경우(극한 진공에 도달하지 못할 경우)

압력 측정 방법이나 게이지 헤드가 적당하지 않거나 압력을 잘못 표시하고 있습니다. 예를 들어, 오염된 Pirani 게이지에 시스템의 실제 압력보다 몇 배 더 높은 압력이 표시될 수 있습니다.

펌프에 잘못된 유형의 오일이 주입되었습니다.

진공 시스템에 누설이 있습니다.

모드 선택기와 가스 발라스트 조절 장치가 잘못 설정되었습니다.

오일량이 최소 수준 아래에 있습니다.


진공 피팅재가 더럽거나 손상되었습니다.

흡입구 필터가 막혀있습니다.

펌프가 예열되지 않았습니다.

5.12.4 펌프의 소음이 심할 경우

모터 팬 커버가 손상되었습니다.

모터 베어링이 마모되었습니다.

오일이 고체 입자에 의해 오염되었습니다.

5.12.5 펌프 표면 온도가 100°C를 넘을 경우

참고: 흡입 압력이 계속해서 100mbar(1 x 104Pa)보다 높은 경우 주변 온도가 40°C일 때 RV12 펌프의 표면 온도가 115°C에 도달할 수 있습니다.

주변 온도가 너무 높습니다.

냉각 공기 공급이 불충분하거나 너무 뜨겁습니다.

전기 공급장치 전압이 너무 높습니다.

배출구 필터 또는 배기관이 막혀 있습니다.

오일량이 최소 수준 아래에 있습니다.

펌프에 잘못된 유형의 오일이 주입되었습니다.


공정 가스가 너무 뜨겁거나 처리량이 너무 높습니다.

5.12.6 펌프 스위치를 끈 후 완전 진공 상태로 유지되지 않는 경우

가스 발라스트 조절 장치가 열려 있습니다(‘I’ 또는 ‘II’ 위치).

흡입구 밸브 패드가 손상되었습니다.

흡입구 밸브가 열려 있습니다.


A652-01-890 Y판유지

보수

5.12.7 펌프 속도가 불충분한 경우

연결 배관의 직경이 너무 작습니다.

연결 배관이 너무 깁니다.

흡입구 필터가 막혀있습니다.

5.12.8 외부 오일 누출이 있는 경우

외부 샤프트 실이 마모되었거나 손상되었습니다.

오일 박스 가스켓이 훼손되었습니다.

가스 발라스트 조절 장치에서 오일 누출이 있습니다.

배출 플러그에서 오일 누출이 있습니다.

투사 유리에서 오일 누출이 있습니다.


보관

및 폐기

A652-01-890 Y판

6 보관 및 폐기

6.1 보관

주의

2.1절에 나오는 보관 온도 제한을 준수하십시오. 30°C 미만의 온도에서 보관할 경우 펌프 실이 영구히 손상됩니다.

참고: 습도가 높은 장소에 새 펌프를 보관할 경우 포장 상자에서 펌프를 꺼내고 상자를 폐기하십시오(6.2절 참조).

다음 절차에 따라 펌프를 보관합니다.

1. 4.8절에 설명된 로 펌프를 정지시킵니다.

2. 펌프를 전기 공급장치로부터 차단합니다.

3. 진공 시스템과 펌프를 건조 질소 가스로 정화하고 펌프를 진공 시스템에서 분리합니다.

4. 5.4절에 설명된 로 오일을 교체합니다.

5. 흡기 및 배기 포트에 보호 커버를 장착하고 고정시킵니다.

6. 사용이 필요할 때까지 펌프는 건냉한 장소에서 보관합니다. 필요시, 3절에 설명된 로 펌프를 준비하고 설치합니다. 펌프를 1년 이상 보관한 경우 펌프를 설치하기 전에 세척 및 분해 검사 키트와 함께 제공된 지침에 설명된 로 펌프를 세척하고 분해 검사해야 합니다.

6.2 폐기

제거된 펌프 및 구성품을 폐기할 때는 모든 지역 및 국가 안전 및 환경 규정에 따라야 합니다.

위험한 공정 물질에 오염된 구성품과 폐유는 특별히 주의해서 다루도록 합니다.

불화고무 실과 O 링을 소각하지 않습니다.


A652-01-890 Y판



서비스

및 예비

부품

A652-01-890 Y판

7 서비스 및 예비 부품

7.1 소개

Edwards 제품, 예비 부품 및 부속품은 벨기에, 브라질, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 이탈리아, 일본, 한국, 싱가포르, 영국, 미국의 Edwards 지사와 전세계 유통망을 통해 구할 수 있습니다. 이들 센터의 다수는 포괄적인 Edwards 교육 과정을 이수한 서비스 엔지니어들을 보유하고 있습니다.

예비 부품과 부속품을 주문하려면 Edwards나 유통업체에 문의하십시오. 주문시, 신청 부품에 한 아래 사항을 기재하기 바랍니다.

장비의 모델 및 품목 번호

일련 번호

부품의 품목 번호와 설명

7.2 서비스

Edwards 제품은 전 세계 Edwards 서비스 센터에서 지원합니다. 각 서비스 센터는 장비 오염 제거, 서비스 교환, 수리, 출고 시 사양으로 재구축 및 테스트와 같은 다양한 옵션을 제공합니다. 서비스를 받거나 수리되거나 재구축된 장비는 완전한 품질 보증 상태로 반환됩니다.

지역 서비스 센터에서는 또한 장비의 현장 유지 보수, 서비스 또는 수리 지원을 위해 Edwards 엔지니어를 파견할 수 있습니다.

서비스 옵션에 한 자세한 내용은 가까운 서비스 센터나 Edwards에 문의하십시오.

7.3 예비 부품

RV 펌프에 사용 가능한 예비 부품 및 유지 보수 키트는 표 15을 참조하십시오.

2009년 연말에 향상된 모터가 RV 펌프에 장착되었습니다. 이러한 모터에는 알루미늄 터미널 상자와 외부에서 접근 가능한 전압 전환 스위치를 장착할 수 있습니다. 이러한 모터의 도입으로 모든 전압과 주파수 조건을 포함하는 모터 범위가 4개의 변형품에서 2개로 축소되었습니다. 모든 모터를 교체하여 사용할 수 있으며 펌프 성능에는 영향을 주지 않습니다.


A652-01-890 Y판서비스

및 예비

부품

* 2010년 1월 이전에 제조된 플라스틱 터미널 상자에 장착된 모터와 함께 사용합니다.

표 15 - 스페어 및 유지 보수 키트

예비 부품

품목 번호

탄화수소지원펌프

PFPE지원펌프

Ultragrade 19 오일 1리터Ultragrade 19 오일 4리터

H110–25–015H110–25–013

––

Fomblin 06/6 오일, 1kgFomblin 06/6 오일, 1kg

––

H113–06–019H113–06–020

세척 및 분해 검사 키트(표준) A652–01–131 A652–01–131

RV3 블레이드 키트 A652–01–130 A652–01–130

RV5 블레이드 키트 A653–01–130 A653–01–130

RV8 블레이드 키트 A654–01–130 A654–01–130

RV12 블레이드 키트 A655–01–130 A655–01–130

RV3 카트리지 키트 A652–01–032 A652–09–032

RV5 카트리지 키트 A653–01–032 A653–09–032

RV8 카트리지 키트 A654–01–032 A654–09–032

RV12 카트리지 키트 A655–01–032 A655–09–032

흡입구 밸브 키트 A652–01–036 A652–01–036

모터 시동 릴레이 키트* A505–74–000 A505–74–000

외부 샤프트 실 키트 A652–01–134 A652–01–134

로터 슬리브 키트 A652–01–136 A652–09–136

RV3/RV5 모터 키트(유럽/미국/일본)50/60Hz, 250/300W, 3상, 200–230/380–460V

A652–97–000 A652–97–000

RV8/RV12 모터 키트(유럽/미국/일본)50/60Hz, 450/550W, 3상, 200–230/380–460V

A654–97–000 A654–97–000

세척 및 분해 검사 키트(니트릴) A652–01–137 –


서비스

및 예비

부품

A652-01-890 Y판

7.4 부속품

7.4.1 소개

RV 펌프에 장착할 수 있는 부속품은 그림 10에 나와 있고, 해당 품번은 표 16에 있습니다.

7.4.2절 - 7.4.14에 부품품에 해 간략한 설명이 나와 있습니다.

7.4.2 흡입구 집수통

흡입구 집수통은 떨어지는 액체를 포집하여 펌프 안으로 유입되지 않도록 합니다.

7.4.3 흡입구 먼지 필터

흡입구 먼지 필터는 펌프를 연마 먼지로부터 보호합니다.

7.4.4 흡입구 건조 트랩

높은 펌핑 속도에서 펌프의 수증기량이 낮은 증기압으로 제한될 경우 건조 트랩을 사용합니다.

표 16 - 부속품 품목 번호

부속품 참조 절 품목 번호

ITO20K 흡입구 집수통 7.4.2 A441–10–000

ITF20K 흡입구 먼지 필터 7.4.3 A442–15–000

ITD20K 흡입구 건조 트랩 7.4.4 A445–10–000

ITC20K 흡입구 화학 트랩 7.4.5 A444–10–000

FL20K 포라인 트랩 7.4.6 A133–05–000

EMF10 배출구 미스트 필터 7.4.7 A462–26–000

EMF20 배출구 미스트 필터 7.4.7 A462–29–000

가스 발라스트 어댑터 7.4.8 A505–02–000

오일 량 배출 키트 7.4.9 A505–01–000

오일 배출 연장 7.4.10 A505–03–000

배기 노즐 키트 7.4.11 A505–09–000

진동 차단기(4개 들이) 7.4.12 A248–01–404

EBV20 솔레노이드 작동 가스 발라스트 밸브220–240V 50/60Hz100–120V 50/60Hz

7.4.13A500–06–930A500–06–984

PV25EK 배관 밸브(알루미늄)220–240V 50/60Hz110–127V 50/60Hz

7.4.14C413–01–000C413–03–000

PV25EK 배관 밸브(스테인리스 스틸)220–240V 50/60Hz110–127V 50/60Hz

7.4.14C413–02–000C413–04–000


A652-01-890 Y판서비스

및 예비

부품

7.4.5 흡입구 화학 트랩

흡입구 화학 트랩은 화학적 활성 가스로부터 펌프를 보호합니다.

7.4.6 포라인 트랩

청정 펌핑 시스템의 포라인 트랩을 사용하여 펌프 오일 증기가 진공 시스템으로 역류하는 것을 방지하십시오.

7.4.7 배출구 미스트 필터

배출구 미스트 필터는 떨어지는 오일을 분리한 후 펌프 배출구에 포집하여 오일 미스트 방전을 방지합니다.

7.4.8 가스 발라스트 어댑터

가스 발라스트 어댑터를 펌프의 가스-밸러스트 제어기 자리에 장착할 수 있습니다. 어댑터를 사용하면 솔레노이드 작동 가스 발라스트 밸브를 장착하거나 펌프에 조정 가능한 양의 불활성 가스를 공급할 수 있습니다.

7.4.9 오일 량 배출 키트

배출구 미스트 필터의 배출 포트와 펌프의 오일 급유구 플러그 사이에 오일 배출 키트를 장착합니다. 키트를 장착한 경우 펌프를 끄거나 가스 발라스트 조절 장치를 닫고('0' 위치) 펌핑할 공정 가스가 없으면 오일이 미스트 필터에서 환수됩니다.

7.4.10 오일 배출 연장

펌프에서 오일을 쉽게 배출하려면 펌프의 오일 배출 포트와 오일 배출 플러그 사이에 오일 배출 연장 장치를 장착합니다.

7.4.11 배기 노즐 키트

배기 노즐은 배기 플랜지를 체합니다. 배기 노즐을 사용하여 펌프 배기구에 내부 직경이 12mm인 플라스틱 호스를 연결할 수 있습니다.

7.4.12 방진장치

진동 차단기는 펌프가 바닥이나 틀에 설치된 경우 진동과 소음을 줄여주고, 설치면이 고르지 못할 경우는 응력(strain)을 줄여줍니다.

7.4.13 솔레노이드 작동 가스 발라스트 밸브

펌프에 내장된 가스 발라스트 조절 위치에 가스 발라스트 밸브를 장착합니다. 가스 발라스트 어댑터(7.4.8절 참조)는 솔레노이드 작동 가스 발라스트 밸브와 함께 장착해야 합니다. 이 밸브는 가스 발라스트의 On/Off를 자동으로 조절하여 펌프가 꺼지면 가스 발라스트 흡입구를 차단합니다.

7.4.14 솔레노이드 작동식 배관 밸브

귀사의 진공 시스템과 펌프 흡입구 사이에 배관 밸브를 장착하면 펌프가 정지중일 때 추가 시스템 보호책이 제공됩니다.


서비스

및 예비

부품

A652-01-890 Y판

그림10 - 부속품

1. 흡입구 집수통2. 흡입구 먼지 필터3. 흡입구 건조 트랩4. 흡입구 화학 트랩5. 솔레노이드 작동 가스 발라스트 밸브6. 포라인 트랩7. 솔레노이드 작동식 배관 밸브

8. 배출구 미스트 필터9. 가스 발라스트 어댑터10.오일 량 배출 키트11.방진장치12.오일 배출 연장


A652-01-890 Y판



PFPE 지원

RV펌프

A652-01-890 Y판

8 PFPE 지원 RV 펌프

8.1 요약

PFPE 지원 RV 펌프를 주문한 경우 Fomblin YVAC 06/6 및 Krytox 1506과 같은 Edwards PFPE 기계식 펌프 오일을 넣어서 펌프를 사용할 수 있는 상태로 제공됩니다.

PFPE 지원 RV 펌프는 농도가 높은 산소를 펌핑하는 데 적합합니다.

PEPE 지원 RV 펌프를 설치하여 사용하기 전에 Edwards 간행물 번호 P400-40-100(진공 펌프 및 진공 시스템 안전)을 참조하십시오.

8.2 설치

주의

PFPE 지원 펌프에서 탄화수소 윤활제를 사용하지 마십시오.

RV 펌프에 오일을 보충할 때(3.5절 참조) 적합한 Edwards PFPE 오일을 사용해야 합니다. 탄화수소 오일을 사용하지 마십시오.

8.3 작동

위의 경고 사항에 주의하면서 4절에 지정된 로 PFPE 지원 RV 펌프를 작동하십시오.

8.4 유지 보수

펌프가 가열된 경우 PFPE 오일이 뜨거우므로 특히 주의하십시오.

펌프가 260°C 이상으로 가열되었을 경우 존재할 수 있는 PFPE 오일의 열분해 생성물을 만지거나 흡입하지 마십시오. PFPE 오일은 평상시에는 안전하지만 260°C 이상으로 가열되면 매우 위험한 물질로 분해될 수 있습니다. 펌프를 잘못 사용하거나 오작동한 경우 또는 화기에 노출된 경우 펌프가 과열될 수 있습니다. 펌프에 사용되는 PFPE 오일에 한 MSDS(물질안전보건자료)를 요청하여 얻을 수 있습니다. 공급업체나 Edwards에 문의하십시오.

Fomblin 오일은 다른 펌프 오일과 다른 특성을 가지므로 다음과 같이 하십시오.

PFPE 지원 RV 펌프에 Fomblin 오일을 주입한 경우 특히, 샤프트 실 주위의 오일 누출을 정기적으로 검사하십시오.

오일 누출이 발견될 경우 공급자나 Edwards에 문의하십시오.

경고

PFPE 지원 RV 펌프는 농도가 높은 산소를 펌핑하는 데 적합하지만, 위험 물질을 펌핑하는 데에는 PFPE 지원 RV 펌프를 사용하지 마십시오.

경고

아래의 안전 지침을 준수하고 적절한 예방 조치를 취하십시오. 그렇지 않으면 부상을 입을 수 있습니다.


A652-01-890 Y판



서비스용 장비 또는 구성요소 반환 서비스 또는 다른 이유를 위해 장비를 저희에게 보내기 전에, 완성한 진공 장비 및 구성요소 오염 신고서를 보내야 합니다. – HS2 양식. HS2 양식은 장비에서 위험한 성분이 발견되었는지를 알려주며, 당사 직원과 해당 장비에 관련된 다른 모든 사람의 안전을 지키기 위해 중요합니다. 또한 위험 정보를 통해 장비를 수리하는 올바른 절차를 선택할 수 있습니다. 당사는 진공 장비 및 구성 요소 오염 신고서 양식을 완성하기 위한 지침을 제공합니 - HS1 절차. 진공 펌프를 반환하려면, 다음을 기억하십시오.:

• 펌프가 어플리케이션에 맞게 구성된 경우, 펌프를 반환하기 전에 구성을 기록해두십시오. 모든 교체 펌프는 기본 공장 설정 상태로 공급될 것입니다.

• 펌프에 액세서리를 장착한 상태로 반환하지 마십시오. 모든 액세서리를 제거하고 추후 사용을 위해 보관하십시오.

• 반환 절차 지침의 모든 액체 배출은 펌프 오일 탱크의 윤활유에 적용하지 않습니다. www.edwardsvacuum.com/HSForms/에서 최신 버전 문서를 다운로드받고, HS1 절차를 따르고, 전기 HS2 양식을 채우고, 문서를 출력하고, 서명하고, Edwards에 서명한 사본을 반환하십시오. 참고: 당사는 완성된 HS2 양식을 받지 못하면, 장비 반환을 인정할 수 없습니다.

P800

8100

0 KO

, 발행

A

P800‐80‐000 Issue T

edwardsvacuum.com

Y 지침서 - Edwardsdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/... · 적합성 선언 본 제품은...

Documents

Transcript of Y 지침서 - Edwardsdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/... · 적합성 선언 본 제품은...