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XPS 功能

XPS 應用與用途

XPS 儀器地點

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XPS 功能

元素定性、定量分析 : 探測物質內部電子各種能級束縛能 探測化學位移 : 原子間結合狀態分析價態 價帶結構 : 電荷分佈等電子狀態

缺點 :X-ray 難聚焦，所以橫向分辨率低 (20um~1mm)

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表面異常之分析： ,

XPS 具有化學鍵结分析的能力，能針對表面的異常分析得知其成份與鍵結訊息，如針對表面缺陷或金屬腐蝕進行分析。

薄膜成份及縱深分析：可由 XPS 得知薄膜的成分及比例，同時可搭配氬離子蝕刻作縱深分析。

金屬表面氧化程度及氧化層厚度判定：

可得知金屬之表面比例、氧化程度 , 表面氧化層厚度可透過縱深分析估計。

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XPS 的應用與用途

鑑定材料表面上的各種元素的化學型態

XPS 用途 :

1. 高分子碳鍵結的鑑定

2. 陶瓷材料分析

3. 半導體材料成分分析

4. 各種材料的斷裂面成分分析

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應用領域

鑑定在不同無機材料表面所含元素的氧化態解釋材料表面化合物的化學結構測定半導體表面的汙染物多層鍍膜的縱深分析金屬及合金表面氧化的研究及氧化物研究材料界面的化學性質研究材料斷裂面的成分分析

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化態能譜分析

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Polyethylene terephthalate (PET)

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• XPS 可以觀測到氧吸附於矽晶後的Si(2p)強度圖

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NP-Au(奈米金顆粒 )

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•NP-Au(奈米金顆粒 )Cls能階分析

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•量子點

含 ZnSe QDs 及不含 ZnSe QDs 之 C1s能譜

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縱深分析 XPS 圖

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租借地點

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XPS 儀器租借地點 (1)

•儀器室地點：清華大學化學館 139室

•儀器管理員：謝瑞蘭 小姐

•連絡電話 : (03)5715131 轉 33432 

•收費標準 : 操作費用每小時 3000元 ( 包括操作員的樣品處理時 間 間等 ) ，影印圖譜每張 10元。

•預期回件時間：依申請順序決定，約在 1.5月左右。

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儀器室地點：台科大化工系 T2-105 室

儀器管理員：鍾瑞嬰 小姐

連絡電話 : (02)2737-6632   

收費標準 :

(1)校外研究單位每小時 2500 元。另加收基本費： 6000元。

(2)校外營利單位每小時 4000 元，安排二星期內完成。另加收基本費 6000

元。 (3)急件者，每小時 6000 元，安排三天內完成。另加收基本費： 6000元。

XPS 儀器租借地點 (2)

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XPS 儀器租借地點 (3)

儀器室地點：國立中正大學

工學院二館 化工館 R202 室

儀器管理員：張皓普 先生

連絡電話 : (05)2720411 轉 23471  

收費標準 :

(1) XPS survey(XPS 全能譜掃描 ) 與 XPS high resolution scan(XPS 單元素能譜圖 ): 操作每一小時 ( 未滿一小時以一小時計 ) ， dual anode 收費 2000

元， monochromator 收費 2500 元。(2) Angled-Resolved XPS：操作每一小時 ( 未滿一小時以一小時計 ) ， dual

anode 收費 2500元， monochromator 收費 3000元。

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XPS 儀器租借地點 (4)

儀器室地點：國立成功大學儀設大樓 2F—ESCA 實驗室

儀器管理員：李瑞欽先生

連絡電話 : :(06)2757575 轉 31411  

收費標準 :

1.ESCA:3000 元 / 小時。

2.Depth Profile 3500 元 / 小時。

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取樣應該注意的地方

由於 XPS是對試樣表面非常靈敏的儀器，所以保持試片表面的原狀與潔淨，對分析結果的正確與否非常重要。例如手指接觸到試片表面，則可能會檢測出 Cl 、 C 、 Na 、 O 等外來的污染元素。

樣品規格：面積小於 2cm*2cm ，厚度小於 5mm 。 樣品不得具有磁性，毒性．輻射性。 Depth profile 以不超過 1um為原則