XLAQ XLDQ Series - smckorea.co.kr · ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의...

62

XLAQ•XLDQ Series

알루미늄제 원터치 탈착 고진공 L형 밸브

❹❸❷❶

핸들을 반시계 방향으로 돌리 면 몸체로부터 분리된 상태가 됩니다.

핸들을 눌러 주십시오.조작포트에 압력 0.4MPa을 가해 핸들을 시계방향으로 돌려 주십시오.

0.4MPa0.4MPa0.4MPa

원터치 탈착원터치 탈착

(공구 불필요)

보닛부를 잡고 몸체로부터 보닛 ASS'Y를 빼 주십시오.

분해순서

보닛 ASS'Y

보닛

샤프트

몸체

핸들

63

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

16254050

ABC

•Seal 재질 변경 부분과 누설량

ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

•Seal 재질

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※

3310-75※

AFGJKLM

※미쓰비시전선공업(주)

주1) 상온값, 가스 투과를 제외주2) Seal 부분은 구조도 P.66의 부품 No.를 참조해 주십시오. 표 안에서의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.을 나타냅니다.

무기호(표준) 이외를 선택할 경우, 기호의 첫머리에 반드시 X(엑스)를 기입 하고 몸체표면처리, Seal 재질, 변경 부분의 순서로 나열하여 표시해 주십시오.

XLAQ M9N16 A

EV

LA V

MU

HI

UCAV

HG

5〜60℃

5〜150℃

●●−−

●●−●

●●●●

●●●●

25 40 50

•몸체표면 처리

A

16

예) XLAQ-25-M9NA-XAN1A

Barrel Perfluoro® 는 Matsumura Oil Co.,Ltd의 등록상표입니다.Kalrez® 은 DuPont Performance Elastomers의 등록 상표입니다.Chemraz® 은 Greene, Tweed & Co의 등록상표입니다.ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다.

XLAQ Series

알루미늄제원터치 탈착, 고진공 L형 밸브상시 닫힘／벨로스 Seal PAT.

형식표시방법

①플랜지 사이즈

사이즈

②인디케이터 및 조작포트 방향

기호무기호

인디케이터인디케이터 없음

조작포트 방향

인디케이터 부착

인디케이터 없음

플랜지측플랜지측

플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽

③온도사양/히터 유무

무기호H0H4H5

없음없음

100℃ 히터부착120℃ 히터부착

기호 온도범위 히터 유무적용 플랜지 사이즈

주) 사이즈16은 H4, H5 대응 불가, 사이즈25는 H4 대응 불가

⑤오토스위치수/부착위치

기호무기호

수량오토스위치 없음

2개 부착1개 부착1개 부착

검출위치—

밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘

⑥몸체 표면처리/Seal 재질 및 Seal 장소의 변경

기호무기호

오토스위치 형식오토스위치 없음(내장자석 없음)

비고

무접점 오토스위치

오토스위치 없음(자석내장)

유접점 오토스위치(플랜지 사이즈16은 대응하지 않습니다.)

④오토스위치 종류

고온사양(온도사양 H0, H4, H5)인 경우에는 오토스위치 부착 불가입니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m인 경우는 L, 1m인 경우는 M, 5m인 경우는 Z를 끝에 표시하십시오.예)-M9NL

기호무기호

표면 처리외부：경질 알루마이트, 내부：소지(素地)

외부：경질 알루마이트, 내부：수산 알루마이트

기호무기호

Seal 재질 배합 NO.

기호

무기호

변경부분주2)누설량　Pa•m3/s 이하 주1)

내부 외부없음

①,②①②

M9N（M）（L）（Z）M9P（M）（L）（Z）M9B（M）（L）（Z）

A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

―D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）D-A90（L）

D-A93（M）（L）（Z）―

Ⓐ65

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

AB

A

2516 5040

XLAQ

XLDQ

●

―

●

―

●

●

●

●

●

●

●

●

　A※mm

컨덕턴스※L/s

XLAQ-16XLAQ-25XLAQ-40XLAQ-50

Bmm

5144580

120133178190

40506570

0.330.6 1.3 2.0

경량•콤팩트작은 몸체로 큰 컨덕턴스

원터치 탈착(공구 불필요)경량•콤팩트작은 몸체로 큰 컨덕턴스

원터치 탈착(공구 불필요)

형 식 질량kg

XLAQ 시리즈의 경우

※：XLAQ시리즈・XLDQ시리즈 공통

구성구성

•벨로스식으로 더스트 없음, 클린화•압력 밸런스 구조

•초기 배기밸브와 메인 배기밸브의 일체화 (유량 2단 제어밸브)•시스템의 콤팩트화 및 배관 생략화를 실현•배기시에 챔버내의 더스트 확산을 방지•펌프의 과부하 운전 방지

벨로스 Seal•단동／XLAQ 2단제어•단동／XLDQ

사용압력

Pa플랜지 사이즈

단동(N.C.)

대기압〜1×10−6

●

표준

조작방식 축 Seal 방식용도

더스트 없음

더스트 확산을 방지펌프 과부하 방지

벨로스 Seal

벨로스•

O-ring Seal

에어

오퍼레이트

형식 밸브형식옵션

스위치 고온사양인디케이터

64

① ② ③ ④ ⑤ ⑥

16254050

ABC


ABC

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

•Seal 재질

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※

3310-75※

AFGJKLM

※미쓰비시전선공업(주)



XLAQ M9N16 A

EV

LA V

MU

HI

UCAV

HG

5〜60℃

5〜150℃

●●−−

●●−●

●●●●

●●●●

25 40 50


A

16

예) XLAQ-25-M9NA-XAN1A

Barrel Perfluoro® 는 Matsumura Oil Co.,Ltd의 등록상표입니다.Kalrez® 은 DuPont Performance Elastomers의 등록 상표입니다.Chemraz® 은 Greene, Tweed & Co의 등록상표입니다.ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다.

XLAQ Series

알루미늄제원터치 탈착, 고진공 L형 밸브상시 닫힘／벨로스 Seal PAT.

형식표시방법


사이즈

②인디케이터 및 조작포트 방향

기호무기호

인디케이터인디케이터 없음

조작포트 방향

인디케이터 부착

인디케이터 없음

플랜지측플랜지측

플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽

플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽


무기호H0H4H5

없음없음


기호 온도범위 히터 유무적용 플랜지 사이즈

주) 사이즈16은 H4, H5 대응 불가, 사이즈25는 H4 대응 불가

⑤오토스위치수/부착위치

기호무기호



검출위치—



기호무기호


비고



유접점 오토스위치(플랜지 사이즈16은 대응하지 않습니다.)



기호무기호



기호무기호

Seal 재질 배합 NO.

기호

무기호

변경부분주2)누설량　Pa•m3/s 이하 주1)

내부 외부없음

①,②①②


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

―D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）D-A90（L）

D-A93（M）（L）（Z）―

Ⓐ65

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

A

B

A

2516 5040

XLAQ

XLDQ

●

―

●

―

●

●

●

●

●

●

●

●

　A※mm

컨덕턴스※L/s


Bmm

5144580

120133178190

40506570

0.330.6 1.3 2.0

경량•콤팩트작은 몸체로 큰 컨덕턴스

원터치 탈착(공구 불필요)경량•콤팩트작은 몸체로 큰 컨덕턴스

원터치 탈착(공구 불필요)

형 식 질량kg

XLAQ 시리즈의 경우

※：XLAQ시리즈・XLDQ시리즈 공통

구성구성

•벨로스식으로 더스트 없음, 클린화•압력 밸런스 구조

•초기 배기밸브와 메인 배기밸브의 일체화 (유량 2단 제어밸브)•시스템의 콤팩트화 및 배관 생략화를 실현•배기시에 챔버내의 더스트 확산을 방지•펌프의 과부하 운전 방지

벨로스 Seal•단동／XLAQ 2단제어•단동／XLDQ

사용압력

Pa플랜지 사이즈

단동(N.C.)

대기압〜1×10−6

●

표준

조작방식 축 Seal 방식용도

더스트 없음

더스트 확산을 방지펌프 과부하 방지

벨로스 Seal

벨로스•

O-ring Seal

에어

오퍼레이트

형식 밸브형식옵션

스위치 고온사양인디케이터

64

E V L A V

MU

H I

UC

A

VHG

40506570


A120133178190

B38486679

C1122

D―121111

E30405575

F17264152

G40396368

H 87 91129142

J(mm)

H

øG

C D

EE

C øF

히터(옵션)

A

A

BJ오토스위치(옵션)

(메인터넌스

공간

)

외형치수도

XLAQ Series알루미늄제원터치 탈착 고진공 L형 밸브

형식

주)XLAQ-16에는 히터(옵션)는 부속되지 않습니다.

67

배기라인

공급라인

반송라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

①※보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)

⑥벨로스(재질 SUS316L)

⑤밸브(재질 SUS304)

③※외부 Seal(보수부품)

②※밸브 Seal(보수부품)

④몸체(재질 A6063)

⑦벨로스 홀더(재질 SUS304)

※보수부품에 대해서는 P.73을 참조하여 주십시오.

밸브측 배기

벨로스측 배기

오토스위치(옵션)인디케이터(옵션)

핸들

자석(옵션)조작포트

주1) 컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다.주2) 진공부의 외부 Seal에는 진공 그리스(불소계 Y-VAC2)를 도포하고 있습니다.

XLAQ-16 XLAQ-25 XLAQ-40 XLAQ-5016 25 40 50

M5 Rc 1/8

5

0.33

14 45 80

0.6 1.3 2.0

XLAQ Series

사양

형식

내부

외부

플랜지(밸브)사이즈

밸브형식

사용유체

사용온도 ℃

사용압력 Pa(abs)

컨덕턴스 L/s주1)

누설량 Pa•m3/s

플랜지 종류

주요재질

몸체 표면처리

조작압력 MPa(G)

조작포트 접속구경

질량 kg

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)

비활성 가스계의 진공

5〜60 (고온 타입의 경우 5〜150)

대기압〜1×10-6

표준 재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과는 제외

KF(NW)

몸체 : 알루미늄 합금, 벨로스:SUS316L, 주요부：SUS304, FKM(표준 Seal재)주2)

외부 : 경질 알루마이트, 내부 : 무처리

0.4〜0.7

구조도

66

E V L A V

MU

H I

UC

A

VHG

40506570


A120133178190

B38486679

C1122

D―121111

E30405575

F17264152

G40396368

H 87 91129142

J(mm)

H

øG

C D

EE

C øF히터(옵션)

A

A

BJ오토스위치(옵션)

(메인터넌스

공간

)

외형치수도

XLAQ Series알루미늄제원터치 탈착 고진공 L형 밸브

형식

주)XLAQ-16에는 히터(옵션)는 부속되지 않습니다.

67

배기라인

공급라인

반송라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

①※보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)

⑥벨로스(재질 SUS316L)

⑤밸브(재질 SUS304)


②※밸브 Seal(보수부품)

④몸체(재질 A6063)

⑦벨로스 홀더(재질 SUS304)


밸브측 배기

벨로스측 배기

오토스위치(옵션)인디케이터(옵션)

핸들

자석(옵션)조작포트

주1) 컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다.주2) 진공부의 외부 Seal에는 진공 그리스(불소계 Y-VAC2)를 도포하고 있습니다.

XLAQ-16 XLAQ-25 XLAQ-40 XLAQ-5016 25 40 50

M5 Rc 1/8

5

0.33

14 45 80

0.6 1.3 2.0

XLAQ Series

사양

형식

내부

외부


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃



누설량 Pa•m3/s

플랜지 종류

주요재질

몸체 표면처리

조작압력 MPa(G)


질량 kg

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)


5〜60 (고온 타입의 경우 5〜150)

대기압〜1×10-6

표준 재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과는 제외

KF(NW)

몸체 : 알루미늄 합금, 벨로스:SUS316L, 주요부：SUS304, FKM(표준 Seal재)주2)

외부 : 경질 알루마이트, 내부 : 무처리

0.4〜0.7

구조도

66


사양


누설량 Pa•m3/s


밸브형식

사용유체

사용온도 ℃


플랜지 종류

주요재질

조작압력 MPa(G)


질량 kg

메인배기 밸브

초기배기 밸브

내부

외부

Rc 1/8

XLDQ-4040

45

XLDQ-5050

80

8 11

2.21.5

형식

XLDQ Series알루미늄제원터치 탈착 고진공 L형 밸브

상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)［메인배기•초기배기 밸브 공통］


5〜60 (고온 타입의 경우 5〜150)

대기압〜1×10-6

표준 재질(FKM)의 경우 1．3×10-10 상온시•가스투과는 제외

KF(NW)

몸체 : 알루미늄 합금, 벨로스：SUS316L, 주요부：SUS304, FKM(표준 Seal재)주2)

0．4〜0．7 ［메인배기•초기배기 밸브 공통］

주1)메인배기 밸브의 컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다. 초기 배기밸브의 컨덕턴스는 "점성류"의 값입니다. 초기배기 밸브의 유량조정 기능은 없습니다.주2)진공부 Seal재 접동부 및 외부 Seal에는 진공 그리스(불소계 Y-VAC2)를 도포하고 있습니다.

구조도

밸브측 배기

벨로스측 배기

①※보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)


②※밸브 Seal (보수부품)

④※S밸브 Seal Ass'y(보수부품)(재질 SUS304＋Seal재)

벨로스 홀더⑩(재질 SUS304)

벨로스⑨(재질 SUS316L)

S밸브 접동용 O-ring(재질 FKM)

고정용 O-ring⑤

M밸브⑦(재질 SUS304)

몸체⑥(재질 A6063)

S밸브⑧(재질 SUS304)

조작포트M(메인배기 밸브용)

조작포트S(초기배기 밸브용)

오토스위치(옵션)인디케이터

핸들

자석(옵션)

69

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

XLDQ① ② ③ ④ ⑤

M9N A40⑥

4050

ABC

②조작포트 방향기호

무기호

KLM

조작포트 방향플랜지측

플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽

XLDQ Series

알루미늄제원터치 탈착, 고진공 L형 밸브2단제어・단동／벨로스 Seal ・O-ring Seal


기호무기호

H0H4H5

온도범위

5〜60℃

5〜150℃

히터 유무없음없음



ABC

없음

②,③,④,⑤②,④,⑤

③

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8

1.3×10-10(FKM)1.3×10-8


A

N1

Q1R1R2R3S1T1U1

P1

FKMEPDMBarrel

Perfluoro®

Kalrez®

Chemraz®

VMQFKM for Plasma

ULTICARMOR®

1349-80※

2101-80※

70W

UA4640

4079SS592SS630SSE38

1232-70※

3310-75※

S밸브의 접동부 재질은 FKM입니다. ※미쓰비시 전선 공업(주) 제



EV

LA

V

MU

HI

UCAV

HG

예) XLDQ-40K-M9NA-XAN1A

PAT.


사이즈 플랜지면

왼쪽

플랜지면

오른쪽

플랜지측

플랜지면 뒷쪽

기호무기호


비고



유접점 오토스위치



⑤오토 스위치수/부착위치

기호무기호



검출위치―



기호무기호



•Seal 재질기호

무기호Seal 재질 배합 NO.

기호

무기호

변경부분주2) 누설량　Pa•m3/s 이하 주1)

내부 외부

형식표시방법


A90（L）A93（M）（L）（Z）

M9//

―D-M9N（M）（L）（Z）D-M9P（M）（L）（Z）D-M9B（M）（L）（Z）

D-A90（L）D-A93（M）（L）（Z）

―

Ⓐ68

추천 배기방향［벨로스측에 진공펌프 접속］

챔버

진공펌프

벨로스측

밸브측

경고

주의주의

주의

주의

XLAQ•XLDQ Series제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.

● 전체 공통

①몸체재질은 A6063, 벨로스는 SUS316L, 기타 진공부의 금속 재질은 SUS304입니다.진공부의 Seal 재질은 표준이 FKM으로 되어 있으나, 기타 재질(형식

표시방법을 확인하십시오.)로의 변경이 가능합니다. 사용재질을 확인

한 후, 지장이 없는 유체를 사용하십시오.

②조작기압 배관재료 및 피팅의 내열은 사용온도에 적합한 것을 선정하

여 주십시오. ● 오토스위치 부착

①스위치부의 온도는 60℃ 이하로 하여 주십시오. ● 히터부착

①히터(서미스터)부착을 사용할 경우는 온도과승 방지기구를 설치하여 주십시오.

설계상 주의

● 전체공통

①밸브의 응답성을 관리하는 경우에는 배관사이즈와 길이 및 조작용 전자밸브의 유량특성에 주의해 주십시오.

②조작 압력은 규정내에서 사용하여 주십시오. 0.4MPa〜0.5MPa을 추천합니다.

③사용압력 범위내에서 사용하여 주십시오.④작동용 피스톤실 및 벨로스실은 대기와 직접 접속하고 있습니다. 더스

트 배출에 대한 문제가 없는 환경하에서 사용하여 주십시오. ● 고온타입

①침전물이 많은 가스일 경우는 몸체를 가열하고 밸브로 들어가는 침전

물을 방지하여 주십시오.

선정

● 전체 공통

①고습도의 환경일 경우는 배관직전까지 포장상태를 유지하여 주십시오.

②스위치 부착의 경우는 리드선에 충분한 곡률을 주고, 무리한 힘이 가

해지지 않는 상태에서 고정하여 주십시오.

③플랜지부에 과대한 힘이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오. 중량물

이나 설치품이 진동하는 경우에는 플랜지부에 직접 토크가 가해지지 않도록 고정하여 주십시오.

④오작동하지 않는 내진동은 30m/s2(45〜250Hz)입니다만 진동이 계

속되는 경우에는 내구성 저하의 우려가 있습니다. 과대한 진동이나 충격이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오.

설치

● 고온타입(온도사양 H0, H2, H3)

①히터(서미스터)부착일 경우는 리드선 및 결선부의 절연부분에 손상을 끼치지 않도록 주의하십시오.

②히터부착의 설정온도는 바람이 없는 상태에서 보온재를 사용하지 않

을 때의 값입니다. 보온처리, 기타배관의 가열 등의 조건에 따라 변화

합니다. 미세조정은 할 수 없습니다.

③히터 설치품의 설치 또는 히터를 설치한 경우는 실제 사용온도에서 절

연저항을 확인하여 주십시오. 누전브레이크 등의 설치를 추천합니다.

④밸브를 보온하는 경우는 보닛부(핸들부)를 제외한 몸체부만을 보온하

여 주십시오.

⑤히터부착일 경우, 히터 가열중에는 밸브전체가 고온으로 됩니다. 맨손

으로 만지면 화상을 입을 우려가 있으므로 주의하십시오.

설치

①플랜지 Seal면 및 O-ring은 에탄올 등으로 세정하고나서 설치하여 주십시오.

②플랜지 Seal면 보호를 위해 0.1mm〜0.2mm로 오목하게 되어 있지

만, Seal면에 상처가 나지 않도록 취급하여 주십시오.

③배기방향

동작상, 배기방향은 자유입니다만 배기에 의한 흐름이 발생할 경우에

는 내구성이 저하되는 경우가 있습니다.아래 그림과 같은 배기방향(벨로스측 배기)을 추천합니다. 사용조건에 따라 수명이 달라지므로 충분한 확인을 부탁드립니다.

배관

71

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

E V L A V

MU

H I

UC

A

VHG

S

M

øG

HJ

øF

C D

EE

C

A

A

BL

K

인디케이터

외형치수도

6570

XLDQ-40XLDQ-50

형식 A189198

B6679

C22

D1111

E5575

F4152

G6368

H2020

JMax 5Max 5

K143153

L(mm)

XLDQ Series

히터(옵션)

오토스위치(옵션)

(메인터넌스

공간

)

70

XLDQ

XLAQ

16XLAQ16-30-1

XLAQ16A-30-1XLAQ16-30-1H

XLAQ16A-30-1H――

25XLAQ25-30-1


XLAQ25A-30-1H――

40XLAQ40-30-1


XLAQ40A-30-1HXLDQ40-30-1

XLDQ40-30-1H

50XLAQ50-30-1


XLAQ50A-30-1HXLDQ50-30-1

XLDQ50-30-1H

주1)밸브 Seal 재질이 표준(FKM：배합 No.1349-80：미쓰비시 공업(주)제품) 이외의 경우는 Seal 재질 추가기호(아래표1 참조)를 품번 끝(□의 장소)에 붙여 주십시오.주2)구조도 번호는 각 시리즈의 구조도를 확인하십시오.

XLAQXLDQ

16AS568-122VAS568-122□B2401-V15VB2401-V15□

――

25AS568-129VAS568-129□B2401-V24VB2401-V24□

――

40AS568-140VAS568-140□B2401-P42VB2401-P42□XLD40-2-9-1A

XLD40-2-9-1A□

50AS568-231VAS568-231□AS568-227VAS568-227□XLD50-2-9-1A

XLD50-2-9-1A□XLDQ

-XN1 -XP1 -XQ1 -XR1 -XR2 -XR3 -XS1 -XT1 -XU1

EPDM

2101-80 ※ 70W

Kalrez®

4079 SS592

Chemraz®

SS630 SSE38

VMQ

1232-70 ※

FKM forPlasma

3310-75 ※ UA4640

Barrel Perfluoro®

ULTICARMOR®

주1)밸브 Seal 재질이 표준(FKM：배합 No.1349-80：미쓰비시 공업(주)제품) 이외의 경우는 Seal 재질 추가기호(아래표 1참조)를 품번 끝에 붙여주십시오.주2)오토스위치용 자석은 장착되지 않습니다. 오토스위치용 자석부착의 경우 -M9//를 품번 끝에 붙여 주십시오.(고온용에는 없습니다.)주3)오토스위치와 전자밸브는 부속되어 있지 않습니다. 오토스위치 와 전자밸브 세트로 필요한 경우에는 제품형식 표시의 오토스위치 이후의 기호를 품번 끝에 붙여주십시오.

XLAQ•XLDQ Series제품개별 주의사항③사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.

①Seal재의 재질변경을 하는 경우에는 보닛 Ass'y로 교환하십시오.사용되고 있는 제품의 Seal 재질과 다른 경우에는 적용할 수 없는 경우가 있습니다.

보수부품

주의

보닛 Ass'y

플랜지(밸브) 사이즈

보닛 Ass'y　구조부품번호：①

일반용

고온용

일반용

고온용

형식 온도사양

없음

있음

없음

있음

표준에서있음

인디케이터

외부 Seal③

밸브 Seal②

S밸브 SealAss'y④

외부 Seal/밸브 Seal/S밸브 Seal Ass'y

형식플랜지(밸브) 사이즈품명

구조도 번호

표준

특수

표준

특수

표준

특수

재질

표1

주)사용하고 있는 제품의 Seal 재질과 다른 경우에는 Seal 재질만의 변경으로는 적용할 수 없는 경우가 있습니다.※미쓰비시 공업(주) 제품

Seal 재질

배합 No.

기호

Seal 재질 추가기호

73

배기

라인

공급

라인

반송

라인

XSA

XVD

XGT

CYV

XLXM

•XY

XLQ

주의

XLAQ•XLDQ Series제품개별 주의사항②사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.

①보수•점검시에는 주의 명판을 확인하십시오.

②침전물을 제거할 경우는 각 부품에 손상을 입히지 않도록 하여주십

시오.

③보수부품은 당사 규정품을 사용하십시오. 구조도/보수 부품표를 참

조하십시오.

④Seal재(밸브 Seal•외부 Seal 등)를 빼낼 경우는, Seal면에 손상을 입히지 않도록 충분히 주의하여 주십시오. 밸브 Seal이나 외부 Seal 장착시는 O-ring의 뒤틀림이 없도록 조립하여 주십시오.

⑤교환방법은 취급설명서를 참조하십시오.

보수•점검

주의명판

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