f 견고하고 고신뢰성

f 비파괴성

f 광학적 고해상도

f 수 초 이내에 측정

f 실제적인 3D 데이터

NanoFocus μsurf cylinder는 비접촉식으로 실린더 안지름을 측정하는 광

학식 3D 표면 측정 시스템입니다.

surf cylinder

Measurement of cylinder running surfaces

적용

R&D - 가공 제어 - 품질 보증:

f 3D 구조 매개변수, 예컨대 실리콘 결

정의플레이터스(plateaus)의 깊이 및

실리콘

f 결정의 분포 측정 질감 분석

f DIN EN ISO에 따른 거칠기 매개변수

계산

f 3D 거칠기 매개변수 계산

f 마모 분석

f 결함 탐지

f 체적 매개변수

NanoFocus AGLindnerstr. 98 | D-46149 Oberhausen | Phone +49 (0) 208-62 000-0 | Fax +49 (0) 208-62 000-99 | sales@nanofocus.de | www.nanofocus.deCustomer center: Nobelstr. 9-13 | D-76275 Ettlingen | Phone +49 (0) 7243 7158-40 | Fax +49 (0) 7243 7158-59 | ettlingen@nanofocus.de

μsurf cylinder는 실린더의 기하학적 배열에 맞추어 비스듬하게 삽입하는 광학식 시스템 응 포함하고 있어서 직경 70 mm에서 최대 삽입 깊이 165 mm에 이르기까지의 실린더 안지름을 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 완전한 동력 장비를 갖추고 있으며 실린더 안지름 내에서 조이스틱으로 어느 측정점(반지름 방형, 축 방향)에도 구동해서 들어갈 수 있습니다.

ISO 거칠기 값 구하기 외에도, 바이오트라이볼러지 관련 3D 표면 구조를 결정하는 광범위한 소프트웨어 도구를 구입할 수 있습니다.

측정 해드의 정밀도는 나노미터 범위이며 측정 결과치는 접촉식 방법과 절대적인 동일성을 나타냅니다. μsurf cylinder는 비파괴적 측정 방법이기 때문에 모든 마모 검사용으로 이상적입니다.

높은 공간 해상도와 날카로운 가장자리를 우수하게 재현하기 때문에, 아 기기는 스

캐닝 전자 현미경 검사 (SEM)에 추가하거나 대체하여 사용할 수 있습니다.

AluSil 표면

Honed 표면

09/

12/2

012.

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다른 NanoFocus 기술에 관심이 있으시면 +49 208 62 000 -0으로 전화하시거나 sales@nanofocus.de.로 이메일을 보내십시오.

NanoFocus μsurf cylinder는 어댑터 플레이트를 가지고 있어서 모든 크랭크케이스를 수용할 수 있으며, 자동화된 작동은 최대의 사용자 친화성

을 보장합니다. 옵션인 소프트웨어 솔루션들은 외부로부터의 모니터링과 평가 프로그램에 원격 인터페이스를 제공하여 실린더 제조를 위한 완

전 통합된 공정 제어 솔루션을 만들 수 있도록 합니다.

측정 헤드

이미지 획득 모듈 BM 512 순차적 스캔 기술, 최대 58 fps, 12 비트, 파이어와이어 광학을 갖춘 디지털 카메라

광원 고 효율 LED ( λ =505 nm), MTBF: 50,000 h

스캔 모듈

수직적 위치 조정 모듈 모터 조정식 조절기, 삽입 깊이 최대 165 mm

x,y-위치 조정 모듈 70 ~ 165 mm의 실린더 안지름용 모터 조정식 조절기

로테이션 모듈 실린더 내에서 정밀한 위치 조정을 위한 기계적 로테이션 모듈, 최대 회전각도 355°

z-축 모듈 고속 정밀 스캐닝 장치 (압전형), 측정 범위 250 μm

측정 어댑터 μsurf cylinder를 크랭크케이스에 장착하기 위한 특수 어댑터

시스템 제어 장치 최신 사양, DVD 굽기용 장치, 네트워크 카드, 윈도우 XP Pro를 갖춘 산업용 PC

시스템 제어 장치

µsoft control NanoFocus 제어 및 평가 소프트웨어, 프로파일 및 표면 형태를 표시, DIN EN ISO에 따른 거칠기 계산

µsoft analysis 3D 측정 데이터를 분석하는 소프트웨어, 레이아웃 기능, 연속 측정 및 분석용 템플릿

광학 모듈1)

1600 S 800 S/XS 320 S

배율 10x 20x 50x

측정 필드 (μm) 2) 1100x1100 550x550 220x220

개구 수 0,3 0,45/0,6 0,8

작동 거리 (mm) 10,1 3,1/0,9 1

z 축 방향으로의 해상도(nm) 20 <10 <2

x, y-축 방향으로의 해상도(μm)

1,9 0,95 0,38

1) L: 원 거리 작동, S: 표준 거리 작동, XS: 단 거리 작동, 2) 소음 레벨

일반

크기 높이 490 mm, 직경 특별 어댑터 링 280 mm

중량 11 kg

이송 캐비넷 시스템 제어 장치 및 전자 모듈 용의 안전한 용기, 540x710x795 (lxwxh in mm)

옵션 만능 측정 스탠드 (예컨대 피스톤 용) 및 Linewalking-시스템 (자동화)

NanoFocus AGLindnerstr. 98 | D-46149 Oberhausen | Phone +49 (0) 208-62 000-0 | Fax +49 (0) 208-62 000-99 | sales@nanofocus.de | www.nanofocus.deCustomer center: Nobelstr. 9-13 | D-76275 Ettlingen | Phone +49 (0) 7243 7158-40 | Fax +49 (0) 7243 7158-59 | ettlingen@nanofocus.de