Stage estivo a tor vergataFINALE
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STAGE ESTIVO A TOR VERGATADISPOSITIVI OTTICI ICT
DATE: 11-15 GIUGNO 2018
COMPONENTI: Ilaria Imola, Marta Rastellini, Giada De Marchis, Gianluca Faiola, Chiara D’Ambrogio, Luca Gaant, Alessandro Tempesta, Bacci Lorenzo, Matteo Iacullo
PROFESSORI: Paolo Prosposito, Fabio De Matteis, Anna Sgarlata, Elisa Tisbi
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OTTICA IN GUIDA D’ONDA
I vantaggi dei dispositivi ottici :
• Maggior velocità di trasmissione
• Maggior risparmio energetica
• Assenza del fenomeno di cross-talk
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Si
SiO2
GUIDA D’ONDA CANALE GUIDA D’ONDA PLANARE
Si
SiO2
Zr/Glymo
Ti/TMSPM
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RIFRAZIONE
Fenomeno ottico secondo cui un fascio luminoso viene deviato grazie alle proprietà dei materiali che attraversa, all’ordine in cui essi sono posti e all’angolo d’incidenza del fascio stesso.
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RIFLESSIONE E RIFLESSIONE TOTALEFenomeno secondo cui un fascio luminoso viene riflesso quasi completamente da una determinata superficie.
Fenomeno secondo cui un fascio luminoso è ‘costretto’ a propagarsi all’interno di una guida grazie alle proprietà riflettenti di quest’ultima.
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LO SVILUPPO DEI CAMPIONI
GUIDE PLANARI GUIDE CANALE
1. Abbiamo tagliato il substrato di silicio
2. Abbiamo deposto un film di Zr/GLYMO su ciascun substrato
3. Abbiamo effettuato un pre-baking
4. Abbiamo impresso un reticolo con il PDMS sui campioni
5. Abbiamo esposto i campioni ai raggi UV
1. Abbiamo tagliato il substrato di silicio
2. Abbiamo deposto un film di Ti/TMSPM su ciascun substrato
3. Abbiamo effettuato un pre-baking
4. Abbiamo esposto i campioni coperti da una maschera ai raggi UV
5. Abbiamo immerso i campioni in un bagno di sviluppo (IPA) facendo apparire i canali
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RESIST
POSITIVI
• Sono generate zone solubili nelle superfici fotosensibili in seguito all’esposizione ai raggi UV
NEGATIVI
• Sono generate zone insolubili nelle superfici fotosensibili in seguito all’esposizione ai raggi UV
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MICROSCOPIA OTTICA
È utilizzata per osservare esclusivamente campioni con risoluzione e ingrandimento rientranti nella legge di Abbè, dunque è limitato dalla lunghezza d’onda della luce visibile
D =λ
2nsin α( )
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MICROSCOPIA ATOMICA
AFM
• Atomic Force Microscopy
• Interazione tra atomi di superfice del campione e sonda
• Trasforma le variazioni luminose in variazioni di corrente tramite differenti modalità
STM
• Scanning TunnelingMicroscopy
• Primo microscopio che scavalca il principio di Abbè
• Rilevazione tramite variazione di potenziale tra sonda e campione
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RISULTATI DELLE NOSTRE MISURAZIONI:
RETICOLI
86420
300
250
200
150
100
50
0
X[µm]
Z[nm]
2.0µm
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706050403020100
2
1.5
1
0.5
0
X[µm]
Z[µm]
24µm
38.236µm
RISULTATI DELLE NOSTRE MISURAZIONI:
GUIDE CANALE