Solutions for microelectronics, semiconductors and …...2019/06/25 · 6 Major areas of...

Solutions for microelectronics, semiconductors and battery productionマイクロエレクトロニクス，半導体，リチウムイオン電池製造プロセス向けソリューション

www.gemu-group.com 3

Major areas of application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

成長分野における用途 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

半導体製造 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

製品用途 / 用途事例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

化学薬品の供給設備Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10 - 11

超純水の処理Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12 - 13

スラリーの供給設備Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14 - 15

溶剤の供給設備Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16 - 17

ウェットプロセスの設備Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .18 - 19

排水処理Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 - 21

リチウムイオン電池セルの製造Application examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 - 23

各種部品，システムソリューション . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 - 25

GEMÜ のシステムソリューション例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 - 27

GEMÜ iComLine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 - 35

GEMÜ CleanStar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 - 39

GEMÜ PurePlus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40 - 41

GEMÜ 600 HP/677 HPW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42 - 43

GEMÜ HydraLine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 - 45

GEMÜ SonicLine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46 - 47

GEMÜ FlareStar/TubeStar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 - 49

GEMÜ Check Valve CV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50 - 51

ステンレス製コンポーネント . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 - 53

GEMÜ 製品概要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 - 55

グリーンエンジニアリング . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

ニーズにフィットしたサービスのために . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

徹底した品質管理体制 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58 - 59

製品一覧 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60 - 62

GEMÜ の製造拠点＆販売拠点 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

Table of contents －目次－

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GEMÜ グループは，バルブ，計測，制御システムを手がけるメーカーのリーディングカンパニーです。世界全体で 1,800 人以上の従業員を擁し，世界各地で活動しています。さらに全大陸に広がる 6 つの製造拠点，27 の販売拠点，そしてパートナー企業とのネットワークによって，GEMÜ は 50 ヶ国以上で活動しています。

事業の再編により，「お客様の身近に」を充実させます広範な製品ラインナップにより，多種多様な分野のお客様にソリューションを提供します。GEMÜは，以下に挙げる戦略事業単位でビジネスユニットを展開し，お客様に寄り添います。

• 医薬，食品＆バイオテクノロジー

• 一般産業

• 半導体

• サービス

• 医療技術

広範なモジュールシステムと最適な自動化コンポーネントにより，GEMÜは個々の標準品とカスタマイズ製品を無数のデザインと仕様で組み合わせることができます。

GEMÜ グループ

1964年創業

世界中で

1800人以上の従業員数

6ヶ所製造拠点

27社販売拠点

GEMÜ構成部門

Industry

Service

Pharma, Food & Biotech

Semiconductor

Medical

ゲルト・ミュラー，マネージングディレクター


半導体，マイクロエレクトロニクス，太陽光発電，オプトエレクトロニクス産業向けのバルブ技術，計測技術，制御システム

GEMÜには高純度流体を扱う装置に関する優れた知見があります。GEMÜの製品はプロセス装置，超高純度ケミカル供給システム，超純水精製および供給設備を対象として開発されています。その応用分野は光学，医療，太陽光発電，電子機器，マイクロエレクトロニクス，半導体製造，医薬品，バイオテクノロジー，遺伝子工学，精密機械，マイクロマシンなどに広がっています。

効率的でインテリジェントなプロセスを実現するテクノロジーユーザー，プラントエンジニア，装置メーカーとの長きにわたる緊密なコラボレーションが，GEMÜの製品開発の基礎にあります。「高純度流体設備に用いられる製品ならびにコンポーネントはクリーンルームにて製造されなければならない」このニーズを早くから認め，GEMÜはこれに適う生産工場を整備してまいりました。2012年 9月以降，高純度流体対応製品の生産は，スイス・ルツェルン州エメン市に最先端のクリーンルーム完備の工場に集約されています。最新鋭の技術とプロセスに基づいて，バルブコンポーネントの射出成形から洗浄，組立，検査，そして包装までがクリーンルーム内でおこなわれます。

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Major areas of application

Our range of products and services

GEMÜの製品およびサービスのラインナップ

現代社会は半導体技術なしでは成立しえなくなっています。コンピュータ，電話，フラットパネルディスプレイは，現代の生活に完全に溶け込んだ半導体製品のごくわずかな例に過ぎません。こうした製品や，そのコンポーネント（特に集積回路）の生産にあたっては，きわめて清浄な条件が求められます。多くのプラントエンジニアやエンドユーザーの皆様にお選びいただき，GEMÜの製品は，広く生産設備のなかで，流体のオープンループおよびクローズループ制御を担っています。

これからも半導体の果たす役割は重要です。自動運転，スマートフォンでは，多くの新機能，スマートウォッチやフィットネストラッカーなどのいわゆるウェアラブル端末は，いずれもセンサーやモデムチップを内蔵しています。これらの開発に半導体は欠かせない存在であり，モノのインターネット（IoT）やクラウドコンピューティングもまた高性能チップの需要に益々，拍車をかけています。

高度な技術を要する分野では，プロセス流体の純度が製品の品質と生産量に大きく寄与します。しかもこの傾向は強くなる一方です。

対象となる分野

• 半導体産業

• マイクロチップ，フラットパネルディスプレイ，LED 製造

• 太陽光発電

• 化学

• 医薬品・食品

• 分析・医療技術

• 再生可能エネルギー・クリーンエネルギー


Growth applications

Welcome to the future ‒ sustainable and efficient

持続可能性と効率性の両立

LED および有機 EL テクノロジー省エネ型の照明，交通信号機，スタジアムなどにある大画面ディスプレイ，宣伝用の看板，ポータブルゲーム機，最新型のテレビ画面，あるいは，カメラ付き携帯電話の単なるフラッシュライトと，LEDは，至るところで目にすることができます。LED産業は，LEDが長寿命であり，電力消費量も小さいために，今後も発展が続いていくことでしょう。製造コストが低下しつつある状況を踏まえれば，更にまた LEDが世の中に増えたとしても驚くには足りません。GEMÜはどんな複雑な製造プロセスにも応える製品ラインナップで，LEDメーカーとそのプラントエンジニアの皆様をサポートします。

バイオテクノロジーおよび医療技術バイオテクノロジーや医療の既存設備においても，プロセスのコンタミネーションリスクを極限まで抑えることが常に求められています。これに関して，GEMÜのバルブは機能と品質の両面で世界の最先端であり続けています。GEMÜのバルブの機能や品質をご利用になれば，たとえば，医薬品の有効成分や化学工業向けの基礎化学品といった化合物の製造技術，診断方法，バイオセンサー，新種の植物等々を開発することが可能になります。

リチウムイオン電池のテクノロジーリチウムイオン電池は高出力の電源として，これまでニッケル・カドミウム電池やニッケル水銀電池では対応できなかった小型の電子機器に広く利用されています（例：携帯電話，デジタルカメラ，ビデオカメラ，ノートパソコン，ポータブルゲーム機，懐中電灯など）。電動モビリティーの分野でも，電動アシスト自転車，電気自動車，あるいはハイブリッド車両のバッテリーに使用されます。GEMÜはバッテリーメーカーの皆様の厳しい品質基準に堪える“コンタミネーションフリー” な生産環境を実現します。

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あらゆる要件に適したソリューション

半導体製造プロセスにおける様々な部門で長年の経験があり，さらに，品質や歩留りを左右する流体の取扱いにおいては，他社の追随を許さぬ実力があります。この両者を活かして GEMÜは，半導体産業特有の各要件にマッチする製品ポートフォリオを用意しています。さらに，ユーザーの皆様の要求仕様に応じたソリューションと幅広いシステムラインナップをご提供しますので，個々の問題に対して，斬新なソリューションをユーザーの皆様とともに策定することが可能です。

半導体製品の複雑さが増せば，それに伴って工程の複雑さ，および設計の段階で考慮すべき工程設備に対する要求仕様も，より高レベルなものになります。シリコンウェハーの加工ステップでは，その多くで様々な流体が必要となります。すなわち，研磨作用のある薬液を始めとして，化学反応性に富む超純水から腐食性のスラリーや可燃性の高い溶剤に至るまで，それらのすべてで，それぞれの特性に応じた固有の仕様が生産技術に対して求められます。また，これらの流体が主工程と副工程のどちらで使われるのかによっても要求仕様が加わります。ウェットプロセスの領域においてはパーティクルフリー，精度，コンパクトさが求められる一方で，供給設備の部分では経済性，安定した供給量，信頼性が最も重要な課題になります。

Semiconductor production半導体製造


半導体工場において GEMÜ のバルブ，計測，制御システムが使用されるエリア

半導体工場では，供給セクションに始まり，混合と分配の各セクションから，クリーンルームにあるプロセス装置に至るまで使用されます。半導体工場では，様々なエリアで GEMÜ の各種部品とシステムソリューションがプロセス流体のコントロールと制御に使用されています。

混合および分配システム

プロセス

分配

供給流体供給システム

ウェットプロセス装置

化学廃棄処理システム

汚水中和システムおよびリサイクルシステム

適用範囲用途例

流体の供給システム超純水の処理・供給設備，薬液，溶剤，スラリーの供給モジュール

混合・分配システムバルブマニフォールドボックス， CMP スラリーの混合設備，薬液の混合・分配モジュール

プロセス装置

CMP 設備，ウェハーの成膜設備，ウェットエッチング・洗浄設備，各種部材の洗浄設備， FOUP 洗浄機，ソリューションの改造，既存設備の更新

排水処理，薬液などの廃棄・リサイクル排水処理設備，CMP スラリーリサイクル設備

前工程

リソグラフィー原料ウェハーエッチング工程 CMP ウェハー構造

スライシングおよび研磨洗浄コーティングウェット

エッチング洗浄研磨切断および梱包

露光および展開

最大 40 回の工程繰り返し

後工程

前工程：GEMÜ の各種部品とシステムソリューションを利用するウェハー加工工程

Areas of application

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化学薬品の供給に最適の高性能－大流量バルブ

ここにおいて GEMÜ の強みは，製品やシステムソリューションと高耐久性で流体の純度を低下させないことで，特に化学薬品供給設備の用途に好適です。

ハイテク製品の製造プロセスの多くでは，プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。多くの洗浄やエッチングの各工程では研磨作用のある超高純度化学薬品が必要とされ設備，およびその構成部品に対して高い耐薬品性が要求されます。

多くのプラントエンジニアやエンドユーザーの皆様にお選びいただき，GEMÜ の製品は，広く生産設備のなかで，高い信頼性と高性能，流体のオープンループおよびクローズループ制御を担っています。

使用範囲は，特に洗浄，成膜，エッチング，充填の設備から，化学薬品の混合と供給の各システムまでをカバーします。上記以外にも，高純度化学薬品の製造や充填，水処理や排水処理に使用する工業薬品の製造や充填の各工程でも使われています。

Chemical supply化学薬品の供給


Application examples

工業生産のケミカルサプライ

一般工業生産規模の化学薬品輸送供給までできる製品群

GEMÜは下記の用途に使用される製品を提供しています：

• プリント基板製造と電気メッキの各種設備，工程

• 排水処理システムの薬剤注入工程

• 化学物質の精密ドーシング

通常，使用されるのは，GEMÜ の製品群で PFA ， PVDF ， PVC ，PP コンポーネントであり， PurePlus ， iComLine ， CleanStar ，SmartLine が該当します。

超高純度エリアのケミカルサプライ

最高レベルの化学耐性と純度保持能を有する製品群

下記の設備で使用されています：

• 半導体製造のウェットプロセスにおけるケミカルサプライ

• LEDや集積回路の各製造を目的とする，超高清浄度の供給設備

• 化学薬品の充填

これらの用途には GEMÜの PFAコンポーネントが使われています：CleanStar®，iComLine®，SonicLine®，HydraLine®，FlareStar®，TubeStar®

高純度エリアのケミカルサプライ

適当な純度を保持する性能とコストベネフィットを両立する製品群です。

下記の用途で使用されています：

• 太陽電池のウェハーやフラットパネルの製造

• 医薬品，食品，バイオテクノロジー分野の二次工程

• 分析および医療設備の各プロセス

通常，使用されるのは， GEMÜ の製品群で PFA ， PVDF ，PP コンポーネントであり， CleanStar ， SmartLine ，SonicLine ， PurePlus が該当します。

工業生産でのケミカル供給モジュール

マイクロチップ製造設備のケミカル供給モジュール

化学薬品の充填設備

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経験と実績－ GEMÜ 一社でバルブ，計測，制御機器の各システムに対応

GEMÜ のバルブ，計測，制御システムは適用範囲が広く，超純水の製造と供給のそれぞれで，ユーザーの皆様の課題に適したソリューションを提供します。

ハイテク産業において製品の最終的な品質を決めるのは超純水ないし純水と呼ばれる水の純度です。用途に応じて，様々な純度および量の水が使われます。

• 集積回路，マイクロチップの製造

• LED の製造

• 医療設備

• 製薬，食品＆バイオテクノロジー

• プロセス機器の冷却水

GEMÜのダイアフラムバルブは，特に超純水の製造・分配を行うエリアで実績があり，高温かつ高圧の条件下においても確実に超純水の製造・分配を実現します。

Ultra pure water treatment超純水の処理



一般産業プロセスの水処理・供給輸送

品質を左右する流体に使用される製品に加えて，GEMÜでは，バルブ，計測，制御システムを広範な製品ラインナップで取り揃えて，一般的な水処理用途にも対応できます。

• 水質・水温の管理

• 水の濾過

• プロセス機器の冷却水

通常，使用されるのは， PVDF ， PP ， PVCコンポーネント，および，マルチポートバルブブロックです。

超純水（UHP，Ultra High Purity water）の処理最高純度の水に適した製品群

超純水の製造設備は，下記の分野で使用されています。

• 超高純度シリコンウェハーの製造


• LEDの製造

通常，使用されるのは， PurePlus シリーズのうち，PVDF のハイピュリティーコンポーネントです。

脱イオン水（DI，Deionised water）を使うクリーンエリア脱イオン水の処理に適した製品群

脱イオン水の処理設備は，下記の分野で使用されています：

• 太陽電池のウェハー，セルの製造

• フラットパネルの製造

• 分析，医療設備，医薬品，食品およびバイオテクノロジー

通常，使用されるのは， CleanStar ， SmartLine ， PurePlus の各シリーズで， PVDF と PPコンポーネントです。

水処理設備（イスラエル・ Treitel Chemical Engineering Ltd 社様）

半導体工場の主幹供給設備，超純水製造設備

脱イオン水供給

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優れた摩耗耐性－研磨スラリー向けソリューション

GEMÜ のシート形状設計はバルブと流体の双方に負荷をかけない最高のスラリー供給ソリューションです。

研磨剤を含むスラリーのハンドリング装置は何よりも安全性に留意して設計・配管レイアウトがなされます。各工程で流れるスラリーの特性の理解が欠かせません。半導体の製造には研磨性スラリーを用いる工程が複数あります。

シリコンインゴットの切り出しやウェハーへスライシングをするためのスラリーには粗い砥粒の懸濁液が含まれております。これに対してCMP工程（Chemical Mechanical Planarization=化学機械研磨）のスラリーに含まれているのは微細な砥粒です。CMPはウェハーに鏡面仕上げを施す重要なステップで，これに続いてフォトレジストが塗布され，精密な素子形成が可能となります。

スラリーの製造と供給，さらに，スラリーの再生とリサイクルのいずれにおいても，GEMÜの製品は高いパフォーマンスを発揮します。

Slurry supplyスラリー供給



マイクロエレクトロニクスのスラリー系統

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら，流量を最大化する構造をもち，研磨性スラリーを安全に運びます。

マイクロエレクトロニクスにおける一般的な用途領域には以下のものがあります：

• CMPスラリーの混合

• デバイス間のスラリー輸送

• 工程毎のスラリー供給

通常，使用されるのは， PFA製の CleanStar シリーズの各種部品， HydraLine シリーズの計測システム，流量計の SonicLine ，継手の FlareStar シリーズです。

研磨剤とスラリーの回収

環境保護という目的と併せて，高価なスラリーをリサイクルする事例は増え続けています。

リサイクル向けでは，以下に挙げる各部門でお使いいただける各種部品をGEMÜ から，お届けしております。

• 太陽電池製造における，スラリーの再生処理とリサイクル

• CMPスラリーの回収

• スラリー供給システム内での循環

通常，使用されるのは，プラスチックや金属製のダイアフラムバルブです。

スライススラリー供給システム

プラスチック製のバルブやフローメーターだけでなく，GEMÜはスライススラリーを低負荷で効率良く流す金属製コンポーネントにも強みを持ちます。さらに，こうしたバルブ形状により，品質を低下させず，かつ，確実に流体を輸送することが可能になります。

スライススラリーは，下記の用途で使用されております。

• インゴットからのシリコンウェハー切り出し

• スラリー調製

• 混合貯蔵タンクからのスラリー供給

これらの用途には GEMÜのステンレス製コンポーネントが使われます。

スラリー供給機（Puerstinger社様）

CMPスラリー

スライススラリー

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安全性－溶剤向け信頼のソリューション

GEMÜでは，デッドレグが最小限に抑えられたステンレス製バルブ，ステンレス製マルチポートバルブブロックをご用意しております。これらは，耐薬品性と洗浄性に対する要求仕様に，きわめて高いレベルで適合し，また，欧州議会理事会の ATEX指令に準ずる防爆性能を確保しています。

半導体産業では，イソプロパノール，アセトン，N-メチルピロリドン（NMP）など各種の有機溶剤が，物質を溶解するためにも洗浄のためにも使用されています。たとえば，フォトリソグラフィーの工程では，特殊な溶剤によりフォトレジストを除去します。溶剤供給モジュールは，特にマイクロチップや LED の製造，および，塗料や染料の製造で使用されています。

溶剤は，品質を左右し，研磨作用がありますので，設備のコンポーネントは，高い耐薬品性が求められます。さらに，溶剤にパーティクルが混入しないよう，各種コンポーネントは高い洗浄性が求められます。その他，可燃性の溶剤では，防爆である必要があります。

Solvent supply溶剤供給



高純度溶剤用ステンレス製コンポーネント

超高純度溶剤を用いるアプリケーションには通常ステンレスが用いられます。耐薬品性に優れたプラスチック製の手動および自動アクチュエーターも使用されます。

主なアプリケーション

• 混合および溶剤プロセス

• 高純度溶剤供給

• 耐食性を要するエッチング工程

ステンレス製ボディの最適化されたエッジ形状で高いシール性能を有します。

超高純度溶剤供給用のコンパクトなマルチポートブロックバルブ

GEMÜのマルチポートブロックバルブは，自由度の高い小型の構造とそれによる低コストを特徴とし，ひとつで複数のバルブを代替できる製品です。

GEMÜ マルチポートブロックバルブが使用される例



• 超高純度溶剤供給システム

通常，使用されるのは，ステンレスやプラスチック製のマルチポートバルブブロックと iComline です。

超高純度溶剤のための PFA 製品高い耐薬品性と低コストであることが求められるため，PFAコンポーネントが使用されます。

半導体工業では，以下の用途で高純度の溶剤が使用されます。



• 超高純度溶剤の供給システム

GEMÜ は高い Kv 値と優れた経済性を持つ PFA 製品群を広範囲にわたって提供しています。

ステンレス製 GEMÜ M600

プラスチック製アクチュエーターを持つステンレス製コンポーネント

PFA 製コンポーネント

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コンパクト－カスタマイズされたバルブブロックシステム向けモジュールシステム

コンポーネントとサブシステムのカスタマイズ設計で長年培った経験を基に，GEMÜはウェットプロセス設備に向け専門的なアドバイスや，ニーズに最適な製品ラインナップを提供します。

半導体製造のコアとなる工程はほぼ全てウェットプロセスです。一口にウェットプロセスと言っても，それぞれのプロセスごとに生産設備とそのコンポーネントが要求される仕様は異なります。

太陽電池製造のウェットプロセスでは腐食性ケミカルの種類が少なく，その純度も副次的なレベルにとどまりますが，最先端の集積回路製造には夾雑物を除去した高純度の腐食性ケミカルが多種用いられています。

GEMÜ のハイピュリティーバルブは，接液部が PTFE または PFA製で，さらにクリーンルーム内で製造されているため，ウェットプロセスの流体に影響を受けない高い耐薬品性があります。

Wet process equipmentウェットプロセス設備


集積回路製造プラントのウェットプロセス

GEMÜのバルブ，計測器，制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず，流体の純度を高いまま保持します。

ウェットプロセスの用途で，高い洗浄性を持つコンポーネントが求められる工程は，次のとおりです。

• ウェハーの洗浄

• ウェハーのエッチング工程

• ウェハーのコーティング工程

通常，使用されるのは，PFA製のダイアフラムバルブ，センサーのHydraLine 圧力計測システム，流量計の SonicLine です。

一般産業のウェットプロセス

半導体や太陽電池以外の多くの工業製品の生産の至るところにウェットプロセスがあります。それぞれの産業分野のそれぞれの生産現場の皆様とともにGEMÜは最適解の構築に長く努めてまいりました。

GEMÜは，一般産業において以下のウェットプロセスに対応できます：

• 電気メッキ処理

• 化学薬品の製造と充填

• 金属の精錬

通常，使用されるのは， PP ， PVDF コンポーネントです。

エッチング，コーティング，洗浄工程

太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており，ここでは流体の純度が保たれること以上に，コンポーネントの耐薬品性が重視されます。

GEMÜは，下記の用途向けに豊富な製品ラインナップを提供しています：

• ポリシリコンのエッチング

• 各種ブロック材からのインゴット，ウェハー製造

• ガラス基板，その他部材の製造

通常，使用されるのは，PFA， PVDF， PPコンポーネントです。


エッチングと洗浄の流体ハンドリングエリア

ウェットプロセスのケミカル供給

プロセス設備

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堅牢性－長寿命の排水処理プロセスに向けて

GEMÜは，個別の排水処理プロセスに最適な，堅牢性と耐薬品性を兼ね備えた製品群を提供します。

半導体工場においても排水処理は重要です。各工程の排水は様々ですが，いずれにおいても高い物理的および化学的な耐久性が，使用されるコンポーネントに対して求められます。

ウェハーの製造に使用する各種薬液は健康に対して有害であるため廃棄前に中和処理する必要があります。

排水の化学的処理，物理的処理

• 化学物質が多く含まれる排水の中和

• 沈殿生成

• 限外濾過（加圧してフィルターを通す処理）

Waste water treatment排水処理



半導体産業における排水の化学的処理

半導体の製造工程では数多くの腐食性化学薬品が使用されているため，大部分の排水は化学的に中和する必要があります。

排水の化学処理は，例えば下記の分野で行われます：

• 超高純度シリコンウェハーの製造


• LEDの製造

通常，使用されるのは， PFA ， PVDF ， PP 製で，相応の耐久性を有するコンポーネントです。

一般産業および公共施設の排水処理

一般産業における多くの製造・加工の工程では，排水処理が必要になります。

GEMÜ は，様々な排水処理アプリケーション向けに幅広い製品ラインナップを提供します：

• 廃棄物埋立処分場浸出水の処理

• 自治体の下水処理

• 工場排水の処理

通常，使用されるのは，バタフライバルブ，ダイアフラムバルブ，グローブバルブやコントロールバルブ，ボールバルブ，計測・制御装置です。

排水の沈殿生成処理

沈殿生成は排水処理における典型的な工程です。排水に沈殿剤を注入し，溶解物質を析出させて除去します。

下記の沈殿生成処理では化学薬品が定量添加されます：

• 石灰軟化

• リン除去

• 脱スラリー化

沈殿剤の正確な注入のために，GEMÜ SonicLine 超音波流量計がこれら工程で使われています。

PVC/PE配管の排水処理設備

PP配管の設備

PVC/PE配管の排水処理設備

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以下の各工程向けソリューション：• スラリーの混合• コーティング• 電解液の注入

GEMÜ の各種部品とシステムソリューションは，化学薬品の純度を確実に維持して，コンタミネーション不良を防止し，工程パラメーターの監視および自動化が可能な制御を実現します。

リチウムイオン電池のセルは，製造にあたって複数の製造工程で様々な化学薬品が混合，塗工，注入されます。化学薬品のハンドリングでは，特に電解液の調製，および電池セルへの電解液注入が二次電池製造の主工程ですが，これらは，二次電池の品質と寿命を左右する重要な工程です。

電池セルをコンタミネーションフリーで製造すれば，最高の生産能力が実現できます。例えば電解液の LiPF6（六フッ化リン酸リチウム）は，水または空気によるコンタミネーションがあればフッ酸（HF）が発生します。これは，電池セルを損傷して，化学反応により製造設備の各種部品を腐食させます。そのため製造工程では，設備系統の耐薬品性，純度，シール性能が特に重要です。

Lithium-ion battery cell productionリチウムイオン電池セルの製造


スラリー混合プロセスでのケミカルサプライ

電池セルの製造では，典型的なプロセスとして，電極フィルム用の塗工懸濁液（スラリー）を混合する操作があります。

この工程で特に重要な点：

• スラリー調製で最適な混合比にすること

• ケミカルサプライとドーシングのそれぞれで制御機器を利用すること

• 高いレベルの標準化を図ること

工業用部品は，多様なものが使用されます。

電池セルへの電解液注入

電池セルへの電解液注入は，きわめて複雑なプロセスであり，バルブ設備に対する要求仕様が高いです。

この塗工で特に重要な要因は，以下のとおりです。

• コンポーネントは耐圧・耐真空であること。

• 触れるとフッ酸が遊離するため，電解液を H2O や O2と触れさせないこと。

• 制御機器と一体化させて，正確な量で注入すること。

通常，使用されるのは，バルブブロックのソリューションで，ステンレス製の研磨グレードが高いものか，プラスチック製のもの（iComLine）です。

電極フィルムコーティング

正極と負極の各電極フィルムへのコーティングは，中心となる工程であり，リチウムイオン電池の性能を大きく左右します。

この工程で特に重要な要素は，以下のとおりです。

• スラリーの粘度を最適にして，正確な膜厚にすること

• コンポーネントの洗浄性が良好であること（最小限のデッドスペース）

• プロセスパラメータを制御できること

通常，使用されるのは， GEMÜ 650 または C60 の各ダイアフラムバルブで，GEMÜ 1435 ePos などのポジショナーと組み合わせます。


ステンレス製マルチポートブロックバルブでの電池セルへの電解液注入

ZSW（ドイツのバーデンヴュルテンベルク太陽エネルギー・水素研究財団）の生産技術開発用設備：電極ペーストの混練設備で容量60 Lです。（写真）ZSW 提供

ZSW では，量産に近い条件で電極シートを製造しています。（写真）ZSW 提供

© ZSW

© ZSW

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コンポーネントとシステムソリューション

高純度ケミカルと半導体製造プロセスのコンポーネントとシステムソリューション


システムソリューション

全製品と各仕様の一覧表はカタログの巻末にあります

GEMÜ iComLineGEMÜ CleanStarGEMÜ PurePlusGEMÜ 600 HP / 677 HPWGEMÜ HydraLineGEMÜ SonicLineGEMÜ FlareStarGEMÜ TubeStarGEMÜ Check Valve CVGEMÜ ステンレス製コンポーネントGEMÜ 工業用コンポーネントGEMÜ 計装とアクセサリー

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GEMÜ システムソリューションアプリケーションに応じたカスタマイズ

GEMÜはユーザー様のパートナーとして，個別のシステムソリューションを作り上げていきます。ご希望の仕様は，高い技術力を以てプロトタイプとして形にします。

GEMÜは，ユーザー固有の課題をすべて，積極的に自社の課題として捉え，高純度のシステムをオーダーメイドで実現します。設計から最終製品に至るまでの全工程，およびアフターサービスにわたって，GEMÜの窓口担当者がユーザーをサポートします。

以下の課題に対しては，要求仕様に応じたソリューションを用意しています：

• バルブポジショナーや設備のコントローラーにより，流量，圧力，温度をそれぞれ測定・制御する

• 使用量を測定する

• プロセスパラメータと使用量をモニタリング

• レディーメイドのバルブマニフォールドや背圧調整ユニットなどのサブアセンブリ部品を組み込む

• マルチポートブロックバルブにセンサーやモジュールを一体化する

いかなるアイデアでも，GEMÜはユーザーと共に開発し，実現させます。

GEMÜ system solutionsGEMÜ システムソリューション


Examples of system solutionsシステムソリューションの例

圧力計測と背圧コントロールを目的とするシステム

ソリューションの一つとして，GEMÜの多種多様な製品から成る背圧レギュレーターの構造を左に紹介します。GEMÜ 4232トラベルセンサーからの信号を受け，GEMÜ 1436 cPosプロセスコントローラーが，設定圧力に合わせるべく，ダイアフラムバルブ GEMÜ C60 CleanStarの開度を調節します。GEMÜ CleanStarの位置を正確に調節するために，GEMÜ 1436 cPosは設定されている目標値と実際値を比較します。実際値の計測には外部ディスプレイ付きの圧力計測器 GEMÜ C32 HydraDryを使用。

VMB （バルブマニフォールドボックス）－バルブボックス用のマニフォールドユーザーからオーダーを受けた仕様に基づいて組み立てられる，バルブと継手を組み合わせたパッケージです。マニフォールドは一般に，主配管（Main）と任意の本数の枝配管（Sticks）で構成される。接続にはフレアまたは突き合せ溶接が用いられます。

センサーと作動モジュールを一体化

マルチポートブロックバルブでは，センサーと追加の作動モジュールを一体化することで，容易に機能を拡張できます。要件に応じて各種計測・制御機器が使えます：圧力センサー，温度センサー，pH センサー，チャッキバルブ，アクチュエーターのリミットスイッチ，ポジションインジケーターがあります。その他，ケーシングの壁やフィルターのハウジングを個別に追加が可能です。

流量計測と制御を一システムで

GEMÜ製品を使用して流量コントロールシステムを組むことができます。このシステムでは，超音波流量計 GEMÜ C38 SonicLine が流量を測定します。設定流量になるよう，ダイアフラムバルブGEMÜ 4232 により GEMÜ 1436 cPos プロセスコントローラーが GEMÜ C60 CleanStar の開度を調節します。

ボックス型背圧コントロールシステム

流量コントロールシステム

マニフォールド

マルチポートブロックバルブで，センサーユニットと温度センサーを統合

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省スペース

コンパクトな設計

低いランニングコスト

迅速な取付と組立

必要コンポーネント数の削減

最小限のコンタミネーションリスク

クリーンルーム内で製造

SEMI F57 規格に適合

製品安全性

漏れのリスクを最小限に

検査済「エリア」として装置内へ設置

コストパフォーマンス

あらゆるアプリケーションに対応

豊富なバルブボディ材質

カスタマーベネフィット

GEMÜ iComLine

マルチポートブロックバルブシステム

ポジショナーGEMÜ 1434 µPos

GEMÜ C50 空気操作式アクチュエーター

切削加工により製作されたマルチポートブロックバルブ

長寿命

耐高温仕様も製作可能

確かなMTBF（平均故障間隔）データ

カスタマイズデザイン

オーダーメイド

コンポーネントとアクセサリーの一体化

フレキシビリティ

スタンダードの接続にくまなく対応

アクチュエーターのサイズが異なっても結合可能


特徴とメリット

• 個別のアプリケーションに合わせたレイアウトと極めて柔軟な設計

• 迅速な取付と組立

• メンテナンス用在庫品点数の低減

• 異なるサイズの接続とアクチュエーターの組合せが可能

• センサーの一体化が可能（圧力センサー，温度センサーなど）

• 種々のバルブボディ材質：PTFE（TFM），PVDF，PP，PVC

• 接続は，フレア，ピラーフィッティング，突き合せ溶接，ねじ込み（内ねじ），ユニオン，PrimeLock ，クランプ，ユーザーご指定の継手部品にて製作可能です。

コンパクトなマニフォールドの実現

GEMÜ マルチポートブロックバルブで，従来の配管設計と比較して大幅な省スペース化を実現。マルチポートバルブマニフォールドのその他のメリット：

• 接続箇所数の低減

• 漏れのリスクを最小限に

• 現場工期の短縮

Areas of application適切なバルブボディ材質を選択して多くのアプリケーションに適応

• 半導体分野などの高純度液体：PTFE/PVDF製ハイピュリティバルブブロック

• 化学薬品や腐食性流体：PTFE/PVDF材質

• 太陽電池製造などの純度に対する要求が厳しくない分野：PVDF/PP材質

• 純度に対する要求が少ない工業分野：PPおよび PVC材質

• 要求に応じて，突き合せ溶接，ねじ込み，フレア，フェルール，ユニオンなどの各種接続が可能

Product highlights

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GEMÜ iComLine

バルブブロックでモジュラー方式のソリューション

カスタム仕様のデザイン

個別設計が可能

モジュールの拡張や組み換えが自由

特殊な継手やアクセサリーをフレキシブルに組み込み

効率的な在庫管理

部品の品種を削減

フレキシブルなモジュールシステム


デッドスペースなし（O リングフリー）最適な流れを実現したデザイン

Kv 値を増大可能

ワンタッチ配管

迅速な取付と組立

メンテナンスコストを削減

耐薬品性

長寿命化（O リングフリー）


CMP スラリー供給用バルブマニフォールド

長寿命



Product highlights

特徴とメリット

• ユーザー個別の設備設計に合わせて，フレキシブルにブロックを構成

• 流路転換が少ないため，より高い Cv 値を達成可能

• 段階的な拡張が可能

• ブロックの各区画を個別に簡単に交換できます

• 単一ブロックで製作した場合と比較して材料を節減

• 効率的な在庫管理

モジュールブロックの結合

O リング接続モジュールブロックでは，個別のセグメントを相互に O リングでシールし，貫通孔で結合します。

O リングフリー接続シールにO リングを使わなければ，エラストマーのシールを追加せずに，各モジュールブロックを確実に結合し，特殊な継手や付属品を使用することが可能になります。O リングフリー結合の特徴：

• リークのリスクが低減するため，稼働率が向上する

• 耐薬品性が高いため，長寿命

• 追加のシール部品を使用しないため，コストを節減できる

• 組立の信頼性が向上する

• デッドスペースなし

O リングフリー結合のタイプ要件に応じてステンレス製ネジ，またはマルチポートブロックバルブ GEMÜ PC50 に直接設けられたネジ山によって，接続部の安全性は確保されています。

タイプ 1両接続部はシール輪郭に配置された 4 本のボルトによって接合されます。ボルトの締付けトルクにより，両輪郭が相互に押し付けられます。

タイプ 2両接続部の接合はネジにより行われます。輪郭は，ネジの回転とピッチにより相互に押し付けられます。

タイプ 1

タイプ 2

シールピード

シールピード

ねじねじ

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GEMÜ iComLine

PTFE 製ハイピュリティーダイアフラムグローブバルブ

PTFEダイアフラム

PTFEバルブボディ

バルブシート

メンテナンスフリーのピストンアクチュエーター

プリテンションスプリング

開閉を目視確認できるポジションインジケーター

省スペース

少ない設置面積



スタンダードの接続に広く対応

長寿命



低い調達コスト

原材料使用量を削減

シートサイズを同じままにアクチュエーターを小型化


少ない圧力損失

デッドレグが最も小さい

T 型バルブ




耐薬品性

接液部は PTFE 製

高い Kv 値


PTFEをコーティングしたネジや圧縮バネ


製品ラインナップ

空気操作バルブ

• メンテナンスフリーのピストンアクチュエーター

• 作動：ノーマルクローズ，ノーマルオープン

• PVDF 製アクチュエーターハウジング

• 接液部はすべて PTFE 製

• 開閉を目視確認できるポジションインジケーターを標準装備

• ストロークリミッター取付可能

• 固定用ラグを一体化

• 各種リミットスイッチ，ポジショナー取付可能

• 高温に対応した仕様もございます

Quarter-Turn手動バルブ

• 操作用ハンドレバー

• ハンドルによる流量の指定調整




• アクチュエーターサイズ 0，1 と 2 に対応

手動バルブ

• エルゴノミクス（人間工学）に基づくハンドル形状



• 開閉を目視確認できるポジションインジケーター


GEMÜ C50 iComLine

GEMÜ C51 iComLine

GEMÜ C57 iComLine

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GEMÜ iComLine

技術情報とラインナップ

Range overviewアクチュエーター： GEMÜ C50 空気操作

（ノーマルクローズ，ノーマルオープン）GEMÜ C51 手動クォーターターンGEMÜ C57 手動アクチュエーターハウジング PVDF製ネジや圧縮バネに PTFEコーティングを施すことも可能です

接続：フレア，ピラー（Super Type 300, Prime Lock）

サイズ： ⅛" – 1¼"

バルブボディ材質： PTFE

バルブボディ形状： 2/2-way ボディ

ダイアフラム材質： PTFE

PFA ， PVDF ， C-PFAユニオンナット材質：

ポジショナーGEMÜ 1434 μPos，GEMÜ 1436 cPos

リミットスイッチGEMÜ 1234，GEMÜ 1235

フレア継手接続ツール電気式ポジションインジケーターのリミットスイッチ GEMÜ C12A

Permissible operating conditions適応流体腐食性・不活性の気体および液体。バルブボディとダイアフラムに物理的・化学的悪影響を及ぼさないもの。高純度流体に高い適性。

標準シート :

• 使用温度範囲：最高 150℃

• 使用圧力：最高 0.6MPa

直径拡張シート :



耐高温仕様 :



AccessoriesGEMÜ C50

• ポジショナー GEMÜ 1434 µPos, GEMÜ 1436 cPos

• リミットスイッチ GEMÜ 1234,GEMÜ 1235, GEMÜ C12A

• フレア継手接続ツール


Product highlights

グローブバルブ－コンパクトな構造

• グローブバルブ特有の極小設置面積

• PTFE材だけから成型されるダイアフラム

• 長寿命－社内試験による認定開閉サイクルで，500万開閉サイクルを達成

• 流量調節に長ける弁体形状

• 腐食性流体を難なくハンドリング

• ドーシングバルブおよびフィリングバルブとして好適

プリテンションスプリングによる確実な気密性

• 斬新なソリューションによる使用範囲の拡張

• プリテンションスプリングがダイアフラムをボディにより強く押し当てます

• 温度が変動してシール部形状に歪みが生じたときも流量，圧力が一時的に増大したときも外部へのリークがありません。

• 過酷な使用条件下でも長寿命を実現

コンパクトマルチポートブロックバルブ

• 個別のアプリケーションに合わせたレイアウトと極めて柔軟な設計

• 大幅な省スペースの実現

• 1個のブロックからバルブボディもしくはモジュラーを削り出し

• モジュラー方式のブロック装置で，個別に段階的な拡張が可能

• 接続，アクチュエーターの組合せ自由自在

• 流体に合わせたバルブボディ材質

• チャッキバルブや各種センサーの組み込みも可能

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GEMÜ CleanStar

ハイピュリティー PFA および PP 製ダイアフラムバルブ





高い流量係数

長寿命


多数の実績

耐薬品性

接液部は PFA 製


さまざまな接続に対応

豊富なバルブボディ材質省スペース

固定用ラグを一体化


T 型バルブ

スムーズな流路形状

ダイアフラムバルブ：HighFlowモデル

スラリーに最適




標準装備：ポジションインジケーターとストロークリミッターを標準装備

PFAバルブボディ

ダイアフラム（PTFE/EPDM）



空気操作バルブ


• 作動：ノーマルクローズ，ノーマルオープン，ダブルアクティング


• ストロークリミッターとポジションインジケーターを標準装備

• オプションの ECTFE製ユニオンナット

• 各種リミットスイッチ，ポジショナー取付可能

手動バルブ


• メタルフリー


• シールアジャスターとポジションインジケーターを標準装備

• オプションの ECTFE製ユニオンナット

CleanStar SmartLine シリーズ

• CleanStar の廉価版

• PP-R製，PP-H製バルブボディ・汎用アプリケーション向け

• PTFEダイアフラム

• メタリフリー（GEMÜ C67および GEMÜ C60のダブルアクティングタイプ）

• バルブボディは自然色の PP-R製かグレー色の PP-H製のいずれかを選択可能

• フレア継手および DIN規格の溶接ユニオン付きバルブボディ

• PFA タイプと比較して流量能力が向上

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GEMÜ CleanStar

技術資料

Range overviewアクチュエーター： GEMÜ C60 空気操作，

GEMÜ C67 手動，アクチュエーターハウジングは PVDF製，中央のユニオンナットは ECTFE 製を選択可能

接続：フレア，Space Saver，バットウェルド，ユニオン，PrimeLock® ，ピラー ®

サイズ： ¼"～ 1 ¼"（ボディの形状，接合によって異なります）

バルブボディ材質： PFA，PVDF，PP

バルブボディ形状：ストレートボディ，T 型，V 型

ダイアフラム材質：接液部 PTFE/裏ゴム EPDM

ポジショナーGEMÜ 1434 μPos，GEMÜ 1436 cPos

リミットスイッチGEMÜ 1234，GEMÜ 1235

ロックアウトカバーアクチュエーター取付用の作業工具

フレア継手接続ツール

材質 PFA:



材質 PP :



材質 PVDF :



AccessoriesGEMÜ C60

• ポジショナー GEMÜ 1434 µPos, GEMÜ 1436 cPos

• リミットスイッチ GEMÜ 1234,GEMÜ 1235, GEMÜ C12A

GEMÜ C67

• ロックアウトカバー

• アクチュエーター取付用の作業工具

• フレア継手接続ツール

Permissible operating conditions適応流体腐食性・不活性の気体および液体。バルブボディとダイアフラムに物理的・化学的悪影響を及ぼさないもの。高純度流体に高い適性。


Product highlights

High-Flowバルブボディ

• 抵抗の少ない流路形状による流量能力の向上

• 低差圧損失

• 流体に負荷を与えないスムーズな開閉動作

• 長寿命のシート形状

• Kv 値が標準品から最大 100 %アップ（口径と接続によります）

• 標準品と共用のアクチュエーター，同じ面間寸法

ツインアクチュエーター 3方バルブ

• ミキシングバルブやマニフォールドバルブとして

• アクチュエーターは独立制御

• 流れ方向は任意

• デッドスペースを最小化

• 高い Kv 値

• 標準品と同じアクセサリーを使用可能

• 従来よりも低価格を実現

拡大するT型バルブの利用• 液溜りを最小限に抑えるT字型構造

• Tフィッティングを 1個節約

• 省スペース

• コスト削減

• Space Saver 接続による配管の短縮

• バルブマニフォールドに最適

• サンプリングバルブとして使用可能

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GEMÜ PurePlus

ハイピュリティー PVDF 製ダイアフラムバルブ



高い Kv 値

超高純度流体仕様



豊富なアクセサリー

耐薬品性

接液部は PP または PVDF/PTFE 製


取付け姿勢は任意

流れ方向は任意


ダイアフラムバルブ

リミットスイッチ，ポジショナーを取付可能

メンテナンスフリーのダイアフラムアクチュエーター

主管

枝管

PVDF製T型バルブボディ



GEMÜ 690 PurePlus

GEMÜ 677 PurePlus

GEMÜ 800 HP / 850 HP PurePlus

ハイピュリティー PVDF 製ボディ空気操作バルブ

• 空気操作式アクチュエーター GEMÜ 600 / GEMÜ 690

• PTFE/EPDM 製ダイアフラム

• PVDF製ボディ

• 形状：2/2-way，T型

• 接続：突き合せ溶接

• 呼び径：DN 15 ～ DN 100

ハイピュリティー PVDF 製ボディ手動バルブ

• 手動：GEMÜ 677


• 形状：2/2-way，T型


• 呼び径：DN 15 ～ DN 100

PVDF製フローメーター

• PVDF製フロート（マグネット内蔵タイプあり）

• PVDF製チューブ

• 呼び径：DN 15 ～ DN 50

• 適正流量範囲を示す上下一対のチップ

• 上下限スイッチやトランスミッター取付け用のアリ溝レール付きです

• 水平方向の回転は任意

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GEMÜ 600 HP/677 HPW

ハイピュリティー PFA 製ダイアフラムバルブ



高い Kv 値




豊富なアクセサリー

耐薬品性

接液部は PPまたは PVDF/PTFE 製


取付け姿勢は任意

流れ方向は任意

研磨剤，スラリー対応


PTFE/EPDM 製ダイアフラム

開閉を目視確認できるポジションインジケーター

バルブボディは内面 PFA ライニングのPVDF 製ボディ

手動開閉機構付き

PFA製突き合せ溶接接続


ストロークリミッター内蔵



GEMÜ 677 HP

GEMÜ 600 HP

GEMÜ 677 HPW

ハイピュリティー PFA製ボディ手動バルブ，空気操作バルブ


• ボディの内面を PFAでライニング，外装は PVDF製（カーボンファイバー強化）

• 形状：2/2-way


• サイズ： 1 ½"， 2" (DN 40，DN 50)

空気操作アクチュエーター


• 作動：ノーマルクローズ，ノーマルオープン，ダブルアクティング

• ストロークリミッターを内蔵

• 手動開閉機構付き

• 開閉を目視確認できるポジションインジケーターを内蔵

手動ハンドル


• ハンドルの色は黒と白から選択可能


• クリーンルームでの組付け，試験，包装

• オプションのアクセサリー各種用意

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GEMÜ HydraLine

GEMÜ HydraLine 侵食性・腐食性流体，高純度流体の圧力測定とモニタリング


長寿命

真空対応

多数の実績



SEMI F57規格に適合

高精度の計測システム

複数の圧力範囲を校正済み

長期安定性に優れたセンサー

柔軟なシステム統合

インラインとデッドエンドの両仕様


洗浄が容易

最小限のデッドスペース

PFAの表面張力が小さい

フレキシブルなセンサーシステム

360°回転自在の圧力ゲージ／ディスプレイ

機械式と電動式の両方に対応

無理なく導入

CleanStar テクノロジーベースの PFA ボディ

圧力損失はほぼゼロ

耐薬品性

特許取得済みの 3層ダイアフラム

接液部はすべて PFA 製

接液部品がすべて PTFE ，PFA の各樹脂材質

特許取得済みの 3 層ダイアフラム構造

上部ユニットは360°回転自在

圧力媒体



GEMÜ C30 Hydra-GaugeGEMÜ C30 Hydra-Gauge機械式圧力計は，高品質テフロンコーティングステンレス製ゲージを装備。ブルドン管は液体の圧力媒体により動作します。

特長

• テフロンコーティング圧力ゲージは 360°回転可能

• 表示の誤差は± 1.6％

• 特許取得済みの 3 層ダイアフラム構造

• 流体を圧力媒体やブルドン管から確実に隔離

• 接液部材質はすべて PTFE/PFA 製

GEMÜ C31 Hydra-Sensor圧力計 GEMÜ C31 Hydra-Sensor は，ダイアフラムシールにより動作する，高品質の工業用圧力トランスデューサーを内蔵しています。

特長

• 長期安定性に優れた高精度センサー

• 標準で多様な電気接続に対応可能（保護等級 IP 65または IP 67）

• 計測誤差は± 0.5％

• 特許取得済みの 3 層ダイアフラム構造

• 接液部はすべて PTFE または PFA 製

GEMÜ C32 Hydra-DryGEMÜ C32 Hydra-Dry 圧力トランスデューサ―は，3 層ダイアフラムによりプロセス流体から確実に隔離されたセラミックキャパシティブセンサーを備えています。

特長

• 外面メタルフリー

• 圧力媒体を使用しないセラミック製高品質センサー

• 計測誤差は± 0.5％

• センサーは流体により直接動作します

• 接液部はすべて PFA または PTFE 製

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GEMÜ SonicLine

侵食性・腐食性流体，高純度流体の超音波流量計


長寿命

ソフトウェアによるキャリブレーション

多数の実績



SEMI F57規格に適合

無理なく導入計測から制御までマルチな役回り洗浄が容易

管内に障害物がない構造

PFAの表面張力が小さい

正確な計測

毎秒 250 回の測定－脈動する体積流に最適

極めて高い精度と再現性

抵抗の少ない流路形状

圧力損失はほぼゼロ


耐薬品性

接液部はすべて PFA 製

電子回路は完全被覆

5 mの出力ケーブル（PTFEシールド）または規格品コネクター

フレア接続

デジタル入力× 1，デジタル出力× 2（すべて個別に使用可）

アナログ出力端子， PLC 接続用の RS-485 インターフェース， PC 接続用のインターフェース

計測管流体接続部

電子回路ハウジング



SonicLine C38GEMÜ SonicLine C38は液体用の非接触式超音波流量計です。計測管内に可動部品や障害物がないため，圧力損失がほとんどなく，洗浄も容易です。接液部はすべてPFA製です。電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われており，耐食性に優れています。

SonicLine －特長：

• 脈動する流体に最適

• 分析機能を備えた豊富な PCソフトウェア

• 計測値の再現性は誤差± 0.5％レベル

• 計測値の誤差は± 1％

• 極めて高速な計測値サンプリング（毎秒 250回）

• アラーム出力付きの空配管監視機能

• デジタル入力，出力をそれぞれ個別に設定

• アナログ出力端子を標準装備

• プロセスパラメータは任意にプログラミング可能

• 必要設置スペースが小さい

計測原理と動作方法：

• 向かい合わせの位置に取り付けられた 2 個のセンサーが，超音波信号の送信と受信を相互に行います。

• 流れに沿う向きと逆の向きとで超音波信号の到達時間に差が生じます。これを利用して流速（V）が算出されます。

• 流体が流れている場合は位相変位が生じます。

• 発生した位相差は，流速に対して正比例します。

• 流速と計測管の直径から流量が求められます。

送信器／受信器

受信器／送信器

D ：測定する配管の直径v ：流速

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GEMÜ FlareStar/TubeStar

ハイピュリティー PFA フィッティングおよびチューブシステム

ユニオンナット

フィッティング

PFAチューブ

カスタマーベネフィット TubeStarFlareStar


フレア，突き合せ溶接，スペースセイバー，ねじ

ユニオンナットの材質：PVDF，PFA，C-PFA

多彩な FlareStar ラインナップ

ストレート，エルボー，チーズ，クロス型

フィッティング材質：PFA，PVDF

耐久性

高い耐薬品性

優れた耐屈曲疲労性

GEMÜ 一社から供給

チューブ

フィッティング

選べる材質レベル

ハイピュリティー Du Pont 450

標準の PFAユニオンナット用スパナ

アクセサリー

フレア接続のチューブ径拡張ツール



FlareStar® －ハイピュリティー PFA フィッティングFlareStar の製品ラインナップには，ストレート，エルボ，チーズ，各種形状のユニオンフィッティング，溶接フィッティングがあります。

• ユニオンフィッティングは，¼"，⅜ "，½"，¾"， 1"， 1¼"の各サイズで提供

• 溶接フィッティングは，¼"，½"，¾"，1"，2"の各サイズを提供

• Du Pont 440 HP 材質で製作

TubeStar －ハイピュリティー PFA / 標準 PFA チューブTubeStar PFA チューブにはロール巻きとストレート，2 つの供給形態があります。PFA 材質にはハイピュリティー対応タイプとスタンダードタイプがあります。

• いずれのチューブも，¼"，⅜ "，½"，¾"，1"，1¼"の各サイズを提供。

• 長さは，ロール巻きタイプが 10 m，20 m，50 m，100 m，ストレートタイプが 6 m

• ハイピュリティーチューブは，Du Pont 450 HP材質で製作

• オプションで特注の長さ，サイズでの製作も可能です。

サービスツール

GEMÜ 1098

• チューブ径拡張ツール

• PFA フレア接続組み立て

GEMÜ CF

• FlareStar ユニオンナット用スパナ

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GEMÜ Check Valve CV

メタルフリー，PTFE 製ハイピュリティーチャッキバルブ

流れ方向はバルブボディ側面に矢印表示



標準的なさまざまな接続に対応

耐薬品性

メタルフリー

接液部はすべて PTFE 製


特注仕様でブロックバルブと一体化が可能

低圧力で開閉

省スペース

資源の有効活用

O リングフリーのシールシステム

クリーンルーム内で製作

互換性や洗浄性のトラブルがない




標準 CVFF


• 切削加工 PTFE スプリング

• サイズ 1/4 “ ～ 1 “が使用可能

• フレア接続，オプションで PVDF，PFA，CPFA ユニオンナット

• 低圧力で開閉

バリエーション

接続は，NPT ねじ，フレア，PrimeLock，ピラー各種標準仕様で製作できます。また，たとえば，フレアとピラー，フレアと NPT ねじなど，異なる接続方式を相互に組み合わせることが可能です。

ブロックバルブとの一体化

タイプ A（CVFU）とタイプ B（CVUF）は，GEMÜ PC50 iComLine のマルチポートブロックバルブと一体化が可能です。

タイプ A ： CVFU タイプ B ： CVUF

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Stainless steel components ステンレス製コンポーネント

アクチュエーター

コンプレッサー

ダイアフラム

バルブボディ




高い Kv 値

長寿命


多数の実績

超高純度溶剤

統一的で分かりやすい製品群


各種アクチュエーター材質

さまざまな接続に対応省スペース



T 型バルブ

スムーズな流路形状


スラリーに最適

最適化されたシールシステム

ラミネート構造のダイアフラム

バルブボディのシールエッジ


ステンレス製コンポーネント

ステンレス製バルブ，プラスチック製アクチュエーター

• 空気操作：GEMÜ 695

• 手動アクチュエーター：GEMÜ 653 および GEMÜ 673


• ステンレス製バルブボディ

• プラスチック製アクチュエーター

• 各種接続に対応

• 呼び径：DN 15 ～ DN 50

BioStar ステンレス製バージョン

• 空気操作：GEMÜ 650

• 手動：GEMÜ 654


• ステンレス製バルブボディ

• ステンレス製アクチュエーター

• 各種接続に対応

• 高級感ある外観

コンパクトなマニフォールドの実現

• 個別のアプリケーションに合わせたレイアウトとコンパクトな設計

• 大幅な省スペース

• １つのブロック素材から加工したバルブボディ

• 接続，アクチュエーターの組合せ自由自在

• 各種アセンブリ・センサー類の組み込みも可能

• 現場工期の短縮

GEMÜ 673

GEMÜ 650 BioStar

GEMÜ P600

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Overview of GEMÜ productsGEMÜ製品概要

水処理および排水処理向けの工業用コンポーネント

金属製およびプラスチック製バタフライバルブ

• DN 1600適合

• 特殊なシール形状により大口径においても密閉性が高い

• モジュール式構造

• 多様な材質により幅広いアプリケーションに対応

• 高い耐熱性と耐食性を持ち，耐久性に優れたシーリングを備えたバルブ

• ハイピュリティーの用途に適したタイプのバタフライバルブも用意

プラスチック製ダイアフラムバルブ

• DN 100適合

• コンパクトな構造で軽量化を実現（パイロットエアの容積を低減）

• 表面が平滑（汚れの堆積を最小限に留める）


プラスチック製ボールバルブ

• 空気操作式

• DN 100適合

• 大流量

• すべての接液部およびアクチュエーターケーシングはプラスチック製

• 手動のアクチュエーターと電動のアクチュエーターボールバルブも用意


プロセスコントローラーおよびポジショナー

リニアまたはクォーターターンアクチュエーター用のプロセスコントローラーとボジショナー。遠隔取り付け可能。Speed-AP 機能により迅速な組み付けおよび試運転が可能。

電動式ポジションインジケーター

極めて多様な形態の電動式ポジションインジケーター，終端位置の手動 /自動設定，バージョンによっては自己学習能力を持つ Speed-AP

機能，LED表示，オプションのフィールドバス接続。

インテリジェントスイッチボックス

リニアアクチュエータ用スイッチボックス，ポジションフィードバック機能内蔵，終端位置の手動 /自動設定，空気制御用ソレノイドバルブ内蔵，オプションのフィールドバス接続。

ソレノイドバルブ

清浄な液体または気体，不活性または腐食性流体に適する各種バージョン。コンパクトで開閉速度が速い設計。

流量計

各種動作原理による流量計，不活性または腐食性液体または気体向け。バージョンによっては電動式限界値・測定値トランスミッター，フィールドバス接続も可能。

アクセサリー

ストロークリミッター，ポジションインジケーター，各種アタッチメントセット，制御用空気アダプター，Namurマウンティングブラケット，プラグ，ケーブルコネクター，ポジショナー用変位センサー，その他多数。

計装とアクセサリー

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GEMÜ Green Engineeringグリーンエンジニアリング

環境，顧客利益，コストに集中

GEMÜ は，メーカーであるにとどまらず，エネルギーや車両で持続可能なソリューションの最終消費者でもあります。

現在の GEMÜバルブは初期の製品と比較して材料使用量が 50％削減されています。また1979 年にはリサイクリングシステムを導入しています。GEMÜは設立当初から，他のどのメーカーよりコンパクトで材料使用量の少ない製品を設計し，世論の意識が高まるに先んじて環境関連の各種テーマに取り組んで来ました。

環境指向の伝統2011年，GEMÜグループの全活動をGREEN ENGINEERING運動として統合し，持続可能で環境にやさしい企業経営を一層強化しています。全製造工程の効率化を徹底して資源使用量を最小限にとどめること，製品が主な環境関連基準をすべて満たすことを掲げ，新しい技術や革新的コンセプトを果敢に取り込み，発信していきます。

1．クリーンプロダクションGEMÜは，環境マネジメントシステム規格DIN EN ISO 14001の一環として，生産現場における環境目標を独自に定め，その達成状況を定期的にチェックしています。

2．クリーンプロダクツGEMÜ には，設計にかかわる基準や指針がいくつかありますが，グリーンエンジニアリングの思想は，その中で規定されています。構想の段階から，環境保護の考え方を取り入れる必要があります。

3．クリーンプロジェクトゲルト・ミュラー（GEMÜ マネージングディレクター）は 2011 年に CLEAN PROJECTS セクターを創設しました。環境指向の GEMÜ グループに見合った電動モビリティーと環境調和型社屋が新たに導入されました。

GEMÜ C60 CleanStar HighFlow version 流量を最大化する流路形状のバルブボディ

GEMÜマルチポートブロックバルブ省スペース・低ランニングコストのカスタマイズソリューション

ヨーロッパ製造・物流センターの太陽光発電設備社用車の GEMÜ 電動シャトルヨーロッパ製造・物流センターの熱併給発電所（コージェネプラント）


用途には，同じものが一つとしてなく，計測・制御機器に対する要求仕様は千差万別です。それに加えて，複雑な工程を着実に実行するための，無数のバルブデザインが可能です。

ユーザーが大局に集中できるようにするために，GEMÜでは，細部に至るまで，適切なコンポーネントを選定するためのサポートを徹底しています。

操業にあたって重要な運転パラメータの例には，圧力，温度，制御対象とする流体の特性がありますが，GEMÜでは，こうしたパラメータを考慮に入れて，適切なレイアウトの策定と検証を行います。GEMÜでは，豊富な専門的知識と経験を有するエンジニアでチームを構成し，バルブの寿命と特性が最大限発揮されるように選定を行います。バルブの選定で

常に焦点となるのは，GEMÜユーザーの設備を最適なものにするということです。

上記を補うものとして，複数のユニットで構成されるセミナーがあり，経験を備えた，GEMÜの講師がバルブと各種用途に関して，基礎にとどまらず，専門的な知識も含めてお伝えします。セミナーは GEMÜ本社か，ユーザーの元に直接出向く出張セミナーとしても開催できます。

その他，GEMÜは，修理，運転立上げ，トラブルシューティングについても，ユーザーのご希望に応じて，サポートを提供します。こうした業務は，GEMÜ社の修理・サービスチームが承ります。

It's all about the right serviceニーズにフィットしたサービスのために

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エメン市のクリーンルーム工場（スイス・ルツェルン州）

クリーンルームでの製造と組立

GEMÜのハイピュリティー製品は，時代の先端を行く，完璧な品質マネジメントシステムに基づき製造されており，この品質マネジメントシステムにより，一定不変で，ユーザーの要求仕様に適合し，かつ，再現性のある品質を保証します。

GEMÜのクリーンルーム工場では，最新の製造設備を使用して作業が行われており，クリーンルームの空気清浄度は，ISO 規格でクラス 8 （作業時），欧州連合の GMP（医薬品の優良製造所基準）でクラス Cをそれぞれ達成しています。

クリーンルームの容積• 射出成形機のクリーンルームは，容積約 1800 m² で， ISO規格でクラス 8（作業時），欧州連合の GMP（医薬品の優良製造所基準）でクラス Cに適合しています。

• 組立設備のクリーンルームは，容積約 1000 m² で，ISO規格でクラス 8（作業時），欧州連合の GMP（医薬品の優良製造所基準）でクラス Cに適合していますが，この場所は，局所的に ISO規格でクラス 6 までレベルをアップさせることができます。


Permanently controlled quality徹底した品質管理体制

Purity, quality, safetyすべてのハイピュリティー製品はクリーンルーム内で製造，洗浄，組立，包装されています。これらの工程では，GEMÜの製品を対象に完璧な品質管理が行われます。そのために全工程を隅々まで継続的に監視しています。各種試験は，外部試験機関において行いますが，追加でこれらを社内の試験業務により補完します。

GEMÜ Quality Loop

• 厳しい試験をクリアした材料を使用

• 「トレーサビリティ」のための保管サンプル抜取り

• 統計的工程管理（SPC）

• 継続的なスタッフトレーニング

• 第三者機関によるチェック

• お客様の声を反映させる製品づくり

• 継続的な改善プロセス

• 品質マネジメントシステム規格 ISO 9001:2008を取得

原材料

洗浄

組立，検査

梱包

製造

GEMÜ のQuality Loop

受入検査，保管サンプル抜取り

二重に包装して識別表示し，トレーサビリティーは万全

原材料

梱包組立，検査

製造洗浄

クリーンルーム条件下での加工

クリーンルーム内で組み立てて全数検査（気密など）

多段階洗浄

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Product overview

Valves

シリーズ／タイプGEMÜ CleanStar C60 / C67

GEMÜ iComLine C50 / C51 / C57

GEMÜ iComLine PC50 （M ブロック）

GEMÜ PurePlus 600 /677 / 690

1½"，2"600 / 677

構造ダイアフラムバルブグローブバルブグローブバルブダイアフラムバルブダイアフラムバルブ

最高使用圧力 * 0～ 0.6MPa 0～ 0.6MPa 0～ 0.6MPa 0 ～ 0.6 MPa(677 ： 0 ～ 1 MPa) 0～ 0.6MPa

温度 150°C 以下 150°C 以下 150°C 以下 90 °C 以下（677 ： 120 °C 以下） 90°C 以下

呼び径DN 4 ～ DN 25 (¼" ‒ 1¼")

DN 4 ～ DN 25 (¼" ‒ 1¼")

DN 4 ～ DN 25 (¼" ‒ 1¼") DN 15 ～ DN 100 DN15 ～ DN 50

アクチュエーター

手動

空気操作

電動

ボディ材質

PFA

PTFE

PVDF

PP

PVC

ステンレス

シール材質PTFE

FPM

接続

フレア

ピラー

突き合せ溶接

ねじ

その他

ポジショナー

電動式ポジションインジケーター

化学薬品

水処理

排水処理

ウェットプロセス設備

スラリー供給

溶剤供給

＊ゲージ圧力


Measurement systems Connection technology

GEMÜステンレス製バルブ601 / 602 / 605 / 612 / 625 / 650 / 654 / 673 / 687 / 695

GEMÜCheck Valve CV

GEMÜ HydraLineC30 / C31 / C32

GEMÜ SonicLineC38

GEMÜ流量計823 / 824 / 833 / 834 / 873 / 883

GEMÜ TubeStarチューブ

GEMÜ FlareStarフィッテング

ダイアフラムバルブチャッキバルブ圧力計超音波流量計フローメーターロール巻きおよびストレート

各種仕様

0～ 0.6MPa 0～ 0.6MPa 0～ 0.6MPa 0～ 0.6MPa 0 ～ 1.0MPa 0～ 0.6MPa 0～ 0.6MPa

150°C 以下 90°C 以下 60°C 以下 60°C 以下 90°C 以下 150°C 以下 150°C 以下

DN 8 ～ DN 100 DN 4 ～ DN 25 (¼" ‒ 1¼")

DN 4 ～ DN 25 (¼" ‒ 1¼")

DN 6 ～ DN 20 ( ⅜ " ‒ 1") DN15～ 50 DN 4 ～ DN 25

(¼" ‒ 1¼")DN 4 ～ DN 50 (¼" ‒ 2")

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AUSTRALIAGEMÜ Australia Pty. LtdUnit 4 - 8/10 Yandina RoadWest Gosford, NSW 2250Phone: +61-2-43 23 44 93Fax: +61-2-43 23 44 [email protected]

AUSTRIAGEMÜ GmbHEuroparing F15 4012345 Brunn am GebirgePhone: +43 2236 30 43 45-0Fax:+43 2236 30 43 [email protected]

BELGIUMGEMÜ Valves bvba/sprlKoning Albert 1 laan, 64 1780 WemmelPhone: +32 2 702 09 00Fax: +32 2 705 55 [email protected]

BRAZIL / SOUTH AMERICA

GEMÜ Indústria de ProdutosPlásticos e Metalúrgicos Ltda.Rue Marechal Hermes, 114183.065-000 São José dos PinhaisParanáPhone: +55-41-33 82 24 25Fax: +55-41-33 82 35 [email protected]

CANADAGEMÜ Valves Canada Inc.2572 Daniel-Johnson BoulevardLaval, QuebecH7T 2R8Phone: +1-450-902-2690Fax: +1-404-3 44 [email protected]

CHINA GEMÜ Valves (China) Co., LtdNo.518, North Hengshahe Road Minhang District, 201108 ShanghaiPhone: +86-21-2409 [email protected]

DENMARKGEMÜ ApSIndustriparken 16-182750 BallerupPhone: +45 70 222 [email protected]

FRANCEGEMÜ S.A.S1 Rue Jean BugattiCS 99308 Duppigheim67129 Molsheim CedexPhone: +33-3 88 48 21 [email protected]

INTERCARAT1 Rue Jean BugattiCS 99308 Duppigheim67129 Molsheim CedexPhone: +33-3 88 48 21 [email protected]

GERMANYGEMÜ Gebr. Müller GmbH & Co. KGFritz-Müller-Straße 6 - 874653 Ingelfingen-CriesbachPostfach 3074665 Ingelfingen-Criesbach

Phone: +49 (0)7940-12 30Fax: +49 (0)7940-12 31 92 (Domestic) Fax: +49 (0)7940-12 32 24 (Export)[email protected]

Inevvo solutions GmbH & Co. KGFritz-Müller-Platz 174676 Niedernhall-WaldzimmernPhone: +49 (0)7940-12 38 [email protected]

GREAT BRITAIN GEMÜ Valves Ltd.10 Olympic WayBirchwood, WarringtonWA2 0YLPhone:+44-19 25-82 40 44Fax:+44-19 25-82 80 [email protected]

HONG KONGGEMÜ (Hong Kong) Co., Ltd.Room 2015, Tower B, Regent Centre, 70 TA Chuen Ping StreetKwai Chung, N.T., Hong KongP.R. ChinaPhone: +852 6873 8280Fax: +852 6873 [email protected]

INDIAGEMÜ IndiaRepresentative Office 301, K.B. Complex, Rambaug, L.G.Hospital Road, Maninagar,Ahmedabad-380 008Phone: +91-79-25450438 +91-79-25450440Fax: [email protected]

INDONESIAGEMU Valves Pte Ltd(Indonesia Representative Office)Rukan Mangga Dua SquareBlock F17, 2nd FloorJl. Gunung Sahari Raya No. 1Jakarta Utara 14420IndonesiaPhone: +62 (21) - 6231 0035Fax +62 (21) - 2907 [email protected]

IRELANDGEMÜ Ireland Ltd15 Eastgate DriveEastgate Business ParkLittle IslandCo. CorkPhone: +353 (0)21 4232023Fax: +353 (0)21 [email protected]

ITALYGEMÜ S.r.l.Via Giovanni Gentile, 320157 MilanoPhone: +39-02-40044080Fax: [email protected]

JAPANGEMÜ Japan Co., Ltd.2-5-6, Aoi, Higashi-ku, Nagoya, Aichi, 461-0004Phone: +81-52-936-2311Fax: [email protected]

MALAYSIAGEMU VALVES PTE LTD(Malaysia Representative Office)D-8-09, Block D, No. 2AJalan PJU 1A/7AOasis Square, Oasis Damansara47301 Petaling JayaSelangor Darul EhsanPhone: +(603)- 7832 7640Fax: +(603)- 7832 [email protected]

MEXICOGEMU Valvulas S.A. de C.V.German Centre, Av. Santa Fe No. 170 – OF. 5-1-05Col. Lomas de Santa Fe, Del. Alvaro Obregon01210 Mexico, D.F.Phone: +52 55 7090 4161 +52 55 7090 4179

RUSSIA OOO „GEMÜ GmbH“Uliza Shipilovskaya, 28A 115563, MoskauPhone: +7(495) 662-58-35Fax: +7(495) [email protected]

SINGAPOREGEMÜ Valves PTE. LTD.25 International Business ParkGerman Centre #03-73/75Singapore 609916Phone: +65-65 62 76 40Fax: +65-65 62 76 [email protected]

SOUTH AFRICA GEMÜ Valves Africa Pty. LtdCnr Olympic Duel Avenue And Angus Cresent,Northlands Business Park (Stand 379),New Market RoadRandburgPhone: +27 11 462 7795Fax: +27 11 462 [email protected]

SWEDENGEMÜ Armatur ABHeljesvägen 8437 36 LindomePhone: [email protected]

SWITZERLANDGEMÜ GmbH Seetalstr. 2106032 EmmenPhone: +41-41-7 99 05 05Fax: +41-41-7 99 05 [email protected]

GEMÜ Vertriebs AGLettenstrasse 36343 RotkreuzPhone: +41-41-7 99 05 55Fax: +41-41-7 99 05 [email protected]

TAIWANGEMÜ Taiwan Ltd.9F.-5, No.8, Ziqiang S. Rd.Zhubei CityHsinchu County 302, Taiwan (R.O.C.)Phone: +886-3-550-7265Fax: [email protected]

UNITED STATESGEMÜ Valves Inc.3800 Camp Creek ParkwaySuite 120, Building 2600Atlanta, Georgia 30331Phone: +1-678-5 53 34 00Fax: +1-404-3 44 93 [email protected]

ここに掲載されている拠点の他にも、GEMÜは世界各国に販売・サポートネットワークを持っています。

お問い合わせ先:https://www.gemu-group.com/ja_JP/kontakte/

GEMÜ 製造拠点

GEMÜ 販売拠点

GEMÜ の製造拠点＆販売拠点

GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KGFritz-Müller-Straße 6-8 · D-74653 Ingelfingen-CriesbachTel. +49 (0)7940 123-0 · [email protected] www.gemu-group.com 内

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