sau: doi tai nguyen.html): www ...mientayvn.com/Cao hoc quang dien tu/Semina tren...
20
Bạn đang truy cập nguồn tài liệu chất lượng cao do www.mientayvn.com phát hành. Đây là bản xem trước của tài liệu, một số thông tin và hình ảnh đã bị ẩn đi. Bạn chỉ xem được toàn bộ tài liệu với nội dung đầy đủ và định dạng gốc khi đã thanh toán. Rất có thể thông tin mà bạn đang tìm bị khuất trong phần nội dung bị ẩn. ……………………………………………………………………………………… Liên hệ với chúng tôi: [email protected] hoặc [email protected] ……………………………………………………………………………………… Thông tin về tài liệu Số thứ tự tài liệu này là (số thứ tự tài liệu dùng để tra cứu thông tin về giá của nó): 1758A Định dạng gốc: ppt ……………………………………………………………………………………… Chúng tôi không bán tài liệu này do chúng tôi không phải là tác giả của nó. Tập tin có cài pass (bạn sẽ nhận được pass sau khi đã thực hiện theo các yêu cầu ở mục 1, 3, 5, 8, 9, 10 trong liên kết sau: http://mientayvn.com/Trao_doi_tai_nguyen.html ): www.mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/Cac_pp_quang_pho_may_qp_1 756_1758/1758_Stylus_profiler/1758A_stylus_profiler.rar ……………………………………………………………………………………… Các tài liệu được tặng miễn phí kèm theo: www.mientayvn.com/Tai_lieu_cung_chu_de/1758A.doc ……………………………………………………………………………………… Đối với sinh viên, học viên cao học của bộ môn vật lý ứng dụng, khoa vật lí -vật lí kỹ thuật, đại học khoa học tự nhiên TPHCM: gửi cho chúng tôi địa chỉ mail lớp, chúng tôi sẽ cung cấp thông tin để các bạn truy cập miễn phí tài liệu. ……………………………………………………………………………………… Đối với sinh viên khoa vật liệu, đại học khoa học tự nhiên TPHCM: các bạn muốn sử dụng tài liệu này phải có email giới thiệu của một trong các tác giả có bài đăng trên trang web của chúng tôi. Các tác giả này phải công tác tại khoa vật liệu. Trong email giới thiệu, xin ghi thật ngắn gọn, và đầy đủ thông tin, không cần chào hỏi.
Transcript of sau: doi tai nguyen.html): www ...mientayvn.com/Cao hoc quang dien tu/Semina tren...
Bạn đang truy cập nguồn tài liệu chất lượng cao do www.mientayvn.com phát hành.
Đây là bản xem trước của tài liệu, một số thông tin và hình ảnh đã bị ẩn đi. Bạn chỉ xem được toàn bộ tài liệu với nội
dung đầy đủ và định dạng gốc khi đã thanh toán. Rất có thể thông tin mà bạn đang tìm bị khuất trong phần nội dung
bị ẩn.
………………………………………………………………………………………
Liên hệ với chúng tôi: [email protected] hoặc [email protected]
………………………………………………………………………………………
Thông tin về tài liệu
Số thứ tự tài liệu này là (số thứ tự tài liệu dùng để tra cứu thông tin về giá của nó): 1758A
Định dạng gốc: ppt
………………………………………………………………………………………
Chúng tôi không bán tài liệu này do chúng tôi không phải là tác giả của nó.
Tập tin có cài pass (bạn sẽ nhận được pass sau khi đã thực hiện theo các yêu cầu ở mục 1, 3, 5, 8, 9, 10 trong liên kết
sau: http://mientayvn.com/Trao_doi_tai_nguyen.html):
www.mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/Cac_pp_quang_pho_may_qp_1
756_1758/1758_Stylus_profiler/1758A_stylus_profiler.rar
………………………………………………………………………………………
Các tài liệu được tặng miễn phí kèm theo:
www.mientayvn.com/Tai_lieu_cung_chu_de/1758A.doc
………………………………………………………………………………………
Đối với sinh viên, học viên cao học của bộ môn vật lý ứng dụng, khoa vật lí-vật lí kỹ thuật, đại học khoa học tự
nhiên TPHCM: gửi cho chúng tôi địa chỉ mail lớp, chúng tôi sẽ cung cấp thông tin để các bạn truy cập miễn phí tài
liệu.
………………………………………………………………………………………
Đối với sinh viên khoa vật liệu, đại học khoa học tự nhiên TPHCM: các bạn muốn sử dụng tài liệu này phải có
email giới thiệu của một trong các tác giả có bài đăng trên trang web của chúng tôi. Các tác giả này phải công tác tại
khoa vật liệu. Trong email giới thiệu, xin ghi thật ngắn gọn, và đầy đủ thông tin, không cần chào hỏi.
Chi tiết xin xem tại:
http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html
Mục Lục
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
GVHD : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
SVTH : Nguyễn Duy Khánh
Cấu tạo
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
Cấu tạo Stylus Profiler
Camera
Đĩa giữ mẫu
Vít điều chỉnh
Bộ
dịch chuyển
Mũi dò
Nguyên tắc hoạt động
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Tín hiệu ACBộ biến đổi vi sai
tuyến tính
(LVDT)
Mũi dò - Tip
Mẫu
Bộ chuyển đổi A-D
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Độ dày màng
• Bộ khuếch đại
• Bộ lọc
Nguyên tắc hoạt động
Stylus Profiler
Tín hiệu ACBộ biến đổi vi sai
tuyến tính
(LVDT)Mũi dò - Tip
MẫuBộ chuyển đổi A-D
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Độ dày màng
• Bộ khuếch đại
• Bộ lọc
Mũi dò – Tip
• Hình dạng : 2 loại chính : Ball-stylus và Chisel-Stylus
• Kích thước :
* Bề mặt mịn < 2 m
* Bề mặt nhám : 2 – 10 m
• Vật liệu :
* Bề mặt kim loại : Saphere, Ruby
* Bề mặt thuỷ tinh : SiN
• Lực kéo
Ball tip Chisel tip
Ball tip :
• Giảm tín hiệu nhiễu
• Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò
• Sử dụng cho nhiều loại vật liệu
Chisel tip :
• Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao
~1.016mm
~880 m
Nguyên tắc hoạt động
Stylus Profiler
Tín hiệu AC
Bộ chuyển đổi A-D
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Độ dày màng
• Bộ khuếch đại
• Bộ lọc
Ball tip Chisel tip
Ball tip :
• Giảm tín hiệu nhiễu
• Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò
• Sử dụng cho nhiều loại vật liệu
Chisel tip :
• Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao
Mẫu
~1.016mm
~880 mScan direction
Barrier
Height
~880 nm
Nguyên tắc hoạt động
Stylus Profiler
Tín hiệu AC
Bộ chuyển đổi A-D
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Độ dày màng
• Bộ khuếch đại
• Bộ lọc
Ball tip Chisel tip
Ball tip :
• Giảm tín hiệu nhiễu
• Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò
• Sử dụng cho nhiều loại vật liệu
Chisel tip :
• Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao
Mẫu
~1.016mm
~880 mScan direction
Barrier
Height
~880 nm
Nguyên tắc hoạt động
Stylus Profiler
Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT)
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
o RA : Độ gồ ghề trung bình
o RP : Độ lớn đỉnh cao nhất nằm trên đường chuẩn
o RV : Độ lớn vị trí thấp nhất nằm dưới đường chuẩn
o RT : Khoảng cách điểm cao nhất và thấp nhất
o RZ : Độ cao trung bình của 5 đỉnh cao nhất và sâu nhất
L
RV
RP
RT
AR
L
0
1= z dx
L
ZR
i i
5 5
P Vi=1 i=1
1= z + z
5
Z
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 2mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
100 m – 500 m
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Bước lấy mẫu dài không chi tiết
Bước lấy mẫu ngắn nhiễu
Lmax = 2mm
o L 80 m : 0.04 – 0.2 m
o 80 L 400 m : 0.2 m – 1.0 m
o 400 L 2000 m : 1.0 m – 5.0 m
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Bước lấy mẫu dài không chi tiết
Bước lấy mẫu ngắn nhiễu
Lmax = 2mm
o L 80 m : 0.04 – 0.2 m
o 80 L 400 m : 0.2 m – 1.0 m
o 400 L 2000 m : 1.0 m – 5.0 m
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
1
2 3
o 3 2
6WE'P =
R
• Áp suất bề mặt mẫu - tip • Thuỷ tinh – Ceramic
• Ni-P
• R = 0,1 m, W = 1mg
E = 83 GPa : Thuỷ tinh – Ceramic
130 GPa : Ni-P
1140 GPa : Mũi dò kim cương
PG-C = 11,4 GPa và PNi-P = 15 Gpa
lớn hơn độ cứng của vật liệu
Phá huỷ
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số • Chiều dài quét : 30 m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s Số điểm quét = n thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Thủy tinh
Đường ITO
Một số ứng dụng
Thanks for your attention
!
