RAPORTUL DE ACTIVITATE PENTRU ANUL 2013

Institutul Naţional de Cercetare-Dezvoltare pentru

Microtehnologie - IMT Bucureşti

RAPORTUL DE ACTIVITATE

PENTRU ANUL 2013

Director general,

Raluca Müller

Str. Erou Iancu Nicolae 126A, 077190, or. Voluntari, jud. Ilfov, ROMÂNIA Tel: +40-21-269.07.70; +40-21-269.07.74; +40-21-269.07.78; +40-21-269.07.79

Fax: +40-21-269.07.72; +40-21-269.07.76

CUPRINS 1. Datele de identificare…………............................................................................................................ 1 2. Scurta prezentare ………..................................................................................................................... 1

2.1 Istoric 1 2.2 Structura organizatorică (organigrama) 2 2.3 Domeniul de specialitate (conform clasificării CAEN și UNESCO) 2 2.4 Direcţii de cercetare-dezvoltare/obiective de cercetare/priorități de cercetare 2 2.5 Modificări strategice în organizarea și funcționarea IMT Bucureşti 4

3. Structura de Conducere …....................................................................................................... 4

3.1 Consiliul de administraţie 4 3.2 Directorul general 4 3.3 Consiliul științific 4 3.4 Comitetul director 4

4. Situaţia economico-financiară ………................................................................................................ 4

4.1 Indicatori economici 4 4.2 Politicile economice și sociale implementate (costuri/efecte) 5 4.3 Evoluția performanței economice 6

5. Structura resursei umane de cercetare-dezvoltare ........................................................................ 7

5.1 Structura personalului 7 5.2 informații privind activitățile de perfecționare a resursei umane (personal

implicat în procese de formare – stagii de pregătire, cursuri de perfecționare) 8 5.3 informații privind politica de dezvoltare a resursei umane de cercetare-dezvoltare 9

6. Infrastructura de cercetare-dezvoltare, facilități de cercetare ..................................................... 10

6.1 Laboratoare de cercetare-dezvoltare 10 6.2 Infrastructura de cercetare-dezvoltare 43 6.3 Laboratoare de încercări acreditate/neacreditate 46 6.4 Instalații și obiective speciale de interes național 47 6.5 Măsuri de creștere a capacității de cercetare-dezvoltare corelat cu asigurarea

unui grad de utilizare optim 47 7. Rezultatele activității de cercetare-dezvoltare ............................................................................... 48

7.1 Structura rezultatelor de cercetare-dezvoltare 48 7.2 Rezultate de cercetare-dezvoltare valorificate și efecte obținute 48 7.3 Oportunități de valorificare a rezultatelor de cercetare 49 7.4 Măsuri de creștere a capacității de cercetare-dezvoltare corelat cu asigurarea

unui grad de utilizare optim 50 8. Măsuri de creștere a prestigiului și vizibilității IMT Bucureşti ..................................................... 50

8.1. Prezentarea activității de colaborare prin parteneriate 50 8.2. Prezentarea rezultatelor la târgurile și expozițiile naționale și internaționale 59 8.3.Premii obținute prin proces de selecție/distincții, etc. 60 8.4 Prezentarea activitătii de mediatizare 62

9. Surse de informare și documentare din patrimoniul științific și tehnic al IMT Bucureşti ......... 63 10. Concluzii .......................................................................................................................................... 63 11. Perspective/priorități pentru perioada următoare de raportare ................................................. 64

Organigrama IMT București ………………………................................................................................ 66 Anexa 1 Raport de activitate al Consiliului de Administratie al IMT București pentru anul 2013 ........... 67 Anexa 1.1. Raportul Directorului general 72 Anexa 2 Lista contractelor IMT Bucureşti .............................................................................................. 79 Anexa 3 Lucrări ştiinţifice/tehnice publicate/citate în reviste de specialitate cotate ISI .......................... 87 Anexa 4 Brevete de invenţie solicitate/acordate în anul 2013 .............................................................. 113 Anexa 5 Produse/servicii/tehnologii rezultate din activităţi de cercetare, bazate pe

brevete, omologări sau inovații proprii ...................................................................................... 114 Anexa 6 Lucrări ştiinţifice/tehnice în reviste de specialitate fără cotaţie ISI ......................................... 123 Anexa 7 Comunicări ştiinţifice prezentate la conferințe internaţionale ................................................. 124 Anexa 8 Studii prospective şi tehnologice, normative, proceduri, metodologii și planuri

tehnice, noi sau perfecţionate, comandate sau utilizate de beneficiar ...................................... 128 Anexa 9 Parteneri internaționali ai IMT Bucureşti în proiectele PC7

și în legătură cu PC7 (related FP7) ........................................................................................... 129

1

1. DATELE DE IDENTIFICARE

1.1. Denumirea: Institutul Naţional de Cercetare-Dezvoltare pentru Microtehnologie - IMT Bucureşti

1.2. Actul de înfiinţare, cu modificările ulterioare: HG 1318/1996 publicat în MO nr.336 din 12.11.1996, modificat prin HG 998/2006, publicat în MO 701/16.08.2006 şi HG 140/10.04.2013, publicat în MO nr. 205/10.04.2013.

1.3. Numărul de înregistrare în Registrul potenţialilor contractori: 1897

1.4. Adresa: Voluntari, Str. Erou Iancu Nicolae nr. 126 A, cod postal 077190, Jud. Ilfov

1.5. Telefon, fax, pagina web, e-mail: Tel: 021.269.07.77; 021.269.07.78; Fax: 021.269.07.72; Pagina web: www.imt.ro, E-mail: [email protected]; [email protected]

2. SCURTĂ PREZENTARE 2.1 Istoric INCD pentru Microtehnologie - IMT București a fost înființat ca institut național în noiembrie 1996, prin fuziunea dintre Institutul de Microtehnologie - IMT (înființat în 1991 ca Centru de Microtehnologie, devenit institut in 1993) și Institutul de Cercetări pentru Componente Electronice - ICCE (înfiinţat în 1969).

In anul 2013 institutul a sarbatorit 20 de ani de cand, ca urmare a Hotararii de Guvern din 24 iuilie 1993,

activeaza sub numele de IMT (Institutul de Microtehnologie), prin reorganizarea Centrului de Microtehnologie (CMT) care se înfiinţase cu doi ani în urmă. Acad. Dan Dascalu - pe atunci conducătorul colectivului de Electronică Fizică din Facultatea de Electronică şi Telecomunicaţii a Institutului Politehnic Bucureşti (Universitatea „Politehnică” din Bucureşti, UPB) - gândise crearea CMT ca pe un răspuns la o necesitate apărută în noul context naţional: competențele dezvoltate în grupurile industriale şi de cercetare-dezvoltare în domeniul tehnologiilor microelectronice trebuiau menţinute şi valorificate la o scară performantă. Soluţia a fost reorientarea spre un domeniu de cercetare nou pe plan internaţional, microtehnologia, sau tehnologia microsistemelor.

Imagini de la evenimentul organizat cu prilejul aniversarii a 20 de ani de activitate IMT Bucureşti

Institutul de Microtehnologie IMT

(înființat în 1991)

Institutul de Cercetări pentru Componente Electronice ICCE (înființat în 1969)

Institutul Național de Cercetare Dezvoltare pentru Microtehnologie

IMT-București (înființat în 1996)

2

INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti funcționează în coordonarea Ministerului Educaţiei Naționale si a promovat încă de la înfiinţare cercetarea în domeniul microtehnologiilor, fiind primul institut din Europa de est cu acest profil și principalul actor în domeniu în România. Institutul a dezvoltat cercetări multidisciplinare, în special în domeniile prioritare ale programelor europene (ICT, NMP, Health etc.) si nationle (in PNII: 1. Tehnologia Informatiei si Comunicatii; 7. Materiale, procese si produse inovative; 8. Spatiu si securitate; 4. Sanatate) cu aplicaţii în industriile high tech, dar și în cele tradiţionale.

Activitatea de cercetare a fost integrată cu cea de educație (supervizare doctoranzi, laboratoare experimentale pentru studenţi, cursuri de master, lucrări de diploma si disertaţii, „internship” pentru studenţi străini, post-doc în cadrul reţelelor Marie Curie si proiectelor de tip POSDRU) in colaborare cu Universitatea „ Politehnica” Bucuresti și cu cea de colaborare cu industria (firme multinationale: Honeywell Romnaia, Infineon Technologies Romania sau Thales TRT Paris) si transfer tehnologic, realizat prin CTT- Băneasa (Centrul de Transfer Tehnologic in microinginerie, in fiinta in 2005) și Parcul Ştiinţific și Tehnologic pentru micro si nanotehnologii MINATECH-RO, infiintat in 2006.

Experienţa îndelungată în cooperare si „networking” la nivel naţional și internaţional este probată prin numeroase proiecte naționale și internaționale: 15 proiecte în Programul Cadru 6 (FP6), 12 proiecte FP7, 10 proiecte related FP7 (4 ENIAC- nanoelectronica, 6 ERA-NET) si Leonardo da Vinci, COST, LIFE +, dar și proiecte bilaterale interguvernamentale.

IMT Bucureşti promovează parteneriatele la nivel naţional și internaţional in domeniul micro-nano-bio-tehnologiilor, al nanoelectronicii si fotonicii cu instituţii academice și firme de prestigiu. Valorificarea rezultatelor cercetării se face prin publicaţii ştiinţifice, brevete, parteneriate în vederea accesării fondurilor europene și naţionale, cooperări cu firme, în special din domeniul micro-nanoelectronicii și al nano- biotehnologiilor.

2.2 Structura organizatorică (organigrama) Structura organizatorica a IMT Bucuresti a fost actualizata, conform ordinului MECTS nr. 5736 din 26.01.2010

(Anexa A – pagina 66). 2.3 Domeniul de specialitate al INCD pentru Microtehnologie (conform clasificării CAEN și UNESCO):

Clasificare UNESCO • 3307 - Electronica

Clasificare CAEN • 7219 - Cercetare-dezvoltare în alte ştiinţe naturale şi inginerie; • 6209 - Alte activităţi de servicii privind tehnologia informaţiei; • 7211 - Cercetare-dezvoltare în biotehnologie; • 7220 - Cercetare-dezvoltare în ştiinţe sociale şi umaniste; • 8532 - Învăţământ secundar, tehnic sau profesional; • 8559 - Alte forme de învăţământ.

2.4 Direcții de cercetare-dezvoltare / obiective de cercetare / priorități de cercetare 2.4.1 Directii de cercetare-dezvoltare

A. Dezvoltarea componentelor si sistemelor nanoelectronice, fotonice şi de microunde

• Dezvoltarea de noi tehnici de micro/nanofabricatie a componentelor si microsistemelor utitilizand atat tehnologia siliciului cat si semiconductori de banda interzisa larga (GaN, AlN), precum si materiale dielectrice, polimerice si hibride, ceramice si piezelectrice. • Dezvoltarea de noi tehnici proiectare/simulare si caracterizare materiale, micro/nano-structuri si si sisteme. • Noi concepte si structuri de dispozitive (nano-electronice, fotonice, de microunde) si microsisteme inteligente (Optical MEMS, RF-MEMS)

B. Materiale avansate

• Noi materiale nanostructurate (semiconductoare, organice, hibride –organic/anorganic) cu proprietati controlabile, noi functionalitati si performante imbunatatite, fara impact negativ asupra sanatatii si mediului. • Sinteza şi procesarea materialelor cu proprietăţi speciale electronice, mecanice şi termice, folosite ca substraturi pentru micro-nanosisteme avansate, cu accent special pe grafenă, carbură de siliciu, diamant nanocristalin. • Materiale și biomateriale avansate pentru creșterea calitãții vieții: nano-materiale, bio-materiale si materiale hibride (organic-inorganic).

3

• Micro si nanocompozite pentru constructii, aplicatii industriale, transporturi. • Dezvoltarea de tehnici avansate de caracterizare nanomateriale si nano-structuri.

C. Dezvoltarea de noi tehnologii • Dezvoltarea de noi tehnologii de fabricație convenționale și neconvenționale (incluzand “soft lithography”, tehnologii de replicare) pentru obtinerea de produse ieftine in cantitati mari. • Micro- si nanomecanica, tehnologii neconventionale in mecanica de mare precizie. • Dezvoltarea de tehnologii de integrare heterogena a microstructurilor si sistemelor si a tehnicilor de de montaj, micromontaj, asamblare rapidã

D. Integrarea şi convergenţa tehnologiilor • Integrarea micro- si nanotehnologiilor si dezvoltarea unui set de tehnologii mixte (ex: microfluidica/ICT/micro-nano, bio/ICT/micro-nano, chem-bio/ICT/micronano, RF MEMS/NEMS) • Nano-bio-tehnologii: strudiul interactiei nano-bio; combinarea nano-chimiei cu nano-biologia, microfluidica in scopul realizarii de biosenzori si biocipuri.

Domeniile de cercetare si dezvoltare prezentate mai sus, pot fi impartite in domenii principale, respectiv secundare, dupa cum urmeaza:

• Domenii principale de cercetare si dezvoltare: noi procese, structuri, sisteme avansate in domeniul micro si nanotehnologiilor si microingineriei: microsenzori si microsisteme electro-mecanice de radio frecventa (RF-MEMS), micro-nanosisteme opto-electro mecanice (MOEMS), nanoelectronica (inclusiv dispozitive bazate pe grafena si CNT), micro-nanosisteme pentru aplicaţii biomedicale (BIO-MEMS), incluzând laborator pe un chip si “microarrays”, microtraductori (inclusiv reţele de microsenzori si senzori inteligenţi) cu aplicaţii in tehnologia informaţiei şi comunicaţiilor, ştiinţele vieţii, mediu, agricultura, spatiu si securitate.

• Domenii secundare de cercetare si dezvoltare: nanomateriale, microrobotica, structuri si dispozitive pentru stocarea si conversia energiei (celule solare), senzori magnetici.

De notat ca principalele domenii de cercetare ale INCD pentru Microtehnologie - IMT Bucuresti sunt micro-nanoelectronica, nanotehnologiile si materialele avansate, care se regasesc intre Tehnologiile Generice Esentiale (TGE au KETs), cu rol important in cadrul programului „Horizon 2020”.

De asemenea, IMT Bucuresti oferă o serie de servicii: • Servicii de structurare si caracterizare la scara micro si nanometrica (procese specifice

microelectronice- desfăşurate in camera Curata), fiind sigurul institut naţional care deţine o astfel de dotare si expertiza specifica micro-nanoelectronicii. Facilitate tehnologica a institutului IMT- MINAFAB permite realizarea de micro si nanostructuri experimentale si fabricaţie de serie mica. La acestea se adaugă servicii de fabricare de masti, dar si EBL (Electron Beam Litography: litografie la scara nanometrica).

• Servicii de simulare si proiectare, testare, fiabilitate si încapsulare; Microproductie: serii mici la comanda in domeniul dispozitivelor/circuitelor electronice si al senzorilor. Institutul asigura servicii prin intermediul facilitaţii IMT-MINAFAB (MIcro and NAnoFABrication). Informaţie detaliata apare la adresa www.imt.ro/minafab

• Servicii in domeniul educaţiei: organizare de cursuri de master in cooperare cu UPB, laboratoare pentru studenţi – in special din UPB;

• Organizarea de evenimente ştiinţifice (de exemplu Conferinţa Internaţionala de Semiconductoare (IEEE) CAS- a 36- ediţie in 2013; Seminarului Naţional de Nanostiinta si Nanotehnologie - ediţia a 12-a in 2013, s.a.),

• Editare de publicaţii ştiinţifice: Seria “Micro- Nanoengineering”, sub egida Editurii Academiei Romane, Romanian Journal for Information Science and Technology (ROMJIST).

2.4.2 Obiectivele de cercetare ale institutului

• Cercetari in domeniul de activitate al institutului orientate spre domenii cum ar fi: ICT, Nanotehnologii, in care institutul a dovedit excelenta (probata prin participarea in numeroase proiecte europene, primul centru de Excelenta aprobat prin programul REGPOT, dupa ce Romania a devenit membra EU, in domeniul dispozitivelor de radiofrecventa si fotonice cu aplicatii in comunicatii); locul 4 in Romania in absorbtia fondurilor europene pentru domeniul ICT.

• Cercetari in domeniul tehnologiile micro – nanoelectronice si fotonice, tehnologii generice esentiale si industriale care conduc la fabricarea generatiei viitoare de sisteme inteligente miniaturizate, integrate.

• Cercetari in domeniul materialelor si dsipozitivelor pe baza de carbon, care vor fi promovate prin noua infrastructura realizata prin Fonduri Structurale „CENASIC” (in curs de finalizare), crae av beneficia de echipamente de fabricatie si caracterizare „state of the art”.

• Cercetari in domeniul biosenzorilor si al microfliuidicii

2.4.3 Prioritati de cercetare

4

• Participarea la proiecte de cercetare in Horizont 2020 in domniile de activitate ale institutului; • Participarea la call-urile nationale care vor fi lansate prin noua strategie a Romaniei pentru perioada

2014-2020; • Participarea cu propuneri de proiecte in noua intiatiativa europeana PPP ECSEL (care reuneste

platformele europene: ENIAC, ARTEMIS si EPoSS) si care promoveaza leadershipul european in dezvoltarea tehnologica, proiectare si productie in domeniul micro nano-electronice si fotonice;

• Participarea la initaivele europene pentru retele de infrastructuri in domeniul nanotehnologiilor /nanoelectronicii si a sistemelor inteligente;

• Dezvoltarea de cercetari in domeniul materialelor si dispozitivelor pe baza de carbon, in special grafena si SiC, in conformitate cu directiile de dezvoltare ale noului centru al IMT, finantat prin fonduri structurale;

• Cercetari cu aplicativitate industriala, prin cooperare cu firmele romanesti, cele multinationale din Romania sau internationale; analiza posibilitatii initierii unor contracte pentru linii pilot;

• Reorientarea catre domenii high tech in stransa legatura cu domeniul spatiu si secutitate, pentru care institutul are potential in infrastructura si expertiza stiintifica a cercetatorilor.

2.5 Modificări strategice în organizarea și funcționarea INCD

În anii 2013 și 2012 nu au avut loc fuziuni, divizări sau transformări.

3. STRUCTURA DE CONDUCERE

3.1 Consiliul de administratie

Președinte: Dr. Raluca Müller, Director General IMT Bucureşti

Membri:

1. Mircea Dragoman, Președintele Consiliului Științific al INCD pentru Microtehnologie 2. Marilena Geambașu, Șef serviciu, Ministerul Educației Naționale 3. Irina Avramescu, Consilier, Ministerul Finanțelor Publice 4. Alexandru Botu, Director tehnic IPA SA 5. Sorin Mircea Axinte, Director MINATECH Administrator SRL 6. Carmen Elena Cirstea, Consilier, Ministerul Muncii, Familiei, Protecției Sociale și Persoanelor vârstnice

Raportul de activitate al consiliului de administrație este prezentat ca Anexa 1 a prezentului raport.

3.2 Directorul general: Dr. Raluca Müller

Raportul Directorului general cu privire la execuția mandatului și a modului de îndeplinire a indicatorilor de performanță asumați prin contractul de management este prezentat ca anexă la raportul de activitate al CA (Anexa 1.1).

3.3 Consiliul științific

1. Dr. Mircea Dragoman – Preşedinte al Consiliului Ştiinţific 2. Dr. Alexandru Muller – membru CS 3. Acad. Dan Dascălu – membru CS 4. Dr. Raluca Müller – membru CS 5. Dr. Carmen Moldovan – membru CS

3.4 Comitetul director

1. Director general: Dr. Raluca Müller 2. Director tehnic: Dr. Nicolae Marin (de la 1 decembrie, Dr.Adrian Dinescu) 3. Director economic: Ec. Domnica Geambazi 4. Director Departament: Dr. Radu Cristian Popa

4. SITUAŢIA ECONOMICO-FINANCIARĂ

4.1 Indicatorii economici

Capitol Subcapitol Anul 2013 Anul 2012

Patrimoniu stabilit pe baza Total, din care: 54.826.534 61.400.189Active imobilizate 16.031.380 21.022.027

5

situației financiare anuale la 31 decembrie

Active circulante 38.795.154 40.378.162

Venituri totale Total, din care: 26.198.057 29.358.432Venituri realizate prin contracte de cercetare-dezvoltare finanțate din fonduri publice (Lista contractelor este prezentatã în Anexa 2), din care: - Fonduri publice naționale - Fonduri publice internaționale - Fonduri structurale

23.892.706

19.650.266 1.903.594 2.338.670

27.329.112

20.776.285 1.777.969 4.774.858

Venituri realizate prin contracte de cercetare-dezvoltare finanțate din fonduri private

0 0

Venituri realizate din activitãți economice (servicii, microproducție, exploatarea drepturilor de proprietate intelectualã), din care: - Venituri din închirieri - Venituri din servicii, alte servicii

372.912

141.022 231.890

420.558

170.062250.496

Subvenții/transferuri, din care: - Venituri de la bugetul consolidat al statului - Venituri de la alți creditori

1.811.325 1.811.325

0

1.442.1911.442.191

0Venituri financiare 121.290 166.571

Cheltuieli totale 26.082.474 29.317.982Profitul brut 115.583 40.450Pierderea brutã - -Situația arieratelor Total, din care:

- Venituri de la bugetul consolidat al statului - Venituri de la alți creditori

152.146 152.146

-

609.607609.607

-

4.2 Politicile economice și sociale implementate

INCD pentru Microtehnologie - IMT Bucuresti a implementat, de-a lungul anilor, politici sociale si economice, concretizate prin diverse programe, activitati, masuri, menite sa contribuie la dezvoltarea angajatilor sai. Mobilizarea eforturilor institutionale si financiare ale institutului au constituit factori determinanti pentru transpunerea in realitate a acestor obiective.

Prin prisma principiilor sociale sustinute, IMT Bucuresti a incercat sa promoveze mai multe politici economice in scopul dezvoltarii si obtinerii rezultatelor scontate, conform strategiei de cercetare:

6

• IMT Bucuresti sustine invatarea continua si promoveaza noi forme de organizare a muncii, prin acces periodic la formare profesionala a angajatilor sai. Anual se realizeaza planuri de formare profesionala, care se aduc la cunostinta tuturor salariatilor.

• IMT Bucuresti a dezvoltat o strategie speciala de atragere si sprijin pentru tinerii absolventi de facultate, masteranzi sau doctoranzi, cu inclinatii si aptitudini spre cercetarea stiintifica, pentru care asigura frecvent participarea la diverse activitati de formare, practica de vara, conferinte, stagii, pregatirea lucrarilor de diploma, disertatii, etc.

• De asemnea, sunt incurajati si sustinuti sa participe la cursuri de formare profesionala si angajatii care executa functii adimintrative.

• IMT Bucuresti a sustinut participarea cercetatorilor din institut la o mare varietate de surse de finantare, in special programele europene si internationale de cercetare, axandu-se in prezent, pe noul program european „Horizon 2020”.

• De asemenea, a fost formată o echipã de management economic eficientã, continand personal specializat pentru operatiile economice si avand la dispozitie pachete specializate de programe cu subiect economic. Aceasta actiune a asigurat flexibilitatea institutului in gasirea unor surse alternative de finantare, inclusiv comenzi din industrie. Acestea, chiar dacă avand in prezent un volum redus, pot deveni surse consistente de finantare in viitorul apropiat.

• Este in curs actiunea de declarare a celor mai importante infrastructuri ale institutului drept infrastructuri de interes national, astfel incat sa primeasca o finantare de supravietuire (in regim cuasi-continuu). Aceasta actiune ar asigura depasirea unui punct critic slab din punct de vedere economic al institutului, si anume costurile mari asociate cu operarea infrastructurii tehnologice.

• Prin Proiectul din fonduri structurale in curs de finalizare, institutul va dispune de o noua infrastructutura dedicata unor cercetari avansate (CENASIC), prin care se vor crea 10 noi locuri de munca.

• Este sustinuta participarea la conferinte, pentru prezentarea rezultatelor cercetarii si pentru initierea de parteneriate cu alte institute din diverse tari etc

• Exista o preocupare constanta de a avea aliante strategice cu diferite firme din domeniul high-tech. De asemenea, IMT Bucuresti s-a asociat si a devenit in 2013 membru constitutiv al Cluster-ului “Măgurele High Tech Cluster” si mebmbru fondator al asociatiei „ELI-NP CLUSTER INOVATIV”.

• Cooperarea cu Camera de Comert si Industrie a Municipiului Bucuresti se inscrie in eforturile mai largi pentru dezvoltarea colaborarii cu mediul de afaceri (alaturi de perspectiva de cooperare in cadrul proiectului transfrontalier romano-bulgar, initiat in aprilie 2013, destinat crearii unui centru de servicii pentru firmele care actioneaza in domeniul micro si nanotehnologiilor), incercand sa se depaseasca inertia in care se afla acest mediu in ceea ce priveste colaborarea cu cercetarea.

• Cooperare constanta cu firma Honeywell Romania (oficializata in anul 2009) - servicii si acces in spatiul tehnologic.

4.3 Evoluția performanței economice

Din analiza indicatorilor economici prezentati in cap. 4.1 se observa ca profitul brut al institutului a inregistrat o

crestere, de cca 186% (de la 40.450 lei la 115.583 lei). Acest rezultat denota o mai buna gestionare a resurselor financiare, in conditiile in care, in anul 2013 s-a inregistrat o scadere a patrimoniului total de 10,7%, datorata in cea mai mare parte scaderii activelor imobilizate de 23,7%, intrucat activele circulante au scazut cu numai 4%.

De remarcat si situatia mult imbunatatita a arieratelor, care au scazut cu 75% (de la 609.607 lei, la 152.146 lei).

Veniturile realizate din contracte de cercetare-dezvoltare au scazut cu cca 13,3% fata de cele din anul 2012 (de la 27.329.112 lei, la 23.692.539 lei). Acest lucru poate fi explicat prin finalizarea in anul 2012 unor contracte de fonduri structurale (la totalul carora apare o scadere cu 51%), intrucat contractele din fonduri nationale au scazut cu doar 5,4%

Reducerile la contractele din fonduri nationale provin din reducerea cu 55% a proiectelor de la programul IDEI, aflate in curs de desfasurare, a celor de parteneriate.

O alta explicatie pentru reducerea veniturilor din contracte de cercetare-dezvoltare (CD) o reprezinta reducerea in 2013, fata de 2012, a procentajului din veniturile CD ale anulului precedent pe care o reprezinta finantarea nucleu: de la 35.56% in 2012 (finanare nucleu de 9.824.360 lei, la ventiuri CD de 27.632.990 lei in anul 2011), la 30,74% in 2013 (finantare nucleu de 8.845.706 lei, la venituri CD in 2012 de 28.771.303 lei).

Pe de alta parte, chiar in conditiile reducerii veniturilor totale din CD, veniturile din fonduri internationale au crescut cu 7%. De altfel, intr-un raport al Comisiei Europene care include date legate de participarea Romaniei in FP7 („Digital Agenda Scoreboard 2013”) pentru perioada 2007-2012, pe tematica de tehnologia informatiei si

7

comunicatiilor - ICT, IMT Bucuresti se afla pe locul 4 intre institutiile din Romania, iar intre institutele de cercetare este pe locul 1.

Trebuie mentionat si faptul ca in anul 2013 a avut loc un concurs pentru proiecte nationale in cadrul

programului „Parteneriate”, al carui rezultat va fi anuntat abia in anul 2014. Ne asteptam ca INCD pentru Microtehnologie sa castige finantarea mai multor proiecte in cadrul acestui concurs, ceea ce va mari semnificativ suma obtinuta din fonduri publice nationale.

De remarcat ca in anul 2013 IMT-Bucuresti este coordonator sau partener intr-un numar de 9 proiecte de tip STAR, finantate de Agentia Spatiala Romana, institutul avand potential uman si tehnologic pentru implicarea in domeniul spatial, fapt ce a contrabalasnat o parte din sumele reduse in cadrul proiectelor din fonduri nationale PN II.

In plus, in anul 2014 are loc primul concurs de proiecte europene din cadrul programului „Horizon 2020”, in care institutul este implicat ca partener intr-o serie de propuneri cu sanse de a fi finantate. Deci premisele pentru anul urmator sunt bune.

5. STRUCTURA RESURSEI UMANE DE CERCETARE-DEZVOLTARE

5.4 Structura personalului Total personal: 144, din care:

a. personal de cercetare-dezvoltare atestat cu studii superioare:

Defalcarea pe grade științifice a personalului de cercetare-dezvoltare atestat

2013 2012

Cercetători ştiinţifici gradul I 17 17 Cercetători ştiinţifici gradul II 12 14 Cercetători ştiinţifici gradul III 32 27 Cercetători ştiinţifici 11 12 Asistenti cercetare 5 5 Total cercetatori stiintifici 77 75 Ingineri de dezvoltare tehnologică gradul I 2 2 Ingineri de dezvoltare tehnologică gradul II 1 1 Ingineri de dezvoltare tehnologică gradul III 2 2 Ingineri de dezvoltare tehnologică 3 1 Total ingineri de dezvoltare tehnologica 8 6

Total personal de cercetare-dezvoltare atestat 85 87

8

Personal de cercetare atestat 2013 (77 cercetatori)

17

12

32

11

5

Cercetători ştiinţifici gradul I

Cercetători ştiinţifici gradul II

Cercetători ştiinţifici gradul III

Cercetători ştiinţifici

Asistenţi de cercetare

De notat cresterea numarului de cercetatori in 2013 fata de 2012, prin angajarea de tineri si promovarea

prin concurs pentru CS si CS III.

Defalcarea pe categorii de vârstă a personalului de cercetare-dezvoltare atestat

2013 2012

până în 35 ani 24 23 Între 35-50 ani 28 29 Între 50-65 ani 27 32 peste 65 ani 6 3

Total personal de cercetare atestat 85 87

• Număr conducători de doctorat: 1 (2013) / 1 (2012) • Număr de doctori: 51 (2013) / 49 (2012) • Numar masteranzi: 3 • Numar doctoranzi: 12 • Numar teze de doctorat sustinute in 2013 : 2

In anul 2013 a fost finalizat un proiect POSDRU pentru studii postdoctorale, “Dezvoltarea resursei umane prin cercetări postdoctorale in domeniul micro si nanotehnologiilor”, care a asigurat efectuarea unui numar de 17 stagii de pregătire post-doctorale pentru cercetatorii din institut.

5.5 Informații privind activitățile de perfecționare a resursei umane (personal implicat în procese de

formare – stagii de pregătire, cursuri de perfecționare)

Nr Crt

Nume Curs Tip curs Tara Perioada Costuri

Lei

1. Dana Cristea Dan Vasilache

"How to write successful proposals for ESA R&D activities"

Stiintific Romania 23.01.2013- 25.01.2013

0

2. Victor Leca Tehnica de depunere prin PLD si aplicatii

Stiintific Olanda 29.01.2013-03.02.2013

9100

3.

Adrian Dinescu Seminar de litografie cu fascicul de electroni Raith NANO 2013

Stiintific Germania 24.02.2013-27.02.2013

626

4. Victor Moagar Poladian Catalin Tibeica Rodica Voicu George Boldeiu

Training Ansys MAXWELL Stiintific Romania, Bucuresti

Mai- 2013 0

5. Stela Odagiu Curs “Revisal 2013. Proceduri de control in domeniul relatiilor de munca”– 7 ore

Administr. Romania, Bucuresti

17.04.2013 06.11.2013

300 300

6. Florin Comanescu Irina Popescu

Sisteme distribuite servicii web si tehnologii de

Stiintific Romania, Bucuresti

Iunie-2013 0

9

Florian Pistritu Dragos Varsescu Andrei Ghiu Razvan Pascu Stefan Iulian Enache Angela Baracu Andreea Oprisa Adrian Anghelescu Rodica Voicu Octavian Ligor Cristina Pachiu

dezvoltare

7. Marius Andrei Avram Vasile Dumitrescu Lucica Stan Mariana Bratan

Operare/mentenanta pentru masina de trasare DISCO DAD322

Stiintific Romania, Bucuresti

23.07.2013- 25.07.2013

0

8. Alina Cristina Bunea Alexandra Stefanescu Ioana Giangu Angela Baracu Rodica Voicu Catalin Tibeica Razvan Pascu Cosmin Obreja Radoi Antonio Radu Popa Iuliana Mihalache

Tutorial ESSDERC Stiintific Romania, Bucuresti

16.09.2013 3404,25

9. Marius Andrei Avram Marioara Avram

Dry processing for Nanoelectronics and micromechanics: deposition and etching

Stiintific Germania 12.09.2013-13.09.2013

1800

10 Claudia Roman Seminar “Relatiilor Publice, Comunicare, Management al crizei”.

Administr. Romania 01.11.2013- 02.11.2013

1000

11 Violeta Ermina Dehalt Auditor intern in sectorul public - 40 de ore


11.10.2013-15.10.2013

0

12 Adina Bragaru

Stagiu de pregatire in cadrul proiectului bilateral Romania-Argentina

Stiintific Argentina 10.11.2013-10.12.2013

8095

13 Stela Culic Formare “Consilieri juridici in domeniul cercetarii”


14.11.2013- 15.11.2013

0

TOTAL 2013 = 24.625,25 lei

În total, în anul 2013, au beneficiat de activități de perfecționare a resursei umane un număr de 38 de persoane, care au participat la 13 activitati (stagii, cursuri etc.) suma totală cheltuită de institut fiind de 24.625,25 lei. Faptul ca aceasta suma este mai mica decat cea din 2012 (49.883 lei) se explica prin aceea ca pentru multe dintre cursurile din 2013 costurile au fost suportate de catre organizatori.

5.6 Informații privind politica de dezvoltare a resursei umane de cercetare-dezvoltare

Politica institutului de dezvoltare a resursei umane de cercetare-dezvoltare este un punct principal al strategiei de dezvoltare a INCD pentru Microtehnologie.

Principalele mijloace prin care se atrage şi se menţine în institut un personal de cercetare de nivel înalt (inclusiv cercetători români cu experienţă de lucru în străinătate sunt:

• Dinamica şi flexibilitatea direcţiilor strategice de cercetare ale institulutui; • Calitatea, diversitatea şi funcţionalitatea infrastructurii experimentale; • Condiţii atractive de muncă, inclusiv salarii atractive; • Crearea unor oportunități pentru dezvoltarea unei cariere științifice în domeniul de cercetare în care

activează, cum ar fi utilizarea unor echipamente experimentale avansate (state of art), colaborarea cu consorţii internaţionale în proiecte europene, activităţi doctorale şi post-doctoral, cursuri de pregătire profesională în ţară sau în străinătate etc.;

10

• Dobândirea unor cunoștințe avansate, a unor metode și procedee noi în domeniul de activitate sau în domenii conexe, prin organizarea în institut de cursuri de perfectionare profesională pentru salariați, cursuri susținute de specialiștii proprii si de tip „hands on training”

• Incurajarea/indrumarea cercetatorilor pentru pregatirea si trimiterea de lucrari la reviste ISI bine cotate; • Incurajarea/indrumarea cercetatorilor pentru trimiterea de lucrari sau rezumate la

conferinte/simpozioane, etc. cu optarea pt „prezentare orala” si inscrierea tinerilor la concursurile „cea mai buna lucrare a unui cercetator tanar”

• Antrenarea tinerilor pentru pregatirea unor propuneri de proiecte la competitiile nationale si internationale

• Promovarea profesionala prin organizarea de concursuri de atestare în funcții și grade profesionale de cercetare-dezvoltare, pentru creșterea numărului de cercetători atestați;

• Atragerea și menținerea în cadrul institutului a cercetătorilor cu experiență si a unor tineri romani care au obtinut doctorate in universitatii de prestigiu din strainatate

• Organizarea de concursuri pentru ocuparea posturilor de cercetător pentru angajarea unor cercetători tineri, unii dintre ei după efectuarea în institut a lucrărilor de laborator pentru cursurile de masterat sau după realizarea în institut a lucrării de diplomă (există 3 exemple de acest tip pentru anul 2013);

• Susținerea salariaților în vederea completării studiilor universitare/postuniversitare, prin acordarea de programe flexibile.

• O acțiune în curs este aceea de a abilita un număr de cercetători de excepție din institut să conducă studii doctorale, în colaborare cu Universitatea Politehnica București. Deja, cercetători din institut fac parte din comisiile care monitorizează desfăşurarea pregătirii doctoranzilor

• Organizarea practicii de vară pentru studenţi de la Universitatea Politehnica Bucureşti (în 2012 şi 2013) • Se intenționează promovarea unor oferte de stagii în IMT sau de schimb de personal cu industria, în

funcție de interesul arătat pentru o astfel de acțiune (un exemplu ar fi Infineon Technologies Romania).

Pentru personalul suport tehnic, se urmăreşte obținerea unei calificări profesionale care să asigure îndeplinirea sarcinilor de serviciu. Sunt organizate actiuni de training pentru operarea/intretinerea echipamentelor complexe.

6. INFRASTRUCTURA DE CERCETARE-DEZVOLTARE, FACILITĂȚI DE CERCETARE

6.1 Laboratoarele de cercetare-dezvoltare

Laboratoarele de cercetare-dezvoltare aparțin de Departamentul de cercetare științifică și tehnologică și sunt structurate în 4 centre, care grupează 10 laboratoare de cercetare-dezvoltare. Unele dintre laboratoarele de cercetare-dezvoltare și-au creat în subordine laboratoare experimentale, care sunt construite în jurul unuia sau mai multor echipamente performante, achiziționate în ultimii ani.

În continuare sunt prezentate cele patru centre, laboratoarele de cercetare-dezvoltare pe care le conțin, precum și laboratoarele experimentale organizate în diferitele laboratoare de cercetare-dezvoltare.

Conceptul de laborator experimental descrie un echipament important sau un grup de echipamente cu o anumită funcționalitate, care furnizează un număr de servicii științifice și /sau tehnologice. Nu este o entitate în diagrama organizațională, ci doar o resursă funcțională. Echipamentele dintr-un laborator experimental sunt operate de unul sau mai mulți cercetători sau ingineri de dezvoltare, iar facilitatea este deschisă tuturor utilizatorilor, din institut sau din alte oganizații. S-a adoptat această soluție pentru că infrastructura experimentală a institutului s-a dezvoltat rapid în perioada 2006-2009, ca rezultat al unui mare număr de proiecte propuse de cercetători individuali (in special proiecte de tip CAPACITATI sau MODUL IV, dar si de tip cercetare - Parteneriate). Conceptul a avut succes, fiind create un mare număr de laboratoare experimentale, care au devenit vizibile în cadrul centrului IMT-MINAFAB. Laboratoarele experimentale au un grad de autonomie, in limitele unor reguli generale stabilite la nivelul institutului, reguli care pleaca de la asigurarea unui standard inalt de exploatare, obligativitatea de a asigura accesul colectivelor CD (direct sau indirect), sprijinul institutului asigurat prin ”centrele de suport”, instruire si recrutare de personal etc.

a) Centrul de cercetare de excelență „Micro și nanosisteme pentru radiofrecvență și fotonică” (MIMOMEMS) conține 2 laboratoare de cercetare-dezvoltare:

• L3- Laboratorul de Micro si Nanofotonică Laboratoare experimentale: (i) Spectrometrie Raman, (ii) Microscopie de scanare în câmp optic apropiat

• L4- Laboratorul de Microstructuri, Dispozitive și Circuite de Microunde Laboratoare experimentale: (i) Caracterizare pe placheta în domeniul microundelor și undelor milimetrice până la 110 GHz, (ii) Profilometrie în lumină albă

b) Centrul de nanotehnologii (CNT-IMT), aflat sub egida Academiei Române, conține 3 laboratoare de cercetare-dezvoltare:

• L1-Laboratorul de Nanotehnologii

11

Laboratoare experimentale: (i) Microarii, (ii) Microscop electrochimic cu baleiaj (Scanning Electro Chemical Microscope - SECM), (iii) Nanoparticule, (iv) Spectrometru electrochimic de impedanță (Electrochemical Impedance Spectrometer - EIS), (v) Electrochimie, (vi) Spectroscopie de suprafaţă, (vii) Difractometrie de raze X

• L6- Laboratorul de Caracterizare Microfizică și Nanostructurare Laboratoare experimentale: (i) Structurare si caracterizare la scara nanometrica: E-line nano-engeneering work station, (ii) Microscop de probă cu baleiaj (Scanning Probe Microscope - SPM), (iii) Microscop electronic cu baleiaj (Scanning Electron Microscope - SEM), (iv) Nanoindentare, (v) Nanolitografie (Dip pen Nanolitography)

• L9- Laboratorul de Nanotehnologie Moleculară

c) Centrul de cercetare pentru integrarea tehnologiilor - micro-nano-biotehnologii (CINTECH) conține 3 laboratoare de cercetare-dezvoltare:

• L2- Laboratorul de Microsisteme pentru Aplicaţii Biomedicale și de Mediu

• L8- Laboratorul de Tehnologii Ambientale

• L10- Laboratorul de Micro și Nanofluidică

Laborator experimental: Corodare uscata pe baza de ioni reactivi (RIE si ICP-RIE)

d) Centrul de cercetare-dezvoltare pentru nanotehnologii și nanomateriale bazate pe carbon (CENASIC) conține 2 laboratoare de cercetare-dezvoltare:

• L5- Laboratorul de Simulare, Modelare și Proiectare Asistată de Calculator Laboratoare experimentale: (i) Modelare - simulare pentru microsisteme/retea de training (ii), Rapid Prototyping

• L7- Laboratorul de Fiabilitate Laborator experimental de fiabilitate în domeniul micro-nanosistemelor integrate

In cele ce urmeaza sunt prezentări ale laboratoarelor de cercetare-dezvoltare. LABORATORUL DE NANOBIOTEHNOLOGII (L1)

1. Misiune Misiunea L1, asa cum poate fi definita succint, este sa propuna si sa abordeze directii de cercetare, dar si sa sustina programe de educatie in domeniul nano-bio-tehnologiilor. 2. Domenii de activitate Principalele domenii de activitate sunt: (i) fabricarea de nanomateriale / nanostructuri functionale, studierea, controlarea si acordarea proprietatilor acestora, ca de altfel si dezvoltarea de metode specifice de modificare chimica a suprafetei pentru aplicatiile vizate; (ii) sprijinirea dezvoltarii unor nanoproduse industriale sigure atat din punctul de vedere al sanatatii cat si al protectiei mediului prin evaluarea toxicitatii si riscurilor asociate nanomaterialelor; (iii) proiectarea si fabricarea de dispozitive pe siliciu, carbura de siliciu, polimeri, dar si sisteme hibride vizand aplicatii in mai multe domenii, de la (bio)medicina (biosenzori optoelectronici) la energie (celule de combustie miniaturizate ca surse de energie curata). 3. Echipă

1. Adina Boldeiu (Bragaru), Chimist, Dr., cercetator senior 3; 2. Florea Craciunoiu, Fizician, cercetator senior 2; 3. Iuliana Mihalache, Fizician, Drd, cercetator senior; 4. Melania Banu, Biolog, Ms., asistent cercetare; 5. Mihaela Kusko, Fizician, Dr., cercetator senior 2, sef de laborator L1; 6. Mihai Danila, Fizician, cercetator senior 3; 7. Monica Simion, Fizician, Dr., cercetator senior 3; 8. Razvan Pascu, Inginer, Drd, cercetator senior; 9. Teodora Ignat, Chimist, Dr., cercetator senior 3.

12

4. Echipamente

Sistem de difractie SmartLab de inalta rezolutie (Rigaku Corporation, Japan), care reprezinta un varf al tehnologiei in categoria sistemelor XRD modulare complet automate. – persoana de contact Mihai Danila;

Sistem de depunere controlata (Micro-Nano Plotter – OmniGrid, UK) / sistem de scanare fluorescenta (GeneTAC UC4 - Genomic Solutions Ltd., UK) dedicate tehnologiei microarray. – persoana de contact Monica Simion;

Semnale de fluorescent pentru Streptavidina pe un chip de microarray realizat pe diferite substraturi de siliciu poros: (a) imagini de fluorescent obtinute prin scanare; (b) evidentierea uniformitatii raspunsului

fluorescent – harta de intensitate r

Mater. Sci. Eng. B 178 (2013) 1268– 1274 Spectrometru de impedanta (PARSTAT 2273 - Princeton Applied Research, USA). Microscop cu

scanare electrochimica (ElProScan HEKA, Germany) - persoana de contact Mihaela Kusko;

Evaluarea cantitativa a defectelor in nanostraturile GaP/Si

Thin Solid Films 541 (2013) 36–

Monitorizarea tranzitiilor de faza prin masuratori XRD in situ

Sensors and Actuators A 203 (2013) 434– 440

Mater. Sci. Eng. B 178 (2013) 1268– 1274

Reprezentari Nyquist ale masuratorilor EIS ale substratelor de siliciu poros supuse interactiilor

biomoleculare succesive

0 50 100 150 200 250

0

10

20

30

40

50

60

70

80

Zim

g (k

Ω)

Zre

(kΩ)

Nafion + bilayers (PDDA+Pt+GN)/PSS 10 bLs 8 bLs 6 bLs 4 bLs 2 bLs

Nafion + bilayers PDDA/PSS 10 bLs 8 bLs 6 bLs 4 bLs 2 bLs

through-plane measurements

Reprezentari Nyquist ale caracterizarilor prin spectroscopie de impedanta ale membranelor de Nafion supuse asamblarilor

successive cu polielectroliti

13

Analizor de dimensiuni si potential Zeta ale particulelor submicronice (DelsaNano, Beckman Coulter,

USA) – persoane de contact Adina Boldeiu, Teodora Ignat;

Spectrometru de fluorescenta integrat (FLS920P, Edinburgh Instruments, UK) – persoana de contact Iuliana Mihalache.

5. Colaborări internaționale și naționale Proiecte internationale din ultimii ani: • Large-scale Integrating Collaborative FP7 Project - “Development of reference methods for hazard

identification, risk assessment and LCA of engineered nanomaterials – NanoValid” (2011 – 2015) – IMT resp. M. Kusko > THEME NMP.2010.1.3-1 Reference methods for managing the risk of engineered nanoparticles http://www.imt.ro/nanovalid/

• LIFE+ (Environment Policy and Governance) Project – “Development of an interactive tool for the implementation of environmental legislation in Nanoparticle manufacturers – i-NanoTool” (2013 – 2015) - IMT resp. M. Kusko http://www.inadnotool.com/

• Bilateral Cooperation Project Romania – Argentina (Instituto de Investigaciones en Fisicoquímica de Córdoba (INFIQC)– „Development of analytical methods based on supramolecular systems to detect and quantify nanomaterials – DAMS” (2013 – 2015) – IMT resp. M. Kusko.

• Collaborative Small or Medium-scale Focused FP7 Research Project – „Development of sustainable solutions for nanotechnology based products based on hazard characterization and LCA - NanoSustain” (2010-2013) – IMT resp. D. Dascalu > THEME 4 NMP and THEME 6 Environment, including Climate Change http://www.imt.rod/nanosustain/.

• MNT ERA-NET project – “Nanostructural carbonaceous films for cold emitters – NANOCAFE” (2009-2011)– IMT resp. F. Craciunoiu

• MNT ERA-NET project – “A ‘system-in-a-microfluidic package’ approach for focused diagnostic DNA microchips – DNASiP” (2008-2010) – IMT resp. M. Simion

Proiecte nationale in derulare

J Nanopart Res 15 (2013) 1352

Influenta tariei ionice asupra diametrului hidrodinamic si potentialului zeta al

Variatia potentialului zeta al suprafetei cu numarul de straturi de polielectroliti depuse

Cent. Eur. J. Chem. 11 (2013) 205-

Spectre PL ale ZnO dispersate in diferiti solventi (a) etanol, (b) apa

J. Optoel. Adv. Mater. 15 (2013) 703 - 706 Organic Electronics 15 (2014) 216–225

Caracterizari optice ale dot-urilor cuantice de grafena auto-pasivate si modificate cu PEG600: absorbtie UV–Vis; fotoluminescenta, timp de viata, randament cuantic

14

• proiect PNII- PCCA “Structuri de tip array pentru preventia, diagnosticul si tratamentul individualizat al unor

forme de cancer cu incidenta si mortalitate majore” – resp. IMT A. Boldeiu (2012-2015) http://www.iob.ro/hrcarraysen.html

• proiect PNII- PCCA “Senzor inteligent de temperaturi ridicate cu diode pe carbura de siliciu (SiC) pentru aplicatii industriale in medii ostile” – resp. IMT F. Craciunoiu (2012-2015) http://www.arh.pub.ro/projects/sicset/

• proiect PNII- PCCA “Detector de gaze inflamabile si toxice bazat pe matrice de senzori MOS pe carbura de siliciu” – resp. IMT F. Craciunoiu (2012-2015) http://www.icpe-ca.ro/en/partnershipsinpriorityareas

6. Rezultate obținute

• Evaluarea potentialului de toxicitate al nanomaterialelor Factorii importanti in evaluarea toxicitatii nanomaterialelor sunt reprezentati de compozitia chimica,

dimensiunea, morfologia, acoperirea la suprafata, solubilitatea, gradul de auto-asamblare, caracterul hidrofil/hidrofob, concentratia si capacitatea de agregare, caracteristici fizico-chimice analizate pentru fiecare nanomaterial studiat. In plus, pentru o imagine completa a potentialului de toxicitate, s-a urmarint modul in care mediile biologice de dispersie influenteaza aceste proprietati. Proiect NanoSustain (2010-2013) J Nanopart Res 15 (2013) 1352

• Dispozitive obtinute pe carbura de siliciu (SiC)

1. Senzori de temperatura pe SiC care sa functioneze in parametri normali la temperaturi inalte > diode Schottky pe SiC

2. Senzori de gaz pe SiC pentru a functiona in medii toxice si temperaturi inalte > capacitoare MOS pe SiC

Structuri dioda Schottky pe SiC

A fost proiectata o configuratia in rampa pentru a asigura o distributie uniforma a curentului si o tensiune de strapungere foarte mare.

0.0 0.5 1.0 1.5 2.01E-12

1E-10

1E-8

1E-6

1E-4

0.01

1

D1_250C

D1_500C

D1_1500C

D1_3000C

D1_4500C

D1_4500C_dupa 15'

D1_4500C_dupa 30'

D1_4500C_dupa 45'

Cu

ren

tul D

ire

ct, I

D(A

)

Tensiunea Directa, VD(V)

Caracteristicile I-V cu temperatura demonstreaza ca dispozitivele prezinta o comportare normala din punct de vedere electric pana la o valoare a temperaturii de 4500C, totodata observandu-se si o stabilitate a caracteristicii la acea temperatura. proiect SiC-SET (PNII- PCCA, 2012-2015

Structuri MOS cu arii active diferite

-5 0 5 10-1.0x10-12

0.0

1.0x10-12

2.0x10-12

3.0x10-12

4.0x10-12

r=9um r=12um r=18um r=34um

r=raza ariei active

Cap

aci

tate

, C(F

)

Tensiune, V(V)

S-au proiectat 4 variante de capacitoare MOS pe acelasi cip, avand o configuratie circulara cu diametre: 18, 24, 36, respectiv 68µm. Mai mult, pentru a putea masura si elimina cu usurinta capacitatea parazita a zonei de pad, pe fiecare cip este prevazuta o zona suplimentara de metal. Se observa cele 3 moduri de functionare ale unui capacitor MOS: acumulure, golire si inversie. De altfel, o crestere a capacitatii cu aria activa este sesizata proiect SiC-GAS (PNII- PCCA, 2012-2015).

20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 130 140 150

105

106

(220)

(214)

(205)

(006)

(302)

(213)

(204)

(300)

(105)

(212)

(114)

(211)

(210)

DHW

= 8.9nm

εWPPF

= 0.16%

DWPPF

= 8.6nm

(203)

(104)

(202)

(004)

(201)

(112)

(200)

(103)

(110)

(102)

(002)(101)

I [c

ou

nts

]

2θ [o]

ZnO NP(100)

15

LABORATORUL PENTRU APLICATII BIO-MEDICALE SI DE MEDIU (L2) 1. Misiune Misiunea principala a laboratorului este de cercetare – dezvoltare, axata pe dezvoltarea de microsenzori (senzori chimici, bio si mecanici), microstructuri si microelectrozi, microprobe pentru inregistrarea activitatii electrice a celulelor si tesuturilor, tehnologii micorfluidice si integrate (siliciu, polimeri, biomateriale), procesare de semnal, achizitie de date si interfete grafice, educatie in domeniul micro-chemo-biosenzorilor si servicii tehnologice, de design si simulare pentru aplicatii de senzori bio-, chemo- si micromecanici. 2. Domenii de activitate Micro-Nanosenzori – Dezvoltare de microsenzori (chemorezistivi, senzori de gaz rezonanti, accelerometre, micro-arii, senzori ISFET, senzori bazati pe nano-fire, electrozi pentru senzori biologici, microprobe pentru inregistrarea activitatii electrice a celulelor); Platforme microfluidice – Simulare, modelare si dezvoltare de platforme microfluidice: microcanale, tuburi, conectori microfluidici, rezervoare si mini-sisteme de pompare; Integrarea tehnologiilor si platforme de senzori – Integrarea senzorilor pe siliciu cu sisteme microfluidice; Arii de senzori si achizitie de date, procesare de semnal si interfete grafice; Simulare si modelare – simulare / modelare folosind unelte CAD specifice MEMS (CoventorWare, COMSOL CADENCE). 3. Echipă Echipa de cercetare este alcatuita din 12 persoane, specialisti in Electronica, Fizica, Chimie si biologie 1. Dr. Carmen Moldovan - CS I, dr. in electronica, sef laborator 2. Rodica Iosub - CS III, chimist; 3. Cecilia Codreanu – CS III, inginer; 4. Daniel Necula - CS III, inginer; 5. Bogdan Firtat - CS III, inginer; 6. Marian Ion - CS, dr. in fizica; 7. Silviu Dinulescu – AC, inginer; 8. Adrian Anghelescu - CS III, inginer; 9. Costin Brasoveanu - CS, inginer; 10. Ioana Ghinea – tehnician, subinginer chimist; 11. Roxana Vasilco – CS III, biolog; 12. Alina Popescu – CS III, chimist 4. Echipamente Ink Jet printer – ofera capabilitatea de a depune picaturi de ordinul picolitrilor de fluide conductoare (argint lichid sau cerneluri organice), pe toate tipurile de suprafete, inclusiv flexibile: foi de PET (Poly-Ethylene-Terephthalate), PEN (Poly-Ethylene-Naphthalate) si Poli-Anilina (PANI). VoltaLAB 10 – laborator electrochimic, potentiostat PGZ100 all-in-one, software electrochimic Voltamaster 4, pentru analize de voltameterie ciclica. CNC (Computer Numerical Control) - Masina miniaturizata, alcatuita din sistem miniaturizat pentru prelucrari mecanice si software de design si control, in mediu Linux. Echipamentul CNC este folosit la dezvoltarea de componente microfluidice si fabricarea diferitelor interfete mecanice. 5. Colaborări internaționale și naționale • Cooperare internationala cu centre de cercetare si companii de renume din domeniu din Marea Britanie, Germania, Franta, Olanda, Elvetia, in cadrul unor proiecte europene de cercetare:

o PARCIVAL - Partner network for a clinically validated multi-analyte lab-on-a-chip platform – FP7-HEALTH (Erasmus University - Olanda, PathoFinder - Olanda, HSG-IMIT - Germania, Labor Stein - Germania, Askion - Germania, Agrobiogen - Germania, EADS - Germania),

o PESTIPLAT - Integrated Platform for Pesticides Detection – MNT ERA.NET (Romelgen - Romania, HSG-IMIT si Scienion AG - Germania) - coordonat de laborator;

16

• Cooperare cu institute de cercetare si universitati (INFLPR, Universitatea „Politehnica”), si firme romanesti (ROMELGEN, Telemedica, DDS Diagnostic) in cadrul programelor nationale, prin intermediul mai multor proiecte coordonate de catre laborator:

o IMUNOPLAT (Platforma de Micro-Imunosenzori pentru Investigarea Sindromului Metabolic): DDS Diagnostic SRL, Universitatea de Medicina si Farmacie „Carol Davila” din Bucuresti”, Telemedica SRL, Universitatea din Bucuresti.

6. Rezultate obținute MiniPlatforma integrata pentru detectie pesticide din produse agricole, ce cuprinde:

- Senzori miniaturizati pe substrat de siliciu: biosenzori de pesticide, senzori integrati de temperatura si pH cu module microfluidice;

- Module microfluidice cu sistemul de incalzire impreuna cu modulele de pompare, de livrare a fluidelor si de preparare a mostrelor;

- Instrument portabil de procesare de semnal si afisare - Software pentru achizitia de date si interpretarea semnalelor retelelor de senzori;

Senzorii pot detecta concentratii de produsi organofosforici si carbamati de ordinul 10-6 g/l din produse vegetale, apa, lapte. Miniplatforma este portabila, nu necesita conditii de laborator si se poate folosi in conditii diverse in scopul determinarii unor concentratii toxice.

Senzorul de pesticide de unica folosinta

Platforma automata pentru senzorii de pesticide

Micro-Imunosenzori pentru Investigarea Sindromului Metabolic S-a dezvoltat aria de imunosenzori obtinuta pe substrat de siliciu pentru detectarea simultana si cuantificarea proteinelor ce caracterizeaza sindromul metabolic si care urmeaza sa fie utilizata in cercetarea medicala si diagnoza. Biosenzorii vor fi utilizati pentru realizarea unei noi tehnologii cu un grad ridicat de automatizare, ce va inlocui metoda standard „ELISA” in scopul accelerarii investigarii sindromului metabolic, de a inregistra si monuitoriza pacientii cu risc, pentru o diagnosticare timpurie si o reducere a costurilor operationale.

Aria de microsenzori obtinuta in urma proceselor tehnologice

Sisteme de senzori bio-chimici pe filme organice subtiri S-a dezvoltat tehnologia de obtinere a unor sisteme de senzori bio-chimici pe filme organice subtiri. S-a realizat proiectarea senzorilor pe substrat flexibil si au fost proiectate diverse structuri test în scopul optimizării procesului de printare a senzorilor propuși. În urma testelor efectuate, au fost proiectate mai multe structuri în vederea găsirii soluțiilor optime pentru senzorii bio-chimici ce urmează a fi dezvoltați în cadrul acestui proiect (senzorul de temperatură, senzorul impedimetric și cel de pH ).

17

Layout-ul pentru structurile senzorului impedimetric și senzorului de pH

(distanta dintre electrozi este de 50 μm)

Module software pentru procesare de semnal S-a dezvoltat modulul software pentru dispozitivul de procesare al platformei multi-analiza integrate si automate de tip lab-on-a-chip pentru diagnosticarea rapida si precisa de patogeni respiratorii infectiosi. Modul implementat contine o interfata grafica cu utilizatorul cu doua componente: o componenta de control a echipamentului hardware al dispozitivului de procesare si o componenta de reprezentare a rezultatelor pachetului software de prelucrare si analiza a datelor. In cadrul modulului software au fost implementati si algoritmii de prelucrare si analiza a datelor numerice livrate de echipamentul hardware.

Reprezentarea grafica a curbelor de amplificare pentru datele normalizate

Educatie si training: Co-organizare de cursuri si sesiuni de training in cadrul unor proiecte internationale de tip Euro-Training in domeniul micro- si nanotehnologiilor. Supervizare lucrari de diploma si master din cadrul Universitatii „Politehnica” din Bucuresti, Facultatea de Electronica. LABORATORUL DE MICRO- SI NANO-FOTONICA (L3)

Laboratorul de micro- si nano-fotonica este membru al centrului de excelenta european ”European Centre of Excellence in Microwave, Millimetre Wave and Optical Devices, based on Micro-Electro-Mechanical Systems for Advanced Communication Systems and Sensors” (MIMOMEMS), finantat de prin programul “Regional potential” – FP7 REGPOT.

1. Misiune

Cercetare, dezvoltare si educatie in domeniul micro si nano-fotonicii

2. Domenii de activitate

18

3. Echipă 1. Dr. Dana Cristea - CS I, dr. in optoelectronica si materiale pentru electronica, sef laborator 2. Dr. Paula Obreja - CS II, dr in chimie fizica; 3. Elena Budianu - CS II, fizician; 4. Dr. Munizer Purica - CS I, dr. in fizica; 5. Dr. Mihai Kusko - CS II, fizician, dr. in optoelectronica; 6. Dr. Cristian Kusko - CS I, dr in fizica; 7. Dr. Roxana Rebigan - CS III, fizician, dr. in optoelectronica; 8. Dr. Florin Comanescu - CS III, inginer, dr. in optoelectronica; 9. Drd. Roxana Tomescu - CS, doctorand in optoelectronica 10. Ing. Rebeca Tudor - AC, inginer electronist cu master in optoelectronica 4. Echipamente Modelare si simulare: • Opti FDTD 12.0 – proiectare, modelare, simulare, CAD a componentelor fotonice pasive si neliniare prin metoda FDTD (Finite-Difference Time-Domain) • OptiBPM 11.0 - proiectare, modelare, simulare, CAD a ghidurilor optice si a circuitelor fotonice integrate complexe prin metoda BPM (beam propagation method). • OptiGrating , LaserMod • 3Lit – design pentru elemente micro-optice 3D. • Zemax –design optic. Tehnologie

- glove box pentru prepararea si depunerea nanocompozitelor si straturilor organice

Caracterizare: Spectrofotometre pentru domeniul UV-VIS-NIR si IR; Elipsometru spectroscopic Sistem complex rezultat prin cuplarea modulului

TERS/AFM la spectrometrul micro-Raman – LabHR 800 pentru analiza nanostructurilor carbonice si oxidice (nanotuburi, nano/micro fire, grafene,nanocompozite).

Alpha300 S System –microscopie de baleiaj in camp apropiat (SNOM), microscopie confocala , microscopie de forta atomica, spectrometrie Raman

Tensiometru Optic Theta (KSW Instruments) Montaj experimental pentru caracterizarea optoelectrica a dispozitivelor in UV-Vis-NIR 5. Colaborări internaționale și naționale • Cooperare internationala cu centre de cercetare europeana (Fraunhofer IPT, CEA-Liten, LAAS-CNRS Toulouse, UNINOVA) si cu firme din Spania, Germania, Finlanda, Austria, Franta in proiecte FP7: Flexible Patterning of Complex Micro Structures using Adaptive Embossing Technology (FLEXPAET), IP – NMP ; European Centre of Excellence MIMOMEMS (CSA- Capacities) si MNT EraNet :Multifunctional Zinc-Oxide based nanostructures. • Cooperare cu institute de cercetare (INFLPR, INCDFM), universitati si firme romanesti (Optoelectronica 2001, Pro-Optica) in cadrul programelor nationale. 6. Rezultate obținute

Comunicatii optice securizate de mare capacitate prin spatiul liber, bazate pe holograme generate pe computer –Proiect PN-II-PT-PCCA Dr. Cristian Kusko.([email protected]) S-au obtinut elemente optice difractive care sa genereze vortexuri optice pentru comunicatoare optice in spatiu liber si s-au realizat montaje experimentale care sa caracterizeze functional vortexurile optice cu diferite momente cinetice orbitale.

19

a) b) c) b) a) Imaginea de interferometrie in lumina alba a unui element optic difractiv care genereaza un vortex optic

cu ordinul m=4. b) vortex optic de ordinul m=4. c) interferenta a doua vortexuri cu m=4 si m=-4. Nanoparticule de carbon pentru dispozitive optoelectronice (proiect PNII-ID-PCCE). S-au investigat proprietatile electrice si optice ale nanocompozitelor polimer- nanoparticule de grafena (graphene quantum dots - GQD). S-a pus in evidenta rezistenta diferentiala negativa, proprietatiile fotoelectrice si efectul de memorie ale acestor materiale (Organic Electronics 15 (2014) 216–225).

a) b) a) Caracteristica curent-tensiune a nanocompozitului polimer-GQD. b) teste de memorie a structurilor pe baza de

nanocompozit polimer-GQD.

Investigarea ghidurilor de unda plasmonice neliniare. S-au efectuat simulari FDTD si calcule teoretice asupra ghidurilor de unda si componentelor plasmonice neliniare pentru aplicatii de generare de pulsuri de femtosecunde si a radiatiei de terahertz (C.Kusko – [email protected] IEEE J. of Quantum Electronics 49, 1080 (2013). Bolometre pentru aplicatii spatiale in IR apropiat si indepartat (Proiect STAR ) S-au efectuat simulari FDTD de metamateriale care prezinta o absorbtie ridicata in domeniul spectral infrarosu mediu si indepartat; experimentari tehnologice pentru realizarea de structuri de tip SQUID; caracterizarea electrica a straturilor senzitive si punerea in evidenta a efectulu bolometric in IR (Mihai Kusko - [email protected]).

a)

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

15 17 19 21 23 25 27 29 31 33 35

λ (μm )

Abso

rbance

b) c)0%

10%

20%

30%

40%

50%

60%

70%

81 83 85 87 89 91 93 95

a) Absorbanta configuratiilor sensitive realizate din metamateriale. b) Masca metalica pentru configurarea YBCO scrisa cu EBL si realizata prin lift-off. c) Variatia relativa cu temperatura a rezistentei structurii bolometrice la

iluminare in IR. Fotodetectoare cu raspuns imbunatatit in IR pentru aplicatii aerospatiale (proiect STAR)

a)

0.E+00

2.E-07

4.E-07

6.E-07

8.E-07

1.E-06

1.E-06

1.E-06

0.0 2.0 4.0 6.0 8.0 10.0

Ph

oto

cu

rren

t [A

]

Voltage [V]

_

1070 nm

1200 nm

1300 nm

1400 nm

1550 nm

b) -2.0E-05

-1.5E-05

-1.0E-05

-5.0E-06

0.0E+00-7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0

Ph

oto

curr

ent[

A]

Voltage [V]

1070 nm 1200 nm

1300 nm 1400 nm

1550 nm

Fotocurentul la diverse lungimi de unda in IR:a) detectoarelor fotoconductive pe baza de PbS-QDs; detectoare

schottky PbS/Si (D.Cristea –ana.cristea @imt.ro)

Nanofire si nanocompozite pentru dispozitive optoelectronice

20

a) b) c)

0,00

50,00

100,00

150,00

200,00

250,00

300,00

0,0 2,0 4,0 6,0 8,0 10,0

Voltage [V]

Cu

rren

t [u

A]

dark

UV light

a) nanofire de Ag pentru electrozi transparenti (imagine SEM); b) strat subtire de n-ZnO pentru senzori de UV; c)

caracteristici I-V pentru detectori pe baza de n-ZnO/Si.(P. Obreja- [email protected]) Educatie si training: Cursuri si laboratoare pentru programul de master in Optoelectronica in colaborare cu UPB. Supervizare lucrari de diploma, master si doctorat de la UPB. Servicii: Servicii stiintifice de caracterizare materiale utilizand Spectroscopia Raman in conformitate cu ISO 9001: 2008 pentru institutii de cercetare si firme (e.g. Honeywell Romania) din tara si din Bulgaria (Institute of Solid State Physics); Germania (Institut für Mikroelektronik Stuttgart), R. Moldova (Institutul de Fizica al Academiei).

LABORATORUL DE STRUCTURI MICROPRELUCRATE, DISPOZITIVE SI CIRCUITE DE MICROUNDE (L4)

1. Misiune Cercetarea stiintifica si dezvoltarea tehnologica a dispozitivelor si circuitelor microprelucrate de microunde si unde milimetrice. Noile tehnologii RF MEMS incluzand “circuitele pe membrane” reprezinta solutia pentru obtinerea circuitelor si dispozitivelor ultraperformante pentru microunde si unde milimetrice, destinate sistemelor moderne de comunicatie si senzorilor. Recent, laboratorul a demarat studierea si realizarea de dispositive acustice folosind microprelucrarea si nano-procesarea semiconductorilor de banda interzisa larga (GaN/Si, AlN/Si), precum si dispositive experimentale bazate pe nanotuburi de carbon si grafena. Laboratorul L4 este unul dintre promotorii domeniului RF-MEMS in Europa. A coordonat unul dintre primele proiecte ale CE in RF-MEMS: FP4 MEMSWAVE nominalizat la premiul Decartes in 2002 si proiectul FP 7 REGPOT call 2007-1 MIMOMEMS (2008 – 20011); a participat in Reteaua de excelenta / FP6 “AMICOM” (2004 -2007) avand rezultate originale in colaborare cu LAAS Toulouse, FORTH Heraklion, VTT Helsinki. In present, laboratorul este partener in doua proiecte europene IP/FP7 (NANOTEC, SMARTPOWER), 2 FP7 STREPuri (MEMS-4-MMIC, NANO RF) si doua proiecte ENIAC JU (MERCURE si NANOCOM). 2. Domenii de activitate Descrierea domeniilor, suficient de detaliată astfel încât să acopere toate preocupările actuale și de perspectivă ale laboratorului.

• Dezvoltarea unei noi generatii de circuite destinate comunicatiilor in unde milimetrice bazate pe microprelucrarea si nanoprocesarea semiconductorilor (Si, GaAs, GaN);

• Proiectarea si realizarea de elemente passive de circuit microprelucrate, module de receptie integrate monolithic sau hybrid bazate pe microprelucrarea siliciului si GaAs;

• Dispozitive acustice (SAW si FBAR) pentru aplicatii in gama de frecventa GHz, bazate pe microprelucrarea si nanoprocesarea semiconductorilor de banda larga, GaN si AlN;

• Photodetectori UV bazati pe membrane de GaN/Si; • Dezvoltarea tehnologiilor MEMS si NEMS • Dispozitive de microunde bazate pe CNT si grafena • Dispozitive de microunde bazate pe materiale CRLH (metamateriale)

3. Echipă

1. Alexandru Muller, Fizician, Dr., cercetator senior 1, sef de laborator L4 2. Mircea Dragoman, Inginer, Dr., cercetator senior 1 3. Gheorghe Sajin, , Inginer, Dr., cercetator senior 1 4. Emil Pavelescu, Fizician, Dr., cercetator senior 1 5. Dan Neculoiu, Inginer, Dr., cercetator senior 2 6. Valentin Buiculescu, Inginer, Dr., cercetator senior 2 7. Anton Cornel, Inginer, Dr., cercetator senior 2 8. Dan Vasilache, Fizician, Dr. cercetator senior 3 9. Alina Cismaru, Fizician, Dr. cercetator senior 3 10. Alexandra Stefanescu, Inginer, Dr., cercetator senior 3

21

11. Cristina Buiculescu, Inginer, cercetator senior 3 12. Ioana Petrini, Fizician, cercetator senior 3 13. Alina Bunea, Inginer, Drd., cercetator stiintific 14. Ioana Giangu, Inginer, Drd., asistent cercetare

4. Echipamente Vector Network Analyser (VNA) pentru masurarea parametrilor S pe placheta pana la 110 GHz; Echipament de caracterizare „on wafer” Suss MicroTec; Analizor de spectru Anritzu si generator pana la 110 GHz; Criostat Janis SHI-4H-1; Sistem de caracterizare semiconductori 4200-SCS/Keithley; Profilometru optic Photomap 3D Fogale; Power-metru 0.1 – 40 GHz; Accesorii de masura; Montaj experimental pentru responsivitate UV; soft simulare electromagnetic (IE3D, FIDELITY de la Mentor Graphics, CST) 5. Colaborări internaționale și naționale Proiecte internationale SMARTPOWER - FP7-ICT-2011-7 proiect IP Nr 288801 “Smart integration of high power electronics for industrial and RF applications”, Coord. Thales TRT, Franta, 15 parteneri, 2011-1014, IMT partener. NANOTEC - FP7-ICT-2011-7 proiect IP Nr 288531 “Nanotechnology for Adaptive Communication and Imaging Systems based on RF-MEMS”-, Coordinator Thales TRT, Franta, 17 partneri, 2011-2014, IMT partener NANO RF - FP7-ICT-2011-8, STREP Nr 318352 – “Carbon based smart systems for wireless applications”, Coordinator Thales TRT, Franta, 13 parteneri, 2012-2015, IMT partener MERCURE - ENIAC Call 2009 Nr 120220 “Micro and nano technologies based on wide band gap materials for future transmitting receiving and sensing systems –” Coord: Thales TRT, France;11 partneri, 2010-2013, IMT partener NANOCOM - ENIAC Call 2010 Nr 270701-2 “Reconfigurable Microsystem Based on Wide Band Gap Materials, Miniaturized and Nanostructured RF-MEMS” Coord: Thales TRT, France; 13 partneri, 2011-2014, IMT partener MOLDONANONET –. INCO.2011-6.1 Nr 294953" Enhancing the capacities of the ELIRI Research Institute in applied research to enable the integration of Moldova in the European Research Area on the basis of scientific excellence ", 4 parteneri, 2010-2012, IMT partener Proiecte nationale IDEI PNII-ID_PCE-2011-3-0513 „Tehnologii noi bazate pe microprelucrarea si nanoprocesarea GaN/Si pentru dispozitive de microunde si dispozitive fotonice avansate”, Dir. Proiect Dr Alexandru Muller, (2011-2015) IDEI PNII-ID-PCE-2011-3-0830 „Front-end de imagistica cu unde milimetrice pentru aplicatii in securitate si medicale” Dir. Proiect Dr Dan Neculoiu, (2011-2015) IDEI PNII-ID-PCE-2011-3-0071 „Dispozitive nanoelectronice bazate pe grafena pentru aplicatii in domeniul frecventelor inalte” Dir. Proiect Dr Mircea Dragoman, (2011-2015) STAR ctr 86 /2013 „Diode Schottky, detectoare si mixere pentru unde milimetrice si submilimetrice realizate pe GaAs” Dir. Proiect Dr Alexandru Muller, (2013-2016) PARTENERIATE – ctr 9/2012 „Noi material nanostructurate semiconductoare pe baza de nanoparticule de Ge in diferiti oxizi pentru aplicatii in fotodetectoeri VIS-NIR si dispositive de memmorii volatile” Coord INCD FM, IMT partener, (2012-2016) PARTENERIATE – ctr 5/2012 „Instrumente si metodologii avansate pentru modelarea multifizica si simularea micro comutatoarelor de radio frecventa” Coord UPB, IMT partener, (2012-2016) 6. Rezultate obținute Realizare structuri SAW ca senzori de temperatura si caracterizare in gama de temperatura 6-423 K.

Structura SAW tip “single resonator” si dependenta de temperature a frecventei de rezonanta pentru rezonatoare SAW “single” si “face-to-face” (masuratori pe plita) [A. Muller, s.a EMRS Spring 2013,

Symposium L, paper 11.2, Strasbourg, France} Structurile optimizate de SAW single resonator au IDT-uri de latime 200nm, 150nm si 170 nm, si lungimi de 100µm si 50 µm. Structurile sunt interdigitate cu 150 digiti si 50 reflectori, plasati pe ambele parti ale IDT la diferite distante: 0.2 µm, 0.8 µm, 0.95 µm pentru 200 nm latime a digitilor IDT; 0.15 µm, 0.6 µm, 0.7 µm pentru 150 nm

22

latime a digitilor IDT si 0.17 µm, 0.68 µm, 0.8 µm pentru 170 nm latime a digitilor IDT. Senzorii de temperarura SAW pe suport test au fost caracterizati si s-au facut masuratori ale variatiei frecventei de rezonanta cu temperatura in gama -268ºC- +150ºC folosind cryostatul SHI-4H-1 de la firma Janis Research, din dotarea laboratorului, capabil sa faca masuratori de la 5K la 500K. Din variatia frecventelor de rezonanta in functie cu temperatura, s-a determinat sensitivitatea.

Structura SAW pe GaN cu un singur rezonator,

lungime IDT 200μm; detalii ale procesului nanolitografic in insert [A. Müller, Sensors and

Actuators A 209 (2014) 115–123]

Dependent de temperatura pentru frecventa de rezonanta obtinuta din masurarea parametrului S11 la

structura SAW avand digiti de 100μm [A. Müller, Sensors and Actuators A 209 (2014) 115–123]

Senzor de umiditate pe baza de structuri FBAR realizate pe GaN/Si Structurile FBAR au fost realizate pe membrane subtiri obtinute prin microprelucrarea substratului de Si al plachetelor de GaN/Si. Metalizarea de Mo are grosimea de 50 nm, membrana de GaN 0.5 μm grosime (0.3 μm GaN + 0.2 μm strat buffer) iar chipul are aria de 1.6x1.3 mm2. Structurile au fost asamblate intr-o capsula LTCC nestandardizata, proiectata in laborator.

Profil optic pentru o structura FBAR in directia x; A-A in insertul ce prezinta

topografia 3D a structurii [A Cismaru, A Muller, s.a J. Micromech. Microeng. 23

(2013) 015010 (7pp)]

Structura FBAR montata in capsula

LTCC

Rezonanta senzorului masurata in camera cu umiditate controlata

de 66%

Procesare si caracterizare structuri fotodetector UV pe membrane utilizand structuri MSM interdigitate cu digiti si interdigiti de latimi nanometrice Structurile interdigitate de fotodetectori MSM (metal – semiconductor - metal) au fost realizate pe membranele subtiri de GaN/Si (grosime GaN 0.3 µm; grosime strat buffer format din AlN si AlGaN 0.2 µm). Padurile de tip diport au fost depuse printr-un proces de lift-off Ni/Au (20 nm/ 500 nm). Structura interdigitata MSM a fost scrisa printr-un proces direct de scriere pe placheta cu EBL (electron beam lithography, echipament e-line de la RAITH GmbH). S-au obtinut structuri cu digiti si spatii interdigitate avand latimea de 200 nm si o lungime de 100 µm. S-au determinat variatia curentului de intuneric in functie de tensiunea aplicata si responsivitatea in functie de lungimea de unda la iluminarea din fata, respectiv spate. Dezvoltare tehnologii de microprelucrare a siliciului pentru front-end de imagistică cu unde milimetrice pentru aplicaţii în securitate şi medicale S-a dezvoltat o membrană dielectrică subtire constând din 1.5 µm oxid de siliciu şi 0.6 µm nitrură de siliciu. Pe astfel de membrane s-au procesat, prin microprelucrarea unei plachete de siliciu de joasă rezitivitate, cu o grosime de 525 µm diferite tipuri de structuri: antene cu sloturi foldate operând la diferite frecvenţe de unde milimetrice, structuri de linii coplanare şi alte structuri de test. Pentru antenele de 140 GHz, s-au obţinut rezultate comparabile cu starea artei la nivel internaţional pentru antene on-chip: banda măsurată de funcţionare acoperă toată banda D (110 – 170 GHz), iar câstigul măsurat este de circa 5 dBi la frecvenţa de 140 GHz, cu o eficienţă simulată mai mare de 66%.

23

(a) (b) 110 120 130 140 150 160 170

-30

-25

-20

-15

-10

-5

0Measured vs Simulated Return Loss

Frequency [GHz]

S1

1 [d

B]

MeasuredSimulated

(c)

(a) membrana dielectrică; (b) structuri fabricate pe membrană; (c) măsuratori în banda D Senzor integrat hibrid pentru imagistica pasiva Au fost proiectate, fabricate şi caracterizate structuri de antene cu două şi trei sloturi foldate, operând în banda W (75 – 110 GHz). S-au obţinut rezultate foarte bune de adaptare şi radiaţie atât pentru antena cu două sloturi (|S11|<– 10 dB între 85.5 – 106.9 GHz; câştig de 6.4 dBi @ 94 GHz) cât şi pentru cea cu trei sloturi (|S11|< – 10dB între 77.5 – 97.37 GHz, câştig de 8.1 dBi @ 94 GHz). Antena cu două sloturi a fost integrată hibrid cu o diodă detectoare, realizându-se un senzor de bandă W. Pentru creşterea câştigului, s-au proiectat lentile din poliamidă printată 3D, iar structura a fost plasată pe un reflector de aur. Măsurătorile au demonstrat un câştig total de peste 20 dBi.

(a) (b) (a) senzor integrat hibrid; (b) senzor cu lentilă din poliamidă printată 3D

Implementarea tehnologica memorii RAM bazate pe nanoparticulele de Ge S-a realizat o memorie RAM pe baza de nanoparticole de germaniu intr-o matrice de bioxid de siliciu.

Imagine SEM a memoriei RAM Imagine SEM a multiplicatorului de frecventa Multiplicator pe grafena A fost realizat un multiplicator de frecventa de un singur strat atomic (pe grafena) in banda de frecventa 11-33 GHz. Dispozitive pe grafena pentru domeniul microundelor, undelor milimetrice si submilimetrice S-au proiectat antene pe grafena, tranzitoare FET FET pe grafena si mixel pe grafena. S-au caracterizat electric straturile de grafena si s-a realizat un detector balistic pentru unde electromagentice pe grafena. Dioda balistica pe grafena are lungimea de 100 nm si “gatul” diodei de 30 nm.

Dioda balistica pe grafena cu frecventa de taiere 8 THz Procesare comutatoare RF MEMS Au fost propuse cateva structuri de comutatoare simple (de tip punte si consola) in vederea validarii tehnicilor necesare fabricarii si verificarii metodelor de simulare electromecanica. Ambele tipuri au fost realizate in patru

24

versiuni diferite, variabila fiind lungimea partilor mobile (au fost luate in considerare dimensiuni cuprinse intre 600 μm si 900 μm pentru structurile de tip punte aeriana si intre 850 µm si 1150 µm pentru cele de tip cantilever). LABORATORUL DE SIMULARE, MODELARE SI PROIECTARE ASISTATA DE CALCULATOR (L5) 1. Misiune Cercetare, dezvoltare si aplicatii de tehnici pentru proiectare, modelare si simulare a sistemelor micro-electro-mecanice si microfluidice cu orientare catre proiecte de cercetare colaborative, educatie (cursuri, laboratoare), servicii (acces la platformele software si hardware) si consultare (proiectare/optimizare) in domeniul micro-nano-bio/info tehnologiilor. L5 are un rol de suport pentru activitatile de cercetare ale altor laboratoare din IMT Bucuresti. In plus, L5 dezvolta tehnici de rapid prototyping de la scara micro la scara macro, microsenzori MOEMS si MEMS si cercetari pentru clase noi de materiale avansate cu aplicatii in nanodispozitive. 2. Domenii de activitate Proiectare, simulare si dezvoltare/optimizare de componente si microsisteme MEMS/MOEMS (console,

membrane, microgripere) si microfluidice (valve, pompe, microcanale, mixere, filtre) pentru aplicatii bio-medicale si microelectronice;

Modelare si simulare pentru probleme multifizice; analize mecanice, termice, electrice, piezoelectrice si analize cuplate (statice si tranziente);

rapid prototyping la scara micro si nanometrica: 3D Printer proiectare si fabricare de microsisteme MEMS si MOEMS caracterizarea fenomenelor fizice in semiconductori cu banda interzisa larga Dezvoltarea tehnologiilor de obtinere si a proceselor de dopare pentru filme si nanostructuri de ZnO, cu

potential de utilizare in diferite aplicatii de dispozitiv, in electronica transparenta, celule fotovoltaice, senzori functionali in domeniul ultraviolet cu functionare inclusiv in medii agresive si spatiu

Simulari atomistice si analiza prin calcule ab initio a structurii electronice pentru sistemele ZnO 3. Echipă

1. Dr. Raluca Muller - CS I, dr. in electronica, sef de laborator 2. Dr. Rodica Plugaru - CS I, dr. in fizica 3. Dr. Gabriel Moagar-Poladian - CS II, dr. in fizica 4. Dr. Oana Tatiana Nedelcu - CS III, master in matematica si dr. in electronica 5. Dr. Franti Eduard - CS III, dr. in electronica 6. Fiz. Constantin Tibeica – CS, fizician 7. Ing. Fiz. Victor Moagar-Poladian – IDT II 8. Dr. Rodica-Cristina Voicu – CS III, matematician, dr. in matematica 9. Dr. Irina Stanciu - CS III, dr. in electronica 10. Dr. Anca-Ionela Danciu – CS, dr. in ingineria materialelor 11. Ing. George Boldeiu – inginer cu master in inginerie electrica 12. Ing. Angela-Mihaela Baracu – doctorand in electronica 13. Dr. Lucian Petrica- dr. inginer in electronica

4. Echipamente ￭ Hardware: - Server Dual IBM 3750 cu 8 procesoare quad-core Intel Xeon MP 2.93 GHz, 196 GByte RAM si 1 TByte HDD + 876 GByte external storage; ￭ Sala de curs echipata cu retea de calculatoare pentru training: Software pentru Modelare si simulare: COVENTORWARE 2013 - pachet de programe specializate pentru proiectare, modelare si simulare in domeniul MEMS si microfluidica. Contine instrumente de proiectare (editor de layout 2D, generator de modele 3D) si module de simulare a principalelor fenomene fizice utilizate in dezvoltarea si functionarea microsistemelor SEMulator3D - generarea modelelor 3D pentru filme subtiri, structuri si dispozitive fabricate in tehnologiile pe plachete de siliciu COMSOL 4.0 - pachet de programe de simulare a fenomenelor fizice precum: mecanica solidelor, transfer de caldura, mecanica fluidelor, acustica, RF-MEMS ANSYS Multiphysics 12.1 - pachet software pentru simulari FEM luand in considerare diverse fenomene fizice (mecanice, termice, electromagnetice si fluidice sau cuplate). Moduri pentru a realiza simulari complexe: Metoda

25

secventiala (Termic-structural, electromagnetic-termic-structural, electrostatic-structural-fluidic, CFX- şi FLOTRAN) si Cuplare directa (Acustic-structural, Piezoresistiv, Circuit coupled electromagnetics, Electro-termic-structural-magnetic). MATLAB 2013 - software matematic: functii de calcul, vizualizare si programare. Poate fi folosit pentru calcule matematice, dezvoltare de algoritmi, achizitii de date, modelare si simulare, analiza datelor si vizualizare, grafice stiintifice si ingineresti, dezvoltare de aplicatii (inclusiv interfata grafica) SOLIDWORKS - mediu de proiectare 2D si 3D pentru geometrii complexe, capacitate de export fisiere pentru utilizare in programe de simulare, module suplimentare pentru comunicarea proiectelor, pentru marirea productivitatii CAD si PDMWorks ; include solutii de management de date de proiectare, adaptate managementului individual sau de grup al proiectelor SolidWorks MATHEMATICA 7 - mediu de calcul numeric si simbolic; rezolvari de ecuatii si sisteme de ecuatii liniare si neliniare ; rezolvari de ecuatii diferentiale si integrale, prelucrari statistice, optimizari; grafica 2D si 3D. ORIGINPRO 8 - software pentru prelucrarea datelor: grafice, interpretare / interpolare prin prelucrari statistice ￭ Caracterizare: - Echipament de caracterizare electrica Keithley 4200 SCS cu microprobere EP6/ Suss MicroTec. - Instalatie sinteza pentru filme subtiri semiconductoare, metoda sol-gel

￭ Tehnologie: - 3D Printer Selective Laser Sintering EOS Formiga P100 - 3D Printer based on Single Photon Photopolymerization MiniMultiLens system from EnvisionTEC - Laser microengraving system 5. Colaborări internationale si nationale

• ENIAC MotorBrain: "Nanoelectronics for Electric Vehicle Intelligent Failsafe Powertrain" – ENIAC-2010-1, (2011 - 2014) Coordonator: Infineon Technologies AG Germany, Partner L5 din IMT - Dr. Gabriel Moagar-Poladian

• EraNet: “Modelare 3D pentru proiectarea robustica a microsenzorilor de vibratie (3 Scale modeling for robust -design of vibrating micro-sensors)” (3SMVIB), 2012-2015

• PARCIVAL: “Partner Network for a Clinically Validated Multi-Analyte Lab-on-a-Chip Platform”, FP7 HEALTH.2011.2.3.1-4, 2011–2014; Contributii L5 pentru implementare modul software pentru analiza rezultatelor reactiilor PCR

• Proiect IDEI: “Prospective research regarding rapid prototyping processes for applications in the field of micro- and nanosystems realization”, (2011–2014), Director proiect: Dr. Gabriel Moagar-Poladian

• STAR: „Cercetari asupra performantei unor materiale semiconductoare oxidice pentru aplicatii spatiale”, Proiect: nr.94/2013-2015, Coordonator IMT, Parteneri:, INCDFM si EBIC S.A.

• STAR: ”Reliability design of RF‐MEMS switches for space applications” -REDEMS Project, 2012-2015 , Coordonator UTCN, IMT Partener

• STAR: “Tribomechanical Characterization of MEMS Materials for Space Applications under harsh environments”- MEMSMAT Project, 2013-2016 Coordonator UTCN, IMT Partener

• Nucleu: Microsisteme MEMS de manipulare pentru micro-robotica, Program National CONVERT-PN0929 6. Rezultate obtinute Demonstrator: Senzor de torsiune varianta pe plastic – testat cu succes (proiect ENIAC, coordonator din partea IMT Dr. Ganriel Moagar- Poladian), - prezentat şi la Expoziţia Cercetării cu ocazia vizitei Comisarului European pentru Cercetare

26

Modelul fizic al senzorului de torsiune, varianta pe polimer

Deplasarea radială la 10.000 rpm şi T= 2000 C.

Deplasarea maximă în acest caz este de 14 ori

mai mică decât deplasarea maximă permisă

Stresul vonMises Stress datorat forţei centrifuge şi dilatării termice la 10.000

rpm şi o T= 2000 C. Stresul maxim este de 5 ori mai mic decât rezistenţa la rupere a

materialului.

Vizita Comisarului European pentru Cercetare, Inovare şi Ştiinţă Mrs. Maire GEOGHEGAN-QUINN la standul proiectului MotorBrain, Expoziţia Cercetării Bucureşti

2013. 1

Discuţii la standul proiectului MotorBrain, Expoziţia Cercetării Bucureşti 2013. 1 - Dr. Gabriel MOAGĂR-POLADIAN (IMT)

Simulari magnetostatice Simularea efectului termic al curenţilor

de inducţie într-un substrat conductor electric

Proiect ENIAC -“Nanoelectronics for Electric Vehicle Intelligent Failsafe PowerTrain” - MotorBrain

- Proiectare, simulare si realizare experimentala de structuri MEMS de microgripere pentru micromanipulare de microcomponente MEMS si optice (lentile, fibre), cellule, tesuturi si microparti biologice; simulari FEM cuplate electro-termo-mecanice CoventorWare; fabricare de microgripere utilizand polimeri biocompatibili: SU8 (Program National CONVERT-PN0929- contact: Dr. Rodica Voicu)

a) b) c) d)

Reprezentari ale microgripperului: a) Distributia temperaturilor simulate in bratele microgriperului pentru 0.2 V; b) Imagine SEM a structurii experimentale de microgriper din SU8; c) Imagine optica a structurii de microgripper din SU8 si aur; d) Structuri de microgripper eliberate, din polimer biocompatibil SU8 si aur, pe un cip; (R. Voicu, R.

27

Muller, New electro-thermally actuated micromanipulator with optimized design and FEM simulations analyses, Proc. DTIP 2013, pp. 261-266, 2013)

Microgripper cu acţionare electrostatică. Dispozitiv fabricat pe plachetă SOI ( contact: Fiz. C. Tibeica).

Microgripper cu acţionare electrotermică. Dispozitiv fabricat din SU8.

Proiect Naţional - “Microsisteme MEMS de manipulare pentru micro-robotică” (Program National CONVERT-PN0929)

- Contributii la dezvoltarea tehnologiilor de obtinere a filmelor de ZnO dopate cu Li si Cu. Au fost obtinute prin metoda sol-gel filme multistrat de ZnO dopate cu Li si Cu la concentratii 1-5 at. %. - Analiza proprietatilor structurale morfologie, optice (transmisie, absorbtie), de fotoluminiscenta si de conductie electrica a filmelor dopate cu Li sau Cu, respectiv Li:ZnO si Cu:ZnO.

-6 -4 -2 0 2 4 6

-4

-3

-2

-1

0

1

2

3

4

Cu

rren

t *

10

-6(A

)

Voltage (V)

ZnO ref. ZnO:Li 1% ZnO:Li 3% ZnO:Li 5%

300 400 500 600 700 800 900 1000

0.0

0.1

0.2

0.3

0.4

Abs

orba

nce

(a.u

.)

Wavelength(nm)

ZnO ZnO:Cu 1% ZnO:Cu 3% ZnO:Cu 5%

400 500 600 700

200

400

600

800

1000

ZnO:Li 3%

PL

Inte

nsity

(a.

u.)

Wavelength (nm)

380 nm

568 nm

Filme subtiri semiconductoare ZnO:(Li, Cu) obtinute prin metoda sol-gel ( proiect STAR- Dr. Rodica Plugaru) Cercetari pentru studiul efectelor nanoparticulelor feromagnetice in aplicatii de dielectroforeza pentru separarea si detectia bioparticulelor in cadrul proiectului Nucleu “Studiul nanoparticulelor metalice pentru imbunatatirea sensibilitatii sistemelor de detectie” PN 09290106 ( contact: Dr. Oana Nedelcu)

a) b)

Distributia campului electric in prezenta particulelor feromagnetice, sectiune mediana (a) si in vecinatatea electrozilor (b) - Proiectarea si realizarea tehnologica a unui actuator termic din Aluminiu pe substrat de Si; caracterizarea electrica a dispozitivului (Proiect STAR)

Imaginea SEM a dispozitivului Imagine la microscopul optic a structurii

Servicii: - Fabricarea unui biosenzor cu unde acustice de suprafata pe diferite substrate piezoelectrice: Tantalat de litiu si Langasit; caracterizarea dispozitivului cu ajutorul VNA-ului (Vector Network Analyzer) in vederea obtinerii

28

parametrilor de transmisie si a coeficientilor de reflexive -serviciu de fabricatie/caracterizare pentru ROMQUARTZ S.A.

a) b) c) d)

Biosenzor cu unde acustice de suprafata: a) Vederea laterala a biosenzorului; b) Realizarea dispozitivului de calibrare

c) Parametrii de transmisie; d) Parametrii de reflexie (serviciu de fabricatie/caracterizare pentru ROMQUARTZ)- drd. A. Baracu

Educatie si training: - Cursuri si laboratoare pentru programul de master “Senzori inteligent SENZI” Faclutatea ETTI de la UPB; - Laboratoare pentru Cursul de Microsenzori pentru studentii din anul IV de la ETTI – UPB; Cereri de brevet de invenţie naţionale (proiect IDEI): 1) G. Moagăr-Poladian – „Procedeu de manufacturare rapidă folosind fascicol focalizat de ultrasunete”, OSIM A00736 / 2013 2) G. Moagăr-Poladian, V. Moagăr-Poladian – „Element pentru protecţia navelor cosmice la impactul cu micrometeoriţi”, OSIM A00817 / 2013 Cereri internaţionale de brevet de invenţie (proiect IDEI): - International Search Report al WIPO atestă faptul că cererea de brevet internaţională WO 173506 / 2012 este originală, reprezintă o activitate inventivă şi este aplicabilă industrial. Scorul obţinut este ‚A’ la toate punctele, adică scorul maxim – nu există articol de specialitate sau invenţie opozabilă cererii de brevet internaţionale. Premii obţinute: 1) G. Moagăr-Poladian – Medalie de Aur la 62th World Exhibition of Innovation, Research and New Technology, Bruxelles, Belgium, November 2013. Titlul invenţiei: „Procedeu de nanolitografie 2D şi 3D de tip fountain pen asistat optic “. Este invenţia considerată în cererea internaţională de brevet de invenţie. 2) G. Moagăr-Poladian – Medalia delegaţiei reprezentând Bosnia-Herzegovina, Serbia, Montenegro, Kosovo and Macedonia – pentru contribuţia la stimularea, dezvoltarea şi promovarea creativităţii la 62th World Exhibition of Innovation, Research and New Technology, Bruxelles, Belgium, November 2013. Titlul invenţiei: „Procedeu de nanolitografie 2D şi 3D de tip fountain pen asistat optic “. Este invenţia considerată în cererea internaţională de brevet de invenţie.

LABORATORUL DE CARACTERIZARE MICROFIZICA SI NANOSTRUCTURARE (L6)

1. Misiune - Sustinerea activitatii IMT- Bucuresti prin capacitati de caracterizare experimentala constand in echipamente la nivel de virf si personal calificat in domeniul caracterizarii de materiale, procese si structuri la scara micro si nanometrica - Intarirea capacitatii de nanofabricatie a IMT-Bucuresti prin configurare la scara nanometrica folosind tehnici bazate pe litografia cu fascicul de electroni (EBL) 2. Domenii de activitate Caracterizare:

• Microscopie electronica de baleiaj (conventionala si cu emisie in camp) si Spectroscopie de raze X prin dispersie de energie • Caracterizare de inalta rezolutie a suprafetelor si interfetelor prin Microscopie de baleiaj in camp apropiat (SPM) • Caracterizare mecanica la scara joasa prin tehnici de indentare cu detectia adancimii (Nano Indentare)

29

Structurare • Configurare la scara nanometrica prin Litografie cu fascicul de electroni (EBL) pentru realizarea de micro si nanostructuri pentru aplicatii fotonice, dispozitive de tip fotodetectori MSM –UV, structuri SAW pentru aplicatii de microunde et. • Fabricarea de dispozitive cu grafena folosind tehnici EBL

3. Echipă Echipa L6 este formata din trei cercetatori seniori, un tanar cercetator doctorand, doi asistenti cercetare (un masterand si un doctorand) si un economist:

1. Dr. Adrian Dinescu, Fizician, sef laborator, CS III 2. Raluca Gavrila, Fizician, CS III 3. Dr. Octavian Ligor, Fizician, CS III 4. Marian Popescu, Inginer, Asistent cercetare 5. Bogdan Ionut Bita, Fizician, Asistent cercetare 6. Stefan Iulian Enache, Inginer, Asistent cercetare 7. Mihaela Marinescu, Economist

4. Echipamente • Statie de lucru pentru nanoinginerie si litografie cu fascicul de electroni - Raith e_Line (RAITH

GmbH, Germania). Este un echipament versatil pentru nanolitografie cu rezolutie < 20 nm prin configurare directa de electronorezisti, depunere si corodare asistate de fascicul de electroni.

• Nanoprinter tip Dip Pen NSCRIPTOR (NanoInk, Inc., USA), utilizat pentru nanolitografie de tip ink-and-pen cu scriere directa pe substrat pentru functionalizarea suprafetelor, corectia fotolitografica a mastilor, realizarea de stampile pentru litografia tip nanoimprint etc.

• Microscop electronic de baleiaj cu emisie in camp (FEG-SEM) Nova NanoSEM 630 (FEI Company, USA), dotat cu pattern generator (PG) Elphy Plus (RAITH GmbH, Germania)

• Microscop electronic de baleiaj cu emisie termoionica, TESCAN VEGA II LMU (TESCAN s.r.o , Cehia), dotat cu spectrometru EDX (EDAX Genesys)

• Microscop de baleiaj in camp apropiat multifunctional (SPM) NTEGRA Aura (NT-MDT Co., Rusia) – utilizat pentru imagistica 3D de inalta rezolutie si caracterizare complexa a suprafetelor prin tehnici complementare avansate (AFM, STM, EFM, MFM, SKPM, C-AFM etc.)

• Nano Indenter G200 ( Agilent Technologies, SUA), folosit pentru caracterizarea cu inalta rezolutie a proprietatilor mecanice pentru volume mici de material.

• L6 include 4 laboratoare experimentale incluse in centrul suport IMT-MINAFAB si acreditate in sistem ISO 9001 : «Laborator caracterizare microscopică (SEM)», «Laborator litografie cu fascicul de electroni Raith e-line», «Laborator microscop electronic de baleiaj cu emisie în câmp», «Laboratorul de microscopie SPM si testare nanomecanica».

5. Colaborări internaționale și naționale Colaborari nationale – proiecte in derulare in anul 2013:

• Fabricarea si caracterizarea de structuri micro si nano-metalice cu Dip-Pen Nanolithography, cod PN-II-RU-PD-2011-3-0216 (Coordonator)

• STAR- Strategy 2012 (Partener) • Laboratorul a fost inclus cu statut de Partener in 7 propuneri de proiect nationale in anul 2013

• Colaborari Internationale: • Proiect Bilateral Romania-Bulgaria “Nanostructured and amorphous semiconductor films for sensors

application” • Laboratorul a fost inclus cu statut de Partener in 3 propuneri de proiect internationale in anul 2013 ( 2

FP7, 1 ERA-NET)

• Activitate didactica: Coordonare teza de licenta (colaborare UPB): "Fabricare și caracterizare de structuri oxidice prin oxidare anodică locală cu microscopul de forță atomică", Curs Master “Caracterizarea microfizica a micro si nanosistemelor” in cadrul Programului de master “Microsisteme” al Facultatatii de Electronica, Telecomunicatii si Tehnologia Informatiei a UPB.

6. Rezultate obținute • Utilizarea litografiei cu fascicul de electroni (EBL) pentru realizarea unor structuri de grafena monolayer destinate studiului proprietatilor electromagnetice ale grafenei in spectrul de microunde si unde milimetrice

30

Ghiduri de unda coplanare realizate pe grafena exfoliata, fabricate prin prin litografie cu fascicul de electroni (M. Dragoman, A Cismaru, A. Stefanescu, A. Dinescu, D. Dragoman, The electromagnetic properties of graphene in the microwave and millimeterwave spectrum, 43rd European Microwave Conference (EuMC), Nuremberg, GERMANY, 7-10 Oct 2013, EUROPEAN MICROWAVE CONFERENCE (EUMC) Book Series, p: 530-532, 2013) • Configurarea grafenei CVD prin litografie cu fascicul de electroni in vederea obtinerii de micro si nanostructuri integrabile unor dispozitive nanoelectronice. EBL in combinatie cu depunerea de metal in instalatii de inalta directionalitate asigura fabricarea la nivel de placheta a dispozitivelor pe baza de grafena. Conductivitatea electrica buna a grafenei permite patternarea cu inalta rezolutie si cu erori minime de lipire a campurilor de scriere a PMMA.

a b c a) Designul unei dispozitiv destinat studiului transportului balistic al electronilor in grafena b) Imagine AFM a grafenei CVD utilizate c) Micrografie SEM a nanocontactelor metalice de Pd/Au pe grafena • Realizarea prin litografie cu fascicul de electroni (EBL) a unor nanostructuri de grafena de forma trapezoidala pentru aplicatii in rectificarea semnalelor de inalta frecventa. Utilizarea PMMA ca electronorezist pentru procesarea grafenei CVD permite obtinerea unor benzi cu latimea minima de 50 nm. Procesul de fabricare este implemetat la nivel de placheta, spre deosebire de majoritatea dispozitivelor cu grafena, care sunt realizate pe flake-uri individuale de dimensiuni mici. Estimarile initiale arata ca frecventa de taiere a acestui dispozitiv este de 6.5 THz. a b c

a) Schema de principiu a unei nanostructuri de grafena pentru aplicatii la rectificarea semnalelor de inalta frecventa b) structura fizica realizata folosind PMMA ca electronorezist c) Diode cu grafena fabricate la nivel de placheta pentru aplicatii de inalta frecventa (M. Dragoman, A. Dinescu, D. Dragoman – On-wafer graphene diodes for high-frequency applications, ESSDFERC 2013 Conf., 16-20 September 2013, Bucharest, Romania) • Fabricarea si caracterizarea de micro-nanostructuri cu ajutorul nanolitografiei de tip Dip-Pen. Folosind tehnica oxidarii locale cu ajutorul unui varf AFM conductiv, polarizat electric, au fost realizate pe substrat de Si structuri cu dimensiuni laterale de ordinul μm si inaltimea de ordinul nm. a b

Proiectul unei structuri de masca (a) si structura realizata prin oxidare locala a substratului de Si cu ajutorul unui

varf AFM polarizat electric (b)

31

In anul 2013 echipa L6 a publicat un numar de 16 articole in reviste cotate ISI (dintre care 9 ca prim autor din IMT) si un total de 6 comunicari la conferinte internationale, ca prim autor din IMT.

LABORATORUL DE FIABILITATE (L7) 1. Misiune

Elaborarea şi utilizarea unor instrumente de lucru prin care să se evalueze, să se îmbunătăţească şi să se monitorizeze fiabilitatea senzorilor, actuatorilor, microsistemelor, nanostructurilor şi componentelor microelectronice. Aceste acţiuni se desfăşoară în spiritul Ingineriei Convergente (Concurrent Engineering), adică începând cu faza de proiect şi apoi pe tot parcursul dezvoltării dispozitivului, inclusiv la utilizarea în viaţa reală. 2. Domenii de activitate

Construirea fiabilităţii: Proiectarea pentru fiabilitate (Design for Reliability - DfR), Proiectarea pentru fabricare (Design for Manufacture – DfM), Monitorizarea şi selecţia micro şi nanostructurilor şi dispozitivelor, Fiabilitatea componentelor în medii ostile (Harsh Environment), cum ar fi utilizarea lor în domeniile nuclear, geologie, auto, aeronautic, spaţial etc.; Proiectarea robustă (Robust Design), particularizată pentru biosenzori de monitorizare a calităţii mediului).

Evaluarea fiabilităţii: Testarea accelerată a micro şi nanostructurilor (cu utilizarea solicitărilor simple sau a unor solicitări combinate, la mai mulţi factori de solicitare simultan, care simulează mai fidel situaţia reală şi permit o accelerare mai mare a încercărilor); Analiza şi fizica defectelor şi defectărilor; Analiza fiabilităţii prototipurilor virtuale.

Standardizare: Certificare, Teste de calificare şi periodice, elaborarea de standarde. 3. Echipă

În anul 2013, echipa L7 a fost formată din patru specialişti: trei cercetători seniori, cu peste 30 de ani de activitate în domeniul fiabilităţii dispozitivelor microelectronice şi un tânăr inginer, toţi patru fiind absolvenţi ai facultăţii de Electronică şi Telecomunicaţii a Universităţii Politehnica Bucureşti.

Echipa L7 (de la stânga la dreapta):

1. Dr. Marius Bâzu (Şef de laborator), 2. Dr. Lucian Gălăţeanu, 3. Ing. Dragoş Vârşescu, 4. Ing. Virgil Emil Ilian.

4. Echipamente

Principalele echipamente de încercari şi măsurări de fiabilitate ale L7 (incluse în Laboratorul experimental LIMIT) sunt sintetizate în tabelul din pagina următoare. 5. Colaborări internaționale și naționale Colaborări internaţionale

• Proiect PC7: “Frequency Agile Microwave Bonding Systems – FAMOBS” – alegerea celei mai fiabile variante tehnologice pentru tratamentul termic cu microunde al încapsulantului;

• Proiect PC7: “Nanostructured materials and RF-MEMS RFIC/MMIC tehnologies for highly adaptive and reliable RF systems – NANOTEC” – proiectarea şi realizarea unui program de încercări de fiabilitate;

• Colaborare bilaterală România – Slovacia, cu titlul “Time and stress degradation phenomena in lead-free solder joints – DEGRAJOINT”;

• Proiect de fonduri structurale pentru Programul de Cooperare Transfrontalieră România – Bulgaria: “Romanian- Bulgarian Services Centre for Microsystems and Nanotechnology”;

• Protocol de colaborare semnat între Laboratorul de Fiabilitate al INCD pentru microtehnologie și Centrul de Fiabilitate al Institutului KETI, Republica Coreea ;

• Colaborare cu firma FEI (Olanda) – realizarea pentru partenerul străin a unor analize termice de mare precizie, cu microscopul IR;

• Colaborare cu Austrian Research Institute for Chemistry and Technology (OFI) din Austria – realizarea de către partenerul străin a unor analize cu microscopul acustic cu baleiaj.

32

Tipul încercării / măsurării

Tipul echipamentului / Firma

Parametrii încercării

Temperatură ridicată UFB 400 / MEMMERT Temperatură: +5oC….+220oC ; Volum : 53 l Temperatură + Presiune scăzută

VO 400 / Memmert Temperatură: +25oC…+200oC; Presiune : 10…1100 mbar; Volum: 49 l

Temperatură + Umiditate

CH 160 / Angelantoni Temperatură: -40oC…+180oC ; Umiditate : 20…95% RH : Volum : 160 l

Temperatură + Umiditate + Presiune ridicată (HAST)

EHS-211M / ESPEC EUROPE GmbH

Temperatură: 105oC…142oC; Umiditate : 75%...100%: Presiune : 0.02…0.196 Mpa; Volum: 18 l

Cicluri termice TSE-11-A / ESPEC EUROPE GmbH

Metoda cu 2 camere, viteză de deplasare variabilă: Temperatură scăzută : -65oC…0 / Temperatură ridicată: +60oC…+150oC; Volum: 11 l

Vibraţii + Temperatură + Umiditate

TV 55240/LS / TIRA Vibraţii: DC…3000 Hz; Temperatură: -30oC…+150oC; Umiditate:10%...95%; Greutate max.a probei: 100 Kg; Volum: 250 l

Şocuri mecanice (Cadere libera)

MRAD 0707-20 – Free Fall Sock Machine / Cambridge Vibration

Dimensiunea mesei de transport: 7 in x 7 in; Înălţimea maximă a specimenelor: 10 in; Înalţimea maximă de cădere a mesei de transport: 60 in; Acceleraţia maximă: 4500 g

Caracterizare electrică 4200 SCS / Keithley Stimuli: Tensiune CC < 100V, Curent CC < 1A; Impulsuri: semnal analogic 30V, <40MHz; Măsurări: tensiune 0.5 μV, curent 1 fA

Condiţionare termică la măsurare

TP04300A-8C3-11 7 Thermo Stream / Temptronic

Variaţii de temperatură: - 80oC to +250oC, cu timp de tranziţie: în sus 7 sec, în jos 20 sec; Control al temperaturii +/- 0.1oC

Analize termice Microscop IR SC 5600 + G3 L0605 / FLIR Systems

Senzor: InSb, Rezoluţia (pixeli): 640 x 512: Interval calibrat de temperatură: -20°C … 3000°C

Colaborări naţionale

• Colaborări cu doua centre de cercetare ale Universității Politehnica București: Centrul de Microscopie - Microanaliză și Procesarea Informației (condus de Prof. G. Stanciu) și Centrul de Calitate, Fiabilitate şi Tehnologii Informatice - EUROQUALCOM, condus de Prof. I. Bacivarov;

• Protocol semnat la nivelul institutului (cu precizarea domeniului fiaiblității) cu firma Honeywell Romania - Sensors Laboratory Bucharest - SLB

Referenţi la reviste, membri în colective editoriale în anul 2013

• M. Bâzu – referent al revistelor Microelectronics Reliabilty, IEEE Transactions on Device and Materials Reliability, Electronics and Telecomunications Research Institute Journal (Republic Korea) şi membru în colectivul de redacţie al revistelor Quality Assurance şi Bulletin of Micro and Nanoelectrotechnologies; membru în comitetele naţionale de standardizare 144 - Fiabilitate şi mentenabilitate şi 378 – Nanotehnologii;

• V. Ilian – Preşedintele al comitetelor naţionale de standardizare 17 - Dispozitive cu semiconductoare şi 193 - Tehnologia asamblării componentelor electronice, membru în comitetul naţional de standardizare CT 375: Sisteme şi echipamente audio video şi multimedia.

Premii în anul 2013

• M. Bâzu - Premiul “Tudor Tănăsescu” al Academiei Române, acordat la 19 decembrie 2013 pentru cartea “Failure Analysis”, apărută la editura J. Wiley & Sons (SUA).

6. Rezultate obținute (exemple)

Analize termice efectuate pentru firma multinaţională FEI (Centrul de cercetare din Eindhoven, Olanda), cunoscut producător de microscoape electronice (SEM, TEM, FIB etc.): S-a utilizat microscopul în infaroşu (SC 5600 + G3 L0605 / FLIR Systems) existent in L7, care a fost adaptat pentru a se putea efectua analize termice pe o cameră de probă de dimensiuni extrem de mici, care urmează să intre în componenţa unui nou produs al firmei FEI. S-a urmărit verificarea uniformităţii temperaturii în camera de probă, pe mai multe variante constructive succesive, cu performanţe din ce în ce mai bune privind uniformitatea temperaturii.

33

Specialişti de la INCD pentru Microtehnologie şi FEI pregătind efectuarea analizelor termice

Harta termică a unui sistem electronic (obţinută cu microscopul IR).

Teste de fiabilitate pentru proiectul PC7 “Frequency Agile Microwave Bonding Systems – FAMOBS”: S-au proiectat şi efectuat teste de fiabilitate pentru a se identifica varianta tehnologică ce asigură fiabilitatea maximă, din mai multe variante tehnologice de tratare termică cu microunde a unui încapsulant utilizat pentru circuite integrate. S-au utilizat două echipamente de înalta performanţă existente în L7 (un echipament de ciclare termică tip TSE 11A, respectiv un echipament de testare puternic accelerată - Highly Accelerated Stress Test HAST, tip EHS 211M, care au fost adaptate pentru efectuarea testelor de fiabilitate cerute. În analiza defectărilor, s-au utilizat caracterizările cu microscop acustic cu baleiaj effectuate la OFI, Austria. Rezultatele obţinute sunt cuprinse într-o comunicare prezentată de o echipă de cercetare internaţională la ESSDERC 2013: „Reliability Tests for Discriminating Between Technological Variants of QFN Packaging”.

Stânga: Echipament pentru ciclare termică, tip TSE 11A (Espec Europe, Germania) Dreapta: Echipament pentru testarea puternic accelarat la stres (Highly Accelerated Stress Test – HAST) tip EHS 211M (Espec Europe, Germania)

BREVETE OBŢINUTE ÎN 2013

• Sistem constructiv pentru realizarea de micro-biosenzori bazaţi pe inhibiţia procesului de fotosinteză la microorganisme (Constructive system for making microsensors based on microorganisms photosynthesis inhibition process), nr. 123507 din 30.01.2013

• Micro-biosenzor pentru detecţia diuronului, bazat pe inhibiţia procesului de fotosinteză la cianobacterii (Micro-biosensor for diuron detection, based on photosynthesis inhibition at cyanobacteria), nr. 123508 din 30.01.2013

• Procedeu de selecţie de fiabilitate a structurilor semiconductoare prin accelerarea optică a generării-recombinării pe nivele adanci (Proceeding for reliability selection of semiconductor chips with p-n junctions, based on the optical acceleration of generation-recombination at deep levels), nr. 126169 din 30.01.2013.

LABORATORUL DE TEHNOLOGII AMBIENTALE (L8)

1. Misiune Cercetare,Dezvoltare, inovare de noi tehnologii de micro/nanosenzori

• Proiectare tehnologica, dezvoltare tehnologica pana la nivel de prototip • Dezvoltare de procese tehnologice individuale noi • Dezvoltare tehnici de asamblare(bazate pe MCM)

Cercetare, dezvoltare, inovare de materiale noi (ex.:nanocompozite) • Sinteza de materiale noi • Dezvoltare de dispozitive bazate pe materiale noi (nanomateriale)

Servicii tehnologice • Asistenta si consultanta tehnologica (proiectare fluxuri tehnologice, porti de control etc.) • Analiza compatibilitati tehnologice si de defecte pe flux

34

• Asistenta tehnologica la trecere de la prototip la serie zero Educare, diseminare

• Cadru didactic asociat la U Politehnica Bucuresti, Facultatea de Electronica si Tc • Organizare de workshop-uri, prezentari pe profilul laboratorului(legatura cu industria)

Toata activitatea mentionata mai sus se desfasoara avand drept scop imbunatatirea conditiilor ambientale (inclusiv aplicatii in sanatate) si pentru up-gradarea industriilor traditionale.

2. Domenii de activitate • Proiectare si modelare de tehnologii si procese tehnologice individuale pentru micro/nano

tehnologii (ex. Microsenzori integrati piezoelectrici, micromatrici cu lumina alba, fotodetectori de mare viteza pentru cuplaj pe fibre optice)

• Compatibilizari tehnologice pentru tehnologii si linii tehnologice • Tehnologii MCM si alte tehnologii nestandard de asamblare pentru M/NST in special pentru

aplicatii in industriile traditionale • Sinteze de materiale nanocompozite si materiale nanostructurate ca materiale sensitive si

aplicatii in care se utilizeaza aceste materiale • Caracterizare spectroscopie FTIR si UV-VIS • Proiectare si procesare procese termice specifice (calcinari, RTP)

Directii noi pentru viitor:

• Aplicatii ale micro/nano tehnologiilor si a materialelor nanostructurate in agricultura • Tehnologii de realizare a micro/nanosenzorilor si a sistemelor de iluminare pe susbstrate flexibile • Aplicatii ale materialelor nanostructurate si a M/N senzorilor in cercetarea si industria aerospatiala

(in ambele directii:aeronautica si spatiu) 3. Echipă 1. Dr. Ileana CERNICA - CS I, dr.ing. in microelectronica , sef laborator 2. Drd. Alina MATEI - CS III, MST in inginerie chimica; 3. Chim.Vasilica TUCUREANU(SCHIOPU)- CS III, chimist; 4. Ing. Florian PISTRITU – inginer electronist; 5. Ing.-Ec. Andrei GHIU – inginer-economist in Mecanica Fina;

4. Echipamente (selectie) Tehnologie RTP- Rapid Thermal Processing High temperature furnace, Carbolite system for Silicon, Compound folosit pentru: sinterizare, annealing, calcinari, etc Semiconductors,Photonics Fabricat 2011 and MEMS (ANNEALSYS, France) Fabricat 2010 Aplicatii:

Caracterizare: FTIR Spectrometer Tensor 27, UV-Vis Spectrometer AvaSpec-2048 TEC Bruker Opticks AVANTES

35

Fabricate in 2007

5. Colaborări internaționale și naționale Parteneri Universitati: 11 U Politehnica Bucharest (Optoelectronics Centre, DCAE Dept.-Electronics, Telecomunication and Information Technology Faculty; CEM- Science of Materials Faculty; Facultatea de Mecanica); Technical University Iasi, Al I Cuza University Iasi, Valahia University Targoviste, Ovidiu University Constanta, Transilvania University Brasov, Technical University Timisoara, USAMV Cluj;UMF Tg.Mures Parteneri Institute de CD si ale Academiei Romane: 7 Institutul de Pneumoftiziologie Marius Nasta, National Institute for Electrochemistry and Condensed Matter, Timisoara, IMNR, INFLPR, ICIA Cluj, ICM Petru Poni Iasi, Institutul de Chimie al Academiei Timisoara Parteneri IMMuri si IND: 6 ROMQUARTZ, SITEX 45, ROMSYS, ELITE, NATURA, ROMAERO, Institute private de CDI: 7 CEPROCIM, ICCR Ripan Cluj, Institutul National al Lemnului, EBIC, ICPAO Medias, NATURA Cercetare si Inovare,ECONIRV Parteneri straini: 4 AMG TECHNOLOGY LTD./ MICROELECTRONICA INDUSTRIAL ZONE, BULGARIA, SCIENCE UNIVERSITY BORDEAUX / INRA, FRANCE, CONSTRUCTION TECHNOLOGY INSTITUTE / AIDICO, SPAIN, GTZ Germany 6. Rezultate obținute Proiect : Dezvoltarea fosforilor nanostructurati si aplicatii in micromatrici emisive pe substrate flexibile Scop: obtinerea fosforilor nanostructurati pentru dispositive emissive realizate pe substrate flexibile Scopul cercetarii in 2013: Optimizarea de procese si procese de asamblare a structurilor LED pe substrate flexibile. Asamblarea matricii Realizari anterioare: Brevet BI No. 123429/2012, “PROCEDEU DE OBTINERE A GRANATULUI DE ITRIU SI ALUMINIU DOPAT CU

CERIU UTILIZAT CA FOSFOR PENTRU APLICATII IN OPTOELECTRONICA EMISIVA”, Şchiopu Vasilica,

Cernica Ileana Viorica, no.3/132, 30.11.2011

A castigat medalia de aur la Salonul International de Inventii Geneva 2012

Matrice flexibila pe rubilith transparent Masca metalica

Substrat flexibil Asamblare fir Au pe Ag

Asamblare fir AU/Au Asamblare post tratament plasma

36

Proiect : Sisteme active de protective micro-shields pentru infrastructurile spatiale Scop: obtinerea unor micro-shields-uri care sa protejeze infrastructurile spatial de ciocnirile cu particulele din spatiu Realizari: Matrice

Sructurii elementului de protectie la impactul cu micrometeoriti.

Tipuri de nanomateriale: oxid de zinc(ZnO) , oxid de zinc functionalizat cu acid elaidic (ZnO-EA),Carbura de bor,

Nantotuburi de carbon, Hidroxiapatita, Fosfat de calciu

Matrice polimerica de: PMMA (polimetilmetacrilat)

Metode de depunere: (a) Depunere matrice compozit prin injectare in alveole si (b) prin presare in alveole -

Pastile de carbura de bor

Caracterizare:

Caracterizare FTIR :

Spectrul FTIR pentru o proba reprezentativa nanomaterial (CB4) si film de polimer (PMMA)

Caracterizare optica

Imagini optice ale (a) carburi de bor, carbura de bor acoperita cu un strat polimeric de (b) PMMA

Educatie si training: Cursuri si laboratoare pentru programul de master in Optoelectronica in colaborare cu UPB. Supervizare lucrari de diploma si master de la UPB. Servicii: Servicii stiintifice de caracterizare materiale utilizand FTIR si RTP in conformitate cu ISO 9001: 2008 pentru IMT si institutii de cercetare in cadrul colaborarilor.

LABORATORUL DE NANOTEHNOLOGIE MOLECULARA (L9) 1. Misiune

Laboratorul de nanotehnologie moleculara a fost infiintat in anul 2009, pornind de la necesitatea integrarii cunostintelor practice, analitice si numerice in domeniile chimiei si structurilor (supra)moleculare, materiale functionale, dinamica moleculara si modelari/simulari atomistice. Ariile principale de interes sunt cercetarea fundamentala si dezvoltarea de tehnologii pentru realizarea de materiale functionale si micro/nanosisteme bazate pe sinteze, modificari fizico-chimice si optimizari structurale. Studiile urmaresc intelegerea si utilizarea mecanismelor care confera functii noi, prin combinarea tehnicilor de preparare si sinteza a substratelor 3D...0D, atasari moleculare controlate, modelari teoretice si analize numerice prin metode ab-initio si (semi)-empirice.

Laboratorul a capatat masa critica in 2010-2011, reunind in prezent expertiza unor chimisti, fizicieni si ingineri reintegrati in sistemul de cercetare din tara dupa studii doctorale si post-doctorale realizate in strainatate. L9 face parte din Centrul pentru Nanotehnologii al IMT-Bucuresti, care functioneaza sub egida Academiei Romane.

a b

37

2. Domenii de activitate

• Sinteza, dezvoltare si caracterizare de nanomateriale modificate fizic/chimic, cu proprietati dedicate pentru aplicatii in senzoristica, nanoelectronica si optoelectronica: puncte cuantice metalice si nanoparticule carbonice (carbon quantum dots), nanotuburi de carbon, grafena, nanocompozite, filme si materiale supraconductoare si dispozitive bazate pe acestea.

• Dezvoltare si caracterizare de micro/nanosisteme si dispozitive care integreaza (nano)materiale optimizate functional: senzori (electro)chimici si moleculari, celule solare, LED-uri, senzori magnetici (SQUID).

• Investigarea analitic-numerica a fenomenelor si mecanismelor-cheie care creeaza proprietati noi si/sau ofera solutii de optimizare functionala a nanomaterialelor dezvoltate: modelare-simulare - DFT, semi-empiric DFT, dinamica moleculara, BIE - de structura electronica, mecanisme de adsorbtie chimica/fizica, spectre de absorptie/emisie optica, moduri de rezonanta plasmonica.

3. Echipa 1. Dr. Lucia Monica Veca - CS I, Doctor in Chimie, Univ. Clemson, SUA, 2009 2. Dr. Antonio Marian Radoi - CS II, Doctor in Chimie, Univ. Tor Vergata, Italia, 2007. 3. Dr. Titus Sandu - CS II, Doctor in Fizica, Univ. Texas A&M, SUA, 2002. 4. Dr. Victor Leca - CS II, Doctor in Stiinta Materialelor, Univ. Twente, Olanda, 2003. 5. Dr. Radu Cristian Popa - IDT I, Doctor in Inginerie Cuantica si Stiinta Sistemelor, Univ. Tokyo, 1998; Sef

de laborator.

4. Colaborari internationale si nationale 1. Universitatea Clemson, SUA - prof. Ya-Ping Sun 2. Centrul de cercetare 3NanoSAE, Bucuresti-Magurele - prof. Ioan Stamatin 3. INCD pentru Stiinte Biologice, Bucuresti - Dr. Sandra Eremia, Dr. Simona Litescu 4. Institutul de Chimie Fizica, Bucuresti si Forschungszentrum Jülich, Germania - Dr. Viorel Chihaia 5. Universitatea Tübingen, Germania - prof. Dieter Kleiner, prof. Dieter Koelle 6. Institutul de Tehnologie, Karlsruhe - Dr. Di Wang 7. Universitatea Babes-Bolyai, Cluj - prof. Simion Astilean, prof. Anamaria Elena Terec 8. INCD Fizica Laserilor, Plasmei si Radiatiei, Bucuresti-Magurele - Dr. Maria Dinescu 9. Universitatea din Bucuresti - prof. Adelina Ianculescu 10. Universitatea din Loughborough, Anglia - Dr. Boris Chesca 11. Université Catholique de Louvain, Belgia - prof. Sorin Melinte 12. Universitatea Regensburg, Germania - prof. Thomas Niehaus 13. Universitatea Le Havre, Franta - prof. Jean-Louis Izbicki

5. Rezultate

Proiect: PNII – ID- PCCE – 2011- 2- 0069 „Carbon quantum dots: exploring a new concept for next generation optoelectronic devices” (2012-2015): Sinteza solutiilor coloidale de CQD (carbon quantum dot) pasivate cu EDA (2,2’ – (etilendioxi) dietilamina), cu diametrul sub 5 nm si randament cuantic de fluorescenta de 30 % (lungimea de unda de excitare 400 nm) - Monica Veca ([email protected])

Spectrele de (a) Absorbtie (ABS) si fluorescenta (FLSC, lungimea de unda de excitare: 400 nm) pentru carbon quantum dots (CQD) pasivate cu etilen diamina EDA (linie continua, respectiv linie punctata pentru absorptie in solutie concentrata) si 13CQD pasivate cu EDA (linie-punct); (b) distributia dimensiunii CQD pasivate cu EDA. [ACS Nano 2014, DOI 10.1021/nn406628s]

(a) (b)

38

Investigarea proprietatilor electroluminescente ale CQD pasivate cu polietilenglicol (PEG) prin integrarea acestora in diode organice - Monica Veca ([email protected])

a) Spectrele de electroluminescenta ale unui dispozitiv LED pe baza de CQD pasivate cu PEG la 10 V, 11V, 13V si 15V (b) coordonatele CIE ale diodei operate la 15 V si 5mA. Inset: imagine foto a diodei.

Informatii teoretice asupra structurii electronice si fenomenelor fotonice in nano-doturi de carbon functionalizate - Radu Popa ([email protected]) Pe baza faptului ca observatiile experimentale au evidentiat caracterul cristalin de tip grafit al nano-doturilor de carbon (CQD), au fost realizate simulari numerice pe modele atomice de tip plan de grafena, respectiv nanosfere de grafit, in vederea identificarii efectelor liganzilor de functionalizare asupra nivelelor de energie a starilor electronice si a tranzitiilor permise (probabile) de foto-excitatie/emisie. Senzor electrochimic - Antonio Radoi ([email protected]) A fost obtinut un senzor electrochimic pentru metanol si apa oxigenata pe baza de nanoparticule de Pt. A fost studiat raspunsul unui electrod de carbune sticlos modificat cu nanoparticule de Pt depuse in compozitul oxid de grafena polimer (PtNPs-GO-PDDA) [Talanta 110, 164-170 (2013)]

Model de nanodot grafitic nefunctionalizat, cu diametru de ~2nm. In inset: modele de functionalizare cu amine (sus: 1,3 propandiamina; jos: para-fenildiamina). 800 - 1200 atomi.

[eV]

Sus: Densitati de stari (DOS) obtinute pentru diversi liganzi atasati la un plan de grafena cu structura regulata. Jos: Orbitali HOMO si LUMO pentru structura, cu ligand para-fenildiamina

39

0 2000 4000 6000 8000 10000

0,0

5,0x10-4

1,0x10-3

1,5x10-3

2,0x10-3

0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 7000

0,0

1,0x10-5

2,0x10-5

I, A

t, s

Bare Pt electrode

I, A

t, s

PtNPs-GO-PDDA PtNPs-GO

A

-0,2 -0,1 0,0 0,1 0,2 0,3 0,4 0,5

-4,2x10-4

-2,8x10-4

-1,4x10-4

0,0

1,4x10-4

I, A

E, V

Blank 5 mM H

2O

2

10 mM H2O

2

(a) Raspunsul electrodului realizat comparat cu raspunsul unui electrod de Pt in prezenta a 1 M metanol (+0.75 V vs. Ag/AgCl in 0.5 M H2SO4 barbotat cu N2); (b) Voltametrie ciclica (50 mV/s) ilustrand raspunsul electrodului in prezenta a 5 si 10 mM H2O2 (electrolit support: 10 mM tampon fosfat salin + 0.1 M KCl barbotat cu N2). Nanoparticule de carbon Au fost obtinute nanoparticule de carbon (graphene quantum dots - GQD) in matrice polimerica prin sinteza hidrotermala in camp de microunde, pornind de la glucoza ca sursa de carbon.

(a) Imagine HR-TEM a nanoparticulelor de carbon in matrice polimerica; (b) Voltametrie ciclica (50 mV/s) ilustrand caracteristicile HOMO si LUMO ale nanoparticulelor de carbon in prezenta si absenta polimerului PEG600; conditii de lucru: electrod de Pt, 0.1 M TBAP in acetonitrile. Modelarea fenomenului de rezonanta plasmonica in nanoparticule metalice - Titus Sandu, [email protected] S-a dezvoltat un procedeu bazat pe metoda integralei de suprafata pentru calculul atat al rezonantelor plasmonice localizate in nanoparticule metalice cat si al capacitatii/incarcarii electrice a corpurilor metalice cu forma arbitrara.

(a) (b)

(a) (b)

Polarizabilitatea complexa a nanoparticulelor metalice. Aceasta marime este proportionala cu sectiunea eficace de extinctie a luminii.

Calculul factorului de marire a campului electromagnetic la suprafata nanoparticulelor metalice datorita rezonantelor plasmonice localizate[Plasmonics, 8, 391-403 (2013)].

40

LABORATORUL DE MICRO- SI NANO-FLUIDICĂ (L10)

Laboratorul de micro- si nano-fluidică este rezultatul proiectului multidisciplinar POSCCE, O.2.1.2 Nr. 209, ID 665, Fabrica microfluidică pentru auto-asamblarea asistata a nanosistemelor (MICRONANOFAB), care a reunit specialişti din domeniul micro- nanotehnologiei, chimiei, biologiei moleculare, si care a avut ca obiectiv fundamental realizarea până la nivel de prototip a unui sistem microfluidic integrat capabil sa dozeze, sa încapsuleze si sa livreze la ţintă, diferite substanţe pentru tratament medical.

1. Misiune Cercetare, dezvoltare si educaţie in domeniul micro si nano-fluidicii. Principala preocupare a laboratorului este proiectarea dispozitivelor microfluidice pentru aplicaţii in diagnoze clinice si medicina regenerativa. 2. Domenii de activitate Modelare CFD (Computational Fluid Dynamics) (CFD) a curgerilor cu fluide Newtoniene si Ne-Newtoniene, printre care: curgeri mono si multifazice, amestecare, turbulenta, transfer de caldura, implementarea unor functii definite de utilizator pentru setarea unor parametri de curgere aditionali, magnetohidrodinamica, etc. Proiectarea dispozitivelor microfluidice pentru aplicaţii in diagnoze clinice si medicina regenerativa. Investigarea reologica si a curgerii fluidelor la scara micrometrica si aplicatiile acesteia pentru optimizarea dispozitivelor de tipul lab-on-a-chip Nano- si microtehnologie experimentala: procese realizate in regim „camera curata” (microprelucrarea polimerilor, sticlei si a siliciului), designul, simularea, fabricarea si caracterizarea MEMS-urilor is a biosenzorilor. Determinarea campurilor de viteze cu ajutorul sistemului μ-PIV, dezvoltare dispozitive şi protocoale de micro-amestecare, manipularea particulelor utilizand dielectroforeza si magnetoforeza, dar şi analizarea condiţiilor la limita la nivel micronic. Bioinginerie: Asimilarea celulara a nanoparticulelor; studii ale apoptozei celulare induse de hipertermia magnetica; investigarea celulelor cancerigene utilizand fluorescenta UV, microscopie (SEM, SNOM) si spectroscopie (FTIR, Raman, Impedanta). Fizica curgerii in microcanale: Focalizarea hidrodinamica a lipozomilor (determinari experimentale si predictii numerice utilizand un dispozitiv microfluidic cu 3 intrari si o iesire). Transport molecular in dispozitive microfluidice: Sistem magnetoforetic pentru detectia biomoleculelor marcate magnetic; sisteme magnetoforetice active pentru separarea celulelor prin campuri magnetice; filtre pentru separarea de microparticule cu proprietati morfologice, electrice si magnetice diferite; dispozitive microfluidice de separare a nanoparticulelor. Vizualizarea si caracterizarea curgerii: Metodele noastre experimentale utilizate pentru investigatii ale curgerilor microscopice se bazeaza pe: (i) contrastul substantelor pentru distributiile liniilor de curent; (ii) masuratori µ-PIV pentru determinarea comportamentului hidrodinamic local a curgerilor stationare, masuratori cantitative ale profilelor de viteze si identificarea vartejurilor. 3. Echipă 1. Dr. Marioara Avram - CS I, dr. in microsenzori magnetoelectronici; 2. Dr. Cătălin Valentin Mărculescu - CS III, dr. in mecanica fluidelor; 3. Dr. Cătălin Mihai Bălan - CS III, dr. in mecanica fluidelor; 4. Drd. Andrei Marius Avram - CS III, fizician si doctorand in inginerie electrica, dispozitive magnetoforetice; 5. Dr. Adrian Şerban - Consultant, fizician si doctor in fizica plasmei 6. Dr. Ciprian Iliescu - CSII, inginer mecanic si doctor inginerie mecanica 4. Echipamente Tehnologie: ICP-RIE: Plasmalab System 100- ICP - Sistem de corodare uscată adâncă pe bază de ioni reactivi Corodare: proces Bosch pentru Si si SiC, proces criogenic pentru Si Reactive Ion Etching (RIE): Sistem de corodare uscată pe bază de ioni reactivi - Etchlab 200 Corodare: dielectrici, semiconductori, polimeri, metale

41

Instalatie de depunere chimica din faza de vapori asistata de plasma (PECVD): LPx CVD Depunere: oxid de siliciu, nitrura de siliciu Wafer Bonder System- SB6L- Sistem de lipire substraturi – placheta Lipire: Si pe Si, sticla pe Si, cu polimer la temperatura/sub presiune

Caracterizare: Sistem Micro -PIV pentru Microfluidica Masuratori campuri de viteze, distributii de temperatura si ce concentratii in curgeri microfluidice Refractometru pentru măsurarea grosimii straturilor - NanoCalc-XR Masuratori ale grosimilor straturilor de material, ale filmelor subtiri, masuratori ale indicelui de refractie.

5. Colaborări internaţionale şi naţionale • Cooperare internationala cu centre de cercetare universitare europene si cu firme din Anglia, Spania, Germania, Franta, Austria, Norvegia. • Cooperare nationala cu institute de cercetare, universitati si firme romanesti (IXIA MEDICA, DDS, CONITRANS, CASA LETA). 6. Rezultate obţinute

6.1.Tehnologie de laborator pentru microprelucrarea umedă a sticlei În cadrul laboratorului microprelucrarea sticlei se poate face prin 2 metode: în sistemul de corodare cu ioni reactivi (RIE); sau într-un sistem de corodare cu vapori de acid fluorhidric (realizat în cadrul laboratorului). Corodarea RIE se obţine în plasmă de trifluormetan diluat cu argon, şi se foloseşte un strat de fotorezist gros pentru mascarea sticlei. Astfel au fost obţinute structuri cu pereţii laterali drepţi (corodare anizotropă), cu adâncimea de aproximativ 1 μm Corodarea în sistemul cu vapori de acid fluorhidric, se realizează într-o instalaţie specială, în care se poate controla temperatura substratului. Corodarea este izotropă, adâncimea obţinută fiind de aproximativ 5 μm. Mai jos sunt prezentate imagini ale gravurilor în sticlă obţinute prin cele două metode.

Corodarea sticlei cu vapori de acid fluorhidric la temperaturi diferite Corodarea sticlei în RIE

42

6.2. Tehnologie de laborator pentru fabricarea sistemelor microfluidice

Sistemele microfluidice sunt realizate pe substrat de siliciu, şi sunt încapsulate cu capac de sticlă, pentru vizalizarea fenomenelor ce au loc în microcanale. Fabricarea acestora implică procese de corodare adâncă a siliciului (în ICP-RIE), depuneri metalice (prin e-beam evaporation şi sputtering), depuneri de straturi de pasivare (în PECVD), corodări de straturi subţiri (în RIE sau umed). Pentru microfluidică este de dorit a avea materiale cu proprietăţi mecanice foarte bune, aceasta însemnând lipsa stresului rezidual, modul de elasticitate mare, coeficient de frecare mic şi rezistenţă mare la uzură. În figurile de mai jos prezentăm câteva structuri realizate: sistem microfluidic pentru obţinerea lipozomilor prin focalizare hidrodinamică şi un detaliu al microcanalului (figurile din stânga); sistem magnetoforetic pentru manipularea magnetolipozomilor şi a particulelor cu proprietăţi magnetice (central dreapta), sistem impedimetric pentru determinarea constantei dielectrice a celulelor biologice.

6.3. Metode de asamblare a containerelor lipidice in sisteme microfluidice

Pentru identificarea metodei optime pentru obţinerea şi asamblarea lipozomilor în canale microfluidice prin focalizare hidrodinamică, a fost studiat mai întâi comportamentul reologic al soluţiei lipidice şi implicit a lipozomilor în contact cu solutiile tampon apoase. In acest sens s-a realizat o similitudine între interacţia lipozomilor cu soluţiile tampon şi interacţia între două fluide newtoniene imiscibile şi s-au realizat modelări numerice prin care s-a modelat obţinerea unor picături similare cu lipozomii, controlând dimensiunile prin raportul debitelor. Au fost realizate dispozitive microfluidice pentru asamblarea formaţiunilor lipidice prin focalizare hidrodinamică.

Montajul experimental utilizat în crearea lipozomilor - pentru sistemul de focalizare hidrodinamica cu 2 curgeri laterare, este implică folosirea a două pompe microfluidice. Detaliu asupra dispozitivului microfluidic utilizat, şi conectica aferentă.

(a)Focalizarea solutiei de lipozomi pentru o presiune de intrare a curgerii principale de 600 mbar. Regimul optim de lucru a fost ales astfel încât, păstrând presiune de intrare constantă pe ramura principală, să fie obţinută o îngustare cât mai mare prin creşterea presiuni laterale – in cazul de faţă 985 mbar. (b) Regimul de curgere caracterizat prin curgeri secundare de tip vârtej – presiune laterală fiind de 1000 mbar. Simularile numerice corespunzatoare fenomenului de focalizare hidrodinamică.

Solutie de lipozomi

Alcol izopropilic

Alcool izopropilic

(a)

(b)

Alcool izopropilic

43

6.2 Infrastructura de cercetare-dezvoltare

În INCD pentru Microtehnologie, infrastructura de cercetare-dezvoltare este grupată în cadrul Centrului de Micro- și Nanofabricație IMT-MINAFAB, care este o facilitate modernă pentru cercetare-dezvoltare în domeniul micro-nanotehnologiilor, certificată de TÜV Thüringen e.V., în iunie 2011, în conformitate cu SR EN ISO 9001:2008 (care presupune reînnoirea anuală a certificării, efectuată deja în 2012 şi 2013).

IMT-MINAFAB este destinat cercetării interdisciplinare în echipe complexe (în parteneriat), dar și asigurării de servicii ştiinţifice și tehnologice pentru parteneri si clienţi din cercetare, educaţie și industrie. Centrul include zone cu grad optim de decontaminare a spaţiului de lucru (camera “albă” și "gri") și echipamente dedicate unor procese tehnologice și de analiză/caracterizare/proiectare/simulare, multe dintre ele unice în România. Majoritatea echipamentelor sunt fabricate și instalate în ultimii 3-4 ani. Toate echipamentele și instrumentele sunt operate de cercetători și personal tehnic cu formare multidisciplinară (fizicieni, ingineri, chimişti, biologi, tehnologi), cu expertiză în utilizarea acestora sau a unor echipamente similare de generaţii anterioare.

IMT- MINAFAB reprezintă o platforma multidisciplinară dedicată atât cercetării și educaţiei (training by research), cât și inovării, platformă ce acordă acces direct partenerilor din cercetare și firmelor din domeniu (care pot veni cu propriul IP). Facilitățile experimentale permit parcurgerea ciclului de cercetare începând de la proiectare–modelare-simulare, până la realizarea unui demonstrator, model experimental, prototip, reprezentând un set unitar pentru CD în micro-nanotehnologii.

Zonele și laboratoarele facilităţii IMT-MINAFAB sunt: • Zona cameră curată, clasă 1000 (220 m2) - zonă tehnologică și experimentală, care cuprinde

sectoarele de Fabricaţie măști litografice, Microlitografie, Depuneri fizice, Dip-Pen Nanolithography și Chimie măști.

• Zona cameră “gri”, clasă 100.000 (287 m2) - cuprinde seturi de echipamente complexe de nanostructurare și caracterizare complexă.

• Zona cameră curată clasa 10.000 (133 m2) - zonă tehnologică pentru depuneri chimice (LPCVD, PECVD), corodare uscată ( RIE, DRIE) prelucrări termice speciale (RTP).

Categoriile principale de servicii oferite sunt: servicii tehnologice pentru dezvoltarea de micro-nano dispozitive și sisteme; proiectare, modelare și simulare; inspecţie și caracterizare a suprafeţelor, cristalelor, micro- și nanostructurilor; servicii complexe de cercetare/dezvoltare/ inovare. Moduri de acces: atât acces direct, cât și indirect (servicii) pentru utilizatorii din țară și din străinătate. Pentru educaţie și instruire se oferă acces direct și instruire pentru cursuri de Master și programe post-doctorale. De asemenea, se oferă instruire pentru utilizatori din domeniul cercetării și industriei.

Prin proiectul de Fonduri Structurale POS CCE “Centrul de cercetare pentru nanotehnologii dedicate sistemelor integrate si nanomateriale avansate pe baza de carbon – CENASIC, incepand cu luna octombrie 2013 s-a demarat constructia unui spatiu tehnologic de tip „camera alba” si a unor laboratoare de cercetare, cu dotari pentru cercetari avansate (carbura de siliciu, grafena, diamant nanocristalin), cu grad ridicat de aplicabilitate, aliniat cercetarilor de varf pe plan international (functional din aprilie 2015).

Lista infrastructurilor performante achiziționate în ultima perioadă de INCD pentru Microtehnologie este prezentată în următoarele două tabele de mai jos, menționându-se pentru fiecare valoarea și anul achiziției. Echipamentele au fost separate în corporale, respectiv necorporale.

Echipamente corporale (cele cu valoare mai mare de 100.000 euro)

Anul achizitiei

Valoarea (mii de euro)

Low Presure Chemical Vapour Deposition Equipment (LPCVD) - LC100 (AnnealSys, France)

2005 138

RIE Plasma Etcher - Etchlab 200 (SENTECH Instruments, Germany)

2005 120

44

Electron Beam Evaporation an DC sputtering system - AUTO 500 (BOC Edwards, UK)

2006 139

Laser lithography system – DWL 66 fs, direct writing laser, high resolution pattern generator (Heidelberg Instruments Mikrotechnik, Germany)

2006 261

Double Side Mask Aligner - MA6/BA6 (Suss MicroTec, Germany)

2007 216

Microwave network analyzer (0.04-65 GHz) Lightning 37397D VNA/Anritsu (Anritsu, Japan)

2007 117

PECVD system LPX-CVD (SPTS, UK) 2007 417Scanning Probe Microscope - NTEGRA Aura (NT-MDT Co., Russia)

2007 156

3D Printer with Selective Laser Sintering - Formiga P100 (EOS GmbH, Germany)

2008 160

Dip Pen Nanolithography Writer - NSCRIPTOR (NanoInk, Inc., USA)

2008 215

45

Electrodynamic vibration system with thermal and electrical tests - TV 55240/LS (TIRA, Germany)

2008 110

Electron beam lithography and nanoengineering workstation - e_Line (Raith, Germany )

2008 605

Field Emission Gun Scanning Electron Microscope (FEG-SEM) - Nova NanoSEM 630 (FEI Company, USA)

2008 398

Liquid delivery source functional module for PECVD system LPX-CVD (SPTS, UK)

2008 115

Scanning Electrochemical Microscope - ElProScan (HEKA, Germany)

2008 109

Scanning Near-field Optical Microscope - Witec alpha 300S (Witec, Germany)

2008 160

Upgrade VNA-Module from 65GHz to 110GHz-VNA (Anritsu, Japan) 2008 191White Light Interferometer - Photomap 3D (FOGALE nanotech, France)

2008 137

X-ray Diffraction System (triple axis rotating anode) - SmartLab - 9kW rotating anode, in-plane arm (Rigaku Corporation, Japan)

2008 340

46

DRIE - PlasmaLab System 100 (Oxford Instruments, UK)

2011 315

Wafer-Substrate Bonder System SB6L (Suss MicroTec, Germany) 2011 160

E-Beam Deposition system (Temescal, USA)

2012 314

Echipamente necorporale Anul achiziției

Matlab 1 licenta modul de baza 2009 CST Studio - Simulare electromagnetica 2009 Coventorware 2013 2008

(upgrade 2012) Solid Works 2008 Matematica 7 - 2 licente de retea 2008 Origin Pro8 – 2 licente de retea 2008 Opti FDTD 12.0 – proiectare, modelare, simulare, CAD a componentelor fotonice pasive si neliniare prin metoda FDTD (Finite-Difference Time-Domain)

2000 (upgrade 2013)

OptiBPM 11.0 – proiectare, modelare, simulare, CAD a ghidurilor optice si a circuitelor fotonice integrate complexe prin metoda BPM (beam propagation method).

2000 (upgrade 2013)

OptiGrating, LaserMod 2007 3Lit – design pentru elemente micro-optice 3D. 2009 Zemax –design optic. 2009

De asemenea, institutul si-a creat o infrastructură hardware, care conține în principal:

• Staţie de lucru de înaltă performanță (Procesor: 8 QuadCore Intel Xeon MP 2.93 GHz, Memorie RAM: 196 Gbyte, Capacitate stocare: 2.3 Tbyte; Sisteme de operare: Windows, Linux). Utilizată pentru rularea programelor de proiectare și simulare microsisteme – COVENTORWARE 2013, ANSYS 12.1, COMSOL 4.0, OPTI FDTD, CST, facilități de rulare în paralel și de la distanță în rețeaua institutului.

• Sală de instruire prin cercetare, dotată cu rețea de calculatoare ce conțin programe de modelare/proiectare/simulare/prelucrarea datelor:

o Coventorware 2012 (cu multiple posturi de lucru: 8 pe Designer - partea de proiectare-constructie, 8 pe analize de tip MEMS - mecanic, termic, electrotermic etc), 4 pe module de fluidica, cate 2 pe cateva tipuri particulare de analiza, cum ar fi cea piezoelectrica),

o Mathematica 7 - calcul numeric și simbolic, o Origin Pro8 - prelucrarea datelor, grafică.

6.3 Laboratoare de încercări acreditate/neacreditate Patru laboratoare experimentale de încercări sunt în curs de acreditare de către RENAR:

47

Denumire laborator Domeniul în care va fi acreditat 1 Laborator de caracterizare avansata a

componentelor si circuitelor de microunde si unde milimetrice – MICROLAB

Încercări electrice; Măsurare parametrii S ai circuitelor de microunde realizate pe plachete semiconductoare

2 Laborator de măsurări și testări optice și optoelectrice - OPTOLAB

Măsurări electrice și opto-electrice asupra dispozitivelor optoelectronice și fotonice; Efectuarea de teste fizico-chimice asupra straturilor de materiale depuse în straturi multiple și ultrasubțiri, în scopul determinării constantelor optice și a compoziției.

2 Laborator de analize morfologice la scară nanometrică - NANOMORF

Microscopie SEM și AFM

4 Laborator de evaluare a conformității produselor microtehnologiilor în acord cu cerințele Uniunii Europene – LIMIT

Încercări de fiabilitate și caracterizare electrică pentru produsele microtehnologiilor

6.4 Instalații și obiective speciale de interes național

INCD pentru Microtehnologie –IMT Bucuresti nu deţine în prezent instalaţii sau obiective care să fi fost declarate de interes național. În 2009, a fost pusă în funcţiune facilitatea IMT- MINAFAB (descrisă anterior, la 6.1), care este in acest moment in proces de evaluare la MEN, pentru a deveni instalaţie de interes naţional.

6.5 Măsuri de creștere a capacității de cercetare-dezvoltare corelat cu asigurarea unui grad de utilizare optim

Au fost identificate următoarele priorităţi strategice

6.5.1 Investitii pentru imbunatatirea ariilor de expertiza si a realizarilor existente

• Achizitii selective de module functionale oferite de producatori pentru echipamentele existente. Scopul: maximizarea capabilitatilor tehnologice si analitice pentru echipamentele achizitionate anterior. Prioritati principale pentru perioada planului: zona litografie, difractie de raze X, caracterizare on-wafer, SPM, analiza si simulare numerica.

• Cresterea capabilitatilor si a calitatii proceselor de baza - accent pe depuneri de materiale, dopari de precizie.

• Cresterea alocarilor dedicate pentru mentenanta si revizia echipamentelor. Accent pe asigurarea securitatii continue in functionare si mentinerea parametrilor de operare.

6.5.2 Investitii majore pentru cresterea capabilitatilor in directii de CD selectate

• Achizitii coordonate de echipamente noi, in vederea dezvoltarii si integrarii de noi tehnologii, estimate a avea un potential ridicat, in special in domeniul sintezei, procesarii si integrarii materialelor cu cheie functionala la scara nanometrica. Accent pe tehnologii tehnologii specifice proiectului CENASIC (6M euro), corespunzatoare celor 3 clase de materiale: SiC, grafena, diamant nanocristalin.

• Cresterea semnificativa a capabilitatilor in analiza numerica HPC. Necesitatea de acoperire a unor directii de interes recent: simulari atomistice, analiza de campuri cuplate, microfluidica LoC, sisteme plasmonice.

• Extinderea semnificativa a capabilitatilor de procesare si caracterizare la scara nano. Accent pe fascicul de ioni (ion beam), XPS, profilometrie rapida; absenta acestor capabilitati reprezinta factorul principal care limiteaza abordarea unei game complete de experimente la scara nano.

6.5.3 Investitii generale de infrastructura: reabilitari, modernizari, dezvoltari noi

• Dezvoltarea centrului CENASIC, pentru CD in nanomateriale bazate pe carbon (6M euro). Echipamentele noi (pct 2.1) vor fi amplasate intr-un spatiu nou de camera alba (prevazut in proiect): 200 m2, clasa 1000. Proiectul mai prevede: constructia unei cladiri cu 3 nivele; crearea de 8 laboratoare noi, cu echipare initiala; spatii de birou pentru cercetatori si colaboratori.

• Renovarea/modernizarea unor arii tehnologice selectate - accent pe pregatirea spatiului si utilitatilor pentru amplasarea optima a echipamentelor achizitionate in viitor. Deasemenea, hala tehnologica existenta a IMT (1800 mp) este modernizata doar partial la standarde corespunzatoare.

• Modernizarea/innoirea infrastructurii-suport functional in zone selectate - accente pe: generarea alternativa de energie (combustibil motorina); sistemele de filtrare aer; sistemul de apa deionizata.

• Renovarea/modernizarea cladirii-turn de birouri a IMT. Accent pe lucrari de consolidare, dar si modernizare estetica si functionala.

48

În tabelul de mai jos sunt sintetizate priorităţile de investiţii ale INCD pentru Microtehnolologie pentru anii 2014-2016, cu specificarea surselor de finanţare.

7. REZULTATELE ACTIVITĂȚII DE CERCETARE-DEZVOLTARE 7.1 Structura rezultatelor de cercetare-dezvoltare:

2013 2012

7.1.1 Lucrări ştiinţifice/tehnice în reviste de specialitate cotate ISI (Anexa 3) 46 58

7.1.2 Factor de impact cumulat al lucrărilor cotate ISI 81.9 112.32

6

7.1.3 Citări în reviste de specialitate cotate ISI (Anexa 3) 456 448

7.1.4 Brevete de invenţie (solicitate / acordate) (Anexa 4) 3/9 5/6

7.1.5 Citări în sistemul ISI ale cercetărilor brevetate 0 0

7.1.6 Produse/servicii/tehnologii rezultate din activităţi de cercetare, bazate pe brevete, omologări sau inovații proprii (Anexa 5)

5/9/23 2/11/7

7.1.7 Lucrări ştiinţifice/tehnice in reviste de specialitate fără cotaţie ISI (Anexa 6) 6 10

7.1.8 Comunicări ştiinţifice prezentate la conferinţe internaţionale (Anexa 7) 74 121

7.1.9 Studii prospective şi tehnologice, normative, proceduri, metodologii şi planuri tehnice, noi sau perfecţionate, comandate sau utilizate de beneficiar (Anexa 8)

2 26

7.1.10 Drepturi de autor protejate ORDA sau în sisteme similare legale 0 0

7.2. Rezultate de cercetare-dezvoltare valorificate și efecte obținute

Pentru realizarea transferului tehnologic, INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti a întreprins o serie de acţiuni:

• Crearea mai multor infrastructuri de transfer şi inovare: Parcul Ştiinţific şi Tehnologic- MINTECH -RO, Centrul de Transfer Tehnologic – CTT- Baneasa ;

• Crearea unui Centru Servicii Ştiinţifice şi Tehnologice (IMT-MINAFAB), care să asigure interacţiunea dintre cercetători şi companii;

• Participarea la mai multe proiecte de inovare şi transfer tehnologic ; • Participarea la saloanele inovării şi la expoziţii ; • Activitate susţinută in cadrul Camerei de Comert si Industrie a muncipiului Bucureşti – CCIB; institutul este

membru fondator al secţiunii Cercetare – Dezvoltare – Inovare a CCIB. Mentionam in cele ce urmeaza cativa factori care au influentat activitatea de transfer tehnologic: • În România, există puţine companii la nivel naţional interesate în utilizarea noilor micro- nanotehnologii şi

în exploatarea nişelor la nivelul pieţii mondiale;

49

• În Europa (deci şi în România), multe companii mici şi mijlocii sunt concentrate mai mult pe obţinerea de fonduri publice decât pe a cuceri segmente de piaţă; chiar companiile multinationale care activeaza in România sunt interesate să acceseze doar fonduri publice, având un interes redus în cooperarea cu organizatiile publice de cercetare-dezvoltare.

• Criza economică, din care se spune că am ieşit, a contribuit şi ea la lipsa de interes a companiilor româneşti pentru transferul tehnologic, oarecum atipic faţă de abordarea la nivel europan sau mondial, unde firmele au folosit transferul de tehnologii inovative tocmai pentru ieşirea din criză.

Plecând de la această situaţie, conducerea institutului a promovat măsuri pentru creşterea transferului tehnologic, cum ar fi:

• Încurajarea cercetătorilor şi inginerilor să se implice mai mult în transferul tehnologic, prin propunerea de brevete;

• Încurajerea apariţiei de “spin-offs”, desprinse din activitatea de cercetare, care să continue să coopereze cu institutul;

• Angajarea de personal specializat în transfer tehnologic, în paralel cu perfecţionarea profesională a celui existent;

• O implicare mai accentuată a directorilor şi a consiliului de administraţie în impulsionarea activităţii de transfer tehnologic;

• Reevaluarea periodică a companiilor găzduite de Parcul Ştiinţific şi Tehnologic MINATECH-RO (găzduit de institut), în ceea ce priveste activitatea de transfer tehnologic, astfel încât să rămână în parc doar acele companii care sunt active în acest sens (un exemplu pozitiv îl reprezintă firma ROMQUARTZ S.A., care colaborează cu institutul în mai mutle proiecte de cercetare);

• Utilizarea pentru transfer tehnologic a reţelei de servicii coordonate de INCD pentru Microtehnologie, creată în anul 2012 în cadrul secţiei de Cercetare-Dezvoltare-Inovare a CCIB;

• Întărirea comunicării în cadrul reţelei create de institut de-a lungul anilor, prin diverse proiecte, reţea care cuprinde cca 60 de grupuri de cercetare şi firme;

• Furnizarea de cursuri de pregătire (gratis sau tarife modice) pentru firme, pentru a trezi interesul acestora pentru colaborarea cu domeniul micro- şi nanotehnologiilor;

• Participarea la târguri internaţionale din domeniu; vizite şi discuţii cu firmele care acţionează în domeniu şi sunt interesate de aplicarea noilor tehnologii;

• Reorientarea spre pieţe noi cu potenţial ridicat • Participarea institutului, ca membru fondator, la clusterul de cercetare “ELI-NP Cluster inovativ” creat în

jurul proiectului ELI (Extreme Light Infrastructure) – Bucureşti-Măgurele; • Asigurarea de acces la servicii şi echipamente pentru firma Honeywell România. 7.3. Oportunități de valorificare a rezultatelor de cercetare Dezvoltarea de aplicaţii pentru componentele, micro- şi nanosistemele, materialele şi tehnologiile obţinute prin

cercetare este un obiectiv esenţial pentru institut. Principalele oportunităţi sunt următoarele: • Micro/nanostructuri si sisteme pentru comunicatii; • Micro/nanosisteme pentur aplicatii biomedicale (prevenire, diagnostic si tratament); • Senzori si micro/nanosisteme pentru monitorizarea calitatii mediului si a alimentelor. • Traductoare, senzori, micromanipulatoare bazate pe noile materiale şi tehnologii; • Integrarea de sisteme micro/nano inteligente (senzori, actuatori, sisteme de control, structuri mecanice) şi

dezvoltarea de aplicaţii industriale, de exemplu in transporturi; • Aplicarea de materiale nanostructurate şi nanotehnologii în industria de construcţii, pentru îmbunătăţirea

calitatii si functionalitatii; • Sisteme de colectare şi conversie a energiei la nivel nano; Implicarea industriei este esentiala pentru succesul dezvoltarii de aplicatii, iar institutul are colaborari cu

industria (Infineon Technologies, Thales etc.) in proiecte europene, in special ENIAC–JU (Public Private Partnership), focalizate pe nanoelectronică, senzori in domneiul counicatiilor si automotive). Mentionam aici firme imprtaante din Europa care sunt partenere in numeroase proiecte atta FP7 cat si ENIAC: Thales SA - Thales Research & Technology, Franta, Infineon Technologies, NXP- Philips.

Trebuie mentionata si cooperarea cu industria locala cu mar fi firmele multinationale: Honeywell România (exista un protocol de colaborare din 2009 si acces la facilitati si servicii) Infineon Technologies ( in cadrul unui proiect ENIAC- related FP7) si cu firme roamaesti, in special cele fazduite de din Parcul Tehnologic, care activeaza in domneiul micro-nanotehnologiilor, aplicatii spatiale sau microrobótica.

Mentionam ca INCD pentru Microtehnologie - IMT Bucuresti are avantajul unei faciilitati unice in tara de microfabricatie in domeniul micro-nanoelectronicii, naotehnologiilor: IMT-MINAFAB, a expertizei in acest domeniu si a unui laborator de incercari de fiabilitate modern, utilat la nivel mondial si in care lucreaza cercetatori cu inalta calificare. Acest laborator oferă servicii specializate companiilor româneşti, dar şi din străinătate (a semnat un protocol de colaborare cu Reliability and Failure Analysis Center al Korean Electronics Technology Institute - KETI, Republica Coreea).

50

7.4. Măsuri de creștere a capacității de cercetare-dezvoltare corelat cu asigurarea unui grad de utilizare optim

Institutul şi-a creat mai multe mecanisme de stimulare a apariţiei unor noi directii de cercetare, cum ar fi: • Facilitarea continuă a interacţiunii cu parteneri din mediul academic si din industrie, in cadrul consortiilor

europene (FP7, PPP-ENIAC, ERA-NET),sau al cooperarii bilaterale • Participarea la diferite evenimente de brokeraj; • Participarea la activitatile organizate de câteva dintre Platformele Tehnologice Europene: European

Technology Platform on Smart Systeme and Integration (EPoSS), European Nanoelectroncis Initiative Advisory Council (ENIAC), Nanotechnologies for Medical Applications (Nanomedicine), Photonics Technology Platform (Photonics21), Micro and Nanomanufacturing (MINAM).

• Încurajarea initiativei libere a cercetatorilor din institut de a participa la call-urile nationale sau europene de granturi de cercetare;

• Promovarea sustinuta a accesuljui la literatura de specialitate, ca si la rapoartele interne de cercetare ( Membru consotiu ANELIS PLUS);

• Promovarea si mentinerea unor conexiuni strînse cu mediul industrial (multinaţionale, IMM-uri); • Realizarea de parteneriate prioritare cu institutiile academice si grupurile de cercetare din România şi din

străinătate; • Inventarea şi promovarea de noi mecanisme organizationale (de exemplu, laboratoarele experimentale)

pentru stimularea utilizarii infrastructurii institutului; • Organizarea de seminarii interne pentru comunicarea si discutarea rezultatelor cercetarii; • Promovarea unor intalniri bilaterale cu companii multinationale si parteneri academici, cu rolul de „brain

storming” pentru dezvoltarea unor agende comune.

8. MĂSURI DE CREȘTERE A PRESTIGIULUI ȘI VIZIBILITĂȚII

8.1. Prezentarea activității de colaborare prin parteneriate 8.1.1 Dezvoltarea de parteneriate la nivel național și internațional (cu personalități / instituții /

asociații profesionale) în vederea participării la programele naţionale şi europene specifice INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti a desfășurat de-a lungul anilor şi desfăşoară o intensă activitate de creare și dezvoltare a parteneriatelor naționale și internaționale. Liniile directoare ale acestei activităţi sunt următoarele:

• Întărirea parteneriatelor de cercetare-dezvoltare existente cu: Honeywell Romania (acord de colaborare semnat oficial in iulie 2009), Infineon Technologies Romania.

• Laborator comun: „Associated European Laboratory” (LEA) cu LAAS- CNRS, Toulouse (Franţa) şi FORTH, Heraklion (Grecia).

• Acorduri bilaterale de tip „institute-to-institute” semnate oficial cu: the Korean Institute for Electronics – KETI), Universite Catholique de Louvain si cu institute din R. Moldova, Italia (Salerno, Torino, Bologna).

• Participarea la actiunile suport ale FP7 (IMT este partener asociat al proiectului actiune suport FP7 IRISS - Implementation of Research and Innovation on Smart Systems Technologies - Grant Agreement No. 287842 (2011-2013).

• Întărirea parteneriatului în educaţie cu Universitatea „Politehnica” Bucureşti, în special privind cursurile de masterat, laboratoare şi practica de vară, cu extindere posibilă la activitatea şcolii doctorale, a tezelor de doctorat etc.; parteneriate cu universitatile din Craiova si Ploiesti.

• Dezvoltarea de parteneriate legate de implementare proiectului CENASIC, centrul de cercetare specializat pe nanomaterale pe bază de carbon, care, după ştiinţa noastră, este unic în Europa;

• Dezvoltarea de parteneriate naţionale şi regionale (Europa de Sud-Est), bazate pe colaborarea cu Centrul de Micro şi Nanofabricaţie (IMT-MINAFAB), în acest sens este deja în derulare proiectul ”Romanian-Bulgarian Services Centre for Microsystems and Nanotechnologies”, din cadrul Programmului Transfrontalier Romania-Bulgaria (2007-2013);

• Dezvoltarea de parteneriate focalizate pe direcţii de cercetare specifice cu institute ale Academiei Române (chimie, biologie).

A. Parteneriate la nivel naţional in programele de cercetare: În anul 2013, INCD pentru Microtehnologie a coordonat un număr de 28 proiecte în cadrul programelor

naționale și a fost implicat ca partener în 10 proiecte naționale. Comparativ, în anul 2012 INCD pentru Microtehnologie a coordonat un numar de 31 proiecte naționale și a fost implicat ca partener în alte 6 proiecte naționale.

51

Parteneriatele la nivel național pentru proiecte naționale din 2013 pot fi împărțite în mai multe categorii, după cum urmează :

• Colaborări cu firme 1. DDS Diagnostic SRL 2. Romquartz SA 3. SC INTERNET SRL 4. SC Optoelectronica - 2001 SA 5. SC Telemedica SRL 6. Centrul European de Afaceri Inventică & Cercetare SA 7. ROMELGEL SRL

• Colaborări cu institute de cercetare

1. INCD de Fizica Laserilor, Plasmei şi Radiaţiei 2. INCD pentru Inginerie Electrică, ICPE-CA 3. INCD în Optoelectronică, INOE2000 4. Institutul de Oncologie Bucuresti 5. INCD Fizica Materialelor

• Colaborări cu universități

1. Universitatea Politehnica Bucuresti 2. Universitatea de Medicină și Farmacie "Carol Davila" Bucuresti 3. Universitatea Bucuresti 4. Universitatea Tehnică Cluj-Napoca, Facultatea de Electronică, Telecomunicaţii şi Tehnologia

Informaţiei (UTCN), Cluj-Napoca 5. Universitatea Transilvania Brașov 6. Universitatea de Stiinţe Agronomice şi Medicină Veterinară – Institutul de Medicină Comparată

Bucureşti

În afara proiectelor de cercetare naționale, IMT Bucuresti a intrat într-un parteneriat național în cadrul Camerei de Comerț și Industrie din București (CCIB), devenind membru al secției Cercetare - Dezvoltare - Inovare (CDI) a CCIB. INCD pentru Microtehnologie este responsabilul unui proiect intern al secției CDI a CCIB, și anume înființarea în anul 2012 a rețelei virtuale ROMNET-LAB.CER.IN (LABoratoare de CERcetare și de ÎNCercări), care continuă să activeze și în 2013. Din această rețea fac parte 16 institute naționale și firme din București.

Din anul 2013, INCD pentru Microtehnologie este membru in clusterul “Măgurele High Tech Cluster”si membru al Asociatiei ELI-NP CLUSTER INOVATIV.

B. Parteneriate la nivel internațional

IMT Bucureşti a fost implicat in 2013 în 18 proiecte internaționale, dintre care 7 proiecte PC7 și 8 proiecte related FP7 (ENIAC, ERA-NET, etc ), la care se adauga 3 proiecte COST . Un proiect MNT-ERA-NET (related FP7) este coordonat de INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti (v. Anexa 10).

În anul 2012, IMT a fost implicat în 16 proiecte internaționale, dintre care 8 proiecte PC7 și 8 proiecte (related FP7). Participarea IMT in 2013 in Proiecte FP7 1. IP - SMARTPOWER- Smart integration of GaN & SiC high power electronics for industrial and RF applications", IP FP7-ICT-2011.3.2, contract no. 288801, 2011 – 2014 2. IP - NANOTEC- Nanostructured materials and RF-MEMS RFIC/MMIC technologies for highly adaptive and reliable RF systems ", IP FP7-ICT-2011.3.2, contract no. 288531, 2011 – 2014 3. STREP - NANO RF - Carbon based smart systems for wireless applications, FP7-ICT-2011-8, contract no. 318352, 2012 - 2015 4. STREP - PARCIVAL- Partner Network for a Clinically Validated Multi-Analyte Lab-on-a-Chip Platform, FP7 HEALTH.2011.2.3.1-4, 2011 – 2014 5. NANOVALID - Development of reference methods for hazard identification, risk assessment and LCA of engineered nanomaterials, FP7 Large-scale integrating Collaborative Project 2011-2015, IP, NMP. 6. CA - MOLD-NANONET - Enhancing the capacities of the ELIRI Research Institute in applied research to enable the integration of Moldova in the European Research Area on the basis of scientific excellence, FP7-INCO-2011-61, 2011-2014 7. NANOSUSTAIN - Development of sustainable solutions for nanotechnology-based products based on hazard characterization and LCA, FP7-NMP-ENV-2009, STREP, 2010-2013 Proiecte JTU ENIAC:

52

1. MERCURE - Micro and Nano Technologies based on wide band gap materials for future transmitting receiving and sensing systems, ENIAC 2009-1, 2010- 2014 2. NANOCOM - Reconfigurable Microsystem Based on Wide Band Gap Materials, Miniaturized and Nanostructured RF-MEMS, Call 2001-1, 2011-2014 3. MotorBrain - Nanoelectronics for Electric Vehicle Intelligent Failsafe Drive Train; ENIAC-2010-1, 2011-2014 Proiecte MNT ERA-NET : 1. MEMIS - "MEMS Based Millimetrewave Imaging System", MNT ERA-NET (2010-2013) 2. PESTIPLAT - “Integrated Platform for Pesticides Detection”, MNT-ERANET Call 2010 (2011-2013) 3. 3SMVIB - 3-Scale modelling for robust-design of vibrating micro sensors, MNT-ERANET Call 2011 (2012-2015) 4. MULTINANOWIRES -Multifunctional Zinc-Oxide based nanostructures: from materials to a new generation of devices (2010-2013) Proiect LIFE+ (Related FP7): 1. i-NanoTool - Development of an interactive tool for the implementation of environmental legislation in Nanoparticle manufacturers, LIFE12 ENV/ES/000326, 2013 - 2015 Proiecte COST 1. Novel Gain Materials and Devices Based on III-V-N Compounds, Contract: Action MP0805, 2009-2013 2. European network for innovative uses of EMFs in biomedical applications EMF-MED, Contract: Action BM1309, 2013-2017 3. NanoSpectroscopy, Contract: MPNS COST Action MP1302, 2013-2017

În anul 2013, IMT - Bucuresti a fost implicat în 3 proiecte bilaterale, cu: Argentina (Facultad de Ciencias Químicas, Universidad Nacional de Córdoba), Bulgaria (Bulgarian Academy, Institute of Solid State Physics) și Slovacia (Technical University Kosice), iar în 2012 a fost implicat in 4 proiecte bilaterale, cu: Slovacia (Technical University Kosice), Moldova (Institute of Applied Physics, Academy of Science of Moldova), Japonia (Institute of Advanced Energy, Kyoto University) și Republica Coreea (KERI Changwon (v. Anexa 11).

Partenerii INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti în proiectele FP7 și related FP7, se împart astfel:

• 58 companii din 14 țări; • 36 universități din 21 de țări ; • 33 institute si centre de cercetare din 17 țări ; • 5 consilii, agenții, camere de comert si alte institutii din 5 țări.

Lista completă a tuturor acestor parteneri internaționali este prezentata în Anexa 9.

Pe lângă proiectele internaționale, în scopul de a dezvolta parteneriate internaționale, INCD pentru Microtehnologie a organizat pe 31 ianuarie 2013 o acțiune de brokeraj, în colaborare cu Technopol Wiener Neustadt (Austria).

Un număr de 12 reprezentanți ai unor firme, institute și universități austriece din Austria de Jos (Volker Uhl, Head of Technical Staff / OTA Surface Technologies and Analytics, OFI Technologie & Innovation GmbH, http://www.ofi.at; Alexander Nemecek, Head of Department Micro- and Nanosystems at the University of Applied Sciences Wiener Neustadt, www.fhwn.ac.at; Carsten Scharlemann, Head of Department: Aerospace Engineering at the University of Applied Sciences Wiener Neustadt, www.fhwn.ac.at; Christoph Kment, Area Manager Medical Devices, ACMIT - Austrian Centerfor Medical Innovation and Technology, www.acmit.at; Theodor Doll, ACMIT - AustrianCenter for Medical Innovation and Technology, www.acmit.at; Norica Godja, Senior Researcher at CEST Competence Centre for Electrochemical Surface Technology, www.cest.at; Anca-Iulia Stoica, CEST Competence Centre for Electrochemical Surface Technology, www.cest.at; Wolfgang Hansal, CEO and Scientific Director of Happy Plating, Spin-Out company of an Austrian research center and acts as a bridge between (applied) research and industrial production, www.happyplating.eu; Peter Liepert, Head of Surface Technology, OFI, www.ofi.at; Rainer Gotsbacher, Technopol Manager Wiener Neustadt, ecoplus, the Business Agency of Lower Austria, http://www.tfz-wienerneustadt.at/ecoplus/technopole/tfz/e/default.asp) au avut întâlniri bilaterale cu reprezentanții laboratoarelor de cercetare din INCD pentru Microtehnologie.

Din aceste întâlniri au rezultat deja o serie de colaborări. De exemplu, Laboratorul de Fiabilitate al INCD pentru Microtehnologie a stabilit un parteneriat cu OFI Technologie & Innovation GmbH (Dr. Volker Uhl) pentru analiza la partenerul austriac, la un microscop acustic de baleiaj, a unor probe ale INCD pentru Microtehnologie, din care a rezultat o comunicare prezentată la ESSDERC 2013.

53

C. Parteneriate in proiecte de Fonduri Structurale

INCD pentru Microtehnologie – IMT Buucresti a derulat în anul 2013 patru proiecte de fonduri structurale: două proiecte POS CCE, un proiect POSTDOC si un proiect transfrontalier România - Bulgaria. Urmatorele proiecte au fost realizate prin parteneriat national (UPB, INCD EMC Timisoara, Canera de Conret Giurgiu, Camera de Comett Calarasi) si international (Bulgaria- Univesitatea "Angel Kancev din Ruse si Camera de comet Ruse)

Perioada Titlul proiectului Denumirea call-ului Rolul IMT (C- coordonator, P - partener)

1 2010-2013

Development of human resources through postdoctoral research in micro- and nanotechnologies - MNT-POSTDOC

POSDRU, ctr./89/1.5/S/63700/2010

C

2 2013-2014

Romanian- Bulgarian Services Centre for Microsystems and Nanotechnology- MICRONANOTECH

Program transfrontalier Romania-Bulgaria

C

8.1.2 Înscrierea IMT Bucureşti în baze de date internaționale care promovează parteneriatele

• IMT Bucuresti este inscris in Portalul Comisiei Europene (Participant Portal) pentru institutiile cu activitati de cercetare dezvoltare si inovare unde se gasesc oportunitati de finantare si asociere pentru participare in proiecte finantate din fonduri europene (HORIZON 2020).

• IMT Bucuresti este inscris in portalul Agentiei Spatiale Europene (The European Space Agency - ESA) pentru institutiile cu activitati de cercetare dezvoltare in domeniul aero-spatial si unde se gasesc oportunitati de finantare si asociere pentru participare in proiecte finantate de ESA.

• Infrastructura IMT-MINAFAB a fost inclusa in baza de date MERIL (“Mapping of the European Research Infrastructure Landscape”), care reprezinta “ an inventory of the most excellent research infrastructures (Ris) in Europe of more-than-national relevance”. Link-uri relevante: http://portal.meril.eu; http://portal.meril.eu/converis-esf/publicweb/research_infrastructure/3417

8.1.3 Înscrierea IMT Bucuresti ca membru în rețele de cercetare/membru în asociații profesionale

de prestigiu pe plan național/internațional

a) Membru al Asociatiei AENEAS- Association for European Nanoelectronics Activities (www.aeneas-office.eu/)

b) Membru al Asociatiei EuMA – The European Microwave Association (http://www.eumwa.org) c) Membru IVAM- The International Association of Microtechnology (http://www.ivam.de) d) Membru al 4M Association (http ://www.4m-association.org/) e) Membru al EUMIREL – European Microsystems Reliability Service Cluster f) Membru al Asociatiei ANELIS PLUS- Asociatia Nationala a Universitatilor, Institutelor de Cercetare si

Bibliotecilor Centrale Universitare din Romania (http://www.anelisplus.ro/) g) Membru al CCIB- Camera de Comert si Industrie a Municipiului Bucuresti (http://www.ccib.ro) si membru

fondator al sectiei Cercetare – Dezvoltare – Inovare a CCIB h) Membru fondator al AROTT- Asociatia Romana de Transfer Tehnologic (http://www.arott.ro/) i) Membru al RENITT – Reteua Nationala pentru Inovare si Transfer Tehnologic (http://www.roinno.ro/) j) Membru ARIES – Asociatia Romana pentru Industria Electronica si Software (http://www.aries.ro/) k) Membru al Patronatului Roman din Cercetare si Proiectare (http://www.ictcm.ro/prcp/) l) Membru in clusterul “Măgurele High Tech Cluster” m) Membru al Asociatiei ELI-NP CLUSTER INOVATIV n) IMT este membru in urmatoarele Platforme Tehnologice Europene:

• EpoSS- The European Technology Platform on Smart Systems Integration (http://www.smart-systems-integration.org/public)

• ETP Nanomedicine- The European Technology Platform on Nanomedicine (http://www.etp-nanomedicine.eu/public)

• ENIAC- European Nanoelectronics Initiative Advisory Council (http://www.eniac.eu/) • PHOTONICS 21- The Photonics Technology Platform (http://www.photonics21.org/)

54

• MINAM – European Technology Platform for Micro- and Nano Manufacturing (http://www.minamwebportal.eu)

8.1.4 Participarea în comisii de evaluare concursuri naționale și internaționale

Acad. Dan Dascalu este: a) expert, membru al Comitetului de Program NMP (nanotehnologie, materiale, producţie) al Comisiei

Europene b) reprezentant al României in “minor-group” de “nanomedicina” al Comisiei Europene c) reprezentant si raportor pentru România la Annual Word Micromachine Summit - organizat in 2013 la

Shanghai, China Experți evaluatori FP7:

- Dana Cristea - Carmen Moldovan

Evaluatori ai celei de-a 43-a editie a conferintei European Solid-State Device Research Conf. ESSDERC (eveniment international de prestigiu):

- Dana Cristea - Dan Dascalu - Mircea Dragoman - Dan Neculoiu - Alexandru Muller - Raluca Muller

Experți evaluatori ENIAC:

- Alexandru Müller Membri in comisii de doctorat: - Gheorghe Sajin

• 9 noiembrie 2013 – Maria Cristina Munteanu: „Solutii radio de co-planificare spectrala in retele de telecomunicatii mobile”, UPB, București;

• 6 decembrie 2013 – Victor Nitu: „Analiza expunerii la unde electromagnetice produse de sistemele de telefonie mobila”.

• Munizer Purica • 25 ianuarie 2013 – Florin Comănescu, “Dispozitive pe bază de materiale transparente cu aplicaţii

în Optoelectronică”, UPB, Bucuresti; • 11 iulie 2013, Gheorghe Zodieru, “ Studiul unor straturi subtiri si structuri multistrat pentru aplicații

funcționale”, UAIC – Iasi.

Participari in Comisii de evaluare conferinţe internaţionale: 1. CAS 2013 2. MEMSWAVE 2013

În ceea ce priveste vizibilitatea institutului (cu implicaţii directe în crearea de noi parteneriate), în anul 2013 s-a continuat organizarea evenimentelor tradiţionale ale institutului si/sau evenimente specifice:

• Conferinţa Anuală de Semiconductoare (CAS), conferinţă internaţională organizată anual la Sinaia, eveniment IEEE, aflat în 2013 la cea de-a 36-a ediţie;

• Seminarul Naţional de Nanoştiinţă şi Nanotehnologie (ediaţia a 12-a), care promovează rezultatele cercetărilor româneşti, organizat sub egida Academiei Române (cele mai bune lucrări sunt publicat într-un volum special, în limba engleză);

• În decembrie se organizează anual “Ziua IMT” (Ziua porţilor deschise); • În anul 2013, institutul a fost unul dintre organizatorii locali ai ESSCIRC / ESSDERC 2013 (European

Conferences on Solid State Circuits/Devices), eveniment internaţional de anvergură, care s-a desfasurat pentru prima dată în Europa de Est (Bucureşti, 19-22 septembrie).

De asemenea, institutul realizează o serie de publicaţii, care au un rol important pentru comunitatea ştiinţifică din România interesată de micro- nanotehnologii şi în crearea de parteneriate:

• Seria de cărţi în limba engleză intitulată “Micro- and nanoengineering” editată de Academia Română, cu cel puţin două volume în fiecare an, unul publicând cele mai bune lucrări ale seminarului naţional pentru nanoştiinţă şi nanotehnologie, celălalt dedicate workshop-ului European anual MEMSWAVE, iniţiat de institut în 1999 şi dedicate micro- nanosistemelor pentru microunde şi unde milimetrice;

• Susţinerea revistei Romanian Journal for Information Science and Technology (ROMJIST), publicaţie ISI a Academiei Române, care cuprinde ediţii dedicate micro- şi nanotehnologiilor.

• Publicarea Proceedingului cu lucrarile conferintei IEEE-CAS

55

8.1.5 Personalități științifice care au vizitat IMT Bucuresti

A. Intalniri de proiect, Workshop-uri in IMT – 2013

• 24 Mai 2013, NANOTEC Progress Meeting - Nanostructured materials and RF-MEMS RFIC/MMIC technologies for highly adaptive and reliable RF systems ", IP FP7-ICT-2011.3.2, contract no. 288531, 2011 – 2014

- Dr. Afshin Ziaei Thales SA - Thales Research & Technology, France • 26 iunie 2013, Vizita membrilor consortiului PARCIVAL - Partner Network for a Clinically Validated

Multi-Analyte Lab-on-a-Chip Platform – FP7 HEALTH.2011.2.3.1-4, 2011–2014 - Pathofinder BV, Olanda;

- HSG-IMIT, Germania; - Dr. Stein und Kollegen Laboratoriumsmedizin, Germany; - Erasmus MC, Holland; - Rohrer AG, Switzerland; - QIAGEN Lake Constance GmbH, Germany; - Agrobiogen GmbH, Germany; - EADS Germany

• 12 septembrie 2013, “SMEs and R&D Together” Workshop, Proiect transfrontalier Romania-

Bulgaria „MicroNanoTech- Services Centre for Microsystems and Nanotechnology” RO-BG MicroNanotech, The Romanian-Bulgarian Services Centre for Microsystems and Nanotechnology, Romania-Bulgaria cooperare transfrontaliera MIS-ETC Code 587 ( 2013-2014). - Universitatea Angel Kanchev’ – Ruse - Chamber of Commerce, Industry and Agriculture,

Calarasi - Chamber of Commerce, Industry and Agriculture,

Giurgiu - Chamber of Commerce in Ruse. - SC ROM-QUARTZ SA, Bucharest; - DDS Diagnostics, Bucharest; - ZIROM SA, Giurgiu; - Shipyard ATG, Giurgiu; - - Technovacsystems Ltd., Ruse.

B. Vizite ale unor delegatii sau ale unor personalitati stiintifice

a) 31 ianuarie 2013, Delegatie din Austria

1. Gotsbacher Rainer, Ecoplus, The Business Agency of Lower Austria 2. Hagenauer Simone, Ecoplus, The Business Agency of Lower Austria 3. Schwaiger Erika, Ecoplus, The Business Agency of Lower Austria 4. Godja Norica, CEST Competence Center, Austria 5. Stoica Anca Iulia, CEST Competence Center, Austria 6. Uhl Volker, Österreichisches Forschungsinstitut für Chemie und Technik (OFI) 7. Seemann Rolf, FoTEc- Forschungs- und Technologietransfer GmbH

56

b) 23 Februarie 2013 Acad. Valentin Vlad - vice presedinte al Academiei Romane

c) 29 martie 2013, Delegatie din Republica Armenia

Dr. Radik M. Martirosyan President of the National Academy of Sciences of Republic of Armenia Mr. Hamlet Gasparian, Ambassador of Republic of Armenia in Romania

d) 24 mai 2013, Delegatie din Japonia

• Prof. Hiroshi Iwai, Frontier Research Center and Dept. of Electronics and Applied Physics, Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering Tokyo Institute of Technology, Japan

e) 29 mai 2013, Delegatie din Rusia

• Dr. Alexandr Ruzaev, International Center for Innovative Nanotechnologies, (InCIS) • Dr. Otilia Culicov, Frank Neutron Physics Laboratory, IUCN, Dubna, Russia

f) 12 August 2013, Delegatie din Africa de Sud. Department of Science and Technology

• Ms. Vinny Pillay – Chief Director Overseas Bilateral Cooperation, • Mr. Tebogo Mokoma – Deputy Director Europe and the Gulf States • Dr. Happy Sithole – Director Centre for High Performance Computing • Venita Smit – South African Embassy

57

g) 29 August 2013, Delegatie REXUS – BEXUS • Mr. Koen Debeule, ESA Technical Directorate,

Mechanical Engineering Dept. (TEC-MXE) – ESTEC Test Centre Division / Engineering Services Section Directorate of Technical and Quality Management

• Mrs. Ylva Houltz M.Sc from SSC Group, Science Services Division / Payloads & Rockets

h) Octombrie 2013, Prof. Zygmunt . Rymuza- Universitatea Politehnica Varsovia, Polonia i) Octombrie 2013, Dr. Lidia Ghimpu - Institutul de Inginerie Electronică şi Nanotehnologii “D.

Ghitu”, Chisinău, Republica Moldova j) Decembrie 2013, Dr. Diana Nashev-, Bulgarian Academy, Institute of Solid State Physics,

dec. 2013 8.1.6 Lecții invitate, cursuri și seminarii susținute de personalitățile științifice invitate

“Fundamental Limitations and perspective of development of nanoelectronics”, Prof. Konstantin Arutyunov- Nanocenter of University of Jyvaskyla, Finland, 8 ianuarie 2013

„Ballistic Transport in Nanoscale Devices. Scattering-limited to collision-free progression in a high electric

field”, „Engineering a Quality Person in You: Ongoing Thinking Processes for Leading, Planning and Improving” Prof. Vijay Arora, Professor of Electrical Engineering and Engineering Management, Wilkes University, SUA, 21 mai 2013

Lucrari invitate sustinute la International Semiconductor Conference, IEEE event, 13-15 octombrie 2013, organizata de IMT Bucuresti

• Implementation of Capacitive RF MEMS Switches into a Monolithic GaN on Silicon Microwave Technology, A. Ziaei, Thales Research & Technologies, France.

• Use of carbon nanotubes and graphene for semiconductor interconnect and heat dissipation applications, J. Liu, Chalmers Univ. of Technology, Sweden.

• Low power, low cost, integrated and stand-alone personal medical solutions, D. Chiricescu, Microchip Technology Romania, Bucharest, Romania.

• Modifications of silicon nitride materials for sonos memories, V. Ioanou-Sougleridis, P. Dimitrakis, P. Normand, N. Nikolaou, D. Simatos, C. Bonafos*, S. Schamm-Chardon*, G. Benassayag*, Inst. of Microelectronics, NCSR “Demokritos”, Athens, Greece, *CEMES-CNRS, Toulouse, France.

58

• Optimization methods and circuit topologies for low-power analog filters, M. Neag, Technical Univ. of Cluj-Napoca, Romania.

• Enhancing the performance of thermal simulation by measurements and structure function based parameter correction, M. Rencz, Budapest Univ. of Technology and Economics, Budapest, Hungary.

• Nanofabrication at the sub 10nm size scale using inert ions, B. Singh, Carl Zeiss Microscopy, LLC Ion Microscopy Innovation Center, One Corporation Way, Peabody, USA

• Nanoparticle synthesis by electro-static interaction in microfluidic devices, C. Iliescu1, C. Marculescu2, A. Salonen3, M. Ni1, G. Tresset3, 1Institute of Bioengineering and Nanotechnology, Singapore, 2IMTBucharest, Romania, 3Univ. of Partis-Sud, Orsay, France.

• Wafer bonding for vacuum encapsulated MEMS, V. Dragoi1, M. Pawlak1, C. Flötgen1, G. Mittendorfer1, E. Pabo2, 1EV Group Austria, 2EV Group Inc., AZ, USA.

8.1.6a Lecții invitate, cursuri și seminarii susținute de specialiști din INCD pentru Microtehnologie • Electron beam lithography for SAW and graphene based devices, NANO2013, 19th Seminar on

Electron and Ion Beam fabrication for Nanotechnology, A. Dinescu, A. Muller, M. Purica, R. Gavrila, M. Dragoman, R. Muller, IMT Bucharest, Romania

• “Nanoscale structuring using electron beam lithography”, Dr. Adrian Dinescu, Workshop "Biomimetic sensing using nano-objects (BioSuN)", 17- 19 iunie 2013, Magurele, Romania 2013, (http://www.infim.ro/biomimetic-sensing/

• “Graphene Nanoelectronics”, Dr. Mircea Dragoman, Workshop "Biomimetic sensing using nano-objects (BioSuN)", 17- 19 iunie 2013, Magurele, Romania 2013, (http://www.infim.ro/biomimetic-sensing/

8.1.7 Membri în colectivele de redacție ale revistelor recunoscute ISI (sau incluse în baze

internaționale de date), în colective editoriale internaționale și/sau naționale și în comitete naționale de standardizare

În anul 2013, un număr de 17 specialiști din INCD pentru Microtehnologie au întocmit 112 de recenzii pentru 38 de reviste recunoscute ISI, 3 specialiști din institut fac parte din colectivul editorial al unei reviste din baza de date ISI, 1 specialist din institut este membru in colectivele redacţionale ale unui număr de două reviste recunoscute naţional, iar 2 specialişti din institut fac parte din 5 comitete naţionale de standardizare.

Cele patru liste sunt prezentate în continuare.

A. Recenzori la reviste cotate ISI Nr. Crt.

Numele revistei Numele persoanei Nr. de prezente

1. Journal on Nanoparticle Research Adina BRAGARU 3 2. Central European Journal of Chemistry Adina BRAGARU 3 3. IEEE Trans. On Electron Devices Dana Cristea 1 4. Journal of Nanomaterials Munizer Purica 1 5. Vacuum Munizer Purica 1 6. Journal of Alloys and Compounds (ELS) Florin Comanescu 2 7. Microelectronics Reliability Marius Bazu 1 8. IEEE Transactions on Device and Materials Reliability Marius Bazu 1 9. ETRI (Electronics and Telecomunications Research Institute)

Journal - Republic Korea Marius Bazu 1

10. Journal of Micromechanics and Microengineering Alexandru Muller 1 11. Measurement Science and Technology Alexandru Muller 1 12. Semiconductor Science and Technology Alexandru Muller 1 13. Applied Physics Letters Mircea Dragoman 3 14. Journal of Applied Physics Mircea Dragoman 2 15. IEEE Trans on MTTT Mircea Dragoman 3 16. IEEE Electron Device Letters Mircea Dragoman 2 17. Optics Letters Mircea Dragoman 1 18. Electronics Letters Mircea Dragoman 6 19. Electronics Letters Alina Cismaru 4 20. Micro & Nano Letters Alina Cismaru 3 21. Materials Chemistry and Physics Alina Cismaru 3 22. IEEE Electron Device Letters Sajin Gheorghe Ioan 2 23. IEEE Microwave and Wireless Components Letters Sajin Gheorghe Ioan 3 24. Journal of Electromagnetic Waves and Applications Sajin Gheorghe Ioan 8

59

25. Journal of Micromechanics and Microengineering Alexandra Stefanescu 1 26. Sensor letters Alexandra Stefanescu 1 27. Materials Science and Engineering B Dr. Oana Tatiana Nedelcu 1 28. Measurement Science Review Dr. Oana Tatiana Nedelcu 1 29. Electrophoresis Dr. Oana Tatiana Nedelcu 1 30. Analog Integrated Circuits and Signal Processing Voicu Rodica 2 31. Journal of Coatings Plugaru Rodica 1 32. European Physical Journal - Applied Physics (EPJAP) Plugaru Rodica 1 33. Journal of Nanoparticle Research Titus Sandu 3 34. Physical Review Letters Titus Sandu 2 35. Plasmonics Titus Sandu 2 36. Optics Communications Victor Leca 2 37. Talanta Radoi Antonio 5 38. Sensors & Actuators: B. Chemical Radoi Antonio 12 39. IET Nanobiotechnology Radoi Antonio 4 40. Chemical Communications Radoi Antonio 9 41. Analytical Methods Radoi Antonio 1 42. Journal of Nanoparticle Research Radoi Antonio 1 43. Sensor and Actuators: A Carp Mihaela 5

B. Membri în colective editoriale ale unor reviste din baza de date ISI

Nr. crt.

Numele revistei Numele persoanei Functie

1. ROMJIST- Romanian Journal of Information Science and Technology www.imt.ro/ROMJIST

Dan Dascalu Editor Mircea Dragoman Associate Editor Gheorghe Ioan Sajin Associate Editor

C. Membri în colective de redacție ale revistelor recunoscute naţional (din categoria B în clasificarea CNCSIS)

Nr.crt. Numele revistei / Editura Numele persoanei Funcție

1. Asigurarea Calității - Quality Assurance (4 numere in 2013)

Marius Bazu Editor asociat

2. Bulletin of Micro and Nanoelectrotechnologies (4 numere în 2013) Marius Bazu Editor

D. Membri în comitete naționale de standardizare Nr.crt. Comitet național (număr, denumire) Numele persoanei Funcție

1. 17 - Dispozitive cu semiconductoare Virgil Emil Ilian Președinte 2. 193 - Tehnologia asamblării componentelor

electronice Virgil Emil Ilian Președinte

3. CT 375: Sisteme şi echipamente audio video şi multimedia

Virgil Emil Ilian Membru

4. 144 - Fiabilitate şi mentenabilitate Marius Bazu Membru 5. 378 – Nanotehnologii Marius Bazu Membru

8.2. Prezentarea rezultatelor la târgurile și expozițiile naționale și internaționale

8.2.1 Târguri și expozitii internaționale

1. IMT a participat la cea de-a 62-a ediţie a Concursului internaţional Bruxelles – EUREKA dedicat inventicii, organizat în cadrul Salonului INNOVA, care a avut loc în perioada 14-16 Noiembrie 2013 la Bruxelles, BELGIA.

INCD pentru Microtehnologie- IMT Bucuresti a obtinut - medalia de AUR si Premiu Bosnia-Hertegovina pentru inventia „Procedeu de nanolitografie 2D

si 3D de tip « fountain pen aperture » asistat optic”, avand ca autor pe Dr. Gabriel Moagar-Poladian, IMT Bucuresti.

60

- medalia de ARGINT pentru inventia „Procedeu de selectie de fiabilitate a structurilor semiconductoare cu jonctiuni p-n bazat pe accelerarea optica a generarii-recombinarii pe nivele adanci”, avand ca autori pe Dr. Lucian Galateanu, Dr. Marius Bazu si Dr. Virgil Ilian, IMT Bucuresti.

2. IMT a participat la Expozitia din cadrul Conferinţei internaţionale de nanoelectronică ESSDERC/ESSCIRC 2013, la care a fost co-organizator si care a avut loc in perioada 16-20 septembrie 2013, JW Mariott Bucharest Grand Hotel, Bucuresti.

(http://esscirc2013.imt.ro/index.shtml). IMT a promovat in stand-ul propriu rezultate obtinute in proiectele de cercetare pe care le implementeaza.

8.2.2 Târguri și expoziții naționale

1. IMT a participat la Expozitia "Cercetarea și Inovarea din România în Spațiul European al Cercetării“, ce a avut loc cu ocazia Conferintei de lansare a Programului-cadru european pentru cercetare şi inovare „Orizont 2020" din 4 octombrie 2013. La expozitie a participat Comisarul european pentru Cercetare, Inovare şi Ştiinţă, doamna Máire Geoghegan-Quinn, în prezența ministrului delegat pentru Învăţământ Superior, Cercetare Ştiinţifică şi Dezvoltare Tehnologică, Mihnea Costoiu şi a ministrului Educaţiei Naţionale, Remus Pricopie.

Cu aceasta ocazie a fost prezentat in cadrul Expozitiei, senzorul de torsiune pentru automobile electrice, rezultat al unui proiect european FP7 ENIAC, MOTORBRAIN, dedicat dezvoltării de automobile electrice cu siguranţă crescută, avand coordonator din partea IMT pe Dl. Dr. Gabriel Moagar-Poladian.

8.3. Premii obținute prin proces de selecție/distincții, etc.

8.3.1 Premii internaţionale

Nr. crt

Premiul Autoritatea care l-a acordat

Autori

1. Bronze leaf award PRIME 2013

9th IEEE Conference PRIME 2013, 24-27 iunie 2013

Razvan Pascu, Florea Craciunoiu, Mihaela Kusko, IMT Bucharest, Romania “A promising technology of Schottky diode based on 4H-SiC for high temperature application”

2. Gold medal Bruxelles Innova /Eureka 2013, Brussel, 14-16 noiembrie 2013

Gabriel Moagar Poladian IMT Bucharest, Romania “Procedure for 2D and 3D optically assisted fountain pen and aperture pen nanolithography”

61

3. Silver medal Bruxelles Innova /Eureka 2013, Brussel, 14-16 noiembrie 2013

Lucian Galateanu, Marius Bazu, Virgil Ilian, IMT Bucharest, Romania “Proceeding for reliability selection of semiconductor chips with p-n junctions, based on the optical acceleration of generation-recombination at deep levels”

4. The prize of the delegation representing Bosnia-Herzegovina, Serbia, Montenegro, Kosovo and Macedonia

Bruxelles Innova /Eureka 2013, Brussel, 14-16 noiembrie 2013

Gabriel Moagar Poladian, IMT Bucharest, Romania “Procedure for 2D and 3D optically assisted fountain pen and aperture pen nanolithography” – for the contribution to the stimulation, development and promotion of the creativity at “Bruxelles Innova / Eureka”, Bruxelles

5. Best Paper Award – Sectiunea Nanostructures and Advanced materials, CAS

36th IEEE International Semiconductor Conference – CAS 2013 (lucrare prezentata la editia CAS 2012)

T. Ignat, M. Kusko, A. Dinescu, M. Danila, A. Bragaru, M. Simion, IMT Bucharest, Romania “Nanomaterials: fabrication and investigation of dispersions for toxicological studies”

6. Best Paper Award – Sectiunea Microsensors, CAS


Marculescu1, A. Avram1,2, C.M. Balan1, C. Voitincu1, C. Pirvulescu1, M. Volmer3, A. Popescu1, M. Mihailescu2, M. Avram1, 1IMT Bucharest, 2“Politehnica” Univ. of Bucharest, 3Univ. “Transilvania” of Brasov, Romania .„Microbiosensor for electrical impedance spectroscopic study of melanoma cells”

7. Best Paper Award – Sectiunea Microsensors & Microsystems, CAS


L. Sirbu1, L. Ghimpu1, R. Muller2, I. Voda3, I.M. Tiginyanu1, V. Ursaki4, T. Dascalu5, 1“D. Ghitu” InstChisinau, Moldova, 2IMT Bucharest, Romania, 3Inst. of Chemistry of the Academy of Sciences of Moldova, , 4Inst. of Applied Physics of the Academy of Sciences of Moldova, 5INFLPR, Romania. „Hydrophobic ZnO used in ewod technology and SAW devices for better bio-fluid slip at microchannel walls controlled by DC pulses”

8. Best Paper Award – Sectiunea Microwave and mm-wave, CAS


A.-C. Bunea, D. Neculoiu, P. Calmon*, A. Takacs*, IMT Bucharest, Romania, *CNRS, LAAS, Univ of Toulouse, France. “Micromachined FRONT-END for 60 GHz applications”

8.3.2 Premii nationale

• Premii ale Academiei Române

Premiul “Tudor Tanasescu” in Domeniul Ştiinţei si Tehnologiei Informaţiei, pentru anul 2011, acordat de Academia Româna, pentru lucrarea Failure Analysis, avand autori: Marius Bâzu şi Titu Băjenescu- Ceremonia de Decernare, 19 decembrie 2013, Aula Academiei Române.

Premiul “Gheorghe Cartianu” in Domeniul Ştiinţei si Tehnologiei Informaţiei, pentru anul 2011, acordat de Academia Româna pentru lucrarea A 3D Smith Chart based on the Riemann Sphere for Active and Passive Microwave Circuits, avand autori : Andrei A. Müller, P. Soto, V.E. Boria - Ceremonia de Decernare, 19 decembrie 2013, Aula Academiei Române

• Alte premii naţionale

• Locul 2 in Topul Firmelor 2012, la Sectiunea firme mijlocii cu activitate de cercetare –dezvoltare in stiinte natural si inginerie, acordat de Camera de Comert si Industrie Ilfov, 31 octombrie 2013

62

8.4 Prezentarea activitătii de mediatizare

8.4.1 Extrase din presa (interviuri)

Public Service Review Europe

Two decades of micro-nanotechnologies - 2013

Market Watch magazine

Premieră estică: Bucureștiul a organizat Conferinţa internaţională de nanoelectronică ESSDERC/ESSCIRC, Octombrie - Noiembrie 2013

IMT București a sărbătorit 20 de ani de pionierat și performanțe în tehnologia microsistemelor, Iulie - August 2013

Domeniul micro-nanotehnologiilor, susținut prin finalizarea cu succes a unui proiect de studii postdoctorale, Aprilie - Mai 2013

Ziua portilor deschise din IMT a reunit cercetatori de elita in micro- si nanotehnologii, Februarie- Martie, 2013

Afacerea

Institutul National de Cercetare-Dezvoltare pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti – Institut national cu cea mai substantiala participare la programele europene

8.4.2 Participare la dezbateri radiodifuzate / televizate

Video Telejurnal - Reportaj TVR, 07 Aprilie 2013

"Ultraperformanţă la microscop, la Institutul de Cercetare Dezvoltare în Microtehnologii" La Institutul de Cercetare Dezvoltare în Microtehnologii se lucrează pe materiale nano, adică de o mie de ori mai mici decât diametrul unui fir de păr. Sub microscop se nasc circuite pentru telefoanele mobile sau senzori foarte puternici care sunt folosiţi la cele mai performante sisteme de securitate.

63

Detalii: http://stiri.tvr.ro/ultraperformanta-la-microscop-la-institutul-de-cercetare-dezvoltare-in-microtehnologii_29093_video.html#view

9. SURSE DE INFORMARE ȘI DOCUMENTARE DIN PATRIMONIUL ŞTIINȚIFIC ȘI TEHNIC A. Baze de date electronice: 1. Biblioteca tehnica a IMT (rapoarte de cercetare, publicaţii ştiinţifice) 2. Baze de date de brevete, tehnologii, topografii de circuit si marci in domeniul micro- nanotehnologiilor B. Biblioteca ştiinţifica a IMT C. Abonamente la reviste ştiinţifice

• D. Acces on-line la baze de date ştiinţifice (Asociatia ANELIS PLUS, unde IMT- este parener fondator

C. Alte surse: • Baza de date cu furnizori și utilizatori de cunoştinţe: CTT-Baneasa pilotează o “reţea de transfer de

cunoştinţe si de tehnologie” cu peste 60 de colective de cercetare sau firme; • Baza de date unificată MINOS – „Micro-NanOSystems EUROpean NETwork pursuing the integration of

NMS and ACC in ERA”, proiect european SSA FP6: cuprinde date despre specialişti europeni, centre de cercetare, proiecte și reţele din domeniul micro si nanotehnologiilor, orientată, în particular, către țările din centrul și estul Europei;

10. CONCLUZII

INCD pentru Microtehnologie - IMT București s-a constituit în baza HG 1318/1996, modificat de HG 998/2006 şi HG 140/10.04.2013. Sediul institutului este în oraşul Voluntari, judeţul Ilfov, la adresa Str. Erou Iancu Nicolae nr. 126 A.

Departamentul Științific si Tehnologic al IMT București cuprinde 4 centre: Centrul de cercetare de excelență „Micro și nanosisteme pentru radiofrecvență și fotonică” (MIMOMEMS), Centrul de nanotehnologii (CNT-IMT), aflat sub egida Academiei Române, Centrul de cercetare pentru integrarea tehnologiilor - micro-nano-biotehnologii (CINTECH), şi Centrul de cercetare-dezvoltare pentru nanotehnologii și nanomateriale bazate pe carbon (CENASIC).

INCD pentru Microtehnologie - IMT București are ca domeniu principal de activitate micro si nanotehnologiile, micro-nanoelectronica si microsisteme. Cercetările au fost îndreptate către domenii high tech, cu un potenţial aplicativ: tehnologia informaţiilor si a comunicaţiilor, spațiu si securitate, biotehnologii, automotiv, microrobotica, industria alimentara, mediu, energie.

Activitatea din anul 2013 s-a desfășurat in cadrul contractelor de cercetare naţionale: PN II, STAR, Nucleu si internaţionale FP7 si related FP7: ENIAC, MNT -ERA-NET, LIFE + si COST. Institutul a fost implicat si in proiecte de colaborare bilaterala. De asemenea in institut s-au derulat 4 proiecte din Fonduri structurale.

Principalele direcţii de cercetare-dezvoltare au fost:

- Dezvoltarea componentelor nanoelectronice, fotonice şi de microunde

- Materiale avansate;

- Dezvoltarea de noi tehnologii;

- Integrarea şi convergenţa tehnologiilor

Rezultatele cercetărilor au fost publicate in reviste de circulație internaționala ISI si prezentate la numeroase conferinţe naționale si internaționale.

Institutul acorda o atenție continua extinderii şi modernizării infrastructurii, aceasta fiind up-gradata prin diferite module dedicate echipamentelor sau mentenante pentru pachetele software .

Infrastructura experimentala pentru cercetare-dezvoltare in micro-nanotehnologie - IMT-MINAFAB - care funcționează in cadrul IMT București este o facilitate moderna, deschisa, destinata cercetării interdisciplinare in echipe complexe (in parteneriat), dar si asigurării de servicii științifice si tehnologice pentru parteneri si clienți din cercetare, educație si industrie ( certificata conformitate cu SR EN ISO 9001:2008). Dotările (cele mai mute state of the art) si expertiza actuala sunt utilizate intensiv pentru realizarea de procese si sisteme, asigurând un flux complet: proiectare/modelare/simulare; realizare de masti si litografie la scara micro, nano si combinata; procesări tehnologice; testări funcționale si de fiabilitate.

IMT București a colaborat cu mediul universitar, in special cu Universitatea Politehnica București, Facultatea ETTI- Electronica Telecomunicații si Tehnologia Informației, găzduind 3 cursuri de master, susținute de cercetători din institut si laboratoare (aplicații) pentru alte 3 cursuri. Formarea profesionala a tinerilor a fost susținuta prin supervizarea lucrărilor de masterat sau a tezelor de doctorat, cu aplicații practice, cu acces la infrastructura (si prin colaborare cu centre universitare din Bologna, Salerno, Torino si Chișinău).

Institutul acorda o atenție continua extinderii şi modernizării infrastructurii experimentale şi a expertizei de lucru cu echipamente de ultimă generaţie, respectiv abordarea prioritară a proiectelor şi cercetărilor de anvergură,

64

cu tematică modernă. Efectul direct al tuturor acestor factori ai politicii de dezvoltare a fost creşterea evidentă în ultimii ani a gradului de atractivitate a institutului pentru cercetători valoroşi, cu experienţă naţională şi internaţională în cercetare interdisciplinară avansată..

In anul 2013 s-a încheiat cu succes proiectul din Fonduri structurale POSDRU, „Dezvoltarea Resurselor Umane prin Cercetare Postdoctorala in Domeniul Micro si Nanotehnologiilor" care a finanțat activitatea de cercetare a 35 de bursieri si a contribuit la creșterea competitivității cercetătorilor cu titlul de doctor in domeniul micro si nanotehnologiilor. Tot in acest an au fost redemarate lucrările pentru realizarea noul “Centrul de cercetare pentru nanotehnologii dedicate sistemelor integrate si nanomateriale avansate pe baza de carbon – CENASIC”, proiect finanțat din fonduri structurale. În anul 2013, veniturile totale s-au situat la un nivel de 26.198.057 lei, din care 91% provenind din activitatea de CDI si 9% din activitatea de microproductie si servicii, venituri financiare si alte activităţi.

Veniturile din activitatea de CDI, in valoare de 23.892.706 lei, provin din proiectele derulate in programele naționale (19.650.266 82%), programe internaționale (8%) şi fonduri structurale 10%.

Finanțarea Nucleu a reprezentat un procent de la 30,74%.

INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucureşti a coordonat un număr de 28 proiecte în cadrul programelor naționale și a fost implicat ca partener în alte 10 proiecte naționale.

De asemenea, institutul a fost implicat in 2013 în 18 proiecte internaționale (dintre care 7 proiecte PC7 și 8 proiecte related FP7),3 COST, în 3 proiecte bilaterale, cu: Argentina (Facultad de Ciencias Químicas, Universidad Nacional de Córdoba), Bulgaria (Bulgarian Academy, Institute of Solid State Physics) și Slovacia (Technical University Kosice), precum şi în 4 proiecte de fonduri structurale: două proiecte POS CCE, un proiect POSTDOC si un proiect transfrontalier România - Bulgaria.

In anul 2013, institutul a participat la 4 targuri si expozitii nationale si internationale, la care a obţinut 3 premii.

Specialiştii din institut au obţinut în anul 2013 un număr de 5 premii internaţionale la conferinţe şi 3 premii naţionale, între care 2 premii ale Academiei Române.

În anul 2013, activitatea institutului a fost mediatizata în presa naţională şi internaţională un număr de 6 articole / interviuri şi 1 reportaje la televiziuni cu acoperire naţională (TVR).

Institutul ocupa un loc fruntaș in absorbția fondurilor europene este pe locul întâi intre institutele de cercetare naționale din Romania in ceea ce privește absorbția fondurilor europene, după cum arata un raport al Comisiei Europene care include date legate de participarea României in FP7 („Digital Agenda Scoreboard 2013”) pentru perioada 2007-2012, pe tematica de tehnologia informației si comunicațiilor - ICT.

11. PERSPECTIVE / PRIORITĂŢI PENTRU PERIOADA URMĂTOARE DE RAPORTARE Perspectivele pentru următorii ani, începând cu 2014, au fost stabilite pe baza strategiilor naționale (Strategia INCD pentru Microtehnologie pentru perioada 2007-2013, Strategia Naționala CDI 2014-2020 - Draft) si a celor europene (Strategia UE 2020, noul Program Cadru „Horizon 2020” al UE), pornindu-se de la misiunea institutului. Aceste perspective sunt sintetizate in continuare.

• Institutul va participa la primele „Call”-uri ce vor fi lansate conform Strategiei Naționale CDI 2014-2020. • Institutul va participa la primele „Call”-uri, din anul 2014, ale noului program “Horizon 2020” al Uniunii

Europene, prin care se finanţează o serie de subiecte de cercetare care se află deja între priorităţile institutului, cum ar fi nanoelectronica (program ECSEL) şi “Key Enabling Technologies” (KETs).

• Odată cu inaugurarea, în anul 2015, a Centrului de Cercetare pentru Sisteme Integrate, Nanotehnologii şi Nanomateriale Bazate pe Carbon (CENASIC) direcţiile de cercetare ale institutului vor fi consolidate cu următoarele priorităţi: (1) Procese pentru micro şi nanostructuri bazate pe; (2) Tehnologii pentru grafenă şi micro- nanosisteme hibride; (3) Tehnologii pentru diamant nanocristalin şi aplicaţii în MEMS/NEMS şi mecanică de precizie.

• INCD pentru Microtehnologie este coordonator sau partener intr-un număr de 9 proiecte de tip STAR, finanțate de Agenția Spațiala Romana, ceea ce demonstrează potențial uman si tehnologic al institutului pentru implicarea in domeniul spațial, care ar putea fi dezvoltat in 2014-2015.

• Începând din anul 2014, va deveni efectiva participarea institutului la clusterul “Măgurele High Tech Cluster” si la asociația „ELI-NP CLUSTER INOVATIV”.

• Se așteaptă rezultate de la participarea institutului la activitățile organizate de câteva dintre Platformele Tehnologice Europene: European Technology Platform on Smart Systeme and Integration (EPoSS), European Nanoelectroncis Initiative Advisory Council (ENIAC), ECSEL, Nanotechnologies for Medical Applications (Nanomedicine), Photonics Technology Platform (Photonics21), Micro and Nanomanufacturing (MINAM).

• Este in curs acțiunea de declarare a celor mai importante infrastructuri ale institutului (grupate in facilitatea IMT-MINAFAB) drept infrastructuri de interes national. Aceasta acțiune ar asigura sustenabilitatea infrastructurii tehnologice.

65

• In ceea ce privește colaborarea cu mediul de afaceri, se așteaptă rezultate de la acțiunile aflate in curs, cum ar fi: (i) cooperare constanta cu firma Honeywell Romania-servicii si acces in spațiul tehnologic, (ii) cooperarea cu Camera de Comerț si Industrie a Municipiului București, (iii) proiectul de fonduri structurale cu caracter transfrontalier Romania - Bulgaria (care se va încheia in octombrie 2014 prin înființarea unui centru de servicii pentru firmele care acționează in domeniul micro si nanotehnologiilor).

O atenţie deosebita va fi acordata in continuare angajării unor tineri absolvenţi cu rezultate deosebite si implicării lor in cercetări multidiciplinare in domenii avansate.

Vor continua lucrările la proiectul din Fonduri structurale: “Centrul de cercetare pentru nanotehnologii dedicate sistemelor integrate si nanomateriale avansate pe baza de carbon – CENASIC”, prin realizarea camerei curate in suprafața de 180 mp si se vor achiziționa noi echipamente dedicate procesării grafenei.

In 2014 se vor extinde colaborările cu instituții academice si cu firme din Romania si Europa.

Institutul va aplica la proiecte europene de infrastructuri, la call-ul Horizon 2020, din septembrie 2014, in parteneriat cu centre de prestigiu din Europa din domeniul mico-nanotehnologiilor.

Vor fi continuate activităţile de organizare de evenimente ştiinţifice: Seminarul Naţional de Nanostiinta si Nanotehnologii- a 13 ediție si Conferinţa Internaţionala de Semiconductoare- eveniment IEEE, a 37 –a ediţie, precum si alte evenimente, care vor contribui la creşterea vizibilităţii institutului.

66

Organigrama IMT BUCUREŞTI

67

Anexa 1

RAPORT DE ACTIVITATE AL CONSILIULUI DE ADMINISTRATIE AL INCD PENTRU MICROTEHNOLOGIE – IMT BUCURESTI

PENTRU ANUL 2013 Activitatea Consiliului de Administratie (CA) al IMT Bucuresti in anul 2013 s-a desfasurat in conformitate cu prevederile HG nr. 637/2003, Regulamentul-cadru din 29 mai 2003 de organizare si functionare a institutelor nationale de cercetare-dezvoltare, HG nr. 998/02.08.2006 pentru aprobarea Regulamentului de organizare si functionare a INCD pentru Microtehnologie - IMT Bucuresti si Regulamentul de organizare si functionare al Consiliului de Administratie al INCD pentru Microtehnologie. In anul 2013, Consiliul de Administratie al IMT-Bucuresti a avut urmatoarea componenta: 1. Dr. Raluca Müller, Presedintele Consiliului de Administratie, Director General al IMT Bucuresti 2. Sef serviciu Marilena Geambasu, membru CA, Ministerul Educatiei Nationale 3. Cons. Superior Irina Avramescu, membru CA, Directia generala de programare bugetara, Ministerul Finantelor Publice 4. Cons. Carmen Carstea, membru CA, Ministerul Muncii, Familiei si Protectiei Sociale 5. Dr. Mircea Dragoman, membru CA, Presedintele Consiliului Stiintific (CS) al IMT 6. Ing. Alexandru Botu, membru CA, Director tehnic IPA SA 7. Dr. ing. Sorin Axinte, membru CA, Director MINATECH Administrator SRL Cu statutul de invitati, la sedintele Consiliului de Administratie al IMT au participat Directorul Economic al IMT, Ec. Domnica Geambazi si Presedintele Sindicatului „Semiconductorul” din cadrul IMT Bucuresti, Dr. Alina Cismaru. Activitatile Consiliului de Administratie al IMT in anul 2013 au cuprins: - aprobarea raportului de activitate al Consiliului de Administratie al IMT pentru anul 2012 si planului de sedinte pentru anul 2013; - aprobarea bilantului contabil pe anul 2012; - analiza si avizarea bugetului de venituri si cheltuieli pe anul 2013; - analiza semestriala a modului de executie a bugetului; - aprobarea unui credit bancar; - avizarea unor masuri organizatorice; - aprobarea regulamentului de concurs, precum si a criteriilor de evaluare, comisiilor de concurs si comisiilor de contestatii si rezultatelor finale ale concursurilor pentru ocuparea posturilor de cercetator stiintific (CS, CS III) si inginer dezvoltare tehnologica (IDT, IDT III) la IMT Bucuresti; - avizarea numarului de posturi de CS I, CS II, IDT I si IDT II propuse a fi scoase la concurs; - analiza participarii IMT la competitiile pentru proiecte desfasurate pe plan national si international; - analiza problematicii legate de derularea contractelor finantate din programele de fonduri structurale; - analiza activitatilor de diseminare a informatiilor desfasurate de institut; - avizarea colaborarilor IMT cu firme private. In cadrul sedintelor Consiliului de Administratie al IMT-Bucuresti din anul 2013, membrii Consiliului au fost informati periodic despre situatia economico-financiara a institutului, activitatea de investitii, situatia contractelor finantate din programele de fonduri structurale si alte activitati defasurate de institut. S-au discutat aspecte privind proiectele nationale si internationale in care este implicat institutul si participarea institutului ca partener sau coordonator la propuneri de proiecte in diverse programe. De asemenea, in cadrul fiecarei sedinte CA din anul 2013 au fost prezentate activitatile desfasurate de IMT privind organizarea si participarea la evenimente stiintifice si de brokerage, saloane expozitionale, intalniri in cadrul proiectelor FP7 in care institutul este partener si in cadrul Platformelor Tehnologice Europene in care IMT Bucuresti participa ca membru. Membrii Consiliului de Administratie au fost informati despre vizitele efectuate in institut de reprezentanti ai unor universitati, institute de cercetare, ministere, firme private, din Romania si din strainatate. Membrii Consiliului de Administratie al IMT Bucuresti au avizat prin consens Raportul de activitate al CA pe anul 2012 si Planificarea anuala a sedintelor CA pentru anul 2013, propusa de Directorul general al IMT, in cadrul sedintei CA desfasurata la data de 25 februarie 2013. Aceste documente au fost transmise ulterior catre Ministerul Educatiei Nationale. I. Avizari privind situatia financiara a institutului In sedinta din data de 25 martie 2013, Consiliul de Administratie al IMT a analizat si a avizat prin consens proiectul bugetului de venituri si cheltuieli al institutului pentru anul 2013. Proiectul de buget a fost depus la Ministerul Educatiei Nationale, in vederea aprobarii conform reglementarilor legale. Consiliul de Administratie a avizat prin consens bilantul contabil pentru anul 2012 si planul achizitiilor publice pentru anul 2013 in sedinta din data de 27 mai 2013. Tot in cadrul acestei sedinte, Consiliul de Administratie a aprobat prin consens contractarea unui credit pentru cofinantarea proiectului transfrontalier Romania-Bulgaria

68

„MicroNanoTech”, a aprobat volumul creditului si a numit persoanele imputernicite sa dispuna efectuarea de operatiuni pe conturile deschise la banca. In sedinta CA din 13 august 2013, Consiliul de Administratie a avizat prin consens bilantul contabil al IMT pe semestrul I al anului 2013, incheiat la data de 30.06.2013. Membrii CA au aprobat prin consens rectificarea bugetului de venituri si cheltuieli al institutului pentru anul 2013 in sedinta CA organizata in data de 27 noiembrie 2013. Tot in cadrul acestei sedinte, Directorul economic al institutului a prezentat perspectivele pentru bugetul anului 2014. II. Avizarea unor masuri organizatorice In sedinta CA din data de 25 martie 2013, membrii Consiliului de Administratie au aprobat prin consens mandatul Directorului general al IMT Bucuresti pentru negocierea contractului colectiv de munca. In sedinta CA din 13 august 2013, membrii CA au fost informati despre inregistrarea noului contract colectiv de munca la nivel de unitate, la Inspectoratul Teritorial de Munca a judetului Ilfov. In sedinta CA din data de 24 aprilie 2013, membrii Consiliului de Administratie au fost consultati cu privire la ocuparea postului de Director general adjunct, prevazut in organigrama IMT si au mentionat ca asa cum prevede legea, toate posturile de director trebuie ocupate prin concurs si atata timp cat la IMT nu este stabilit un director general definitiv, nu se poate organiza concurs pentru postul de director general adjunct. Tot in cadrul acestei sedinte, membrii CA au hotarat ca nu este necesar ca postul de Directorul Stiintific sa fie scos la consurs, atata timp cat este ocupat deja, prin consurs de catre Dr. Raluca Muller, care este numita, in prezent, si in functia de Director General pe perioada determinata, prin Ordin de Ministru. In sedinta din 26 iunie 2013, Consiliul de Administratie a hotarat prelungirea activitatii Consiliului Stiintific al IMT pana la aparitia noilor HG de infiintare si a Regulamentelor de Organizare si Functionare a institutelor nationale din subordinea si din coordonarea Ministerului Educatiei Nationale. In sedinta CA din luna octombrie 2013, membrii CA a hotarat numirea cu delegatie a d-lui Dr. Adrian Dinescu in functia de Director tehnic al IMT Bucuresti, incepand cu data de 1 decembrie 2013. III. Aprobarea regulamentelor de concurs, precum si a criteriilor de evaluare, comisiilor de concurs si comisiilor de contestatii si rezultatelor finale ale concursurilor desfasurate la IMT Bucuresti In cadrul sedintei CA din data de 25 martie 2013, membrii Consiliului de Administratie au aprobat regulamentul de concurs, numarul de posturi scoase la concurs, criteriile de evaluare, comisiile de concurs si comisiile de contestatii pentru concursurile de ocupare a unor posturi de cercetator stiintific - CS, CS III si inginer dezvoltare tehnologica - IDT, IDT III la IMT Bucuresti. In sedinta CA din data de 27 mai 2013, directorul general al IMT si presedintele Consiliului Stiintific au prezentat membrilor CA rezultatele concursurilor pentru ocuparea posturilor de CS, CS III si IDT, IDT III scoase la concurs si membrii Consiliului de Administratie au aprobat prin consens rezultatele. In urma analizarii rezultatelor obtinute de candidatii la concursul pentru ocuparea posturilor de IDT si IDT III, membrii CA au decis ca rezultatele respective au fost nesatisfacatoare si au fost de acord cu reluarea concursului pentru aceste posturi. Membrii Consiliului de Administratie au fost informati in sedinta din data de 18 septembrie 2013 despre scoaterea la concurs a 2 posturi de IDT. Concursul pentru ocuparea posturilor s-a desfasurat in prima parte a lunii septembrie 2013, s-au inscris 2 candidati (respinsi la concursul anterior pentru IDT III) si au fost admisi. Membrii CA au aprobat prin consens rezultatele pentru ocuparea posturilor de IDT. In sedinta CA din data de 27 noiembrie 2013, presedintele Consiliului Stiintific al IMT a solicitat membrilor CA aprobarea pentru scoaterea la concurs in anul 2014 a unor posturi de CS I, CS II, IDT I si IDT II, si a prezentat numarul de cercetatori din institut incadrati la acea data in functiile de CS, CS III, CS II, CS I. Membrii CA au considerat oportuna organizarea acestor concursuri, prin care pot fi promovate persoane din interiorul institutiei care indeplinesc criteriile necesare pentru promovare si de asemenea, pot fi atrase si persoane din exterior extrem de bine pregatite. Membrii CA au aprobat prin consens scoaterea posturilor de CS I, CS II, IDT I si IDT II la concurs si numarul de posturi ce urmeaza sa fie scoase la concurs. IV. Analiza participarii IMT la competitiile pentru proiecte desfasurate pe plan national si international In cadrul sedintei CA din data de 26 iunie 2013, membrilor CA le-a fost prezentata situatia participarii institutului la propunerile de proiecte din cadrul programului Parteneriate - PN II, Competitia din luna iunie 2013. Au fost depuse 16 propuneri de proiecte in care IMT a fost coordonator si alte 34 de propuneri cu IMT partener. Membrii CA au apreciat ca este o situatie buna. Membrii CA au fost informati in sedinta din data de 31 octombrie 2013 ca pe tematica de tehnologia informatiei si comunicatiilor - ICT, IMT se pozitioneaza pe locul 4 ca numar de proiecte europene intre institutiile din Romania, iar intre institutele de cercetare este pe locul 1, asa cum se arata intr-un raport al Comisiei Europene care include date legate de participarea Romaniei in FP7 (Digital Agenda Scoreboard 2013) in perioada 2007-2012. In sedinta CA din 27 noiembrie 2013, membrii CA au fost informati ca la competitia STAR organizata de Agentia Spatiala Romana (ROSA), IMT are 4 proiecte in care este coordonator si 2 proiecte in care este partener. Membrilor CA li s-a comunicat in sedinta din 18 decembrie 2013 ca au fost aprobate inca doua proiecte COST in care IMT este partener, si anume un proiect in domeniul nanospectrometriei si alt proiect legat de aplicatii biomedicale. V. Analiza problematicii legate de derularea contractelor finantate din programele de fonduri structurale

69

In sedinta CA din luna martie 2013, membrii CA au fost informati despre demararea in data de 1 aprilie 2013 a unui nou proiect finantat din fonduri structurale, „MicroNanoTech”, ce va fi coordonat de IMT Bucuresti. Proiectul este transfrontalier, de cooperare intre Romania si Bulgaria. In sedinta CA din 18 septembrie 2013, membrilor CA le-a fost prezentat pe scurt un eveniment organizat la sediul institutului in data de 12 septembrie 2013, la care au participat si cativa reprezentanti ai unor firme si a fost organizata o vizita in zona tehnologica. Membrii CA au fost informati in sedinta din 18 decembrie 2013 despre participarea unor cercetatori din IMT la un workshop transfrontalier organizat de Camera de Comert Calarasi in proiectul Romania-Bulgaria. Membrii CA au fost informati in sedinta din 24 aprilie 2013 despre incheierea proiectului POSDRU „MNT-POSTDOC”. In sedinta din data de 27 noiembrie 2013, directorul general al institutului a informat membrii CA ca s-a depus ultima cerere de finantare pentru proiectul POSDRU. In sedinta CA din 27 mai 2013 membrilor CA li s-a comunicat ca proiectul POSCCE „Fabrica microfluidica pentru auto-asamblarea asistata a nanosistemelor” s-a prelungit cu inca 6 luni, pana in luna ianuarie 2014. - Investitia finantata din fonduri structurale, proiect „CENASIC” Membrii Consiliului de Administratie au fost informati periodic si consultati in legatura cu diverse aspecte legate de situatia proiectului de investitii finantat din fonduri structurale pentru construirea CENASIC „Centrul de cercetare-dezvoltare pentru nanotehnologii si nanomateriale bazate pe carbon”. Directorul general al IMT a informat membrii CA in sedinta din luna februarie 2013 despre primirea aprobarii pentru actualizarea graficului de rambursare pentru proiectul CENASIC, de la Ministerul Educatiei Nationale. In luna martie 2013 au fost obtinute toate semnaturile de la ministerele abilitate si se astepta aprobarea din partea Comisiei de dialog social de la Ministerul Educatiei Nationale. In luna aprilie s-a publicat in Monitorul Oficial nr. 205 Hotararea Guvernului nr. 140/10.04.2013 privind trecerea din domeniul public in domeniul privat al acestuia a unei parti de imobil aflate in administrarea MEN pentru INCD – IMT Bucuresti. Acest HG a fost necesar pentru demolarea unei portiuni din hala tehnologica a IMT, pentru a realiza constructia noului centru CENASIC. Aceasta suprafata revine in domeniul public al statului, la finalizarea proiectului din fonduri structurale. In sedinta din 24 aprilie 2013 au avut loc discutii in cadrul Consilului de Administratie privind situatia obtinerii autorizatiei de constructie pentru proiectul CENASIC. Membrii CA au fost de acord ca IMT sa emita o adresa catre primarie si catre prefectura prin care sa se solicite sprijinirea implementarii proiectului din fonduri europene, considerandu-se strategia de dezvoltare a tarii, conceptele de dezvoltare durabila, modernizare, inovare, internationalizare. In sedintele CA din lunile mai si iunie 2013, membrii CA au fost informati despre emitere unui alt certificat de urbanism si refacerea documentatiei. In sedinta CA din 13 august 2013, membrilor CA li s-a comunicat necesitatea obtinerii avizului de la Directia de Sanatate Publica, pentru a intra in posesia autorizatiei de demolare si construire si de asemenea, s-a adus la cunostinta ca pe parcursul procesului de obtinere a autorizatiei de construire a fost necesar, la cererea Primariei Voluntari, sa se modifice proiectul constructiei. Consiliul de Administratie a fost informat in sedinta din luna septembrie 2013 ca IMT a semnat actul aditional prin care proiectul CENASIC se prelungeste cu 19 luni si s-a obtinut avizul necesar de la Directia de sanatate publica. Membrii CA au decis ca trebuie sa fie consultati atunci cand se iau hotarari importante pentru proiectul CENASIC, deoarece acest proiect prezinta un risc. De asemenea, membrii CA au propus ca IMT sa trimita un reprezentant la Serviciul Disciplina in constructii, pentru a afla mai multe amanunte privind legislatia, prevederi impuse, experti necesari, dirigintia de santier. In sedinta CA din luna octombrie 2013, membrii CA au fost informati despre obtinerea autorizatiilor de la Primaria Voluntari, semnarea actului aditional de prelungire cu 19 luni a contractului, inceperea lucrarilor preliminare demolarii si desemnarea persoanelor care sa se ocupe de dirigintia de santier. Tot in cadrul acestei sedinte, membrii CA au fost consultati cu privire la cererea de retragere din proiect formulata de Directorul tehnic al IMT, membru al echipei de management a proiectului CENASIC, atunci cand va expira mandatul de director. Membrii CA au fost de acord cu retragerea membrului din echipa de management a proiectului CENASIC la expirarea mandatului. De asemenea, membrii CA au sustinut cooptarea a doi specialisti care sa ajute echipa de management CENASIC si a hotarat ca unul dintre acesti specialisti sa fie numit cu delegatie in functia de Director tehnic al IMT Bucuresti atunci cand va expira mandatul directorului aflat in functie. In sedinta CA din 27 noiembrie 2013, membrilor CA li s-a comunicat ca au fost demarate lucrarile pentru partea de demolare si ca se doreste inlocuirea unui echipament din lista initiala inclusa in proiect, deoarece acest echipament nu ar mai fi folositor, proiectul fiind scris in urma cu 4 ani. Membrii CA au propus inceperea activitatilor de promovare a acestui centru, incluzand echipamentele care se vor achizitiona si serviciile ce vor fi furnizate. Directorul general al IMT a informat membrii CA in sedinta din 18 decembrie 2013 ca lucrarile de constructie la CENASIC au avansat si a fost turnata fundatia. Membrii CA au formulat recomandari referitoare la firma care va construi camera alba (ex: sa aiba atestat si abilitatea de a certifica clasa de curatenie la receptionarea lucrarii), au atras atentia asupra necesitatii respectarii termenelor din graficul de lucru, incadrarii in timp si redactarii corecte a caietelor de sarcini pentru achizitia echipamentelor. VI. Analiza activitatilor de diseminare a informatiilor desfasurate in institut Membrii Consiliului de Administratie au fost informati periodic despre activitatile desfasurate de IMT pentru organizarea unor evenimente si participarea reprezentantilor institutului la diverse tipuri de evenimente, cu scopul diseminarii de informatii despre institut, serviciile ce pot fi oferite, echipamente, proiecte de cercetare in care este implicat institutul. Participarea la aceste evenimente a contribuit la stabilirea de cooperari si dezvoltarea de parteneriate.

70

In cadrul sedintei CA din 25 februarie 2013, directorul general al institutului a informat membrii CA despre evenimente organizate de IMT sau la care au participat cercetatori din institut: Ziua Portilor Deschise la IMT Bucuresti organizata in luna decembrie 2012, la care au fost invitati in special tineri care au terminat studiile in strainatate; vizita reprezentantilor unui cluster din Austria la sfarsitul lunii ianuarie 2013, avand ca rezultat stabilirea de cooperari pentru proiecte viitoare si schimb de servicii; vizita vice-presedintelui Academiei Romane in 22 februarie 2013; participare la un seminar dedicat unui proiect de specializare inteligenta. Membrii Consiliului de Administratie au fost informati in sedinta CA din data de 27 mai 2013 despre organizarea „Seminarului national de nanostiinta si nanotehnologie”, eveniment organizat anual de IMT si Academia Romana si despre vizita in institut a unui reprezentant al Frontier Research Center Tokyo Institute of Technology, Japonia. In sedinta CA din data de 3 iulie 2013, membrilor CA li s-au adus la cunostinta date despre evenimentul organizat de IMT Bucuresti cu ocazia aniversarii a 20 de ani de existenta- “De la microtehnologii, la tehnologii generice esentiale, KET (Key Enabling Technologies)” si despre vizita unei delegatii a Departamentului de Stiinta si Tehnica din Africa de Sud in luna august 2013. In sedinta CA din data de 18 septembrie 2013 membrii CA au fost informati despre vizitele efectuate in institut de catre un grup de studenti din strainatate, o alta vizita din partea unor experti coreeni cu experienta in domeniul politicilor de cercetare si in consultanta pentru stimularea sectorului privat pentru a investi in cercetare si o vizita a unor reprezentanti din Irlanda. In perioada 16-20 septembrie 2013 s-a desfasurat la Bucuresti conferinta ESSDERC-ESSCIRC, cea mai mare conferinta in domeniul circuitelor si dispozitivelor, unde IMT a facut parte dintre organizatori, a avut reprezentanti in comitetul tehnic de program si 3 autori din institut au avut si lucrari stiintifice la conferinta. Membrilor CA le-a fost prezentata pe scurt in sedinta CA din luna octombrie 2013, participarea IMT la urmatoarele evenimente: Conferinta CAS 2013, eveniment organizat anual de IMT Bucuresti, aflat la cea de a 36-a editie, la care a fost asociata si o intalnire in cadrul proiectului FP7 IP „SMARTPOWER”, in care institutul este partener; Conferinta Nationala de prezentare a Programului-cadru european ORIZONT 2020 si Forumul Roman pentru Inovare. In sedinta din 27 noiembrie 2013, membrii CA au fost informati ca IMT a obtinut o medalie de aur si una de argint la salonul Innova organizat in luna noiembrie la Brussels. Au avut loc vizite in institut in cadrul unei colaborari interacademice, a 2 cooperari bilaterale cu Bulgaria si Moldova si vizita unui cercetator din Irlanda, in cadrul unui proiect FP7. In sedinta din luna decembrie 2013, directorul general a informat membrii CA despre participarea la intalnirea platformei EPoSS (platforma pentru integrarea sistemelor inteligente) in care IMT este membru. Intalnirea a avut loc in Germania, a inclus intalniri de brokerage pentru apelurile din programul Orizont 2020 si la acest eveniment au fost prezentate 5 oferte din partea laboratoarelor din IMT. VII. Avizarea colaborarilor IMT cu firme private in cadrul Parcului Tehnologic MINATECH In sedinta CA din data de 25 februarie 2013, membrii Consiliului de Administratie au fost informati cu privire la retragerea firmei Optotech Romania SRL din Parcul Stiintific si Tehnologic MINATECH-RO si au avizat includerea in Parc a firmei Cyber IQ Labs SRL, care are preocupari in domeniul institutului, in principal legate de robotica. VIII. Alte aspecte asupra carora au fost informati si consultati membrii Consiliului de Administratie In sedintele CA din lunile februarie si martie 2013 membrii CA au fost consultati cu privire la posibilitatile de finantare pentru reabilitarea termica si consolidarea cladirii IMT. In sedinta CA din luna martie 2013, membrii CA au formulat recomandari privind prelungirea mandatelor pentru Directorul economic si Directorul Centrului de cercetare-dezvoltare pentru nanotehnologii si nanomateriale bazate pe carbon din IMT Bucuresti. De asemenea, tot in cadrul acestei sedinte, membrii CA au propus ca personalul din institut sa participe la cursuri de instruire pentru elaborarea de propuneri de proiect si intocmirea bugetului aferent. In sedinta CA din 27 mai 2013, membrii CA au stabilit ca IMT nu va fi implicat in proiecte care se depun la Fundatia romana-americana ARTIE si nu vor fi semnate documentele solicitate de programul respectiv la depunerea propunerilor. In aceste proiecte, institutul s-ar fi angajat sa sponsorizeze desfasurarea cercetarilor efectuate de un angajat din IMT care ar fi primit grantul de la ARTIE, ar fi trebuit sa permita utilizarea de echipamente si personal din institut, dar fara nicio pretentie a institutului fata de rezultatele programului, granturile fiind acordate individual, nu prin intermediul institutiei. In sedinta CA din 13 august 2013, membrii CA au discutat despre HG privind proiectul de Hotarare de Guvern pentru modificarea HG nr.1318/1996 privind infiintarea INCD pentru Microtehnologie – IMT Bucuresti, care prevede anumite schimbari, cum ar fi: modificarea denumirii institutului; modificarea si actualizarea adresei sediului institutului, obiectului de activitate si codurilor corespunzatoare, datelor privind valoarea patrimoniului si numarul de membri ai Consiliului Stiintific. Membrii CA au propus ca la justificarea schimbarii numarului de membri in Consiliul Stiintific de la 5 la 9, sa se mentioneze faptul ca aceasta modificare este necesara in primul rand pentru faptul ca in IMT exista mai mult de 5 directii de cercetare. Membrii CA au fost informati in sedinta CA din luna decembrie 2013 despre participarea IMT la prezentarea si dezbaterea proiectului Strategiei Nationale pentru CDTI 2014-2020 si a instrumentelor de implementare a strategiei. In vara 2013, reprezentanti ai IMT au participat activ in grupuri de lucru pentru elaborarea Strategiei Nationale, iar in luna decembrie s-a primit prima varainta a materialului pentru Strategie, din care reiese ca domeniile de activitate ale institutului nu se regasesc decat tangential. Reprezentanți din IMT au transmis un

71

demers prin care au susținut introducerea in Strategia 2014-2020 a subdomeniului micro-nanoelectronica si fotonica in cadrul ICT si de asemenea au susținut un demers legat de introducerea a domeniului de materiale. Consiliul de Administrație a aprobat deplasările Directorului general al IMT București efectuate in străinătate in anul 2013. Aceste deplasări au avut ca scop participarea la evenimente științifice si de brokeraje in cadrul cărora au fost promovate oferta si activitățile institutului pentru stabilirea unor parteneriate, si participarea la întâlniri organizate in cadrul unor proiecte internaționale sau platforme tehnologice europene in care IMT este partener/membru. Concluzii In anul 2013, Consiliul de Administrație al IMT București a avut un rol semnificativ pentru eficientizarea activității institutului. Consiliul de Administrație a aprobat prin consens situațiile financiare ale institutului, a avizat anumite masuri organizatorice, a aprobat regulamentele de concurs, comisiile si rezultatele finale ale concursurilor pentru ocuparea unor posturi de cercetare stiintifica si dezvoltare tehnologica la IMT Bucuresti. Hotararile luate de membrii Consiliului de Administratie si propunerile formulate de acestia in cadrul sedintelor au contribuit in mod esential la desfasurarea cu succes a activităților din institut. Membrii Consiliului de Administrație au oferit suport si au adus contribuții importante in special pentru soluționarea unor probleme legate de proiectele finanțate din fonduri structurale. De asemenea, membrii Consiliului au oferit recomandări pentru îmbunătățirea capacității institutului de a fi competitiv, ținând cont de evoluția permanenta si dinamica a domeniului de activitate (micro- si nanotehnologii). Consiliul de Administrație al IMT a furnizat soluții optime pentru rezolvarea unor probleme apărute in diverse zone de activitate si a asigurat îndeplinirea obiectivelor prevăzute in strategia de dezvoltare a institutului.

Dr. Raluca Müller, Președinte al Consiliului de Administrație

Director General al IMT București

72

Anexa 1.1. RAPORTUL DIRECTORULUI GENERAL

In anul 2013 s-a urmărit dezvoltarea direcțiilor de cercetare ale institutului in conformitate cu:

- Strategia pe termen mediu si lung ( 2009-2015),

- Planul Instituțional de dezvoltare pe 4 ani ( 2012-2015) propus la Evaluarea instituționala din 2012

- Planul National de Cercetare, Dezvoltare si Inovare 2007-20013, PNII

- Agendele Strategice Europene pentru Horizon 2020 (Nanoelectronica, Tehnologii Generice Esențiale, Sisteme Inteligente Integrate, etc)

Pe lângă direcțiile tradiționale de cercetare: micro-nano biotehnologii, micro-nanoelectronica, senzori si microsisteme pentru comunicații, mediu, sănătate, automotiv, microrobotica, energie, au fost promovare direcții noi de cercetare, cum ar fi cele in domeniul „spațiu”, pentru care institutul are expertiză științifică si potențial in infrastructura (s-au câștigat proiecte in cadrul ROSA si s-a aplicat pentru 2 proiecte ESA, ambele invitate la finanțare in 2014).

In cadrul institutului a fost promovat un climat creativ, de interacţie intre laboratoare, de colaborare interdisciplinara, de încurajare a implicării tinerilor in proiecte naționale si internaționale care a avut ca rezultat participarea cu succes in cadrul proiectelor europene (FP7, ENIAC, ER-NET, COST), a celor din fonduri structurale, participarea la numeroase conferințe internaționale si realizarea unor lucrări științifice in comun, precum si cu parteneri externi (din EU sau Romania), publicate in reviste cotate ISI.

O preocupare constanta a fost aceea de a identifica posibile colaborări cu firme, de a cunoaște necesităţile economice regionale.

Un exemplu este proiectul transfrontalier început in 2013, Romania - Bulgaria: Services Centre for Microsystems and Nanotechnology, care are ca parteneri Camerele de Comerț: Giurgiu, Calarasi si Ruse, prin care s-a facilitat contactul cu mai multe firme din sudul tarii, firme interesate in aplicarea rezultatelor cercetării in domeniul nanotehnologiilor pentru agricultura/securitate alimentar sau construcții navale.

O atenție speciala a fost acordata si colaborării cu firme in cadrul unor proiecte (Infineon Technologie Romania) sau unor servicii de procesare si caracterizare (Honeywell Romania, ROQUARTZ SA, Diagnostic SRL, etc).

O preocuparea a fost si cea a valorificării rezultatelor cercetării prin inovare si transfer tehnologic, institutul fiind membru fondator al asociației Maurele High Tech Cluster si al ELI- NP Clster Inovativ.

S-a urmărit extinderea colaborărilor instituționale naționale si internaționale prin atragerea de noi parteneri in propunerile de proiecte de la call-urile naționale, ERANET; dezvoltarea infrastructurii de cercetare-dezvoltare si utilizarea eficienta a acesteia, de către întregul personal al institutului. S-au realizat upgradari la echipamentele existente, mentenatate pentru software-uri, service-uri la echipamentele performante si traininguri pentru cele nou puse in functuine.

Facilitatea IMT-MINAFAB, susținuta financiar prin proiectele de cercetare al IMT, a fost deschisa studenților (cooperare cu UPB si prin practica de vara) si firmelor.

S-au organizat concursuri pentru gradele de cercetători științifici, cercetători științifici gradul 3, IDT si IDT3, din dorința de a promova tineriibine pregătiți atât pentru o cariera științifica cat si pentru activarea in Zona tehnologica a institutului.

A existat o susținere continua pentru masteranzi, doctoranzi pentru finalizarea lucrărilor de diploma sau a tezelor de doctorat, fiind angajați in 2013 institut 3 tineri performanți care si-au susținut lucrările de diploma, având supervizarea cercetătorilor din IMT.

Institutul a încurajat creșterea vizibilității naționale si internaționale ale institutului prin promovarea activității științifice si prin articole in media (reviste, apariții TVR) sau participarea la târguri internaționale (o medalie de aur la Bruxelles Innova/Eureka) si o aprobare a unei cereri de brevet internațional.

Fondurile de care a dispus institutul au fost alocate pentru salarii, asigurarea funcționării adecvate, la standarde a spațiului tehnologic, activităţi de perfecționare a resursei umane (cercetători si personal auxiliar administrativ), asocierea in organizația ANELIS PLUS pentru accesul online la literatura științifica, organizarea de conferințe (cum ar fi CAS- eveniment IEEE, aflat la a 36 –a ediție in 2013),lucrări utilitare.

In 2013 institutul a depus documentația pentru aprobarea finanțării zonei tehnologice ca instalație de interes național.

73

Este de menționat ca in 2013 a fost restartat proiectul din Fonduri structurale: POS CCE “Centrul de cercetare pentru nanotehnologii dedicate sistemelor integrate si nanomateriale avansate pe baza de carbon – CENASIC, proiect deosebit de important pentru institut, deoarece acesta deschide noi direcții de cercetare in domeniul grafenei, SiC si diamant si oferă o facilitate moderna, unica in sud-estul Europei pentru procesarea acestor materiale, cu potențial aplicativ imens. Finalizarea acestui proiect va oferi tinerilor din institut o șansa de afirmare intr-un domeniu avansat si va atrage personal calificat din străinătate (10 noi locuri de munca).

Doresc sa menționez ca nu a fost simplu sa obținem Hotărârea de Guvern (5 iterații) pentru demolarea unui spațiu dezafectat al halei tehnologice si prelungirea contractului de finanțare, astfel incat din septembrie 2013 acest proiect a prins din nou viața, iar in acest moment (aprilie 2014) construcția cea noua este deja finalizata, urmând ca in următorul an sa fie echipata cu camera curata si echipamente state of the art.

Veniturile realizate prin contracte de cercetare-dezvoltare finanțate din fonduri publice au fost in 2013 de 26.198.057 lei .

S-a înregistrat o scădere a acestora cu aprox. 13,3% fata de anul 2012 datorita faptului ca finanţarea pentru proiectele de IDEI in derulare (6 proiecte) si Parteneriate PNII a fost redusa substanțial, de asemenea un proiect din Fonduri Structurale a fost finalizat in luna martie 2013. O alta explicație pentru scăderea veniturilor o reprezintă reducerea in 2013, a procentajului pentru Finanțarea Nucleu acordata institutului de la 35.56% in 2012 la 30,74% in 2013.

Cu toate acestea proiectele de tip STAR si cele din Fonduri Europene (FP7) au contrabalansat in mare parte micșorarea fondurilor.

Numărul proiectelor naționale in derulare in 2013 a fost de 16 proiecte PN II, 9 STAR, al celor din Fonduri structurale: 4, al celor FP7 (IP, STREP, CA) 7, iar al celor Related FP7 (ENIAC, MNT-ERA-NET, Life +) a fost de 8. La acestea se adaugă 3 proiecte COST si 3 bilaterale interguvernamentale si proiecte Capacități Modul II, cofinanțare la cele europene.

As dori sa menționez activitatea remarcabila a institutului in participarea la proiecte europene in domeniul ICT (Tehnologia Informației sicomunicatiilor), menționata in Raportul Comisiei Europene („Digital Agenda Scoreboard 2013”) pentru perioada 2007-2012, pe tematica de tehnologia informației si comunicațiilor - ICT, IMT București se afla pe locul 4 intre instituțiile din Romania, iar intre institutele naționale de cercetare pe locul 1, fapt ce confirma expertiza si recunoașterea internaționala in acest domeniu.

Director general

Dr. Raluca Müller

74

CRITERIU DEFINIRE CRITERIU INDICATOR U.M

NIVELUL INDICATORILOR PENTRU PERIOADA MANDATULUI

ANO[1]

AN 2012 PLANIFICAT AN 2012 REALIZAT ABATERE JUSTIFICARE AN 2013

PLANIFICAT AN 2013

REALIZAT ABATERE JUSTIFICARE

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

MANA

GEME

NT E

CONO

MICC

SI F

INAN

CIAR

încadrarea în sumele planificate la capitolul VENITURI CONFORM DOCUMENTELOR FINANCIARE

VENITURI DIN ACTIVITATEA DE BAZA [CD]

lei 27632990 27400000 28771303 1371303 25421000 25703855 282855

VENITURI DIN ACTIVITATI CONEXE ACTIVIT. DE BAZA

lei 1699122 410000 420558 10558 236000 372912 136912

VENITURI FINANCIARE lei 130564 130000 166571 36571 83000 121290 38290 VENITURI EXTRAORDINARE lei 0 0 0 0 0 0 0

încadrarea în sumele planificate la capitolul CHELTUIELI CONFORM DOCUMENTELOR FINANCIARE

CHELTUIELI DE BUNURI SI SERVICII lei 16151112 13217000 15143013 1926013 11154000 12234100 1080100

CHELTUIELI CU SALARIILE lei 13090450 14508000 13966379 -541621 14378000 13680685 -697315

CHELTUIELI DE RECLAMA SI PUBLICITATE

lei 10125 35000 10771 -24229 11000 10573 -427

CHELTUIELI FINANCIARE lei 156491 130000 197819 67819 157000 157116 116

CHELTUIELI EXTRAORDINARE lei 0 0 0 0 0 0 0

GESTIONAREA EFICIENTA A RESURSELOR FINANCIARE

REZULTATUL BRUT AL EXERCITIULUI lei 54498 50000 40450 -9550 40000 115583 75583

PROFIT NET lei 14209 39000 19431 -19569 19000 85052 66052 ACOPERIREA PIERDERILOR CONTABILE

lei 0 0 0 0 0 0

PLATI RESTANTE lei 0 0

CREANTE lei 0 0 PRODUCTIVITATEA MUNCII lei 0 0

CIFRA DE AFACERI lei 27222974 24688075 26106507 1418432 24070323 24528380 458057 RATA RENTABILITATII FINANCIARE [ RF = PNET / CPROPRIU]

0,15 0,18 0,15 -0,03 0,16 0,15 -0,01

RAPORTUL DIRECTORULUI GENERAL CU PRIVIRE LA EXECUŢIA MANDATULUI ŞI A MODULUI DE ÎNDEPLINIRE A INDICATORILOR DE PERFORMANŢĂ

75

RATA SOLVABILITATII GENERALE [RSG = ATOTALE / DCURENTE]]

498 484 484 0 275 275 0

RATA AUTONOMIEI FINANCIARE [RAF = CPROPRIU / CPERMANENT]

100 100 100 0 100 100 0

RATA RENTABILITATII ECONOMICE [RE = PBRUT / CPERMANENT]

0,57 0,41 0,43 0,02 0,20 1,21 1,01

GESTIONAREA EFICIENTA A RESURSELOR ALOCATE INVESTITIILOR

VALOAREA ALOCARILOR FINANCIARE PENTRU INVESTITII DIN SURSE PROPRII SI CREDITE BANCARE

VALOAREA ALOCARILOR FINANCIARE PENTRU INVESTITII DE LA BUGETUL DE STAT

lei 300000 2838512 2838512 0 0 0 0

VALOAREA INVESTITIILOR REALIZATE INDIFERENT DE SURSA DE FINANTARE

lei 3285624 900000 903644 3644 1146000 749717 -396283

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

MANA

GEME

NTUL

RES

URSE

LOR

UMAN

E

GESTIONAREA EFICIENTA A RU, A OPORTUNITATILOR DE DEZVOLTARE A CARIEREI PERSONALULUI DE CD

NUMARUL MEDIU DE PERSONAL PE TOTAL INCD

nr pers 179 179 186 7 186 187 1

NUMARUL MEDIU DE PERSONAL DE CD ATESTAT

nr pers 122 80 81 1 82 85 3

NUMARUL DE CS I SI CS II 31 29

NUMARUL DE CS III SI CS 39 43

NUMARUL DE ITD I SI IDT II 3 3

NUMARUL DE ASC SI IDT 11 13 NUMAR DE CERCETATORI IMPLICATI IN PROCESE DE FORMARE DOCTORALA SI DE

3 masteranzi 15 drd 3 masteranzi

12 drd

76

MASTERAT

MOTIVAREA PERSONALULUI DE CD PT PERFORMANTA SI PRESTIGIU PROFESIONAL

CASTIGUL MEDIU LUNAR PE PERSONAL DE CD

lei 5591 5755 5169 -586 5164 5046 -118

MEMBRI IN COLECTIVELE DE REDACTIE ALE REVISTELOR ( recunoscute ISI sau incluse în baze internaţionale de date) SI IN COLECTIVE EDITORIALE INTERNATIONALE.

20 20

PREMII NATIONALE SI/SAU INTERNATIONALE OBTINUTE PRIN PROCES DE SELECTIE

6 premi internatio-nale

3 nationale si 8 internatio-

nale

NUMAR DE CONDUCATORI DE DOCTORAT

1 1

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

MANA

GEME

NTUL

CER

CETA

RII-D

EZVO

LTAR

II

SI IN

OVAR

II gestionarea sistemului relational cu parteneriI de CDI SI DIN MEDIUL ECONOMIC

NUMARUL DE UCD PARTENERE IN TOTAL PROIECTE DE CDI CONTRACTATE

37 proiecte

nationale/ 16 proiecte

internationale

38 proiecte nationale/10 parteneri; 18

proiecte (FP7, related, bilaterale)/75

parteneri (universități,

institute, centre de

cercetare și agenții).

77

NUMARUL OPERATORILOR ECONOMICI IN TOTAL PROIECTE DE CDI

6 parteneri in nationale; 45

internationale

6 parteneri in proiecte

nationale; 58 parteneri companii

internationale

RATA DE SUCCES A PROPUNERILOR DE PROIECTE IN COMPETITII NATIONALE

0,75 0,88

RATA DE SUCCES A PROPUNERILOR DE PROIECTE IN COMPETITII INTERNATIONALE

0,3 0,32

NUMARUL CONTRACTELOR ECONOMICE IN TOTAL CONTRACTE

0,05 0,28

GESTIONAREA ACTIVITATILOR DE DISEMINARE A REZULTATELOR DE CDI

CERERI DE BREVETE INVENTIE 5 3

CERERI DE MARCI, MODELE SI DESENE INDUSTRIALE ETC.

0 0

MODELE EXPERIMENTALE / PROTOTIPURI / INSTALATII PILOT REALIZATE LA COMANDA OPERATORILOR ECONOMICI

0 0

LUCRARI STIITIFICE / TEHNICE PUBLICATE IN REVISTE COTATE ISI

58 46

COMUNICARI STIINTIFICE PREZENTATE LA CONFERINTE

121 74

PARTICIPARI LA TARGURI SI EXPOZITII 1 4

GESTIONAREA ACTIVITATILOR DE

CONTRACTE DE LICENTA SAU CESIUNE 0 0

78

VALORIFICARE ECONOMICA A REZULTATELOR DE CDI

BREVETE DE INVENTII

CONTRACTE DE LICENTA SAU CESIUNE MARCI, MODELE SAU DESENE INDUSTRIALE

0 0

PRODUSE APLICATE LA OPERATORI ECONOMICI 0 0

TEHNOLOGII APLICATE LA OPERATORI ECONOMICI

0 0

SERVICII APLICATE LA ECONOMICI 3 24

SPIN-OFF-URI / START-UP-URI CREATE IN BAZA REZULTATELOR DE CD

0 0

STUDII, DOCUMENTATII TEHNICO-ECONOMICE ETC, APLICATE LA OPERATORI ECONOMICI

0 0

82

Anexa 2

Lista contractelor INCD pentru Microtehnologie (părți de contracte, valoarea contractului, obiectul contractului etc.)

A. Fonduri publice naţionale Nr. crt.

Obiectul contractului Program Autoritatea contractantã

Numãrul contractu

lui

Valoare 2013

(mii lei)

Valoare 2012

(mii lei) 1 Nanostructural carbonaceous

films for cold emitters MNT-ERA UEFISCDI Ctr.MNT-

7-016/2008

0 351,000

2 Multifunctional zinc oxide-based nanostructures: from materials to devices (MULTINANOWIRES)

MNT-ERA-partener

UEFISCDI- (Dunarea de Jos GALATI)

Ctr.MNT 7-029 /2010

0 200,400

3 Integrated Platform for Pesticides Detection (PESTIPLAT)

MNT-ERA UEFISCDI Ctr.MNT-7-035/2011

352,493 408,500

4 Modelare 3D pentru proiectarea robustica a microsenzorilor de vibratie (3SMVIB)

MNT-ERA UEFISCDI Ctr.MNT -7-063/2012

264,000 88,000

5 Nanoelectronics for Electric Vehicle Intelligent Failsafe Power Train (MOTORBRAIN)

Eniac UEFISCDI Ctr Eniac 01/2011

176,077 191,120

6 Platforma de micro-imunosenzori pentru investigarea sindromului metabolic (IMUNOPLAT)

Parteneriate coordonator

UEFISCDI Ctr.13/2012

746,376 580,690

7 Comunicatii optice securizate de mare capacitate prin spatiul liber, bazate pe holograme generate pe computer (HOLCOMM)



389,250 599,698

8 Lab-on-a-chip pentru studiul apoptozei celulare (CELLIMMUNOCHIP)


UEFISCDI Ctr.2/2012

480,000 200,000

9 Noi materiale nanostructurate semiconductoare pe baza de nanoparticule de Ge in diferiti oxizi pentru aplicatii in fotodetectori VIS-NIR si dispozitive de memorii nevolatile (GNANOPHOTODNVM)

Parteneriate -partener

UEFISCDI Ctr 9/2012

147,000 150,000

10 Structuri de tip ARRAY pentru preventia, diagnosticul si tratamentul individualizat al unor forme de cancer cu incidenta si mortalitate majore (HRCarrays)


UEFISCDI Ctr.4/2012

102,000 65,000

11 Detector de gaze inflamabile si toxice bazat pe matrice de senzori MOS pe carbura de siliciu (SIC GAS)



120,000 50,000

12 Instrumente si metodologii avansate pentru modelarea multifizica si simularea micro comutatoarelor de radio frecventa (ToMeMs)


UEFISCDI Ctr. 5/2012

168,000 100,000

13 Senzor inteligent de temperaturi ridicate cu diode pe carbura de siliciu (SiC) pentru aplicatii



120,000 50,000

83

industriale in medii ostile (SIC SET)

14 Development of human resources through postdoctoral research in micro- and nanotechnologies (NANOSUSTAIN)

Capacitati Modul III FP 7

UEFISCDI Ctr. 18 EU/2009

0 7,370

15 Development of sustainable solutions for nanotechnology-based products based on hazard characterisation and LCA


UEFISCDI

Ctr. 88 EU/2010

27,537 47,536

16 Nanostructured materials and RF-MEMS RFIC/MMIC tehnologies for highly adaptive and reliable RF systems (NANOTEC)


UEFISCDI

Ctr.155 EU/2011

114,989 130,000

17 Smart Integration of GaN SiC high power electronics for industrial and RF applications (SMARTPOWER)


UEFISCDI

Ctr.154 EU/2011

79,202 80,000

18 Development of reference methods for hazard identification, risk assessment and LCA of engineered nanomaterials (NanoValid)


UEFISCDI

Ctr.158 EU/2011

43,890 43,500

19 Partner network for a clinically validated Multianalyte LAB-ON-A CHIP PLATTORM (PARCIVAL)


UEFISCDI

Ctr 193 EU/2012

95,265 96,871.20

20 Sisteme inteligente pe baza de carbon pentru aplicatii RF (NANORF)


UEFISCDI

Ctr.201EU /2013

136,920 0

21 Bio-chemical sensors based on InP porous pellicles, polymers and metallic nanoparticles, realized with MEMS/MOEMS techniques for electrical and optical measurements in real time (Bio-MEMS)

Capacitati Modul III -Bilaterala Moldova

UEFISCDI

Ctr.433 CB/2010

0 10,234

22 Time and stress degradation phenomena in lead-free solder joints of printed circuit boards (PCB)- DEGRAJONT.

Capacitati Modul III -Bilatrerala Slovacia

UEFISCDI

Ctr. 471 CB/2011

0 5,586

23 Studiul experimental si computational al sistemelor siliciu poros / metale.

Capacitati Modul III -Bilaterala Japonia

UEFISCDI

Ctr.521/2011

0 3,424

24 Development of Analytical Methods Based on Supramolecular Systems to detect and Quantify Nanomaterials (DAMS)

Capacitati Modul III -Bilaterala Argentina

UEFISCDI

Ctr.733/2013

11,438.50 0

25 Efficient electrochemical catalysis and regeneration of nicotinamide adenine dinucleotide at layer-by-layer self-assembled doped membranes

Program Resurse umane

UEFISCDI

Ctr.3/2010

173,578 252,463

26 Fabrication and characterization of micro and nano metallic structures by Dip-Pen Nanolithography

Program Resurse umane

UEFISCDI

Ctr. 27/2011

103,800 148,200

27 Prospective research regarding Program Idei UEFISCDI Ctr. 182,922 645,550

84

rapid prototyping processes for applications in the field of micro- and nanosystems realization

62/2011

28 Novel technologies based on micromachining and nano-processing of GaN/Si, for advanced microwave and photonic devices

Program Idei UEFISCDI Ctr. 203/2011

248,320 600,000

29 Millimeter-wave Front-End for Imaging in Security and Medical Applications.


236,468 477,500

30 Nanoelectronic devices based on graphene for high frequency domain applications


225,745 490,000

31 Experimental investigation on the order parameter symmetry of the superconducting Sr1-

xLaxCuO2 thin films using SQUIDs

Program Idei

UEFISCDI

Ctr. 179/2011

140,075 676,550

32 Carbon quantum dots: exploring a new concept for next generation optoelectronic devices


952,656 809,194

33 Fotodetectoare pe straturi subtiri – noi concepte si studii privind utilizarea in aplicatii aerospatiale

STAR

Agentia Spatiala Romana

Ctr.14/2012

330,000 100,000

34 Bolometre pentru aplicatii spatiale in domeniul infrarosu mediu si lung

STAR


Ctr. 34/2012

434,806 151,200

35 Sisteme active de protectie MICRO – SHIELDS pentru infrastructurile spatiale.

STAR


Ctr. 37/2012

621,000 70,000

36 Diode Schottky, detectoare si mixere pentru unde milimetrice si submilimetrice realizate pe GaAs.

STAR


Ctr. 86/2013

35,000 0

37 Cercetari asupra performantei unor materiale semiconductoare oxidice pentru aplicatii spatiale

STAR


Ctr. 94/2013

65,000 0

38 Microsensors Matrix ForAir Quality Control In Human Space Missions Habitable Areas

STAR


Ctr. 76/2013

90,000 0

39 Sisteme microcpv pentru tehnologie spatiala

STAR


Ctr. 77/2013

33,500 0

40 Reliability design of RF-MEMS switches for space applications

STAR- partener

Agentia Spatiala Romana (Univ Tehnica Cluj Napoca)

Ctr 32/2012

92,000 0

41 STAR Technology STAR- partener

Agentia Spatiala Romana (INCD Aerospatiala "Elie Carafoli"INCAS Buc)

Ctr 2/2012

90,000 80,000

42 Alimentare- adaptiva pentru STAR- Agentia Ctr 5,000 0

85

sisteme de baterii in tehnologia spatiala.

partener

Spatiala Romana (Centrul European de Afaceri Inventica si Cercetare SA)

70/2013

43 Finantare nucleu INCD pentru Microtehnologie

NUCLEU

ANCS

Ctr. 29N- PN 09290306

8.845,706 9.824,360

44 Finantare conferinta CAS Finantari evenimente

ANCS

Ctr. 149 5,000 15,000

Total fonduri publice nationale 19,650,266 20,776,285 B. Fonduri publice internaţionale Nr. crt.

Titlul contractului Program Autoritatea contractantã

Numãrul contractul

ui

Valoare 2013

(mii euro)

Valoare 2012

(mii euro)1 Enabling MEMS-MMIC

tehnology for cost-effective multifunctional RF-system integration

FP7-ICT Institute of Mobile and Satellite communication Technology IMST GmbH (Germany)

Ctr. 224101 0 147,851

3 FLEXPAET - Flexible patterning of complex micro structures using adaptive embossing technology

FP7-NMP Fraunhofer-gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung E.V. (IPT Germany)

Ctr. 214018 0 27,446

4 Development of sustainable solutions for nanotehnology-based products based on hazard characterization and LCA (NANOSUSTAIN)

FP7-NMP NordMiljo O Grahn AB (NOMI)

Ctr. 247989 1.05.2010-30.04.2013

89,047 83,716

5 Micro and nanotechnologies based on wide bandgap materials for future transmitting receving

Cooperation related to FP 7 (ENIAC)

Thales S A (France)

Ctr.120220/2010

5,131 100,298

6 Microsystem based on wide bandgap materials miniaturized and nanostructurs RF-MEMS (NANOCOM)


Thales S A (France)

Ctr.270701-2/2011

15,157 132,083

7 Nanoelectronics for Electric Vehicle Intelligent Failsafe Power Train (MOTORBRAIN)


Infineon AG -Germany

Ctr.270693-2

35,300 38,316

8 Nanostructured materials and RF-MEMS RFIC/MMIC tehnologies for highly adaptive and reliable RF systems (NANOTEC)

FP7-ICT Thales S A (France)

Ctr.288531/2011

490,706 333,485

9 Smart Integration of GaN SiC high power electronics for industrial and RF applications (SMARTYPOWER)

FP7-ICT Thales S A (France)

Ctr.288801/2011

182,511 416,227

10 Development of reference methods for hazard identification, risk assessment and LCA of engineered

FP7-NMP-Env

NordMiljo O Grahn AB (NOMI)

Ctr. 263147 121,377 49,367

86

nanomaterials (NanoValid) 11 Partner network for a clinically

validated multi-analyte lab-on-a-chip platform

Guus Simons, PathoFinder BV, Netherlands

Ctr. 278090 299,673 307,094

12 Enhancing the capacities of the ELIRI research institute in applied research to enable the integration of Moldova in the European Research Area on the basis of scientific excellence

FP7-INCO Research Institute “ELIRI”, R. Moldova

Ctr. 294953 59,329 58,923

13 NANO RF - Carbon based smart systems for wireless applications, 2012 - 2015

FP7-ICT-2011-8

Thales S A (France)

Ctr.318352 400,561 77,149

14 Development of an interactive tool for the implementation of environmental legislation in Nanoparticle manufacturers (i-NanoTool)

Program LIFE +2012

AIDO Optica Color Imagen Spania

Ctr. 12ENV/ES/000326

204,802 0

Total fonduri publice internationale 1,903,594 1,777,969 C. Fonduri structurale Nr. crt.

Titlul contractului Program Autoritatea contractantã

Numãrul contractului

Valoare 2013

(mii euro)

Valoare 2012

(mii euro)1 Development of human

resources through postdoctoral research in micro- and nanotechnologies MNT- POSTDOC

Finantare nerambursabila Dezvoltarea Resurselor Umane

Ministerul Muncii, Familiei si Protectiei Sociale

POSDRU/89/1.5/S/63700/2010

322,565 2,766,816

2 Microfluidic Factory for “Assisted Self-Assembly” of Nanosystems MICRONANOFAB

Finantare nerambursabila-POS CCE

Ministerul Educatiei Nationale

CCE 209/20.07.2010

1.338,142 1.615,401

3 Centre for research in nanotechnologies dedicated to integrated systems and in advanced carbon-based nanomaterials – CENASIC

Finantare nerambursabila-POS CCE

Ministerul Educatiei Nationale

CCE 254/28.09.2010

214,082 392,641

4 Proiect transfrontalier Romania-Bulgaria „MicroNanoTech”

Programul de cooperare transfrontaliera Romania -Bulgaria 2007-2013

Ministerul Dezvoltarii Regionale si Administratiei Publice

MIS-ETC 587/1.05.2013

463,881 0

Total fonduri structurale

87

Anexa 3

REZULTATELE ACTIVITĂŢII DE CERCETARE DEZVOLTARE 2013

7.1.1. Lucrări ştiinţifice/tehnice publicate în reviste de specialitate cotate ISI 46 (nr lucrari ISI 2012 - 57) 7.1.2. Factor de impact cumulat al lucrarilor cotate ISI: 81.9 (112.126 cumulat pe 2012) 7.1.3. Citări în reviste de specialitate cotate ISI: 456 citari (177 articole publicate in perioada 2013-1998) 7.1.1. Lucrări ştiinţifice/tehnice publicate în reviste de specialitate cotate ISI (titlul, revista, autori) 1. “Dual detection biosensor based on porous silicon substrate”, M. Simion, M. Kusko, I. Mihalache, A.

Bragaru, Materials Science and Engineering B 178, 1268– 1274, 2013; FI 1.846

2. “Microstructures and growth characteristics of polyelectrolytes on silicon using layer-by-layer assembly”, A. Bragaru, M. Kusko, A. Radoi, M. Danila, M. Simion, F. Craciunoiu, R. Pascu, I. Mihalache, T. Ignat, Central European Journal of Chemistry, 11(2), 205-214, 2013; FI 1.167

3. “Analytical characterization of engineered ZnO nanoparticles relevant for hazard assessment”, A. Bragaru, M. Kusko, E. Vasile, M. Simion, M. Danila, T. Ignat, I. Mihalache, R. Pascu, F. Craciunoiu, Journal of Nanoparticle Research 15, 1352, 2013; FI 2.175

4. “Synchrotron X-ray diffraction analysis for quantitative defect evaluation in GaP/Si nanolayers”, T. Nguyen Thanh, C. Robert, A. Letoublon, C. Cornet, T. Quinci, E. Giudicelli, S. Almosni, N. Boudet, A. Ponchet J. Kuyyalil, M. Danila, O. Durand, N. Bertru, A. Le Corre, Thin Solid Films 541, 36–40, 2013; FI 1.604

5. „Influence of PdHx formation ability on hydrogen sensing properties ofpalladium-carbonaceous films”, Ewa Kowalska, Elzbieta Czerwosz, Ryszard Diduszko, Anna Kaminska, Mihai Danila, Sensors and Actuators A 203, 434– 440, 2013; FI 1.841

6. “Structural investigation of austenitic stainless steel layers obtained by laser surface alloying”, R. I. Zamfir, E. Popovici, F. Miculescu, M. Danila, A. Parau, Journal of Optoelectronics and Advanced Materials 15 (3 – 4), 305 – 310, 2013; FI 0.516

7. “L-lactic acid biosensor based on multi-layered graphene”, A. Radoi, A. C. Obreja, S. A. V. Eremia, A. Bragaru, A. Dinescu, G.-L. Radu, Journal of Applied Electrochemistry, 43 (10), 985-994, 2013; FI 1.836

8. “Influence of Utltrasounds on Structural and Morphological Properties of Pbs Deposited on Glass Substrate”, V. Popescu, D. Raducanu, A. Dinescu, M. Danila, G. L. Popescu, Chalcogenide Letters 10(5), 159 – 165, 2013; FI 0.934

9. “Sol-gel synthesis and optical properties of ZnO powder”, A. Matei, L. Dumitrescu, I. Cernica, V. Schiopu, A. Dinescu, M. Danila, I. Mihalache, I. Manciulea, Journal of Optoelectronics and Advanced Materials 15 (7 – 8), 703 – 706, 2013; FI 0.516

10. „Self-Pulsation in a Nonlinear Plasmonic Ring Resonator”, Cristian Kusko, IEEE J. of Quantum Electronics, 49, pp. 1080-1087 (2013). FI 1.83

11. ”Anti-fog chitosan/sodium lauryl ether sulfate films”, M. Florea-Spiroiu, D. Achimescu, I. Stanculescu, M. Purica, R. Gavrila, S. Peretz , POLYMER BULLETIN Volume: 70 Issue: 12 Pages: 3305-3316 Published: DEC 2013 FI: 1,332

12. ”Simulation and optimization of sensor based on Mach-Zehnder interferometer with reference waveguide”, M. Kusko, Optoelectronics and advanced materials –rapid communications, Vol. 7, No. 11-12, November - December 2013, p. 927-931, FI: 0,402

13. “Isocyanate functionalized graphene/P3HT based nanocomposites” , A.C.Obreja, D.Cristea, R. Gavrila, V.Schiopu, A. Dinescu, M.Danila, F. Comanescu, Applied Surface Science 27, pp 458– 467 , (2013) FI: 2.099.

14. ”Charge storage and memory effect in graphene quantum dots – PEG600 hybrid nanocomposite”, I. Mihalache, A. Radoi, C. Munteanu, M. Kusko, C. Kusko, Organic Electronics 15, pp. 216-225, (2014) FI: 3.836

15. “Residual stress distribution and deflection analysis of very thin GaN membrane supported devices”, A. Cismaru, A Muller, G. Konstantinidis, F Comanescu, M Purica, A Stefanescu, A Stavrinidis, A Dinescu, A Moldoveanu, Journal of Micromechanics and Microengineering Volume: 23 Issue: 1 Article Number: 015010 Published: JAN 2013 FI: 1.790

88

16. ”Antireflective Coatings with Nanostructured TiO2 Thin Films for Silicon Solar Cells”, E. Manea, C Parvulescu, M Purica, E Budianu, F Comanescu, JOURNAL OF NANO RESEARCH Volume: 21 Pages: 89-94 Published: 2013 , FI: 0.341

17. “Synthesis and Characterization of Nickel Nanoparticles Anchored on Chemically Functionalized Carbon Nanotubes”, M. Stancu, G. Ruxandra, N. Stanica, A. Dinescu, D. Ciuparu, Optoelectronics and Advanced Materials – Rapid Communications Vol. 7, No. 1-2, January - February 2013, p. 110 – 115 FI: 0,402

18. “Utilization of Granular Activated Carbon Adsorber for Nitrates Removal From Groundwater of the Cluj Region”, S. Mosneag, V. Popescu, A. Dinescu and G. Borodi, Journal of Environmental Science and Health. Part A, Toxic/hazardous substances & environmental engineering, vol. 48, Issue 8, p. 918-24 (2013) FI: 1,25

19. “Influence of ultrasounds on structural and morphological properties of PbS deposited on glass substrate”, V Popescu, D Raducanu, Dinescu, A, M Danila, G L Popescu, Chalcogenide Letters, vol. 10, Issue 5, p. 159-165, May 2013 FI: 0,934

20. “The Influence of the Deposition Time on Morphological and Optical Properties of Cu (X) S Films Deposited on Polypropylene Substrate”, A E Pop, V. Popescu, A Dinescu, MN Batin et al., Materials Science-Poland vol. 31 Issue: 3, p. 318-324, 2013 FI: 0,258

21. “Periodical Structures Induced by Femtosecond Laser on Metals in Air and Liquid Environments”, C Albu, A Dinescu, M Filipescu, M. Ulmeanu, M Zamfirescu, Applied Surface Science, vol. 278 (2013), p. 347-351 FI: 2,112

22. “2 nm Quantum Optical Lithography”, E Pavel, S Jinga, E Andronescu, B S Vasile, G Kada, A Sasahara, N Tosa, A Matei, M. Dinescu, A Dinescu, O R Vasile, Optics Communications 291 (2013), ps. 259-263 FI: 1,438

23. “Structure, Morphology and Optical Properties of Multilayered Sol–Gel Bati0.85Zr0.15O3 Thin Films”, C A. Vasilescu, M Crisan, A C. Ianculescu, M Raileanu, M Gartner, M Anastasescu, N Dragan, D Crisan, R Gavrila, R Trusca, Applied Surface Science, Volume 265 (2013), p. 510–518 FI: 2,112

24. “Influence of Anodizing Potential on Titanium Dioxide Nanotubes Morphology”, C Dumitriu, M Popescu, G Voicu,I Demetrescu, Revista de Chimie, no. 6/ 2013 (64) FI: 0.538

25. Fine control over the size of surfactant- polyelectrolyte nanoparticles by hydrodynamic flow focusing, Tresset, G., Marculescu, C., Salonen, A., Ni, M., Iliescu, C. dx.doi.org/10.1021/ac4006155, Anal. Chem. 2013, 85, 5850−5856. FI: 5.695

26. Signal dependence on magnetic nanoparticles position over a planar Hall effect biosensor, M Volmer, M Avram, Microelectronic Engineering, 108, 2013, pp.116-120. FI: 1.224

27. Microbeads Detection Using Spin-Valve Planar Hall Effect Sensors, M Volmer, M Avram, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 12, 2013, pp.7456-7459. FI: 1.149

28. “On photoluminescence and photoreflectance of 1-eV GaInNAs-on-GaAs epilayers”, E.-M. Pavelescu, R. Kudrawiec, M. Dumitrescu, J. Luminescence, Vol. 141, pp. 67-70, 2013. FI: 2,144

29. „Enhancement in photoluminescence from 1 eV GaInNAs epilayers subject to 7 MeV electron irradiation”, E-M. Pavelescu, R. Kudrawiec, N. Bălţăţeanu, S. Spanulescu, M. Dumitrescu, M. Guina, Semicond. Sci. Technol., Vol. 28, pp. 025020, 2013. FI: 1,921

30. “Effects of 7-MeV electron irradiation on photoluminescence from 1-eV GaInNAs-on-GaAs epilayers”, E.-M. Pavelescu, R. Kudrawiec, J. Puustinen, A. Tukiainen, M. Guina, J. Luminescence, Vol. 136, pp. 347-50, 2013. FI: 2,144

31. “MM-wave metamaterial adjustable antenna on magnetically biased ferritic substrate”, International Journal of Antenna and Propagation, Gh. Sajin, I.A. Mocanu, F. Craciunoiu, IJAP, Vol. 2013, article ID 696483, 9 pages, ISSN: 1687-5869 (Print), ISSN: 1687-5877 (Online), doi:10.1155/8039, Available online at: http://www.hindawi.com/journals/ijap/aip/696483/ FI: 0,683

32. “Geometrically induced rectification in two-dimensional ballistic nanodevices”, D Dragoman, M Dragoman, J. Phys. D: Appl. Phys. 46 (2013) 055306 (6pp) FI: 2.528

33. “Enhancement of higher harmonics in graphene-based coupled coplanar line microwave multipliers”, M Dragoman, A Cismaru, A Dinescu, D Dragoman, G. Stavrinidis, and G. Konstantinidis, Journal of Applied Physics 114, 154304 (2013); FI: 2.21

34. “Graphene as a high impedance surface for ultra-wideband electromagnetic waves”, M Aldrigo, M Dragoman, A Constanzo, and D Dragoman, Journal of Applied Physics 114, 184308 (2013); FI: 2.21

89

35. “Nanoelectronics on a single atom sheet”, M.Dragoman, Romanian Reports in Physics, Vol. 65, No. 3, P. 792–804, 2013 FI: 1.12

36. “Effect of the sublayer thickness and furnace annealing on the crystallographic structure and grain size of nanocrystalline ZnxCd1-xSe thin films”, D.D. Nesheva, I.E. Bineva, M. Danila, A. Dinescu, Z.M. Levi, Z.I. Aneva, R. Muller, Bulgarian Chemical Communications, October 17-18, 2013, Proceedings of the Jubilee Scientific Session on “Interdisciplinary Chemistry”, Volume 45, Special Issue B (pp. 11-17), Bankya, Bulgaria FI: 0.320

37. "First principles calculations, neutron, and x-ray diffraction investigation of Y3Ni13B2, Y3Co13B2, and Y3Ni10Co3B2", N. Plugaru, M. Valeanu, R. Plugaru, and J. Campo, Journal of Applied Physics 115, 023907 (2014). (Received 6 October 2013; accepted 31 December 2013; published online 14 January 2014). FI: 2.21

38. "Scanning Transmission Electron Microscopy Investigation of ZnO:Al Based Thin Film Transistors", E. Vasile, S. Mihaiu, R. Plugaru, Digest Journal of Nanomaterials and Biostructures, Volume: 8 Issue: 2 Pages: 721-727 Published: APR-JUN 2013. FI 1.09

39. Eigenmode Decomposition of the Near-Field Enhancement in Localized Surface Plasmon Resonances of Metallic Nanoparticles, T. Sandu; Plasmonics, 8, 391-403 (2013) FI: 2.425

40. Applications of electrostatic capacitance and charging, T. Sandu, G. Boldeiu, V. Moagar-Poladian, J. Appl. Phys. 114, 224904 (2013); doi: 10.1063/1.4847495 FI: 2.21

41. Disposable biosensor based on platinum nanoparticles-reduced graphene oxide-laccase biocomposite for the determination of total polyphenolic content. Eremia, S.A., Vasilescu, I., Radoi, A., Litescu, S.C., Radu, G.L. (2013) Talanta, 110, pp. 164-170, FI: 3.498

42. Lipid hydroxide determination on a ferrocenemethanol modified electrode, Vasilescu, I., Eremia, S.A.V., Radoi, A., Radu, G.-L., Litescu, S.-C. (2013) Analytical Methods, 5 (8), pp. 2013-2019, FI: 1.855

43. Biosensor Array Based Platform for Pesticide Detection C Moldovan, R Iosub, C Codreanu, B Firtat, D Necula, M Ion, C Brasoveanu, A Ion, I Stan, Sensor Letters, Volume 11, Number 8, August 2013 , pp. 1519-1523(5); Factor impact 2012: 1,953

44. „Dezvoltarea unui nou imunosenzor capacitiv „label-free” pentru detectia Escherichia Coli O157:H7”, C.M. Mihailescu, D. Stan, R. Iosub, M. Savin, C. Moldovan, Revista Romana de Medicina de Laborator, Supliment la vol. 21 nr.2/4, iunie 2013, pag S77-78, ISSN 1841-6624, Factor impact 2012: 0,097

45. "Metamaterial Antenna on Magnetically Polarized Ferrite Substrate", Mocanu I A, Craciunoiu F., Sajin Gh. I., University Politehnica of Bucharest Scientific Bulletin Series A – Applied Mathematics and Physics, Vol. 75, (2013), Issue 3, pp. 187-194, ISSN 1223-7027. Factor impact: 0.30

46. "OPINCAA: A Light-Weight and Flexible Programming Environment For Parallel SIMD Accelerators", Lucian Petrica, Radu Hobincu, ROMJIST , Vol 15, Impact factor 0.154

7.1.3. Citări în reviste de specialitate cotate ISI: 456 citari ale celor 177 articole publicate in perioada 2013-1999

Nr. crt.

Lucrare Anul publicarii

Nr citari

in 2013

1. Coplanar waveguide on graphene in the range 40 MHz-110 GHz By: Dragoman, M.; Neculoiu, D.; Cismaru, A.; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 99 Issue: 3 Article Number: 033112 Published: JUL 18 2011 Time cited in 2013: 5

2013 5

2. Disposable biosensor based on platinum nanoparticles-reduced graphene oxide-laccase biocomposite for the determination of total polyphenolic content By: Eremia, Sandra A. V.; Vasilescu, Ioana; Radoi, Antonio; et al. TALANTA Volume: 110 Pages: 164-170 Published: JUN 15 2013 Time cited in 2013: 1

2013 1

3. DNA hybridization detection in a miniaturized electromagnetic band gap resonator By: Dragoman, Mircea; Cismaru, Alina; Radoi, Antonio; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 99 Issue: 25 Article Number: 253106 Published: DEC 19 2011 Time cited in 2013: 3

2013 3

90

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

4. Eigenmode Decomposition of the Near-Field Enhancement in Localized Surface Plasmon Resonances of Metallic Nanoparticles By: Sandu, Titus PLASMONICS Volume: 8 Issue: 2 Pages: 391-402 Published: JUN 2013 Time cited in 2013: 2

2013 2

5. Geometrically induced rectification in two-dimensional ballistic nanodevices By: Dragoman, Daniela; Dragoman, Mircea JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Volume: 46 Issue: 5 Article Number: 055306 Published: FEB 6 2013 Time cited in 2013: 1

2013 1

6. Photocatalytic activity of a nitrogen-doped TiO2 modified zeolite in the degradation of Reactive Yellow 125 azo dye By: Ilinoiu, Elida Cristina; Pode, Rodica; Manea, Florica; Manea, Florica; Colar, Liliana Andreea; Jakab, Agnes; Orha, Corina; Ratiu, Cornelia; Lazau, Carmen; Sfarloaga, Paula JOURNAL OF THE TAIWAN INSTITUTE OF CHEMICAL ENGINEERS Volume: 44 Issue: 2 Pages: 270-278 Published: MAR 2013 Time cited in 2013: 2

2013 2

7. Preparation and In Vitro, Bulk, and Surface Investigation of Chitosan/Graphene Oxide Composite Films By: Pandele, Andreea Madalina; Dinescu, Sorina; Costache, Marieta; Vasile, Eugenia; Obreja, Cosmin; Iovu, Horia; Ionita, Mariana POLYMER COMPOSITES Volume: 34 Issue: 12 Pages: 2116-+ Published: DEC 2013 Time cited in 2013: 1

2013 1

8. Residual stress distribution and deflection analysis of very thin GaN membrane supported devices By: Cismaru, A.; Mueller, A.; Konstantinidis, G.; et al. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING Volume: 23 Issue: 1 Article Number: 015010 Published: JAN 2013 Time cited in 2013: 2

2013 2

9. Texture evolution during ARB (Accumulative Roll Bonding) processing of Ti-10Zr-5Nb-5Ta alloy By: Cojocaru, Vasile-Danut; Raducanu, Doina; Gordin, Doina Margareta; et al. JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS Volume: 546 Pages: 260-269 Published: JAN 5 2013 Time cited in 2013: 3

2013 3

10. Thin films of SnO2-CeO2 binary oxides obtained by pulsed laser deposition for sensing application By: Somacescu, Simona; Scurtu, Rares; Epurescu, George; et al. Conference: Spring Meeting of the European-Materials-Research-Society (E-MRS) / Symposium N / Symposium O / Symposium V on Laser Materials Processing for Micro and Nano Applications Location: Strasbourg, FRANCE Date: MAY 14-18, 2012 Sponsor(s): European Mat Res Soc (E-MRS) APPLIED SURFACE SCIENCE Volume: 278 Pages: 146-152 Published: AUG 1 2013 Time cited in 2013: 1

2013 1

11. 2 nm Quantum Optical Lithography By: Pavel, E.; Jinga, S.; Andronescu, E.; et al. OPTICS COMMUNICATIONS Volume: 291 Pages: 259-263 Published: MAR 15 2013 Time cited in 2013: 2

2013 2

91

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

12. A practical guide for the fabrication of microfluidic devices using glass and silicon By: Iliescu, Ciprian; Taylor, Hayden; Avram, Marioara; et al. BIOMICROFLUIDICS Volume: 6 Issue: 1 Article Number: 016505 Published: MAR 2012 Time cited in 2013: 6

2012 6

13. Ce, Gd Codoped YAG Nanopowder for White Light Emitting Device By: Schiopu, Vasilica; Matei, Alina; Dinescu, Adrian; et al. JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY Volume: 12 Issue: 11 Pages: 8836-8840 Published: NOV 2012 Time cited in 2013: 1

2012 2

14. CNTs in Optoelectronic Devices: New Structural and Photophysical Insights on Porphyrin-DWCNTs Hybrid Materials By: Aurisicchio, Claudia; Marega, Riccardo ; Corvaglia, Valentina; Mohanraj, John; Delamare, Romain; Vlad, Dana Alina; Kusko, Cristian; Dutu, Constantin Augustin; Minoia, Andrea; Deshayes, Gaelle; Coulembier, Olivier; Melinte, Sorin; Dubois, Philippe; Lazzaroni, Roberto; Armaroli, Nicola; Bonifazi, Davide ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS Volume: 22 Issue: 15 Pages: 3209-3222 Published: AUG 7 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

15. Copper-decorated carbon nanotubes-based composite electrodes for nonenzymatic detection of glucose By: Pop, Aniela; Manea, Florica; Orha, Corina; et al. NANOSCALE RESEARCH LETTERS Volume: 7 Article Number: 266 Published: MAY 22 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

16. Diffraction pattern study for cell type identification By: Mihailescu, M.; Costescu, J. OPTICS EXPRESS Volume: 20 Issue: 2 Pages: 1465-1474 Published: JAN 16 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

17. Effect of protons irradiation on the performances of CdS/CdTe photovoltaic cells for space applications By: Antohe, S.; Iftimie, Sorina; Ghenescu, Veta; Constantineanu, Raluca; Gugiu, M. M.; Ion, M.; Stan, I.; Radu, A.; Ion, L. ROMANIAN REPORTS IN PHYSICS Volume: 64 Supplement: S Pages: 1153-1162 Published: 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

18. Effects of I-doping content on the structural, optical and photocatalytic activity of TiO2 nanocrystalline powders By: Molea, Andreia; Popescu, Violeta; Rowson, Neil Anthony POWDER TECHNOLOGY Volume: 230 Pages: 203-211 Published: NOV 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

19. Electrochemical studies of homogeneous self-assembled monolayers versus mixed self-assembled monolayers on gold electrode for "label free" detection of heart fatty acid binding protein By: Stan, Dana; Mihailescu, Carmen-Marinela; Iosub, Rodica; et al. THIN SOLID FILMS Volume: 526 Pages: 143-149 Published: DEC 30 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

20. Extending ballistic graphene FET lumped element models to diffusive devices By: Vincenzi, G.; Deligeorgis, G.; Coccetti, F.; Dragoman, M ; Pierantoni, L.; Mencarelli, D; Plana, R.) SOLID-STATE ELECTRONICS Volume: 76 Pages: 8-12 Published: OCT 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

92

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

21. Front and backside-illuminated GaN/Si based metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetectors manufactured using micromachining and nano-lithographic technologies By: Mueller, Alexandru; Konstantinidis, George; Androulidaki, Maria; et al. THIN SOLID FILMS Volume: 520 Issue: 6 Pages: 2158-2161 Published: JAN 1 2012 Time cited in 2013: 3

2012 3

22. Gold Nanoparticle Uptake by Tumour Cells of B16 Mouse Melanoma By: Avram, Marioara; Balan, Catalin Mihai; Petrescu, Ina; et al. PLASMONICS Volume: 7 Issue: 4 Pages: 717-724 Published: DEC 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

23. Hydrothermal synthesis of ZnO-Eu2O3 binary oxide with straight strips morphology and sensitivity to NO2 gas By: Somacescu, Simona; Dinescu, Adrian; Stanoiu, Adelina; et al. MATERIALS LETTERS Volume: 89 Pages: 219-222 Published: DEC 15 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

24. Investigations of vortex formation in microbifurcations By: Balan, Catalin Mihai; Broboana, Diana; Balan, Corneliu MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS Volume: 13 Issue: 5 Pages: 819-833 Published: NOV 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

25. Multifunctional zinc oxide nanostructures for a new generation of devices By: Musat, Viorica; Fortunato, Elvira; Purica, Munitzer; et al. MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS Volume: 132 Issue: 2-3 Pages: 339-346 Published: FEB 15 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

26. 160 GHz Silicon Micromachined Folded Slot Antenna Array By: Bunea, Alina-Cristina; Neculoiu, Dan; Avram, Andrei; et al. Book Group Author(s): IEEE Conference: Asia-Pacific Microwave Conference (APMC) Location: Kaohsiung, TAIWAN Date: DEC 04-07, 2012 2012 ASIA-PACIFIC MICROWAVE CONFERENCE (APMC 2012) Pages: 896-898 Published: 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

27. Magnetic field dependence of the critical current in YBa2Cu3O7-delta/Au/Nb ramp-zigzag Josephson junctions By: Scharinger, S.; Turad, M.; Stoehr, A.; Leca, V; Goldobin, E.; Mints, R. G.; Koelle, D.; Kleiner, R. PHYSICAL REVIEW B Volume: 86 Issue: 14 Article Number: 144531 Published: OCT 24 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

28. Microbeads Detection Using Spin-Valve Planar Hall Effect Sensors By: Volmer, M.; Avram, M. JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY Volume: 12 Issue: 9 Pages: 7456-7459 Published: SEP 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

29. Millimeterwave Schottky diode on grapene monolayer via asymmetric metal contacts By: Dragoman, Mircea; Deligeorgis, George; Muller, Alexandru; et al. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 112 Issue: 8 Article Number: 084302 Published: OCT 15 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

93

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

30. NANOSCALE ANALYSIS OF THE CROSS-SECTIONAL STRUCTURE AND COMPOSITION OF ZnO:Al ACTIVE CHANNEL LAYER IN THIN FILM TRANSISTORS By: Vasile, E.; Mihaiu, S.; Plugaru, R. Book Group Author(s): IEEE Conference: 35th International Semiconductor Conference (CAS) Location: Natl Inst Res & Dev Microtechnologies (IMT), Sinaia, ROMANIA Date: OCT 15-17, 2012 Sponsor(s): IEEE; IEEE Electron Devices Soc; Minist Educ, Res, Youth & Sport; IEEE - Romania Sect; Electron Devices Chapter; EV Grp Europe & Asia Pacif GmbH; SC New Style Trans Prest SRL 2012 INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR CONFERENCE (CAS), VOLS 1 AND 2 Book Series: International Semiconductor Conference Volume: 2 Pages: 329-332 Published: 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

31. Phase-sensitive evidence for dx2-y2-pairing symmetry in the parent-structure high-Tc cuprate superconductor Sr1-xLaxCuO(2) By: Tomaschko, Jochen; Scharinger, Sebastian; Leca, Victor; et al. PHYSICAL REVIEW B Volume: 86 Issue: 9 Article Number: 094509 Published: SEP 7 2012 Time cited in 2013: 3

2012 3

32. Properties of the electron-doped infinite-layer superconductor Sr1-xLaxCuO2 epitaxially grown by pulsed laser deposition By: Tomaschko, J.; Leca, V.; Selistrovski, T.; et al. PHYSICAL REVIEW B Volume: 85 Issue: 2 Article Number: 024519 Published: JAN 11 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

33. Shape effects on localized surface plasmon resonances in metallic nanoparticles By: Sandu, Titus JOURNAL OF NANOPARTICLE RESEARCH Volume: 14 Issue: 6 Article Number: 905 Published: JUN 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

34. SILVER DOPED NATURAL AND SYNTHETIC ZEOLITES FOR REMOVAL OF HUMIC ACID FROM WATER By: Orha, Corina; Pop, Aniela; Lazau, Carmen; et al. ENVIRONMENTAL ENGINEERING AND MANAGEMENT JOURNAL Volume: 11 Issue: 3 Pages: 641-649 Published: MAR 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

35. Suppression of inherent ferromagnetism in Pr-doped CeO2 nanocrystals By: Paunovic, Novica; Dohcevic-Mitrovic, Zorana; Scurtu, Rares; et al. NANOSCALE Volume: 4 Issue: 17 Pages: 5469-5476 Published: 2012 Time cited in 2013: 2

2012 2

36. The influence of the chemical treatment on the ferromagnetic behavior of carbon nanotubes synthesized using ferromagnetic catalyst By: Stancu, M.; Ruxanda, G.; Stanica, N.; Dinescu, A.; Nistor, L.; Ciuparu, D. OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS Volume: 6 Issue: 7-8 Pages: 723-726 Published: JUL-AUG 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

37. The microwave sensing of DNA hybridization using carbon nanotubes decorated with gold nanoislands By: Cismaru, Alina; Dragoman, Mircea; Radoi, Antonio; et al. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 111 Issue: 7 Article Number: 076106 Published: APR 1 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

94

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

38. The role of the substrate material type in formation of laser induced periodical surface structures on ZnO thin films By: Zamfirescu, Marian; Dinescu, Adrian; Danila, Mihai; et al. APPLIED SURFACE SCIENCE Volume: 258 Issue: 23 Pages: 9385-9388 Published: SEP 15 2012 Time cited in 2013: 1

2012 1

39. Automated imaging, identification, and counting of similar cells from digital hologram reconstructions By: Mihailescu, Mona; Scarlat, Mihaela; Gheorghiu, Alexandru; et al. APPLIED OPTICS Volume: 50 Issue: 20 Pages: 3589-3597 Published: JUL 10 2011, Time cited in 2013: 6

2011 6

40. 1100 nm InGaAs/(Al) GaAs quantum dot lasers for high-power applications By: Pavelescu, E-M; Gilfert, C.; Weinmann, P.; et al. JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS Volume: 44 Issue: 14 Article Number: 145104 Published: APR 13 2011 Time cited in 2013: 2

2011 2

41. A 3-D Smith Chart Based on the Riemann Sphere for Active and Passive Microwave Circuits By: Muller, Andrei A.; Soto, Pablo; Dascalu, Dan; et al. IEEE MICROWAVE AND WIRELESS COMPONENTS LETTERS Volume: 21 Issue: 6 Pages: 286-288 Published: JUN 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

42. Biodegradation of Poly(vinyl alcohol) and Bacterial Cellulose Composites by Aspergillus niger By: Stoica-Guzun, A (Stoica-Guzun, Anicuta)[ 1 ] ; Jecu, L (Jecu, Luiza)[ 2 ] ; Gheorghe, A (Gheorghe, Amalia)[ 2 ] ; Raut, I (Raut, Iuliana)[ 2 ] ; Stroescu, M (Stroescu, Marta)[ 1 ] ; Ghiurea, M (Ghiurea, Marius)[ 2 ] ; Danila, M (Danila, Mihai)[ 3 ] ; Jipa, I (Jipa, Iuliana)[ 1 ] ; Fruth, V (Fruth, Victor)[ 4 ] JOURNAL OF POLYMERS AND THE ENVIRONMENT Volume: 19 Issue: 1 Pages: 69-79 Published: MAR 2011 Time cited in 2013: 3

2011 3

43. Coplanar waveguide on graphene in the range 40 MHz-110 GHz By: Dragoman, M.; Neculoiu, D.; Cismaru, A.; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 99 Issue: 3 Article Number: 033112 Published: JUL 18 2011 Time cited in 2013: 5

2011 5

44. DNA hybridization detection in a miniaturized electromagnetic band gap resonator By: Dragoman, Mircea; Cismaru, Alina; Radoi, Antonio; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 99 Issue: 25 Article Number: 253106 Published: DEC 19 2011 Time cited in 2013: 3

2011 3

45. Edge current induced failure of semiconductor PN junction during operation in the breakdown region of electrical characteristic By: Obreja, V. V. N.; Codreanu, C.; Poenar, D.; et al. MICROELECTRONICS RELIABILITY Volume: 51 Issue: 3 Pages: 536-542 Published: MAR 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

46. EFFECT OF NATURAL ZEOLITE FUNCTIONALIZED WITH TiO2 FOR ENTEROCCOCUS FAECALIS REMOVAL FROM WATER By: Dabici, A.; Sfirloaga, P.; Lazau, C.; Bandas (Ratiu) C; Misca, C.; Vaszilcsin, N. DIGEST JOURNAL OF NANOMATERIALS AND BIOSTRUCTURES Volume: 6 Issue: 3 Pages: 1325-1332 Published: JUL-SEP 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

95

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

47. Electrochemical investigation of a glassy carbon electrode modified with carbon nanotubes decorated with (poly)crystalline gold By: Radoi, Antonio; Litescu, Simona-Carmen; Eremia, Sandra A. V.; et al. MICROCHIMICA ACTA Volume: 175 Issue: 1-2 Pages: 97-104 Published: OCT 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

48. Edge current induced failure of semiconductor PN junction during operation in the breakdown region of electrical characteristic By: Obreja, V. V. N.; Codreanu, C.; Poenar, D.; et al. MICROELECTRONICS RELIABILITY Volume: 51 Issue: 3 Pages: 536-542 Published: MAR 2011, Time cited in 2013: 1

2011 1

49. Electromagnetic properties of composites containing graphite nanoplatelets at radio frequency By: De Bellis, Giovanni; Tamburrano, Alessio; Dinescu, Adrian; et al. CARBON Volume: 49 Issue: 13 Pages: 4291-4300 Published: NOV 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

50. Formation of Transparent Nanoporous Titanium Oxide Films on Glass Substrates using an Anodization Process By: Manea, Elena; Obreja, Cosmin; Purica, Munizer; et al. JOURNAL OF NANO RESEARCH Volume: 16 Pages: 113-118 Published: 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

51. Graphene analogy to electromagnetic field propagation By: Mihalache, Iuliana; Dragoman, Daniela JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS Volume: 28 Issue: 7 Pages: 1746-1751 Published: JUL 2011 Time cited in 2013: 5

2011 5

52. Memristor device based on carbon nanotubes decorated with gold nanoislands By: Radoi, A.; Dragoman, M.; Dragoman, D. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 99 Issue: 9 Article Number: 093102 Published: AUG 29 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

53. Nanostructure and Internal Strain Distribution in Porous Silicon By: Miu, Mihaela; Danila, Mihai; Kleps, Irina; et al. Conference: 3rd International Conference on Nanostructures Self-Assembly (NANOSEA) Location: Cassis, FRANCE Date: JUN 28-JUL 02, 2010 Sponsor(s): European off Aerosp Res & Dev (EOARD) JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY Volume: 11 Issue: 10 Pages: 9136-9142 Published: OCT 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

54. OPTICAL PROPERTIES OF CUXS NANO-POWDERS By: Pop, A. E.; Popescu, V.; Danila, M.; et al. CHALCOGENIDE LETTERS Volume: 8 Issue: 6 Pages: 363-370 Published: JUN 2011 Time cited in 2013: 5

2011 5

55. Photocatalytic activity of undoped and Ag-doped TiO2-supported zeolite for humic acid degradation and mineralization By: Lazau, C.; Ratiu, C.; Orha, C.; et al. MATERIALS RESEARCH BULLETIN Volume: 46 Issue: 11 Pages: 1916-1921 Published: NOV 2011 Time cited in 2013: 4

2011 4

96

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

56. Purification of multiwall carbon nanotubes obtained by AC arc discharge method By: Stancu, M.; Ruxanda, G.; Ciuparu, D.; Dinescu A. OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS Volume: 5 Issue: 8 Pages: 846-850 Published: AUG 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

57. Structural characterization and the sorption properties of the natural and synthetic zeolite By: Orha, C.; Pop, A.; Lazau, C.; et al. JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS Volume: 13 Issue: 5-6 Pages: 544-549 Published: MAY-JUN 2011 Time cited in 2013: 4

2011 4

58. Synthesis and characterization of magnetite - titanium dioxide-4-Benzene-azo-alpha-naphthylamine and methylene blue composites By: Luntraru, V. I.; Gales, O.; Iarca, L.; Vasile, E; Voicu, S. I.; Nechifor, A. C OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS Volume: 5 Issue: 11 Pages: 1229-1232 Published: NOV 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

59. Terahertz generation using a resonant-tunneling-like configuration in graphene By: Dragoman, D.; Dragoman, M.; Hartnagel, H. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 109 Issue: 12 Article Number: 124307 Published: JUN 15 2011 Time cited in 2013: 1

2011 1

60. Time flow in graphene and its implications on the cutoff frequency of ballistic graphene devices By: Dragoman, D.; Dragoman, M. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 110 Issue: 1 Article Number: 014302 Published: JUL 1 2011 Time cited in 2013: 2

2011 2

61. UV LIGHT CONTROLLED SURFACE MODULATION OF POLYMERIC FILMS By: Apostol, I.; Damian, V.; Logofatu, P. C.; et al. ROMANIAN REPORTS IN PHYSICS Volume: 63 Issue: 1 Pages: 172-182 Published: 2011, Time cited in 2013: 1

2011 1

62. Involvement of cyan and ester groups in surface interactions of aerosil-cyanophenyl alkyl benzoate systems with high silica density: Infrared investigations By: Frunza, Ligia; Frunza, Stefan; Zgura, Irina; et al. SPECTROCHIMICA ACTA PART A-MOLECULAR AND BIOMOLECULAR SPECTROSCOPY Volume: 75 Issue: 4 Pages: 1228-1235 Published: APR 2010, Time cited in 2013: 1

2010 1

63. LASER BEAM IN THE SERVICE OF PAINTINGS RESTORATION By: Morais, P. J.; Gouveia, H.; Apostol, I.; et al. ROMANIAN REPORTS IN PHYSICS Volume: 62 Issue: 3 Special Issue: SI Pages: 678-686 Published: 2010, Time cited in 2013: 1

2010 1

64. Acetylcholinesterase voltammetric biosensors based on carbon nanostructure-chitosan composite material for organophosphate pesticides Ion, Alina C.; Ion, Ion; Culetu, Alina ; Gherase, Dragos; Moldovan, Carmen A.; Iosub, Rodica; Dinescu, Adrian MATERIALS SCIENCE & ENGINEERING C-MATERIALS FOR BIOLOGICAL APPLICATIONS Volume: 30 Issue: 6 Pages: 817-821 Published: JUL 20 2010 Time cited in 2013: 5

2010 5

97

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

65. Effect of short carbon fibers and MWCNTs on microwave absorbing properties of polyester composites containing nickel-coated carbon fibers By: De Rosa, Igor Maria; Dinescu, Adrian; Sarasini, Fabrizio; et al. COMPOSITES SCIENCE AND TECHNOLOGY Volume: 70 Issue: 1 Pages: 102-109 Published: JAN 2010 Time cited in 2013: 7

2010 7

66. Electrocatalytic Activity of Platinum Nanoparticles Supported on Nanosilicon By: Miu, M.; Kleps, I.; Danila, M.; et al. Conference: Symposium on Materials for PEM Fuel Cells held at the E-MRS 2009 Spring Meeting Location: Strasbourg, FRANCE Date: 2009 FUEL CELLS Volume: 10 Issue: 2 Special Issue: SI Pages: 259-269 Published: APR 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

67. LAYOUT FOR MILLIMETER WAVE COMPOSITE RIGHT/LEFT HANDED DEVICES OBTAINED BY FEMTOSECOND LASER ABLATION, Zamfirescu, M.; Sajin G.; Bunea A.; Craciunoiu F.; Simion S.; Dabu R. Source: JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS Volume 12 Issue: 3 Pages: 686-691 Published: MAR 2010 Time cited in 2013: 3

2010 3

68. Electrochemical characterization of BSA/11-mercaptoundecanoic acid on Au electrode By: Ignat, Teodora; Miu, Mihaela; Kleps, Irina; et al. Conference: 1st European and International Conference on Bioinspired and Biointegrated Materials as New Frontiers Nanomaterials held at the 2009 EMRS Spring Meeting Location: Strasbourg, FRANCE Date: JUN 08-12, 2009 Sponsor(s): European Mat Res Sci MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-ADVANCED FUNCTIONAL SOLID-STATE MATERIALS Volume: 169 Issue: 1-3 Special Issue: SI Pages: 55-61 Published: MAY 25 2010 Time cited in 2013: 3

2010 3

69. Graphene for Microwaves By: Dragoman, Mircea; Neculoiu, Dan; Dragoman, Daniela; et al. IEEE MICROWAVE MAGAZINE Volume: 11 Issue: 7 Pages: 81-86 Published: DEC 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

70. Graphene-based ultrafast diode By: Dragoman, D.; Dragoman, M.; Plana, R. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 108 Issue: 8 Article Number: 084316 Published: OCT 15 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

71. Influence of the As-2/As-4 growth modes on the formation of quantum dot-like InAs islands grown on InAlGaAs/InP (100) By: Gilfert, C.; Pavelescu, E. -M.; Reithmaier, J. P. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 96 Issue: 19 Article Number: 191903 Published: MAY 10 2010 Time cited in 2013: 6

2010 6

98

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

72. Manipulation of nanoparticles within a microfluidic system based on SU-8 polymer for bio-applications By: Draghiciu, L.; Carp, M.; Eftime, L.; et al. Conference: 1st European and International Conference on Bioinspired and Biointegrated Materials as New Frontiers Nanomaterials held at the 2009 EMRS Spring Meeting Location: Strasbourg, FRANCE Date: JUN 08-12, 2009 Sponsor(s): European Mat Res Sci MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-ADVANCED FUNCTIONAL SOLID-STATE MATERIALS Volume: 169 Issue: 1-3 Special Issue: SI Pages: 186-192 Published: MAY 25 2010 Time cited in 2013: 1

2010 1

73. Microwave switching of graphene field effect transistor at and far from the Dirac point By: Deligeorgis, G.; Dragoman, M.; Neculoiu, D.; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 96 Issue: 10 Article Number: 103105 Published: MAR 8 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

74. Millimeter-wave generation via frequency multiplication in graphene By: Dragoman, M.; Neculoiu, D.; Deligeorgis, G.; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 97 Issue: 9 Article Number: 093101 Published: AUG 30 2010 Time cited in 2013: 4

2010 4

75. Modified Fe3O4 colloidal dispersed magnetic particles as carrier in liquid membranes Nechifor, A. C; Stoian, M. G.; Voicu, S. I.; Nechifor, G. OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS Volume: 4 Issue: 8 Pages: 1118-1123 Published: AUG 2010 Time cited in 2013: 6

2010 6

76. Negative differential resistance in GaN nanowire network By: Dragoman, M.; Konstantinidis, G.; Cismaru, A.; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 96 Issue: 5 Article Number: 053116 Published: FEB 1 2010 Time cited in 2013: 1

2010 1

77. Optical linear and third-order nonlinear properties of nano-porous Si By: Bazaru, T.; Vlad, V. I.; Petris, A.; et al. JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS Volume: 12 Issue: 1 Pages: 43-47 Published: JAN 2010 Time cited in 2013: 4

4

78. RECENT TRENDS IN DIELECTROPHORESIS By: Xu, Guolin; Tay, Francis E. H.; Tresset, Guillaume; Iliescu, Florina S.; Avram, Andrei; Iliescu, Ciprian. Conference: 46th International Conference on Microelectronics, Devices and Materials/Workshop on Optical Sensors Location: SLOVENIA Date: SEP 29-OCT 01, 2010 INFORMACIJE MIDEM-JOURNAL OF MICROELECTRONICS ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS Volume: 40 Issue: 4 Pages: 253-262 Published: DEC 2010 Time cited in 2013: 3

2010 3

79. SENSING THE LACTIC ACID IN PROBIOTIC YOGURTS USING AN L-LACTATE BIOSENSOR COUPLED WITH A MICRODIALYSIS FIBER INSERTED IN A FLOW ANALYSIS SYSTEM By: Radoi, A.; Moscone, D.; Palleschi, G. ANALYTICAL LETTERS Volume: 43 Issue: 7-8 Pages: 1301-1309 Published: 2010 Time cited in 2013: 1

2010 1

99

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

80. Soft chemical methods integration with micro fabrication in developing new scaffolds for tissue engineering By: Piticescu, R. M.; Buruiana, T.; Plesu, N.; et al. OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS-RAPID COMMUNICATIONS Volume: 4 Issue: 3 Pages: 401-406 Published: MAR 2010, Time cited in 2013: 2

2010 2

81. Study of CRP immobilization on nanostructured silicon By: Simion, Monica; Ruta, Lavinia L.; Matache, Mihaela; et al. Conference: 1st European and International Conference on Bioinspired and Biointegrated Materials as New Frontiers Nanomaterials held at the 2009 EMRS Spring Meeting Location: Strasbourg, FRANCE Date: JUN 08-12, 2009 Sponsor(s): European Mat Res Sci MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-ADVANCED FUNCTIONAL SOLID-STATE MATERIALS Volume: 169 Issue: 1-3 Special Issue: SI Pages: 67-72 Published: MAY 25 2010 Time cited in 2013: 1

2010 1

82. Study of nanocomposite iron/porous silicon material By: Miu, M.; Kleps, I.; Ignat, T.; et al. JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS Volume: 496 Issue: 1-2 Pages: 265-268 Published: APR 30 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

83. Terahertz antenna based on graphene By: Dragoman, M.; Muller, A. A.; Dragoman, D.; et al. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 107 Issue: 10 Article Number: 104313 Published: MAY 15 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

84. There is no Hartman effect in graphene structures By: Dragoman, D.; Dragoman, M. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 107 Issue: 5 Article Number: 054306 Published: MAR 1 2010 Time cited in 2013: 2

2010 2

85. Ultrabroadband photodetection based on graphene ink By: Radoi, A.; Iordanescu, A.; Cismaru, A.; et al. NANOTECHNOLOGY Volume: 21 Issue: 45 Article Number: 455202 Published: NOV 12 2010 Time cited in 2013: 1

2010 1

86. 6.3-GHz Film Bulk Acoustic Resonator Structures Based on a Gallium Nitride/Silicon Thin Membrane By: Muller, Alexandru; Neculoiu, Dan; Konstantinidis, George; et al. IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS Volume: 30 Issue: 8 Pages: 799-801 Published: AUG 2009 Time cited in 2013: 3

2009 3

87. AlN on silicon based surface acoustic wave resonators operating at 5 GHz By: Neculoiu, D.; Mueller, A.; Deligeorgis, G.; et al. ELECTRONICS LETTERS Volume: 45 Issue: 23 Pages: 1196-1197 Published: NOV 5 2009 Time cited in 2013: 3

2009 3

88. Current oscillations in a wide graphene sheet By: Dragoman, M.; Dragoman, D.; Deligiorgis, G.; et al. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 106 Issue: 4 Article Number: 044312 Published: AUG 15 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

89. Design Study for An Electro-Thermally Actuator for Micromanipulation By: Voicu, Rodica; Mueller, Raluca; Eftime, Laura; et al. ROMANIAN JOURNAL OF INFORMATION SCIENCE AND TECHNOLOGY Volume: 12 Issue: 3 Pages: 402-409 Published: 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

100

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

90. ELECTROCHEMICAL PROCESSES AND CHARACTERISATION OF DOPED TiO(2) THIN FILMS; RELATIONSHIP BETWEEN PREPARATION CONDITIONS AND NANOSTRUCTURE By: Manea, E.; Staicu, L.; Popescu, A.; et al. Book Group Author(s): IEEE Conference: 32nd International Semiconductor Conference Location: Sinaia, ROMANIA Date: OCT 12-14, 2009 Sponsor(s): Natl Inst Res & Dev Microtechnol CAS: 2009 INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR CONFERENCE, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS Book Series: International Semiconductor Conference Pages: 163-166 Published: 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

91. ELECTROMAGNETIC MODELLING AND DESIGN OF 77 GHz ANTENNAS IN LTCC TECHNOLOGY By: Neculoiu, D.; Ene, S. I.; Muller, A. A.; et al. Book Group Author(s): IEEE Conference: 32nd International Semiconductor Conference Location: Sinaia, ROMANIA Date: OCT 12-14, 2009 Sponsor(s): Natl Inst Res & Dev Microtechnol CAS: 2009 INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR CONFERENCE, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS Book Series: International Semiconductor Conference Pages: 341-344 Published: 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

92. GaN membrane-supported UV photodetectors manufactured using nanolithographic processes By: Mueller, A.; Konstantinidis, G.; Dragoman, M.; et al. Conference: Symposium on Wide Band Gap Semiconductor Nanostructures for Optoelectronic Applications held at the 2008 E-MRS Conference Location: Strasbourg, FRANCE Date: MAY, 2008 Sponsor(s): European Mat Res Soc MICROELECTRONICS JOURNAL Volume: 40 Issue: 2 Pages: 319-321 Published: FEB 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

93. Graphene-based quantum electronics By: Dragoman, M.; Dragoman, D. PROGRESS IN QUANTUM ELECTRONICS Volume: 33 Issue: 6 Pages: 165-214 Published: NOV 2009 Time cited in 2013: 7

2009 7

94. INTEGRATED MICRO HEAT SINK BASED ON MICROCHANNELS MICROFABRICATED ONTO SILICON By: Coraci, A.; Iancu, E.; Magdalena, Ioana Stanca; et al. Book Group Author(s): IEEE Conference: 32nd International Semiconductor Conference Location: Sinaia, ROMANIA Date: OCT 12-14, 2009 Sponsor(s): Natl Inst Res & Dev Microtechnol CAS: 2009 INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR CONFERENCE, VOLS 1 AND 2, PROCEEDINGS Book Series: International Semiconductor Conference Pages: 223-226 Published: 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

95. Microfluidic device for continuous magnetophoretic separation of white blood cells By: Iliescu, Ciprian; Xu, Guolin; Barbarini, Elena; Avram, Marioara; Avram, Andrei. MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS Volume: 15 Issue: 8 Pages: 1157-1162 Published: AUG 2009 Time cited in 2013: 2

2009 2

101

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

96. Microwave propagation in graphene By: Deligeorgis, G.; Dragoman, M.; Neculoiu, D.; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 95 Issue: 7 Article Number: 073107 Published: AUG 17 2009 Time cited in 2013: 5

2009 5

97. Microwave switches based on graphene By: Dragoman, M.; Dragoman, D.; Coccetti, F.; et al. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 105 Issue: 5 Article Number: 054309 Published: MAR 1 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

98. Porous silicon used as support for protein microarray By: Simion, M.; Ruta, L.; Mihailescu, C.; et al. Conference: 2nd International Conference on Nano-structures Self-Assembling (NanoSeA2008) Location: Univ Rome Tor Vergata, Rome, ITALY Date: JUL 07-10, 2008 SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES Volume: 46 Issue: 1-2 Pages: 69-76 Published: JUL-AUG 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

99. Recent advances in NADH electrochemical sensing design By: Radoi, Antonio; Compagnone, Dario BIOELECTROCHEMISTRY Volume: 76 Issue: 1-2 Pages: 126-134 Published: SEP 2009 Time cited in 2013: 14

2009 14

100. Self-assembly characteristics of gold nanoparticles in the presence of cysteine By: Mocanu, Aurora; Cernica, Ileana; Tomoaia, Gheorghe; et al. COLLOIDS AND SURFACES A-PHYSICOCHEMICAL AND ENGINEERING ASPECTS Volume: 338 Issue: 1-3 Pages: 93-101 Published: APR 15 2009 Time cited in 2013: 8

2009 8

101. Optical sensor with transparent conductive oxides electrodes for microposition detection applications By: Budianu, Elena; Muller, Raluca; Purica, Munizer; et al. Conference: 2nd International Symposium on Transparent Conducting Oxides Location: Crete, GREECE Date: OCT 22-26, 2008 Sponsor(s): Prefecture Heraklion; Univ Crete, Phys Dept; Inst Elect Struct & Lasers; Fdn Res & Technol THIN SOLID FILMS Volume: 518 Issue: 4 Pages: 1057-1059 Published: DEC 15 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

102. Study of the Micro- and Nanostructured Silicon for Biosensing and Medical Applications By: Kleps, Irina; Miu, Mihaela; Simion, Monica; et al. JOURNAL OF BIOMEDICAL NANOTECHNOLOGY Volume: 5 Issue: 3 Pages: 300-309 Published: JUN 2009 Time cited in 2013: 1

2009 1

103. Writing simple RF electronic devices on paper with carbon nanotube ink By: Dragoman, M.; Flahaut, E.; Dragoman, D.; et al. NANOTECHNOLOGY Volume: 20 Issue: 37 Article Number: 375203 Published: SEP 16 2009 Time cited in 2013: 3

2009 3

102

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

104. Design Optimization for an Electro-Thermally Actuated Polymeric Microgripper By: Voicu, R.; Muller, R.; Eftime, L. Edited by: Bright, VM; Bourouina, T; Courtois, B; et al. Conference: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS Location: Nice, FRANCE Date: APR 09-11, 2008 Sponsor(s): IEEE Components, Packaging & Mfg Technol Soc; CPMT; CNRS INPG UIF; IEEE DTIP 2008: SYMPOSIUM ON DESIGN, TEST, INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS/MOEMS Pages: 182-186 Published: 2008 Time cited in 2013: 1

2008 1

105. GaN membrane metal-semiconductor-metal ultraviolet photodetector By: Mueller, A.; Konstantinidis, G.; Dragoman, M.; et al. APPLIED OPTICS Volume: 47 Issue: 10 Pages: 1453-1456 Published: APR 1 2008 Time cited in 2013: 2

2008 2

106. Millimeter-Wave Identification-A New Short-Range Radio System for Low-Power High Data-Rate Applications By: Pursula, Pekka; Vaha-Heikkila, Tatmo; Muller, Alexandru; et al. IEEE TRANSACTIONS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES Volume: 56 Issue: 10 Pages: 2221-2228 Published: OCT 2008 Time cited in 2013: 2

2008 2

107. Optical properties of nanocrystalline titanium oxide By: Plugaru, R. THIN SOLID FILMS Volume: 516 Issue: 22 Pages: 8179-8183 Published: SEP 30 2008 Time cited in 2013: 2

2008 2

108. Plasma Surface Modification for Selective Hydrophobic Control By: Avram, Marioara; Avram, Andrei Marius; Bragaru, Adina; et al. ROMANIAN JOURNAL OF INFORMATION SCIENCE AND TECHNOLOGY Volume: 11 Issue: 4 Pages: 409-422 Published: 2008 Time cited in 2013: 1

2008 1

109. Plasmonics: Applications to nanoscale terahertz and optical devices By: Dragoman, M.; Dragoman, D. PROGRESS IN QUANTUM ELECTRONICS Volume: 32 Issue: 1 Pages: 1-41 Published: 2008 Time cited in 2013: 12

2008 12

110. Silicon metal-semiconductor-metal photodetector with zinc oxide transparent conducting electrodes By: Budianu, E.; Purica, M.; Iacomi, F.; et al. Conference: Symposium on Advances in Transparents Electronics held at the European-Materials-Research-Society Meeting Location: Nice, FRANCE Date: MAY 29-JUN 01, 2006 Sponsor(s): European Mat Res Soc THIN SOLID FILMS Volume: 516 Issue: 7 Pages: 1629-1633 Published: FEB 15 2008 Time cited in 2013: 1

2008 1

111. Structural and morphological properties of thin ZnO films grown by pulsed laser deposition By: Suchea, M.; Christoulakis, S.; Tibeica, C.; et al. APPLIED SURFACE SCIENCE Volume: 254 Issue: 17 Pages: 5475-5480 Published: JUN 30 2008 Time cited in 2013: 2

2008 2

103

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

112. Leakage Current Voltage Dependence and Performance of Power Semiconductor Devices in the Breakdown (Avalanche) Region By: Obreja, Vasile V. N. Book Group Author(s): IEEE Conference: 39th IEEE Power Electronic Specialists Conference (PESC 08) Location: Rhodes, GREECE Date: JUN 15-19, 2008 2008 IEEE POWER ELECTRONICS SPECIALISTS CONFERENCE, VOLS 1-10 Book Series: IEEE POWER ELECTRONICS SPECIALISTS CONFERENCE RECORDS Pages: 1777-1782 Published: 2008, Time cited in 2013: 1

2008 1

113. Terahertz Bloch oscillations in periodic graphene structures By: Dragoman, D.; Dragoman, M. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 93 Issue: 10 Article Number: 103105 Published: SEP 8 2008 Time cited in 2013: 1

2008 1

114. Development of the micro- and nanoelectrodes for cells investigation By: Kleps, Irina; Miu, Mihaela; Craciunoiu, Florea; et al. Conference: 32nd International Conference on Micro- and Nano-Engineering Location: Barcelona, SPAIN Date: SEP 17-20, 2006 Sponsor(s): La Caixa MICROELECTRONIC ENGINEERING Volume: 84 Issue: 5-8 Pages: 1744-1748 Published: MAY-AUG 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

115. Giant thermoelectric effect in graphene By: Dragoman, D.; Dragoman, M. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 91 Issue: 20 Article Number: 203116 Published: NOV 12 2007 Time cited in 2013: 9

2007 9

116. Metamaterials for ballistic electrons By: Dragoman, D.; Dragoman, M. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 101 Issue: 10 Article Number: 104316 Published: MAY 15 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

117. Negative differential resistance of electrons in graphene barrier By: Dragoman, D.; Dragoman, M. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 90 Issue: 14 Article Number: 143111 Published: APR 2 2007 Time cited in 2013: 5

2007 5

118. New materials for micro-scale sensors and actuators An engineering review By: Wilson, Stephen A.; Jourdain, Renaud P. J.; Zhang, Qi; Dorey, Robert A; Bowen, Chris R.; Willander, Magnus; Wahab, Qamar Ul; Willander, Magnus; Safaa, M. Al-hilli; Nur, Omer; Quandt, Eckhard; Johansson, Christer; Pagounis, Emmanouel; Kohl, Manfred; Matovic, Jovan; Samel, Bjorn; van der Wijngaart, Wouter; Jager, Edwin W. H.; Carlsson, Daniel; Djinovic, Zoran; Wegener, Michael; Moldovan, Carmen; Iosub, Rodica; Abad, Estefania; Wendlandt, Michael; Rusu, Cristina; Persson, Katrin MATERIALS SCIENCE & ENGINEERING R-REPORTS Volume: 56 Issue: 1-6 Pages: 1-129 Published: JUN 21 2007 Time cited in 2013: 19

2007 20

104

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

119. Ramp oxide termination structure using high-k dielectrics for high voltage diamond Schottky diodes By: Brezeanu, M.; Butler, T.; Rupesinghe, N. L.; et al. Conference: 17th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides and Silicon Carbide Location: Estoril, PORTUGAL Date: SEP 03-08, 2006 Sponsor(s): AIXTRON AG; Elsevier Ltd; Iplas Innovat Plasma Syst GmbH; Lambda Technologies; Seki Technotron Corp DIAMOND AND RELATED MATERIALS Volume: 16 Issue: 4-7 Pages: 1020-1024 Published: APR-JUL 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

120. On the performance of supercapacitors with electrodes based on carbon nanotubes and carbon activated material - A review By: Obreja, Vasile V. N. Conference: Symposium on Electron Transport in Low-Dimensional Carbon Structures/Science and Technology of Nanotubes and Nanowires Location: Strasbourg, FRANCE Date: MAY 28-JUN 01, 2007 Sponsor(s): E-MRS PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES Volume: 40 Issue: 7 Pages: 2596-2605 Published: MAY 2008, Time cited in 2013: 1

2007 35

121. On the maximum permissible working voltage of commercial power silicon diodes and thyristors By: Obreja, Vasile V. N. Book Group Author(s): IEEE Conference: IEEE International Symposium on Industrial Electronics Location: Vigo, SPAIN Date: JUN 04-07, 2007 Sponsor(s): IEEE 2007 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, PROCEEDINGS, VOLS 1-8 Pages: 401-406 Published: 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

122. Silicon resonating antenna based on CPW composite right/left-handed transmission line By: Simion, S.; Sajin, G.; Marcelli, R.; et al. Book Group Author(s): IEEE Conference: 37th European Microwave Conference Location: Munich, GERMANY Date: OCT 08-12, 2007 2007 EUROPEAN MICROWAVE CONFERENCE, VOLS 1-4 Pages: 478-481 Published: 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

123. Small-size CPW silicon resonating antenna based on transmission-line meta-material approach By: Simion, S.; Marcelli, R.; Sajin, G. ELECTRONICS LETTERS Volume: 43 Issue: 17 Pages: 908-909 Published: AUG 16 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

124. SnO(2) thin films prepared by sol gel method for "Honeycomb" textured silicon solar cells By: Manea, E.; Budianu, E.; Purica, M.; et al. ROMANIAN JOURNAL OF INFORMATION SCIENCE AND TECHNOLOGY Volume: 10 Issue: 1 Pages: 25-33 Published: 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

105

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

125. Structure-properties correlations for barium titanate thin films obtained by rf-sputtering By: Ianculescu, Adelina; Despax, Bernard; Bley, Vincent; Lebey, Thierry; Gavrila, Raluca; Dragan, Nicolae. Conference: 9th Conference and Exhibition of the European-Ceramic-Society Location: Portoroz, SLOVENIA Date: JUN 19-23, 2005 Sponsor(s): European Ceram Soc JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY Volume: 27 Issue: 2-3 Pages: 1129-1135 Published: 2007 Time cited in 2013: 3

2007 3

126. Tunable bandstop MEMS filter for millimetre-wave applications By: Takacs, A.; Neculoiu, D.; Vasilache, D.; et al. ELECTRONICS LETTERS Volume: 43 Issue: 12 Pages: 675-677 Published: JUN 7 2007 Time cited in 2013: 1

2007 1

127. Investigation of structural properties of ITO thin films deposited on different substrates By: Purica, M.; Iacomi, F.; Baban, C.; et al. Conference: 1st International Symposium on Transparent Conducting Oxides Location: Crete, GREECE Date: OCT 23-25, 2006 Sponsor(s): Perfecture Heraklion; Univ Crete, Phys Dept; Fdn Res & Technol Inst Elect Struture & Lasers THIN SOLID FILMS Volume: 515 Issue: 24 Pages: 8674-8678 Published: OCT 15 2007, Time cited in 2013: 1

2007 1

128. Structural studies on some doped CdS thin films deposited by thermal evaporation By: Iacomi, F.; Purica, M.; Budianu, E.; et al. Conference: Symposium on Thin Film Chalcogenide Photovoltaic Materials Held at the EMRS 2006 Spring Conference Location: Nice, FRANCE Date: MAY 29-JUN 02, 2006 Sponsor(s): EMRS THIN SOLID FILMS Volume: 515 Issue: 15 Pages: 6080-6084 Published: MAY 31 2007, Time cited in 2013: 1

2007 1

129. Experimental determination of microwave attenuation and electrical permittivity of double-walled carbon nanotubes By: Dragoman, M; Grenier, K; Dubuc, D; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 88 Issue: 15 Article Number: 153108 Published: APR 10 2006 Time cited in 2013: 1

2006 1

130. Optical characterization and microstructure of BaTiO(3) thin films obtained by RF-magnetron sputtering By: Ianculescu, A.; Gartner, M.; Despax, B.; et al. Conference: Symposium on Current Trends in Optical and X-Ray Meterology of Advanced Materials for Nanoscale Devices held at the 2005 MRS Spring Meeting Location: Strasbourg, FRANCE Date: MAY 31-JUN 03, 2005 Sponsor(s): Mat Res Soc APPLIED SURFACE SCIENCE Volume: 253 Issue: 1 Pages: 344-348 Published: OCT 31 2006

2006 12

131. GaN micromachined FBAR structures for microwave applications By: Muller, A.; Neculoiu, D.; Vasilache, D.; et al. Conference: Symposium on Material Science and Technology of Wide Bandgap Semiconductors held at the 2006 Spring Meeting of the EMRS Location: Nice, FRANCE Date: MAY 29-JUN 02, 2006 Sponsor(s): European Mat Res Soc SUPERLATTICES AND MICROSTRUCTURES Volume: 40 Issue: 4-6 Pages: 426-431 Published: OCT-DEC 2006 Time cited in 2013: 2

2006 2

106

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

132. Polymer micromachining for micro- and nanophotonics By: Cristea, D; Obreja, P; Kusko, M; et al. Conference: Meeting of the European-Materials-Research-Society Location: Strasbourg, FRANCE Date: MAY 30-JUN 03, 2005 Sponsor(s): European Materials Res Soc MATERIALS SCIENCE & ENGINEERING C-BIOMIMETIC AND SUPRAMOLECULAR SYSTEMS Volume: 26 Issue: 5-7 Special Issue: SI Pages: 1049-1055 Published: JUL 2006 Time cited in 2013: 2

2006 2

133. Reversible metal-semiconductor transitions for microwave switching applications By: Dragoman, M; Cismaru, A; Hartnagel, H; et al. APPLIED PHYSICS LETTERS Volume: 88 Issue: 7 Article Number: 073503 Published: FEB 13 2006 Time cited in 2013: 4

2006 4

134. Simulations results of some diamond on insulator nano-MISFETs By: Ravariu, C.; Rusu, A.; Udrea, F.; Ravariu, F Conference: 16th European Conference on Diamond, Diamond-Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides Location: Toulouse, FRANCE Date: SEP 11-16, 2005 DIAMOND AND RELATED MATERIALS Volume: 15 Issue: 4-8 Special Issue: SI Pages: 777-782 Published: APR-AUG 2006 Time cited in 2013: 1

2006 1

135. Effect of dopants on the physical properties of polymer films for microphotonics, P. Obreja, D. Cristea, E. Budianu, R. Rebigan, V. Kuncser, M. Bulinski, G. Filoti, Progress in Solid State Chemistry, 34(2-4), 103-109, 2006 Time cited in 2013: 2

2006 2

136. Technological process for a new silicon solar cell structure with honeycomb textured front surface By: Manea, Elena; Budianu, Elena; Purica, Munizer; et al. Conference: Symposium on Solar Cells and Solar Energy Materials held at the International Materials Research Congress (IMRC 2005) Location: Cancun, MEXICO Date: AUG 22-25, 2005 SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS Volume: 90 Issue: 15 Special Issue: SI Pages: 2312-2318 Published: SEP 22 2006 Time cited in 2013: 2

2006 2

137. Structural and optical characterization of AlN films grown by pulsed laser deposition By: Ristoscu, C; Ducu, C; Socol, G; et al. Conference: 4th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications Location: Lecce, ITALY Date: SEP 05-09, 2004 APPLIED SURFACE SCIENCE Volume: 248 Issue: 1-4 Pages: 411-415 Published: JUL 30 2005, Time cited in 2013: 5

2005 5

138. Nanoporous silicon matrix used as biomaterial By: Simion, Monica; Kleps, Irina; Neghina, Teodora; et al. Conference: 12th International Symposium on Metastable and Nano-Materials (ISMANAM-2005) Location: Paris, FRANCE Date: JUL 03-07, 2005 JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS Volume: 434 Special Issue: SI Pages: 830-832 Published: MAY 31 2007 Time cited in 2013: 1

2005 1

107

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

139. Optimization of front surface texturing processes for high-efficiency silicon solar cells By: Manea, E; Budianu, E; Purica, M; et al. Conference: International Conference on Physics, Chemistry and Engineering of Solar Cells Location: Univ Extremadura, Sch Ind Engn, Badajoz, SPAIN Date: MAY 13-15, 2004 SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS Volume: 87 Issue: 1-4 Special Issue: SI Pages: 423-431 Published: MAY 2005 Time cited in 2013: 2

2005 2

140. Preparation and characterisation of Pb(Zr0.52Ti0.48)(0.975)Nb0.025O3 ceramics - Modelling the device By: Piticescu, RM; Mitoseriu, L; Viviani, M; et al. Conference: 9th Electroceramics Congress Location: Cherbourg, FRANCE Date: MAY 31-JUN 06, 2004 Sponsor(s): European Ceram Soc; Amer Ceram Soc; Ceram Soc Japan; Korean Ceram Soc; POLECER JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY Volume: 25 Issue: 12 Pages: 2491-2494 Published: 2005, Time cited in 2013: 2

2005 1

141. Terahertz continuous wave amplification in semiconductor carbon nanotubes By: Dragoman, D; Dragoman, M PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES Volume: 25 Issue: 4 Pages: 492-496 Published: JAN 2005 Time cited in 2013: 2

2005 2

142. Terahertz fields and applications , By: Dragoman, D; Dragoman, M, PROGRESS IN QUANTUM ELECTRONICS Volume: 28 Issue: 1 Pages: 1-66 Published: 2004 – Time cited in 2013: 14

2004 14

143. 1/f noise in nanomaterials and nanostructures: Old questions in a new fashion By: Mihaila, MN Edited by: Sikula, J; Levinshtein, M Conference: NATO Advanced Research Workshop on Advanced Experimental Methods for Noise Research in Nanoscale Electronic Devices Location: Brno, CZECH REPUBLIC Date: AUG 14-16, 2003 Sponsor(s): NATO Sci Comm; Brno Univ Technol; VS Technol Brno ADVANCED EXPERIMENTAL METHODS FOR NOISE RESEARCH IN NANOSCALE ELECTRONIC DEVICES Book Series: NATO SCIENCE SERIES, SERIES II: MATHEMATICS, PHYSICS AND CHEMISTRY Volume: 151 Pages: 19-27 Published: 2004, Time cited in 2013: 2

2004 1

144. Design and experiments for tunable optical sensor fabrication using (111)-oriented silicon micromachining, By: Cristea, D; Kusko, M; Tibeica, C; et al., Conference: Symposium on New Materials and Technologies in Sensor Applications Location: Strasbourg, FRANCE Date: JUN 10-13, 2003, Sponsor(s): European Mat Res Soc, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL Volume: 113 Issue: 3 Special Issue: SI Pages: 312-318 Published: AUG 16 2004 , Time cited in 2013: 1

2004 1

145. Terahertz oscillations in semiconducting carbon nanotube resonant-tunneling diodes, By: Dragoman, D; Dragoman, M, PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES Volume: 24 Issue: 3-4 Pages: 282-289, Published: SEP 2004 Time cited in 2013: 1

2004 1

146. Hybrid inorganic-organic sol-gel coatings in the SiO2-TiO2 system, Zaharescu, M; Crisan, M; Predoana, L; D. Cristea et al., Journal of Sol-Gel Science and Technology Volume: 32 Issue: 1-3 Pages: 173-177 Published: 2004 Time cited in 2013: 1

2004 1

108

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

147. Sol-gel SiO2-ZrO2 coatings for optical applications By: Crisan, M; Gartner, M; Predoana, L; et al. Conference: 12th International Workshop on Sol-Gel-Science and Technology (Sol-Gel 2003) Location: Sydney, AUSTRALIA Date: AUG 24-29, 2003 JOURNAL OF SOL-GEL SCIENCE AND TECHNOLOGY Volume: 32 Issue: 1-3 Pages: 167-172 Published: OCT-DEC 2004 Time cited in 2013: 1

2004 1

148. Silicon membranes fabrication by wet anisotropic etching By: Iosub, R; Moldovan, C; Modreanu, M Conference: E-MARS Symposium on Materials in Microtechnologies and Microsystems Location: STRASBOURG, FRANCE Date: JUN 05-08, 2001 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL Volume: 99 Issue: 1-2 Pages: 104-111 Article Number: PII S0924-4247(01)00906-2 Published: APR 30 2002 Time cited in 2013: 1

2002 1

149. Preparation of BaTi4O9 from oxalates By: Cernea, M; Chirtop, E; Neacsu, D; et al. JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY Volume: 85 Issue: 2 Pages: 499-503 Published: FEB 2002 Time cited in 2013: 1

2002 1

150. Optical and structural investigation of ZnO thin films prepared by chemical vapor deposition (CVD) By: Purica, M; Budianu, E; Rusu, E; et al. Conference: E-MRS 2001 Spring Meeting Location: STRASBOURG, FRANCE Date: JUN 05-08, 2001 THIN SOLID FILMS Volume: 403 Pages: 485-488 Article Number: PII S0040-6090(01)01544-9 Published: FEB 1 2002, Time cited in 2013: 14

2002 14

151. Thermoluminescent spectra of rare earth doped MgB4O7 dosemeters By: Karali, T; Rowlands, AP; Prokic, M; et al. Conference: 13th International Conference on Solid State Dosimetry Location: ATHENS, GREECE Date: JUL 09-13, 2001 RADIATION PROTECTION DOSIMETRY Volume: 100 Issue: 1-4 Pages: 333-336 Published: 2002, Time cited in 2013: 1

2002 1

152. Bi2-xSbxTe3 thick thermoelectric films obtained by electrodeposition from hydrochloric acid solutions , By: Nedelcu, M; Sima, M; Manea, AS; et al. JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS Volume: 4 Issue: 1 Pages: 99-106 Published: MAR 2002 Time cited in 2013: 1

2002 1

153. On the structure, morphology and electrical conductivities of titanium oxide thin films By: Mardare, D; Baban, C; Gavrila, R; et al. Conference: 20th European Conference on Surface Science Location: KRAKOW, POLAND Date: SEP 04-07, 2001 Sponsor(s): Jagiellonian Univ; Fulbright Int Ctr Cent & Eastern Europe; Elsevier Sci; AVC Sp SURFACE SCIENCE Volume: 507 Pages: 468-472 Article Number: PII S0039-6028(02)01287-6 Published: JUN 1 2002 Time cited in 2013: 3

2002 3

154. Silicon carbide Schottky and ohmic contact process dependence, By: Badila, M; Brezeanu, G; Millan, J; et al. Conference: 12th European Conference on Diamond Diamond-Like Materials Carbon Nanotubes Nitrides and Silicon Carbide (Diamond 2001) Location: BUDAPEST, HUNGARY Date: SEP 02-07, 2001 nr citari: DIAMOND AND RELATED MATERIALS Volume: 11 Issue: 3-6 Special Issue: SI Pages: 1258-1262 Article Number: PII S0925-9635(01)00711-7, Published: MAR-JUN 2002, Time cited in 2013: 1

2002 1

109

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

155. Optical and electrical properties of LPCVD silicon oxynitride films on silicon, By: Szekeres, A; Alexandrova, S; Modreanu, M; et al. Conference: 8th Joint Vacuum Conference of Croatia, Austria, Slovenia and Hungary (JVC-8) Location: PULA, CROATIA Date: JUN 04-09, 2000, VACUUM Volume: 61 Issue: 2-4 Pages: 205-209 Published: MAY 14 2001, Time cited in 2013: 1

2001 1

156. ZnO thin films on semiconductor substrate for large area photodetector applications By: Purica, M; Budianu, E; Rusu, E Conference: 3rd Symposium O on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2000 Spring Meeting Location: STRASBOURG, FRANCE Date: MAY 30-JUN 02, 2000 Sponsor(s): French Minist Res; Balzers AG; Unaxis; Jobin Yvon THIN SOLID FILMS Volume: 383 Issue: 1-2 Pages: 284-286 Published: FEB 15 2001, Time cited in 2013: 1

2001 1

157. Physical properties of polycrystalline silicon films related to LPCVD conditions By: Modreanu, M; Bercu, M; Cobianu, C Conference: 3rd Symposium O on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2000 Spring Meeting Location: STRASBOURG, FRANCE Date: MAY 30-JUN 02, 2000 Sponsor(s): French Minist Res; Balzers AG; Unaxis; Jobin Yvon THIN SOLID FILMS Volume: 383 Issue: 1-2 Pages: 212-215 Published: FEB 15 2001, Time cited in 2013: 2

2001 2

158. Design and optimization of InGaAs/InP photodetector for coordinate sensitive detection systems By: Purica, M; Budianu, E; Grozescu, U; et al. Book Group Author(s): IEEE; IEEE Conference: International Symposium on Electron Devices for Microwave and Optoelectronic Applications Location: VIENNA UNIV TECHNOL, VIENNA, AUSTRIA Date: NOV 15-16, 2001 Sponsor(s): IEEE Electron Devices Soc; IEEE Microwave Theory & Techn Soc; IEE Inst Elect Engineers; IEEE Lasers & Electro Opt Soc; Inst Phys; Inst Elect Measurements & Circuit Design EDMO 2001: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ELECTRON DEVICES FOR MICROWAVE AND OPTOELECTRONIC APPLICATIONS Pages: 113-118 Published: 2001 , Time cited in 2013: 1

2001 1

159. Microstructural and optical properties of as-deposited LPCVD silicon films By: Modreanu, M; Tomozeiu, N; Gartner, M; et al. Conference: 3rd Symposium O on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2000 Spring Meeting Location: STRASBOURG, FRANCE Date: MAY 30-JUN 02, 2000 Sponsor(s): French Minist Res; Balzers AG; Unaxis; Jobin Yvon THIN SOLID FILMS Volume: 383 Issue: 1-2 Pages: 254-257 Published: FEB 15 2001, Time cited in 2013: 2

2001 2

160. Accurate modeling and parameter extraction for 6H-SiC Schottky barrier diodes (SBDs) with nearly ideal breakdown voltage By: Brezeanu, G; Badila, M; Tudor, B; et al., IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES Volume: 48 Issue: 9 Pages: 2148-2153 Published: SEP 2001, Time cited in 2013: 1

2001 1

110

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

161. Comparison of 3C-SiC, 6H-SiC and 4H-SiC MESFETs performances By: Codreanu, C; Avram, M; Carbunescu, E; et al. Conference: Spring Meeting of the European-Materials-Research-Society Location: STRASBOURG, FRANCE Date: JUN 01-04, 1999 Sponsor(s): European Mat Res Soc MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING Volume: 3 Issue: 1-2 Pages: 137-142 Published: MAR 2000, Time cited in 2013: 1

2000 1

162. Heterojunction with ZnO polycrystalline thin films for optoelectronic devices applications By: Purica, M; Budianu, E; Rusu, E Conference: 3rd International Conference on Low Dimensional Structures and Devices (LDSD 99) Location: ANTALYA, TURKEY Date: SEP 15-17, 1999 MICROELECTRONIC ENGINEERING Volume: 51-2 Pages: 425-431 Published: MAY 2000, Time cited in 2013: 1

2000 3

163. Electrical properties of LPCVD polysilicon deposited in the vicinity of amorphous-polycrystalline phase By: Tomozeiu, N; Antohe, S; Modreanu, M Conference: Romanian Conference on Advanced Materials (ROCAM 2000) Location: BUCHAREST, ROMANIA Date: OCT 23-25, 2000 Sponsor(s): Romanian Acad JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS Volume: 2 Issue: 5 Pages: 657-663 Published: 2000, Time cited in 2013: 2

2000 2

164. Oxidation-induced modifications of trap parameters in nanocrystalline porous silicon By: Draghici, M; Miu, M; Iancu, V; et al. Conference: 2nd International Conference on Porous Semiconductors - Science and Technology (PSST-2000) Location: MADRID, SPAIN Date: MAR 12-17, 2000 PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH Volume: 182 Issue: 1 Pages: 239-243 Published: NOV 2000, Time cited in 2013: 2

2000 2

165. Experiments for 3-D structuring of thick resists by gray tone lithography, By: Dumbravescu, N, Conference: Spring Meeting of the European-Materials-Research-Society Location: STRASBOURG, FRANCE Date: JUN 01-04, 1999, Sponsor(s): European Mat Res Soc, MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING Volume: 3 Issue: 5-6 Pages: 569-573, Published: OCT-DEC 2000, Time cited in 2013: 1

2000 1

166. Roughening and smoothing dynamics during KOH silicon etching , By: Divan, R; Moldoven, N; Camon, H, Conference: Symposium H - Materials Aspects in Microsystem Technologies Location: STRASBOURG, FRANCE Date: JUN 16-19, 1998 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL Volume: 74 Issue: 1-3 Pages: 18-23 Published: APR 20 1999 Time cited in 2013: 3

1999 3

167. Physical properties of SIO2 thin films obtained by anodic oxidation By: Grecea, M; Rotaru, C; Nastase, N; et al. Conference: 24th European Congress on Molecular Spectroscopy Location: CZECH TECH UNIV, PRAGUE, CZECH REPUBLIC Date: AUG 23-28, 1998 Sponsor(s): Ioannes Marcus Marci Spectroscopic Soc; Inst Chem Technol; Czech Tech Univ; Charles Univ JOURNAL OF MOLECULAR STRUCTURE Volume: 481 Special Issue: SI Pages: 607-610 Published: MAY 4 1999, Time cited in 2013: 2

2

111

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

168. Anisotropic etching of silicon in a complexant redox alkaline system By: Moldovan, C; Iosub, R; Dascalu, D; et al. Conference: 12th European Conference on Solid-State Transducers - 9th UK Conference on Sensors and Their Applications Location: SOUTHAMPTON, ENGLAND Date: SEP 13-16, 1998 SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL Volume: 58 Issue: 1-3 Pages: 438-449 Published: SEP 21 1999, Time cited in 2013: 3

1999 1

169. Amorphous phase influence on the optical bandgap of polysilicon By: Rotaru, C; Nastase, S; Tomozeiu, N Conference: International Conference on Extended Defects in Semiconductors (EDS 98) Location: JASZOWIEC, POLAND Date: SEP 06-11, 1998 PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH Volume: 171 Issue: 1 Pages: 365-370 Published: JAN 16 1999, Time cited in 2013: 1

1999 1

170. Tin dioxide sol-gel derived films doped with platinum and antimony deposited on porous silicon , By: Savaniu, C; Arnautu, A; Cobianu, C; et al. THIN SOLID FILMS Volume: 349 Issue: 1-2 Pages: 29-35 Published: JUL 30 1999 Time cited in 2013: 1

1999 1

171. Diffusion induced dislocations in highly boron-doped silicon layers used for bulk micromachining applications By: Gaiseanu, F; Esteve, J; Kissinger, G; et al. Edited by: Smith, JH Conference: SPIE Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology IV Location: SANTA CLARA, CA Date: SEP 21-22, 1998 Sponsor(s): SPIE MICROMACHINING AND MICROFABRICATION PROCESS TECHNOLOGY IV Book Series: PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) Volume: 3511 Pages: 88-96 Published: 1998, Time cited in 2013: 1

1998 1

172. Temporal implementation of Fourier-related transforms By: Dragoman, D; Dragoman, M OPTICS COMMUNICATIONS Volume: 145 Issue: 1-6 Pages: 33-37 Published: JAN 1 1998, Time cited in 2013: 1

1998 1

173. A SnO2 microsensor device for sub-ppm NO2 detection, By: Cobianu, C; Savaniu, C; Arnautu, A; et al., Conference: 12th European Conference on Solid-State Transducers - 9th UK Conference on Sensors and Their Applications Location: SOUTHAMPTON, ENGLAND Date: SEP 13-16, 1998 , SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL Volume: 58 Issue: 1-3 Pages: 552-555, Published: SEP 21 1999 Time cited in 2013: 1

1998 1

174. Modelling genetic algorithms: From Markov chains to dependence with complete connections , By: Agapie, A, Edited by: Eiben, AE; Back, T; Schoenauer, M; et al. Conference: 5th International Conference on Parallel Problem Solving from Nature (PPSN V) Location: AMSTERDAM, NETHERLANDS Date: SEP 27-30, 1998, Sponsor(s): European Network Excellence Evolutionary Computat; Informatik Centrum Dortmund; Inst Programming Technol & Algorithm; Int Soc Genet Algorithms; Leiden Ctr Nat Comp; Municipal Amsterdam; Philips Siemens AG; Stichting European Evolutionary Comp Conf , PARALLEL PROBLEM SOLVING FROM NATURE - PPSN V Book Series: LECTURE NOTES IN COMPUTER SCIENCE, Volume: 1498 Pages: 3-12 Published: 1998, Time cited in 2013: 1

1998 1

175. Proposal for a new self-focusing configuration involving porous silicon for field emission flat panel displays, By: Nicolaescu, D; Filip, V; Okuyama, F, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS Volume: 15 Issue: 4 Pages: 2369-2374 Published: JUL-AUG 1997 , Time cited in 2013: 1

1997 1

112

Nr. crt.


Nr citari

in 2013

176. Resistive pressure sensing structures on polyimide membranes on GaAs substrate , By: Petrini, I; Muller, A; Avramescu, V; et al., Conference: 10th Micromechanics Europe Workshop (MME 99) Location: CNRS, GIF SUR YVETTE, FRANCE Date: SEP 27-28, 1999, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING Volume: 10 Issue: 2 Pages: 218-222 Published: JUN 2000 , Time cited in 2013: 1

1999 1

177. Microwave Straight Edge Rezonator (Ser) On Silicon Membrane, SAJIN G., MATEI ELENA, DRAGOMAN M. Source: Proceedings of the 22nd International Semiconductor Conference, CAS, Sinaia, Romania, 09 - 05 Oct. 1999; /Vol.1, pp. 283 - 286. Published 1999 Time cited in 2013: 1

1999 1

178. Total nr lucrari: 177 Total nr citari: 456

113

Anexa 4

7.1.4. BREVETE DE INVENŢIE (SOLICITATE/ACORDATE) IN ANUL 2013: 3 SOLICITATE / 9 ACORDATE

A. Brevete acordate Titlul brevetului Revista oficiala

(nr. si data publicarii)

Autori

1. Dispozitiv pentru detectia radiatiei infrarosii BI 123505 30.01.2013

G.Moagar

2. Sistem constructiv pentru realizarea de microsenzori bazati pe inhibitia procesului de fotosinteza la microorganisme.

BI 123507 30.01.2013

L.Galateanu, VIlian, MBazu, NCimpoca

3. Micro-biosenzor pentru detectia diuronului, bazat pe inhibitia procesului de fotosinteza la cianobacterii.

BI 123508 30.01.2013

L.Galateanu, VIlian, MBazu, CPodaru

4. Metoda si echipament pentru determinarea indicelui de refractie.

BI 123506 30.01.2013

G.Moagar

5. Procedeu şi sistem de măsură a deplasărilor foarte mici folosind reflexia internă totală

BI 126388 30.04.2013

G.Moagar

6. Procedeu de selectie de fiabilitate a structurilor semiconductoare cu jonctiuni P-N pe accelerarea optica a generarii-recombinarii pe nivele adanci.

BI 126169 30.01.2013

LGalateanu MBazu, VIlian

7. Procedeu pentru calibrarea dilatarii termice a cantileverului in nanolitografia de tip “dip-pen” termic.

BI 126394 30.01.2013

GMoagar VMoagar

8. Dispozitiv pentru prinderea si realizarea unui contact electric pe suprafata unei plachete de siliciu.

BI 126722 30.04.2013

CObreja EManea LStaicu

9. Microbiosenzor enzimatic pentru detectia insecticidelor organofosforice intr-un sistem de analiza prin injectare in flux

BI 127566 30.04.2013

LGalateanu MBazu VIlian

B. Cereri de brevete solicitate

Titlul brevetului Nr

Inregistrare OSIM / data

Autori:

1. Interfata senzoriala pentru proteza de antebrat A-00090/24.01.2013 E.Franti L.Milea A.Ionita M.Dascalu F.Lazo M.Teodorescu

2. Procedeu de manufacturare rapidă folosind fascicol

focalizat de ultrasunete

A-00736/11.10.2013 GMoagar

3. Element pentru protectia navelor cosmice la impactul cu

micrometeoriti.

A-00817/07.11.2013 G.Moagar V.Moagar

114

Anexa 5

7.1.6 PRODUSE/SERVICII/TEHNOLOGII REZULTATE DIN ACTIVITĂŢI DE CERCETARE,

BAZATE PE BREVETE, OMOLOGĂRI SAU INOVAȚII PROPRII

A. Produse/ procedee tehnologice rezultate pe bază de brevete acordate și cereri de brevete Nr. crt

Categorie Rezultat Date tehnice Domeniu de utilizare

1. Produs Sistem constructiv pentru realizarea de micro-biosenzori bazati pe inhibitia procesului de fotosinteza la microorganisme Brevet de inventie nr. 123507 din 30.01.2013

Sistemul poate fi utilizat la realizarea si exploatarea industriala, a oricarui micro-biosenzor care masoara inhibitia procesului de fotosinteza la microorganisme. Sistemul constructiv prezinta avantajul de a permite obtinerea conditiilor pentru procesele fizice, chimice si biologice necesare unei biodetectii eficiente a substantelor pesticide, in situatia in care interactiunile dintre aceste procese sunt crescute datorita dimensiunilor mici si gradului de integrare ale unui micro-dispozitiv. De asemenea, utilizarea pentru operatiile de montaj-asamblare a tehnologiilor de fabricatie ale microsistemelor, permite obtinerea unor nivele de reproductibilitate si de fiabilitate superioare fata de realizarea biosenzorilor cu macro-electrozi. Sectiune transversala: 1. – Cipul de Si cu microelectrozi; 2. – Adeziv; 3. – Placa metalica pentru inaltarea cipului; 4. – Ambaza TO-99; 5. – Terminalul ambazei; 6. – Trecere metal-sticla; 7. – Fir de conexiune interna; 8. – Rasina epoxidica; 9. – Cipul diodei electroluminiscente; 10. – Cilindru de teflon; 11 - Ambaza TO5; 12. – Electrolit.

Astfel de micro-biosenzori sunt utilizati la detectia substantelor pesticide in probe de mediu.

2. Produs Micro-biosenzor pentru detectia diuronului, bazat pe inhibitia procesului de fotosinteza la cianobacterii Brevet de inventie nr. 123508 din 30.01.2013

Micro-biosenzorul realizeaza o detectie eficienta si rapida a diuronului in probe de mediu apos astfel incat sa poata fi monitorizata concentratia acestuia la nivelele date de legislatia internationala din domeniul mediului. Micro-biosenzorul rezolva dificultatile de obtinere a unei biodetectii eficiente si rapide a diuronului, in conditiile dimensiunilor mici si a gradului de integrare ale unui micro-dispozitiv, prin aceea ca este constituit din: - un micro-traductor amperometric realizat pe un cip de Si avand pe substratul de Si, 3 straturi dielectrice, de SiO2, Si3N4 si Al2O3 si pe acestea, realizati 3 micro-electrozi: (i) electrodul de lucru, sub forma unei perechi de electrozi avand forma de pieptene, (ii) contraelectrodul si (iii) electrodul de referinta. Electrodul de lucru si contrelectrodul sunt realizati din 2 straturi metalice, de Ti si Pt, iar electrodul de referinta, avand o pozitie centrala intre electrodul de lucru si contraelectrod, este realizat dintrun strat de Ti si unul de Ag/AgCl; - un material de interfatare intre micro-electrodul de lucru si materialul biologic realizat din polipirol; - un material biologic sensibil la prezenta diuronului, realizat cu cianobacteria Synechocystis PCC 6803, mutant MscL, depus peste stratul de polipirol, pe perechea de metalizari care reprezinta micro-electrodul de lucru.

Monitorizarea concentratiei de diuron in mediu apos, la nivelele date de legislatia internationala din domeniul mediului

115

Cipul de Si cu microelectrozi (imagine la microscopul metalografic): 1. - electrodul de lucru; 2. – electrodul de referinta; 3. – contraelectrod.

3. Procedeu tehnologic

Procedeu de selectie de fiabilitate a structurilor semiconductoare prin accelerarea optica a generarii-recombinarii pe nivele adanci Brevet de inventie nr. 126169 din 30.01.2013

Procedeul realizeaza o selectie de fiabilitate la nivelul structurilor semiconductoare cu jonctiuni p-n, bazat pe accelerarea optica a degradarii prin formarea de „hot spots”. Stresul de imbatranire accelerata consta din polarizarea electrica in invers a jonctiunii p-n, impreuna cu iradierea cu fascicol laser si determina excitarea tranzitiilor purtatorilor minoritari la centri de nivele adanci. Are loc o accelerare locala a formarii de “hot spot”, degradarea structurilor nefiabile aparand la durate de stres de ordinul minutului, modul de manifestare fiind o modificare a caracteristicii inverse a jonctiunii. Procedeul prezinta avantajul unei durate scurte si a unei economii de energie, de materiale si manopera, structurile nefiabile fiind eliminate inaintea proceselor de montaj-asamblare si sortare.

Eliminarea structurilor nefiabile inaintea proceselor de montaj-asamblare si sortare.

4. Produs Element de protecţie la impactul cu micrometeoriţi „Element pentru protecţia navelor cosmice la impactul cu micrometeoriţi” CBI A00817 / 07.11.2013.

Au fost concepute şi realizate elemente de protecţie la impactul cu micrometeoriţi

Protectia navelor spaţiale şi a sateliţilor

5. Produs Senzor de torsiune folosind senzori magnetici (ENIAC)

A fost realizat şi testat un demonstrator (varianta din polimer) al senzorului de torsiune care foloseşte senzori magnetici

Măsurarea torsiunii în ax (motoare, roţi, etc.)

116

B. Produse/ procedee tehnologice rezultate din activitate de cercetare, bazate pe inovaţii proprii Nr.crt Categorie Rezultat Date tehnice Domeniu de utilizare 1. Procedeu

tehnologic Procedeu de analiza termica a suprafetei structurilor semiconductoare

S-a dezvoltat procedeul de analiza termica, cu microscop in IR, a structurilor semiconductoare. S-a construit un dispozitiv de prindere, cu care s-au efectuat analizele

Proiectarea termica a unor structuri semiconductoare

1. Tehnologie Tehnologie de realizare a structurilor de micromanipulare la nivel micro pentru manipulare bio si celule (Nucleu)

S-a dezvoltat tehnica de realizare a structurilor biocompatibile pentru micromanipulare de microparti biologice utilizand materile polimerice (SU8) si straturi metalice din aur.

Manipulare biologica, medicala, componente MEMS

2. Tehnologie Tehnologie de obtinere a filmelor de ZnO dopate cu Li si Cu. (Contract Nucleu Nr. 29 / 2009-2015).

A fost dezvoltata o tehnologie de obtinere a filmelor multistrat de ZnO dopate cu Li si Cu in atmosfera de azot, pentru aplicatii in electronica transparenta si senzoriale.

Domeniul nanoelectronica

3. Tehnologie Procese tehnologice bazate pe microprelucrarea si nanoprocesarea GaN/Si pentru realizarea de fotodetectori UV (contract Idei 203/2011 )

S-au obtinut structuri test de fotodetectori pentru UV pe membrane de GaN cu IDT (traductori interdigitati) avand digiti si interdigiti de 100 – 150 nm

Dispozitive fotonice, dispozitive acustice

4. Tehnologie Procese tehnologice pentru realizarea de senzori de temperatura Contract european nr 288801 SMARTPOWER

S-au procesat structuri de senzori de temperatura pe baza de rezonatori SAW avand sensitivitatea (TCF) de valoarea 50 ppm/ oC.

Senzori temperatura

5. Tehnologie Procese tehnologice pentru realizarea de senzori de umiditate Contract ENIAC nr 120220 MERCURE

S-au procesat structure de senzori de umiditate pe baza de dispozitive cu unde acustice de volum ( FBAR) obtinandu-se un shift de frecventa de 50 MHz ptr o variatie de umiditate de la 0 la 100%

Senzori umiditate

6. Tehnologie Procese tehnologice pentru realizarea de comutatoare RF-MEMS Contract PCCA Tip I, nr 5/2012, ToMEMS

Dezvoltarea proceselor tehnologice pentru realizarea structurilor de comutatoare RF-MEMS cu elemente de actuare de tip punte sau consola.

Dispozitive RF-MEMS

1.

Tehnologie Tehnologie de realizare a elementelor optice difractive care genereaza vortexuri optice (PN-II-PT-PCCA-2011-3.2-0862)

S-a elaborat o tehnologie bazata pe litografie optica si corodare cu ioni reactivi (RIE) pentru realizarea de masti de faza spirale cu opt trepte care opereaza in reflexie. Aceste masti de faza genereaza vortexuri optice cu aplicatii in comunicatii optice in spatiu liber.

Procesarea optica a informatiei

2.

Terhnologie Tehnologie de realizare a unor structuri care prezinta efect de

S-au investigat proprietiile de transport a unor filme subtiri realizate din nanocompozitul polimeric nanodotori de grafena in matrice de polimer PEG600.

Memorii nonvolatile

117

memorie non-volatila (PN-II-ID-PCCE-2011-2-0069)

S-a observat efectul de memorie non-volatila .

3.

Tehnologie Tehnologii de micro/nanostructurari a filmelor subtiri din supraconductori la temperaturi inalte. (STAR C1 34/19.11.2012)

Studii tehnologice bazate pe litografie optica, scriere ink jet si litografie cu fascicul de electroni respectiv pe corodari chimice si cu ioni de argon in vederea obtinerii de micro/nanostructuri realizate din supraconductori la temperaturi inalte (YBCO).

Bolometre in infrarosu mediu si lung pentru aplicatii spatiale

4. Tehnologie Tehnologie de realizare a straturilor subtiri semiconductoare de ZnO (Contractul nr. 29 N/ 2009 si act ad. nr. 10 si 11/ 2013)

Straturile de ZnO au fost preparate prin tehnica sol-gel multistep si proces spin coating, pornind de la acetat de zinc, in etanol si etanolamina, ca stabilizator. Straturile de n-ZnO au fost dopate cu aluminiu (1-3%), iar cele de tip p cu azot si argint. Straturile obtinute au o orientare preferentiala (002), o dimensiune a nanocristalitelor de 5-9 nm, o transmisie optica de 85-90% pe intreg spectru vizibil, o rezistivitate de 6 - 40 Ώ.cm si o grosime intre 40-600 nm.

Electrozi conductori transparenti

5. Tehnologie Tehnologie de realizare a nanofirelor de argint (Contractul nr. 29 N/ 2009 si act ad. nr. 10 si 11/ 2013)

Nanofire de argint au fost sintetizate prin reducerea azotatului de argint cu etilenglicol in prezenta de polivinilpirolidona si clorura de cupru. Nanofirele de argint au o grosime mai mica de 100 nm si o lungime mai mare de 1 µm.

Electrozi conductori transparenti

7. Tehnologie Tehnologie de realizare de Micro-Imunosenzori pentru Investigarea Sindromului Metabolic (IMUNOPLAT – PNII – 13/2012)

S-a realizat design-ul ariei de senzori, proiectarea fluxului tehnologic, fabricatia de masti de crom pentru etapele de configurare senzori, rularea unui lot complet de 5 plachete de siliciu de 4”, parcurgand toate etapele tehnologice de fabricatie. Senzorii au fost realizati in mai multe configuratii, dar intr-un flux de fabricatie unitar. Senzorii au fost separati, prin taiere precisa a plachetei de siliciu pe intercipul de 60 microni latime urmand ca in etapa urmatoare sa fie asamblati si conectati electric prin sudura fire si lipire pe un PCB dedicat, ceea ce va permite testarea si masurarea acestora.

Domeniul medical

8. Tehnologie Tehnologie de fabricare sisteme de senzori bio-chimici pe filme organice subtiri (Nucleu, contract 29 N/ 2009)

S-a dezvoltat tehnologia de obtinere a unor sisteme de senzori bio-chimici pe filme organice subtiri. S-a realizat proiectarea senzorilor pe substrat flexibil si au fost proiectate diverse structuri test în scopul optimizării procesului de printare a senzorilor propuși. În urma testelor efectuate, au fost proiectate mai multe structuri în vederea găsirii soluțiilor optime pentru senzorii bio-chimici ce urmează a fi dezvoltați în cadrul acestui proiect (senzorul de temperatură, senzorul impedimetric și cel de pH ).

Domeniul bio-medical

9. Tehnologie Proiectarea si realizarea dispozitivelor de tip LED pe baza de „carbon dots” (graphene quantum dots) (PNII –ID-PCCE-2011-2-0069).

S-au pus in evidenta proprietatile electroluminescente ale materialelor „carbon dots” (graphene quantum dots) prin integrarea acestora in diode organice.

Optoelectronica.

118

C. Servicii rezultate din activitate de cercetare, pe baza de proiecte Nr. crt

Categorie Denumire serviciu Date tehnice Domeniu de utilizare

1. Serviciu Analiza termica a unor cipuri semiconductoare

In anul 2013, au fost analizate trei structuri semiconductoare (dintre care una pentru firma olandeza FEI, una - pentru un proiect POSCCE si una - pentru proiecte din programul nucleu al IMT)

Proiectarea termica a unor structuri semiconductoare

2. Serviciu Incercari de ciclare termica pe dispozitive cu semiconductoare

In anul 2013, s-au efectuat trei programe de incercari la ciclare termica, pentru proiecte de tip ESA

Incercari la stres pentru evaluarea fiabilitatii componentelor electronice

3. Serviciu Servicii de proiectare, modelare si simulare pentru aplicatii ale nanoparticulelor feromagnetice in senzori si sisteme de analize biochimice

Serviciile ofera tehnici de proiectare, modelare si simulare a efectului nanoparticulelor feromagnetice in separarea bioparticulelor prin dielectroforeza pentru aplicatii biomedicale (electroporare, detectie)

Domeniul biomedical

4. Servicii

Servicii de caracterizare electrica pentru filme subtiri si pentru dispozitive electronice cu filme subtiri.

Serviciile ofera masurarea caracteristicilor curent-tensiune la intuneric si lumina, la curenti de ordinul nA.

Domeniul nanoelectronica

5. Serviciu Servicii de design, modelare si simulare cu element finit (ENIAC)

Serviciile ofera design, modelare si simulare mecanica si electrica pentru senzori chimici de tip electrozi

Domeniul MEMS, senzori

6. Serviciu Servicii de Rapid Prototyping folosind SLS (ENIAC, proiect STAR Ileana Cernica)

Serviciile oferã realizarea de prototipuri şi elemente funcționale din polimer Domeniul mecanic, verificare concept MEMS, medical, etc.

7. Serviciu Profilometrie 2D si 3D prin internediul interferometrului in lumina alba 3D WLI Photomap Servicii acordate in IMT

Metoda de profilometrie bazata pe interferometrie in lumina alba este utilizata pentru caracterizarea microfizica a structurilor de tip MEMS si microfluidice

Caracterizare microfizica in cursul procesarii si caracterizare finala a dispozitivelor si circuitelor

8. Serviciu Caracterizare pe placheta a circuitelor de microunde si unde milimetrice in domeniul 1-110 GHz Contract European Nr 202897 MIMOMEMS

Determinarea performantelor functionale ale circuitelor de microunde si unde milimetrice : Masuratori parametrii S, in domeniul 0.1-110 GHz. Structurile pot fi masurate in regim de polarizare cu ajutorul unui montaj realizat in IMT.

Caracterizare in microunde si unde milimetrice

9. Serviciu Caracterizarea in banda larga a structurilor backplane utilizate in tehnica de calcul de mare viteza (Contract prestari servicii nr. 423/15/05.2013 cu Elma Electronic Romania SRL)

Acordare de consultanta catre beneficiarul serviciilor pentru conceptia unor structuri de calibrare, in vederea masurarii mai multor structuri de tip backplane cu analizorul vectorial de banda larga din laboratorul RF MEMS (L4) - IMT. Masurarea parametrilor de diport ai circuitelor backplane, la cererea beneficiarului.

Domeniul IT

10. Serviciu Caracterizare dispozitive la temperaturi joase

Determinarea de parametrii de microunde in conditii de temperatura joase utilizand criostatul SHI-4H-1 Janis Research Company, capabil sa efectueze

Domeniul IT

119

Contract european nr 288801 SMARTPOWER

masuratori in gama de temperatura 5-500K.

11. Serviciu Caracterizarea structurilor SAW cu depuneri chimice selective (colaborare IMT - Romquartz)

Proiectarea unui set de circuite imprimate pentru calibrarea specifica a celulei de masura cu rezonatoare SAW. Caracterizarea completa a celulei de masura cu depuneri selective necesare detectiei substantelor toxice . Toate activitatile au avut loc inlaboratorul RF MEMS (L4) - IMT.

Domeniul: chimie

12. Serviciu Caracterizare responsivitate fotodetectori UV Contract European Nr 202897 MIMOMEMS

Montaj experimental pentru masutratori de responsivitate, transmisie/ absorbtie si fluorescenta in domeniul spectral 200-1100 nm.

Domeniul fotonica

13. Serviciu Caracterizarea straturilor de SiO2 depuse prin PECVD si LPCVD/LT prin elipsometrie spectroscopica.

Se determina valorile constantelor optice - n, k si a grosimii stratului precum si distributia acestor marimi pe placheta de siliciu utilizata ca substrat pentru depuneri in diverse conditii de proces.

Optimizarea procesului de depunere a SiO2 prin PECVD si LPCVD/LT in privinta calitatii oxidului si a grosimii. – in IMT

14. Serviciu Analiza elipsometrica a straturilor subtiri de oxizi – TiO2 prin anodizare si ZnO prin sol-gel pe substrat de SiO2/Si.

Prin determinarea valorilor constantelor optice s-a studiat influenta doparii asupra indicelui de refractie.

Dispozitive transparente si fotovoltaice - in IMT

15. Serviciu Caracterizarea straturilor de PMMA depuse prin spinning privind grosimea si uniformitatea stratului utilizand elipsometria.

Determinarea grosimii stratului de PMMA pe suprafata plachetei/probei substrat prin elipsometrie cu mapare X-Y si in corelare cu viteza de rotatie ( rot./min ) a spinnerului.

Optimizare/etalonare: grosime functie de nr. de rot./min - in IMT.

16. Serviciu

Analiza Raman a probelor cu grafene obtinute prin CVD si si depuse pe substrat de SiO2/Si

Inspectia calitatii grafenei - SLG si BLG pe plachete de Si prin analiza caracteristicilor benzii D.

Dispozitive pe grafena

17. Serviciu

Caracterizarea suprafetelor de siliciu prelucrate in plasma si functionalizate cu APTS prin micro-Raman.

Determinarea gradului de functionalizare cu APTS pe suprafata probei – in IMT.

Optimizare proces

18. Serviciu

Analiza transmitantei si determinarea benzii optice pentru straturi subtiri de oxizi de tipul A2B6 obtinute prin prin sol-gel si anodizare.

Se determina banda interzisa ( banda optica ) din prelucrarea masuratorilor de transmitanta si absorbanta.

Optimizare proces - in IMT

19. Serviciu

Analiza reflectantei suprafetelor de siliciu nanotexturate cu nanofire prin spectrofotometrie de reflexie.

Determina reflectanta suprafetei de Si nanotexturata cu nanofire obtinute prin DRIE la doua unghiuri de incidenta a radiatiei pe domeniul spectral 200-900 nm.

Optimizare proces DRIE - in IMT

20. Serviciu

Investigarea prin micro-Raman a straturilor subtiri de compusi A3B5 depuse pe substrat de safir si sital.

-Determinari privind faza si compozitia straturilor ternare de InGaAs, GaAsAl depuse pe substrat de safir si straturilor de GaN depuse pe sital sau pe Si prin sputtering ; - Analiza modificarilor survenite in reteaua GaAs prin dopare cu In, si Al in cazul straturilor subtiri depuse prin sputtering.

R. Moldova/Colaborare

120

21. Serviciu

Investigarea prin micro-Raman a straturilor ultrasubtiri de ZnxCd1-xSe cu x variabil prin evaporare termica.

S-a analizat efectul compozitiei, grosimii subretelelor de ZnSe si CdSe si a tratamentul termic post depunere asupra dezordinii retelei cristaline in film.

Bulgaria/Colaborare

22. Serviciu Dezvoltare de module software pentru procesare de semnal (Contract Capacitati 193EU/2013)

S-a dezvoltat modulul software pentru dispozitivul de procesare al platformei multi-analiza integrate si automate de tip lab-on-a-chip pentru diagnosticarea rapida si precisa de patogeni respiratorii infectiosi. Modul implementat contine o interfata grafica cu utilizatorul cu doua componente: o componenta de control a echipamentului hardware al dispozitivului de procesare si o componenta de reprezentare a rezultatelor pachetului software de prelucrare si analiza a datelor. In cadrul modulului software au fost implementati si algoritmii de prelucrare si analiza a datelor numerice livrate de echipamentul hardware.

Electronica

23. Serviciu Depuneri de straturi subtiri de nitrura (Si3N4) si polisiliciu Contractul nr. 29 N/ 2009

- nitrura stoechiometrica cu grosmi intre 50-800nm pe plachete de siliciu

de 3 si 4 inch - polisilicu cu grosimi intre 50nm-3.8 microni, pe plachete de siliciu de 3

si 4 inch

Si3N4 – ca strat de mascare , polisiliciu – ca strat de sacrificiu in tehnologia dispozitivelor electronice, MEMS, NEMS, dispozitive MOS

121

D. Servicii comandate de beneficiar Nr. Crt.

Contract cercetare/contract comercial/ comanda Beneficiar

Rezultat Termen de raportare/ predare

1 Masuratori senzori O2 cu expunere la aerartificial si azot, in conditii climatice stabilite Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.10

/ 16.01.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL.

Serviciu: Masuratori

29.04.2013

8432 lei

2 Procesare chimica straturi groase pentru senzori si masuratori electrice senzori gaz Contract comercial : nr. 18700/29.07.2009 Comanda nr.11 / 18.02.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: Masuratori dimensionale si electrice

29.04.2013

8184 lei

3 Procesare sonochimica materiale pentru senzori gaz Contract comercial: nr. 18700/29.07.2009 Comanda nr.12 / 18.02.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: tratament US 29.04.2013 7750 lei

4 Executie masca 4”x4”, 5”x5” Comanda nr.18901 / 13.03.2013, Beneficiar: INCDFM (INFIN)

Produs : 6 masti 01.04.2013 4762 lei

5 Executie masca, chimie, fotogravura, corodare umeda Comanda nr.18902 /15.04.2013 Beneficiar: Philips Research North America-Ultra sound Photonics and Bioinformatics

Serviciu: prelucrari tehnologice (4 operatii)

10.05.2013 1200 USD

6 Depunere film Au pe placheta de Si 6” Comanda nr.18904 / 21.05.2013 Beneficiar: SITEX 45 SRL, Bucuresti

Serviciu: depuneri straturi subtiri

26.06.2013 1027 lei

7 Executie masca Comanda nr.18905 / 07.07.2013 Beneficiar: SITEX 45 SRL, Bucuresti

Produs : 1 masca 22.07.2013

1656 lei 8 Executie masca

Comanda nr.18907 / 30.07.2013 Beneficiar: SITEX 45 SRL, Bucuresti

Produs : 1 masca 28.08.2013

1656 lei 9 Testare senzor gaz

Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.13 / 01.08.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL.


07.10.2013

8556 lei

10 Testare electrica si grosime film Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.14

/ 01.08.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL.


30.10.2013 8370 lei

11 Prelucrare chimica grosime film Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.15

/ 01.08.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: prelucrare tehnologica

30.10.2013 7440 lei

12 Curatire chimica, folitografie, corodare DRIE, trasare Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.16



25.09.2013

800 lei

13 Procesare grosime film pe substraturi ceramice Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.18



28.11.2013

8928 lei

14 Testare senzor in conditii extreme. Testare senzor metan Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.19



28.11.2013

9548 lei

15 Testare senzor gaz O2 Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.20



28.11.2013

8184 lei

16 Testare senzor metan Serviciu: Masuratori 23.12.2013

122

Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.21/ 16.10.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

8928 lei

17 Pregatire si testare material pentru senzori Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.22/

11.11.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL


23.12.2013

9025 lei

18 Masuratori de eficienta cuantica Contract comercial: nr.18700/ 29.07.2009, Comanda nr.23/

02.12.2013 Beneficar: Honeywell Romania SRL


23.12.2013

8680 lei

19 Asistenta tehnica pentru realizarea traseelor metalice prin tehnica lift-off pe plachete piezoelectrice Contract comercial: nr. 18.900/07 Comanda nr. 2/19.02.2013 Beneficiar: Romquartz SA

Serviciu: Servicii

13.000 lei

20 Caracterizare TiO2 functionalizat prin masuratori de absortie si fluorescenta (grad de efectuare 40%) Contract comercial: Comanda nr.:203/11.03.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: Servicii

4.960 lei

21 Realizare contacte metalice (contraelectrod) Contract comercial: Comanda nr.:203/11.03.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: Servicii

11.563 lei

22 Incapsulare celula (grad de efectuare 15%) Contract comercial: Comanda nr.:203/11.03.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: Servicii

1.920,45 lei

23 Caracterizare molecule prin voltametrie ciclica si absortie optica Contract comercial: Comanda nr.:203/11.03.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: Servicii

4.960 lei

24 Masurare parametri electrici (25%) Contract comercial: Comanda nr.:203/11.03.2013 Beneficiar: Honeywell Romania SRL

Serviciu: Servicii

1.240 lei

123

Anexa 6

7.1.7 LUCRĂRI ŞTIINŢIFICE/TEHNICE ÎN REVISTE DE SPECIALITATE FĂRĂ COTAŢIE ISI

1. Predicţia fiabilităţii bazată pe fizica defectării, Marius Bazu, Titu Bajenescu, Asigurarea Calitatii, Anul XIX,

Numărul 74, Aprilie-Iunie 2013 2. Reliability Building for Electronic Components, Marius Bazu, Titu Bajenescu, Anul XIX, Numărul 73, Ianuarie-

Martie 2013 3. Services Centre for Microsystems and Nanotechnology – a Cross Border Cooperation Programme Project,

Corneliu Trişcă-Rusu, Marius Bâzu, Nina Bencheva, Yoana Ruseva, Romanian-Bulgarian НАУЧНИ ТРУДОВЕ НА РУСЕНСКИЯ УНИВЕРСИТЕТ - 2013, том 52, серия 4.1

4. “Improving MM-Wave Left-Handed Transmission Line Antenna by Stub Matching”, Gh. Sajin, I.A. Mocanu, M Carp, International Journal of Engineering and Innovative Technology (IJEIT), Volume 3, Issue 2, August 2013, pp. 135 – 140, ISSN 2277-3754; online available at: http://www.ijeit.com/Vol%203/Issue%202/IJEIT1412201308_24.pdf

5. “Method of CRLH antenna impedance measurement by means of on-wafer characterization equipment” Gh. Sajin, I.A. Mocanu, M. A. Voicu, Advances in Science and Technology Vol. 77 (2013), pp. 253 – 257, ISSN 1662-0356, DOI: 10.4028/www.scientific.net/AST.77. Available online since 2012/Sep/11 at: http://www.scientific.net/AST.77.253

6. “Metamaterial Antenna on Magnetically Polarized Ferrite Substrat”, I.A. Mocanu, Gh. Sajin, F. Craciunoiu, University Politehnica of Bucharest Scientific Bulletin Series A – Applied Mathematics and Physics, Vol. 75, (2013), Issue 3, pp. 187-194, ISSN 1223-7027. Available online at: http://www.scientificbulletin.upb.ro/rev_docs_arhiva/full382_166868.pdf

124

Anexa 7

7.1.8 COMUNICĂRI ŞTIINŢIFICE PREZENTATE LA CONFERINTE INTERNATIONALE

1. A promising technology of Schottky diode based on 4H-SiC for high temperature application, R Pascu, F

Craciunoiu, M Kusko, IEEE Proceeding of PRIME 2013, 297-300 2. Wavelet solution of the Schrodinger equation for a triangular potential barrier and applied results on a mom

tunnel junction, E.-S. Malureanu, F. Craciunoiu, IEEE CAS 2013 Proceedings (36th IEEE International Semiconductor Conference – CAS 2013, 14- 16 Oct. 2013, Sinaia, Romania), pag. 65 - 68

3. Porous and RF sputtering InP for portable THZ-TDS in pharmaceutical and medical applications, L. Sirbu, L. Ghimpu, M. Danila, R. Muller, A. Matei, F. Comanescu, A. Ionescu, O. Grigore, T. Dascalu, A. Sarua, CAS 2013- 36th Edition of International Semiconductor Conference,IEEE event, 14-16 October, Sinaia, Romania, Volume 1 Proceeding (pp. 69 – 72), ISSN : 1545-827X

4. 4H-SiC Schottky contact improvement for temperature sensor applications, F. Draghici, M. Badila, G. Brezeanu, G. Pristavu, I. Rusu, F. Craciunoiu, R. Pascu, IEEE CAS 2013 Proceedings pag. 163 - 166

5. Steering capability of a mm-WAVE lefthanded transmission line antenna, G.I. Sajin, I.A. Mocanu, F. Craciunoiu, S. Ciocan, IEEE CAS 2013 Proceedings pag. 101 - 104

6. SH-SAW sensors on Langasite for mass detection in liquid media, A. Baracu, M. Nedelcu, F. Craciunoiu, R. Voicu, R. Muller, IEEE CAS 2013 Proceedings pag. 115 - 118

7. Silicon plasma processing for antireflective micro - textured surfaces with applications for solar cells, R. Rebigan, A. Avram, F. Craciunoiu, R. Tomescu, E. Budianu, M. Purica, M. Popescu, IEEE CAS 2013 Proceedings pag. 119 - 122

8. Effects of the preparation conditions and furnace annealing on the structure and morphology of Zn0.8Cd0.2Se thin films, I. Bineva, A. Dinescu, D. Nesheva, M. Danila, Z. Aneva, Z. Levi, R. Muller, IEEE CAS 2013 Proceedings vol. 1 pag. 129 - 132

9. ”ZnO nanowires and microroads grown from solution on patterned substrate for electronic device applications", M. Purica, A. Dinescu, E. Budianu, F. Comanescu, V.Musat, M. Mazilu, 10th lnternational conference on Nanosciences & Nanotechnologies (NN13) 9-12 July 2013, Thessatoniki, Greece

10. “Optically transparent n-channel ZnO:Al thin film transistor and current-voltage characteristics optimization”, F. Comanescu, M. Purica, E. Budianu, F. lacomi, B. Mitu, C. Parvulescu, 10th lnternational conference on Nanosciences & Nanotechnologies (NN13) 9-12 July 2013, Thessatoniki, Greece

11. “N-ZnO Channel Based Transparent Thin Film Transistor: Fabrication and Characterization”, F. Comanescu, M. Purica, E. Budianu, F. Iacomi, B. Mitu, C. Parvulescu, International Semiconductor Conference CAS 2013, October 2013, Sinaia, Romania, CAS-Proceedings Vol. 2, pp. 273 – 276.

12. “Solution-processable graphene-based nanocomposites for UV-Vis-IR photodetectors”, D. Cristea, C. Obreja, P. Obreja, I. Mihalache, R. Gavrila, E-MRS Spring Meeting 2013, 26-31 mai 2013, Strasbourg, Franta

13. “Research results on nanocomposite materials and processing technologies for integration of photonic components with MEMS”, D. Cristea, P. Obreja, A. Dinescu, C. Obreja, R. Gavrila, M. Purica, Consultation Workshop on Micro-Nano-Bio Convergence Systems, MNBS 2013, 24th-25th September 2013, Cork, Ireland

14. “Solution processable graphene-P3HT nanocomposite/n-type silicon photodetectors”, D. Cristea, C. Obreja, P. Obreja, R. Gavrila, 5th EOS Topical Meeting on Optical Microsystems (OµS'13), 12-14 Septembrie 2013, Capri, Italia

15. „Optical, electrical and structural properties of aluminium doped zinc oxide thin films by sol–gel method”, P. Obreja, D. Cristea, M. Danila, A. Dinescu, 1st International Conference on Nanomaterials & Applications – NANOAPP 2013, Portoroz, Slovenia

16. “Realization and Characterization Methods for Plasmonic Structures in Visible and Infrared“, R. Tomescu, M. Popescu, C. Kusko, A. Dinescu, P. Schiopu, CAS 2013 Proceedings, Vol. 1, IEEE Catalog no. CFP13CAS-PRT, ISSN 1545-827X, pp. 137-140

17. ”Self pulsation behavior of a ring resonator based on nonlinear plasmonic waveguides ", C. Kusko, Conference TNT Sept 9-13, 2013 Seville,Spain

18. ”Asymmetric Diffraction Orders Based on Axicon and Helical Phase Combination”, M. Mihailescu, L. Preda, A. Gheorghiu, M. Kusko, O. Curcan, C. Kusko, CLEO-PR & OECC/PS 2013 -The 10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim(CLEO-PR 2013); The 18th OptoElectronics and Communications Conference (OECC 2013) Kyoto, Japan

19. “Synthesis and characterization of MWCNT composites with applications in aerospace industry”, C. Berbecaru , A Stefan , I. Lucian , E Busuioc , S Palade , A Radu , A Pantazi , M Purica, D Dragoman , Physics 2013 Meeting, Bucharest University Faculty of Bucharest, Romania, June 21, 2013

20. „Nanoscale Patterning of Graphene by Electron Beam Lithography”, A. Dinescu, M. Dragoman, D Cristea, A. Avram, R Gavrila, F. Comanescu, R Muller, Nanoscience&Nanotechnology-N&N 2013, 30 Sept- 4 Oct 2013, Frascati, Italy

125

21. “Optimization of Deposition Conditions for Synthesis of Hard Carbon Thin Films with High Adherence and Low Surface Energy”, Nita, A.C. Popescu, G.E. Stan, C. Popescu, L. Duta, V. Craciun, M. Husanu, B. Bita, – 10th International Student Conference of the Balkan Physical Union (ISCBPU-10), 3-5 September, 2013 , Istanbul-TURKEY

22. „Wood Structure Protection By Plasma”, V Covlea, E Barna, M Băzăvan, G B. Butoi, B Biță, M Lungu, C Berlic, A Avram and A Jipa, , 5th Central European Symposium on Plasma Chemistry, 25- 29 August 2013, Balaton, Hungary

23. “Analysis of hybrid compounds in nanosensors for biomedical applications”, L. Draghiciu, T. Ignat, A. Dinescu, M. Carp, M. Danila R. Muller, E-MRS 2013 Spring Meeting, 27th - 31st of May 2013, Strasbourg, France, nr. U.PII 28

24. “Microsensor based on interaction of L-Histidine with gold nanoparticles and BSA - bovine seric albumine”, L. Draghiciu, R. Muller, A. Dinescu, M. Carp, M. Veca, M. Mihailescu, E-MRS 2013 Spring Meeting, 27th - 31st of May 2013, Strasbourg, France, nr. G1

25. Reliability Tests for Discriminating Between Technological Variants of QFN Packaging, M. Bazu. V.E. Ilian, D. Varsescu, L. Galateanu, Vili Sikiö, Meelis Reimets, Volker Uhl, Manuel Weiss, 43rd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC), 16 – 20 September, Bucharest, Romania

26. Failure risks induced by the interconnection process used for semiconductor components, M. Bazu, V.E. Ilian, L. Galateanu, D. Varsescu, L.M. Ilian, Le troisième colloque francophone PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l’Environnement et l’Electronique, Bacau – Roumanie, 22 - 25 Mai, 2013

27. Reliability issues of epoxy materials used in microtechnologies, M. Bazu, T. Bajenescu, Le troisième colloque francophone PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l’Environnement et l’Electronique, 22 - 25 Mai, 2013, Bacau – Roumanie

28. Onset velocity profiles evolution in microchannels C Marculescu, A Avram, C Parvulescu, M Avram and C M Balan, ICMN 2013.

29. Designing microfluidic devices using numerical modeling C Marculescu, C M Balan, A Avram and M Avram, CIEM 2013

30. Aspect ratio influence on topological vortex structure formed in microchannels, C M Bălan, C Mărculescu, D Broboană, C Bălan, CIEM 2013.

31. Nanoparticle synthesis by electrostatic interaction in microfluidic devices, C Iliescu, C Mărculescu, A Salonen, Ming Ni and G Tresset CAS 2013

32. “Impact of RF and DC Plasma on Wood Structure”, A. Avram, V. Covlea, M. Bazavan, B. Butoi, B. Bita, and A. Jipa, 16th International Conference on Plasma Physics and Applications CPPA 2013, Magurele, Romania, June 2013

33. “Novel high sensitivity GaN SAW based temperature sensor structures working in the GHz frequency range”, A. Muller, G. Konstantinidis, A. Dinescu, A. Stefanescu, A. Cismaru, I. Giangu, A. Stavrinidis, T. Kostopoulos, V. Buiculescu, EMRS Spring 2013, Symposium L, paper 11.2, Strasbourg, France

34. “Morphological analysis of GaN membranes obtained by micomachining of GaN/Si”, A. Cismaru, A. Muller, F. Comanescu, M. Purica, A. Stefanescu, A. Dinescu, Proc (digital) of 2013 IEEE International reliability Physics Symposium, April 2013, Monterey, USA, pp ME 2.1-ME 2.4

35. “Single resonator GaN/Si SAW based temperature sensor“, A. Muller, G.Konstantinidis, A. Dinescu, A. Stefanescu, A. Cismaru, V Buiculescu, I. Giangu, G. Stavrinidis, A. Stavrinidis, Nanotechnology Conference and Trade Show-Nanotech 2013, vol 2, pp 423 -426, Washinton, May 2013

36. “Substrate integrated waveguide band-pass filter fed by a novel broadband transition to CPW”, I Giangu, V Buiculescu, Proceedings of Francophone Multidisciplinary Colloquium on Materials, Environment and Electronics – PLUMEE 2013, Bacau mai 2013, pp 90-94 (ISSN 2343-9092, ISSN-L 2343-9092)

37. “GHz operating GaN/Si SAW based temperature sensor”, A. Muller, G. Konstantinidis, A. Dinescu, V Buiculescu, A. Stefanescu, A. Cismaru, I. Giangu, G. Stavrinidis, A. Stavrinidis, A Ziaei, MEMSWAVE 2013 Potsdam, Germania, 1-3 July 2013, Electronic Proceedings (unpaged)

38. “Membrane Supported D-Band Antenna Processed on Low-Resistivity Silicon” A-C Bunea, A Avram, D Neculoiu, Christian Rusch, MEMSWAVE 2013 Potsdam, Germania, 1-3 July 2013, Electronic Proceedings (unpaged)

39. “High sensitivity GaN SAW based temperature sensor structures working in the GHz frequency range” A. Müller, G. Konstantinidis, A. Dinescu, V Buiculescu, A. Stefanescu, A. Cismaru, I. Giangu, G. Stavrinidis, A. Stavrinidis, A. Ziaei Therminic’13

40. „LTCC Microstrip Parasitic Patch Antenna for 77 GHz Automotive Applications”, A-C Bunea, D Neculoiu, M Lahti, T Vaha-Heikkila, IEEE Conference on Microwaves, Communications, Antennas and Electronic Systems – IEEE COMCAS 2013, Tel Aviv, Israel, 21-23 October 2013,

41. „220 GHz Membrane Supported Folded Slot Antenna Array”, A-C Bunea, A Avram, C Rusch, C Obreja, D Neculoiu, IEEE 36th International Semiconductor Conference –IEEE CAS 2013, Sinaia, Romania, 14-16 October 2013, pp. 93-96, ISBN: 978-1-4673-5670-1, ISSN: 1545-827X

42. „Micromachined Band Stop Resonator for Millimeter-Wave Applications”, A-C Bunea, D Neculoiu, Progress In Electromagnetics Research Symposium – PIERS 2013, Stockholm, Sweden, 12-15 August 2013, Abstract Book, pp. 1089, ISSN: 1559-9450

126

43. „Design of a Coplanar Waveguide to Substrate Integrated Waveguide Transition for LTCC Technology”, D Neculoiu, A-C Bunea, Progress In Electromagnetics Research Symposium – PIERS 2013, Stockholm, Sweden, 12-15 August 2013, Abstract Book, pp. 1090, ISSN: 1559-9450

44. „Characterization of Micromachined 60 GHz Double Folded Slot Antenna”, D Neculoiu, A-C Bunea, A Tackacs, Proceedings of the 2nd IEEE Asia-Pacific Conference on Antennas and Propagation, IEEE APCAP 2013, Chiang Mai, Thailand, 5-7 August 2013, pp. 127-128

45. „Microstrip Parasitic Patch Array with Substrate Integrated Waveguide Feed for 35 GHz Applications”, A-C Bunea, D Neculoiu, M Lahti, T Vaha-Heikkila, Proceedings of the 2nd IEEE Asia-Pacific Conference on Antennas and Propagation, IEEE APCAP 2013, Chiang Mai, Thailand, 5-7 August 2013, pp. 123-124

46. „Fabrication of Thin Dielectric Membranes for RF-MEMS Applications”, A. Avram, A.C. Bunea, C. Obreja, M. Avram, B. Bita, C. Parvulescu, M. Popescu, D. Neculoiu, 16th International Conference on Plasma Physics and Applications – CPPA 2013, Magurele, Romania, 20-25 June 2013, Abstract Book, pp. 108, ISSN: 2344-0481

47. „On-Chip Antennas for 94 GHz and 140 GHz Fabricated Using Silicon Micromachining”, D Neculoiu, A-C Bunea, 43rd European Microwave Conference – EuMW 2013, Nuremberg, Germania, 6-11 October 2013, workshop „W16 RF-MEMS RFIC/MMIC Technologies for Highly Adaptive and Reliable RF Systems - Results of the FP7 NANOTEC Project”

48. “Dual band left-handed transmission line D-CRLH/CRLH rat race coupler with improved performances - a study”, I. A. Mocanu, Gh. Sajin 4th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics, 18 – 22 March 2013, Sharjah, United Arab Emirates.

49. “MM-wave CRLH Antenna Gain Improvement by Matching with Reactive Stubs”, Gh. Sajin, I.A. Mocanu, M Carp IEEE MTT-S, International Wireless Symposium, IWS 2013, 14 – 18 April 2013, Beijing, China.

50. “Left Handed MM-wave Magnetically Tuned Antenna on Ferrite Substrate”, Gh. Sajin, I.A. Mocanu, F. Craciunoiu, European Conference on Antennas and Propagation, EuCAP 2013, 08-12 April 2013, Gothenburg, Sweden, pp.3323 – 3324.

51. The study of different types of d-crlh transmission lines for microwave diplexer”, I.A. Mocanu, Gh. Sajin, “IEEE EUROCON 2013, 1–4 July 2013, Zagreb, Croatia. pp. 1849 – 1852, Print ISBN: 978-1-4673-2230-0; INSPEC Accession Number: 13827977, Digital Object Identifier (DOI): 10.1109/EUROCON.2013.6625228

52. “MM-wave left-handed transmission line antenna on anisotropic substrate”, Gh. Sajin, I.A. Mocanu, F. Craciunoiu, M Carp Proceedings of the 43nd European Microwave Conference, EuMC 2013, 06 – 11 Oct. 2013, Nuremberg, Germany, pp. 668 – 671, ISBN 978-2-87487-030-9.

53. “Broadband Two Stages Low Noise Amplifier for Milimeter Wave”, I Giangu, V Buiculescu, : Proceedings of the 36th International Semiconductor Conference, CAS 2013, 14 – 16 October, 2013, Sinaia, Romania, pp323- 326

54. “Design of a Coplanar Graphene-Based Nano-Patch Antenna for Microwave Application”, D. Mencarelli, M. Dragoman, L. Pierantoni, T. Rozzi, F. Coccetti: IMS, June 2013.

55. “On-Wafer Graphene Diodes for High-frequency Applications”, M.Dragoman, A. Dinescu, D.Dragoman, European Solid State Device Research Conference (ESSDERC), Bucharest, September 2013, pp.332-335.

56. “The electromagnetic properties of graphene in the microwave and millimeterwave spectrum”, M.Dragoman, A. Cismaru, A.Stefanescu, A.Dinescu D. Dragoman, European Microve Conference (EuMC), Nurnberg, Germania, Octombrie 2013, pp.530-534.

57. “Graphene nanoelectronics for high-frequency applications”, M.Dragoman, SPIE Nanotehnology, Grenoble, 2013, vol.8766, pp8766C 1-8.

58. New fabrication technology for bio and chemosensors based platform on flexible substrate, M Ion, C Moldovan, R Iosub, C Brasoveanu, E-MRS 2013 Spring Meeting - Symposium R : Nano-engineered bioactive interfaces;

59. Nanowire based device for biomolecules detection, C Moldovan, A Dinescu, M Ion, E-MRS 2013 Spring Meeting - Symposium U, 27-31 mai, Strasbourg, Franța, poster

60. "First Principles electronic structure of HfO2 and La2O3 doped with rare earth elements". R. Plugaru, N. Plugaru, ROMPHYSCHEM 15 Conference, 11-13 September 2013, Bucharest, Romania.

61. “Shear horizontal surface acoustic wave sensors on langasite for mass detection in liquid media”, A Baracu, M Nedelcu, F Craciunoiu, R Voicu, R Muller, CAS 2013- 36th Edition of International Semiconductor Conference, IEEE event, 14-16 October, Sinaia, Romania, , Volume 1 Proceeding (pp. 115 – 118), ISSN : 1545-827X

62. “Achieve an electronic sensor involving interaction of L-Histidine with gold surfaces and BSA”, L Draghiciu, R Muller, A Dinescu, M Carp, M Veca , M Mihailescu, EMRS Spring Meeting, Starbourg , France, 2013

63. “Ultrashort electromagnetic modes in the low frequency region of the spectrum in a nanocylinder array”, L. Sirbu, V. Sergentu, R. Muller, V. Ursaki and I.M. Tiginyanu, Title of the book: Detection of Explosives and CBRN (Using Terahertz) Springer, editor Pereira Mauro.

64. “MEMS SENSORS FOR HIGH VOLTAGE LINES”, V. Moagar-Poladian, G. Moagar-Poladian –IEEE Proceedings of the ESSDERC-ESSCIRC 2013 Conference, p. 358 – 361, (2013).

127

65. “Microsensor based on interaction of L-Histidine with gold nanoparticles and BSA -bovine seric albumin” L. Draghiciu, R. Muller, A. Dinescu, M. Carp, M. Veca, M. Mihailescu EMRS Spring Meeting 2013, Strasbourg,France- Book of Abstract

66. “Porous and RF Sputtering InP For Portable THz-TDS In Pharmaceutical And Medical Applications” Lilian Sirbu, Lidia Ghimpu, Mihai Danila, Raluca Muller, Alina Matei, Florin Comanescu, Alina Ionescu, Oana Grigore, Traian Dascalu, Andrei Sarua, CAS 2013- 36th Edition of International Semiconductor Conference,IEEE event, 14-16 October, Sinaia, Romania, Volume 1 Proceeding (pp. 69 – 72), ISSN : 1545-827X

67. Porous vs. Magnetron RF Sputtering Of InP For Portable THz-TDS In Pharmaceutical And Medical Applications, L. Sirbu, M. Danila, R. Muller, L. Ghimpu, R. Dobletbaev, T. Dascalu, O. Grigore (Sandu), A. Sarua, I.M. Tiginyanu, and V. Ursaki, 2nd International Conference on Nanotechnologies and Biomedical Engineering with related German-Moldovan Workshop on Novel Nanomaterials for Electronic, Photonic and Biomedical Applications, Chisinau, April 18-20, 2013, Proc. p. p. 361-362

68. Superhydrophobic Polytetrafluoroethylene Coated Micro-fluidic Chip for Bio-applications Integrated With THz Spectroscopy Technology, L. Sirbu, L. Ghimpu, R. Muller, R. Voicu, T. Dascalu, V. Sergentu, R. Dobletbaev, I.M. Tiginyanu, and V. Ursaki, 2nd International Conference on Nanotechnologies and Biomedical Engineering with related German-Moldovan Workshop on Novel Nanomaterials for Electronic, Photonic and Biomedical Applications, Chisinau, April 18-20, 2013, p. 111-114

69. Synthesis Of Colloidal InP Nanocrystal Quantum Dots, L. Sirbu, T. Gutul, A. Todosiciuc, M. Danila, R. Muller, A. Sarua, R. Webster, I.M. Tiginyanu, and V. Ursaki, 2nd International Conference on Nanotechnologies and Biomedical Engineering with related German-Moldovan Workshop on Novel Nanomaterials for Electronic, Photonic and Biomedical Applications, Chisinau, April 18-20, 2013, p. 161-162

70. EWOD chip for THz applications, L. Sirbu, L. Ghimpu, R. Müller, Knowledge Society: mutual influence and interference of science and society - NANO-2013, 13-16 September 2013, Chisinau, Moldova

71. From Hydrophilic to Hydrophobic of ZnO Surface, L. Sirbu, L. Ghimpu, R. Muller, Knowledge Society: mutual influence and interference of science and society - NANO-2013, 13-16 September 2013, Chisinau, Moldova

72. ON THE VARIABLE RANGE HOPPING CONDUCTIVITY IN ZNO DOPED SYSTEMS, T. Sandu, R. Plugaru, N. Plugaru, PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l’Environnement et l’Electronique (PLUMEE 2013), Bacau (Romania) 22 Mai-25 Mai 2013

73. Superconducting Sr0.85La0.15CuO2 bicrystal grain boundary Josephson junctions, V. Leca, J. Tomaschko, D. Wang, M. Danila, W. A. Bik, R. Kleiner si D. Koelle, 11th European Conference on Applied Superconductivity - EUCAS, Genova, Italia (2013)

74. Charging and Capacitance of Conductors by the Integral Equation Approach, Sandu T., Boldeiu G., Plugaru R., IEEE CAS 2013 Proceedings, IEEE Catalog Number: CFP13CAS-PRT, ISBN:978-1-4673-5670-1, ISSN: 1545-827X, vol 2, p. 289-292 (2013)"First Principles electronic structure of HfO2 and La2O3 doped with rare earth elements". R. Plugaru, N. Plugaru, ROMPHYSCHEM 15 Conference, 11-13 September 2013, Bucharest, Romania.

128

Anexa 8

7.1.9 STUDII PROSPECTIVE ŞI TEHNOLOGICE, NORMATIVE, PROCEDURI, METODOLOGII ȘI

PLANURI TEHNICE, NOI SAU PERFECŢIONATE, COMANDATE SAU UTILIZATE DE BENEFICIAR 7.1.9. Studii prospective şi tehnologice, normative, proceduri, metodologii si planari tehnice, noi sau perfecţionate, comandate sau utilizate de beneficiar. Nr. Crt.

Titlu: Studii prospective şi tehnologice, normative, proceduri, metodologii si planari tehnice, noi sau perfecţionate

Beneficiar/utilizatori Nr. contract/Nr. Comanda/ Protocol

1 Metodologie de analiza cu microscop in IR a distributiei temperaturii la functionarea unui dispozitiv

FEI (Olanda) Agreement between FEI and IMT (Aug.1, 2012)

2 Optical characterization of optical micro senzors based on rare-earth doped phosphate glass

SITEX 45 SRL MNT ERA NET nr 7-031/04.04.2011 SENSGLASS

129

Anexa 9

PARTENERI INTERNAȚIONALI AI INCD PENTRU MICROTEHNOLOGIE ÎN PROIECTELE FP7 ȘI RELATED FP7 (ENIAC, ERA-NET)

Companii

1. AVL List GmbH Austria

2. Egston System electronics Eggenburg GmbH Austria

3. Infineon Austria Austria

4. Open-Engineering S.A. Belgium

5. StratiCELL Screening Tehnologies Belgium

6. TAIPRO Engineering SA Belgium

7. V2i S.A. Liege Belgium

8. UPM-Kymmene Finland

9. ARKEMA France

10. COVENTOR SARL France

11. OMMIC SAS France

12. Schneider Electric Industries France

13. Thales Air Systèmes SA France

14. Thales Research and Technology France

15. Thales Systèmes Aéroportés France

16. AGROBIOGEN GMBH BIOTECHNOLOGIE Germany

17. ASKION GMBH Germany

18. Berliner Nanotest und Design GmbH Germany

19. EADS Deutschland GmbH Germany

20. Grimm Aerosol Technik GmbH Germany

21. HAHN-SCHICKARD-GESELLSCHAFT FUER ANGEWANDTE FORSCHUNG E.v. Germany

22. IHP-Microelectronics GmbH Germany

23. Infineon Technologies AG Germany

24. li-Tec Germany

25. Medizinisches versorgungzentrum drstein+kollegen laboratoriumsmedizin mikrobiologie infektionsepidemiologie virologie transfusionsmedizin

Germany

26. Micropelt GmbH Germany

27. Nanogate Germany

28. Scienion AG Research and Development Germany

29. Seuffer GmbH Germany

30. Siemens Germany

31. Silicon Radar GmbH Germany

32. Via Electronic GmbH Germany

33. Volkswagen AG Germany

34. ZF Friedrichshafen AG Germany

35. Global Nanotechnologies SA Greece

36. Prisma Electronics Greece

37. Istituto P.M. s.r.l Italy

38. Kemet Italy

39. Robox Italy

40. STMicroelectronics Italy

41. NXP Semiconductors BV Netherlands

130

42. PATHOFINDER BV Netherlands

43. TNO Netherlands

44. TopGaN Ltd. Poland

45. Infineon Romania Romania

46. ROMELGEN SRL Romania

47. Alfa Imaging SA Spain

48. Green Power Technologies S.L. Spain

49. Höganäs AB Sweden

50. Nanologica AB Sweden

51. NordMiljö AB Sweden

52. SHT Smart High-Tech AB Sweden

53. Smart High Tech AB Sweden

54. Quantis Sarl Switzerland

55. Rohrer AG Werkzeug- & Maschinenbau Switzerland

56. EFP Consulting Ltd UK

57. Graphene Industries UK

58. QinetiQ Ltd UK

Universități 1. FH Joanneum Austria

2. University of Salzburg Austria

3. University of Liege Belgium

4. University of Namur Belgium

5. Federal University of Minas Gerais Brazil

6. Royal Institution for the Advancement of Learning McGill University Canada

7. Brno University of Technology Czech Republic

8. University of Tampare Finland

9. Université Pierre et Marie Curie France

10. Christian-Albrechts University of Kiel Germany

11. Hochschule Amberg-Weiden Germany

12. Technical University of Chemnitz Germany

13. TU Dresden Germany

14. University of Bremen Germany

15. University of Ulm Germany

16. National & Kapodistrian University of Athens Greece

17. Budapest University of Technology and Economics Hungary

18. Politecnico di Torino Italy

19. Università Politecnica delle Marche Italy

20. Kauno Technologijos Universitetas Lithuania

131

21. Alecu Russo State University of Balti Moldova

22. Erasmus Universitair Medisch Centrum Rotterdam Netherlands

23. AGH University of Science and Technology Poland

24. Politechnika Warszawska Poland

25. University of Warsaw Poland

26. University of Aveiro Portugal

27. Dunarea de Jos University of Galati Romania

28. Technical University of Cluj-Napoca Romania

29. University of Lublijana Slovenia

30. Universidad de Seville Spain

31. University of Zaragossa Spain

32. Chalmers University of Technology Sweden

33. Linköping University Sweden

34. Uppsala University Sweden

35. University of Birmingham UK

36. University of Sheffield UK

Institute si Centre de Cercetare

1. Österreichisches Forschungs- und Prüfzentrum Arsenal GmbH (Austrian Institute of Technology)

Austria

2. European Commission Joint Research Centre JRC Belgium

3. National Institute of Metrology, Quality and Technology Brazil

4. Institut mikroelektronických aplikací s.r.o. Czech Republic

5. National Research Centre for the Working Environment Denmark

6. National Institute for Chemical Physics and Biophysics Estonia

7. Technology Centre KETEK, LTD Finland

8. VTT, Technical Research Centre of Finland Finland

9. Commisariat à l’énergie atomique (CEA) France

10. Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives - LITEN France

11. Center for National scientific Research – Laboratory for Architecture and Analysis of Systems (CNRS-LAAS)

France

12. 31 Degrees S.A.R.L France

13. Institut d’Electronique Fondamentale France

14. Federal Institute for Materials Research and Testing Germany

15. Federal Institute for Occupational Safety and Health Germany

16. Fraunhofer Gesellschaft Germany

132

17. Fraunhofer IISB Germany

18. Fraunhofer Institute IZM Germany

19. German Institute for Standardization Germany

20. HSG-IMIT (Institut für Mikro- und Informationstechnik) Germany

21. OFFIS Institute for Information Technology Germany

22. Helmholtz Centre for Environmental Research Germany

23. Foundation for Research & Technology - Hellas Greece

24. Tyndall-UCC Ireland

25. Centro Ricerche Fiat Italy

26. Veneto Nanotech Italy

27. Research Institute ELIRI Moldova

28. CeNTItvc- Centro de Nanotecnologia e Materiais Técnicos, Funcionais e Inteligentes Portugal

29. FCT-UNL CENIMAT/I3N Portugal

30. AIDO- Technological Institute of Optics, Colour and Imaging Spain

31. Catalan Institute of Nanotechnology Spain

32. Swiss Federal Institute for Science and Technology Switzerland

33. Institute of Nanotechnology UK

Consilii, Agenții, Camere de Comert si alte institutii

1. Council for Scientific and Technical Research India

2. Netherlands Organisation for Applied Scientific Research (TNO)

Netherlands

3. Cámara Oficial de Comercio, Industria y Navegación de Valencia Spain

4. Swedish Defence Research Agency Sweden

5. US Environmental Protection Agency USA

Parteneri internaționali în proiectele bilaterale

1. Facultad de Ciencias Químicas, Universidad Nacional de Córdoba, Argentina Argentina

2. Bulgarian Academy, Institute of Solid State Physics Bulgaria

3. Technical University Kosice Slovakia

Parteneri internaționali în proiectele bilaterale de tip “institute-to-institute”: cercetari comune pentru teze de doctorat, propuneri de proiecte, lucrari stiintifice 1. Universita di Salerno Italia

2. Universita di Bologna Italia

3. Politecnico di Torino Italia

4. Institut Chisinau R. Moldova

RAPORTUL DE ACTIVITATE PENTRU ANUL 2013

Documents

Transcript of RAPORTUL DE ACTIVITATE PENTRU ANUL 2013