Nano Fabre View

21
Nanofabrication: Conventional and nonconventional methods Nanofabrication is playing an ever increasing role in science and technology on the nanometer scale and will soon allow us to build systems of the same complexity as found in nature. Conventional methods that emerged from microelectronics are now used for the fabrication of structures for integrated circuits, microelectro-mechanical systems, microoptics and microanalytical devices. Nonconventional or alternative ap- proaches have changed the way we pattern very fine structures and have brought about a new appreciation of simple and low-cost techniques. We present an overview of some of these methods, paying particular attention to those which enable large- scale production of lithographic patterns. We preface the review with a brief primer on lithography and pattern transfer concepts. After reviewing the various patterning tech- niques, we discuss some recent application issues in the fields of microelectronics, optoelectronics, magnetism as well as in biology and biochemistry. Keywords: Nanofabrication / Lithography / Biosystems / Review EL 4239 Review Yong Chen Anne PØpin Laboratoire de Microstructures et de MicroØlectronique (L2M), CNRS Bagneux, France Contents 1 Introduction ...................... 187 2 Preliminary concepts ................ 188 3 Conventional lithographic methods ....... 189 3.1 Electron beam lithography ............ 189 3.2 Focused ion beam lithography .......... 190 3.3 Optical projection lithography .......... 191 3.4 Extreme UV lithography .............. 191 3.5 X-ray lithography ................... 192 3.6 Electron and ion projection lithography .... 192 4 Nonconventional methods ............ 193 4.1 Nanoimprint lithography .............. 193 4.2 Soft-lithography .................... 194 4.3 Near-field optical lithography ........... 195 4.4 Proximity probe lithography ............ 195 4.5 Other lithographic methods ............ 196 4.6 Chemical and biological approaches ...... 196 5 Other nanofabrication issues ........... 197 5.1 Thin-film deposition ................. 197 5.2 Wet and dry etching techniques ......... 197 5.3 Micromachining .................... 198 6 Applications in information technology .... 199 6.1 Microelectronics ................... 199 6.2 Optoelectronics and optics ............ 199 6.3 Magnetism ....................... 200 7 Applications in biology ............... 200 7.1 Microfluidics and analysis systems ....... 200 7.2 Microarrays and gene chips ........... 201 7.3 Nano-MEMS ...................... 201 7.4 Nanobiochemistry .................. 201 7.5 Nanomaterials for biological applications . . . 202 7.6 Bioelectronics ..................... 202 8 Conclusions ...................... 202 9 References ....................... 202 1 Introduction Nanofabrication commonly refers to an ensemble of tech- nologies used to fabricate very small structures (at scales ranging from 1 to 100 nm) which can be integrated into complex hierarchic systems. Sophisticated lithographic methods have origins in the microelectronics world [1]. For several decades, the semiconductor industry has been able to maintain a continuous increase of the inte- gration rate with the number of transistors on a chip being doubled every 18 months [2]. Today, it is possible to inte- grate more than 100 million transistors on one square inch of a silicon wafer, which corresponds to a miniaturi- Correspondence: Dr. Yong Chen, Laboratoire de Microstruc- tures et de MicroØlectronique, CNRS, 196 Avenue Henri-RavØra, F-92225 Bagneux, France E-mail: [email protected] Fax: +33-1-4231-7378 Abbreviations: AFM, atomic force microscope; CMOS, comple- mentary metal oxide semiconductor field effect transistor; MEMS, microelectromechanical systems; PDMS, polydimethylsiloxane; PMMA, polymethylmethacrylate; SEM, scanning electron micro- graph Electrophoresis 2001, 22, 187±207 187 WILEY-VCH Verlag GmbH, 69451 Weinheim, 2001 0173-0835/01/0202-187 $17.50+.50/0 Miniaturization

Transcript of Nano Fabre View

Page 1: Nano Fabre View

�������������� ��� ������� �������� ������� ������

������������� �� � ����� �� ���� ��������� �� � �� ����� ��� ���� ��� �� ���������� �� � ��� �� ���� � �� �� � ��� � ������ �� �� ���� ��� ���� ������� �� ������ ���������� ������ �� ������� ���� ����� ������ ��� ������� ��� �� ��������� �� ������� ��� �������� ������ ����� ����������� ������� �������� ��� ������� ��� ������� ������������ �� � ������� ���������� ���� ������ �� ��� �� ����� ���� ���� ������� ��� ���� ���������� � ��� ���������� �� ���� � ��� ����� ��������� �� ������ �� ���������� ���� �� ���� ������� ������ ����� �� ������ � ���� ���� ���� � ������� � �������� �� ��������� ������� �� ������ �� ������ ��� � ����� ������ �� ��������� ��� ����� ������� ������ ���� ��������� �� ������� �������� ���������� �� ������ ���� ���� ��� ����� ������ �� �� ��� �� �� ����� ����������� ������� �������� �� �� �� �� ��� ��� ��� �����������

��������� ������������� � ��������� � !�������� � "����� # $%&'

�� ���

���� �������� �����

��������� �� (����������� �� (���) �������� * %(+���",!������� -����

������

. /�������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .01% 2�� ������� ����� � � � � � � � � � � � � � � � � .00& ���������� ��������� ������ � � � � � � � .0'&�. # ���� ���� ��������� � � � � � � � � � � � � .0'&�% -����� ��� ���� ��������� � � � � � � � � � � .'3&�& 4��� ���5���� ��������� � � � � � � � � � � .'.&�$ #����� 67 ��������� � � � � � � � � � � � � � � .'.&�8 9���� ��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .'%&�: # ���� ��� ��� ���5���� ��������� � � � � .'%$ ������������ ������ � � � � � � � � � � � � .'&$�. ���������� ��������� � � � � � � � � � � � � � � .'&$�% ,��� ��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .'$$�& �������� � ���� ��������� � � � � � � � � � � � .'8$�$ 2������� ����� ��������� � � � � � � � � � � � � .'8$�8 4��� ��������� ������ � � � � � � � � � � � � .':$�: ������ ��� ��� ���� ��������� � � � � � � .':8 4��� ������������� ������ � � � � � � � � � � � .'1

8�. ;������ � ��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � .'18�% �� ��� ��� ����� �������� � � � � � � � � � .'18�& (����������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .'0: ��� ������ �� ���������� ���� ��� � � � � .'':�. (���� ������ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .'':�% 4��� ������ ��� ���� � � � � � � � � � � � � .'':�& (������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � %331 ��� ������ �� ��� ��� � � � � � � � � � � � � � � � %331�. (���� ����� ��� ��� ���� ������ � � � � � � � %331�% (��������� ��� ���� ���� � � � � � � � � � � � %3.1�& �����(#(, � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � %3.1�$ �������������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � %3.1�8 ���������� � ��� ��� ���� ��� ������ � � � %3%1�: !��� ������ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � %3%0 ��� ������ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � %3%' "�������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � %3%

� ����� ���

������������� ����� � ������ � �� ������ � �� ����� ����� ���� � ������� ���� ��� ������� *� �� ��������� ���� . � .33 ��+ ���� �� �� �������� ������ �� �������� ������� ,��������� ��������������� ���� ������� �� �� ����� ������ ��� � <.=�-�� ������ ������� �� ���������� ������� ������� �� � � ������� � �������� ������� �� �� ���������� ��� ��� �� ������ �� ��������� �� � ��� ��������� �� ����� .0 ����� <%=� ;����� � �� ������ � � �������� ���� ��� .33 �� ��� ��������� �� ��� ��������� �� � �� ��� ������ ���� ���������� � � ���������

�������������� >�� ?��� ����� ��������� �� (����������� � �� (���) ��������� ��",� .': ������ @�����"��)���-�'%%%8 !������� -����!"����� ��������A %��������#�$� B&&�.�$%&.�1&10

����� ������� �#%� ���� ���� ��������C �%&'� ��� �������� ��� ����� ���������� ��� � ���� ��������C%!%'������ ���������� ������C �(%'� �� ������� �� �����C�%%�� �� ����� ������ ��C '!%� ������� � ���� ����������

������������ %33.� ��� .01D%31 .01

E �/ #?�7�@ 7�� �� F��@� :'$8. ��������� %33. 3.1&�30&8�3.�3%3%�.01 G.1�83B�83�3

%���� ��)����

Page 2: Nano Fabre View

H���� ��� �� ��I��� .33 �� ������� ��� ������������ ��� ��� �� ������ ;� ����� �� ����� �(4,*��� ������� ��� ����� ���������� ��� � ������������+ ���� ��� � �� ��������� �� &3 �� ����� ��� ��� ��������� �������� ��� ����� ������������������� <%� &=� !����� ��� ���� ������ ����� �� ��� �I� � �� ����� ��� � ���� �� � ����� ��������I��� � �� �� �� ��� � �� �� ������ � <&=�

������������� �� � �� � ���� ���� ������ ��� ����������� ��� ������� �������� (����� � ������������ ������� ��� ����� �� ��� �� �������� ���� ������ ������ ����� �� ���������� ���������� #�������� ���� ������ �� � �� ���� �� ���� ������ ��� ���� �� �� �� ������������� �������� �� ��H� ������� ���� ������ ��� ��� ���� ���� ��� ���� ����� ���� ����� ���� ��� �� ����� �������� ����� � ���� �������� ������� �� ��� ��������� <$D1=� ;�� �� ����� ����� ���� ������������� ���� ��� � ���� ��� ������� ����� ��� �������� � ���� �� ���� �� ���� �� ������� ��� ��� ��� ����������

;�� ������� ��������� ������ ���� �� �� ����������� ������� ���� ��� � ���� ���� ��������� ��� ���������� �� �������� ������ �� � �� �� ���I� ��� ������� ���5���� ��������� ��� �� ���������� �� �����I ������ � � ���� �������� ��� � ������� �������� ������ ����� ������� ��������� -�� ��� ������� �� ��� ���� ��� ���� ���� ���������� ��� ������� � ��� ����������� ��� �� ��H�� ����� ��� ����������� ��� ;�� ������ ��� ����������� �� ����� �������������� ��� ������ � � ����� ��� ������ ��� ���� ������� �� ��� ������ ��� � �� ���� ������������ ��� �� ����� ��������� �� ������� �� �� ��I�� ������� ��������� ������� �� ����� ��� ���������� ��� ������������ �������� �� �� �� ��� ���������� ����� ��������� 2���� ������� ����������� ����� � ��������� ������ ��� � ������ �� ���������� ������� -��� �� ��� ����� ����� �� ��� ���������� �� ���������� ���� ��� ��� ��������� ��� ����������

* ����������� �����

� ���� ��������� ������ ������ �� ���� ��������� ����J *�+ ����� � ������� ��� ��������������������� ���� ���� *�����+� *��+ �������� �� ����� ��� ����� ���� �� ��� ������ *���+ ���� ����� �� ����� �������� � ����� � ����� � #�������� �� �� ���� �� ������������ � ������ ���� ���� �� ���� ���� � �������������� �� �������� ������ � ���I ��� ���� � ��� ������� ,���� ���� ������� �� ���� ��� ���I ������������ ���� � ������� ���������� �� � ���� �� ���� �������� �������� ��� ������������ /������� ���

������ ��� �� ���� �� ��� � ��� ����������� 4��� ���5���� ��������� ��� ���� 67 ��� �� ��� ���� ��� ������� � ���������� �� ��� ��������� ������������������ ������� �������� ���� ���� ���� ������� ����� ������ 67 ���������� 9���� ��������� ������5���� ��������� ��� ����� � ����� �� ���� <%� 0�'=� ;���� ������� ������ � �������� � �� �������������� ��� ���� ��������� �� ���������� � � ���� � ������ ���� ����� �� �� �� �������� ����� ������������� /� ������ � ������ �� ��� ��� ������������� ��������� �������� ��� �� ����������� ���� ���������� �������� � ���� ��������� ��� � ������ ���������� ����� �������� ��� �� �� ��� ��� ���������� � <&=� /� ����� ��� ���� �������� �� �� �������� �� ��������� ������� ������ �� � �� � ������� ��������� � �� �� �� ��� �� (��� ������ ���� ���� �� ���� �� ��������� ���� �� �� ��������� � ��� �� ��������H���� �� ���� �� �� �� ��� ����� �I� �� ������� � ��I ������ � ���� ������������������� (�� ����� �� ����� � ����� ������ ����� ��� ��� ������ ����� ������ ��� ��� ������������� ��� �� ��������� �� ����� � ����� ������<.3� ..=�

���������� ��������� ��������� ���� �� �� ��������� �� �� ������ ���� ��� � �� �� �������� ����������� ��� �� ��� ��� ������� �� ���� �� �� ���� ������� ������ �� �� ����� �� ������� �� �� ��� ���;�� �������� �� �� ����� � ���������� �������� ���� ����� ������� �� �������� ��������� �� ������ ��������� �� ��������� ������� �� �� ������� ���� ��������� ���� ���� ������ ;�� ��� ��� ���� ���������� �� �� ����� ������� ���� �� ����� � �� �������*-��� .+� ;���� ��� � ������ �� ����� ������� ���������J �� ���� ����� �� ������ � �� �� ������ ���� ������ ����� �� �� �������� ������ ��� ������������ �� ���� ����� �� �� ����� �� ��������� ����� ������ <.%=� !�� �� ����� ����� ��� ���� ���� ����� �� �� ����� -�� � ��������� ���� ������������� ��� ����� �� ���� ����� �� ��� ���� �������� �

.00 ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

#�� �� �+ ,����� ������������ �� ��������� �������� ������� ���������

Page 3: Nano Fabre View

��� � ���� �� � ���I� ;��� ��� ���I �� ������� �� ������� ����� �� ���� ��������� � ��� ��� � ���� ���� ������ ���� ����� ����� ��� ��� ����� ���� �� ����� ������� � ���� �� � �� ��� ������� �� ��� ���� � ����� ��� �� ������� <.=�

-�� �� � ��� ���������� ��������� ��� ����� ���������� ���� ��� ��� ��� � ;� ������� ���������� ���� ���5���� ��������� �� ��������� �� � ���� ����� �� �������������� ������� �� ����� � ���� ��� ������ � ���� ��� ���� ������������� ;�� ������������ ��������� ��� �������� ��� ������� �� � �������� �����J ���� ����� ��������� ����� � ������ ����� �� � ������ ������ ���� @������� �� ���� �� ����� ���������� ���� �� ���� �� �������� ��������� ����������� ������������ ��� �� ��� ������� �������-�������� �� ���������� �������� ����� �� � �� ����� ����� ���� ���� (��� ����� �H�� ���� �� �������������� ��� � ��� �� ���� ���I� <.&D.8= ������� ������� ������ <.:� .1=� >�������� �� ������ ����� �� �������� ��� ��� �� �� �� ������������� �� ����� �� <.0D%3=� (�������� � ������ �� ���������� ��� ���I����� ��� ������� ����� ���� � ���������� ��� ������������� ���� ����� <%.D%&=�

, ��� ������� ���������� ������

,+� !����� ���� ����������

# ���� ���� *������+ ��������� �� ���� ��� ��������������� ���� � ���� � ��������������� ����� <.�%$=� / �� �� ������� ����� ��� ������������� �� �������� ���I ��� ������� ����� ������������ ;�� �������� ������� ��� �������� �� ����� � ��� ���� ��������� ������ �� �� ����� ������ ������ � ���� ������ ����� ������ �� � � ��� �� � ���� ���� ���������� ��� ���� ��� �� � ���� ����� � ���� ������ ��� ���� � ������� ;�� � ��� �� ���� �������� � �� � ���� ������ ������ ������ � ����� ��I�� ��� � �������� ��� ��� ���� �� ���� <%$=�;�� � ���� ����� �� �� ����� � ��������� ������� ����� ��� � ��������� >�������� �� �� ������� ������ ������ ������ �� �� ����� �� .D%33 I�7 ��� � �����H� ���� � � ��� ���������� ;�� ���� ����� ����� ������� ��� � ��H� ��� ��������� ������� � ������������ ������������ ;�� ���� � ������� �� ������� � ���� �� ��� � ���� ������������ ������I ������ � ���� ���� ����� �� �� ������� �� ����������� �� ��� � ����� ��� � ������ �� ������� ��� ���

;�� ���� ���� �� ������ ��������� ������� �� ������ ��H� ��� ������ ����� �� ��� � �� � ������� ���������� <%$� %8=� /� � ������ � ����� ������� ��� ��� � ������� ������� ��� ���� ��I��������

����� ����� ���� �� �������� ;�� ������� ����������� � ������� �� ����� ���� �������� ������� ����I�������� �� ������ ���� � ���� �� ��� *��������� �����+� >����� ��� ������� �� � ����� ��� ��������� � � ����� ����� ��������� � ����� �� ���������� ����� *�������� � �����+ ���� ��� ��������� � ����� ����� ������� -��� �� �� ���� ���������� ��I� �I�� ����� ���I �� �� ������� ��������� ��������������� � ��I������� ���� ;�� �������� � ����������� ����� ������ �� �� �� �����H����� �� ��������� ��I��� �� ���� ������� �� �� �� ���� ��� ���������� ��� �� ����� ��� ������� ���� ���� �������� ������� ;�� �������� ����� �� �� ������ ������ �������� ������ ���������� �������� /� ������ �� �� ������ � ����� *K. I�7+ ��� � ���� ����� ������������� ������ �� ���� ���� ��������� ������ �������������� �� ��� ����� ����� �� ������ ������� ��������� ���� � �� ����� ������ �������� �� ����� �������� � ����� �� �� ������� �� �� ���������� ������������� �� �� �������� ����� ����������

;�� ���� ���� �� � ���� ���� ��������� �� ������� �������� �� �� ������ ��� ��H� ��� �� ���������������� ����� �� �� � ������ ;�� ������ �� ��������� ����� �� �� ������� ������ ��H� ������� �� �������� ������ ������ � ���I � 83D.33 I�7 ������� ��� ��������� � ���� � ������ ����.33 �� ������� <%:=�,�� �� ������ ��H�� �� �� ������� ��� ���� ������� ���� �������� <%1=� -����� % ����� ������� � �������������� *,#(+ �� ������ ������� �� *�+ 83 I�7 ���*�+ %33 I�7 � ������ �� ���� �� ������ ��� ��������������� ��� ����� �� ,�4%� -����� & ����� �� ��������� �� �� ������ ���� � ������� �� *�+ 83 I�7 ���*�+ %33 I�7 � ������ �� �� ���� �� ������ ��� ������� ������ *83 �� �������+ �� � ���� ���� �� �� �*&3 �� �������+� �������� �� ;���� ������� ���� ��������� �� ���������� �� �� *-��� %+ ��� 9���� ���I�*-��� &+ ��� ���������� ����� ��� ������ *��� �� ��+�6���� ����� ��������� .3 �� <%0= ��� ����.3 �� �������� <%'� &3= �� �� ������� �� ����� �� ������ ���� �� ���� � �� ����� ���� ����� ��� �� ����� �������� �������� *-��� $+� (�������� � �� �� ������ � � ������� �������� ��� ���� � ����.3 �� �� � �� ��������� � ����� �������� <&3=�

# ���� ���� ��������� ��� � �� ���� ���� ��� �� ���� ��� <&.=� ����������������� ����� <&%=� ���������������� �� �������� ������ � *,�4%� � -&� ����+ ���� �� ��������! ���� �� �� �������� �� �� �� <&&�&$=� -��� �� ��������H�� � ���� ���� ������ �������� �������� �� �������������� @���� � ������ ����� ������� ���� � ������ �� ���� � � ���� � �������� ��� ��� � �������� ��� �� ���� �� �� �������� ���� ��� �� � ���� ���� ������ ����� ;�� �����

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� .0'

Page 4: Nano Fabre View

� �� �� ���� �� � ���� ����� �������� �� � �������� ��� �� ���� � ������ � ���� ��� �� ���� ������� � ����� � �� ������� ������ *. I�7+� �� ��5����� ���� ��� � ��� ��� ��� ��� ���� �������� ���������� �� ��� ����� ���� ���� ��������� ������� ����� � ������ ������� �� <&8D&1=�

,+* #� ��� ��� ���� ����������

-����� ��� ���� ��������� �� ��� ����� � ������ ��������� <&0� &'=� �� ���� ������ ����� ������ ��� �� � ������ ����� ������ �� �� ���������� ��� ������� ;�� ��� ����� �� ���� � ���� �� ������ ���� ���� ��� ����� ��� � F� ��� ����� �� /��������� � ���� �������� �� ���� �� �� ������� ��� � ��� ��� �� ���� -����� ��� ����� ������ �� ������� �� .3D%33 I�7� �� �� ���� ������� �� ������ ���� ���� ���� ������ � � ��� ������ ������ �� ������

��� ������ ��� �� �� � ����� ������ �� ����������� �� � ���������� �� ��������� �� ����� ������ �� ��I�������������� �������� ������ ������ ������ ������� � �� �� � ������ ;�� ��������� ����� �� ��� �� �� ��������� ����� 7��� ��� ���������� ��� ������ � �������� ��� ����� ����� /� ������

.'3 ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

#�� �� ,+ �������� ������� ��� 9���� ���������� *�+"����� ��� ���� ������ *83 �� �������+C *�+ � ����� ��� �� � *83 �� �������+�

#�� �� -+ ;���� ��� ��� � �I��� ����� ���� �� ������ �� � ��������� �� ��� ������ �� ��� � � ������� <&3=�

#�� �� *+ ,#( �� ������ �� �� ������� �� ������ ���������� ��� ������ ��� ����� �� ,�4%C ������� �����H� �� *�+ .%3 ��C *�+ $3 ��� �������� ��

Page 5: Nano Fabre View

��� ���� ��� �� @B� @�BB� �B ��� !�BB ��� ��� ������� ���������� ;�� ������I �� �� ������ ��� ���� ��������� �� �� ����� ������ ������ ��� � �� �� ���� ��� ���� ����� ������ �� . �� % ������ �� ����������� �� ��� �� �� �� � ���� ������ � ����� ��������� ������ � ���� �������� � �����

4� �� ���� ����� ������ ��� ����� ���� ������ � ���� ������� �� ��� ���� � �� �H�� ��� ������ �������������� ������������� ���� �� ������ �� �� ������������ ��������� <&0=� -����� 8 ���� ��� �� ������ �� �� ��� ���� ����������� ������� �� *�+ F������ *�+ � �� � ���� ���� � �� 83 �� ��I � -& �� F���<$3� $.=� � ���� ������ �� ���������� ���� ���� ���������� � ��������� �� ����� �� �� �� ���������� ����� ���� ��� 9���� ��I ���������� ������ ������� ���������� ������� ����� �� ���������� �������� ���� �� ����� �� � ����������� ��� ��� ����<$%=�

,+, &���� ���.���� ����������

4��� ���5���� ��������� �� ���� ��� ���� ���������� �������� ����� <$&� $$=� >��� 67 ��� �� ��� ��� ������� � ��������� ������ � ���I �������� � �������� ������ ��� ��� �������� ���� �� � ��������������� �� � � ��� �������� ������ ���5���� ���������� �� �� ���������� ������� ���I ��� � � ��� �������� ��� � ������������� ���� �� 8 �� : ��� � ������������� �������� ����� �� ���� 0 ��� �� ��� �������;�� ���� ���� �� ���� ���5���� ��������� �� ��������� �� "�� ���� ������� � L �.����� ����� � �� �� ����� ����� �� �� ������� ������� �� �� ���� ��������� �. �� ������� ���� ��������� �� �� ���� � �� ������������ ��������� /� ������ �� ����� ��������� � H��� ����� � ��� �. M3�8 <.� $$=� ;�� ���� ������� ��� L �%����%� �� �� ������� �������� ������� �� ������ ����� �� ���� ���������� � ������ �������� � ���� ���� ���� �� �� ��������������� �������� ����� � �� �� ��������� ,������������I� *����� �������������� ���� �������� �������+��������� � �������� ��� �� ������ ����� ����������� ���� �� ������� �� �������� ���� ���� �������� �� �� ���� ����� ��� �� ���������� �� �� ���� ����<%� $&� $$=� ;�� �������� ���5���� ������ ���I�� �������������� ��� �������� ���� ��� �������� ������&83� ��� $83 ��� ���� �� �������� ������ ��� ���� %$0 �� .'& �� �������� ������� �� I����� � ������*N�-+ �� ����� � ������ *��-+ ������ ������ �������� ��;�� ������� ������ ��� ����� ������ � �� .81 �� ��������� ������� �� -% ���� <$8=� -�� ��� ���� ���� ������� ����H ���� ��� �� ��� ��� �� ����� ��������� ���� ��� ���� ������ � ��� �� � ��� � ������ *��-%+���� � �� ���� ��� �� ��� ��� ���I ��������� <$8=�

4��� ������ �� ����� ���I ��������� ��� ������� ��������� ���� ���� ���� ������� ���� ��� ����� ��� � �� �����������������

,+- !$���� /0 ����������

#����� 67 ��������� ������ � �� �������� ����������� ���� ��� .&�$ �� �������� ��� � ��� ���� �������� ����� <$:=� -�� ��� �� ���� ���� ����� �� ��������� �� ������� ���� ����������� � ����� �� ���������� ��������� -�� ������� � �� �� ������� ��� ���������� 5� �� ����� ��� �� �� ����� �������� ���� ����� �� ���� ������ ��� �������� ��������� ;�����5���� ����� �� ������ ��� � $ � ������� ������� �� � �� �� ���� ��� �� �� � ���� ������� ��� ���� ���� ���I� ;�� �������� �� ���� ���5��� �� ����� ���� ���I ��� � ��� � �� ������� ���� �� �� ���������� ;���� � �� ������ ��� ������ ������ �������� �� ������ � ������� ��� ���� �� � ������� �� �������� ��� �� ��� �� ���� ��� �� � ����� �� ��������������� ���������� �� �� ������� �� ��� �����

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� .'.

#�� �� 1+ *�+ (���������� F��� �������� ��� *�+���� ���� �� � �� � ���� � -& *83 �� ��I+�F���� �������� �� ���� ������ ��� ���� ��������� <$3� $.=�

Page 6: Nano Fabre View

;�� �������� �� ������ 67 ��������� �� ��� �� �����5���� ����������� ��� �� ���� ������ �� ��� ������� ��������� ������������ -�������� �� .33 �� ������������ ��� 13 �� ��� ��� ���� ��� � ����� �������������� <$1=� /� ������ �� �� ��� ���� ���I� �������� ��� �� ���I ����� �� �� ���� ���� � �������� ������� ������ ��H� �������� �� ���� ���� �������� �� �� � ���� @������� ���� ��� �� ���� ����� ���� �� ����� � �� �������� �� ����� ���I ������H����� ��������� �� ���� �������� ���� � ����� ���� �� ����������� ������ ��� �� � ������� ��������� ��� ��� ������I ���� <%� $:=� /� ����� ��� ����������� �� �� ������ ��� �� �������� �� �� ���������� �� ��� ���� ���I� ��� � �� ������H�� ��� ������� ���� ��� 3�%8 ��� ;��� ��� � �� �� H��������� ��� ���� ��������� � ����� ������

,+1 2"��� ����������

-�� ��� �� ���� ����� ������� ���� 3�8 � $ �� *����9����+� �� ������ �� �� ���� ��� �� �������� �� ����5���� ����� �� � ������ ������� �� �� ����<$0D83=� � ���� 9���� ���I ������ �� % �� ��I ��������� �� �� ��� ������ ��� �������� ������� �� �������� � ��� �� ��� �� �� ;�� #�������� �� �� ���� � ����I�������� ������ �� K.3 �� ��� ��������� ��������� �� ����������� � ���� ������ ;�� ���� ���� ���������� 9���� ��������� �� ������� �� �� -����� ���������� ��� �� ��������� �� ����� ����� �� �� ������/�������� �� 9���� ���� ���� �������� �� �������������� �� �� ����� ����� �� �������� �� ��������� ����� �������� ������� �� �> L �� ��� � ����� �����I�������� ���� / ��� ���� ����� �� �� ����� ����� ������� �� �� ����� ������ �� *2((�+ �� ������ � � ��� ��������� <$'= ��� �� �� ���� �� ����������� � 3�: <8.=� #��������� �� 83 �� ���� ������������� � � ���� ��� �� 8 �� <8.=� ��� ����&3 ��������� ���� ������� � ��� �� ���� <8%=� -����� :����� ����� �� �� �� ��� ���� ����� ������ � ������� �����

;�� 9���� ��������� �� ���� � ����� ��� �������� ���<8&D88=� �� ���� ����� ������ ������ ����� ��� ���� ������� ��� �������� ���� �� �� �� ���I�� ������ ��� �� �� ���� �������� ������ ������ ��� ���I��I���� ��� �� �� ���� �� �� ���� ����� � �������,�� 9����� �� �� � �� ���� � ������ �� ���� � ��I������ @��� ���� ���� ������� ���� ��� �������� -������ 1 ����� ��� ����� � �� �� ��������� �� � .�& �������� ��� : �� ��I ������ ���� ��� �� �� ������������ ��������� �� 2((� ����� ������ � ���I�������� �� ������ �� ��� �� �� �� <8:=� >��� 9�����*�K3�. ��+ ��� ���� � ������ ��� ��I�� ����� ��������������� ��� �� /F� * ���������� � ��������

��� ��� �� ����+ ������ <81=� -����� 0 ����� ��� ������ � �� �� �������� .33 �� ��I 2((� ����� ���������

,+3 !����� ��� ��� ���.���� ����������

# ���� ��� ��� ���5���� ��������� �������� ������� �� � ���� ���5���� ���������� � �����������

.'% ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

#�� �� 3+ 2((� ����� ����� �� �� *�+ � %3 �� ���������� *�+ :3 �� ������� *���� ���� O.3+� ������� ���������� 9���� ����������

#�� �� 4+ ,����� ���� ���� ��������������� ���������� �������� ��������� ���� 9���� ����������

Page 7: Nano Fabre View

�������� ������ �� ������ � ���� ��� ���������������������� � ���� ������� �� �� � ���� ���5���� ���������� �� �� ���� �� ������� ��� ���� �� ����������5���� � ��������� ���������� �������� � �� ,� ��� <80=� � ������� � ����� � �� 2����� *���5����������� �������� ��� ������ � ���� ��������� �����+��� � �� ���� ����������� ������� �� 03 �� ���� ������� �� <8'=� !� ,� �� � ����������� � ����� *K.33 I�7+��� ���5��� ��� � ������� ������� �������� ������� � ������� ���I ��� �� ������� ������ ���I���� � ��� ������� �� � ��� ������ �� �� ������ � ����� �� � ��������� � ����� � ����������� ;�� ,� �� ���I ������ �� ����� ��� �������� *����+ ��� ����� ������� ��� � ���� ��� ,���������� ��� ���I �������� � �������� �� � ���������I �� �� ��� ����� ;�� �������� �� ,� �� �� ��� ���� $ � ����� ������� ���� ��� �� ���� ���I ���� ����� ;�� ���� �� �� �� �� ������� � ����� ���������� � ��� �� ������ ������ � ������ � ��������� ������� �������� �� �� ������ /� �������� �� ������������� �� ������ � ����� ����� ��� �� ���� �� ������ �� �� ������ ;��� ���� �� ������� ������� ������ ��� ��� �� ��� �� ���������

/�� ���5���� ��������� ���� �� ����� �������� ���� ��� ���� � �������� �� �� 13D.83 I�7 ����� <:3D:%=����� ���� ��� ���5��� ��� �� ����� ������ � ���� ���I ��� � ������ ����� ��� � $ � �������� ;����� ���� ���I ������ �� �� ��� ��������� ���� �� �%D& �� ��I �� ��� �������� �� ���� ���� ��� ����������� �� ���� ������ �� ��� ;�� ��� ����������I� ��� ������ � �������� ��� ������ � ��� � ������� � ������� ��� ����� �� ��� ������� � ����� �����.33 �� ���� ���� ��� ���� ���������� <:.=� ����� ��� ��� �� ����� ���������� ���� ������ ������������ ��� ������ ��������� �� ���� ���I� ������ ��� ������� /�� ���� ��������� �� � �� �� ���������

�� ��� ������ �������� ;�� ������� �� ���� �� � ��������� 9���� ��������� ���� �� ��� ����� ��� ���� ���I� ��� ��� ���� �� �������� ������

- ����� ������� ������

-+� ���������� ����������

���������� �� � ������������ ��� ����� ���������� ���� ���� ���� ����� ��� ����� <:&� :$=� � ����� �� ��� ���� � ������ � ������ � ����� �� ���� �������� �� � �������� ;�� ������ �� � �� �� ���� ����� �� ����� �� ��� ������� ������� �� � �� ��� ��������� ;�� ������ �� �� ���� �� ��� ���� � ���� ��������� �� 83 ��� �� �� ��������� ����� �� .33��D%33����������� �� �� �� ���� �� ���� ���� ���������� ������� ����� �� �� ���� �� ������ ��� ����� �� ������ ������ � ����� ����� � ��� �� ��������� ���� ������� ����� �������� ;�� �� � �� �� ������� ���� ��������� ������� ;�� ������ ��������� ��� 2((� ������ � .13�� ��� �� ����� ��I���� �� ���� �� ������� �� 83D%33 ��� ,������ �� ��� �� : �� �� ��� ������� <:$=� -�� 2((�� �� ���� �� �� �� �������� �� ������ �� �� ���� � �� ������ �� �������� �������� 4��� ���� �� �� ����� ��� �� �������� ���� ����� ,.038 <:8= ��� ��� � ���� ������������ ��� ��������������� �� ����� ���� ������ � ���� ������ ����������� /� ����� ��� �� ������� �� ����� ����� � ���� ����� �������� ��� 2((� ������ �� ������ ������ ���� <::=�

-������ ��� ���� ���� ����� �� �� ������� ����� ��� ���� �������� <:1=� ���� �� ����� �� ���� ����������� �� �� ���� ��� ��� ���������� � �� ���� � ����� ���� ����� �� �������� ������ ��� ����� ���4% ��� ,-: ������ !����� �� �� ���� ���� ����� ������ ��� ���� �������� ��� �� � ���� ���� ��� ��������� �� �� ��� ��� ��� ���� ������ ����� ��������;�� ���� ���������� ��������� �� ���� � ���� ������ ������ �� ���� ���� �� ���� ����������� ��� � ��������� ���������� ���� ���� ������ 2���� � ���������� �� � �� ����� �� ������� �� ��������� ������ ���������� 6�� ���� �� ���� �� �� ���� � ��������� �� �� ���� ���� ���� ;�� ��������� �� � ���������� ���� �� �� �� � �� � ������ ��I� (�������� ����� � ������ ������� �� �� �� ��� ��� ���� ���������� -�������� �� �� ��� � ��� ���� ������ ������ �� ��� � ������ �� ����� � ���� ����� �� ��� ��������� ���� ������� �� ����� F��� ���������� <:0=���������� �� ���H��� <:'=� ����������� ������ �������� <13� 1.=� �� ��� ��� ������ ��������� <1%=� F��������� ������ <1&=� ���� -����� ' ����� ,#( �������� *�+ � :3 �� ��� ������ �� ����� ��� *�+ � ������� -����� H��� � �� ������� �� � �� ���� ������ ��� �������

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� .'&

#�� �� 5+ @��� ���� ���� 2((� ������� ��������� ���� 9���� ���������

Page 8: Nano Fabre View

;���� ��� ������ �� ��� �������� ���� ���� ������������ �� ���� �� �� ������ /�5���� �� ����� ��� ������ �� �� ��� ���� � �� ��� ����� .33 �� ������� <1$�18=� (�� � �� �� ��� ��� ���������� ��� �� � ��5����� �� �� �������� �� ���� �������� � ��� �� �� � �� �������� ����� ����� ��� ��� ��������� �� ��� ��I���� �� � ���� ����� �� ���� �� � ����� ����� � ��������� <1:=� ���� � ����� �� ���� ��� �� � ���� ��� �������� �� �� �� � *M. ��+� �� � �������������� ������ �� �� �� ���� �� � ����� ������������� �� �� ������ �� �� �� ����� ;��� ������������� ���� ���� � ������ �� � ��� �������� ���������������� � �� ���������� � ������ �� ���������� ���� ���� <11� 10=�

-+* '��"����������

,��� ���������� �� ������� �������� �� ����� �� ����� �� �� � ������� ���� � ��I � �� �� ������� ����� �� � �� �� �� �� �� �������� � <1'D0%=� ,���� ���

������� �� ����� ��� ����� �� �� ������� �� �����*2>(,+ ������ � ����� ������� �� � ���� ���� ����������� ,� ����� �� ��� � �� ����� ��� ���� �� ��I� ����� � �������� <0&� 0$= ��� ����� ��� ����� ���*4;,+ �� � ���� ��� �� ��� �������� <08� 0:=� � �� ��� �� ������� ���� ���� �� ��I�� ���� �� �� ��� ����� �������� ���� ��� �� � �� �������� �� ���� ����*,�(+ �������� �� �� ����� ������� ���� ��� ������ �� � ���I ��� �� ������ ;�� ���� ���� �� ���� ���������� �� ����� �� �� �� � ������ ��H� ��� �� ���������� �� �� ��I �� �� �� ������ �� ��� �������� /������� �� 2>(, ����� ������� � ������� ��������H� �� K%33 ��� ,�� �� ������� �� �� ������� ������� ����� �� � ������ �������� ��� �� � ������ ������ ���� ������� �� ����� ��� ������ ������ �� ����������� *7>;+ ��� ���� ������� ������������ �� ������ ��� ����� *@(,+ �� ���� ������ <08� 0:=� ;������� � ���� ��� �� ������������ *�.:@&&,@+� ��� �� �� ��� ��� �� ���������� *�%3@$.,@+ �������� �� ������ �� �� �� ��������� <0:=�

� �� ���� ������� �� �� ��� ��� ��� �� ������ ���������� ����� ������� �� ����� ������ ��� ������ ������ ��� ��� ��� ������ <01� 00=� � 2((� ���� �� ������������� �� � ������� ������ �� � ���������� ;������ ���������� �� � ����� ������ �� � ���I ��� ������� ��� ����� �� 2((�� -��� �� �� ���� ��� 2((������ �� ���� ��� ������ �� ���� ���� ������ ������������� -����� .3 ����� ������ ������� �� *�+ ���� ���������� ���� �� ����� �� �� � ��� *�+ � �� ���� ������� �� ���� �� ������ �� $3 �� ��I ���

,��� ��������� ��� ���� ��� ��� � �� ��������� ����� � ���� ��������� <0'� '3=� ������ ������� <'.=��� ���� ������ <0.=� 2������� �� �������� ��� ��,�4%� � ���� ��� �� � �� ������ �� (��� ������ �� ,�(����� ���� �� ������ ��� ��������� ��� 67 ���� 9������

.'$ ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

#�� �� �6+ *�+ ,��� ����������������� 3�$ �� ��� ������� �� �� � ���� �� ����� ��� *�+ . �� ��� �� ������� ��� ���� � �� ���� ������ �� ���� �� �������

#�� �� 7+ (����� �� ����� �� *�+ :3 �� ������ ��� *�+9���� -����� H��� � �� �������� �� ���������� ��� �������

Page 9: Nano Fabre View

� ���� �� ��� ����� �������� ������� ��� ���������� ��������� ��� ��� ��������� �� � ����� ���� <0.=� ,��� �� ������������ �� �� ������ ������������ �� �� ���� ��� ������ ���� -��� �� ��� ���� ������ ��� �� ��������� �� ������ ���� � <'%=� !���� �� �� ��� �� 2>(,����� ��� �� ��� ������ �� ���� ������� ���� ��������� ��� �� �� ���� �� ��� ����� <'&=� ������������� ���� <'$= ��� ��� �� �� ���� <'8= ���� ���� ����� /������ ��� �� ���� �� ������ �� ���� ��� ������� ������� ��� ����� �� 67����� � �� ���� ������ ��� ������� 2>(, ������ 2� ���� ��������� <':=�� �H�� ��������� ������� <'1=� ��������� ������������������ �� <'0=� ��������� ����� ������������ <''=���� ����������� ����� ������� <.33= ���� ���� ��������� �� ����������� ����� ���

-+, ����"����� ����� ����������

�������� � ���� ��������� �� ������� ���� ��������� ���� ��� �������� ;�� ����� � ���� ��� �������� �� ��������� ��� � ���I ���� �� ������� �� ���������� �� ��I � ��� � ���� -�� ���� ���� ����������� ���� � � ��� �������� ���I ��� ����� ���� ��� ����� /� ������ ��� �� �� ������ � ������ �� ������ ����� �� ��� ���I ��� ����� ������ �� ��������� ����� ������ �� ��� -�� �������� �� ��������� ������� �� ����� �� ���� L ��*� B +� ����� � �� �� ������ �� �� ����� ���� ��I����� ;��� ����� ���� � �������� ������ ��H� �� �� ����� �� . ��� /� ���������� ������� �� 3�: �� ���� ������� � <.3.=� ��� ������67 -% ������ ���� ��� � �� ���� ����� ��I �� ��������� � ������� �� 3�.8 �� ��� ���� �������<.3%=�

��������� � ���I� �� �������� �� �� ���� � ����� ����� ���� 4�� �� ���� �� � ��� � ��� � �� � ������I ��� �� ��� � ����� �������� ����� <.3&=�(��� ���� �� � �������� � ������������ ���� ���I������ ��� � �� ���� ����� ��I �� �� ������� ���%33 �� �����67 �������� ��� ���� � ��� ��� .33 ��������� <.3$=� ��� ���� � � ���� � �� ����� ���I� ����� 2>(,� � �������� � ��� �� �� ���� � �������� � 2>(, ����� ���I *�� ��� ����� ����� ���������+� ��� ����� �� .33 �� ������� �� � �� ����������� � ���� ���� <.38� .3:=� ���� �� ������ �������� �� ��� � 2>(, ���I ��� ������ ��� � ��� �� � ����� � �� ���I ������ � ������� ��� ���I� �� ���� ��� �� ���������� � ������ �� �� ������� ���� �� ��I����� ������ �� ������� <.31=� 2���� ��� ����� ���.33 �� ������� ������ ��H� �� � �� ������� ��� ��� ���� � ��I ����� ���� ��� %8: �� ��� �������������� ���� ���I� ���� � �� ���� ���� ,�� �������������� ���� �� �� � ��� ����� �� ����� �� .$3 �� ������������� ��� � ��������� ��� ����� *&:8D:33 ��+<.30=�

,��� �� �� �������� � ���� ��������� ��� ���� ��������� �� ��������� �� �����H����� /� ��� ������ ������ �� �� � �� �� ������� ��� � ��� ���� � ���������� ��� 67 ��� �� ���� ��� ������ �����H���� <.3'=����� ������ �� ����� ������� �� �� ������� ���� ��������� � ��� �� �� �� � �� ���� � ������� �� �� �����������I ����������� ��� �������� � ���� � ���� ������ ����� ����� � �� ��������� �� �� �� �� @������ �� ������� �� �� �� � ��� ���� ��� � ��� ���� ����������� ���� �� �������� � ��� �� ��� �� � ������� ���� ��� ������ � ��� �������� -������ ����� �� 83 �� �� � �� ������� �� ������� � �� �������� �� �� � ���� ����� P����� �Q <..3=�

-+- ���$���� ����� ����������

2������ ����� ��������� ������ � � ��� ��� �� ������� ���������� ��������� ����� �� ����� ����������� ��� �������� *,;(+� ���� ���� ��������*�-(+� �� ������� �������� � ���� �������� *,�4(+<...D..$=� � ���� �������� ��� �� � ����� ����� ��� ��� �� �� ��� �������� �� �� ���� � ������ ��� �������I ��� ��� ������ ���� ����� ;���� ��� ���������� �� �� ��� �� ���� � ������ �� ���� ��� ,;(������� ���� ������ ��� ��� ���� � ������ ������� ������� �� �� �-( ��� ����� -�� ,�4(������ � ���� ��� ����� �� � ����� ���� ������ �� ����� ��� ��� �� ������ ���� �����

� ���� �������� �� ������ ���������� ��������� ���� ���� ��� �� �������� ����� ���������� /� ,;( ����������� ���� ����� �� ��� ��� �������� ��� ���� ����������� ������� �� ���� ������ /� �-( ���������� ���� �H�� �-( �� �� �� ���� ��� ����� �� �� ����������� � ����� �� ���� ��������� ����� ��������� ��� �����H����� ��� �������� ����������� ���������� ������ ������ �� �� �� �������� ����������� <..$=�/�������� ���� �� �� �� �� �� � �� �� ���� ��� ������������� <..8� ..:=� ������ ��������� � ��� �� ��� ����� � ��� P���� ����Q�

/�� �������� �� �� ����� �������� �� ��� �������������� ��� ������� ��������� � ������ �� ,������� ���� ��� <..1=� ��� � ��� �H�� �-( ��� �������� �� �� @���������� ,�������� �� �� ������ ������H�� �� ���� � ��� � ���� ����� ���� ����� � ������ ���� ����� ������ ��� � ��� ���� ����� ��I���� ���� � ����� ���I ��� �� ���� ������ -��� �� ���-( �� �� �� ���� �� � ��� � � � �� �� �� ��I ����� �������� ��� ���� � ������ <..0� ..'=� -�� ������������� ��������� ���� ������� ������ ��� ������� ���� ������ � ���� � ���� � ������� -�������� ������� ������ �������� �� � 83 ��� ���� ���� ���� ����������� <.%3=� �� ���� ��� ���� �� �� � ��� ���� � � ��������� �� ������� � �� �������

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� .'8

Page 10: Nano Fabre View

-+1 &��� ���������� ������

� ������ �� � ������� ������ �� �� ���� ��� �� ��������� �� ���� ���� �� ������� -�� ����� �� �� �������� ��������� ������� ������� ������� �� � ����� � ������ ;���� �� �� ���� ������� ����� ���� ���� ������� ��������� ��� ������� �� �� ���� � �������� ��� �� �� ���� ����� ��� ��� ��������� ������ �������� ��� ���� 67 ���� ������� �� ������� ������ %33 �� ���� ������� ���� ���� ������ ����� ���� �� � ���� ����� ������ <.%.=� (��� ����� ��������� �� ������� ����� �� ������� �������������������� ��� �������� ������ � ��� ��� �� ������ ����� �� �� ��������� ������ �� � ����� ������ ����� !������ �� %33 �� ������ ����� ������� ��� ����� �� .33�� ������ ������� �� � �� ������� <.%.� .%%=� (������� �� �� ������������ ������� ��� ���� ���� ������ ��� ����� ���� �� ����� �� ����� � ������������������� �����I� <.%&� .%$=�

��� ���� ��������� �� ������ ����� � �� �� ��� ������ ������� ������ ���� � ������ ��� ���� �������� �� ���� �� ��� ���� �� ���� ������� ����5�� ����� � �������� �� ���� ���� � �������� ����� ��� � ������� ����� ���� � � ����� ������������ ���� ���� ������� ������ �������� � ���� ��� ������������� �� �� ������� <.%8� .%:=� ����� ����� ����� ������ ���� ���� ��������� �� � �� �� ���������� � ���I <.%1=�

/� ������ ���� ������� ��������� �� � ���� � �������� ��� ���� �������� �� � ���������� �� � ��� ������� ���� ����� 4��� I���� �� ������ ������������ �� ����������� �� �����H���� <.%0= �� ����� ������������ <.%'= ���� � �� ���� ����������� ;�� ����� ���� �� �� ���� ������� ��������� �� ����� �� ���������� <.&3=� /� � ���� ���� �� ������ ��� � ���� �������� �� ���� �� �������� ����� ��������� �� �� ���������� <.&.� .&%=� (�������� �� ������� �� ����� �� ���� �� -����� H��� � ��� *-R2+ ����� 67 ��� ��������������� � ������ �� �� ���� <.&&=� �� -R2 �� ����� � ���������� ������ �������� �� ������ H���� ��� ��������� ���� ����� ��������� ���� � H���� �� ��� ��������� � � �� ��� ����� ;�� ���� ���� �� �� -R2�������� ��� ��� �� ��������� �� �� ��� �� H������� �� �� -R2� 2���� �� � ��������� �� �� ����� ���� ���� ����������� �� �� ���� � ������� ��������� ��� ����� <.&&=� � ���� �� ������� ��� � �� ���� ��������� ��� 9������ �� ���� �� �� ���� ����������� ������ ���� � �� ���� � ��� ��������� 9���� ���� ���� �� ��� �� �������� � ������� ���� � ���� ������� <.&$=� ;�� ���� ����������� �� ��� ������� ������� ���� ��� ��������� ��������� ����� ��������� ���� ���� � ������� �� ������� �� �� ���� � ������ � ���� �������� ���� <.&8=�

��� ���� ���� ������ ������� ���� ��������� ���� ���� �� �� �� ���� �� ��� ������������ ��� ������� � �I� �� ����� � ���� ������� ��� ��� � <.&:� .&1=���� ���� ��� ��� � ������ � �� � �� �� ������� ��� ������ ���� ��������� >��� ������ ��� � ��������H� ���� � � ������� �� �� �� ������� <.&0=� -��� ����� ��� ��� � ���� � �������� �������� �� ������ ��� � ���� � ��� �� 5� ��� ������� ������ ������ ����� ��� ���� � ����� ����� �� � ������ �� ����� ��� ������ � �� � ����� ��� � ���I����� �� ��� �������� ���������� ��� ��������������� ���������� <.&'� .$3=�

-+3 ������� ��� ��������� ���������

�������� ������� ���� �� ���������� �������� ��������� �� ����� ��� ��� ���� ��������� �� ���� ���� �������� ��� ��� �� ��������H����� ;�� �������� ������ �������� �� � ��� �H� ������ ���������������� ������ � ����� ��� ��� �� ��� S�� ����T������� ��������� �� ���� �� �������� � �I�� � ���� ������ �� �������� ������ � �� �� ���� ��� ���������������� ��� � ���� ������ ���� -�� ����� �� �������� �� ���������� ��, ��� ��,� �������� � �� ��� ������� ����� � ��� ������ ��H� ����������<.$.=� 4��� �������� � ��� �� R�4� ;�4% ��� ������,� �� �� ���� � �� �������� �������� � ����� ��� ���� ��������� �� ������ �� �� I ���� ��� �����������<.$%=� !����� �� ���� ���� ��� ��H��� ���� � �������������� ��� ���� ��������� ���� ��� ����������� �������� � �� �� ���� �� � ������� ��� ���� ��� � <.$&� .$$=� ������ ����� � �� �� ���� �� ������������� �������� ���� � ���� �� �� �� ���� �� ��������� � �� ��� ���� (��� ���� ������� ���I� ���� ��������� �� ��������������� ������ ���� ����� ����� �� ��� ��� ���� �� ������������ ��� ���� ���� ����� ��� �� ���� ��� � �� ���� ��� ���������� � <.$8D.$'=� ���� � �� � �� ������ � � ���� ������ �� ������ �� � ���� ���� � ��� �� �� � �������� 67 ��� <.83=� (��� ������ ��� ����� �� ��������� �� �� �� ����� �� ��� ����� �� ��� ������������� ���� �� ����� �� �� �� �� ������ ����� ���������� <.$%=� ������ ����� � �� �� �� ��������H������� �� ����������� �� � ������� �������� !� �� ��� � ���� ������ <.8.=� /��� ������ ��� ���� �������� �� ��������� � ������ �� /��� ���� ���� �� �F��� �������� �� ���� �� ������ F��� ���� <.8%=�(�� � ������ ���� �� ���� � �� ������� �� ���������� � �� �� ���� �� � �������� ��� ����� �� �� *...+ 2������� <.8&=�

������ �������� ��� ��� ������ ������ � ���������� ���� � <.8$� .88=� ;�� � ����� ��������� ������ ��� ��� �� �� � ������ ���� ����� �� � �����

.': ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

Page 11: Nano Fabre View

��������� ���� �� �� ���� ��� ����� ����� ������<.8:= �� �� �� �� ������� <.81=� 4��� ������ ���������� �� ����� �������� ��� � �� ��������� �������� ���� ���� �������� ���� �� ������ ������� �������� ����� ;�� �� ���� �� � ������� ��� ��� ����������� �� � ���� �� � ��� ������� ���� 4��������������� ������ �� �� ������� �� ����������� ��� �� �� ���� � ������ ��������� ! �I ��� ������� ��� ����� �� ���� ���� � ���� �������� ������� ����� �� ������ ���� �� ������� �� �� <.80=� (������� �� ������� �� �� �����I� �� � �� ����� ����������� � ���� �� ������� ��������������� �������<.8'=� -�������� �� ���� ������ ������ ��������������� ��� �� ��������� �� ��������� �� �� �� ��������� ��� ������� ��������� �� �� �� �� ��� �������� �� �� ������ � <.:3D.:$=� (��� ���������� ������ ������ � ����� �� �������� ��� ��� ��������� �� �����H���� �� ���� ������ ����� ������������ <.:8=� -�� ����� �� ��� ������� �� ���� ���� ���� ��� �� �������� �� ������� �������� �� ������ ��� �� �� � >�� ������� ��� �� �� ����������� �� ������� ������ �� ���������� �� � ��� �������� �"�� ������� <.::=�

;�� ��������� �� ������� ������ ��� ���� � �I� ����� ������ ��� � �� �� ���� �� ������ ��� ��� ��������� �������� ������� ��� �� ����� ����� ��� �� ��� ���� ��������� ��������� <.:1=� !���� ���� �� ������� �� �������� ��� <.:0=� ������ ���������� �������� ��� �� ���� ���������� ��I�5� �������� ��� ��� ����� ���� ���� ���� � ���� ���������� � ������H�� ������� <.:'=� ;�� �� ���� ������� ��������� � ��� � ��� ������ ������ ����������������� �� � �� �� ���� � ��I �������� ��� ����� �I� <.13=�

1 &��� ������������� ��� ��

���������� ��������� ������ ���� �� ������������ ����� �� ������� �� ���I� ��� ��������� ������ ���������� ,� ���� ������ ������� ��� ��� ������ ��������� �� ��� �� ��������� <.%=� ,�������������� � ��� ��� ��� ������ � ��� ����� � ���� ������� ������� 4��� ������ � ��� �� �� ������� ������ ������� ������ ��� ������������ ������� � ��� ��� ���� �� �������������� ,� ��� ������������ ������ ��� �������� �� ��� ������

1+� 8���"���� ���������

!���� �� ������ � ��������� �� ������� ��� ����������� �� �������� ������ ����������� ����� ����������� ����������� � ��������� ����� �� ����� �������� � �� ������ ��� ��� ��������� ���������� <.=�

6��� � �� ���� ��� �� �� ��� �������� �� �����������(�� � ��� �� �� �� �� ������� �� ����� �������������� �� �� U�� � ���� �� � ��������� ������������������ �������� �� � ���� ����� >�� ��� �������� ����� �� ��� �� ����� ����� ������� ����� ��������������� �� �� �� ���� ������� ��������� � �������� ���� /� ����� ��� ����� �������� �� �� ��� ��� �� ���� �� � �� �� ��� �������� ���� �� ���� �� �� ��� ����� ��� �����

(� � ����� �� � ������� ��� *,�� ����+ ��� ����� *��(����+ � ����� �� �� ������� ��� ������ 67 ��� 9���� ��� ����� /� ���������� ������� �� ����������� ///D7� //D7/� ��� /7D/7 �������� ���� � �� ������������������� ��� �� ������ �� � ��� ������ ����� <.1.= ���� ��� ��� ���� � ���� ��� ����� � ���������� ��� ���� ����� ������ * ���� ������� ���� ����� ��� �������+� (��� ���� �� �� � ����� �� � �������� ������ *-�� ��� ����+ ��� ��������� *��� 2� ���� %4&� ����+ ��� � �� ��I��� � ��� ��������� �� ������� ���� ��� ������ ����� ������ � ��� ����������������� �������� <.1%=� -����� ��� ������ �� ������������������ �� ������� ��� ������� ��� ����������������� <.1&� .1$=� ���� ������� ��� ������� �� ��������� ��� ��� �� �� ����� ������� ���������-�� ��������� ���� ���������� ������ �� � ��� ��� � ���� �� ���� ���� � ������ ��� ����� ���I�� ;����� �� �� � ������ �� ������ �� ����� ����� �� ��� � ������������ ��� ����� ������ �

1+* 9� ��� ��� ����� ����: ��

�� ����� ����� �� ���� ���� ��� ������� �� ���������� ����� ��������� ;�� ����� ���������� ������ ����I �� ������� ����� �� �������H�� �� ����� ���������� ����� ����������� ��� ����� ��������� ���� <.13=� �� ����� ���� ��� ���� ����J �� ������������� �� ������ � �� ������ �������� �� ����� ������ � �� ������ ��� �� ����������� �� �� ������� ���� ���� �� ������� ;�� ����� �������� ������� ����� ���� �� ������ �� ��� ������� ��� �� ���������� �� �� ����� �� ���� <.� .18� .1:=� /� �������� �� �� �� �������� ����� �� ����� ��� �� ������ �� � ��������� � ���� � ������� �� �� ��� ������� ������ �� ��� � �� �� ���� �� N4@ ��� ����� ���� ������������������ � �� ������� �������� ����������� ;���� �� �� ����� ��� �� 3�: ������ �� ��*.33+�� ���� 3�. �� �� �� *..3+�� ��� ��� 3�33: �� ���� *...+�� ���� ;��� �� �� ��������� �� ������������ �� *...+�� ��� �� ���� ��� � ��I�� ��� �� ����� ����� ;�� �� ��� �������� �� ���� � ���� ��� ������������� ��� ��5�� �� ��� ��������� �� �� ��������� �������� �������

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� .'1

Page 12: Nano Fabre View

>�� ����� �� �H�� � ���� �� ������� ���� �� � ���������� ������ � <.11� .10=� /�� ���� ����� */!#+� �������� �� �� ���� � � �������� ����� ������� �� �������� ��� �5��� ���� � �� �� ���� �� � ���� �� �������������� /!# �� �� ��� ��� � � ���� ����� �������� � �� �� ���� ��� �� ������ ������ ��� ������������ �� �� ���� ������ �� �� ����� ������� ���I� ��� ������� ��� ����� � /!# ���� ���� ����� ������ �� �������� � �� ������ ��� ���� ����� *"/!#+��� ����� ������� �������� ����� *��/!#+� "������ ��� ����� �� ����� �� ���� ������ �������� �� ������ � � ����� ������ ������ ��� � ���� �� �������� ���� ��� 4�� �� ������ ���� �� ������ ����� ����������� ��� �� ������� ������ ������ �� ���� ���������������������� � ���� �� ��� ��� � ���� ������� ��� ������� #���� ���� �� � ����� ������������ �� ������� ��� ���� �� ����� � ������� ���� � ����� ��� ���� ������ � ��� ������ ���� ���� �� � ������� ������� ;�� ��� ����� ���������� ����� ����� �� � ������ �� �����J �� ���� ����� ��������� ��� ����� �� ������ ���I ��������� ������������ ��� ����

2���� �� ������ � �� ��� � �� ���� � �� ������ �������� ��� ������� �� ���� ��� ��������� �� � ����� ��� ���� ����������� �� �� ������ -�� �� ������� �� ���� �� ��������� ��� ��� ����� ��� ���� ���� �� ,-:� �@-& 4% ��� ������� ��� ����� � �����-����� .. ����� ����� �� �� ������ �������� ,�4%

�������� -�� ������� ����������� ��� �� F����F��� /�2� ����� � ������ ����� �� � ��$�@% ��� �������� �� ����� ,����� ���� �� ����� ������ ��� �������� � ���� �� �� ;��� ����� �� �� ���� � � ���*����� ��� �����+� �� �������������� *"-+ ����������������� ���� ����� � ����� ����� ��� � ���� �� ���� ������ � ��� �������� ��� ���� ��� ��������� ��� ���� ������� /� �������� ��� ����� *(/#+ �������� ������ ��� � �� ��� ��� ��� � ���� ���������� /�� ���� � ���� �������� *#�"+ ������� ����� ����� �� ��������� � � ���� �������� ������� ����� � �������� �� ���� ��� � ���� ����������-��� �� �� ������� � ��� �� � ���� */�2+ ������ ����������� � ����� ��� �������� ��� �� ������� �� ����� �������� �� �����H�� ����� ����� ��� ��������� ���� �����������

1+, %�����������

������ ������ ��� ������ � �� ��������� �� ���� ������� ����������� ������ *(#(,+ <.1'D.0.=�;�� ��� ������� � ����� �� (#(, ����� �� ���������H�� �������� ��� ������ ������� ���� � �� ��� �H���� ����������� ����� ��� ���� �������� ��� ������������ ��� � ������� ���������� ��� ����� �� ��

���� �� �� ������� � � ���� ��� �� ��� ����� ����������� ;�� � ������ ������ ���� �� ���� � ������ ������ �� ������� ��� �� �� � ��� <.03=� 7������������� �������� ��� �� ���������� ����������� ����������� ��� ������ ��� �� �� ��������� �� ���� �������� (����������� �������� �������� � ���� �� �� ��������� �� �� ��������� ��I 5������� ������ ������ �� ����� � ������� ��� � �� ���5����� ���� ���� ��� ������ ��� ���� ���� �������� #�������� � �� ���� ������ � �� ��������� �� ���������������������� ��� ����� ���� � ������

;�� ��������� �� (#(, ����� � ���� ��� �� I �� ������� ��������� !� I �������� ������� ������������� ����� ���� � ��� �� �� I ������ ��� �� ���� ����� �� ��� <.0%=� !�� �� ����� ����� �� ��������� ����� �� �� ��� ��� � ����� ��������� ������������ ��� � ��������� ����� ;�� �������� �� �� I�������� �� �� � � ��� �� ��������� �� ���� ��������� �� ��� �� �������� ���� ���� ������ ,������������� ������� �� �� ���� ��� ����� � ������� ��� �� ��� ��� �� � �� � �������� ���� �� �� ��� ����������� �������� �� �� I �� ��� <.0&=� (��� ��� �� ��������� �� ����� �� � ���� ������������ �� �� �������� �� ������� ������ ��� ���� ��� ��� �� ������ ����� �� �� ��������� ,� ���� � ����� ��� ��� ��� �� �������� 4����� �I� � ������ ����H ��� ��������� �� ������� ����� �� �� ������� �� ����� ���� ���� ��� � ����� ��� �� ���� ������ 2� ����� ���� �� ��� �� ������� ��5���� �� ���� �� ���� ����������� /F� ������ �� �� ���� ��� � ������� � ��������� <.0$D.0:=�

# ������� �� � �� �� ���� �� (#(, ����� ������� �� �������I� ;�� 2>(, ����� ��� I���� ��� ���� ���������� ���� ������� �� ������� ��� �� ������� �� ��

.'0 ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

#�� �� ��+ #��� �� ��� ������� ������� �� &3 �� ������� ��� $83 �� ��I�����

Page 13: Nano Fabre View

������� ������ ��� ���� �� ������� (�������� ������ ���� � ��������� ��� ������� � ��������� ������ ��I�� �� 2>(, ������� ���� ������ ����� ���� � �I� ��� ��������� ��������� 2��������� ������ <.01=� ������ ��� ��������� ���� ������������ ������ ����� ������ ��� �� ������ <.00=� ����� ���� ���� ��� ���� �� ������ <.0'= ���� ���������/� ���� ������� �� ���� ���� � ����� ��� � �I� ��2>(, ��� � �� ��� �� � ������ ��������� ������ �� ����������� (������ ������������������� �� �� ������� ���� ��� �� �� ���� ���� ��� �� ��� ������������� �� ������� -�������� �� ��� �� ��� <.'3= ���� �� ���� �������� 4��� ��� ������ �� ��� ������������� ���I� ��� �������� � ���� <.38=� ��� ��������������� ��������� <.'.=�

-�� ��� ���� ��� ������� ����� �� ������ ��� � ������ � ����� ���� ��� �� ���� ��� ��H�� ������ ����������� �� ��� � �� �� ������� �� ������������ (������������ ��� ��������� ��� ��� ���� � �������� ����� �� ��� ���� ���� "����I�� � ������ ��� � �������� � � ��� ��� �� ����� ������ �� ���� ���� ��� ���� ���� ���������� � ���� ��������� ��� ��� ���� ��� ����� � ������ �� � ��� ���� � �����J���������� ���������� ������ ��� ��� �������<.'%� .'&=� 4�� ��� � �� �� ��� ������� ������ ����� ��� ���������� ������� ��������� ��� ���������� �� �� ���� ��� <.'$=� (��������� ��� ������ ��� ��� ����� �� � ������� � ���������� ���H��� ��� �� ������������ ��������� ,���� ������� ��� ��� ���� ������ ��������� �� � �� �� ����� (����� ���� ������� ������ �� �� ��� �H�� ����� �� ����� ��������� ���� ��� ���� *� ������+ ��� ����� ��� ��� ���������� -��� �� ����������� ��� ���������� ��������H��� ������� � ������������ � �������� ���� ������� # �������� ������ ������ ������ ������ ������ �� � �� �� �� �����

3 ���������� �� ���������� ��������

/��������� ��������� �� ����� �� � ����� ������������ ���������� ��� ������ ��� ������� ;���������� �� ���� ������ ��� �� ������� ������ ������������ �������� ��� �� ������ ������ #���� ���� ������ �� �� ���������� ����� �������� ��� � ����� ���� ������������� ��� ������ ���� ������ !������ �� �� ������� ����� �� ������ ���� ���������� ���� ����� ������ � ���� � ���� �� ������ � �������� � ������ ���� �� �� �� ������ ���� ���� �� ���� ��� ��� ��� ���� ����� ������������� ������� ��� /� ��� ������ �� ��� ������������ �� ������������� �� ���������� ���� ��� ������������

3+� %�����������

(���� ������ ��� ���� ���� ���� ����� �� �� ������� ���� ,��� ���� ������ �� ���������� �� � ������ ������� ��� ���� �������� ���� � �� ���������� �� ��H� �� ���� �������� / �� ������� �� �� �������� ������ ��H�� �� � ���� ��� ���� ����������� ����� ������ ���� ������� ������������� ������ �� �� ��� ������������ �������� ����� �� ���������� � �� �� ���� ��� �� �� ����� �(4,���� ��� �� �� ������� � ��� � � 83 �� ���������� �� �� ���� %3.% <%� .'%D.'1=� ��� ������������ �� ������� � ���� � ��������� ��� ���������������� �������� �����I� �� ������ � ������ ��������� �(4, ����� ��� /� �� ������ ������� ����� ����� �� �H����� � ���� ���������� ���������� �� ���� �I���� ������� ���� ��� ��� ���� ����� �� ������ ��� ��� ��������� <&� .'0� .''=� ;�� ��������������� ��� ��� �������� �� ���� ��� ���� ���������� *,#;+ <%33D%3%=� ������� ���� ��� ������ *";>�+<%3&� %3$=� ��� ���� ������ <%38� %3:=� � ������� ��������� ������ ��� ������� ����� �����I �������� ��� � �� ����� ����������� <%31D%.3=� (� �� ��� ������ �� �� � � ��� ������� ���� �� ��� ���������������� ����������� ������ �� �� ���� ������ � (�� �� �� �������� ��� ����� �� ��� ���� � ���� ������������ ��� ��� �� ���� ��� ������ � ����� <.:3�%..� %.%=� ;�� �� ���� ��������� ���� ����� ��������� �� �������� ������ �� �� ���� � ��� ��� ��(4, ���� ��� ��� ������ ������� ������� ����� ���� ������� ��������� �� �� ���� ��� �� �� ��� ������� / �� ��� �� � �� ���� ���� �� ��������� ������� �� ���� �� ������ ��� ������������ ���� �� �� �� ������ �� ������ �������� �� ������

3+* &���������� ��� ����

4��� ���������� �� ���� ��� ������ ��� ��� ������� ��� ����������� ������ �� �� � ���� �������� ��� �� ���� ���� ���������� ����������!������ ���� ������� �� ��� ������� �������� ������� ���������� ��� ���� ����� ��� ���� ������� ��� �� ���� ������� ����������� ���� ������� �� ������ ��� ���� �� ������ /� ������� � �� ������� ��� ���������� ����������� ���� ����������� �� � �� �� �������� ��� ������������� �� ���������������� ��������� / �� I���� �� �� ����������� �� ��������� ���� ������ �� �� �������� ������� ������ ����� ��� ��� <%.&=�

,��������� �������� � �� �� �� ������ ������ ��� � �� �� ��������� �� �� ��� ���� � �I� �� ������� ����� ������� (��� ������ �� ������ � ������������ �� ��� ���� ��� � ����� ����� �� ��� �

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� .''

Page 14: Nano Fabre View

������� ����������� �� �� � ���� ����� ��������� <%.&=� -�� ����� �� ������ ���� ��� �������<%.&D%.:= �� �� �������� ��� �������� � �� � ���� �� ���������� ��������� ������ ��������� � ��� �� ��� ��H��� �� ���� �� ������ �� ��� ���������� �����<%.&=� /� �������� �� ���������� ��������� ����� ���� �������� ���� ���� ������ ���� ��� �� � �� �� �� ��� �H�� ������ �� /� ����� ��� ��� � �� ���� �������� ���������� ;�� ���� ����� �� ��� ������������� ��������� � ������ �� �� �� ��� ��������������� �� ��� �� ����� ��������� -��� �� ���� ���������� ������ ��� �� ���� ���I� ��� ���������� �������� ��> ������� ������ � �������� *;-;+� �>�� ���� �� � ���� ���� �� ���� � �� ������ ���� �� �������������� ���� ������ <%.1=� ������������� ����� ��� �� ��� � � I�� ��� �� ���������� �� ������� ������� ��� �� ��� �������� �� ��� ���� ������������ ;��� ����� �� � �� ���� ������������ ���������� ������ ��� �� ���� ��������� ��� ������ ����� �� ��� ����� ��� �� ��������� �� � ���� � ��� ������

3+, %�������

(����������� �� �� ���� ����� ��� ����������� ���������� / �� ������� �� �� �� ��H� �� �� �������� ��� �� ���� ���� . � 3�. �� ��� ��� �� ������ �� ������ ������ !�� �� ������ ������ *���� ���I� ������������ ����� ��� ���I�+ ��� �� �������� ���� �� �� �������� ����� �� ��� ���� ������ /� ����� ���� ����� �� � ������ �� ���� �� ������� ��� �� �� ����� �� � �� ���� ��� � ��� ������� ���� ���������� �������� ��� ������� ��� ������ <%.0D%%.=� "�������� ����� ����� �� ���� ��������������� ��� ������ ��� ��� ���� ��� ���� ���I ��������� 2������������ �������� ��� ������ ��� � ���� �������������������� /� ���� � � ���� � ������ ��� ���� ���� ����� ������ �� ������ ������ ���� ��������*("�(+� ����

4 ���������� �� �������

;�� ��������� ���� ������ ����� � ���� ���� ��� ������ ������ ��� (#(,� ��� ��� ��������� �� �������� ��� ��� �������� �������� �������� � �� ��������� � ����� ������� �� ��������� �� ����� ������ ���� ������� �� �������� ������ �� �� ���� ������� �� ��������� �� � ����� ��� ����� �� 4� �� ��������� �� ������� �� ��H�� ��� �� �� ���� �� ���������H�� ��������� ��� �� S ������������T �� ��� ������ ����������� �� ����������� ��������� ������ ;���� ��� � �� ���� � �� ��� ��� �������� ��� �������� ��� �� ��������� ��� ���� ��������� ���������� �� ������� ��� ��������� ;�� ������� �������� �� ��� � �� � �� �� ����� ����� �������������� ���� ��� ��� �� �������� ��� ���� ������� �����

;�� ������� �������� �� ������������� ��� �� ��� � �� �� ��� ��� �� ��� �� ��H� �� � ���� � *K.3 ��+� ��� ����� ����� ������� ��������������� �� ������������ ��� � ����� ���� �� �� � ���� ������� ���� <$D1=� /���������� ��� ������ �� ���� ������� �� ����� ������ �� ��� ���� ���������� �� �� ������ ����������� � ������ (�������� �� ������������ �� �� �� ��� � ���� ��������� �� �� ���������;�� ��������� �� ������������� � ��� ��� ����� ����� ����� �� ��� ������� /� ��� ������ �� ������ ��� ����� �� �� ���� ������������� ��� � ������ ���� ������� ��������� �� �� ����� � �������������� ��������

4+� %����� ���� ��� �������� ������

(���� ����� �� � ��������� ������� ���� ���� ���� ��� ��� � ������� ����� ��� ��� ���� ��� ����� ���� ������ ��� ����� ������ � �� ���� ����� ����������� �������� ��� � ��� ��5����� �������� ����� �� �� ����� �� ���� �� ��� �������� ������� ����������������� ��� ������� ;�� ����� ��������� ���� ����� �� �� ���� �� ��������H�� �� ��� ���� ������*�;�,+ �� ��� ���� � �� ���������� ���� � �� �� �� ��������� ��I�� � ���� ������ �� ������� ����������� ������ �� ��� � ��� ���� ����� ��� ������ �������� <$� 8= ��� ������ �������� ��� ���� ��� �� � �������� ��� ������ *�� ����� ��� ��� (������ ;����� ������ F����� !�������� �������� ����+� �;�, ��������� ���� � �������� �� �� ���� � ��� �� � ���� ������� ������� � ���� ������ �� �������� �� ��������� � � ���� � ��� ������� � ������ ,��� ������� ����� �� � ������ ���� �� ��� �� ��������������/������� ��������� ������� ��� ������� ��� �� ���� ��� � ������������ ��� ������������ ��� ������������� ������� ��� ����� �������� �����

;�� ���� ����� �� �;�, �������� � ��� � ����� ���<%%%=� ,��� ���� �� ���� ����� �� ��������������� ��� � ����������� ��� ������� ��������� ������<%%&=� "��� �� ��H���������� ��������� �� ��� >���� �� �� �� � ����� ���� ����� ����� �������� �� ������� �� ������ ���� ��� ������� <%%$=� ;��� �������� �������� ����� ������� ���� ��������� ��� ������ �� �� ��� � ���� � ������� ���� ��� ��� �� *18D.33 ��+ ������� �� � &3 �� ���� ����� ����� ���� � � �� ��� ������� � � �� � �������� �������� ������������ 2������� �� ������ �� � ����������� ���������� � ��� �� ����� �� ���� �� ����� � ���� ��������� ���� �� ��� >�� �� �� ��� ��� ��� ����������������� ��� ���� ���������� ��� ���� ����� <%%8=���� ��� ����������� ��� ������ ��� ��� ����� ��� �� ���� ������� �� ��H� �� �� �� ��� ���� � ��

%33 ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

Page 15: Nano Fabre View

������� � ������ � ������� ��������� �� ����� ��������� �� ���� �� ������ ������� ������ � ��� ���������� ��� ������� � ������������

;�� ���� �� ������������ �� � ��������������� ���������� �� ����� ��� ������������ ������� �� �������� ��������� ��� ������ ��������� �� ������� ��� ������� ���� ��� ��������� ��� ������� � ���� ����� �������� �� � �������� � �� ���� ���� � ���� ������� -�� ����� �� ���������� �� � ��������� ��� �� ��������� � �������� ������� ������������ ��� ���� � ��������� ��� �� �� � �� ���� ���������� ������� ����� ������ � �� �������� ��� ������� ���� <%%:=� ,������������ �� ������� ����������� ��� ������� ��������� ������ ���� � ������ ��������� <%%1= �� ���� ���������� ������������ (�� �� ���� ������ ��� ��� ������ �� �� ������� ��� � � ������� ��� ��� �� ��������� ������ �� �������� � �� �I ���

/� ���� � � ��� ������������ �� �� ��� �� �� � ������ �� ��� �� �� � � ������ �� ���� � ����� ,�������� ��������� ��� ������� �� � ��� ��� �� ����� �� ������������H�� ����������� � ������ <%%0=� ,����� ����� ��� ��� �� ������� ��� ������������� ��� ���������� � �� ������ ��� ��� �������� �� ��� ��� ������ ������ <%%'= ��� �� ��� ���� � ������ ����������� ��� �� ���� �� �� ��� ���� �� ����� �� ��� ����������� ;�� ����������� ����� ��� ������ ������ ������������ ������ �� �������� � ��� �� ����� � ����� �� � ��� ���� ��� �� � �� ���� ���������� ;�� ��� �� ���������� � ������� �������� ����� ������������� �� �������I�� ��������� � �� � �� �� ���������� �� ������������ ��� �� ��������� �� ����� ��� ����

4� ������ �� � ���� �������� ������������ ���������� ������ ������ ������ ��� ������� - ��������� �� �� ���� ���� �� ���� �� ��� ����� ��� ���������� ��� �������H����� ��� ��� �������� ������� � �������� ������ ��� � �� � ������� ���� �� �� ���� ��� ������ /�������� ��� ���� ������ �� ���� ������ �������� ��� ���������������� ��������� ���� ��� ���� �� ������ ���� � ������� ��7��� ���� �� � ����� ������������� ���� ����� ������ �� ����� � � ����� � �������� ���� ���� ���������� �� �������� ��� �� ���� <%&3=� 4��� �������������� ������ ��� �� ����������� � �������������� ��� �������� ����� ���� ������ ����������� ����� �� �� ��� ����� ��� � �� ��������� <%&.=�-��� �� � �������� ��� ��������� ��� �� ����� � ��� �>������ �������� ����� ������ �� � � �� ���� ���� ����������� �� ������������� ��� ��� ������ ���� ������� �� �� �������� �� �����������

4+* %��������� ��� ���� ����

4�� �� �� ���� ���������� �� �������� ����� ���� ��� �� �� ����� �� ���� ����� �� ���� ����� �����>�� ��������� ���� ��� ����� ������� ��� ����<%&%=� ;���� ������������� ������ �� ��� ������� � *��� �� �� ����� �� .33 � .33 ��+� ��� ��������� � �������� �� �� ����� I���� >�� ��������� ��������������� �� ����� �� ��� ������� ��� ����� ��� ���� � ��� �� � �� �� �������� ��� ��� ��� ���� ������H��� ��� ��� ������ �� ��������� �� ����� ���������� ���� ������ ��� ���� ���� � ������ �� �������� �������� ��� ��� ������� �H��� ���� ���� *����������� �������� 2�I��� /��������� ,������ (���� ������+� F���� �� ������ ������ �� � ��� ��� ������������ ������������ �� �� ���� ����� ������ ������� ����H�� �� �� ������ � � � �� ������ ����� ��� �������������� �������� �I� ���� ��������� ��� � ��������� ������� ����� ������ ��� �� ���� �������� ��� ����� � ����� ������ �� ������ ��� ��� ������������� � �������H���� ��� ����� �� ������������ !����� �� �� ������ � � �� ������ �� ������ �� ���� ���������� �� �� ������� �� ����� �� �������� �� ����� ����� ��� � ������ �� ������� ������ ��� ��� ������� �� � ��� <.$.D.$:=� /� ����� ��� ���� �������������� �� ������� �� �� �� �������� ��� ���� � ������� �� <%&&=�

4+, ����"%!%'

������ ���� ����� ���������� �������� ��� ���� ������ �� ��� ��� ����� �� ������ ���������� ��������� ����� � �� ����������� ��������� �� �� ������� �H���� �� ������������ �� ��� ��� ����� �������� �H�� ��� � �� ���� �� ����� �� �� �� ����� � ��������� �� �� ��������� <%&$=� ,����� �� ������������������ �� �� �� �� ����� �� ������ ��������� ����5� ����� � ����� ���� �� ������ ���������� <%&8=�!�������� � ��� ���� � ���������� ��� �� ���� ���������� ��� �� ����� ������ �� �� �������� �������������� ����������� ��� ���������� �� � �������� ����� ���� � �� ������ � ��� ����� �� ����� ��� ������� <%&:=� /� ������ ����� �������� ��� ���� �� �������� �� � ���� � �� ������� ������ � ���������������� �������� �� ��� ���� ��������� ��� �� � ���������� ��������� ����� <%&1=�

4+- ��������������

�������������� �� ��� ��� �� ���� ������� �� �������������� � ��� ���� ��������� ��� ���������������� ��� ���������� ������� ��� ����������2� ������� ���� ������ *2�"+ ��� ������� �� �����

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� %3.

Page 16: Nano Fabre View

�������� ������� � ��� ���� � ������� <%&0=� ,��������������� �� � ��� �� ���H�� ��� � ��� ������������� �������� ��� ����� ���� ������

4+1 ������������ ��� ��������� ����������

� ���� ����� �� � �� ����� ������� � �� ����������� ������������ �� ������ � �������� ��� �������� ���� ���� ����� � ��� ��� ���� ��������� ��� ����� � ��������� �� ��� ������J ��������� ����� ������ ��� �������� ������������� ����������� ���� �� �� ����� �������� �� ������ �������� �� �� � �� ���� ��� ��� ����������� �� ���� >�� �� �� �� <%&'=� ,������� � �������� �� �� � �� ����� � ������� >�������� <%$3= �� �� ���� ��� ������� �� ��� ���� � ����� ��������� (��� ���I��� �� �� ���� ���� ������������ �� ���� ���������� �� ���� ���� ����� �� ���������� �� I� ��������H�� >�� ������� ��� ���� ���� ����� ������� ������ �� � ��������� �� ��� �-(�� <%$.=� ;�� ��� �� �� ����� �� ��� ������� �� �-(��� � ������ � �� ����������� � ����� ����� ��� ��������

4+3 ;����������

-��� �� �� ��������� �� ��� ��� � ������������� ������� � ������ �� � ������ � �������� ��� �� ,��� ������ ������ ��� �� �� �� � ������ ��� ������������ ������� ������ ���� �� ������ ��� � ������������� ���������� 2�������� ���� � ���� ���� �������� ���� � ��� >�� �� �� ��� �� ����� �� �� >������ ��� ������ � ��� � ����� ������ �� � �������� �� ��� ���� <%$%=� ������ �� ����� ������ ����� �� ���� ���� ���� � ������� �� �� �� �� ����� ���� ���� ������� �������� ������ ����� ������� ������ ������� ��� ��� ���� �� �� �� ��� ����� ����������� ��� ������� �� ����� ������ �� �� �����H����� ������ � ������� � ������ � �������� ��� �� �H���� ������� � � ����� ������ /� �� ���� �� �������� ����� ���� �� �� ������� �� �� ������ � ���� ������������ �� ��������� �� �� �� ����� ������ �� � ������ ��� �� ����� �� �� ������ <%$&=� ������ ������ � �� �� ���� ������ ��� ��� ��� � ������ �� �� ����� ���������� ��� ������ ��������� � ����� � ���������� ������ >�� �������H���� <%$$=�

5 ���� �����

�� ���� ������ � ������ ���� �� �� ����� ������ �������������� ;�� ������ ���� ��� �� ����� ��������� ���� ���� �� ����� �� ��� ��������� �� �� ���� � �������� ��������� ��� � ������ �� ������������� ������� 4��� ��������� ������ ���� � �� ��������� � ��������� / ������� �� � ��������� ������

�������� ��� ����� �� ���� ��� ����� ��� ������� ;������������ ������� �� ������ � ��� ���� ���5����� ��������� ��� ��� �� ���� �(4, �����������;���� ��� �� �� ��� ��������� ����������� �� ����� ���� � �� � ���� ������ �� �(4, ���� ������������ -� ����� ���� ������ ������ �� �� �� �� ��� �� ������� �� ��� �I� � �� ���� ���� ����� �� ������������ ���� ����� ��� �� �� � �� �� �� �� �� �������� ��� ��� �� ��������H����� /� ���� � � �������������� �������� �� �� ���� ��� �� ���� ���� ���������� ������� ��������

/��������� ��������� ��� ��� ���� ���������� ����� �� ���������� ����� �� �� ������� �������� /� ������ ��� �� �� ����� �� ��������� ������� �� ������������ �������� � ���� �� ������������� �� ����� ������������� ����� � ��� ����� ��������� ��� ������������� �� ����� ������ �� � ��� �� � ������ �����9����� �� ���� ������������ ������ �������� ������ ��� ������� �� �� ���� �� ���� �� � ����� �������� ���� ������������ ������ ���� ���� ������������ ��� ����������� ����������� ��� �� �� �� �������� 4�� ���� � �I� ��� �� �� ����� �� ��������� �� � �������� ��������� ��� ���� ������������� � ������� ���� ���� �������� �� ����� � ������������ ������� ����� >�� � �� �� ���� ����� ��������������� ��� �� �� ����� ���� ����� �� ������� ������ ����� � ��� �� ������ � � ���� �� ��� ���� ��������� ������� ��� � �� ���� �� �� ��� �������� ������ ��� ��� ����� �� �� ������� �������� ���� �� ���� �� �� ���� ���� ��5������ ��������� ��� ��� � �� �������� ��� ��� ������ �� ��� ������� �����

"������ ����� .� %333

7 ���������

<.= ,H�� ,� (�� ������������� ������� !�� ��� "�����#��!� U��� �� ��� ��� ?��I .'08�

<%= ;�� ������ ;���� ��� "������ ��� ,���������/������ ���������� .'''�

<&= ;�� ;���� ��� "������ ��� ����� ������� #������������������ .'''�

<$= ��������� �$ %���� "���� ����!� �!��� &''(� N ���������� 2�� ������� >������ .''0�

<8= ��������� �$ %���� "���� ����!� �!��� �)))� N ���������� 2�� ������� >������ %333�

<:= @��� @� ��� U� ���I�� � ��� ���������� @� F� *#���+� ����#$�*�������� ��� +��!���� ,���������� %������� ������� ����������� ��� +�����!� ��������� 6������� 2�������������� .'':�

<1= (��H� ��� !�I��� @� *#���+� %����!��� "�������! ��-�����! ��� .�$� �������� ,������� >��I�� #������ ����������� !�� �� .'''�

%3% ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

Page 17: Nano Fabre View

<0= �������� U�� /� 0��� ���� "������ .''1� +&1� %.3'D%...�

<'= ������ #� U�� "� ,�������� !��� ��� ?��I .'''� U����.0D%.�

<.3= "���� (� ��� ;���� U� (�� ���� ����� %333� /���� :0D18�

<..= (�� ����� ��� ������ %333� 2)1� :&3D1&%�

<.%= ,���� @� /�� ���������� @� F�� !�� "���! .''3� ��*�%$D&3�

<.&= ;���� F� *#��+� ������������!� ,��������7�� ��� ���?��I .''0�

<.$= ;�������� �� *#��+� ������������!� ,��������� ������#��� �!��� $�� 3����#�������� ��� 3����$��� �������4����� 6�������� 2����� 4����� .''1�

<.8= "������������� 2� *#��+� 4���*��� �$ %������������! %����$�*�������� ��� %����!���� 7� � .� % ,2#/ 2�������������� .''1�

<.:= 7������ 2�� ,������ 6�� N���� >� 2� *#��+� ����������#��!� ����� ����� �� %������������� ���� .'':� 5��*.D$+�

<.1= ���������#����� ������� 6 "�������!� ����� ����� �� ��������� �$ �� ,��� .'':� �� 08�

<.0= !� � 2�� �������� �� %�������� ������ 2������ 6��������� 2����� 2������� ��� U����� .''$�

<.'= !� � 2�� %��� �� %������ 2������ 6�������� 2�����2������� ��� U����� .''$�

<%3= "����� #� >�� ����� !���� 2����� ����� .''8�

<%.= ,� +�� ,������������ -��$������ �� ��������� ,�� ��� ���� +��� "�������! ��� ����$�*��������� �� � ���� ���� �� �� 6,��

<%%= %�� ,������������ -��$������ �� %���� ��� ����$�*����#����� �� � ��� � ���� �� #������

<%&= %�- ,������������ -��$������ �� %���������� ���������������!� �� � ��� � ���� �� �����

<%$= (����� (� ��� "��I�� (� U�� ��J "������������� 2� *#��+�4���*��� �$ %������������! %����$�*�������� ��� %����#!���� ,2#/ 2����� ��������� .''1� ��� .&'D%83�

<%8= ������ ;� @� 2�� N���� >� 2�� N�������� #�� ��� N� ?�� ���� @� #�� (����� (� ��� "������ ,�� 7 �������I�� ?��,+% /� ��� �������� .'00� 5�� $:%D$'%�

<%:= ����� ?�� ������� -�� "��������� -�� ������� @�� /���/� ����� !� .''$� 55� :'%&D:'%1�

<%1= ������� -�� 7���� ��� ����� ��� ����� ?�� ������� @��%������������� ��������� %333� �� ������

<%0= ���������� @� F�� @������ "� #�� U�I� � � >�� (��I������� 2� (�� ����� !� .���� .'0&� 2�� &0$.D&0$&�

<%'= ����� ��� ������ @�� ����� !� .���� .''&� 7�� .$''D.83&C /� 0��� ���� "������ .''&� +&&� %8.'D%8%%�

<&3= ����� ?�� 7���� ��� ������� @�� -������� %����� !�.''0� 7� %%D&3�

<&.= !������ �� ��� ������ U� U�� @������ U�� (� H��� ��� �������H� "� !�� 2������H� (�� ��J ,������� U� (� *#��+ ����#���� %�������!� 7� � ///� (�������� ,���� �� �������;����� .'10� ��� &$&D&8$�

<&%= !������ �� ��� ;����� �� #�� "��� "�� %������������� ����#����� .'0'� &(89&')�

<&&= � ��� >� "�� !������ �� ��� ����� !� .���� .''3� 18�%%1.D%%1$�

<&$= N���� ,� �� U�� -���I� �� ��� ?�� ��� ?� @�� #������ ;��� ��� >� "�� 2����� "� -� ��� !�������� "�� /� 0��� ����"������ .'0'� +8� .1$8D.183�

<&8= ������ ;� @� 2�� (����� � 2�� ,������ 6�� N���� >� 2�� /���/� ����� !� .''%� 5&� $%&%D$%$3�

<&:= ������ ;� @� 2�� ;������� (� F� "�� ?�� (� ��N�������� #�� N��� @� ,�� ��� N� ?�� "������ ,� ��� R� ���������� ,��%������������� ��������� .'':� 5�� ..&D.&3�

<&1= ,����H�� ��� ,���� N�� -�5������ (�� /��� /� ����� !�.''8� 52� ::0'D::'&�

<&0= (� ���� ��� U�� (���� �� �� ��� !���� /// /� �� (�������� "��/� 0��� ���� "������ .'0'� +&7� '%1D'81�

<&'= F���� N�� %������������� ��������� .'':� 5�� .8'D.1.�

<$3= F����I� U�� 7���� ��� ,�������� (�� ������� @�� !���������� F�� ,������ ��� /� 0��� ���� "������ .''1� +&1�%&1&D%&10�

<$.= F����I� U�� 7���� ��� ,������ ��� ����� ,�� %���� !���� .''' �2�8� '.D'0�

<$%= ������ "� @�� /����� � I �������� � �� �, +� �)))-��$������� 2� � ,������ ��� 6,��

<$&= !������ (� U� ��J ;�������� � -�� �� ���� F� F�� !������� (� U� *#���+� ,����������� �� %������������!� ������� ������ ,����� ���������� >� .''$� ��� .'D.&0�

<$$= �������� @� U�� ���� �� �� @�� .''1� ��J "������������� 2�*#��+� 4���*��� �$ %������������! %����$�*�������� ���%����!���� ,2#/ 2����� ��������� .''1 ��� .3D.&0�

<$8= ! �������� ;� (�� "����� �� (�� N��H� "� "�� @����� >�#�� F������� "� !�� 2� ���� ,� ;�� /� 0��� ���� "������.''0� +&7� &.8$D&.81�

<$:= F���� �� ��� ,� ��� "�� ,������� >�� ������ >��/� 0��� ���� "������ .''0� +&7� &.$%D&.$'�

<$1= ������� �� F� -�� @��������� �� ��� F� ������ U� #� (��(����� 2� U� ,�� ����� U�� @���� ,� >�� /� 0��� ���� "��#���� .'''� +&8� %'13D%'1$�

<$0= ,����� >� �� ,���� @� /�� ��������� .���� .'1%� (� .3%�

<$'= ,���� @� /�� ,��������� (� �� @���� ,� >�� -������� U��(���� #� #�� ?���� /� ?�� !��I����� (�� %���������������������� .'0:� 5�� .$&D.80�

<83= �������� -�� .''1� ��J "������������� 2� *#��+� 4���*����$ %������������! %����$�*�������� ��� %����!����,2#/ 2����� ��������� .''1 ��� %8&D&.'�

<8.= ����� ?�� N��I�� "�� "��������� -�� ������� -�� >�������� >�� "���� (�� ������� @�� /� 0��� ���� "������.''$� +&�� &'8'D&':$�

<8%= ,����� F�� @�������F����� �� (�� !�������� U�� >�������>�� ����� ?�� "��������� -�� �������� @�� /� 0��� ����"������ .''1� +&1� %$0'D%$'$�

<8&= 7���������� "�� ,������ >�� !����� ��� !�� �� ;�� 2��������� ��� 2��� �� N�� ! ������ 2�� ���� �� 2�� ��� ������� U�� ������� U�� 2�� � >�� /� 0��� ���� "������ .''&�+&&� %'.3D%'.:�

<8$= >������ N�� (������� N�� 4��� (�� (������ ;�� /� 0������� "������ .'':� +&2� $%'$D$&3%�

<88= ,� ������� U� 2�� /� 0��� ���� "������ .''0� +&7�&.&1D&.$.�

<8:= ������� ��� ��� ��I��� ��� >������� >�� �����H� U� (������� ?�� ����� !� .���� %333� 88� 113D11%�

<81= #���� �� ��� ,����� ��� /� 0��� ���� "������ .'00� +&7�&8%:D&8&$�

<80= @������ � "�� /� 0��� ���� "������ .''1� +&1� %.&3D%.&8�

<8'= 2�������� @� ��� >�� ��� � "� ,�� F� ����� ,� >�� >�����,� N�� F������ (� ,�� F������ ;� "�� N���� � "� ��� ������

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� %3&

Page 18: Nano Fabre View

���� U� #�� 2���� 2� -�� 2��I���� >� U�� V��I �� "� U��"�������� �� -�� "�I����� U� >�� ,������ U� U�� ,�I� � ���;���� ��� #� 7�� ;������� ��� ?�������� ;�� 4I����� N��,�H�I�� N�� 4I���� ;�� N����� ,�� (����� N�� ,�H�I�� ,� ���,����H�� @�� N�5���� ,�� 7���� � F�� ����I� �� ;��,����� >� 2�� ,������ (�� /� 0��� ���� "������ .'''�+&8� %0$3D%0$:�

<:3= (� ���� ��� U�� (���� �� �� ��� !���� ///� /� �� (�������� "��/� 0��� ���� "������ .''0� +&7� '%1D'81�

<:.= !�������� �� @�� ;��I ��� (�� ����� N� ��� ��� ?�� �� � ����� (� >�� �������� @�� ,��� � F�� -� ����� ���2���I�� -�� ,��� � F�� "���� ��� /� ��� @���I� 2��%������������� ��������� .'''� 27� $11D$03�

<:%= ������ F�� N��������� "�� ������� @�� ,��� � F�� /� 0������� "������ .''0� +&7� &.83D&.8&C /� 0��� ���� "������.'''� +&8� &3'.D&3'1�

<:&= ����� ,� ?�� N������ 2� "�� "������� 2� U�� ����� !�.���� .''8� 87� &..$D&..:�

<:$= ����� ,� ?�� N������ 2� "�� R����� ��� F��� �� R����� ��/� 0��� ���� "������ .''1� +&1� %0'1D%'3$�

<:8= ����� ��� ����� ?�� ������� -�� ������ � #�� (����� ���������� �� ������� @�� %������������� ��������� %333�15� .18D.10�

<::= ����� ��� ����� ?�� ������ � #�� (����� �� %��:�)))�U���� F�������

<:1= ����� ��� ����� ?�� !�������� U�� ������� -�� ������ ��������� �� ������� @�� %������������� ��������� .'''�27� &.'D&%&�

<:0= ?�� R�� ,��� ��I�� ,� U�� ����� ,� ?�� ����� !� .����.'''� 72� %&0.D%&0&�

<:'= ����� U�� ,��� ��I�� ,� U�� ����� ,� ?�� /� 0��� ���� "��#���� .'''� +&8� %'81D%':3�

<13= ��� ��� ���� !�� ,��� 9�� R����� ��� R������ �� N���� ������� ,� ?�� /� 0��� ���� "������ .''0� +&8� &0%8D&0%'�

<1.= ����� ?�� ����� ��� �� ,�� 2)���� ��� � /#����� !�%333� �� ������

<1%= F��� �� N������ 2�� ����� ,� ?�� ����� !� .���� .''1�8&� .00.D.00&�

<1&= (������ /�� #����� >�� N���� (�� �������� �� -��� � ���N���� U�� ����� !� .����� %333� 88� %%&1D%%&'�

<1$= (������� >�� ;������ ,�� %������������� ��������� .'00�2&;2�� %..D%.8�

<18= #��� ���� (�� 2�� ���I�� F�� 7� ������ @� ��� ����<�-��� ,��� ��� ����� .'0'� �(� .$$8D.$:3�

<1:= F� �� (� ;��%������������� ��������� .''1� 52� &%.D&&'�

<11= ����� ,� ?�� R������ �� F��� �� ����� !� .���� .'''�81� .33$D.33:�

<10= ����� ,� ?�� R������ �� /� 0��� ���� "������ .'''� +&8�&.'1D&%3%�

<1'= ���������� F� (�� (������ U� 2�� ,��� �� ;�� �������.''.� �12� .&.%D.&.'�

<03= 9��� ?�� ���������� F� (�� ����<� -��� ,��� ��� .''0�58� 883D818�

<0.= �� ���� U� U�� ���������� F� (�� ��J ;���� F� *#��+� ����#��������!� ,��������7�� ��� ��� ?��I .''0� ���&&.D&:'�

<0%= 9��� ?�� R���� 9�� ���������� F� (�� %������������� ����#����� .'':� 5�� %88D%:0�

<0&= U���� 2� (�� F��������� @� F�� ����� !� .���� .'':� 7(�.3%%D.3%$�

<0$= /����� ��� /������ ;�� ����� ��� ��H����� ��� ;�I����� @������� !� .���� .''0� 85� .'1:D.'10�

<08= ,����� @�� (��� � !�� %������������ %333� 55�&3$%D&3$'�

<0:= !�����I� @� ��� ������ �� !�� >� ������� #�� (��� � !��,+% /� ��� �������� .''1� 2&� .8'D.:1�

<01= ,����� F�� ;������ (�� (� ��� F�� (� ��I���� � �������� ?�� ����� ��� ������� @�� ��������� .���� .'''� 51�.1&.D.1&&�

<00= ����� ?�� ����� ��� ������� -�� ������� @�� ,�����F�� ;������ (�� (W ��� F�� (� ��I���� � ��� ������ (��@��I���� U�� "�������� ,� ��� %������������� ���������%333� 15� %8&D%8:�

<0'= @�� U�� "�I� "� F�� >���� ;�� ������� "� (�� (��������I�� N� >�� F������� �� ��� ���������� F� (�� ����� !�.���� .''1� 8&� %3%3D%3%%�

<'3= U���� �� �� @�� U�� ���������� F� (�� #������ (� N����HH�� "� F�� ���� %����� .''0� &)� .$::D.$1%�

<'.= �� ,�� ����� ��� 2)���� ��� �������� �� ������� 9�� �����?�� � �� ��� ������

<'%= ����� �� �� !����� ��� ,����� @�� (��� � !�� >� �������� #�� .������� .'''� &1� &33D&3$�

<'&= N��� #�� 9��� ?�� ���������� F� (�� ������ .''8� 587�80.D80$�

<'$= R���� ?� (�� 9��� ?�� ���������� F� (�� ���� %����� .'':�'(� 0&1D0$%�

<'8= 9��� ?�� N��� #�� R���� ?� (�� 2������ U� ��� ����������F� (�� ������� .'':� �85� &$8D&$'�

<':= R���� ?� (�� ,������ ��� ,���� ,� 2�� N��� #�� 9��� ?��2������ U� ��� ���������� F� (�� ���� %����� .'':� (�$%3D$%8�

<'1= 9��� ?�� (� � ���� U� U�� F���� "�� V��� >�� R���� ?� (��,���� � �� �� ��� "� U�� ���������� F� (�� ���� %�����.''1� '� .$1D.8.�

<'0= R���� ?� (�� ,���� ,� 2�� �� ����� ,� U�� 2������ U� ������������� F� (�� ����� !� .���� .''1� 8&� .3.1D.3.'�

<''= ,��� ��� 4� U� ��� (��H� ��� ,;� ;�� ���������� F� (��-��� %����� .''1� '� .&''D.$3:�

<.33= N��� #�� 9��� ?�� ���������� F� (�� ���� %����� .'':� (�%$8D%8.�

<.3.= ,���� @� /�� #������� ��� N� ��� 2� �� /� ��������������� .'1$� &�&� .83&D.830�

<.3%= ����� U� ��� ���������� @� ��� @������ "� #�� U�I� � ��!��������� "� #�� #������ "� ��� @��������� >�� ,�������� U� #�� ����� !� .���� .'0$� 22� %%D%8�

<.3&= (� ���� ��� U�� #������� ��� ,���� @� /�� ,��� "���� ��.'18� ��� $'D88�

<.3$= F������ �� U� F�� ����� !� .���� %333� 87� ::1D::'�

<.38= 2�� � N� #�� !����� ;� �� ��H������� U�� ���������� F� (������� !� .���� .''0� 85� %0'&D%0'8�

<.3:= ��H������� U�� "������ U� ��� 2�� � N� #�� ����������F� (�� ����� ���� .''0� 58� %.$8D%.88C ����� !� .����.''1� 8)� %:80D%::3�

<.31= ,����� @�� !�����I� @�� (��� � !�� (����� 4� U�� 2� ����� !�� /� 0��� ���� "������ .''0� +&7� &$%%D&$%8C ����� !� .���� .''0� 8�� %&1'D%&0.�

<.30= � I����� (� (�� ! ��I��� "� U�� (���� ,� U�� %���������������������� %333� �� ������

%3$ ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

Page 19: Nano Fabre View

<.3'= @������ U�� 7�����5��� (�� ��� ��� @���� � N�� ��� ���!���� U�� /� 0��� ���� "������ .'':� &2� $.%$D$.%'�

<..3= ����� ?�� ������� -�� #����� ��� ������ >� U�� ������� @��%������������� ��������� .'''� 27� :'D1&�

<...= !������� F�� "������ @�� F������ �� @�� ����� � #�� ����� !� .���� .'0%� 2)� .10D.0.C !��� .'0%� +&)';&&)�%318D%30&�

<..%= �������� 2� *#��+� ������ ��� ��������� ����� %���$���#���� �$ %�������� ����������� ��� ������������ ��;4�,/ ,����� #� 7� � %&'� .''&�

<..&= (������� �� "� N� *#��+� "� "�������! �$ ��=����! ��*�.�������!� ,2/# 2����� !� ������� �� .''&�

<..$= (������� �� "� N�� ,���� #� ,�� %������������� ���������.'':� 5�� .1&D.0'�

<..8= #�� ��� >� (�� ������ .''3� 522� 8%$D8%0C #�� ��� >� (�� �H� �� 2�� "����� �� #�� ������ .''.� 51�� :33D:3&�

<..:= ��� /����� �������� 2�� ������� .''.� �15� .1&D.1:�

<..1= (����� ,� ��� ,��� @� ;�� - ��I����� 2�� V���� �� -�� ����� !� .���� .''8� 77� 13&D138�

<..0= 2����� "�� R��� U�� 9�� -�� @���� ,�� (��I��� �� ��� �������.'''� �(5� ::.D::&�

<..'= @���� ,�� (��I��� �� ��� ������� %333� �((� .030D.0..�

<.%3= (����� ,� ��� ?��� ��� �� F�� (��� ��� ,� "�� ������ U� >��R���� U�� �� ��� ��� V���� �� -�� ����� !� .���� .''0�8&� %&%$D%&%:�

<.%.= ��������� #� @�� N����� N�� ,���� @� /�� /� 0��� ����"������ .'00� +7� %.:D%%.�

<.%%= ?��� ��� ,��������� (� �� ,���� @� /�� ����� ���� .''%�5&� %'1%D%'1:�

<.%&= �������� !� @�� �������� � ,� 2�� !�� ��� ,�� >����>� �� #�� ��� U� #�� #��I���� � �� @��I� � �� ��� N��� ���,� (�� ��� /��?� ,�� (�����(������� >�� U����� V��� @��"�I� � @�� "���� (�� ��� 9�� �� (������ ,� "�� 2�����U� ��� ������ .'''� 5'(� 8.D8$�

<.%$= ������ � (�� ,����� >� ��� @�������� (� ;�� >�������"� F�� ;�������� �� �� U�� ������ %333� 2)2� 8&D8:�

<.%8= (� � ���� U� U�� 2������� (�� %������������� ���������.'':� 5�� ��� $3&D$&8�

<.%:= ;��������� U� @�� U������� N� ,�� ?��I��� "�� -�II����� @�� !�������� N� N�� ���� �� 2�� 2������� (�� /� 0������� "������ .''1� +&1� %3'&D%.33�

<.%1= N� ��� ��� ���� ����� "�� !����� ,�� 4����� ��� (� N��,����������� U�� R�� ������ ��� /� 0��� ���� "������.''0� +&7� &083D&08$�

<.%0= ;������-� ��� ��� ��I���� >� ��� -��� %����� .''8� 8�1$$D18&�

<.%'= @����� ;� U�� (���I�� "� -�� ��� ��� ����� !� .���� .''3�18� .&81D.&:3�

<.&3= ������� 4�� ,�I�� (�� ����� !� .���� .''%� 7&�%3%1D%3%'�

<.&.= �� ��������� -� ;�� ������� .''8� �78� .%1$D.%18�

<.&%= ������� 4�� ,�I�� (�� ������� .''8� �8)� .:$$D.:$:�

<.&&= ������ >� U� >�� F� � >�� (����� "�� (���� � (� N�� ,����@� /�� /� 0��� ���� "������ .''0� +&8� &$$'D&$8%�

<.&$= ,���� @� /�� /� 0��� ���� "������ .'':� +&2� $&.0D$&%.�

<.&8= 2)���� ��� >������� >�� ����� ?�� /� 0��� ���� "������ +%333� �� ������

<.&:= 2�� � "� ,�� "������� ;� -�� ;��� ��� ��� ;������ >��2� ��I�� >�� .��� ���� ����� .'':� U��� 1.�

<.&1= �H��� ;�� 4���� 4�� 4XN����� ;�� ����� ����� "������.'':� 5'� .%3D.%0�

<.&0= "������� ������� !� �� 6 ������ /��� #���� 4@� 6,�.''8�

<.&'= >��� (�� /� ����������� ���� .''8� &2�� &03.D&03:�

<.$3= ,������ "�� N������� 7�� � ������ 2�� #� � F�� �������%333� �('� '0D.3.�

<.$.= !���� �� ,H�5���I�� 2�� @������ ��� ,���� ��� ,�� ������2� U�� ��� -��� ���� .''8� &&8� %'.8D%'%%�

<.$%= !���� �� ��J ;���� F� *#��+� ������������!� ,��������7��� ��� ��� ?��I .''0 ��� %88D%0&�

<.$&= !����H� (�� (������� (�� F��� 2�� ������ ,�� � ��������� 2�� ������� .''0� �(&� %3.&D%3.8�

<.$$= ����� �� �� ��� ���� ,�� ������� .''0� �(&� %3.:D%3.0�

<.$8= ��� ! �������� ��� "�� � "�� �� H���� 2�� ������ .''1�5(1� &%.D&%$�

<.$:= 7� ��� 4� >�� ������� �� (�� N� ��� #� ��� ������� %333��(8� %%$3D%%$&�

<.$1= ��5������� U� #� F� U�� 7��� �� �� ������� .''0� �(&�03%D03$C R�I������ �� ��� !�������� "� @�� /��� � R�� ������� N����� ��� /�� >����� ,� 4�� (���� U�� "� ���I��7� F�� ������� .''0� �(�� 0'1D'3.�

<.$0= @� ���� !� ;�� ! ������� �� -�� ,���� ��� ������� .''0��(&� 8&0D8$3�

<.$'= @������� "� ��� ,� �� �� >� ��� �I���� /� ��� ������ %333�2)5� 8:D8'�

<.83= #�� ����� �� ,�� ��������� "� �� *#���+� ��������������!���� �������� ��� ������������ /����� �� 2�����2�� ������� !���� � 2�� ��� ���� .'':�

<.8.= ���� �� ?�� "�� ����� >��<� .'0&� &))� %'.D%':�

<.8%= (��H��� U� ?�� F)����� U� (�� /H��� � ��� !������� >�� !������F�� !� ���� .���� .''$� 85� 1.:D1.'�

<.8&= !����� @�� F�������� (�� !������� N�� N���� N�� ������.''0� 5'2� $8.D$8&�

<.8$= /�5���� ,�� ������ .''.� 512� 8:D80C ������ .''&� 575�:3&D:38�

<.88= >����� ����� (� ,�� >����� ����� F�� ,���� "�� ��J ;����F� *#��+� ������������!� ,��������7�� ��� ��� ?��I.''0 ��� %08D&%'�

<.8:= ?��� R�� 2����� @� �� ��� !� ���� �� >�II��� ��� ������.'''� 2)�� %1&D%1:�

<.81= "��I��� ;�� N��� N�� U��� ����� #�� ;����� F� ?��������� �� �� ������ �� (�� ������� %333� �('� '$D'1�

<.80= ������I��� F�� "������ (�� -���Y���� !�� ������ .''$�57'� &01D&0'�

<.8'= 2���� F�� V��� -�� F��H����� 7� 7�� U������ >�� !� �H���� ��� ������� %333� �((� .03%D.03$�

<.:3= "���� (� ��� R���� ��� (� ��� �� U�� !������ ;� 2�� ;����U� (�� ������� .''1� �(7� %8%D%8$�

<.:.= ����� U�� "���� (� ��� "�� �� �� (�� ;���� U� (�� �������.'''� �(7� .883D.88.�

<.:%= ?���� 2�� >���� ;�� R���� >�� -���� 2�� 2���� >�� ������ I�� !�� ���������� F� (�� ,�I�� F� >�� ������� .''0��(�� %%%$D%%%:�

<.:&= !�� � �� N�� /����� -�� >�"������ U� #�� ;������ �����;�� "���� � ;� 2�� "�� �� 7� (�� ������ %333� 2)2�1$:D1$0�

<.:$= @������� "� ��� ,��� �� >� ��� �I���� /� ��� ������ %333�2)2� 8:D8'�

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� %38

Page 20: Nano Fabre View

<.:8= >������ ;� U�� ����� �� 7� 2�� ;��� � >� �� .'''� ��J ;����F� *#��+� ������������!� ,��������7�� ��� ��� ?��I.''0 ��� &1.D$3.�

<.::= � ����� !�� !���� >�� ����� U�� "���� (�� "������ N�������� U� >�� %�������� +�����! �� �� -���� F�� ��� 2��� ������ /��� ��� ?��I .''$�

<.:1= (��I��� �� ��� ;���� ;� ��� ������ %333� 2)1� :%:D:%1�

<.:0= ;���� (�� ?��� ��� N��� #�� 9��� ?�� ���������� F� (���I���� /� ��� ������ .''1� 5')� :1$D:1:�

<.:'= -��� @�� �� ?�� ,���� ��� "���� ,� ;�� !���� ;�� ,���I�"�� 2���H� ���� 7�� ���H� F� 2�� !���I��� �� U�� ������%333� 2)1� 8:D:3�

<.13= ��� ��� ,� "�� #�� ���� >� ,�� @�� #� �� !������� 2� -��!� ���� �� (�� ������ %333� 2)1� ::8D::0�

<.1.= ,�I�I�� @�� ��J >������ U� @�� ���� �� "� *#���+� !�� �$������������� ������ 2���� �� �� ����� .''%���� .D&3�

<.1%= !��I� U�� ������� .''0� �(&� &81D&80�

<.1&= -����� ���� "�� N ���� (�� 4����� ��� ,������ F�� �������� (� ��I���� � ��� ������ .'''� 2)�� 101D1'3�

<.1$= 4���� ?�� ?����� >� N�� !������� !�� (���I���� -��4���� ?� ��� ����� ��� >� >�� ������ .'''� 2)��1'3D1'&�

<.18= 7������ U� �� N���� ��� "�� ���� ������ ������2����� ��� ?��I .'10�

<.1:= N���� � >� �� ,��� H� "� ��� ��J "������������� 2� *#��+4���*��� �$ %������������! %����$�*�������� ��� %����#!���� ,2#/ 2����� ��������� .''1� ��� $.D'1�

<.11= ������� "� *#��+� (������ "� �� ,� ����� (� "�� ����.��� .�������!� �����@� ��� 2�� ������ ��������.'03� ��� &&1D$.8�

<.10= ������� U� �� *#��+� ,�����W�� � ��� 4���*��� �$ "������ ���� "�������!� /42 2�� ������� ����� .''8��.�.� �.�%� �.�&�

<.1'= (������� 2� U�� -���H���� !�� "������������� 2�� ��J "������������� 2� *#��+� 4���*��� �$ %������������! %����#$�*�������� ��� %����!���� ,2#/ 2����� ���������.''1� ��� &D&'�

<.03= (�>��� �� �� ��� ��J ;���� F� *#��+� ������������!�,��������7�� ��� ��� ?��I .''0 ��� 0'D.:3�

<.0.= -�I���� ;�� (��H� �� *#���+ 4���*��� �$ ����� ������������ %���� %������� �!��� # �������� ��� "��#�����!� # ������ ,���� !� 7�� �������� .''0�

<.0%= 7����� F� ;�� (� ��� �� /�� 2������� N� #�� ���� ,���.''0� (7� ��� .8&:D.88.�

<.0&= ,H�� (�� ������������� ������ U��� �� �� ��� ,������� ?��I .''$�

<.0$= ��� � ��� (������I� ��� V���H��� @� U�� ������� !��/� ����������� ���� .'':� &25� %&1D%$&�

<.08= ����� 7�� F������� "�� @������ ��� >����� >� >��(�������� �� ����� !� .���� .''8� 77� %31%D%31$�

<.0:= #���� �� ��� ���� @�� ���� !� -��� .''8� 21�&$'D&88�

<.01= "������ U� ��� (����� (�� >����� ����� ��� ����� !� .����.''0� 85� .1::D.1:0�

<.00= "������ U� ��� V��� ��� ,�� ��� 4� U� ��� ����������F� (�� ���� ���� ,������ .'':� 78� &&.3D&&.1�

<.0'= "������ U� ��� ���������� F� (�� ����� ���� .''1� 57�81'%D81'0�

<.'3= V��� >�� 9��� ?�� ���������� F� (�� ���� %����� .''1� '�$31D$.%�

<.'.= U�I���� "� U�� !������ ,� ;�� ������ ��� 2������� (� F������������ F� (�� ������� .''0� �()� %30'D%3'.�

<.'%= ,��5�� ,�� .'''� ��J (��H� ��� !�I��� @� *#���+ %����!#��� "�������! �� -�����! ��� .�$� �������� ,�������>��I�� #������ �� ��������� !�� �� .'''� ��� .:&D%.&�

<.'&= ������ U�� N��I�� � U�� ,�� ���� #� �� �� ����� 2�� ��J(��H� ��� !�I��� @� *#���+� %����!��� "�������! ��-�����! ��� .�$� �������� ,������� >��I�� #������ ����������� !�� �� .'''� ��� %.8D%&.�

<.'$= #���� �� ��� @���� � 7�� ���� @�� ��J (��H� ��� !�I��� @�*#���+� %����!��� "�������! �� -�����! ��� .�$� ���#����� ,������� >��I�� #������ �� ��������� !�� ��.'''� ��� %&$D%8%�

<.'8= ����� ,�� ����� ?�� ���� ,��� .''1� (1� 838D8%3�<.':= N������� @�� ,�I����� ;�� !���� ;�� 4����� ?�� -�5��� U��

(����� ,�� ,���� U�� ,��� ����� ���� .���� .''0� &'�1$D1:�

<.'1= ����� ,� ;�� -���I� >� U�� ����� @� ,�� %���������������������� .'':� 5�� %1.D%0%�

<.'0= F� �������F������ >�� (������ �� (� ,�� ���� U� ���4���I� F� U�� # �������� U� ��� ���� ,��� .''1� (1�8%.D8$3�

<.''= F����� N�� 2���� ��� N������� ��� "�������� (� �� ���� ,��� .''1� (1� 880D81&�

<%33= N����������� � 2�� #���� 2� � (�� ��J "������������� 2�*#��+� 4���*��� �$ %������������! %����$�*�������� ���%����!���� ,2#/ 2����� ��������� .''1 ��� $1.D8&:�

<%3.= ������ @�� ��I�H��� N�� %����������� ��������� .'':� 5��%'1D&.:�

<%3%= F��� �� ���������� #�� ����� ,� ?�� ������� .''1� �81�1$'D18.�

<%3&= ����� N� U�� N��H���� N�� ?������� (�� ,��� �� .�����.'':� &8� .%1D.%'�

<%3$= (�H������ 2�� N� I����� ,�� !��������� !�� ,��� U� 2��@������ F� /�� ���� ,��� .''0� (7� ::$D:0:�

<%38= 2���H� F� ��� ������� .''0� �(�� .::3D.::&�<%3:= N���� !� #�� ������ .''0� 5'5� .&&D.&1�

<%31= ��� �� ,�� ;������ 2� >�� ���� ,��� .''1� (1� 8$.D881�

<%30= 4� ��� �� 4�� �� ���� /�� !�������� F� @�� ��� �� ,��,������ F� �� ������� .''1� �88� '%0D'&3�

<%3'= @���� U� "�� N��I��� 2� U�� ,������ F� ,�� �� ����� "� ,��������� .'00� �()� .1.:D.1%.�

<%.3= @��� ����� "� @� "�� ,������I��� "�� (����� �� (� ���>��� ��� "� U�� ,����� @� ,�� ������ %333� 2)1� '$1D'8.�

<%..= !����� #�� #����� ?�� ,����� 6�� !���?������ F�� ������.''0� 5'&� 118D110�

<%.%= ������ "� 2�� !���� ;�� >������ (�� -���� ,�� @���������U� /�� N����I� �� 2�� (������� ��� 4������� "� F�� "������������� "�� ������� .'':� �8�� .&%&D.&%8�

<%.&= !������� #�� �������� �� *#���+ -��$���� �������� ��� ����� ��< !�� ��� ������������ ��;4 �,/ ,�����!&$3� 2 ���� 2����� ��� ?��I .''8�

<%.$= ?�� ������� #�� !� ���� .���� .'01� 1(� %38'D%3:%�

<%.8= U�������� ��� U� >�� (����� "� >�� ����� U� ��� ������-�!���� 2������ 6�������� 2����� 2������� �U .''8�

<%.:= U�������� ��� U� >�� 7� ������� 2� "�� -��� ,�� ������.''1� 5(7� .$&D.$'�

%3: ?� ���� ��� �� 2)��� ������������ %33.� �� .01D%31

Page 21: Nano Fabre View

<%.1= /�H�I�� N�� (����� >�� ,���� ,�� ,�I�� (�� N������ ;��(������� ;�� N������ (�� ��J ;�������� �� *#��+� ����#��������!� ,��������� ��������� �!��� $�� 3����#�����#��� ��� 3����$��� ������� 4����� 6�������� 2�����4����� .''1 ��� &%8D&:1�

<%.0= ����� ��� >� >�� >������H�� >� >�� !�� "���! .''8�2(� $&D$0�

<%.'= ����� ��� >� >�� ��� (� ���� ,�� ��J "������������� 2�*#��+� 4���*��� �$ %������������! %����$�*�������� ���%����!���� ,2#/ 2����� ��������� .''1 ��� $&0D$13�

<%%3= F����� �� ��� ���� ����� .'''�%�!� 'D.3�

<%%.= ;����� U� ��� ���� ����� %333�%�!� $.D8%�

<%%%= @�������� >� U�� (��H� ��� -��� R�� ���� @�� ������� @� (������� -��� .''%� 72� .'%:D.'&%�

<%%&= 6���� (�� 4���� @�� !���� ?�� >��� (�� ?����I���� N�� +��#�!� -��� .''0� 8&� ..&D.%&C ���������� ��� ;����I��(�� !���� ?�� -��� ���� +���� .''0� 27� .:&'D.'$%C6���� (�� ;����� 4�� !���� ?�� "�,�� /��� .'''� &)�$:3D$:&�

<%%$= @��� U�� ���������� @� F�� ������� %333� �((� .3%:D.3%'�

<%%8= 7� I���� �� >�� ������ "� @�� ������ .''%� 51(�:33D:3%�

<%%:= ,���I� �� >�� ��I� (�� ����� >� ;�� @�I� �� ;� ,��N����� 2� U� ��� /����� ��� "� -�� ���������� F� (�� !����� .���� %333� (2� &&.$D&&.1�

<%%1= ��5���� ��� !� ���� � .'':� 15� $'':D8338�

<%%0= �����H�� (�� ,�H�I�� ,�� N�������� 4�� �����H�I�� ;�� ,���������� ;�� ,��� "���� ,��� ����� .''$� 5)� 0&8D0$&�

<%%'= (������ @�� @������ (� 2�� F����� (� F�� +���!� /�.'''� 88� 8.:D8%8�

<%&3= -����� (� #�� ;������ ,� ��� N�� ��� U�� ����� �� ������������� @� F�� ��������� �$ %���� "���� ����!�

�!��� �)))� N ���� ������ 2�� ������� >������%333 ��� 8$'D88%�

<%&.= ���� �� >� ��� !�� ��� �� F�� F����� �� (� F�� (�HI���� (�� ����� U� "�� ,���� �� ��� N����H� ,� @�� �������(� #�� "�I������ >� U�� ��������� �$ %���� "���� ����!#� �!��� �)))� N ���� ������ 2�� ������� >������%333 ��� $&8D$&0�

<%&%= "������ F�� ������ +��������� .''0� &7� $3D$$�

<%&&= !������� ��� >� ������� #�� ,����� @�� (��� � !��!�������� @� "�� !�����I� @�� .������� .''0� &2�%%%8D%%%'�

<%&$= -��H� U�� !� ��� (� N�� ���� @� 2�� "����H��� @�� 7������2�� (����� #�� F�������� @� U�� F������ ��� F��H���I��U� N�� ������� %333� �((� &.:D&.0�

<%&8= (��������� ��� !������ F�� ������������! .'''� &)�%%8D%&.�

<%&:= ��������� �$ �� &5� ,��� ,������������ %�%� -��$��#����� (���H�I�� U����� %&D%1 U������ %333�

<%&1= �H��� /� (�� "������ "� ,�� ,�������� ,�� "������ U� (������� -��� .'''� 8&� &:%1D&:&.�

<%&0= ������ #�� "�������� U�� /� -��������� + %333� �� ������

<%&'= (����� 2�� %��� ��� ���� ���� .''1� 275� 81D:.�

<%$3= # �������� "�� ,������� U� U�� (��� "� ��� ��������"� �� (��I��� �� ��� ������� .''1� �88� .310D.30.�

<%$.= ��� ��� �� ;�� F�� ����� ��� ������� �� �� @�������>� #�� ������ �� (�� ������ +��������� %333� &(�1:3D1:&�

<%$%= !����� #�� #����� ?�� ,����� 6�� !���?������ F�� ������.''0� 5'&� 118D110�

<%$&= U����� �� F �� �� ��� (��� � �� U�� ������� U� (�� +����#�� +��������� .''1� &�� ..$&D..88�

<%$$= ,��������� #�� /� !� -��� + .''1� &)&� %'03D%'08�

������������ %33.� ��� .01D%31 ������������� %31