電子顕微鏡解析 - Kobe University€¦ · 中間レンズ 試料ホルダー 画像録画装置 反射鏡 接眼レンズ 対物レンズ 試料 電子顕微鏡(透過型)
MML-HR / MML-SR - 株式会社モリテックス 光技術で 分解能 高解像度...
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ハイパワー LEDスポット照明 /同軸照明
埼玉県朝霞市泉水3-13-45TEL 048-218-2534FAX 048-462-6713www.moritex.co.jp
〒351-0024
2016
.11
Prin
ted
in Ja
pan
MML-HR / MML-SR Series
テレセントリックレンズ
T e l e c e n t r i c L e n s e s◆ MMLシリーズの同軸照明としてご利用できます。
MCEL SeriesMMLシリーズ対応のコンパクトタイプの同軸照明
反射率の高い鏡面状のワークに最適
コンパクト・低価格
MCEC SeriesMMLシリーズへの親和性を追求し、高均一性を実現
コンパクト・低価格
MCEP SeriesハイパワーLEDを実装した高輝度モデル
導光ロッドにより高均一性を実現
MCEP 070-3 Series当社独自の放熱技術と、最高輝度のハイパワーLEDの採用により従来より、数倍の明るさを実現
新開発コリメータと導光ロッドにより高均一性を実現
輝 度高い 低い
視野表
MML1-HR110DVI-16C
MML1.5-HR110DVI-16C
MML037-HR220DVI-28F
MML055-HR220DVI-28F
MML1-HR130VI-35F
MML1.5-HR110VI-35F
MML2-HR110DVI-43F
MML3-HR110DVI-43F
MML4-HR110DVI-43F
MML0275-SR130VI-18C
MML1-SR65DVI-18C
MML2-HR65DVI-18C
1.000
1.500
0.370
0.550
1.000
1.500
2.000
3.000
4.000
0.275
1.000
2.000
16.5
16.5
28.5
28.5
35
35
43.5
43.5
43.5
18.5
18.5
18.5
110
110
220
220
130
110
110
110
110
130
65
65
C
C
F
F
F
F
F
F
F
C
C
C
6
4
17
12
6
4
3
2
2
23
6
3
5
3
13
9
5
3
2
2
1
17
5
2
8
5
22
15
8
5
4
3
2
29
8
4
(x) (mm)(mm)
倍率
作動距離 V
4.8D8
H6.4
8mm(1/2型)6.4 x 4.8 x 8
9
6
24
16
9
6
4
3
2
32
9
4
7
4
18
12
7
4
3
2
2
24
7
3
11
7
30
20
11
7
6
4
3
40
11
6
V6.6
D11
H8.8
11mm(2/3型)8.8 x 6.6 x 11
13
9
35
23
13
9
6
4
3
47
13
6
10
6
26
17
10
6
5
3
2
35
10
5
16
11
43
29
16
11
8
5
4
58
16
8
V9.6
D16
H12.8
16.5mm(1型)12.8 x 9.6 x 16
38
26
14
9
7
5
4
51
14
7
28
19
10
7
5
3
3
37
10
5
49
33
18
12
9
6
5
66
18
9
V10.3
D18.1
H14.1
18.5mm(1.1型)14.1 x 10.3 x 18.1
49
33
18
12
9
6
5
37
25
14
9
7
5
3
61
41
23
15
11
8
6
V13.6
D22.5
H18.1
23mm18.1 x 13.6 x 22.5
61
41
23
15
11
8
6
46
31
17
11
8
6
4
76
51
28
19
14
9
7
V16.9
D28.1
H22.5
28.5mm22.5 x 16.9 x 28.1
31
21
16
10
8
22
15
11
7
6
35
23
18
12
9
V22
D35
H31
35mm31 x 22 x 35
18
12
9
12
8
6
22
15
11
V24
D43.5
H36
43.5mm36 x 24 x 43.5
2M 5M 4M~9M 6M~12M 8M~12M 12M 25M / 71M 29M
マウント
視 野
型 式
IF
*1 イメージフォーマット 35mmの視野は、71Mカメラで表記しています
*1
高 分 解 能
高 解 像 度様々なソリューションに適した
美しい画像が得られるレンズ
カメラの性能を最大限に引き出すレンズ
MML-HR / MML-SR SeriesH i g h R e s o l u t i o n D e s i g n
T e l e c e n t r i c L e n s e s
HR=5.5µm/pixel, SR=3.5µm/pixelセンサに対応
高分解能デザイン
ラージフォーマットカメラに対応センササイズ 16.5mm(1型), 18.5mm(1.1型), 28.5mm, 35mm, 43.5mm
アプリケーション
MML1-HR110DVI-16C
MML1.5-HR110DVI-16C
MML037-HR220DVI-28F
MML055-HR220DVI-28F
1
1.5
0.37
0.55
110
110
220
220
10.5~22
10~22
7.6~22
8~22
16.5(1型)
16.5(1型)
28.5
28.5
C
C
F
F
○
○
○
○
○
○
○
○
型 式 WD(mm)
倍率(x) F No
イメージフォーマット(mm) マウント 同軸ポート 可変絞り
MML1-HR130VI-35F
MML1.5-HR110VI-35F
MML2-HR110DVI-43F
MML3-HR110DVI-43F
MML4-HR110DVI-43F
1
1.5
2
3
4
132
110
110
110
110
6.5~22
7.2~22
8~22
15~22
18~22
35
35
43.5
43.5
43.5
F
F
F
F
F
○
○
○
○
○
○
○
○
型 式 WD(mm)
倍率(x) F No
イメージフォーマット(mm) マウント 同軸ポート 可変絞り
MML-HR-16 / 28 Series
テレセントリックレンズ
● 5.5µm/pix のカメラ素子に最適な光学設計
● 9M / 12M カメラまで対応した高分解能デザイン
● イメージフォーマット 16.5mm(1型センサ) / 28.5mmのラージフォーマットカメラで使用可能
● 可変絞りに対応することで、適切な被写界深度の調整が可能
MML-HR-35 / 43 Series
テレセントリックレンズ
● 5.5µm/pix のカメラ素子に最適な光学設計
● 29M カメラまで対応した高分解能デザイン
● イメージフォーマット 35mm / 43.5mmのラージフォーマットカメラで使用可能
● 可変絞りに対応することで、適切な被写界深度の調整が可能
MML-HR / MML-SR SeriesH i g h R e s o l u t i o n D e s i g n
NEW NEW
アライメント アプリケーション AOI / SPI アプリケーション Siウェハ アプリケーション FPD アプリケーション
AOI / SPI基板の 3D(高さ)計測位置や方向のアライメント
加工マーキングのアライメント
エッジ部のクラック検査
表面のキズ検査
画素の欠陥検査
表面のキズ検査
仕様
対応センサ
仕様
対応センサ
7µm/pix
5.5µm/pix
3.5µm/pix MML-5M MML-SR
MML-HR MML-HR-35 / 43
MML-ST
カメラ
ピクセルサイズ
1M 2M 5M 4M~9M 6M~12M 8M~12M 12M 25M / 71M 29M
6mm(1/3型)
8mm(1/2型)
11mm(2/3型)
16.5mm(1型)
18.5mm(1.1型) 23mm 28.5mm 35mm 43.5mm
7µm/pix
5.5µm/pix
3.5µm/pix MML-5M MML-SR
MML-HR
MML-ST
カメラ
ピクセルサイズ
1M 2M 5M 4M~9M 6M~12M 8M~12M 12M 25M / 71M 29M
6mm(1/3型)
8mm(1/2型)
11mm(2/3型)
16.5mm(1型)
18.5mm(1.1型) 23mm 28.5mm 35mm 43.5mm
MML-HR-28MML-HR-16MML-HR-16 MML-HR-28 MML-HR-35 / 43
MML0275-SR130VI-18C
MML1-SR65DVI-18C
MML2-SR65DVI-18C
0.275
1
2
130
65
65
8~22
7~22
8~22
18.5(1.1型)
18.5(1.1型)
18.5(1.1型)
C
C
C
○
○
○
○
○
型 式 WD(mm)
倍率(x) F No
イメージフォーマット(mm) マウント 同軸ポート 可変絞り
MML-SR-18 Series
テレセントリックレンズ
● 3.5µm/pix のカメラ素子に最適な光学設計
● 12M カメラまで対応した高分解能デザイン
● イメージフォーマット 18.5mm(1.1型センサ)のラージフォーマットカメラで使用可能
● 可変絞りに対応することで、適切な被写界深度の調整が可能
MML03-HR65D-5MMML03-HR65-5MMML05-HR65DVI-5MMML05-HR65VI-5MMML1-HR65DVI-5MMML1-HR65VI-5MMML2-HR65DVI-5MMML2-HR65VI-5MMML3-HR65DVI-5MMML3-HR65VI-5MMML4-HR65DVI-5MMML4-HR65VI-5MMML014-HR110D-5MMML03-HR110D-5MMML03-HR110-5M
○
○
○
○
○
○
○○
○○○○○○○○○○
型 式 倍率 WD(mm) F No
イメージフォーマット(mm) マウント 同軸ポート 可変絞り
MML-HR-5M Seriesテレセントリックレンズ
● カメラ素子 3.5µm対応● 高分解能デザイン 5Mセンサまで対応● イメージフォーマット 11mm (2/3型センサ)
0.3
0.5
1.0
2.0
3.0
4.0
0.3
65.1
65.3
65.0
65.0
65.0
65.0
110.0
7.0
7.0~30.6
7.0~28.0
7.3~44.9
9.6~47.5
12.1~48.6
7.0
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
C
C
C
C
C
C
C
0.14 110.0 4.0 11(2/3型) C
MML05-HR65DMML05-HR65MML08-HR65DMML08-HR65MML1-HR65DMML1-HR65MML1.5-HR65DMML1.5-HR65MML2-HR65DMML2-HR65MML4-HR65DMML4-HR65MML4-HR65D-VIMML6-HR65DMML6-HR65MML6-HR65D-VIMML05-HR110DMML05-HR110MML08-HR110DMML08-HR110MML1-HR110DMML1-HR110MML1.5-HR110DMML1.5-HR110MML2-HR110DMML2-HR110MML4-HR110DMML6-HR110DMML08-HR255DMML08-HR255MML1-HR244DMML1-HR244MML2-HR220DMML4-HR220DMML6-HR220DMML8-HR220D
○
○
○
○
○
○
○○
○○
○
○
○
○
○○○
○
○○○○
○
○
型 式 倍率 WD(mm) F No
イメージフォーマット(mm) マウント 同軸ポート 可変絞り
MML-HR Seriesテレセントリックレンズ
● カメラ素子 5.5µm対応● 高分解能デザイン 1Mセンサまで対応● イメージフォーマット 11mm (2/3型センサ) / 8mm (1/2型センサ)
0.5
0.8
1.0
1.5
2.0
0.5
0.8
1.0
1.5
2.0
0.8
1.0
2.04.06.08.0
4.06.0
4.0
6.0
65.3
65.0
65.0
65.0
65.0
110.0
110.0
110.0
111.0
110.0
255.7
244.0
220.6221.4220.2219.6
110.0110.0
65.0
65.0
9.5
9.9
11.0
12.0
13.5
17.9
26.7
9.5
11.0
11.0
11.0
13.5
10.1
12.6
25.024.336.248.0
22.239.9
17.9~79.2
26.7~124
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
8(1/2型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
8(1/2型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)11(2/3型)11(2/3型)11(2/3型)
11(2/3型)11(2/3型)
11(2/3型)
11(2/3型)
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
C
CC
CCCC
C
NEW
電子部品 アプリケーション 3D実装 アプリケーション
電子部品の形状検査 CoC / CoWの積層プロセス
仕様
対応センサ
7µm/pix
5.5µm/pix
3.5µm/pix MML-5M
MML-HR MML-HR-35 / 43
MML-ST
カメラ
ピクセルサイズ
1M 2M 5M 4M~9M 6M~12M 8M~12M 12M 25M / 71M 29M
6mm(1/3型)
8mm(1/2型)
11mm(2/3型)
16.5mm(1型)
18.5mm(1.1型) 23mm 28.5mm 35mm 43.5mm
MML-HR-16 MML-HR-28
MML-SR