Mikro- és nanorétegek készítése és jellemzése · „Dipp-coating”, „spin-coating”...

Anyagtudományi Szeminárium 2014. 04. 14.

MIKRO- ÉS NANORÉTEGEK KÉSZÍTÉSE ÉS JELLEMZÉSE

Az előadás vázlata

Rétegek: Mikrorétegek: bevonatok, festékek, galvanizálás, kémiai és

elektromos réteg-leválasztás

Nanorétegek, molekuláris filmek Termál szórás

Plazma kezelés

„Dipp-coating”, „spin-coating”

Langmuir-Blodgett film

Önszerveződött molekuláris rétegek

A rétegek jellemzése különböző technikákkal

A rétegek alkalmazása


Történelmi áttekintés


•Idősebb Plinius (Gaius Plinius Secundus), AD 23-79 : “that all sea water is made

smooth by oil, and so divers sprinkle oil on their face because it calms the rough element

and carries light down with them”; . . . Historia Naturalis. • Benjamin Franklin:. . .where the waves began to form, and there the oil, though

not more than a teaspoonful, produced an instant calm, . . . perhaps half an acre as smooth as a looking glass”; Phil. Trans. Roy. Soc. (1774), 64, 445.

• Lord Rayleigh: “The earlier part of Miss Pockels’ letter covers nearly the same

ground as some of my own recent work, . . . , raising many important questions. I hope soon to find opportunity for repeating some of Miss Pockels’ experiment”

• Agnes Pockels: “MY LORD-Will you kindly excuse my venturing to trouble you

with German letter on a scientific subject?. . .; Nature (1891) 43, 437.

• Irving Langmuir: “The constitution and fundamental properties of solids & liquids. II

Liquids”; J. Am. Chem. Soc. (1917) 39, 1848.

A felszíni atomok számának alakulása


1 cm3 gold

cube

1 cm

1 cm

1 cm

Össz-atomszám ~ 5.91022

Felszíni atomok száma ~ 1.21015

A felszíni atomok száma ~ 210-6 % az

össz-atomhoz viszonyítva

1 nm3 arany kocka

Az egység Au cella mérete:~ 0.4 nm

Össz-atomszám ~ 108

Felszíni atomok száma ~ 84

A felszíni atomok száma ~ 78% az össz-

atomhoz viszonyítva

A nanorétegek jellmézésére leggyakrabban alkalmazott módszerek


kontakt szög: tenziometer összegfrekvenciakeltési spektroszkópia (SFG), IR spektroszkópia XPS ellipszométer AFM, epifluoreszcens mikroszkópia elektrokémiai módszerek (EIS, polarizációs mérések, ciklikus voltammetria) microkalorimetria

Statikus és dinamikus kontaktszög mérés


Atomi erőmikroszkóp (AFM)


LB filmmérleg,BAM


A Langmuir filmmérleg működése, LB filmkészítés


compression

constant pressure

mono- és multi-réteg

átvitel

A réteg stabil

Megőrzi rendezett szerkezetét

kevés hibahely

A réteget befolyásolja:

a szubfázis

(pH, dissolved molecules)

rétegátvitel körülményei

LB technika


két különböző közeg határfelületén kialakított oldhatatlan monomolekulás filmek

a víz felületi feszültségét csökkentik és oldalnyomást fejtenek ki

a felületaktív anyag

molekulái irányítottan

helyezkednek el:

П – A izoterma a görbe alakja jellemző a filmet felépítő molekulákra és ezek kölcsönhatására Kollapszus az adott filmre jellemző érték a film elveszti monomolekulás jellegét: törik, gyűrődik

Langmuir filmek szilárd hordozón


Hidrofób

felszín

Hidrofil felszín

Multimolekulás rétegek: váltakozó irányítottság

Y X Z

Az önszerveződés lehetőségei


* Önszerveződött molekuláris rétegek (SAM) • Önszerveződött makromolekuláris szerveződések szilárd hordozón • Poliionok ”Layer-by-layer” rétegződése • Önszerveződött diblokk polimerek • Önszerveződött makromolekulák

Az önszerveződés alkalmazási lehetőségei


Integrált áramkörök Katalizátorok Adattárolás Gyógyszerbevitel Bioanyagok Nanorészecskék, funkcionalizált nanorészecskék Mikrofluidika Elválasztás és tisztítás

Az önszerveződés „mozgatórugója”


• Statikus rendeződés (termodinamikailag

szabadenergia-minimum) – ha egyszer kialakult, stabil

• Dinamikus rendeződés (kinetikailag képződik, nincs

feltétlenül a termodinamikai minimumon) – nem szükségszerűen stabil

Önszerveződött molekuláris szerkezetek


• A legkülönbözőbb hordozókon kialakíthatók • A „bottom up” és a „top down” technika kombinálásával előre meghatározott felszínek hozhatók létre • Óriási hatása van új termékek kifejlesztésére

Alkántiol SAM rétegnövekedés


(a): gázból vagy kis koncentrációjú

oldatból

(b): koncentráltabb oldatból

Önszerveződés aranyon


X (CH2)n S Au

X = -CH3, -OH, -COOH, -SO3-, -PO4H2, N+(CH3)3, -(OCH2CH2)nOH, ...

AAz LB és az Az LB és az önszerveződő technika

összehasonlítása


tteecchhnniikkaa

előny

hátrány

LB • egyszerű és gyors

• rétegszám és

szerkezet megválasztható • az LB-vel borított szilárd felszín stabil

• berendezés szükséges

SAM • egyszerű, spontán • stabil felszín • a felületi jellemzők (kémiai, mechanikai)előre meghatározhatók • nincs szükség speciális berendezésre

• a réteg kialakulása időigényes

Az LB és a SAM rétegek szerkezetének összehasonlítása


SAM: defektek, lukak

STM, C10SH SAM (250x250m-10)

LB:egyenletes, rendezett réteg

AFM, C18N rézen (10x10m-10)

Amfifil hidroxám- és foszfonsavak


Hidroxámsavak Foszfonsavak

Sztearoil - hidroxámsav

C18N 1– foszfono - oktadekán

C18P

Izotermák és Bam felvételek; a pH hatása


20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35

0

5

10

15

20

25

30

35

40

pH= 2.0

pH= 4.0

pH= 5.6

pH= 8.0

pH=10.0

C18N, T = 23oC

[m

N/m

]

A [Å2/molecule]

22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40

0

5

10

15

20

25

30

35

40

C18P, T= 23oC

pH=2.0

pH=4.0

pH=5.6

pH=8.0

pH=10.0

[

mN

/m]

A [Å2/molekula]

C18N

C18P

Gáz fázis

Folyadék fázis

Szilárd fázis

kolapszus

Az LB és a SAM réteg morfológiájának összehasonlítása


LB rétegekkel borított réz és vas felszín


Fe+C18P

Fe+C18N

Cu+C18P

Cu+C18N

C18N LB on copper:

• 1 réteg: ~ 0o

• 3 réteg : 23o

• 9 réteg : 19o

• 11 réteg : 22o

Polarizációs reflexiós

abszorpciós spektrumok

Kétdimenziós Fourier transzformációs felvételek


C18P LB egyréteg különböző hordozókon

• A 2D elemi cella

méretei:

a = 0.443 ± 0.05 nm

b = 0.335 ± 0.04 nm

γ = 103 ± 0.5º

csillám

réz

armcovas

• Az LB egyréteg kétdimenziós térbeli elrendeződése ferde rácsnak

felel meg

LB rétegek rézen és vason


fém

control C18N LB

1réteg

C18P LB

1réteg

θdyn

adv/retr.

θdyn

adv/retr.

θdyn

adv/retr.

vas 68/32 123/72 126/95

réz 78/31 128/95 124/88

1400 1200 1000 800 600 400 200 0 -200

Fe 3p

Fe 3s

C 1s

O 1s

Fe Auger

Fe 2p

O Auger

C Auger

a. C18P LB réteg vason

Inte

nzitás (

tets

z.

egys.)

Kötési energia (eV)

1400 1200 1000 800 600 400 200 0 -200

Cu 3d

Cu 3p

Cu 3s

C 1sO 1s

Cu Auger

Cu 2p

Cu 2s

C Auger

b. C18N LB réteg rézen

Inte

nzitás (

tets

z.

egys.)

Kötési energia (eV)

XPS mérésből számított réteg-paraméterek


rézen Rétegvastagság [nm]

nincs LB

réteg

C18P

monoréteg

C18N

monoréteg

Alkil lánc - 2.0-2.2 2.0-2.1

Fej-

csoport

- 0.3-0.35 0.3-0.34

Rézoxid 3.5-4.0 3.9-4.0 3.5-3.7

-

vason Rétegvastagság [nm]

nincs LB

réteg

C18P

monoréteg

C18N

monoréteg

Alkil lánc - 1.9-2.1 1.9-2.1

Fej-

csoport

- 0.27-0.31 0.33-0.38

vasoxid 3.3-3.5 3.4-3.5 3.4-3.5

SFG spektrumok


2 800 2850 2900 2950 3000

0.0

0.5

1.0

Hullámszám / cm-1

SFG

int

enzi

tás

/ te

tszo

leg

es e

gys

ég

C18P monoréteg üveg hordozón

C18N monoréteg üveg hordozón

2800 2850 2900 2950 3000

0.0

0.5

1.0

Hullámszám / cm-1

SFG

inte

nzit

ás /

tets

zole

ges

eg

ysé

g

C18P monoréteg vas hordozón

C18N monoréteg vas hordozón

2800 2850 2900 2950 3000

0.5

1.0

Hullámszám / cm -1

SFG

int

enzi

tás

/ te

tszo

leg

es e

gys

ég

C 18P m onoréteg réz hordozón

C18N m onoréteg réz hordozón

2850 2900 2950 3000

SF

G i

nte

nsity (

arb

. u

nit

s)

Wavenumber / cm -1

Av3.M15

Av3.M30

Av3.M45

Av3.M60

Av11.LB

LB rétegek, fejcsoport függés SAM rétegek, időfüggés

SAM rétegek rézen, IRRAS (0° polarizáció)


0

20E-05

40E-05

60E-05

80E-05

.001

.0012

.0014

2950 2900 2850 2800

Absorbance / Wavenumber (cm-1)

C18N 15’

C16N 15’

C12N 60’

C16N 60’

C18N 60’

C12N 15’

C10N 15’

C10N 60’

as(CH3)

~2918

s(CH3)

~2848

as(CH2)

~2960

s(CH2)

~2870

0

20E-05

40E-05

60E-05

80E-05

.001

.0012

.0014

2950 2900 2850 2800


C18N 15’

C16N 15’

C12N 15’

C10N 15’

LB filmek vason és rézen, polarizációs mérések


- 0 , 8 - 0 , 7 - 0 , 6 - 0 , 5 - 0 , 4 - 0 , 3 - 0 , 2 - 0 , 1 0 , 0 0 , 1

- 1

0

1

2

Lo

g

|j|

[

j/

A

.c

m-

2 ]

E [ V ] / ( S C E )

ironelectrode

Ekorr

[mV]jkorr

-2]

blank -412 2.36 -

C18P -268 0.13 94

C18N -251 0.09 96

-0,10 -0,08 -0,06 -0,04 -0,02 0,00 0,02 0,04

-1

0

1

2

3

4

log |

j| [

j /

A

.cm

-2]

E [V] / (SCE)

(iron, LB, NaClO4, pH 7)

(copper, LB, Na2SO4, pH 3)

C18N

C18P

C16N C18N

C18P

copper Ekorr /[mV]

jkorr /-2]

blank - 26 0,91 -

C18P -33 0,47 48

C16N -29 0,35 62

C18N -31 0,25 73

Fe

Cu

Önszerveződött rétegek rézen polarizációs kísérlet,(Na2SO4, pH=3)


-0,12 -0,10 -0,08 -0,06 -0,04 -0,02 0,00 0,02 0,04

-1

0

1

2

3

log |j|

[ j / A

.cm

-2]

E [V] / (SCE)

copper

Ekorr / [mV]

jkorr /

[μA.cm-2

]

η [%]

blank

- 26

0,91

-

C18N SAM

-40

0,14

85

C16N SAM

-39

0,16

82

C12N SAM

-38

0,17

81

C10N SAM

-36

0,13

76

— copper

–•– C18N-SAM, –– C16N-SAM –– C12N-SAM

–– C10N-SAM

A SAM réteg kialakulási idejének hatása (EIS) Cu+C10N (0,5 M Na2SO4 ; 25oC)


0

1000

2000

3000

4000

5000

6000

7000

8000

9000

Rp

[k

Ω c

m2]

0 15 60

SAM formation time [min]

Series2

EIS mérés ideje 1h 20 h

SAM réteg keletkezés ideje

Rp [kΩ cm2]

0 min 5 15

15 min 106 305

60 min 2564 8596

SAM réteg kialakításának ideje: 0, 15, 60 min

Rézen SAM réteg időfüggő keletkezésének vizsgálata mikrokaloriméterrel (0.1MHNO3; 20oC)


SAM réteg

keletkezési idő: 5 min 15 min 30 min 60 min

[μW] η [%] [μW] η [%] [μW] η [%] [μW] η [%]

Cu + C10N 570 37 460 49 200 78 186 79

Cu + C12N 580 36 338 63 190 79 189 80

Cu + C16N - - - - - - 262 82

Cu + C18N - - - - - - 110 88

Cu : 910 μW

SAM réteg hatása a lyukkorrózióra


Bevonat nélkül 20min után C10N bevonat 60 óra után

Vas hűtővízben, 5 nap után


Nanoréteg nélkül

C18P LB réteg

C18N LB film

C18N SAM

A nanorétegek hatása mikroorganizmusok megtelepedésére


Réteg nélkül: vastag biofilm

C18P LB film: néhány kis telep

C18N LB réteg: néhány kis telep

Korróziógátlás nanorétegekkel


0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.14

0 2 19 24 90 95 114 119 138 143 162 167 186 171

time [hour]

co

rro

sio

n r

ate

[arb

itra

ry u

nit

]

control

C10N

C12N

C16N

C18N

oleoylN

elaidylN

C18P

LB rétegek antikorróziós és mikróba megtapadást gátló hatása

Anyagtudományi Szeminárium 2014. 04. 14. 37

C18-foszfonsavval C18-hidroxámsavval kezeletlenül

Összefüggés a felületi energia és a megtapadt mikroorganizmusok száma között


felületi energia [ergscm-2]

mikroorganizmusok a biofilmben [sejtcm-2]

vas 62.99 5.2x105

+C18N LB egyréteg

25.06 3.6x103

+C18P LB egyréteg

42.39 1,6x105

réz 56.67 1,2x105

+C18N LB egyréteg

25.66 6,8x102

+C18N LB többréteg

21.28 1,7x102

A C18N molekulából kialakított Langmluir rétegek izotermái és BAM képei


water CaCl2 MgCl2 CuCl2

pH3

pH4

Fémionok LB rétegekben


elektród i [µA cm-2] hatékonyság [%]

Cu 0.91 --

Cu + C18N 0.25 73

Cu + C18N +

Ca2+

0.19 77

Cu + C18N +

Mg2+

0.10 85

Cu + C18N +

Cu2+

0.06 97

-200 -100 0 100 200

-8

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

(a)

Uncoated

coated with C18

N+Mg2+

coated with C18

N+Ca2+

coated with C18

N+Cu2+

Lo

g i, m

A.c

m-2

E, mV vs. SCE

-200 -100 0 100 200

-8

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

Fig .7. polarization curves of uncoated and coated copper

with layers of C18

N+Cu2+

in 0.1 M of Na2So4 at pH=3

Uncoated

Coated with 3 layers

coated with 5 layers

Lo

g i (

mA

/cm

2)

E (mV)

Amfifil anyagok


karbonsavak

hidroxámsavak

lipid-aminosavak


0 10 20 30 40 50 60

-5

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

felü

leti

ny

om

ás

, m

N/m

Å2 / molekula

DHS

LHS

SzS

PHS

SzHS

PS

0 10 20 30 40 50 60

-5

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

felü

leti

ny

om

ás

, m

N/m

Å2 / molekula

OHS

ES

LiS

PoS

RoS

OS

EHS

0 20 40 60 80 100

-5

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

felü

leti

ny

om

ás

, m

N/m

Å2 / molekula

NCmet-C10

NtbkC-C14

NtbkC-C18

NtbkC-C8

NtbkCmet-2C18

NtbkCmet-C16

Monomolekuláris rétegek jellemzése izotermákkal

telített karbonsavak és hidroxámsavak

telítetlen karbonsavak és hidroxámsavak

lipid-aminosavak


Összegfrekvencia vibrációs spektroszkópia (SFG)


Hidroxámsav LB-egyrétegek üvegen

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Inte

ns

ity

Wavenumber / cm-1

C18NZ01G_Av5.ppp

C18NZ01G_Av5.ssp

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Inte

nsit

y Av5.ppp

Av5.ssp

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Av5.ppp

Av5.ssp

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Wavenumber / cm-1

C18NE01G_Av5.ppp

C18NE01G_Av5.ssp

palmitoil-hidroxámsav

oleoil-hidroxámsav

sztearoil-hidroxámsav

elaidoil-hidroxámsav


2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Inte

ns

ity

Wavenumber / cm-1

C18AZ01G_Av3.ppp

C18AZ01G_Av3.ssp

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

C18A01G_Av3.ppp

C18A01G_Av3.ssp

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Wavenumber / cm-1

C18AE01G_Av3.ppp

C18AE01G_Av3.ssp

2800 2850 2900 2950 3000

0,0

0,5

1,0

1,5

Inte

ns

ity

C16A01G_Av3.ppp

C16A01G_Av3.ssp

sztearinsav palmitinsav

elaidinsav olajsav

Karbonsav LB üvegen

A rétegek hatékonysága korrozív közegben (15 h; 0,5 M NaCl)


SzS-SAM

SzHS-SAM

SzHS-LB1

PS-SAMSzS-SAM

PHS-SAMSzHS-SAM

PS-LB1SzS-LB1

PHS-LB1SzHS-LB1 k

0

10

20

30

40

50

60

70

80

átl

ag

érd

es

sé

g (

nm

)

minta

100 m átlag érdesség

PS-SAMSzS-SAM

PHS-SAM

SzHS-SAMPS-LB1

SzS-LB1

PHS-LB1

SzHS-LB1 k

0

1

2

3

4

5

lyu

ka

k a

fe

lüle

ten

(%

)

minta

lyukak 100 m 130 nm középvonal átlag

Koncentráció függő LB rétegek készítése


a: 10-5M; b: 10-6M

Izotermák és BAM képek


A GO-C és GO-P molekula és a GO-C TEM képe

Biomembrán kettősrétegének utánzása


levegő

vizes fázis

Anyagbeépülés a vizes fázisból

Lipáz a SAM rétegben

Biomembrán modell:A kitozán és a koleszterol

hatása a dimirisztoil foszfatidinre


Szubfázis: puffer

Szubfázis: kitozán

Nanorészecskék LB rétegben


Nanorészecskék:

24.9 nm NaYF4:Yb,Er nanogömb,

12.0 nm LiYF4 nanopolyhedra,

14.1 × 1.8 nm triagonal-shaped LaF3,

12.6 nm square CaF2,

9.5 × 2.0 nm hexagonal EuF3,

Fontos: koncentráció

méret

szimmetria

SAM réteg kialakulása


Molekulák SAM-ben


leginkább tanulmányozott rigiditás

Si, Al: leggyakrabban alkalmazott hordozó

tribológia, súrlódás

Molekulák SAM-ben


Amfifil molekulák a levegő-víz határfelületen Bizonyíték a molekulák rendezettségére (1937)


Permanganate solution

Permanganate solution

oxidative cleavage of double bond on oleic acid

increase in surface pressure

no more cleavage!

10Å

SFG spektrumok


2 800 2850 2900 2950 3000

0.0

0.5

1.0

Hullámszám / cm-1

SFG

int

enzi

tás

/ te

tszo

leg

es e

gys

ég

C18P monoréteg üveg hordozón

C18N monoréteg üveg hordozón

2800 2850 2900 2950 3000

0.0

0.5

1.0

Hullámszám / cm-1

SFG

inte

nzit

ás /

tets

zole

ges

eg

ysé

g

C18P monoréteg vas hordozón

C18N monoréteg vas hordozón

2800 2850 2900 2950 3000

0.5

1.0

Hullámszám / cm -1

SFG

int

enzi

tás

/ te

tszo

leg

es e

gys

ég

C 18P m onoréteg réz hordozón

C18N m onoréteg réz hordozón

2850 2900 2950 3000

SF

G i

nte

nsity (

arb

. u

nit

s)

Wavenumber / cm -1

Av3.M15

Av3.M30

Av3.M45

Av3.M60

Av11.LB

LB rétegek, fejcsoport függés SAM rétegek, időfüggés

SAM rétegek rézen, IRRAS (0° polarizáció)


0

20E-05

40E-05

60E-05

80E-05

.001

.0012

.0014

2950 2900 2850 2800


C18N 15’

C16N 15’

C12N 60’

C16N 60’

C18N 60’

C12N 15’

C10N 15’

C10N 60’

as(CH3)

~2918

s(CH3)

~2848

as(CH2)

~2960

s(CH2)

~2870

0

20E-05

40E-05

60E-05

80E-05

.001

.0012

.0014

2950 2900 2850 2800


C18N 15’

C16N 15’

C12N 15’

C10N 15’

Ideális és nem ideális SAM képődés


SAM rétegben a molekulák visszahajlásának lehetősége


A SAM lehetséges alkalmazásai


A) Biolerakódás gátlás B) SAM specifikus receptor kötőhelyek C) Natív sejtszaporodás, megfigyelés D) Molekuláris elektronika E) Mikroberendezések F) Elválasztás

Önszerveződött makromolekuláris szerveződések szilárd hordozón


Poliionok elektrosztatikus önszerveződése


Alkalmalzási lehetőségek

•Bioszenzorok

•Szelektív membránok

•Katalitikus filmek

•Bevonatok

SAM:Elektrosztatikus önszerveződés nanorészecskéken


Szénnanocsőből kialakított szenzor


Önszerveződött diblock polimerek


TEM felvételek: polisztirol-

polibutadién

diblockpolimerekből készült

maszk (a,c) és litográfiával

módosított szilicium nitrid

(b,d).

Önszerveződött makromolekulák


Önszerveződött, dupla

rozettás

szupermolekulaszerkezet

barbituráttal és melaminnal

kölcsönhatva

SAM réteg változása fény hatására


Hidrolízises reakció foszfolipid SAM-ot tartalmazó szilika részecskén


Reakció önszerveződött rétegen


STM felvétel SAM-ról működés közben


STM képek: (a) diacil 2,6-diaminopiridin (DAP)

dekántiol kapcsolóval, dekántiol

monomonorétegben. (b)a komplementer elektroaktív

Fc-uracil kapcsolása után (c) az electroaktív guest

molekula helyettesítve izoláló dodecil funkcionalizált

uracillal.

Tiol-linkerrel Au NP-hez kötött foszfolipid monoréteg


O

O

O

OOC

PO

N

O

C

CONH

O

CH2 CH2SH

O

O

O

OOC

PO

N

O

C

CONH

O

CH2 CH2SH

O

O

O

OOC

PO

N

O

C

CONH

O

CH2 CH2SH

O

O

O

OOC

PO

N

O

C

CONH

O

CH2 CH2SH

AuGlass

Fotolitográfiával módosított felszínek


Au nanorészecskék (3-

merkaptopropil)trimetoxi

szilán monoréteggel

módisított SiO2-vel borított Si-

on (SEM)

3-rétegű

nanorészecskékkel

borított felszín

fotoátalakítás után (AFM

kép;80 mm x 80 mm)

Nanorétegek, szilárd felszínek, molekulák



Önszerveződött csövek, gömbök peptidekből, hidrofil-hidrofób molekulák kölcsönhatásával

A nanorétegek termikus stabilitása


Mikro- és nanorétegek készítése és jellemzése · „Dipp-coating”, „spin-coating”...

Documents

Transcript of Mikro- és nanorétegek készítése és jellemzése · „Dipp-coating”, „spin-coating”...