Leybold, ULTRATEST UL 100 PLUS, Helium Leak .ULTRATEST UL 100 PLUS Helium-Leck-Detektor-Portable

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  • vakuumtechnik Vakuum-Verfahrenstechnik

    GA 10.207/4

    Gebrauchsanweisung Operating Instructions Mode d'emploi

    MeB-und Analysentechnik

    LEYBOLDAG Ein Unternehmen der Degussa

    ULTRATEST UL 100 PLUS Helium-Leck-Detektor-Portable Helium-Leak Detector, Portable Detecteur de fuites a helium portatif

    Software-VersionlVersion 3.x du logiciel

    155 82, 155 83, 896 38

    www.idealvac.comhttp://www.idealvac.com

  • ___________________________ mm ACHTUNO r Vor ledsr /nan!Jpruchnahme des ServIces Itd.s. aUI GrUnden der ArbeltBslcherhs/t und de. Umweltsch lib:-es notwlilndlg. am oder 1m Gerlt baflndllche. gaflihrll che ste"e (z.a 1m S/nne EG-Alchfflnle L 380, 1976 /1979 odor VaG 16) anzuzelgen und zu deklarleren.

    Inhalt 1 1.1 1.1.1 1.1.2 1.1.3 , .1.4

    1.2 1.2.1 1.2.2 1.2.3

    1.3 1.3.1

    1.3.1.1 1.3.2 1.3.3 1.3.4 1.3.5 1.3.6

    1.4 1.4.1 1.4.2

    2 2.1 2.1.1

    2.1.2

    2.1.3

    2.2

    2.2.1 2.2.1.1 2.2.1.2 2.2.1.3

    2.2.2

    2.2.3 2.2.4

    2.2.5

    2.2.6

    2.2.7

    2.2.8

    2.2.8.1

    2.2.8.2

    2.2.8.3

    2.2.8.4 2.2.9

    2.2.10 2.2.'1 2.2.12 2.2.13

    2

    Baschrelbung .... Allgemeine Angaben .. Bezeichnung ....... Verwendungszweck ..... KennzeichnungS5teUe BaugruppenObersicht ..

    Technische Daten . Physikalische Daten ... Elektr/sche Daten ... Sonstige Daten ... .

    4 4 5 5 5 5

    6 6 7 7

    Technlsche Beschrelbung 8 Beschreibung des Nachweis-Prinzips (Gegenstrom) ... 9 Ventilstellung ..... 9 Vorval

  • mm~ __________ ~ ______ ~ __ __ 2.2.13.1 SchlOsselschalter ..... 25 2.2.13.2 Multifunktions-Schnittstelle .. 27 2.2.13.3 Trigger-Ausgange Trigger 1 + 2 28 2.2.13.4 Teilstromventilansteuerung 29

    2.2.13.5 Femsteuerung der Lecksuch-funktionen .... 30

    2.2.13.6 AnaJog-Spannungs-AusgAnge 30 2.2.13.7 Analog-Spannungs-Ausgang

    fOr den EinlaBdruck (PE) .. 31 2.2.13.8 KopfhOrer-AnschluB .. 32

    2.2.13.9 Halskette ........ 32 2.2.13.10 Verbindung zwischen Bedien-

    2.3

    2.3.1

    2.4 2.4.1

    2.4.2

    2.4.3

    2.4.3.1 2.4.3.2

    2.4.3.3 2.4.4

    2.4.5

    2.4.6

    2.4.6.1 2.4.6.2 2.4.7

    2.4.7.1

    2.4.7.2 2.4.7.3

    2.4.7.4

    2.4.8 2A.B.1

    2.4.8.2

    2.5

    2.6 2.6.1 2.6.2

    2.6.3

    2.6.4

    2.7

    2.7.1 2.7.2 2.7.3

    einheit und Lecksuohmodul 32

    Inbetrlebnahme und Abo pumpen elneB ProfllngB . 33 Einstellen der Uhrzeit und Datum ........ 36

    Betrlebaarten ... ~ . 37 Obersicht der Betriebsarten ..... 37 Vakuum-Lecksuche mit prOfling ....... 38 Handhabung des PrOfIings bei lokaler und integraler Lecksuche ....... 38 lokale Lecksuche ....... 38 Bestimmung der Ansprech-zeit .......... 39 Integrale Lecksuche ...... 39 Besonderheiten bel groBem Volumen elnes PrQfIings ... 39 Besonderheilen bei kleinem Volumen eines PrQfIings '" 39 Besonderheiten bei kleinen und groBen Leckraten .. 40 Kleine Leckraten ..... 40 GroBe Leckraten .... 40 Besondere LecksuchablAufe 40

    Option Teilstrompumpsatz TPS UL 100 PLUS .......... 40 Sonstige Pumpsatze .. 42 Betrieb des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul ...... 43 Lecksuchmodul mit anderer Vorvakuumpumpe am Vor-vakuumanschluB ........ 43 SchnOffeliecksuche .... 44 Lecksuche mit Standard schnOffler ............ 45 Lecksuche mit HefiumSchnOffier QUICKTEST QT 100 ..... 45

    AuBerbe1riebsetzung .... 45

    Kallbrieren und Tunen .. 46 Tunen ...... 46 Kalibriereri mit eingebautem Testleck ... 46 Kalibrieren mit externem Testleck ....... 47 Kalibrieren im SchnUffelbetrieb ....... 48

    Servlcefunktlon der Eleklronlk-Elnhelt ....... 49 Statusanzeige _. . . . . .. 52 Fehlermeldung ....... 53 Abgleich der Massen-position ................ 55

    22.13.1 Keylock Switch .......... 25 2.2.13.2 Multi-Function Interface .. 27 2.2.13.3 Trigger OutpUts Trigger 1 + 2 28 2.2.13.4 Driving of the Partial-Flow 29

    2.2.13.5 Remote Control of the Leak Testing Functions ..... 30

    2.2.13.6 Analog voltage outputs ... 30 2.2.13.7 Analog voltage output for

    the inlet pressure (PE) . 31 2.2.13.8 Headset Socket ..... 32

    2.2.13.9 Carrying Chain ....... 32 2.2.13.10 Connection between Control

    2.3

    2.3.1

    2.4 2.4.1

    2.4.2

    2A.3

    2.4.3.1 2.4.3.2

    2.4.3.3 2.4.4

    2.4.5

    . 2.4.6

    2.4.6.1 2.4.6.2 2.4.7

    2.4.7.1

    2.4.7.2 2.4.7.3

    2.4.7.4

    2.4.8 2A.B.1

    2.4.8.2

    2.5

    .2.6 2.6.1 2.6.2

    2.6.3

    2.6.4

    2.7

    2.7.1 2.7.2 2.7.3

    Unit and Leak Detection Module ......... ,. 32

    Initial Stan-Up and Evacuation of a Test Object ..... 34 Entering time and date .... 36

    Opemlng Modes .... 37 Overview of the operating modes ..... 37 Vacuum Leak Detection with Test Object ........ 38 Handling of the Test Object for Local or Integral Leak Detection ......... 38 Local Leak Detection .... 38 Determination of Response Time ........ 39 Integral Leak Detection ... 39 Special Features of Large-Volume Test Objects 39 Special Features of Smail-Volume Test Objects 39 Special Features of Low and High Leak Rates ....... 40 Low Leak Rates ......... 40 High Leak Rates ...... 40 Special Leak Detection Procedures ......... 40 Optional Partial-Flow Pump Set TPS UL 100 PLUS ...... 40 Other pump sets ........ 42 Leak Detection Module without Pump Module ..... 43 Leak Detection Module with another Backing Pump Connected to the Forevacuum Inlet . 43 Sniffing Leak Test ....... 44 Leak Testing with Standard Sniffer .......... 45 Leak Testing with QUICKTEST QT 100 Sniffer Probe ... 45

    Switching Off ......... 45

    Calibration and Tuning .. 46 Tuning ............. 46 Calibration with the built-in calibrated leak ....... 46 Calibration with an extemal calibrated leak ...... 47 Calibration in the sniffer mode................. 48

    Service Functions of the EI~ronlcs Unit ...... 49 Status Indication ....... 52 Error Messages ....... 53 Alignment of Mass Position ........ 55

    22.13.1 Commutate IX a de ........ 25 2.2.13.2 Interlace multifonction .. 27 2.2.13.3 Sorties trigger, et trigger 2 .. 28 2.2.13.4 Commande du robinet flux

    partiel . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 2.2.13.5 Telecommande de la detection

    de fuite ... ;....... 30 2.2.13.6 Sorties tension analogique ... 30 2.2.13.7 Sortie de tension analogique pour

    la pression d'admission (pE) 31 2.2.13.8 Raccordement pour casque

    d'ecoute .......... 32 2.2.13.9 Chaine de suspension ...... 32 2.2.13.10 CAble de connexion entre

    2.3

    2.3.1

    2.4 2.4.1

    2.4.2

    2.4.3

    2.4.3.1 2.4.3.2

    2.4.3.3 2.4.4

    2.4.5

    2.4.6

    2.4.6.1 2.4.6.2 2.4.7

    2.4.7.1

    2.4.7.2 2.4.7.3

    2.4.7.4

    2.4.8 2.4.8.1

    2.4.8:2

    2.5

    2.6 2.6.1 2.6.2

    2.6.3

    2.6.4

    2.7

    2.7.1 2.7.2 2.7.3

    l'unitS de commande at Ie module-detecteur ....... 32

    Premiere mise en service et pre-miere evacuation d'une piece 35 Introduction de I'haure et de la date ............... 36

    Modes ~e service .... Aperpu des modes de service ....... Detection de fuites sur piece sous vide ... "...... Travail sur la piece pour les detections de fuites locale et intregrale .......... Detection de fuite locale ... Determination du temps de niponse ............ Deteciion de fulte integrale Particulantes pour les pieces de grand volume .......... ParticularitBs pour les pieces de petit volume ....... Particularites pour les taux de fuite minimes at importants Petits taux de fuite ...... Importants taux de fuite ... Procedures speciales de detection ......... Option groupe de pompage de flux partiel TPS UL 100 PLUS Autres groupes de pompage Service du moduled8tect.eur sans module-pompe .... Module-d8tecteur avec une autre pompe sur Ie raccord vide primaire ..... Detection avec renifleur ... Detection avec renifleur _dard ....... ' ....... . Detection avec ren.ifleur rapids QT 100 .........

    37

    37

    38

    38 38

    39 39

    39

    39

    40 40 40

    40

    40 42

    43

    43 44

    45

    45

    Arrirt de I'apparel! .... 45

    C8librage et syntonlsatlon. 46 Syntonisation ..... 46 Calibrage avec fuite calibree incorporee ..... 46 Calbrage avec une fuits calib$ axteme ...... 47 Calibrage en mode renifleur ............ 48

    Unite electronique avec panneau de service ... 49 Indication d'etats ....... 52 Messages d'erreurs ..... 53 Compensation de la position de masse ............... 55

    3

  • ___________________________ mm 3 Wartung ... 56

    3.1 Wartungsplan. ... . . . ... 56

    3.2 Wartungsarbelten.. . . . . . .. 56 3.2.1 Vorpumpe TRIVAC 0 1,6 B . 56

    3.2.2 Turbo-Molekularpumpe TURBDVAC 50 ............ 56

    3.2.3 Luftfilter wechseln ..... 56 3.2.4 Wechsel der lonenquelle 57

    3.3 SoftwareumriiBtung fur Sottwareveralonen ab V 2.0 58

    3.3.1 Identifikation der Software des UL 100 PLUS .......... 58

    3.3.2 Ausbau der Mikrocomputer-lei1erkarts ................ 58

    3.3.3 Austausch der programm-EPROM .................. 59

    3.3.4 Einbau der Mikrocomputer-lei1erkarts ................ 60

    3.4 Service . 60

    1 Beschrelbung

    1.1 Allgemeine Angaben Die58 Gebrauchsanweisung enthatt wichtige Informationsn zurn VerstAndnls, zur Aufstel-lung, Inbetriebnahme und Betrieb, Fehlersu-che und zur Wartung des Helium-leck-Detek-tors UL 100 PLUS.

    Wichtige Anweisungen. die die technische 5i-cherheit -und den Betriebsschutz betreffen, sind durch KennzeichnungBn hervorgehoben.

    Vorslcht steht bei Arbeits- uoo Betriebsver-fahren, die gansu einzuhaften sind, urn eine GefAhrdung von Personen auszuschlieBen.

    Achtung bezieht sich auf Arbeitsw und Be-triebsverfahren, die ganau