JMP Thermique Bâtiment1 THERMIQUE BÂTIMENT BILAN THERMIQUE DHIVER.
l'Evaporation thermique :technique de depot CVD
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Transcript of l'Evaporation thermique :technique de depot CVD
Réalisé par : Malak TALBI Mohamed Amin EL-AGUECH Sahar JEDIDI
République de la TunisieUniversité de Sousse
Institut Supérieur des Sciences Appliquées et de Technologie de Sousse
Département Génie Electrique
Année universitaire : 2016-2017
Projet : L’évaporation thermique
PlanIntroduction:
L’évaporation thermique
Avantages et inconvénients
Quelques questions
Les techniques de dépôts
Dépôts chimiques en
phases vapeur (CVD)
Dépôts physiques en
phases vapeur (PVD)
Cible(source)
Substrat
Milieu
C’est quoi un dopage ?
Pourquoi on dépose ?
C’est quoi un couche mince ?
e
L’évaporation thermique
Principe:L'évaporation sous vide repose sur deuxprocessus élémentaires : l'évaporation d'unesource chauffée et la condensation à l’état solidede la matière évaporée sur le substrat.
Equipement
Creuset
Matière évaporée
Système de pompageélectrodes en cuivre
Couche en quartz
Cela ressemble quelque peu au procédé qui voitl'eau liquide apparaître sur le couvercle d'unecasserole d'eau bouillante : l'eau liquide estévaporée et se recondense sur le couvercle quiest l'équivalent de la cible du dépôt.
Exemple pour mieux comprendre la technique :
Structure de couches minces déposées par évaporation thermique:La morphologie des films déposés par évaporation thermique estdéfinie principalement par le rapport entre la température dusubstrat, Ts et la température de fusion, Tf du matériau à déposer.
Ceci est illustré schématiquement par le Tableau suivant :
Avantages et inconvénients
(-) Couches minces poreuses car les atomes présentent une basse énergie cinétique (de 0,1 à 0,3eV).
(-)Manque d’adhérance des couches
(+) Facile à utilisé(+) Vitesse de dépôt élevée (de 1 nm/min à 10µm/min)
(+) Industriellement, la technique d’évaporation est très utilisée en optique ,en décoration, pour le revêtement de substrats en feuilles (emballages ..)
Comment peut on obtenir une structure
en multicouches ?
Un système à quatre sources d'évaporation
(multi-creusets)
Utiliser un évaporateur à un seul creuset et faire le dépôt couche par couche , et pour chaque couche en crée le vide .
Comment peut on contrôler l’épaisseur de la couche mince
déposée? Et à quoi sert le système de pompage ?
Microbalance en Quartz
Créer le vide afin de réduire le taux d’impureté et pour obtenir des couches minces de pureté acceptable
Merci pour votre
attention