l'Evaporation thermique :technique de depot CVD
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Réalisé par : Malak TALBI Mohamed Amin EL-AGUECH Sahar JEDIDI
République de la TunisieUniversité de Sousse
Institut Supérieur des Sciences Appliquées et de Technologie de Sousse
Département Génie Electrique
Année universitaire : 2016-2017
Projet : L’évaporation thermique
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PlanIntroduction:
L’évaporation thermique
Avantages et inconvénients
Quelques questions
![Page 3: l'Evaporation thermique :technique de depot CVD](https://reader036.fdocuments.net/reader036/viewer/2022073016/58cff77f1a28abfc0a8b516b/html5/thumbnails/3.jpg)
Les techniques de dépôts
Dépôts chimiques en
phases vapeur (CVD)
Dépôts physiques en
phases vapeur (PVD)
Cible(source)
Substrat
Milieu
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C’est quoi un dopage ?
Pourquoi on dépose ?
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C’est quoi un couche mince ?
e
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L’évaporation thermique
Principe:L'évaporation sous vide repose sur deuxprocessus élémentaires : l'évaporation d'unesource chauffée et la condensation à l’état solidede la matière évaporée sur le substrat.
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Equipement
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Creuset
Matière évaporée
Système de pompageélectrodes en cuivre
Couche en quartz
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Cela ressemble quelque peu au procédé qui voitl'eau liquide apparaître sur le couvercle d'unecasserole d'eau bouillante : l'eau liquide estévaporée et se recondense sur le couvercle quiest l'équivalent de la cible du dépôt.
Exemple pour mieux comprendre la technique :
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Structure de couches minces déposées par évaporation thermique:La morphologie des films déposés par évaporation thermique estdéfinie principalement par le rapport entre la température dusubstrat, Ts et la température de fusion, Tf du matériau à déposer.
Ceci est illustré schématiquement par le Tableau suivant :
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Avantages et inconvénients
(-) Couches minces poreuses car les atomes présentent une basse énergie cinétique (de 0,1 à 0,3eV).
(-)Manque d’adhérance des couches
(+) Facile à utilisé(+) Vitesse de dépôt élevée (de 1 nm/min à 10µm/min)
(+) Industriellement, la technique d’évaporation est très utilisée en optique ,en décoration, pour le revêtement de substrats en feuilles (emballages ..)
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Comment peut on obtenir une structure
en multicouches ?
Un système à quatre sources d'évaporation
(multi-creusets)
Utiliser un évaporateur à un seul creuset et faire le dépôt couche par couche , et pour chaque couche en crée le vide .
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Comment peut on contrôler l’épaisseur de la couche mince
déposée? Et à quoi sert le système de pompage ?
Microbalance en Quartz
Créer le vide afin de réduire le taux d’impureté et pour obtenir des couches minces de pureté acceptable
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Merci pour votre
attention