Instituto de Física da USP · Célula eletrolítica Parâmetros: •Densidade de corrente...
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GFAA – Grupo de Física Aplicada com Aceleradores
Manfredo H. Tabacniks (FAP)
Marcel Dupret L. Barbosa (LAMFI)
Márcia de Almeida Rizzutto (DFN)
Nemitala Added (DFN)
Construção e caracterização de Construção e caracterização de microestruturas em “rastos iônicos”microestruturas em “rastos iônicos”
Adriana Rocha Lima
outubro/2005
Instituto de Física da USP
Motivações
• G.N. Akapiev et al - Ion track membranes providing heat pipe surfaces with capillary structures,Nucle. Instr. and Meth. In Phys. Res B 208 (2003) 133 – 136.
• D. Fink et al – High energy ion beam irradiation of polymers for eletronic aplications, Nucle. Instr. and Meth. In Phys. Res B 236 (2005) 11 – 20.
ObjetivosObjetivos
Desenvolver a metalização de poros em Desenvolver a metalização de poros em membranas de policarbonato.membranas de policarbonato.Caracterização das estruturas obtidas por Caracterização das estruturas obtidas por (SEM e RBS)(SEM e RBS)
O que são rastos iônicos ?O que são rastos iônicos ?Feixe de íons
Rasto iônico
Rastos iônicos revelados (poros)
Construção das microestruturasConstrução das microestruturas
Etapa 1 de 5
Etapa 2 de 5
•Evaporação por PVD (Physical Vapor Deposition):
Deposição de um filme fino de um material condutor Au.
Membranas de policarbonato (Nuclepore)
Altura: 7µm - 10µm
Diâmetro dos poros: 0.4µm - 8µm.
Etapa 3 de 5
• Eletrodeposição:Deposição de uma camada mais espessa de um material condutor.
Solução eletrolítica
Célula eletrolítica
Parâmetros:
•Densidade de corrente elétrica
•Tempo de deposição
•Concentração da solução.
•Agitação
Etapa 4 de 5
Etapa 5 de 5
• Remoção:
O policarbonato é dissolvido em solução de CH2Cl2.
• Prolongamento:
Crescimento de “cabeça”
Caracterização das microestruturas
detector
beamRBS: Rutherford Backscattering Spectrometry
100 200 300 400 500Channel
0
50
100
150
Nor
mal
ized
Yie
ld
0.5 1.0 1.5 2.0 2.5
Energy (MeV)
Simulation of Cu-Au/Cu/Cu-Au/CuInitialized bufferInitialized buffer
Energy (MeV)
Simulação
Channel
Experimental