[IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th...

6
978-1-61284-736-8/11/$26.00

Transcript of [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th...

Page 1: [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium - Corrosion management

978-1-61284-736-8/11/$26.00������������ ��� ����������������������������

������������� ��������������������

������������ ������������������������������������������������������ ��!��"#�$�"������%������&#�'�#(������"��)&��*+,-�������."���"�/ ���#�#�.���#0����12����������.��3�*4��

5���6���'���70"�2���#���8�����8'�70"�2���#���

�������� ��� ������ ����"�� � ��9"8�� �##��� �8� ���� "����8� #��

8���� �����"� �#� ��#������"� (��� ������ ��:��"� #�����#"�������#�����#�"���;0����#��������#��#(��8"���� ;0���.� ��������� � 8���� �����"�� <�� �#���� #�� ���"8�� ��##�=��#� "� �� ����"�� � �#�����#� ��:��"��#������.� ���8�� �#� �#��� ���0��"� �8� #0����"� #�� ���� � ��;0����������"�������(��8�"��2�����#��#"#����"0�������8� ��������� ����#�#�.� ����� ��2��"� ���� ���0���.� �8������ ���� �#�#��� #�� ���� ��"�#0"� �#�����#�� ���".���"��� ������"� #�� 8##�� ��� ��������0��� �8� �����:���0�8�.� #� � �#��#"#� ����"� ���� :�"�����8� �8� ���� "�������8���������#����:����#"�#�������#��#":�.������"��2�"��8��������� #�� ���� #0�"8�� ���� 2#��� �#�� �����0����� �8� ��"�#0"��#�����#�������������� �#�����#� �8���������"������������ �� �����.� (8�� ��� ;0���.� �#�#��� "."������#�"�"� ���� "���� 0"�� #�� ��9"8�� ��##�=��"� �8� (#0�8��"��2�"�� ����#������ ��������(���� ��2��� ����.� ���:��#�#�� ������� "�0��#"� �#�� �#����#� ����#�#�.� >� ?��;0�����#�����#"���

����������#��#"#�� �"'����������� �����:���0�8�.��8�(��#���

8����������

��� ������������� ��� 8�"��� #�� #������� 8���� �����"� >@%"?� �#���

����.����������"� ��"0���8� ��(#����8"6�>�?��:�#������#����������������"��#��� ��;0�������:��2���"������.��A��8�8� �8� >�?� ��� "8�� ��##�=��"� ���� ����"��.�0"�8��#� #��"��� �##��� ����.� �#"0���#�� (���� ��� 2��"02"������ �����#� #�� ���� �#����@%��#(���� ��"�� �(#� ���8"���� ��:�� "������ ������#"� �#�� ���� �#��#"#� �"'� #�� ��@%���

�� �������� ��� �� ���� ���!� ��������������������

��8�#���.� @%"� ���� #������8� � ����.� �#��#���8��:�#���"� (����� "����� ��������0���� �0�8�.� �8� ���;0���.� ���������"� ���� �����8�� $�����.� ���� ��������0����8� �0�8�.� #������� �:��#��� (�"� �A��8�8� 2.� ���B������ �#���.� #�� ������� $���������� �8� B�9%#8�#�� 5����"� >B��$B5?� � �#���2#���#�(��� � ��;0�������0����0���"�� C�D� ��� ���#���8�8� ��������0����8� �0�8�.� ��:��"� �#�� ��� ���"� � � � �;0����� ����"0����=�8�� �2��������

����

��

� �2��� �� B��$B5� ���#���8�8� �:�#������

���������"��#��8����������#�����#"�C�D��� ��� B��$B5� �08���"� ���� 8�"��8� �#� ��=��

������."�������0����"'"�#������� ��;0����"�(��������:�������� ����.� ������.�� �#�� �A������ �� "� "0���"��8� ������0�8�.� ��:��"� 2��#(� �*E� ��� ����"�� ���� ��#2�2��.� #��������#"����� 8"������� >5�@?� �8� ������.� ���� ���0��� #���������8� ���0�� �#��#��"�� C�D� ���� �0�8�.� ��:��"�>�2#:�� 3*E?� ��.� ����"�� ���� ��#2�2��.� #�� %�� 2#��8�8������#�� �#8�� ������� ��#(���� =�� (�"'��� ��#(����8��#��#"#��C49FD��0������#����������#���8�8�#�������2#08���"������#"8���������#�2�8��������#����������0����8������:���0�8�.��#��:#8��#8�"��#��8�"������������20�80����

5A��8�8� #�����#� #0�"8�� #�� ���� ���#���8�8��:�#������ ����"� �A�#"�"� ���� � � �;0����� �#� ���������0����"'"����.�"�08�"���:��2���8�8����8��#�:�"���������� ������� #�� ��������0��� �8� �0�8�.� #� �������8� ���0��>�%?� ����2��.�� ��8��:�� �#8��"� #�� G���� ���� �#� ���0��H��#�� �%� �#��#��"� (���� 8�:��#��8� 2�"�8� #� ��"�� ��������#8��"��8I#��#�8����8�:���#8��"�#������8��#��#��"������ ���8�� C3D� !���� ���"�� �#8��"� ����.� �#� 8"������ �%��#��#��"����.����2���A��8�8��#�"."������:��"��"�8"�������#��#������0���(����������� ��;0�����#�����#���

��� ���"����� ����� �#��$� <�� #�� ���� �#"��"�������#�(��8�����#����"��#�8�:��8#(��##�������.��#"�����8����������"����"8����##�=���C-D����"�����8:������"�����������2���8����8�0"���A"������"��0��0��"��8���"��� ��#:�� ����'� #�� "0���""�0�� 8���#.���� � 20�8�"� �8�80"����� ������"�� 5�2��� ����� ��� �##��� �#� ��80��� ������������ �#�8"� � ���� ����.� 8���8� ������"� �'�� 8���������"� ��� ��80��� �##��� ����.� �#"0���#� 2.� 0�� �#�J+*E�� ������#8�#���������.����(������"8����##�=������ 2�� 0"�8� "� 8���8��� #� ���� #0�"8�� ��� ��������0��� �8��0�8�.���:��"��8����:��.�(�����#��������� �#���#"��8�(��������#8�#"����"�8�#��#����(�������8��������0�2��"�

�������� �� �

��� �� ��

����������������� � �� ���! �� ��"�#�������������$%� ���&� �� �������������'(��)����

&� ����! !� ��"�#�������'(��)����

*+��,��('������-����'�����$��&�

./��.����0�''���)�����

�������� �� �

��� �� ��

����������������� � �� ���! �� ��"�#�������������$%� ���&� �� �������������'(��)����

&� ����! !� ��"�#�������'(��)����

*+��,��('������-����'�����$��&�

./��.����0�''���)�����

Page 2: [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium - Corrosion management

���������������!�!���"���#�����!��!��� � ��� ����������������������������

#�� �#0�"� �� 8���� ������ ��� 0��=�� #0�"8�� ��� �#�� �##��� �#�����������"�����"0����=�8������������2��#(6�

� �2����6� #�������:���2��.� �#����"8����##�=����������K�����"��0"���� �������"0���.���� ��������0���#���*�#%������8�(��#����������0���"����#��#�����L%���

��#�� � ��;0�����#������8����������������0��"��8�

����"�8� �0�8�.� �#�2�8� (��� ���� ��:��� #�� ����#�����#�������8��#��#��#"#��"'��8���������"��B"�(��(��� 8"�0""� � ��"� ������ #�.� �� �#������":�� �#�#����8���������� ����#�#�.� �88��""�� ���� �#��#"#� �"'� �����9���� ��#�"�"� �#� ��2��� ���� �0��� ��:������ #�� 2#��� �����A��8�8������#���:�#���������������"��#��#�������� ��;0������"�(�����"����"8����##�=����

����� ���� �(#� �.��"� #�� �#�����#� ����� (����8����8� �#� ��#"�� �"'� #� � � �;0����M� �����0����"� �8���"�#0"� �#�����#"� C,D�� $����� :�"����#� #�� ���������0����� �#�����#� ��:��"� � 8���� �����"� �"��2�"��8������ ��#���� ������� ��� ��80��� ���� �#������#"� �#��������2�����:��"��C�*D��#����"�#0"��#�����#��#�#�������� B��$B5� �02����#� C,D� "����"� ����� �����:�.� "�#0�8� 2�����"0��8� 2#��� �#�� �#����� �8� �#�� "�:���� ��� "�08.����#���8"� ����� �#������8�"�:����#��#"#� ����"�"�#0�8�2�������8� ��""� ���� 4**� NI�#��� �#�� �� #� �#������8��:�#������0������#��� ����B��$B5��02����#"� "0���"������� � "�0��#"� (����� ���#"������ �#�����#� "� �������#����������#�"�#0�8�2��0"�8��#���80��������#��#"#���:��"�2��#(�4**�NI�#���C,D��

��"�8� #� B)��I��B93��*O9�,-+� ���� �#��#":�.� �8���� �����"� ��� 2�� ���""��8� ���#�8�� �#� O� "�:���.� ��:��"�C��D6� ��� ��:��9��8� (��� �#����� �����:�.� ����� 2��#(� 4**�NI�#��M� ��� ��:��9�#8������ (��� �����:�.� ��:��"� 2��(���4**� �#� �***� NI�#��M� �4� ��:��9���"��(��� �����:�.� ��:��"�2��(��� �***� �#� �***� NI�#��M� �8� �O� ��:��9��:���� (��������:�.���:��"��2#:���***�NI�#���C��D��

�� ��"� �������(�����"��� ����8�:��#�����#��������"�"�:�.� ����� ���� �#��#"#� "�"#�� ����#�#�.� �8� �����#��#"#� ��"0��"� ��#�� �� 8���� ������ (��� '#(� �#��#"#���#2���"�� !�� :�"������ ���� 8##�� ��� ���������"�>��������0��� �8� �����:�� �0�8�.?� ������ �8� �����".���"��� ������� #� ���� �#��#"#� ������������� �8� ����#����:����#"� #�� ���� �#��#"#� ����� ���� �"��2�"��8� � ��"� 8���������� �8� �#��#"#� ����� �����"� ���� �#�������8� (�����������0��� �8� �����:�� �0�8�.� :����#"�� !�� ���� ��"#��#�������(#��#��#"#��#�#�������;0�"��#��2�"�8�#������ ���� �#��#"#� "�"�� �8� �� "��#8� 2�"�8� #�%#0�#������8�����#�#���������#0�#"���

���� "�"�:�.� �#��#"#� ��������"0�����"� ��2������� 8�:��#����� #�� �#��#"#���������� "�������"� � 8���������"��!����#��#"#� "�"#�"� "�����8�2#��� "8�� ����8���������"� �8� #0�8##��� ��� ���� ��'�"� #�� ��� ��8��� 0�"�� �����#��#"#� ��������� ��2��"� ����� ���� �#�#��� #�� �����#��0�#� ��:��"�#�� ����#0�"8����� �#���##����0��#"�"���0����#�#��� "."���� (��� ���:��� �#��0��8� ��� 2��� 0"�8� �#���##��� �0��#"�"� �8� ��2��� ��� "8�� ��##�=��� 0��=��#�(��� #0�8##�� �#�����#� ��:��"� ���� �#(�� !����#�����#� >�#��#"#?� "�"#�"� 8"��20��8� � ���� 8����������������#�0#0"��#�#���(����""0��������.�����#�����;0���.� "���"� ���������8� � ���� 8���� ������ ��08�� ����������:��""�#����"�#0"������"����:���#�����#��#��#���#�#���"�������������"�(����������#��#"#��"'"�>"0����"�%B��)&��)�?�(��������:#0"����"0������#�� ������"�#0"��#�����#�#������#0�8##������"��2�"��8�����������#��#"#�����"� ���� ������ ���� ���� ���#���8�8� 0����� ��:��"� >4**�NI�#��?�C��D����

����������� ������������� ��� �����

%#��#"#� ��0"�8� ���0��"� #�� 8"������ ������#���#��#��"��8� %��2#��8"���:��2������#���8� �������0���C�49�+D�� ��08�"� "��� ���� �,-*P"� ��:���� ����� ���#"�������#��#"#� "� �� �#���� �#�� � � �����#�� ������"�� �:#�"� �8�0������ ����"�� %#�#�����.� �#��#"#� ���������"�������"� ��:�� 2��� 8�:��#��8� �#�� 0������ ����"� �8� �#���:#�"� C�F9�,D�� ��"�� ��������� �#8��"� ��08����#�#"��"� �#� �""�"� ���� ���� ���� �#� ���0��� �8� 0"��0��������� ���� �#�� �#��#��"�� ���0�"� �8� "."���"�� ������"�������"� ��.� 2��#��� ���"2��� �#�� 8���� ������ #�����#"��(����� �"'� ����#�"� �'�� ����"�8� #������� ��������0���� :��.����� �8� :��.� �#(� �����:�� �0�8�.�� ���8� ��������0��� �8��0�8�.� �.���� �8� ��� �#�����#� � �#0�8� 2�� ;0����8�2.� "��8��8� �����"� ����� ���#(� ���� �#����"#� #�� ���� �"'���:��"���

��B�������� �"'� ����#�� "� ��������#�����#� �8���������"� ����� ��� ���8� �#��#��#"#�������8����0��"�� ��������� �(#� ��� �#��"� #�� �� �#��#"#� ��������� "������.6��"��2�"�� ���� �"'� ��:��"� �#�� � � �;0����� #������8� ��#������8� ���#"������ �8� ��#�#"�� "�������"� �#� ��������#��#"#� ������"�� B� "0���""�0�� �#��#"#� �������������#���� "�#0�8� �������� �#������#� #�� ���� �#��#"#� ��������:��"�(������������#����0����#��������#���#��#����8�� ��;0������8�"�#0�8�0"����#�#"����##�"��#��"���������������� 0"��0�� �������� ���� �#��#"#� "� �� ".���"�����"0��� #�� ��"�#0"� �#�����#�� ��������0���� �8� �0�8�.�:����#"��8���������"�� �����#��#"#���"��#�2�����.=�8������ �#��A�� #�� 8���� ������ #������� �#8�#"�� B� �0��� "�����8���#.���� #�� ��������0���� �0�8�.�� �8� ��� ��#(� "�"#�"��#�2�8�(����#��#"#� "�"#�"���2��"� ����8�:��#�����#�����8��:���"'��#8��"��#��8���������"���

��"�#0"� �#�����#� ��� 2�� �#�#��8� 2.� >�?����"0��������#��#"�#�#��������������8����������#��>�?������������:�.��#�#�����#�������:�.��#�#�����������������"0������"��A�#"�8��#������#������8����#"�������8����� ��#(��� ����� #�� �#�����#� ��#80��� "� ���"0��8�� ��"��#��#"�#� �#�#��� � 8���� �����"� ��� ���"0����#�����#� ��:��"� 8�����.�� �#(�:���� ������� ��"�

����������� ����

��������������������

������������������ ���� !

"�#��#����$�����#��%�&%���'

������(�

"�#��#����)�*� ��%����� �+�������,�-��

.�$�� ��#�#�/�� �#��

����������� ����

��������������������

������������������ ���� !

"�#��#����$�����#��%�&%���'

������(�

"�#��#����)�*� ��%����� �+�������,�-��

.�$�� ��#�#�/�� �#��

Page 3: [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium - Corrosion management

���������������!�!���"���#�����!��!��� � ��� ����������������������������

�#������#� ��:��"� �#� �#��#"#� ����� �0�� #0�� �#� 2�� ����������� ��"'� C�*D�� ��� �����:�.�����#8� "����#���8������8� ��������8� ���������=��#� #�� ���� �#��#"#� ����"� � 8���������"�#:�����"��#������#����"0������C��D��

�#�� ���#"������ �#�����#� �#�#��� �� ��"�2��� �"��2�"��8� ����� "�:��� �8� �#����� ���� �����:�� �#����#"������ �#��0���"� ��08�� "0���0�� 2����� ��"�"���0������#��� "�:��� "��#��� �����:�� � ���� 8##�����#"������(�����#�����"���2�������#�#��#������#0�8##�����C��D���

��� �����:�.� #�� ���� �#������8� ���#"������(��������� "0�����"� ��� 2�� ���"0��8� 2.� ��"":�� �8� ����9�������"�� �"":������#8"��A�#"���������#�"��#������:�#�����8� ���"0��� ���� ���'�""� #�� ���� �#��#"#� ��#80��� 2.�%#0�#������ ��80��#� #�� 2.� (����� ���� ��� ����9����"�"�� #� ���� #����� ������ ���"0��"� ���� ���"�#����#� #�������� ���"� �#� �#��#"#� ��#80��"�� ����� ���� �(#� ����� ����8�����#�����#����"6������������"0�����"�#��������""�����������#�����������������#��(�����������"0�����"��C��D��#��� ���"�� ����#8"� ���"0��� �0�0���:�� �#��#"#� #:��� �����A�#"0���������

!�� 8�:��#��8� �� :��.� "�"�:�� ���#"�������#�����#� "�"#�� (��� �� �#��#"#� ����� "�"�:�.� #�� ��NI8�.��8�"�"#���������#��#:�����.���"��%#��#"#�8�����#���� ���� ��:��� #�� "���� ��#��� ��.��� >J�� N?� ��"� ���� 0�������"�"�:�.� ����:�2��� (��� �����:�.� "�"#�"�� �� #������#��#"#� "�"#�� ���������#"� ������ "� �� ���8�#���2��(���>�?� ���� �#��#"#� ����� "�"�:�.� ����� "� ����8� 2.� "�����"���#��#"#� ��0"�8� ������ 8������2��� 2.� ���� ���#�8���;0������8�>�?�������������#������"�"#�������"�����8�2.����� ���� ���'�""� ����� ���"� �#"0��8� 2.� �#��#"#�� �� #0������#����� �#������ ���� "�"�:�.�(���� ���"��:�� "�"#���������� �0������ "�"#�"� ��:�� ����"�� ���� ���'�""�"����� �#�#��8� "�0����#0"�.�� <��� ���� ���"�� ���� "��#"0��8� 2.� �#��#"#�� ���� 8�����#� ���0�� �#�#�"� ����"��#8� "�"#�� ��:�� �� ������� ���� ���'�""�� �8� (��� ����"��#8� "�"#�� "� �#"0��8� ���� ���0�� �#�#�"� ���� ���8�"�"#��� ��� "�"#�� �#""�"� #�� ��� ������ ���� "��0��0��"�8��#"��8� #� ���""� #�� "��#� "0�����"�� ��� (8��� �8� ���������� #�� ���� ������ ���� ���� �0��� ������� ���� ���� �������'�""��""0���������.����������""�����"��0��.�80���#����� ���'�""��������<��� ���������� ���� "��A�#"�8� �#� �����#��#":�� �:�#���� ���� "�:��� �8� �#����� ���� �������"�#���8��#�#��#80��:���#��#"#���#80��"��'��B�����%0�<��%0��� ����� �"������� ����������#��#"�#�#�� �������� ��"0��"� � �� ������ � ���� ���'�""� �8� �� ����"�8���""�����#�� ���� ��� ����"��0��0���� ��� ��""����������� "��#:����8��#��������'�""��#""��8�����������#:��������#8�#�� �����:�"� �����#��#"#� �������0������#���2#��� "�:����8��#����� "�"#�"� ���� �#����8� #� ���� "���� "02"������ "0��� ������#��#"#�����"��#��2#��������"�����:�"�����8�"�0����#0"�.�08���"������:�#�������#8�#"��

��� 8�����#� ������#�"� "� �� !����"�#�� 2�8������0��(����������A�#"�8�"�:����8��#���������������"�������""�#�"�#������2�8����������8������0�"���:��2���0"�8������ ��"�� �#�� "���� "�"��(����� "����� �����"� � ��""�������� 2�� 8������8�� ��� �#��#"#� "�"#�� �8� ���� 8�����#�������#�"� ���� "�#(� � ��� ���� B� �9(��� �#��0���#�

��#�#�#�� "� 0"�8� �#�� "�"#�� ;0�.� �8� ���� 8���� "� ���#�8�8�0"�� ���P"� ���"0������ �8� ��������� ���#�#��"�>�� ?� C�4D�� �� � "� �� �"��2�"��8� ����#�#�.� �#��#���=������.�������.��8���������"���� �����"������.��� �����#��� �#� �#�#�� �8� �#� �������� "�"#�� 8���� ���."�����#8��"� �#�� �0��� "������#8����#�� �����:�#�������#8�#"� #�� ���� 8���� �����"� >��� ��?� C�OD�� ��� �#��#"#�8���� �#�������� ��������0��� �8� �0�8�.� �#����#���;0��8�2.��� � �#�� ���#�"����""�""�����8��#8����#���������#"�������#8�#"��8���������"���

����� ���8������������.#0��>�?�(���"�"#���#"�#"����'�8� #� ���� �� � ���� �8� �� ���0��� #�� ���� �#��#"#�"�"#�� (��� ���� ������#�� ���0��� ��������"� >2?� #�� "�"#����������� 08��� ���� ��"�8� ��##�� �8� � ��#�� #�� ���'"� ��� ��������#���*�+����8������

�$���� ���� "�:��� �#��#"#� "�"#�"�(���� �����8� � ��

@%�(�����"�8���##�������0��=������##���� ���"�"#�"�(�����#0��8��������#0�����#��B��%#8�#��K�"�>��"�"#�"?�����#��#���#��0�������'"����*������2#:��������#08�>O�"�"#�?��������������#��������#��#�����'�>O�"�"#�"?���8������������#������ ��#�� #�� ���'� >�� "�"#�?�� #� �"��2�"�� ���� ���0���.� #�� �����#��#"#� "�"#�� ���"0������� "�:��� �8� �#����� �#0�#"�(���� "�����8� � ��#�� #�� �(#� ���'"� �#�������#8�#�����#����B88�#��� ��������� �#0�#"� ���#"�8� � �� ���"��� 2���(����8���#.�8� �#� �"��2�"�� ���� ��������� ��:��"� �#�� �#��#"#���#80��� ����0���#"�� �� ���� ��"�� #�� ���� ��������� �#������#0�#������%0�<�#A8������>�FQ���N?�(�"��#���8�80������� #�� �#��� 8���#.���� ���#8� (���� ���� �#��#�� "�:����#0�#���8�#��#��#"#���#80����%#�������������(��������#"�0�����������#A8=�"�#:�����"�#������#8�#�������

��

�����������������

�)�

�1�

Page 4: [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium - Corrosion management

���������������!�!���"���#�����!��!��� � ��� ����������������������������

���� �� ��:��� ���� �#""� �"� �0��#�#�� ���� �#�� �� �#��#"#�

"�"#���#"�#�8������#��#�����'����*��������������

$���� �����#��#"#�"�"#�"� �#����8�08���������"�8���##��� ��� ���� #0����� #�� B%K�� 8������8� "����� �#��#"#� >R�*�NI�#��?��!��#������������"���#���#"�������������0���(�"������8��#"��������+L�%�80�����������#�����"0��������#��#�����"�"#�"��#����8��2#:��������"�8���##�������������#��*�+������#��#���������'"������:�������#��#"#������(�"�J�F*�NI�#�����#��"�"#�"��#����8��������������������#��#"#������(�"�J�O*�NI�#������"#�"��#����8��2#:��������"�8���##������������������0���(�"��4L�Q��L�%��"������#�8�����#�����#��������"�8���##��"��A�8�(�����������2��'��#(���#��������"�������##�� ����� ��;0������ ���#������#��#"#�"�"#�"������8����"���� ������ 20�� 8������� ���'"����"0��8� �� �#��#"#� ����� #���+*�NI�#����

��� 4� ��:��� ���'�""� �#""� �8� :����#� #�� ���������:�� �0�8�.� � ���� 8���� ������� !��� ���� �����:���0�8�.��#�"�2��#(��3E������������#""�2�������#"������

� ��� :����#"� � ���� �#��#"#� ����� ���� 80�� �#� ����

8������� ���#9�:�#������ �#8�#"� ����� "�"#�"� ���������8�� @������� �0�8�.� �8� ��� ��#(� ����"� ��:�� �������0����#������#��#"#�������

��� "�:��� ���� �#""� �#�� �� �� �#��� ���� ���#8� "�"�#(�������� ���"�:��������#""�����"�8�(���������"�����"�:��� ���"� �#"0��8� #��� ������� (��� ���� �#��0��8����#"������� ������������#8"�#������(������������� �#""�"��#"����>������0"�������0�:�?�(��������#��#"#������#������"�:�������"�:��.�"������B�"���#�#�������"�"�#(�����4�(����� ���� ������ �#""� �8� ���� �����:�� �0�8�.� �����"� ������#���8� #� ���� "���� ������� ��� "�:��� ���� �#""� "� "��#��.���0���8� 2.� ���� �����:�� �0�8�.� ���"0��8� � ���� "�����#���#"�>���4?��!������������:���0�8�.�(�"�2��#(��3E������������#""�2�������#"����� �����8��#�=#�������������0�:�"� "� �� �0�8�.� ����"�#�8��(��� �0�8�.� "� 2��#(� �����:��0�� ���� ������ �#""� "� �#"����� ��� "�:��� ���'�""� �#""�����"�"� (��� ���� �����:�� �0�8�.� ����"�"� � ���� 8�������������

��� "�:��� ���'�""� �#""� 8���� ��#�� ��� 4� (�����#:����8� �#� �#��#"#� ����"� >��� 2.� 8������� ���� "�#���#�������� �#""� �#�� "�����"� (����� ���� �����:�� �0�8�.� (�"��#"���?���#���:��.�"�����������#��#"#������(�"�����0����8��"� ���� ���#� #�� ������ �#""� 8:8�8� 2.� ���� ���� ���#8�� ����#��#"#� ����� �"� �0��#� #�� �����:�� �0�8�.� �8� ��"#� �"��0��#�#����������0���"�"�#(�����O���

��� �#��#"#� ����� 8������8� 2.� ���� "���� "�"#�� �����8���#�� +*� �#� +**�NI�#���(��� �� �:�����8� �#��#"#� ����� #���+*�NI�#���� ��"�������"�#�� �����#��#"#����������80���#���������0��� �8� �0�8�.� :����#� 80��� ���� "�08.� ���#8�� ��������� ��#��#"#�������"� �0��#�#�� �����:���0�8�.��8���������0��������8����������"�"�#(�����O� ���"�:����#��#"#��������#����"������0����8�����������"����.�8�:��2.� �����:�� �0�8�.� :����#"M� �"� ���� �����:�� �0�8�.�����"�"� �2#:�� �� ������ ����"�#�8� ���� �#��#"#� ����� ��"#�����"�"�� ��:#0"�"�08�"�"0���"��8������"�:����#��#"#������"� 8���8��� #�� �0�8�.� (���� #����� "�08�"� ���"0��8� ���0�8�.�8���8����#� �#��#"#� ����"�� C���� �+D��#�� ����F*��� "�:��� "�"#�"� 0"�8� � ��"� "�08.� ���� �#��#"#� ���������"�"� (��� �����:�� �0�8�.�� ���� ���� ��������0���:����#"�������""�����4#%�������#��#"#������"�#��"��#��.���0���8� 2.� ��������0��� � ��"� �����0���� 8���� ��������0������ "�08�"� ���� ���""��.� �#� �"��2�"�� ���� �#��#"#� �����8���8����#���������0����8�����������:�#���"��

%#������8�"�:����#0�#"�(����8���#.�8������"����8���������� �#�� �� ���#8� #�� �� �#���� ����� (���� �� "�:��� �8� ���#����� �#0�#"� �#"�#�8� ��� *�+� �� �8� ��+� �� ������� ����#0�#"� (���� ���.=�8� 0"�� � %#0�#������ ��80��#� �#���#��#"#� ��������"0�����"6� ���� �#��#"#� ����� �(�"� � � ���Q�4+� NI�#��� �#�� "�:��� �8� O-Q�4� NI�#��� �#�� �#������ ���"���� ���.""� �"��2�"��8� ����� ���� ��� �#��#"#� ��#80��"�(���� B���� �#�� ���� ��:��� �#�� �8����.� %0�<� �8� �� "�������#0��#��%0<��#�� ����%#����� �#����#�������� �����#��#"#�"�"#�"� �8� �#0�#� ���"0������ 8����"� ����� �������#"������ "� � � ��� ��:��� >�#��#"#� ����� R4**� NI�#��?�"0��2��� �#�� 8���� ������ #�����#"� �"� ���� B��$B5����#���8��#"�� ��� �#��#"#� ��������"0��8� 2.� ���� ����9���� "�"#�"� :���8� "������.� #:��� ���� "�08.� ���#8� �8�������(�������#8"�#������(��������#��#"#������(�"�S4**�NI�#���8�����������:�#�����

Page 5: [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium - Corrosion management

���������������!�!���"���#�����!��!��� � ��� ����������������������������

���� � O�%#��#"#� ����� �#�� ����:��� �#��#"#� "�"#�"�

�8� �"� 8���8���� #� �����:�� �0�8�.� �8� ��������0���:����#������8�����������

�����0"���#(�:���2��#��8��������"�#0"��#�����#�

��"� "��"#��� :����#"� �8� ���"0�����"� "�#0�8� 2�� ��'��#:������A��8�8����#8�#�������#��"��2�"�������#�����#���:��� � ���� 8���� ������� !�� ��"#� #��� ����� ���� 8##�����#"������ #�� ��"� �����0���� 8���� ������ (�"� "��#��.���0���8� 2.� ���� #0�8##�� 8�(� �#�� ��������0����!���� ����8�(� �#�� "8�� ���� 8���� �����"� (�"� �����8� � ����B��$B5� ���#���8�8� ������ ���� 8##�� 8�(� �#����������0���:���8�0���#��O�#%��80�������"�08.����#8�� ���8##�� 8�(� �#�� (�"� ����'�� ���� #0�8##�� 8�(� �#����������0��� 80��� ���� "�08.� ���#8�� @���� �����"� ����� ����"��#��.���0���8�2.�������#0��#��G���"����H���'��0���8�(����� 8##�� 8�(� �#�� ��������0��� ����'"� ���� #0�8##�� 8�(��#�� ��������0��"� ���� �A�#"�� � � �;0����� �#� (�������:���2��.�� �8����.� 2#��� ��������0��� �8� �0�8�.� "�#0�8� 2�������8� �#"���� �8� (��� ���� B��$B5� ���#���8�8������ �:#8�� �A�#"0���#�� � � �;0����� �#� ������8�(��#��:����#"���

%��������������������!������K"��#0�"8������#���##��������:��������������.�

"�:�� �#������ 20�� ��.� �#"�� �� �"'� #�� ��� �#�����#��������8���������"�����"�8#�0����8�������#��#"#���:���#�� ���� #0�"8�� ��� ��� ��:�� �#��#"#� ����"��0��� ������� ����4**�NI��#����"#�������"�#������K��>)&��)���<���B$��8�%B?��C��D��������"�(���������#�����#���.��#"�����"'����"�#0"��8������0������������"�#0�8�2���������8�(������"8�� ��##�=��#�� #��0�#� �8� ��� �#�����#� ��:��"�������8�����#����:����#"��8����"��:����#"�"�#0�8�2���#"8���8� (��� #0�"8�� ��� ��.� 2�� 0"�8� �#�� �##����0��#"�"�� �������#�����#�"�#0�8�2�����"0��8�2#����#������ 8##�� �8� #0�8##�� ��� �#� �"��2�"��(��� ���� #0�8##�� �������"� ���� ��;0��8� "�������#"� �#� 2�� 0"�8� �#�� ��� "8����##�=��#���

���� ���� �#��#"#� "� �� �#����A� �0��#� #����������0���� �����:�� �0�8�.�� �8� �#�����#��#������#�� �� �����.� (8�� �#�#��� #�� ��� ;0���.����������"� "� ����.� 2������� �#� ���:��� �#��#"#� ���0��"�� #� ��2��� ��"�#0"� �#�����#� �#�#���� �� 0�����"�"�:���#��#"#�"�"#������#�#�.�(�"�8�:��#��8��8�(�"����������=�8� "� �� 8���� ������ �:�#����� �"� ��"�� "�08.�8��#"�����8� ����0"��0��""�#���#��#"#��#�#����8�� �����0�0��� ������2��.� #�� ���� "���� ����#�#�.� � ��� "8����##�=�8� 8���� �����"�� ��"8�"� ���� ���#��� �#� �#�#�� �������#"������ �#�����#� � 8���� �����"�� �� ��������� ���#���"�#0�8��#�0"�#����������=������������#�"��#��#��"��8����0�"� ����� "�#0�8� 2��#��� �#��� �#20"�� �#� (��"��8� ���"�����#"�������:�#���"�C�F��3D��

<���"'����������������������"�(������������##���"� ���� �#��#"#� #�� �%� �#��#��"� �8� ���0�"�� ��"�� �"'"�"�#0�8� 2�� ;0����8� �8� 20�8� �#� ��#�#"��"� �#8��"� �#������� �8� �"��2�"�� "�������"� �#� ������� ����� �������� ����#��#"#������"�#��0�#������#""���8�����������8������������#���#"� (����� �"� :��0�� ��� 2�� "������.� �#(��� ���� �#������#���#"��B������.�(8���:�#������"�"#����(#�'�(#0�8� ��#�� ���#"� (��� ���� �"'� �8� ����������#8��"� ��� 2�� 8�:��#��8� ����� ������� ���� �"'� ����#�"� �#� 8����������#�����#"���0����#8��"����2���A����#����8��#���#:8���� ������ 8��"#��� :"0��=��#� �8� ��#�#"��"� #���;0��������0����"'"����8������������

��&���!��� �����

�"�(#�'�(�"�"0��#���8�������2.�����@���������#��5���.��08���@5955***�-,3��(��8��

'������������� B��$B5��**-��G�5:�#�������08���"��#��@����#��

5;0����T5A��8�� ���� $��#���8�8�5:�#������5:��#���H6������6II��,,��"������"�#��I�

��� �@�� ��8��� �8� ��� ��:#��� � GU0�����:�� ������"� #�������:�� �8� �2"#�0��� �0�8�.� #� 5�@�������#I"0����""#H�� �#���8�"� #�� 5<�I5�@��.��#"0���:#���5<�94��,���,-��

4�� �V�� ��M� � � ��� W�#0M� � � B�� %��8���� � G ��'���� "��0��0���������.� ���.""� �#"8�����#"�0��H�� +-��� 5�����#��%#��#��"��8� ���#�#�.�%#���������*+O���**-�

Page 6: [IEEE Management Symposium (SEMI-THERM) - San Jose, CA, USA (2011.03.20-2011.03.24)] 2011 27th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium - Corrosion management

���������������!�!���"���#�����!��!��� � ��� ����������������������������

O�� !���$��8.����$���#�'�M�������������� ������@#����������� 0�2�� G���#"��0��0��� #�� �#80��:�� �#8�� ������"��#���8� 80��� ����������8� ��"��� #�� ����8� (���2#��8"H�����#������#�"�$���2��.���43��+4����,,3�

+�� ����=0�'�(�=��GB���������8�%#��#"#�#�� %�"�80���#����� ��:��"� #�� $�80��8� �0��0�� ��""�"� � �80"�����5:�#���"H�� �#��� #�� ���� 4�8� ��P�� �.��#"0�� �#�� �"����8����0���B��.""��B0"��� V����**F�

F�� ��W��#������ ������G��A�8���#(����"�"�08�"�#���������#��#"#� #� ���"��� ����"0����8� ���#���0�� ���'���"�(��� #2��� ������ ���9�����8� ���8� �����"H� ��555� ��"���#"�#�@�:����8��������"�$���2��.��+��F-���**+�

3�� �5@5%�� ���0��� �����"�� �8� �#8��"� �#��"���#80��#��8�:��"���5 ������)#:��*�*�

-�� B�� �����2�� � ��� ���0�.�� ����� ��2���� ��� ����� B���#�:����� !���� )�=��#���� �8� B���� ��8���� X5���.��������#"� #�� 5�##�=��� K"�� � %���#��� @����%����"�X� �#���8�"�#�������**-�B%555��0�������08.�#�5���.�5�����.���0�8�"��B"�#�����%B��**-�

,�� B��$B5� !���������� G��"�#0"� �8� ����0�����%#�����#� �08���"� �#�� @���� %����"H6�����6II��,,��"������"�#���

�*�� B�������2� ��B���#�:�����!�� "��08� ��B�������8����!��!� )�=��#���� � G ������� �#������#"� � 8���� �����"H��B��#"������5:�#�����O���+,3-���**-�

���� B)��I��B93��*O9�,-+�� 5:�#������ %#8�#"� �#�� �#��""� ���"0������ �8� %#��#�� �."���"6� B�2#���%#�����"�� B)��I��B9 ��� �"��0�����#�� �."���"���8�B0�#���#��#���.��4���2�0��.��,-F�

���� @�!��$���� �� ����"#��5����$�2.�� � ���"��$�%��������8� $�� ���#0��0A�� GB��#"������%#��#"#� #�� %#������8���:��H�����5�����#�������#�����2���,-��

�4�� ���� $�8�� ��� 0���� ��� ������� ��� ��� �����"�� �8� ������#����'��� G�%#��#"#�$�""����� #��%#����9%#���8�%#����"H� ��� 5�����#������ �#���� Y#�0��� �+4�� �""0�� ���������+�49�+�3�>�**F?�

�O�� $�����0�������G%������#��#"#�#����89���������8����0��2#��8"� �����"0���0���:�#���"H���� B���<���8#�������**3��

�+�� ��� !� <"�2����� G%#��#"#980��8� 8����8��#� #�����#������#�� 8�:��"H�� ����#8�� ���� ���#��� �����++���,,F�

�F�� ���#�8�� ���#�#��"�� )5��� $�;0�����"6� �."���� �#����#�� ������ $�;0�����"� �$9F49%<$5�� �**�������#8�+�+����

�3�� �� %�� "���#� 49���������6II(((����#��I%#������@������"�AZ%#������[49���� �8� ���� ������ H �#�#"��"� �8� ���������������� �#��5�����#�"H�� �#��!��.��8�"#� �)�(����"�.��**-�

�-�� ������#��� B�#��� B���.�� G)0������ �#(��� ����� ������������� ��#��""�"6� �08���"� �8� �������"� �#�����:.�(����������#�"H���B5B9 5%@<%9�+*4���**F�

�,�� )�:��� B�� �."���� %#���8�� %����� �8� %#��#"#�%#��#���Y#�0��������B:#�"��8�5�����#�"��)BYB�$�*�9�B9+*,94�� �**+� �8� ��� ������ ��$�� � %���.�� �����!."#�'�� ����� �#�2����H� #(��8"� ��#�#"��"� �#��

������#�"� �#��#��"H� �555�B��#"����� �#�������� ����**,�

�*�� �� 5�� ����8��� �8� %�� ��.������ � G�����#"� �#��B��#"������ %#��#"#� � ���� ��"�� %��0�.H� � ���5�����#���������#���.��) 5$�B%5���*���F���**��

���� %�� �0������ G ��� K"�� #�� $����:�.� �#�#��� �"� ��B������:�� �#�@�������"��#�#��� �#�� 5:�#������B""�""�����%����##�"H�� 0����������@#��:������B��

���� 0����� <�0��8� 4***� �8� %#"��#� $#��2��'� 5%�����#"�������#�����#��#�#�"��

�4�� ����������� ����:����""�������.���������%�0���!����������B�������������B���%���""��������%##'��!������&�� � B���.��� Y�� � �#��=�� ��B�� � ����.�� ��� <\�#.����GK�#:���� ����.9������.� #��#��0��"� � 8���������"H�� � ���� �#0���� #�� $�"������ �8� @�:��#������+4�4���**,�

�O�� ����� ������ GB� ���"0�����9��"�8� ����#8� �#������#:��@����%�����5���.�5�����.H��� �#���8�"�#�� ���� �**-� �555� ������#��� %#������� #� ��"#��)��(#�'"��K2;0�#0"���8� �0"�(#���.�%#��0�����4�����**-�

�+�� %������������B�#�8���������8�������.�������G��:����8� �0���0�6� ��"�� "�08�"�� ��."�"� �8� �#""2���"#�0�#"H���� B�������#����<��#2����**3�

�F�� �@�� %0����� ��� ���� �#�$#20"��5�����#�"� 9� ��:����%#��#"#�#�� %��B""��2��"��<�#��8� ���#�#�.�+3��<��#2����**-��

�3�� ���%#���� ��� ��8�08�� ��� �0���� ������.�� ���������� ���)�'���� �� ����� �8� �� #���� � G���"�� 5:�#����������� #� $�""�#�� $���2��.H�� �� B��� <���8#�� �����*�*��