H-7650透過型電子顕微鏡使用方法

精密分析室

2013/9/18

目次

終了

始動

試料交換　取り出し方

焦点あわせ

回折スポットを中心にする方法

LaB6フィラメントのガス出し

電圧を印可し、ビームを出す 電圧を印可し、ビームを出す２

電子線のセンタリング 電子銃の調整

試料交換　入れかた

電圧中心のあわせ方

ワブラによる焦点あわせ 対物レンズの非点補正

観察終了 (試料交換時）

コンデンサー絞りの調整

使用終了　全停止

GUNの真空を確認

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写真撮影

試料のＺ位置の調整

保守作業

青字は通常は必要ない

試料ホルダー位置あわせ

アイコンの説明

Transmission image　ＳＳＣＣＤ画像の表示

Stage　　ステージコントロール

View　Ｅａｓｙ　 operationの切替

HV control　加速電圧の設定

Filament / Bias　フィラメント /バイアスの設定

Lens　観察モードの設定 /変更

Magnification　倍率 /カメラ長の拡大表示

Focus step　フォーカスステップの設定

Auto focus　自動焦点あわせ機能

Image viewer　 EM viewerの表示

Modulation　モジュレーションの設定

Wobbler　ワブラの設定

PDS　パーソナルデータセット

EVAC　排気系状態表示

LENS CONTROL　ＬＥＮＳ電流の表示・制御

BD CONTROL　ＢＤ電流の表示・制御

OBJ stigma preset　対物スティグマの記憶・読み出し

Specimen search

Digital AMF 　連続画像記録機能

Digital low dose　ダメージ低減機能

API　試料予備照射機能 3

始動１．冷却水を２系統（真空排気系・レンズ冷却用）　　を流す２．ＰＯＷＥＲキーをＥＶＡＣ　ＯＮまで回す３．約２０～３０分で高真空状態になり　　 COLUMN EVAC,GUN EVAC,CAMERA EVACのスイッチがグリーンに点灯する

ここまでの操作は通常は連続運転しているので不要

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４．電源スイッチキー　ＣＯＬ　ＯＮにする　　　　システムが自動で起動します

4

GUNの真空を確認

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1.EVACウィンドウ　　　　をクリック

3.0E-03Pa以下を確認

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LaB6フィラメントのガス出し

しばらくビームを出さない状態が続いたときは、ＬａＢ６フィラメントのガス出しを行ってください。（通常は必要ありません）

1.Function Maintenance の LaB6 out gusを呼び出す

フィラメント固有値

時間を設定　フィラメント交換後は最低２時間通常は３０分以上に設定

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2.必要に応じてコールドトラップに液体窒素を入れてください

電圧を印加しビームを出す

1.Acc Voltage control　　　を表示

2.Preset値を確認して、ＨＶ　ＯＮボタンをクリックまたは、パネルスイッチのＨＶボタンを押す

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通常は自動的にビームがでる　ＬａＢ６フィラメントのため５分かかります

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PDS (Personal data set)から起動する方法（レンズ系、ＢＤ系の記憶されているモード）

1.PDS(Personal data set)　　ウィンドウを表示

2.記憶しておいた条件を選択し、Ｌｏａｄしビームを出す目次に戻る

通常はあまり使いません

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３．MAGで倍率をｘ５０００程度にする

４． BRIGHTで電子線をスポット状に　　する

電子線のセンタリング

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１．左操作パネルの ZOOM1を押す

２． LENS　 RESETを押す

５． BHを押してマルチノブで電子　　線を中心にもってくる

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１．コンデンサー絞りを入れ、ＢＲＩＧＨＴで 変化しても中心が変わらないよう絞りの Ｘ，Ｙノブで調整する２．ＣＳボタンを押し、ＢＲＩＧＨＴの変化で中心 から均等に変化するようＸ，Ｙノブで調整３．終わったらＣＳボタンを解除

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コンデンサー絞りの機械的調整と非点補正BRIGHTを変えると中心がずれたり、ゆがんだりするときのみ

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電子銃の調整　ビームが暗くなった場合

１．ＢＲＩＧＨＴノブで電子線をスポット状にする２． Filament/Bias　　　ウインドウを開き、矢印ボタンでフィラメントの２Ｖほど電圧を下げる３． BD control　　　ウインドウでＧＴをチェックしてマルチノブでフィラメント像が均等になる　　よう調整する４．ビームが逃げたらＧＨをチェックしてマルチノブでビームを中心にする５．終わったらＧＴ、ＧＨを解除してウインドウを閉じる６． Filament/Biasウインドウの矢印ボタンで元の電圧に戻す

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試料のＺ位置の調整１． LENS RESETを押しレンズデータをリセットする　　　　１．は電子線のセンタリング調整ですんでいればしなくて良い２．倍率を 20000倍程度にしてＺコントロールノブでピントを合わせる　　これで機械的Ｚ位置があいますこの操作は必ずＦＯＣＵＳをあわせる前に行なってください

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試料交換（取り出し方）

１． Stage から試料位置を X=0,Y=0 位置に戻す STARTを押す２． Filament-Bias control から Beam をＯＦＦにする３．試料ホルダーを止まるまで引き抜き、時計方向に　　時計方向に１５ ° 止まるまで回す４．止まったら、反時計方向に４５ ° 止まるまで回す５．試料予備排気室をＡＩＲにすると赤ランプが点灯　　する６．試料ホルダーを引き抜く

注：赤ランプが点灯している間にホルダーを引き抜く、消えてしまったらもう１回ＥＶＡＣにしてからＡＩＲにする

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試料交換（入れ方）

１．試料ホルダーのガイドピンの位置をあわせとまるまで挿入　　するとＡＩＲの赤ランプが点灯する２．排気スイッチをＥＶＡＣにする３．排気が完了すると赤ランプが消え、緑ランプが点灯して試料　　ホルダーロック機構が解除されるので、次に進む　注：緑ランプが消えると（１５秒経過すると）次に進めません、　　　その際は一度ＡＩＲにしてから再度ＥＶＡＣにしてください４．ホルダーを時計方向に４５ ° 止まるまで回す、この時試料　　ホルダーが鏡体に引き込まれるので、ゆっくり止まる位置　　まで挿入する５．止まった位置で反時計方向に１５ °回して、止まる位置まで　　挿入する使用状態ではランプは消えています

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試料ホルダー位置あわせ

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　　　をクリックし Stageパネルを表示

標準ホルダーの場合は 7501SSを選択

マルチホルダーは 7502MSを選択する

マルチホルダーのときは１，２，３いずれかを選択する

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電圧中心のあわせ方１．倍率を 5000～ 10000倍にする

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２．右パネルのMODUを押す３． BTが点灯していなかっ

たら　　 BTを押す

５．終わったら BHを押し、ビーム　　を中心にもってくる

６．MODUを押して電圧中心あわせをおわる

４．像全体が中心で動くよう　　にマルチノブで調整する

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焦点あわせ

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１． DIFFを押し、電子回折像を出し、対物絞りを入れる　　（ダイレクトスポットを中心として同心円状になるように）

２．焦点あわせは FOCUSノブで　　行う　ｘ１，ｘ１０，ｘ２０，　　ｘ２００が選択できる

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３．ルーペで観察するときは　　 SPOTボタンを押し小蛍光板　　で行う

ワブラによる焦点あわせ

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１．Wobbler condition 　　ウインドウを表示

２．Wobblerのラジオボタンをクリックする

３．右操作パネルのWOBをクリックする

４． Focusノブを回して像が静止　　したところを見つける

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対物レンズの非点収差補正

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１．右操作パネルの OSスイッチを押す

２． FOCUSをあわせる

３．マルチノブでフリンジ幅が　　等しくなるように調整する

４．この状態で BDPSスイッチを　　押すとメモリされます

５．メモリ値を読み出すには BD RESETを押す

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回折スポットを中心にする方法　１．制限視野絞りを入れ、ＤＩＦＦを押して回折像をだす２． BD control　　　ウインドウでＰＡをチェックしてＰＬ（プロジェクションレンズ）アライメント　　調整モードにする３．ダイレクトスポットをマルチノブで中心にする５．終わったらＰＡを解除してウインドウを閉じる

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写真撮影保存は適当なディレクトリを作成し保存してください。なお、データはパソコンに残さないでください。

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１．カメラに切り換えるときはWHOLEを　　押して蛍光板をあげる

２．画像取込は　　　ポーズで　画像保存は　 File/Save asから

３．保存後カメラ　に切り換え

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観察終了（試料交換するとき）

１． Stage から試料位置を X=0,Y=0 位置に戻す 　　　　　　 STARTを押す２． Filament-Bias control から Beam をＯＦＦにする

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３．試料交換がないときは　　AccVotagecontrol　　　　　から電圧を下げる 22

使用終了キースイッチを　ＥＶＡＣ　ＯＮまで戻す　　　ＰＣのスイッチをON/OFFは不要です

目次に戻る装置全停止

通常はここまでです

POWERを OFFにする

ソフトウエアの以下のメッセージがでたらCancelをクリックしてください。COL.OFFは制御ソフトが立ち上がっている状態で電源のキースイッチで操作してください

System messageExit H-7650 system. Are you sure?Please turn off Col-sw after completely finishing PC

OKボタンを押してしまったら、電源のキースイッチ操作をせず、 COL ONのまま制御ソフトを立ち上げ直してから、 COL.OFF操作を実施してください

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電源スイッチを EVAC OFFの位置まで回してしまった場合

COL.ONの位置まで戻し制御ソフトを立ち上げ直してから COL.OFF操作をしてください。EVAC ONの位置のままだと、タイマーが動作し、約２分後に COL電源を OFFにします。タイマーが終了するまでにWindowsのシャットダウン操作をしてください。

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保守作業

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ＣＣＤカメラにゴミが付着した場合

１．試料がないところにもって行く２．赤い波形を BRIIGHTつまみで中央　　にもっていく

３． Executeを押し Acquireを押すと　　電気的に取り除いてくれる