FDIPresentation

SEMICON JAPAN 2019

液体クオリティは、

成分だけでは決まらない。

CMPプロセスCMPプロセス

洗浄洗浄

リソグラフィーリソグラフィー

様々なシーンで使われる液体 SEMICON JAPAN 2019

CleaningCleaning

CMP slurryCMP slurry

EtchingEtching

PhotoresistPhotoresist

化学的観点で見たMiMoiの計測対象

界面活性剤・コロイド溶液• 臨界ミセル濃度• ミセル・ベシクル構造• 分散性• 粒子の凝集性

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分子混合溶液• 溶媒和・混合の進行• 溶解状態の均一性

イオン性溶液• 溶媒和・キレート• 飽和度（溶媒の束縛性）• 溶解状態の均一性

高分子分散液体• 分散性• 溶媒分子の配位性• 部分的結晶性

分子間相互作用を直接プローブできる電磁波

THzのメリット SEMICON JAPAN 2019

溶液の状態把握ソリューション SEMICON JAPAN 2019

分子間相互作用の測定から、A Iでの活用まで。

FD I独自のアルゴリズム

FDIのアルゴリズム SEMICON JAPAN 2019

従来の分光分析装置での結果

ポ リ マ ー 溶 液 の 品 質 変 化

FDIのアルゴリズム SEMICON JAPAN 2019

Current analysis

FDI pattern

Visualize transformation of the industrial liquid through FDI pattern

Same as that of normal product

Result of analysis(normal product)

Result of analysis(abnormal product)

dist

urba

nce

測定キット SEMICON JAPAN 2019

有機溶媒系

測定キット水溶液系

測定キット

渡部メソッド SEMICON JAPAN 2019

［水溶液系セルレス液膜］

デバイス製造メーカー様プロセス装置メーカー様原料メーカー様

液体を扱う全てのメーカー様に SEMICON JAPAN 2019

研究から納品まで SEMICON JAPAN 2019

原料評価

原⽔や飲料素材の状態評価

受け⼊れ検査

研究開発

液体性能と溶液状態の相関評価

データベース構築

製造モニタ

溶液の機能に関係した混合均⼀性や分散性の評価

保管モニタ

成分分散の均⼀性

酸化や溶媒蒸発の劣化評価

製品検査

出荷前検査

液体商品中の異物や変質の発⾒

AIをさらに高速化 SEMICON JAPAN 2019

即座に特徴抽出

抽出データはとっても軽量

もちろんデスクでじっくり解析

御 社 の 溶 液 を T H z 測 定 し て み ま せ ん か 。

私たちフェムトディプロイメンツ株式会社は

液体の分子間相互作用による

状態変化を把握する技術から

AIを使う解析まで

シームレスにサポートする

ソリューションカンパニーです。