Familia de bombas turbo TwisTorr FS de Agilent±o para ahorrar espacio – Nuestro rotor se...

Familia de bombas turbo TwisTorr FS de Agilent La nueva generación de bombas turbo con tecnología de compresión TwisTorr y suspensión flotante Agilent

NUEVA: TwisTorr 704 FS


TwisTorr 84 FS

TwisTorr 304 FS


Calidad y fiabilidad de AgilentVentajas para usted

– Coste de propiedad y tiempo de inactividad del sistema reducidos

– Robustez y fiabilidad comprobadas – Normas de calidad de Agilent

Características de la familia de bombas TwisTorr FS

– Suspensión flotante Agilent (AFS) – Diseño térmico optimizado – Posicionamiento preciso de los

soportes y del rotor

Sencilla integración en sistemasVentajas para usted

– Diseño compacto – Plug and play – Manejo y monitorización sencillos

de la bomba – Funcionamiento en cualquier posición – Solución sin aceite


– Soportes con rodamientos cerámicos y lubricación permanente

– Controladores en rack, integrados y PCB con comunicación en serie y Profibus

– Readaptable a cualquier bomba

Una nueva categoría de bombas turbomolecularesFamilia TwisTorr FS: turbos compactas, fiables y energéticamente eficientes; la mejor en su categoría Turbo-Etapa de compresión con tecnología innovadora para obtener un rendimiento extraordinario.

Instituciones académicas, gubernamentales y de investigación Con un rendimiento del sistema de vacío sin parangón en su categoría y unas etapas TwisTorr optimizadas para la compresión de H2, es la solución idónea para las aplicaciones académicas y de investigación más exigentes.

Análisis superficial Gracias a su baja vibración, su escaso nivel de ruido y su alta estabilidad, las bombas turbo TwisTorr FS satisfacen las necesidades específicas de los microscopios electrónicos.

Instrumentación analítica Su alta productividad y rendimiento optimizado para gases ligeros en aplicaciones rutinarias resultan perfectamente adecuados para su uso en instrumentos analíticos.

Industriales y semiconductores Las bombas turbo TwisTorr FS ofrecen un vacío seco y limpio para las más exigentes aplicaciones industriales y de semiconductores.

Aplicaciones de las bombas TwisTorr FS de AgilentLa nueva tecnología TwisTorr FS presenta una mezcla única de rendimiento y funciones, idónea para un amplio abanico de aplicaciones.

2

Ahora con

Su solución de alto rendimiento, calidad y fiabilidad

* La nueva TwisTorr 704 FS – Sección

Silenciosa y con baja vibraciónVentajas para usted

– Excelente nivel de vibración (efecto amortiguador)

– Bombeo silencioso durante el funcionamiento


– Suspensión flotante Agilent

Rendimiento superiorVentajas para usted

– Baja presión de vacío – Bombeos rápidos – Bomba previa de menor tamaño y precio – Adecuada para aplicaciones con carga de

gas elevada – Menor consumo energético

Características de la familia de bombas TwisTorr FSLas etapas de compresión TwisTorr permiten:

– una relación de compresión superior; – una alta tolerancia a la presión de descarga; – la mejor velocidad de bombeo de su categoría.

Estabilidad a largo plazoVentajas para usted

– Estabilidad del ruido y de las vibraciones con el tiempo


– Suspensión flotante Agilent

– Posicionamiento constante y estable de los soportes y el rotor con el tiempo

¿Cómo de silenciosa es una bomba TwisTorr FS?Motocicleta (a 8 m) 90

Tren de mercancías (a 25 m)/batidora 80

Vehículos circulando por una autopista/aspiradora 70

Aire acondicionado (a 30 m)/ruido de una oficina 60

Bomba de aceite de paletas rotatorias 55

Bomba seca scroll IDP-15 Agilent/conversación en casa 50

Bombas turbo medianas de la competencia 50

Bombas TwisTorr medianas de Agilent 43

Bombas turbo pequeñas de la competencia 48

Bombas TwisTorr pequeñas de Agilent 40

Nuevo software 3D para el control de la bomba3 Rendimiento optimizado, máxima flexibilidad y fiabilidad ampliada3 Velocidad dinámica y ajuste de potencia en función de la presión de entrada, la carga

de gas y la temperatura 3 Siempre el mejor rendimiento en cualquier área de trabajoMás información en las páginas 8-9

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Garantía - TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS

Garantía Agilent: dos años de cobertura completa. Sustitución rápida de la bomba sin costo adicional en caso de problemas durante los primeros 24 meses.

Calidad y fiabilidad de Agilent

Prueba de vibración - TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*La compatibilidad con las vibraciones generadas por fuentes externas fue probada por medio de un conjunto de pruebas en un lote de bombas en condiciones tanto de funcionamiento como de reposo.Cada bomba se sometió a niveles de energía desde 0,5 a 2 g durante ciclos de vibración de 105 minutos en vertical, horizontal y boca abajo a velocidad de rotación plena y en reposo.La prueba confirmó la robustez de la bomba y la plena compatibilidad con las vibraciones, pues no se detectaron contactos mecánicos con el rotor ni alteraciones en el funcionamiento de las bombas y el desequilibrio de la bomba permaneció muy por debajo del umbral de aceptación.

Prueba de vida - TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*Fiabilidad de la bomba probada por medio de una prueba de vida acelerada en un número significativo de bombas, sometidas a factores de aceleración durante períodos prolongados. La prueba permite confiar en un funcionamiento sin problemas de la bomba durante un periodo medio superior a los cinco años.

Prueba de golpes - TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*Resistencia de la bomba a los impactos probada por medio de un conjunto de pruebas en un lote de bombas en condiciones tanto de funcionamiento como de reposo.Todas las bombas fueron sometidas a una aceleración de 30 a 120 g (equivalente a una caída de 82 cm / 32 pulg. para bombas en reposo y de 15 cm / 6 pulg. para bombas en funcionamiento).Las bombas se someten a pruebas de impacto seis veces en vertical, horizontal y boca abajo.No se detectaron problemas en las bombas sometidas a ensayo tras el lote completo de 24 caídas (no hubo contacto mecánico con el rotor, ni cambios en el funcionamiento de las bombas).Se verificó el desequilibrio de la bomba tras cada caída y este mostró variaciones despreciables, y permaneció muy por debajo del umbral de aceptación: la prueba de impacto confirmó la robustez y la fiabilidad de la bomba.

Bombas turbo TwisTorr FS de Agilent

TwisTorr FS: proceso de diseño, calidad y elementos de prueba de fiabilidad El método del «ciclo de vida del producto» guía el proceso de diseño y realiza un seguimiento a través de seis pasos: propuesta, investigación, prototipo de laboratorio, prototipo de producción, ejecución piloto y aumento de escala. Los reiterados controles y el seguimiento garantizan la plena confianza en el rendimiento, la calidad y los datos normativos publicados para los usuarios.

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Silenciosa y con bajas vibraciones

Estabilidad a largo plazo

Prueba térmica - TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*Las bombas fueron sometidas durante 86 horas a temperaturas desde -40 °C hasta +70 °C (en condiciones de reposo) y desde 0 °C hasta +40 °C (en condiciones de funcionamiento).Se verificó el desequilibrio y el funcionamiento correcto de la bomba 11 veces en cada bomba y se encontraron variaciones despreciables, muy por debajo del umbral de aceptación. La prueba térmica confirmó la robustez y plena compatibilidad de la bomba a todas las temperaturas en condiciones de funcionamiento y reposo para las aplicaciones o durante el almacenamiento y transporte.

Análisis de FourierTwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*Se verificó el espectro de vibración en todas las bombas durante el proceso de fabricación y antes del envío de la bomba como prueba final del correcto funcionamiento de la bomba.Nivel de vibración máxima medio a plena velocidad: 0,4 m/s2.

Prueba de ruidoTwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*Se verificó el ruido de la bomba mediante un conjunto de pruebas en un lote de bombas y en 12 estados de funcionamiento y orientación distintos, como: posición vertical, horizontal y boca abajo; con y sin carga de gas; alta temperatura y baja temperatura; velocidad plena y baja.El ruido medio de la bomba resultante de las 168 medidas fue de 43 dB(A) +/-3σ en condiciones normales de funcionamiento.

Prueba de embalaje- TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS*La funcionalidad del embalaje se ha verificado mediante pruebas en bombas empaquetadas, sometidas a una serie de 18 caídas desde 96 cm (37,8 pulg.) de altura.La prueba confirmó que el embalaje puede limitar la aceleración sufrida por la bomba durante un transporte normal a 30 g.Gracias a la prueba de impacto, sabemos que 30 g es un nivel de aceleración perfectamente compatible con este diseño de la bomba TwisTorr.

*NOTA: Los datos de las pruebas se refieren a los modelos TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS – también hay disponibles datos similares bajo petición incluso para los modelos 84 FS y 304 FS. Análisis FFT - TwisTorr 404 FS, 704 FS, 804 FS Gráfica de distribución de ruido - TwisTorr 404, 704, 804 FS

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Diseño para ahorrar espacio – Nuestro rotor se fundamenta en el diseño de rotor

monolítico de Agilent, el cual posiciona el estátor TwisTorr entre dos discos giratorios lisos y con ello se beneficia del movimiento de bombeo generado en serie por ambas superficies del disco.

– El diseño de canales en espiral de doble cara en los estátors TwisTorr combina en serie el movimiento de bombeo centrípeto y centrífugo, de modo que se reduce enormemente el tamaño de la sección de compresión.

Tecnología TwisTorr de Agilent* – Se crea el efecto de bombeo mediante el rotor en forma

de disco giratorio, que transfiere cantidad de movimiento a las moléculas de gas.

– Las moléculas de gas se ven obligadas a seguir por los canales en espiral del estátor. El diseño particular del canal garantiza una velocidad de bombeo constante y evita los gradientes de presión reversa, con lo que se minimiza el consumo eléctrico.

(*) Solicitudes de patente en EE.UU. 12/343961 y 12/343980, 24 de diciembre de 2008.

Relación de compresión – La relación de compresión para el N2 de una sola

etapa TwisTorr puede aumentar hasta 100 veces con respecto a la etapa MacroTorr para el mismo espacio y velocidad de rotor, sin disminuir la presión de descarga y la velocidad de bombeo.

Rendimiento puntero – Las bombas TwisTorr ofrecen la máxima velocidad de

bombeo en su categoría para cualquier gas.

– La tecnología de última generación TwisTorr también logra las relaciones de compresión más elevadas para gases ligeros en una bomba turbomolecular disponible comercialmente.

– Al tiempo que ofrece el rendimiento más elevado, reduce hasta cuatro veces el consumo eléctrico medio gracias a su nuevo diseño de compresión, respecto de los diseños anteriores.

Movimiento centrípeto de bombeo

El área superficial inferior del disco en rotación confiere cantidad de movimiento a las moléculas de gas.El diseño de canales en espiral de la sección superior del estátor TwisTorr origina un movimiento centrípeto de bombeo.

Flujo de gas en las direcciones centrípeta y centrífuga a través de los canales TwisTorr

El efecto de bombeo se repite en todas las etapas TwisTorr de las bombas

Movimiento centrífugo de bombeo

El área superficial superior del disco en rotación confiere cantidad de movimiento a las moléculas de gas.

El diseño de los canales en espiral de la sección inferior del estátor TwisTorr origina un movimiento centrífugo de bombeo.

k

P prevacío (mbar)

1,0E-02 1,0E-01 1,0E+00 1,0E+01 1,0E+02

1,0E+03

1,0E+02

1,0E+01

1,0E+00

Etapa TwisTorr

Etapa Macrotorr

¿Qué es TwisTorr?La nueva tecnología de compresión molecular aplicada a toda la familia, desde la 84FS a la 804FS.

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¿Qué es la suspensión flotante Agilent?Soluciones innovadoras para una vibración baja y una buena estabilidad a largo plazo.

Alineamiento perfecto de los soportes

Amortiguación de las vibraciones

– La precisión geométrica de la suspensión flotante Agilent (AFS) garantiza un alineamiento de soportes perfecto

– Rigidez radial y axial de diseño, comportamiento dinámico del rotor y ruido acústico optimizados

– La AFS inferior actúa como un muelle axial que proporciona precarga de soporte y posicionamiento del rotor axial

– Estabilidad térmica

Conector radial a presión para mantener las mejores condiciones de trabajo de los soportes a largo plazo

Elastómero de alto rendimiento para amortiguar las vibraciones

Para garantizar – Vibración y un ruido acústico bajos

– Condiciones de trabajo óptimas para los soportes y ampliación de la vida útil operativa

– Estabilidad excepcional para aplicaciones exigentes como el SEM

AFS inferiorAFS superior

Estabilidad térmica Comportamiento dinámico

del rotor optimizado

Rotor, suspensión flotante y motor eléctrico TwisTorr

7

Flexibilidad, velocidad y simplicidad máximas gracias a un exclusivo sistema de vacío inteligenteVelocidad dinámica y ajuste de potencia en función de la presión en la entrada, la carga de gas y la temperatura.Siempre el mejor rendimiento en cualquier área de trabajo.

Orientadas hacia la flexibilidad, velocidad de ejecución y simplicidad, las bombas TwisTorr 404 FS, 704 FS y 804 FS presentan ahora un nuevo paso innovador de Agilent: el software 3D para el control de la bomba. La innovadora función de control de la bomba proporciona una flexibilidad, velocidad y simplicidad máximas: siempre el mejor rendimiento y productividad posibles en consonancia con las condiciones de funcionamiento de la bomba.

Un sistema de vacío único que es capaz de satisfacer de forma rápida y automática el espectro completo de necesidades de nuestros clientes, desde UHV hasta aplicaciones con alta carga de gas, y todo con una única bomba turbo.Una rutina automática gestiona la frecuencia y la potencia rotacional de la bomba en función de la carga de gas y la presión requerida en la entrada, a una temperatura específica de cada aplicación.

Los nuevos controladores de bombas turbo TwisTorr En Rack o integrados, disponible en las bombas 404 FS, 704 FS y 804 FS con firmware 3D para optimizar el rendimiento

Bombas turbo TwisTorr FS de Agilent

8

Ventajas del firmware 3D: – Detección automática e inmediata

de los distintos requisitos de la aplicación.

– Rendimiento dinámico de la bomba turbo, que se adapta a las condiciones de la aplicación con objeto de estabilizar y acelerar los procesos del cliente.

– Siempre el mejor «ajuste» para tener el mejor bombeo de la turbo, de modo que se aproveche al máximo las posibilidades de la tecnología TwisTorr.

– Minimización del estrés en los componentes de la bomba por medio de un ajuste continuado de los parámetros de la bomba turbo para una mayor fiabilidad.

El software «3D» dirige la bomba

Alto Flujo de gas Alto vacío

Ajuste dinámico de los parámetros de la bomba

– Velocidad de rotación

– Potencia

– Temperatura

Detección automática de los requisitos de la aplicación

Alta productividadAlta compresión

Rendimiento/resultados de la tecnología TwisTorr

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Soluciones de vacío para un mejor servicioMás de 60 años de experiencia en servicios de vacío aplicados a nuestra familia más innovadora de bombas turbo. Más información sobre nuestra estrategia de soporte de bombas turbo TwisTorr.

IntercambioIntercambio avanzado: en un mundo de cambios veloces mantenemos su negocio a la vanguardia.Nuestro programa de intercambio avanzado premium maximiza el funcionamiento continuado y le permite centrarse en lo que mejor se le da: su negocio. Nosotros nos ocupamos del resto.

– Cambio de rumbo rápido y sin complicaciones

– Reparadas para cumplir las especificaciones de “como nuevo”

– Todo un año de garantía

Reparación de calidadSi a usted le resulta esencial disponer de una calidad garantizada al precio adecuado, necesita un socio de confianza que se la proporcione. Los centros de reparación especializados presentes en todo el mundo ponen a su disposición las normas de calidad de Agilent. Si su bomba turbo TwisTorr necesita reparación, nosotros tenemos la experiencia y los conocimientos adecuados para tratarla. Su solución de confianza:

– Proceso y mano de obra certificados

– Piezas genuinas de Agilent

Su trabajo es muy importante para nosotros.Nuestros programas de actualización tecnológica y los planes de servicios a medida están diseñados para proteger y garantizar su inversión.Los contratos de servicios personalizados y el programa de actualización integral están

diseñados a medida de las necesidades de su negocio y nos convierten en la opción natural como socio de servicios de vacío.Ventajas:

– Mantenemos su tecnología al día

– Conocemos bien su negocio – Ofrecemos una cobertura

personalizada

Soluciones a medida

10

Especificaciones técnicasVelocidad de bombeo ISO 160 / CF 8 pulg.

N2

HeH2

Ar

660 l/s640 l/s480 l/s 625 l/s

Caudal másico de gas a plena velocidad de rotación (con la bomba primaria recom.)*

Temp. amb. (25 °C)

Temp. agua (25 °C, 50 l/h)

He 7,9 mbarl/s467 SCCM

10,4 mbarl/s615 SCCM

N24,3 mbarl/s255 SCCM

6,2 mbarl/s367 SCCM

Ar 1,5 mbarl/s89 SCCM

3,3 mbarl/s195 SCCM

(*) Bomba previa 11,6 m3/h

Relación de compresión y presión de descarga *N2

HeH2

Ar

> 1 x 1011

2 x 108

3 x 106

> 1 x 1011

10 mbar10 mbar>4 mbar8,5 mbar

(*) La presión de descarga se define como la presión a la que la bomba turbo sigue produciendo una compresión de 100 y estimada en modo de refrigeración por agua

Presión base conbomba primaria recom.

< 1 x 10-10 mbar(< 1 x 10-10 Torr)

Brida de entrada ISO 160K, ISO 160F, CFF 8 pulg.

Brida de descarga NW25 (NW40 como otra opción)

Velocidad de rotación

Autoajuste desde 40'800 RPM hasta 49'500 RPM

Tiempo de arranque inicio < 5 minutos

Especificaciones técnicas

Bomba primaria recomendada

DS302IDP-10IDP-15

Posición de funcionamiento Cualquiera

Temp. amb. de func. de +5 °C a +35 °C

Hum. rel. del aire 0 - 90 % (sin condensación)

Temp. de calentamiento

Bomba ISO: 80 °C en la brida de entradaBomba CFF: 120 °C en la brida de

entrada

Lubricante Lubricación permanente con grasa

Requisitos de refrigeración

Refrigeración por aire

Temperatura del aire desde +5 °C hasta 35 °C

Refrigeración por agua

Temperatura del agua desde +15 °C hasta +25 °C

Caudal min. de agua 100 l/h

Nivel de ruido (a 1 m y velocidad máxima)

43 dB(A)

Temp. de almacenamiento de -40°C a +70°C

Altitud máx. 3000 m

Peso kg (lb)ISO160KISO160F

CFF 8 pulg.

20,6 kg / 45,3 lb22,6 kg / 49,7 lb22 kg / 48,4 lb

Conformidad con la normativaCEM (unidades de control)Seguridad (CE/CSA)Directiva sobre máquinasDirectiva sobre baja tensiónDirectiva de CEM (unidades de control)ROHS

61326-161010-1

DIR 2006/42/CEDIR 2014/35/UEDIR 2014/30/UEDIR 2011/65/UE


Agilent TwisTorr 704 FS

Velocidad de bombeo

Velo

cida

d de

bom

beo

(l/s)

HidrógenoHelioNitrógenoArgón

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1000

100

200

300

400

500

600

700

Relación de compresión

10-3 10-2 10-1 100 101 102102

104

106

108

1010

1012

1014


Rela

ción

de

com

pres

ión

Presión en la entrada (mbar)Presión de descarga (mbar)


10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1000

100

200

300

400

500

600

700

www.agilent.com/chem/TwisTorrFSfamily 11



Velocidad de bombeo ISO200K-F ISO250K-F CFF10

N2

HeH2

Ar

720 l/s660 l/s485 l/s690 l/s

Caudal másico de gas máx. *


(Temperatura del aire = 25 °C)

Refrigeración por agua (Temp. del agua =

15 °C / temp. ambiente = 25 °C)

N24,3 mbar l/s255 SCCM

6,1 mbar l/s367 SCCM

He 7,9 mbar l/s467 SCCM


Ar 1,5 mbar l/s89 SCCM


(*) Bomba previa 11,6 m 3/h

Relación de compresión y presión de descarga *

N2

HeH2

Ar

> 1 x 1011

2 x 108

3 x 106

> 1 x 1011

10 mbar10 mbar>4 mbar8,5 mbar


Presión base con la bomba primaria recomendada

< 1 x 10-10 mbar(< 1 x 10-10 Torr)

Brida de entrada ISO 200K, ISO 200F, ISO 250K, ISO 250F, CFF 10 pulg.

Brida de prevacío NW25 o NW40


Autoajuste desde 40'800 RPM hasta 49'500 RPM

Tiempo de arran-que inicio < 5 minutos



DS302IDP10IDP-15



Hum. rel. del aire de 0 a 90 % (sin condensación)


Bomba ISO: 80 °C en la brida de entradaBomba CFF: 120 °C en la brida de entrada




Temperatura del aire desde +5 °C hasta 35 °C




Nivel de ruido (a 1 m y velocidad máxima)

43 dB(A)

Temp. de almacenamiento de -40 °C a +70 °C


Peso kg (lb)

ISO200KISO200FISO250KISO250F

CFF 10 pulg.

20,7 kg / 45,5 lb23,6 kg / 51,9 lb23,3 kg / 51,2 lb27,6 kg / 60,9 lb22,1 kg / 48,6 lb

Conformidad con la normativaCEM (unidades de control)Seguridad (CE/CSA)Directiva sobre máquinasDirectiva sobre baja tensiónDirectiva de CEM (unidades de control)ROHS

61326-161010-1



Velocidad de bombeoRelación de compresión

Velo

cida

d de

bom

beo

(l/s)

Presión en la entrada (mbar)10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1000

100

200

300

400

500

600

700

800

HydrogenHeliumNitrogenArgon


10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1000

100

200

300

400

500

600

700

10-3 10-2 10-1 100 101 102102

104

106

108

1010

1012

1014


Rela

ción

de

com

pres

ión

Presión de descarga (mbar)


10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1000

100

200

300

400

500

600

700

Bombas turbo TwisTorr FS de Agilent12


Velocidad de bombeo ISO100K-F CFF6

N2

HeH2

Ar

355 l/s470 l/s445 l/s320 l/s

Caudal másico Máx. (*)Refrigeración por aire

(Temp. del aire = 25 °C)Refrigeración por agua (Temp. del agua = 15 °C /

temp. ambiente = 25 °C)

N2"4,3 mbarl/s255 SCCM"

"6,2 mbarl/s367 SCCM"

He"7,9 mbarl/s

467 SCCM""10,4 mbarl/s615 SCCM"

Ar"1,5 mbarl/s

89 SCCM""3,3 mbarl/s195 SCCM"

Relación de compresión y presión de descarga

N2

HeH2

Ar

> 1 x 1011

2 x 108

3 x 106

> 1 x 1011

>10 mbar>10 mbar>4 mbar

>8,5 mbar


Brida de entrada ISO 100K, ISO 100F, CFF 6 pulg.

Brida de salida NW25 (NW16 como accesorio opcional)

Velocidad de rotación Autoajuste desde 40’800 RPM hasta 49’500 RPM

Tiempo de arranque inicio

< 5 minutos

Bomba primaria recomendadaDS302IDP-10




Temp. de calentamientoBomba ISO: 80 °C en la brida de entrada

Bomba CFF: 120 °C en la brida de entrada


Requisitos de refrigeraciónRefrigeración por aire Temperatura del aire desde +5 °C hasta 35 °C

Refrigeración por aguaTemperatura del agua desde +15 °C hasta +25 °C


Nivel de ruido (a 1 m y velocidad plena) 43 dB(A)

Temperatura de almacenamiento de -40 °C a +70 °C


Peso kg (lb)ISO100KISO100F

CFF 6 pulg.

20,6 kg / 45,3 lb

22,1 kg / 48,6 lb

22 kg / 48,4 lb

Conformidad con la normativa

CEM (unidades de control)Seguridad (CE/CSA)Directiva sobre máquinasDirectiva sobre baja tensiónDirectiva de CEM (unidades de control)ROHS

61326-161010-1



Agilent TwisTorr 404 FS Próximamente




Velocidad de bombeo

ISO 100 / CF 6 pulg.

ISO 160 / CF 8 pulg.

N2

HeH2

Ar

250 l/s255 l/s220 l/s 250 l/s

250 l/s255 l/s220 l/s 250 l/s

Caudal másico de gas a plena velocidad de rotación (con la bomba primaria recom.)

Temp. amb. (25 °C)

Temp. agua (25 °C, 50 l/h)

N2 170 SCCM 170 SCCM

Ar 110 SCCM 110 SCCM


N2

HeH2

Ar

> 1 x 1011

> 1 x 108

1,5 x 106

> 1 x 1011


>10 mbar

Presión base con bomba primaria recomendada (5 m3/h)

< 1 x 10-10 mbar (< 1 x 10-10 Torr)

Brida de entrada CFF 8 pulg. d.e. ISO 160CFF 6 pulg. d.e. ISO 100

Brida de salida KF16 NW (KF25 - opcional)


60000 rpm (1010 Hz de frecuencia impulsora)

Tiempo de arranque inicio < 3 minutos



mecánica: Agilent DS 102bomba seca: Agilent IDP-7


Func. a temp. amb. de +5 °C a +35 °C



80 °C máx. en la brida de entrada (brida ISO)120 °C máx. en la brida de entrada (brida CFF)

Lubricante Lubricación permanente


Ventilación forzada (temp. ambiente = 5 - 35 °C)

Agua (obligatorio si la temp. amb. > 35 °C)



Agua de refrigeración

Caudal mínimo: 50 l/h (0,89 GPM) Temperatura: de +15 °C a +30 °C Presión: 3 a 5 bar (45 a 75 psi)

Nivel de ruido < 50 dB(A) a 1 metro

Temp. de almacenamiento de -40 °C a +70 °C


Peso kg (lb)

Bomba ISO 100Bomba CFF 6 pulg.

Bomba ISO 160Bomba CFF 8 pulg.

5,5 kg (12,3)7,5 kg (16,5)5,7 kg (12,6)9,7 kg (20,9)

Conformidad con la normativa

CEM (unidades de control)Seguridad (CE/CSA)ROHS

61326-1DIR 2006/42/CEDIR 2011/65/UE


Velocidad de bombeo

Velo

cida

d de

bom

beo

(l/s)

Relación de compresión

Rela

ción

de

com

pres

ión

Presión en la entrada (mbar)Presión de descarga (mbar)


10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1000

100

200

300

400

500

600

700

10-3 10-2 10-1 100 101 102102

104

106

108

1010

1012

1014


Bombas turbo TwisTorr FS de Agilent14


Dim

ensi

ones

en

milí

met

ros

[pul

gada

s]


Velocidad de bombeo

KF40 CFF 2,75 pulg. ISO 63 CFF 4,5 pulg.

N2

HeH2

Ar

49 l/s38 l/s36 l/s44 l/s

56 l/s46 l/s40 l/s57 l/s

67 l/s63 l/s53 l/s66 l/s

67 l/s63 l/s53 l/s66 l/s

Caudal másico de gas a plena velocidad de rotación (con la bomba primaria recom.)


(35 °C)


(25 °C, 65 l/h)

N2

Ar100 sccm70 sccm

100 sccm70 sccm


N2

HeH2

Ar

≥ 1,0 x 1011

2,0 x 106 5,0 x 104

> 1,0 x 1011


>14 mbar

Presión base con la bomba primaria recomendada (5 m3/h)

< 5 x 10-10 mbar

(< 3,75 x 10-10 Torr)

Brida de entrada CFF 4,5 pulg. d.e.CFF 2,75 pulg. d.e.

ISO 63

KF 40

Brida de salida KF16 NW


81000 rpm (1350 Hz frecuencia impulsora)

Tiempo de arranque inicio

< 2 minutos



mecánica: Agilent DS 40M / DS 102bomba seca: Agilent IDP-3 / IDP-7

Posición de funcionamiento

Cualquiera


Hum. rel. del aire 0 - 90 % (sin condensación)


80 °C para ISO (120 °C para CFF) en la brida de entrada

Lubricante Lubricación permanente


Ventilación forzada (temp. ambiente = 5 - 35 °C)


Temperatura de flujo de aire = +5 °C a +35 °C


Temp. del agua de refrigeración:

de +15 °C a +25 °CCaudal mínimo: 65 l/h (0,30 GPM)

Presión: 2 a 4 bar (45 a 75 psi)

Nivel de ruido (a 1 m y velocidad plena)

40 dB (A)

Temp. de almacenamiento

de -40 °C a +70 °C


Peso kg (lb)

Bomba ISO 63 kg / 2,05 (4,5) lbBomba CFF 4,5 pulg. kg / 3,50 (7,7) lb

Bomba CFF 2,75 pulg. kg / 3,34 (7,35) lbBomba KF 40 pulg. kg / 2,37 (5,22) lb

Conformidad con la normativaCE, C-CSA-US, RoHS

Conforme a la directiva 2011/65/UE


Velocidad de bombeoRelación de compresión

Presión en la entrada (mbar)

Velo

cida

d de

bom

beo

(l/s)

0

10

20

30

40

50

60

70

80

1,E-09 1,E-08 1,E-07 1,E-06 1,E-05 1,E-04 1,E-03 1,E-02 1,E-01 1,E+00

Pum

ping

Spe

ed [l

/s]

Inlet Pressure [mbar]

Hidrógeno Helio Nitrógeno Argón

Presión de descarga (mbar)

Rela

ción

de

com

pres

ión

1,E+00

1,E+01

1,E+02

1,E+03

1,E+04

1,E+05

1,E+06

1,E+07

1,E+08

1,E+09

1,E+10

1,E+11

1,E+12

1,E-3 1,E-2 1,E-1 1,E+0 1,E+1 1,E+2

Com

pres

sion

Rat

io

Foreline Pressure [mbar]

Hidrógeno Helio Nitrógeno Argón


Familia de bombas turbo TwisTorr FS de AgilentLa nueva generación de bombas turbo con tecnología de compresión TwisTorr y suspensión flotante Agilent

Agilent Technologies

Estados UnidosAgilent Technologies121 Hartwell Avenue,Lexington MA 02421, EE.UU.Tel.: +1 781 861 7200Fax: +1 781 860 5437Teléfono gratuito: +1 800 882 [email protected]

ChinaOficina de PekínAgilent Technologies (China) Co. LtdNúm.3, Wang Jing Bei Lu, distrito de Chao YangPekín, 100102, ChinaTel.: +86 (0)10 6439 7888Fax: +86 (0)10 6439 2765Teléfono gratuito: 800 820 [email protected]@agilent.com

Oficina de ShangháiAgilent Technologies16F Shanghai Litong Plaza, Núm.1350 North Si Chuan Road, Distrito de Hongkou Shanghái, 200080, ChinaTel.: +86 (0)21 3612 7688Fax: +86 (0)21 6628 5169Teléfono gratuito: 800 820 [email protected]@agilent.com

Oficina de Guangzhou Agilent TechnologiesUnit 08, 66/F, Citic Plaza, 233 Tian He Bei RdGuangzhou, 510613, ChinaTel.: +86 (0)20 38113988Fax: +86 (0)20 86695861Teléfono gratuito: 800 820 3278

Oficina de Shenzhen Agilent Technologies3/F Dutyfree Business Bldg.,Núm.6, 1era Fu Hua Road, Futian CBDShenzhen, 518048Tel.: +86 (0)755 8307 9589Fax: +86 (0)755 8276 3182Teléfono gratuito: 800 820 3278

BrasilAgilent Technologies BrasilAvenida Marcos Penteado de UlhoaRodrigues, 939 - 6° andarCastelo Branco Office ParkTorre Jacarandá - TamboréBarueri, Sao Paulo CEP: 06460-040Teléfono gratuito: 0800 728 1405

BeneluxAgilent Technologies Netherlands BVGroenelaan 5, 1186 AA AmstelveenPaíses BajosTel.: +31 20 547 2000Fax: +31 20 547 2093Teléfono gratuito: 00 800 234 234 [email protected]

FranciaAgilent TechnologiesParc Technopolis - Z.A. de Courtaboeuf 3, avenue du Canada - CS 9026391978 Les Ulis cedex, FranciaTel.: : +33 1 64 53 60 13Fax: +33 (0) 1 64 53 50 01Teléfono gratuito: 00 800 234 234 [email protected]

Alemania y AustriaAgilent TechnologiesSales & Services GmbH & Co. KGLyoner Str. 2060 528 Frankfurt am Main, AlemaniaTel.: +49 69 6773 43 2230Fax: +49 69 6773 43 2250Teléfono gratuito: 00 800 234 234 [email protected]

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ItaliaAgilent Technologies Italia SpAvia F.lli Varian 5410040 Leinì (Turín), ItaliaTel.: +39 011 9979 111Fax: +39 011 9979 350Teléfono gratuito: 00 800 234 234 [email protected]

JapónAgilent Technologies Japan, Ltd.8th Floor Sumitomo Shibaura Building4-16-36 Shibaura Minato-kuTokio 108-0023, JapónTel.: +81 3 5232 1253Fax: +81 3 5232 1710Teléfono gratuito: 0120 655 [email protected]

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Sudeste asiáticoAgilent Technologies Sales Sdn BhdUnit 201, Level 2 uptown 2,2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown47400 Petaling Jaya, Selangor, MalaysiaTel.: +60 3 7712 6106Fax: +60 3 6733 8121Teléfono gratuito: 1 800 880 [email protected]

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