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��� Equation (7)

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|� |�

|� |� |� |�

|� |� |�

|�Simulations�

Models�

As, 915oC

As, 1050oC

P, 1050oC

ACD3

ACD4

Dopant Concentration (C� D, cm3)

DD

/Dse

lf

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� ��

� � � � � �� �

� � � �� �

����

� Fair [12]

� Nylandsted Larsen et al. [2]

Simulation

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|� |� |� |�|�10-14

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|� |� |�

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Donor Concentration, cm-3

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Boron Diffusion

1017

1018

1019

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ratio

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�6¡¨îºî¨ò�ól¢¥ÿ�êÓè�ð`å���ñ^å?ç�çtç+êºîºêºñ^í�ã��(æ,å�ä�ò¨ñ�êºã�ë¥è�ð�å3ñ^í�ã¨ñ^å^ã�è,æ%é}è�ê®í(ãë�æ%é�ä�êºå^ã�è3é"ãädè,ðvò¨ç�è�ð�åX�¨òm�)êºã�è,í1è�ð�å�í���ê�ä�å�ýA"5ð�ê�ç���å^ð¨éU÷ �ê®í(æ�ñ^é�ãî�åoñ^í�ã�öqòç+å�ä�ÿ�ê®è,ðôéBç+îºí}ÿ êºã�è,å?æ�ç+è,ê®è,ê�é"î½ä�êÓõ ò¨ç,ê®÷vê®è�ü�å�ñ^é"òç+å«í�ömè,ð�å�æ,å�ç+ò¨îÓè�ê®ã�ë`ä�å^î�éUüYêºãBè,ð¨å�æ�êºç,å¥í"ötêºã�è,å^æ%ç+è,ê®è,ê�é"îç+ò�ó�å^æ%ç�é}è,ò¨æ�é"è,êºí�ãoã¨å?é"æyé�ã)ú�ê���úvêa£ Ô êºã�è,å?æ+ö~é(ñ�å�ýâ3ç,ê®ã¨ë è,ð¨åKö~é(ç�èdê®ã�è,å?æ�ç+è,ê®è,ê�é"î�ä�ê®õ�òç+êº÷vêÓè�ü9÷}é"îºò�å�ç r é"ã¨äé�ç�ç+í�ñ�ê�é}è�å?ä å���ò�ê®îºê���æ,êºò�ì ñ^í�ã¨ñ^å^ã�è,æ%é}è�ê®í(ã u ä�å�è,å?æ,ì1êºã�å?ä×�vü¤©æ%é�ñ%ð�è�è�éaê�ë�ìW$ � n�'3öqæ�í�ì ì1å�è%é"î�ä�ê®õ�ò¨ç,êºí�ã���è�ð�åïì¯í�ä�å?î£ê�çé���îºå5è,í�é(ñ^ñ^ò�æ�é"è,å?î®ü�é(ñ^ñ^í�ò�ã�èmöqí�ætè,ð�åyì�ò¨ñ%ð¡ç+îºí}ÿ´å^æmå�õ å?ñ�è,êº÷�åê®ã�è,å?æ�ç+è,ê®è,ê�é"î�ä�ê®õ ò¨ç+êºí�ã¯ç+å?å^ã«êºã�é�ñ< �ç+ê�ä�å�£D£|Ó;é"ã¨ä � ÓÓ£D£|Óå���óå?æ,êºì1å^ã�è�çA$ ´ v�'�ý�Öyã¯å���é"ì1ó�îºå5êºç¹ç,ð�í}ÿ�ã�êºã@Â$êºë¨ý�n¨ý û­ã¯é(ä �ä�êÓè�ê®í(ã���è�ð�å1ì¯í�ä�å?îmé"î�ç+í)ñ�í(æ,æ�å?ñ�è,îºüYó�æ�å?ä�êºñ�è�ç¶$ ´.Í '$è,ð¨å¯î�é"æ�ë�åå�õ å?ñ�è�ê®÷(å æ�å^ë�æ�í}ÿ5è,ðô÷�å?î®í�ñ�ê®è�üôç,å^å?ã;öqí�æ`îºí}ÿ è�ð�å^æ�ì¡é"î���òä �ë�å�è%çG�vü ¤ é"õ�å?æ+è�ü�è�éGê�ë�ì�$ ´ &�'o��$ ´ � ' r "G£|Ó u é"ã¨ä ð æ�í}ÿyä�å^æè�éê�ë�ì�$ ´.� ' r £D£|Ó u ý

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|4 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |4 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |4 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |4 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |4 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |4 ||5 |5 |5 |5 |5 |5 |5 |4

Total I ~ V

B

Net I-V6

Net V-I6

1016

1017

1018

1019

1020

1021

1022

Depth (7 µm)

Con

cent

ratio

n (c

m-3

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Time (min)

Data (5x1013cm-2) Model (5x1013cm-2) Data (1x1014cm-2) Model (1x1014cm-2)

(Dt)

1/2

(nm

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Time (s)

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As impl Data 15 mins 1 hr

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1016

1017

1018

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Depth (I µm)

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cm

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-3)

40keV, 2x1014 cm-2 B800K oC anneal

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40 keV B impl,µ

1015

1016

1017

1018

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Depth (¶ µm)

B

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cent

ratio

n (

cm

·-3

)

3I

15 & 60 min/800oC

Full Model Simple Model SIMS Data

0.0¯ |®

0.2¯ |®

0.4¯ |

0.6¯ |®

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80 keV B impl,

1015

1016

1017

1018

1019

1020

Depth (¶ µm)

B

Con

cent

ratio

n (

cm

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-3)

3I

5 & 60 min/800oC

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