Discovery of electron

기압의측정

단위: PascalTorr

1기압: 1,013HPa760Torr

기계식 진공 펌프의 구조

기체 구성비(%)

질소 78

산소 21

아르곤 0.93

이산화탄소 0.03

네온 0.0018

헬륨 0.0005

클립톤 0.0001

수소 0.00005

제논 0.0000087

물 변함

진공도

(압력, Torr)분자수/cm3 충돌거리(cm)

760(1기압) 2.5×1019 7×10-6

1 3×1016 5×10-3

10-3 3×1013 5

10-6 3×1010 5×103

10-9 3×107 5×106

10-12 3×104 5×109

10-15 30 5×1012

위치 압력(Torr)

수평선 760

90km 10-3

1000km 10-10

10000km 10-13

기계식 펌프(diaphragm pump)

기계식 펌프(Roots pump)

油확산식 펌프의 구조

Turbo펌프의 구조

Ion Pump

Cryo-pump

TC gauge의 구조

Ion gauge의 구조

Vacuum Chamber

세계 최대의 Vacuum Chamber (NASA)

ISO KF vacuum sealing

High vacuum CF sealing

High Vacuum Valves

Vacuum System

Vacuum Evaporator

E-beam evaporator

E-beam evaporator

Sputtering

Ion plating

Ion plating system

Laser Ablation Deposition

계기압(gauge pressure): 대기압과의 차이