実習内容: と、マイクロ流路を組み合わせたバイオ › system › files ›...
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実習内容: 広島大学で実績のある MOSFET と 、 マイクロ流路を組み合わせたバイオ センサーの作製 ・ 測定の実習を行います 。 MOSFET バイオセンサーは 、 予 め作製しておきます 。 Au を蒸着したスライドグラス上に PDMS で作製した 流路を貼りつけ 、 MOSFET のゲートと Au 電極を接続し 、 検体模擬水溶液 を流して pH センシングの測定を行います 。 流路の設計 、 マスクレス露光装 置を用いたレジストパターニング 、 Si ウェハのエッチング ( 流路の型にな る ) 、 PDMS への 流路転写 、 MOSFET の閾値電圧の変化から水溶液の pH を測定します 。 この実習を通して 、 流路設計 、 リソグラフィー 、 バイオセ ンシングの概要を学びます 。 URL: http://www.RNBS.hiroshima - u.ac.jp
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実習内容:
広島大学で実績のあるMOSFETと、マイクロ流路を組み合わせたバイオ
センサーの作製・測定の実習を行います。MOSFETバイオセンサーは、予
め作製しておきます。Auを蒸着したスライドグラス上にPDMSで作製した
流路を貼りつけ、MOSFETのゲートとAu電極を接続し、検体模擬水溶液
を流してpHセンシングの測定を行います。流路の設計、マスクレス露光装
置を用いたレジストパターニング、Siウェハのエッチング(流路の型にな
る)、 PDMS への流路転写、MOSFET の閾値電圧の変化から水溶液の
pHを測定します。この実習を通して、流路設計、リソグラフィー、バイオセ
ンシングの概要を学びます。
URL: http://www.RNBS.hiroshima-u.ac.jp
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スライドグラス
MOSトランジスタチップ
Auワイヤ
シリンジ(注射器) Pt電極
チューブ
電解液流路
ゲート:G
導電性エポキシ(Si基板)
ドレイン:D ソース:S
Vg