精密ステージシリーズ...493 精密ステージシリーズ Precision Stage Series A/AX...

493

精密ステージシリーズPrecision Stage Series

A/AX 1軸／XYステージ

DX 中抜きXYステージ

EX 高応答XYステージ

CMX アライメントステージ

CHX 小型アライメントステージ

A/AX

CMXEX

Model:

アクチュ各扉.indd 493アクチュ各扉.indd 493 10.3.15 7:23:50 AM10.3.15 7:23:50 AM

494

DX

CHX

CONTENTS

A/AX

特長 P.495精度、仕様 P.497寸法図 P.501

DX

特長、仕様 P.511寸法図 P.512

EX

特長 P.513仕様、寸法図 P.514

CMX

特長 P.515形番、仕様 P.516寸法図 P.519

CHX

特長 P.529形番、仕様 P.530寸法図 P.534

アクチュ各扉.indd 494アクチュ各扉.indd 494 10.3.23 6:54:55 PM10.3.23 6:54:55 PM

トップテーブル

LMガイドSR

サドル

ベース

精密ボールねじ

A/AX1軸／XYステージ

精密ステージシリーズ

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

A/AX

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

1 高精度精密ステージA/AXは精密研削された断面高さの低いLMガイドSRを使用し、多重拘束構造による高精度案内が得られます。

特長

2 ビルトアップタイプ従来の専用サドルを使用したXYの組合わせでなく、１軸ステージの組合わせでストロークが自由に選択可能です。

モータ寸法図形番精度・仕様特長

495 A/AX

Prec i s ion s tage ser ies

AX 構造

P495-514_AX.indd 495P495-514_AX.indd 495 10.3.15 1:11:56 PM10.3.15 1:11:56 PM

CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

A/AX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

3 長期間高精度を維持案内部は信頼性に優れたLMガイドを使用し、長期間、精度寿命が得られます。また、送りねじには精密ボールねじを使用し、ガタのない正確な位置決め送りが可能です。

4 豊富なバリエーション標準で50mmから500mmストロークまで用意しています。また、ジャバラタイプも用意しています。※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。

5 用途に合わせてステージ精度の選択可能A/AXテーブルは、さまざまな用途に合わせて３種類のステージ精度を選択できます。


496A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

繰り返し位置決め精度

任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰り返して、停止位置を測定し、読みの最大差の1/2を求めます。この測定を原則として、移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とし、その値の1/2に±の符号を付けて表示します。

= t1 t2……t7の最大差の1/2

t1

t2

t3

高精度ステージの精度評価方法とシステム

497 A/AX

位置決め精度

有効ストロークを基準長さとしストローク開始位置から実際に移動した距離と指令値との最大誤差を絶対値で表示します。

（＋）

（－）

ΔA

ΔA

ΔA = 実移動距離－指令値の移動距離

（誤差）

0ストローク

実移動距離



走り真直度A

テーブル上面中央部に直定規を置き、ステージを取付けた定盤上に設置したテストインジケータを、両端がゼロゼロになるよう芯出しをした直定規に当て、テーブルの移動距離のほぼ全域にわたり測定し、移動距離内の読みの最大差を測定値とします。

走り平行度A

ステージを取付けた定盤上にテストインジケータを固定し、テーブル上面のほぼ中央にテストインジケータを位置させ、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたり測定し、移動距離内の読みの最大差を測定値とします。

A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

直角度A

テーブルの上に直角定規をどちらかの移動方向を基準に設置し、基準の移動軸と直角にテストインジケータを当て、その軸の移動距離内の読みの最大差を測定値とします。

直角定規

直角定規

その他の評価方法

※ 検査仕様項目は、JIS規格に定められた評価項目に準じて設定しています。

直角度B

ステージを取付けた定盤上にどちらかの移動方向を基準に芯出しをした直角定規を置き、テーブルに設置したテストインジケータを、直角定規の基準の移動軸と直角に当て、その軸の移動距離内の読みの最大差を測定値とします。

直角定規

例）精密位置決めテーブル精度評価システム

モータ

ドライバコントローラ

パソコン

プリンタ

ドライバ

モータ

レーザ干渉測長器

498A/AX


バックラッシ

テーブルに送りをかけて、わずかに動かした時のテストインジケータの読みを基準とし、その状態から送り装置によらず、テーブルに同方向から負荷を加え、その後解放した時の基準と、戻りとの差を求めます。この測定を動きの中央およびほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。

荷重変位（含弾性変位） ←負荷

送りねじ送り

バックラッシもどり

ステージを取付けた定盤上に直定規を置き、テーブルに設置したテストインジケータを両端がゼロゼロになるよう芯出しをした直定規に当て、テーブルの移動距離のほぼ全域にわたり測定し、移動距離内の読みの最大差を測定値とします。

走り真直度B

A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

1軸ステージ

XYステージ

基本仕様

499 A/AX

形番ストローク［mm］

メカストッパ間ストローク［mm］

搭載質量［kg］

ステージ総質量※

［kg］A05 50 60

3010

A10 100 110 12.5A15 150 160 14.5A20 200 220

10040.0

A25 250 270 42.0A30 300 320 45.0

A40 400 420250

145.0

A50 500 520 155.0

※ モータ、ジャバラを除く

精度等級繰り返し位置決め精度

［mm］P6 ±0.003P5 ±0.002P4 ±0.001P6 ±0.003P5 ±0.002P4 ±0.001P6 ±0.003P5 ±0.002P4 ±0.001

形番ストローク［mm］

メカストッパ間ストローク［mm］

搭載質量［kg］

ステージ総質量※

［kg］AX0505 50×50 60×60

15

17.5AX0510 50×100 60×110 20.0AX0515 50×150 60×160 22.0AX1010 100×100 110×110 22.5AX1015 100×150 110×160 24.5AX1515 150×150 160×160 26.5AX2020 200×200 220×220

50

71.5AX2025 200×250 220×270 73.5AX2030 200×300 220×320 76.5AX2525 250×250 270×270 75.5AX2530 250×300 270×320 78.5AX3030 300×300 320×320 81.5AX4040 400×400 420×420

100257

AX4050 400×500 420×520 267AX5050 500×500 520×520 277

※ モータ、ジャバラを除く

精度等級繰り返し位置決め精度

［mm］

P6P5P4

±0.003±0.002±0.001

P6P5P4

±0.003±0.002±0.001

P6 ±0.003P5 ±0.002P4 ±0.001



A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

形番構成

1軸ステージ

○ボールねじリード　標準品は5mmを使用しています。　その他のボールねじリードについては、THKまでお問い合わせください。○モータ分解能　ステッピングモータ：500pulse/rev（フルステップ）、1000pulse/rev（ハーフステップ）　ACサーボモータ：各サーボモータの分解能に準じます。

500A/AX

A 25 P4 A E① ② ③ ④ ⑤

①形番 A

②ストローク 25：250mm

③精度等級 P6, P5, P4

④モータ種類Ａ：ステッピングモータ（山洋電気㈱製）、ドライバ付き（ケーブル無し）Ｓ：貴社指定モータ、ドライバ付き

⑤特殊仕様 E：トップテーブル等追加工J：ジャバラ付き

XYステージ

AX 25 30 P4 A E① ② ③ ④ ⑤ ⑥

①形番 AX

②X・上軸ストローク 25：250mm

③Y・下軸ストローク 30：300mm

④精度等級 P6, P5, P4

⑤モータ種類Ａ：ステッピングモータ（山洋電気㈱製）、ドライバ付き（ケーブル無し）Ｓ：貴社指定モータ、ドライバ付き

⑥特殊仕様 E：トップテーブル等追加工J：ジャバラ付き

位置決め精度［mm］

バックラッシ［mm］

走り真直度A上下左右［mm］

走り平行度A［mm］

0.025 0.005 0.008 0.0150.015 0.003 0.004 0.0070.006 0.002 0.002 0.0030.030 0.005 0.010 0.0200.020 0.003 0.005 0.0100.008 0.002 0.003 0.0050.050 0.005 0.015 0.0300.025 0.003 0.007 0.0150.013 0.002 0.004 0.007

位置決め精度［mm］

バックラッシ［mm］

走り真直度A上下左右［mm］

走り平行度A［mm］

直角度A［mm］

0.0300.0150.007

0.0050.0030.002

0.0100.0050.003

0.0250.0120.006

0.0100.0050.003

0.0400.0200.010

0.0050.0030.002

0.0250.0070.004

0.0300.0150.007

0.0200.0100.005

0.060 0.005 0.040 0.050 0.0300.030 0.003 0.010 0.025 0.0150.015 0.002 0.005 0.012 0.007


A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

h

M1

B1B3

W1

W

ストローク

H2

Ｓ２ストロークＳ

２

1.5

L

L2

F×N

L1

G G L3

B2SR15V

4‒M8通シ

EE‒SX671（オムロン㈱製）OT用×2，近原点用×1

BIF1205

Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3W2

H

M

M2T

1

EE‒SX670（オムロン㈱製）原点用×1

注1）原点用センサは、サーボモータ仕様には付属しません。注2）下表のA, Bは　A：ステッピングモータ使用時　B：サーボモータ：SGMPS（㈱安川電機製）使用時の寸法を示します。

寸法図

形番ストローク

全長L

全高ベース寸法トップテーブル寸法

S A B M L1 W W1 W2 B1 B2 T

A05 50 326 339

64

200

150 160 150 124 100 12A10 100 376 389 250

A15 150 426 439 300

A20 200 566 542

82

450

250 260 250 210 140 16A25 250 616 592 500

A30 300 666 642 550

A40 400 916 912100

800400 420 400 350 270 20

A50 500 1016 1012 900

501 A/AX

A05～A15 1軸ステージストローク：50～150袢



A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

H2

M1

h

W1

WB3

ストロークＳ２ストロークＳ

２

W2

L

L2L1

G L3

H1

B1

G

Ｍ

M2TF×N

B2

DIF1605

SR25W

EE‒SX671（オムロン㈱製）OT用×2，近原点用×1

4‒M10通シDIF2005（A40以上）

SR30W（A40以上）

EE‒SX670（オムロン㈱製）原点用×1

Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3

ベース取付穴寸法モータブラケット寸法その他の外形寸法

L3 H1 H2 L2

B3 G F×N Z d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 h A B

72 25

150×1 4

7 11 5 72 82 65 65 33 32 10 126 144200×1 4

125×2 6

150 25

200×2

6 11 17.5 5 30 30 80 80 41 38 13 116 97225×2

250×2

270 50175×4

10 14 20 12 30 30 92 80 52 46 22 116 107200×4

502A/AX

単位：mm

寸法図

A20～A50 1軸ステージストローク：200～500袢



A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

h M1

W1

T

M

M2

H2

F×N GG

SR15V

４‒Ｍ８通シ

BIF1205

EE‒SX671（オムロン㈱製）ＯＴ用×２，近原点用×１

EE‒SX670（オムロン㈱製）原点用×１

H1

M4M3

W2

ストローク

ＳX ２

ストローク

ＳX ２

LYLY2LY1

LY3W

LXLX2

LX1

LX3

B1

B2

W B3

ストロークＳY２ストロークＳY

２

1.5

SR15W

H2



全長全高ベース寸法トップテーブル寸法

A B

SX×SY LX LY LX LY M LX1 LY1 W W1 W2 B1 B2 T

AX0505 50×50 326 326 339 339

116

200 200

150 160 150 124 100 12

AX0510 50×100 326 376 339 389 200 250

AX0515 50×150 326 426 339 439 200 300

AX1010 100×100 376 376 389 389 250 250

AX1015 100×150 376 426 389 439 250 300

AX1515 150×150 426 426 439 439 300 300

AX2020 200×200 566 566 542 542

148

450 450

250 260 250 210 140 16

AX2025 200×250 566 616 542 592 450 500

AX2030 200×300 566 666 542 642 450 550

AX2525 250×250 616 616 592 592 500 500

AX2530 250×300 616 666 592 642 500 550

AX3030 300×300 666 666 642 642 550 550

AX4040 400×400 916 916 912 912

180

800 800

400 420 400 350 270 20AX4050 400×500 916 1016 912 1012 800 900

AX5050 500×500 1016 1016 1012 1012 900 900

503 A/AX

寸法図

AX0505～AX1515 XYステージストローク：50袢×50袢～150袢×150袢




A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

T

H2H１B3

LX

LX2

LX3

LX１ W

M4

M3

LY

LY2LY1

LY3G GF×NW

MM2

H2

ＥＥ‒ＳＸ６７１（オムロン㈱製）ＯＴ用×２，近原点用×１

ＥＥ‒ＳＸ670（オムロン㈱製）原点用×１

DIF1605

SR25WSR30W（AX4040以上）

DIF2005（AX4040以上）

h

４‒Ｍ10通シ

M1

W1

B１B

W2

2


２

ストローク

ＳX ２

ストローク

ＳX ２


ベース取付穴寸法モータブラケット寸法その他の外形寸法

LX3 LY3 H1 H2 LX2 LY2

B3 G F×N Z d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 M3 M4 h A B

72 25

150×1 4

7 11 5 72 82 65 65 33 85 32 52 10 126 144

200×1 4

125×2 6

200×1 4

125×2 6

125×2 6

150 25

200×2

6 11 17.5 5 30 30 80 80 41 107 38 66 13 116 97

225×2

250×2

225×2

250×2

250×2

270 50

175×4

10 14 20 12 30 30 92 80 52 132 46 80 22 116 107200×4

200×4

504A/AX

単位：mm

寸法図

AX2020～AX5050 XYステージストローク：200袢×200袢～500袢×500袢



A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

L

L2

F×N

H1

L1

G G L3J1

M

M2T

ストローク

B2

H2

SR15V

４‒Ｍ８通シ


ＢＩＦ１２０５

ＥＥ‒ＳＸ６７０（オムロン㈱製）原点用×１

Ｓ２

ストロークＳ２

W2

M1

M3

B1W1

JW

J2

J3

W B3

ジャバラ（ネオプレン）

h


寸法図（ジャバラ付き）


全長L

全高ベース寸法トップテーブル寸法ベース取付穴寸法

S A B M L1 W W1 W2 B1 B2 T B3 G F×N

A05…J 50 388 401

64

200

150 160 150 124 100 12 72 25

150×1

A10…J 100 438 451 250 200×1

A15…J 150 488 501 300 125×2

A20…J 200 628 604

82

450

250 260 250 210 140 16 150 25

200×2

A25…J 250 678 654 500 225×2

A30…J 300 728 704 550 250×2

A40…J 400 999 995100

800400 420 400 350 270 20 270 50

175×4

A50…J 500 1099 1095 900 200×4

505 A/AX

A05…J～A15…J 1軸ステージストローク：50～150袢　ジャバラ付き




A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

h

W2

L

LL1

J1 G J2

H1B1

G

Ｍ

M2TF×N

B2

2


ＤＩＦ１６０５

ＳＲ２５Ｗ


4‒M10通シＤＩＦ２００５（Ａ４０以上）

ＳＲ３０Ｗ（Ａ４０以上）

H2

M1

W1

W B3




JW

M3

L3

J3Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3

モータブラケット寸法その他の外形寸法

L3 H1 H2 L2 J2

Z d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 M3 h A B JW J1 A B J3

4

7 11 5 72 82 65 65 33 32 67 10 126 144 188 62 62 72 504

6

6 11 17.5 5 30 30 80 80 41 38 105 13 116 97 300 62 62 87

10 14 20 12 30 30 92 80 52 46 120 22 116 107 470 83 83 103

506A/AX

単位：mm


A20…J～A50…J 1軸ステージストローク：200～500袢　ジャバラ付き



A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

M5

T

H1

M4

M3

H2

MM2

H2

GF×NG

H1JW

WJW


SR15W

SR15V

BIF1205



J3

LYJ1

J2

LXJ1

J2

W2

W1

M1

LY2LY1LY3

W

LX2

LX1

LX3

B1

B2

B3

ストローク

ＳX ２

ストローク

ＳX ２


２

４‒Ｍ８通シ


h 寸法図（ジャバラ付き）


全長全高ベース寸法トップテーブル寸法ベース取付穴寸法

A B

SX×SY LX LY LX LY M LX1 LY1 W W1 W2 B1 B2 T B3 G F×N

AX0505…J 50×50 388 388 401 401

116

200 200

150 160 150 124 100 12 72 25

150×1AX0510…J 50×100 388 438 401 451 200 250 200×1AX0515…J 50×150 388 488 401 501 200 300 125×2AX1010…J 100×100 438 438 451 451 250 250 200×1AX1015…J 100×150 438 488 451 501 250 300 125×2AX1515…J 150×150 488 488 501 501 300 300 125×2AX2020…J 200×200 628 628 604 604

148

450 450

250 260 250 210 140 16 150 25

200×2AX2025…J 200×250 628 678 604 654 450 500 225×2AX2030…J 200×300 628 728 604 704 450 550 250×2AX2525…J 250×250 678 678 654 654 500 500 225×2AX2530…J 250×300 678 728 654 704 500 550 250×2AX3030…J 300×300 728 728 704 704 550 550 250×2AX4040…J 400×400 999 999 995 995

180800 800

400 420 400 350 270 20 270 50175×4

AX4050…J 400×500 999 1099 995 1095 800 900 200×4AX5050…J 500×500 1099 1099 1095 1095 900 900 200×4

507 A/AX


AX0505…J～AX1515…J XYステージストローク：50袢×50袢～150袢×150袢　ジャバラ付き



A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

J3

LXLX1

J1

M1

W1

B1B2 W2

M5

H1

T

B3

M3

M4

JWH1 H2

M

M2

H2

W

LY

LY2LY1J1J2

LY3

GG F×N

J2LX3

LX2

JW W



ＳＲ２５Ｗ

ＤＩＦ１６０５


ＤＩＦ２００５（ＡＸ４０４０以上）

ＳＲ３０Ｗ（ＡＸ４０４０以上）

ストローク

ＳX ２

ストローク

ＳX ２


２

h


４‒Ｍ10通シ

モータブラケット寸法その他の外形寸法

LX3 LY3 H1 H2 LX2 LY2 J2

Z d1 d2 d3 A B A/B A/B M1 M2 M3 M4 M5 h A B JW J1 A B J3

4

7 11 5 72 82 65 65 33 85 32 52 119 10 126 144 188 62 62 72 67

46466

6 11 17.5 5 30 30 80 80 41 107 38 66 174 13 116 97 300 62 62 105

10 14 20 12 30 30 92 80 52 132 46 80 200 22 116 107 470 83 83 120

508A/AX

単位：mm


AX2020…J～AX5050…J XYステージストローク：200袢×200袢～500袢×500袢　ジャバラ付き



A/AX


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番

A/AXは、ステッピングモータとサーボモータが標準で取付けられます。

ステッピングモータ仕様

モータ仕様

形番　

　項目

A05/A10/A15AX0505/AX0510/AX0515AX1010/AX1015/AX1515

A20/A25/A30/A40/A50AX2020/AX2025/AX2030/AX2525/AX2530

AX3030/AX4040/AX4050/AX5050

モータ形式 103H7522‒7051（山洋電気㈱製） 103H7523‒7051（山洋電気㈱製）ホールディングトルク［N・m］ 0.735 1.568ロータ慣性モーメントJ［g・cm2］ 180 423

外部接続方式端子台

基本仕様

入力電源単相　AC100～115V+10~15％（50/60Hz）電源電流 4A

環境

使用周囲温度 0～+50℃（凍結なきこと）保存温度 ‒20～+70℃（凍結なきこと）

使用周囲湿度 35～85％RH（結露なきこと）保存湿度 10～90％RH（結露なきこと）耐振動 4.9m/s2 周波数範囲10～55Hz X. Y. Z各方向2Hにて試験耐衝撃 NDS‒C‒0110規格3.2.2項区分“C”により異常なきこと絶縁耐圧電源入力端子‒筺体間にAC1500Vを1分間印加し異常なきこと絶縁抵抗電源入力端子‒筺体間にDC500V仕様の絶縁抵抗計で測定した値が10MΩ以上

質量［kg］ 0.8

機能

保護機能 PMドライバ過熱選択機能オートカレントダウン、励磁モード、パルス入力方式、運転電流、低振動LED表示電源モニタ、相原点モニタ、パルスモニタ、アラームモニタ

入・出力信号

指令パルス入力信号フォトカプラ入力方式、入力抵抗330Ω　入力信号電圧“H”レベル：4.0～5.5V、“L”レベル：0～0.5V　最大入力周波数100kHzパワーダウン入力信号フォトカプラ入力方式、入力抵抗330Ω　入力信号電圧“H”レベル：4.0～5.5V、“L”レベル：0～0.5Vアラーム出力信号リレー接点出力（N.O.）　接点容量：DC24V　1A以下、またはAC120V　0.5A以下ドライバ形式 PMM‒BA‒5603‒1モータ質量［kg］ 0.6 1.1

入力回路および規格

+

–

+5V

4.0～5.5V

0～0.5V

5μs以上

1μs以下 1μs以下

1μs以下 1μs以下

［H］90％

［H］

約15mA

※ パルスデューティー50％以下

50％

10％

+

–

4.0～5.5V

0～0.5V5μs以上

［H］90％

［H］

約15mA50％

10％

出力回路および規格

1

2

リレー

接点形式…… N.O.接点接点容量…… DC24V 1Aまたは120V 0.5A

+

–

330Ω

フォトカプラ

入力信号

入力信号回路

入力信号仕様

アラーム出力回路

509 A/AX



A/AX


CMX

EXEX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

ステッピングモータ用ドライバ・外部接続図

黒赤橙黄青

PMM‒BA5603‒1

0.5mm2以上

0.2mm2以上（シールド線）

注）使用電線型式線種

BLACKRED

ORANGEYELLOWBLUE

AC100/115V入力

フレーム・グランド出力（FG）

＋

－

＋

－

＋

－

＋

－

CW

CCW

PD

AL

CW入力

CCW入力

パワーダウン入力

アラーム出力

TB

TB

TB

～

～

FG

AC

ドライバ外形寸法

表示用LED

外部配線用端子台（配線用ビス M3×L6）

2‒M4×0.7（取付穴）

機能選択用スイッチ

39 4以下 10以下 170

運転電流選択スイッチ

STP

低振動用選択スイッチ135

8 105±0.5

915

±0.2

MAX7※

※ 駆動装置内に入るビスの長さは7mm以下としてください。

注）その他詳細な仕様・寸法等は5相ステッピングドライバ：PMM‒BA‒5603‒1（山洋電気㈱製）をご参照ください。

510A/AX

サーボモータ仕様

サーボモータについては、THKまでお問い合わせください。


A/AX


中抜きトップテーブル

中抜きベース

クロスLMガイドCSR

ボールねじ

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DX

EXEX

CMX

CHXCHX

形番 1 中抜き構造

中央を中抜き構造とするため、案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、駆動ボールねじを外側に配置しました。テーブル上のワークを、上面および下面から測定、加工が可能で、様々なアプリケーションに応用できます。

2 サドルレスXYステージクロスLMガイドCSRを高剛性中抜きフレームの四隅に配置し、シンプル・高剛性で高さの低い構造としました。

特長

3 高精度位置決め構造●案内部に高精度加工された、クロスLMガイドCSRを採用しているため、高精度なXY構造が得られます。●各軸の案内中心と送りボールねじの駆動中心を、ほぼ同一高さに配置した理想的な構造です。これにより姿勢変化の少ない送りが可能となり、高精度な位置決めができます。また、リニアスケールを容易に取付けできる構造のため、より高精度なクローズドループ制御も可能です。※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。

形番　　項目

DX2525F DX2525A DX3535F DX3535A DX5555F DX5555A

ストローク 250×250 350×350 550×550メカストッパ間ストローク 260×260 360×360 560×560繰り返し位置決め精度 ±0.002 ±0.002 ±0.002 ±0.002 ±0.002 ±0.002位置決め精度 0.015 0.020 0.017 0.025 0.025 0.030バックラッシ 0.003 0.003 0.004 0.004 0.005 0.005

走り真直度A　上下・左右 0.005 0.007 0.007 0.010 0.010 0.015走り平行度A 0.010 0.015 0.010 0.020 0.020 0.025直角度A 0.010 0.015 0.012 0.020 0.020 0.025

ボールねじリード 4搭載質量［㎏］ 10

ステージ総質量［㎏］ 105 58 150 75 410 190センサ形式（オムロン㈱製） EE‒SX671A

DX中抜きXYステージ

511 DX

単位：mm


基本仕様



DX 構造

A/AX


DX サドルレスXYステージストローク：250袢×250袢～550袢×550袢　

CMX

EXEX

CHXCHX

DX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

W1W2 W2F2

G3F2G3 G2

TF2TF1TFTF

※TF

※TF’

※TF’

※TF

TF1TF2D

Y

X

F1G1

F×N

F1G1※F1

※F3

※F4

※N

※F4

※F3

※F1

G

TF4

TF3

TF3

TF4 TW

2TW

1TW

2

TW

K

D Wℓ

h1H

h2

Tℓ

XℓMAX

D

DW

ボールねじ

モータ

センサ

センサ

モータボールねじ

YℓMAX

2×C‒dキリ通シ∅eザグリ深サf

Z‒M6深サ12

4‒MJ通シ（吊りボルト用）

ストローク

Y 2

ストロークX2ストローク

X2

ストローク

Y 2

注） ※印寸法は、DX5555のみの寸法を示します。

512DX

単位：mm


ステージ高さ寸法

中抜寸法

ベース寸法トップテーブル

寸法ベース取付穴寸法

SX×SY H h1 h2 D W Wℓ W1 W2 TW Tℓ TW1 TW2 F N F1 F2 F3 F4DX2525F/A 250×250 120 35 85 255 430 670 270 80 430 670 270 80 5 100 85 15 －－DX3535F/A 350×350 120 35 85 355 540 870 350 95 540 870 350 95 5 150 60 15 －－DX5555F/A 550×550 160 44 116 560 810 1320 570 120 810 1320 570 120 ー 300 110 20 215 185

形番トップテーブル取付穴寸法その他の寸法

TF TF’ TF1 TF2 TF3 TF4 Xℓ Yℓ G G1 G2 G3 K J C d e f zDX2525F/A 160 － 120 55 170 45 930 757.5 530 70 390 20 67.5 12 6 9 14 8.6 12DX3535F/A 210 － 150 75 220 50 1230 967.5 710 80 500 15 67.5 12 6 9 14 8.6 12DX5555F/A 175 150 150 185 330 75 1880 1460 910 205 770 20 90 16 6 11 17.5 15 16

注1）形番の末尾の記号はベース、テーブルの材質を示します。　　 F：鉄　A：アルミ注2）モータは指定モータを取付けます。

寸法図


A/AX


クロスLMガイドCSR

ベース

ボールねじ

コンパクトシリーズKR

LMガイドHSR

テーブル

EX高応答XYステージ


エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

DXDX

EX

CMX

CHXCHX

形番

1 シンプルなXY構造案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

2 すぐれた応答性クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。

〔モータ軸換算負荷：慣性モーメントJ〕EX0505：X軸 0.026［kg・cm2］, Y軸 0.027［kg・cm2］EX0808：X軸 0.029［kg・cm2］, Y軸 0.030［kg・cm2］注）カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

特長

3 高剛性XYステージXY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

4 ガタのない連結機構X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。

513 EX

寸法図形番仕様特長


EX 構造

A/AX


EX XYステージストローク：50袢×50袢～75袢×75袢　

CMX

EX

CHXCHX

DXDX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

形番

3535

5050

dy2

WY1

WY1

dy2

dy1

dy1

WYWLY

4550

dx2dx1

WX1

dx250 dx145

W1

BY

10

10 BX BX75

10

67

59103.5

LLX1

LX2

LX

3890

WX

6‒M10通シ

8‒M6深サ10

Y

X

形番　　項目

EX0505 EX0808

ストローク 50×50 75×75メカストッパ間ストローク 54×54 80×80繰り返し位置決め精度 ±0.001 ±0.001位置決め精度 0.005 0.008バックラッシ 0.001 0.001

走り真直度A 上下・左右 0.004 0.005走り平行度A 0.015 0.015直角度A 0.005 0.005

ボールねじリード 4 4搭載質量［kg］ 5 5

センサ形式（オムロン㈱製） EE‒SX671A

514EX

単位：mm EX 0505 A Y① ② ③ ④

①形番 EX

②ストローク 0505：50×50mm0808：75×75mm

③モータ記号Ａ：モータ無し（標準）Ｂ※：モータ・ドライバ付き

④特殊仕様 Y

※ モータ記号が「B」の場合、低慣性のモータを選定する必要があります。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

単位：mm

形番ストロークベース寸法全長

トップテーブル寸法

ベース取付穴寸法

トップテーブル取付穴寸法

L W W1 LX LX1 LX2 LY WX WY WX1 WY1 BX BY dx1 dx2 dy1 dy2EX0505 50×50 300 187 93.5 389 367 22 198.5 192 125 125 31 140 167 12.5 17.5 27.5 12.5EX0808 75×75 320 213 106.5 428 393 35 224.5 218 125 125 44 150 193 12.5 17.5 27.5 12.5

寸法図

基本仕様

寸法図形番仕様特長

形番構成

A/AX


形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

CMXアライメントステージ


特長画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

1大型ワークに対応トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。

2超薄形・軽量XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

3中抜き構造トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

4高剛性・高精度モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスＬＭガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現しました。

主な用途●FPD製造装置・検査装置●半導体製造装置・検査装置●スクリーン印刷機・マスク検査装置

●プリント基板製造装置・検査装置●太陽電池製造装置・検査装置

515 CMX

X Y

ベース

クロスローラーリング

トップテーブル

クロスLMガイド

ボールねじ

モータ

モータ寸法図動作原理形番精度・仕様特長特殊対応

モジュール


CMX 構造

P515-528_CMX.indd 515P515-528_CMX.indd 515 10.3.15 2:01:01 PM10.3.15 2:01:01 PM

DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AX

516CMX

精度評価方法繰り返し位置決め精度平行度

定盤上にステージを乗せ、テストインジケータをトップテーブルのほぼ全域にわたり滑らせ測定します。その際トップテーブルはストローク中央に配置します。トップテーブル測定域の最大差を測定値とします。

任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰り返して、停止位置を測定します。この測定を移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とし、その値の1/2に±の符号をつけて表示します。


基本仕様形番項目

CMX1 CMX2 CMX3025 035 040 050 075 100 150

トップテーブル［mm］ 250×250 350×350 400×400 500×500 750×750 1000×1000 1500×1500最大ストローク※1［mm］ ±5×±5×±3°±5×±5×±2°±10×±10×±3.5°±10×±10×±2.5°±10×±10×±1.5°±15×±15×±2°±15×±15×±1°

エンコーダ分解能［pulse/rev］ 2048 8192（13ビットシリアルエンコーダ）繰り返し位置決め精度［μm］ ±1

平行度［μm］ 30 40 50 80 180 300 700ボールねじリード［mm］ 1 2 4搭載質量［kg］ 20 50 150静定格荷重［kN］ 34.1 54 127.0 254.1本体質量［kg］ 18 23 37 44 63 600 1150

モータ形式※2※3（㈱安川電機製） SGMM‒A2C312（20W） SGMAH‒01BAA21（100W） SGMAH‒02BAA21（200W）ドライバ形式※2※3（㈱安川電機製） SGDF‒A2CP（20W） SGDM‒01BDA（100W） SGDM‒02BDA（200W）

フォトマイクロセンサ形式※4（オムロン㈱製） EE‒SX672（コネクタ：EE‒1001）使用グリース THK AFFグリース

トップテーブル・ベースの材質／表面処理 A5052／黒色アルマイト処理 A2017／黒色アルマイト処理 SS400／THK AP‒C処理

※1　θストロークはトップテーブルがX軸、Y軸のストローク中央時の値です。※2　CMX1用のモータドライバの供給電源はDC24Vとなります（他はAC100V）。※3　モータ～ドライバ間の接続ケーブル（3m）は本体に付属します。※4　フォトマイクロセンサの位置は貴社にて最終調整を行ってください。注1）本アライメントステージの仕様は20±2℃時の値です。注2）精度評価方法は、THK基準によります。

形番構成

CMX2− 040① ②

①形番 CMX＊

②トップテーブル寸法例：040=400mm×400mm

形番 X軸［μm］ Y軸［μm］ θ軸［s］CMX1‒025 0.12 0.12 0.29CMX1‒035 0.12 0.12 0.19CMX2‒040 0.24 0.24 0.34CMX2‒050 0.24 0.24 0.25CMX2‒075 0.24 0.24 0.15CMX3‒100 0.49 0.49 0.25CMX3‒150 0.49 0.49 0.16

注） CMX１の分解能は4てい倍時の値です。

各軸の分解能



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

動作原理アライメントステージ CMXは３軸の駆動モジュールの動作の組合わせにより、様々なステージの動作が可能です。

X1駆動

Y停止

駆動モジュール３（Y軸）駆動モジュール１（X１軸）

駆動モジュール2（X２軸）X2駆動

517 CMX

基準位置 X方向移動

ステージ中心回転移動旋回移動X1駆動

X2駆動 X2駆動

X1駆動

Y駆動 Y駆動

Y方向移動斜め方向移動

X1停止

X2停止 X2駆動

X1駆動

Y駆動 Y駆動




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AX

送り量計算方法任意のトップテーブル回転角δθを得るための各軸の相対送り量を求める式を以下に示す。　Ｘ1軸：δX1 ＝R cos（δθ＋θX1＋θ0）‒R cos（θX1＋θ0）（1式）　Ｘ2軸：δX2 ＝R cos（δθ＋θX2＋θ0）‒R cos（θX2＋θ0）（2式）　　Ｙ軸：δY ＝R sin（δθ＋θY＋θ0）‒R sin（θY＋θ0）（3式） δX1：X1軸の相対送り量［mm］ δX2：X2軸の相対送り量［mm］　　ボールねじの送り量 δＹ：Y軸の相対送り量［mm］ θX1：X1軸に連結されたクロスローラーリング中心の角度位置［°］（パラメータ表をご参照ください） θX2：X2軸に連結されたクロスローラーリング中心の角度位置［°］（パラメータ表をご参照ください） θY ：Y軸に連結されたクロスローラーリング中心の角度位置［°］（パラメータ表をご参照ください） θO ：計算動作前のトップテーブル角度［°］ δθ：トップテーブル回転角［°］　R：各軸に連結されたクロスローラーリング中心を通る仮想円の半径［mm］（パラメータ表をご参照ください）

Ｙ

δθ

θ0

次位置

現位置

初期位置

計算式に用いる記号の説明図

X

〔計算例〕形番：CMX2‒040動作パターン：各軸ストローク中心位置を原点として、トップテーブルを次の順に動作させる場合の各軸の送り量を求

めます。 ①Ｘ方向に＋1mm、Ｙ方向に＋0.5mm平行移動　　　↓ ②トップテーブル中央を回転中心として＋2°回転させます　　　↓ ③ ②の状態から－0.3°回転させます

パラメータ表形番 R θY θX1 θX2

CMX1025 85

0° 　90° 270°035 135

CMX2040 145 2

45° 135° 225°050 195 2075 320 2

CMX3100 400 2150 650 2

＋

＋＋

Ｙ

0 X

θ

518CMX

モータ寸法図動作原理形番精度・仕様特長

δX1

δX2

θX1

θX2

δY

θY

0 R

X1軸

X2軸

Ｙ軸

特殊対応


形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

まず、X・Y方向の平行移動については、そのままの値が各軸の送り量となります。次に＋2°の回転を検討します。パラメータ表より、CMX2‒040の各パラメータは、Ｒ＝145・ θY ＝45° θX1＝135° θX2＝225°

また動作パターンの条件より θ0 ＝0°（現位置が初期位置にあるため） δθ＝2°

以上を1式、2式、3式にそれぞれ代入するとX1軸についてδX1 =145・・cos（2＋135＋0）　　　－145・・cos（135＋0）　　 =－4.97210［mm］

X2軸、Y軸について同様に次の解を得ます。

δX2 =＋5.14876［mm］δY =＋4.97210［mm］

最後にその状態から－0.3°回転させる場合の各軸の送り量を求めます。動作パターンの条件より、 θO=2° δθ＝－0.3°

これを1式、2式、3式にそれぞれ代入すると、X1軸についてδX1 =145・・cos（（－0.3）＋135＋2）　　　　　　－145・・cos（135＋2） =＋0.73431［mm］

X2軸、Y軸について同様に次の解を得ます。δX2 =－0.78333［mm］δY =－0.73431［mm］

手順

軸相対送り量

X方向に+1 Y方向に+0.5 回転方向に+2° 回転方向に‒0.3°X1 +1（+1） 0（0） ‒4.97210（‒3.97210） +0.73431（‒3.23779）X2 +1（+1） 0（0） +5.14876（+6.14876） ‒0.78333（+5.36543）Y 0（0） +0.5（+0.5） +4.97210（+5.47210） ‒0.73431（+4.73779）

注）（　）内の値は原点からの絶対値（送り量）を示します。

計算結果

□Ｅ

４‒Ｍ６深サ12

８‒７キリ通シ∅11ザグリ深サ12

（R）

DD

3H2H1H

H

WA

C

C

W

A

L

BB

L

BB

（ベース中抜き寸法）

形番最大ストローク高さベース寸法トップテーブル寸法

H H1 H2 H3 L B E W D A C （R）CMX1‒025 ±5×±5×±3°

90 23 44 23350 160 80 250 80 160 60

（10）CMX1‒035 ±5×±5×±2° 450 210 180 350 180 220 80

寸法図

519 CMX

CMX1 アライメントステージステージ高さ：90袢　テーブルサイズ：□250袢, □350袢

単位：mm

単位：mm




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AX

８‒９キリ通シ∅14ザグリ深サ14

８‒Ｍ８深サ16

（R）

D

D

□Ｅ

3H2H1HH

LB B

W1AAL

BB

W1AA



H H1 H2 H3 L B E W D A A1 （R）CMX2‒040 ±10×±10×±3.5°

110 27 56 27500 235 210 400 210 180 300

（15）CMX2‒050 ±10×±10×±2.5° 600 285 310 500 310 280 400CMX2‒075 ±10×±10×±1.5° 850 410 560 750 560 530 650

H₃H₂Ｎ‒Ｍ10深サ20

12‒14キリ通シ∅20ザグリ深サ26

（R）

D

D

□Ｅ

H₁H

A₄

A₄

A₄

A₂

A₂A₁A₃ W

B B BL

LB

BB

WA₃A₁

A₂A₂A₄A₄A₄



H H1 H2 H3 L B E W D A1 A2 A3 A4 （R） NCMX3‒100 ±15×±15×±2°

160 40 72 481200 380 650 1000 650 800 300 －－

（20）12

CMX3‒150 ±15×±15×±1° 1700 540 1000 1500 1000 －－ 1300 350 16

520CMX

単位：mm

CMX2 アライメントステージステージ高さ：110袢　テーブルサイズ：□400袢, □500袢, □750袢

CMX3 アライメントステージステージ高さ：160袢　テーブルサイズ：□1000袢, □1500袢

単位：mm



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

サーボモータ仕様モータ仕様

ドライバ仕様

項目　　形番 CMX1 CMX2 CMX3モータ形式（㈱安川電機製） SGMM‒A2C312 SGMAH‒01BAA21 SGMAH‒02BAA21

定格出力［W］ 20 100 200定格トルク［N・m］ 0.0637 0.318 0.637瞬時最大トルク［N・m］ 0.191 0.955 1.91定格回転速度［min‒1］ 3000最高回転速度［min‒1］ 5000

ロータ慣性モーメントJ［kg・cm2］ 0.00548 0.0364 0.106モータ質量［kg］ 0.2 0.5 1.1

項目　　　　形番 SGDF‒A2CP SGDM‒01BDA SGDM‒02BDA

組合わせ仕様

モータ適用モータ容量［W］ 20 100 200

定格／最高回転数速度［min‒1］ 3000／5000連続出力電流［Arms］ 2.0 2.4 3.0最大出力電流［Arms］ 5.7 7.2 9.0

許容慣性モーメントJL［kg・cm2］ 0.164 1.092 3.180

基本仕様

入力電源DC24V±10%4A連続、9Aピーク

単相　AC100～115V＋10～‒15% （50/60Hz）

制御方法 MOSFET‒PWM方式単相全波整流　IGBT　PWM制御　正弦波電流駆動方式フィードバックインクリメンタルエンコーダシリアルエンコーダ（インクリメンタル）

使用周囲条件

使用温度 0～＋50℃ 0～＋55℃保存温度 ‒20～＋85℃（凍結なきこと）

使用･保存湿度 90%RH以下（結露なきこと）耐振動／耐衝撃 4.9m/s2／19.6m/s2

構造ベースマウント概略質量［㎏］ 0.3 0.8 1.1

性能

バイアス設定 0～450min‒1 （設定分解能 1min‒1）フォードフォワード補償 0～100％（設定分解能 1％）位置決め完了幅設定 0～250指令単位（設定分解能 1指令単位)

入・出力信号

指令パルス入力種類符号＋パルス列、CCW＋CWパルス列、90度位相差2相パルス列（A相＋B相）

入力パルス形態ラインドライバ（＋5Vレベル）、オープンコレクタ（＋5Vまたは＋12Vレベル）入力パルス周波数 0～450kHz 0～500kHz、ただしオープンコレクタは200kHz（max）

制御信号クリア信号（入力パルス形態は、指令パルスと同一）

出力位置出力形態 A相、Ｂ相、C相、オープンコレクタ出力 A相、B相、C相、ラインドライバ出力分周比（16～2048）/2048 任意分周可能

シーケンス入力信号サーボオン、P動作、アラームリセット、

外部電流制限（3点）サーボオン、P動作、正転/逆転駆動禁止、アラームリセット、正転側/逆転側電流制限

シーケンス出力信号電流制限検出中、TGON、位置決め完了、外部ブレーキインターロック及び

サーボアラーム（2点）

サーボアラーム、アラームコード（3ビット出力）：CN1の出力端子は固定

サーボレディ、位置決め完了（速度一致）、モータ回転中、電流制限中、速度制限中、ブレーキ解放、警告、

NEARの中から、3種類の出力信号を選択可能

内蔵機能

ダイナミックブレーキ（DB）機能ー主電源オフ、サーボアラーム、サーボオフ時、オーバートラベル時にDB動作オーバートラベル（OT）防止機能ー P‒ON、N‒OT 動作時にDB停止、減速停止またはフリーラン停止

保護機能過電流、過負荷、過速度、原点異常、

暴走防止、CPU異常、エンコーダ異常、偏差過大

過電流、過電圧、不足電圧、過負荷、回生異常、主回路検出部異常、ヒートシンク過熱電源欠相、オーバーフロー、過速度、

エンコーダ異常、暴走防止、CPU異常、パラメータ異常など

表示 Ready：緑　Alarm：赤 CHANGE、POWER、7セグメントLED×5個

その他ブレーキインタロック信号出力、JOG運転、オートチューニング、

電子ギヤ

逆回転接続、原点サーチ、モータ自動判別機能、電源高調波抑制DCリアクトル接続端子

521 CMX




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AXSGDM‒01BDA

サーボパック外形寸法SGDF‒A2CP

CN2/PG CN1/IO

CN5

CN3

CN4

RDY ALM

35

CN1

CN2

CN3

CN4

CN5

98（1）

（1）

１００（取付ねじ含む）

80（35） 5

4.5

９２（取付ピッチ）

3

ヒートシンク

4

Ver.

CN3

CN2

CN1

２‒Ｍ４

55

160

106

6

端子台（３種類）

（アース端子）130（75） 5

5.5

149.5±0.5

２‒Ｍ４

（取付ピッチ）

（5）

17

コネクタ符号コネクタ型式メーカCN1 10250‒52A2JL 住友スリーエム㈱CN2 53460‒0611 日本モレックス㈱CN3 10214‒52A2JL 住友スリーエム㈱

コネクタ符号コネクタ型式メーカCN1、CN2 52822‒4011 日本モレックス㈱CN3 5569‒03A4‒201 日本モレックス㈱CN4 5569‒04A2‒210 日本モレックス㈱CN5 555153‒1 日本エー・エム・ピー㈱

522CMX



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

Ver.

130（75）

17

149.5±0.5

２‒Ｍ４

（取付ピッチ）

5.5

12（5）

CN3

CN2

CN1

端子台

6

160

149.5

5.5

（３種類）

（5）

75

12 （63）

5

6 10

∅５

２‒Ｍ４（アース端子）

※ その他の詳細仕様・外形寸法は㈱安川電機製のACサーボドライブ「Σ‒miniシリーズ」、「Σ‒Ⅱシリーズ」をご参照ください。

SGDM‒02BDA

コネクタ符号コネクタ型式メーカ

CN1 10250‒52A2JL 住友スリーエム㈱

CN2 53460‒0611 日本モレックス㈱

CN3 10214‒52A2JL 住友スリーエム㈱

523 CMX




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AX

THKでは貴社の仕様に合わせた特殊アライメントステージの製作をしています。

特殊対応

特殊対応品実績一例1.大型仕様2.小型仕様3.ロングストローク仕様4.高剛性センター駆動仕様5.超高剛性高精度4軸駆動仕様6.高負荷仕様7.取付姿勢の注意点

標準品 CMX3‒150よりベースサイズ、トップテーブルサイズを大きくしたアライメントステージです。

ベース寸法□1700mm～□2400mm

トップテーブル寸法□1500mm～□2200mm

1.大型仕様

モジュール数8～10set

524CMX



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

2.小型仕様標準品のCMX1‒025よりトップテーブルサイズを小さくしたアライメントステージです。

トップテーブルサイズ□230mm以下

3.ロングストローク仕様アライメントステージと搬送用1軸ステージを一体化することにより、薄形でコンパクトな仕様が可能となります。

ロングストローク軸300mmストローク以上

525 CMX




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AX

4.高剛性センター駆動仕様駆動軸を中央に配置することによって、ロストモーションが少なく、ヨーイング方向の剛性が向上します。また、回転中心をトップテーブルセンターに配置できるため制御が容易になります。

5.超高剛性高精度4軸駆動仕様各モジュールにボールねじを配置することにより、軸方向に対し高い剛性が得られ、ロストモーションが少なく、高精度な位置決めが可能です。

526CMX


P515-528_CMX.indd 526P515-528_CMX.indd 526 10.3.16 8:30:00 AM10.3.16 8:30:00 AM

形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHXCHX

A/AX

6.高負荷仕様LMガイド・ボールねじ・クロスローラーリングの形番を大きくし、モジュール1セット当たりの定格荷重を上げることにより、高負荷荷重を受けることができます。ご希望の搭載質量に対し、最適なモジュールの設計、製作を行います。

7.取付姿勢の注意点

搭載質量150～5000kg

使用条件によって、特殊対応品となります。壁掛け姿勢、スラント姿勢の場合、ボールねじ・ベアリングの軸方向剛性を考慮する必要があります。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

θ

壁掛け姿勢

次のような仕様の場合はTHKまでお問い合わせください。■ P.524～P.527の例に該当しない寸法・ストローク・搭載質量の場合。■ モータ容量の変更が必要な場合、または使用モータを指定する場合。■ 特殊環境で使用する場合。■ 材質、表面処理を変更する場合。■ 製品仕様以外の精度が必要な場合。

527 CMX

スラント姿勢逆さ姿勢




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHXCHX

形番

A/AX

528CMX



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHX

A/AX

CHX小型アライメントステージ


主な用途●光学機器、医療機器、バイオ事業●太陽電池、光学レンズの貼合わせ装置●プローブ検査装置

●チップデバイス露光、印刷、塗布装置●微細レーザ加工機●チップマウンタ用アライメント

529 CHX


予圧型フレキシブル平面軸受

駆動モジュールトップテーブル

ベース

X Y

特長

1超薄型予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。

2トップテーブルの小型化トップテーブルのサイズは縦横ともに、100～200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。

3中抜き構造の設定可能トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です（特殊対応）。下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用出来ます。※ CHX‒160‒L, CHX‒125‒H, CHX‒200‒Hタイプは中抜き構造を標準対応しています。さらに、CHX‒125‒H, CHX‒200‒Hタイプについては、中抜き構造の特殊対応が可能です。

4結線作業の簡略化モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。

下プレート

中間プレート

ボールケージ

上プレート

CHX 構造予圧型フレキシブル平面軸受


P529-538_CHX.indd 529P529-538_CHX.indd 529 10.3.15 2:22:52 PM10.3.15 2:22:52 PM

DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHX

形番

A/AX

1高剛性適正な予圧が作用したフレキシブル平面軸受を採用したことにより、ラジアル・逆ラジアル・モーメント方向に対して高剛性です。

2高精度トップテーブルに作用したラジアル荷重の大部分を上プレートを介してフレキシブル平面軸受が支持するので、駆動モジュールで使用している案内部にはラジアル荷重がほとんど作用されません。そのため、長期的に高精度が維持できます。

3超薄型構造フレキシブル平面軸受はシンプルな設計になっているため、アライメントステージ自体のコンパクト化が可能です。

形番構成

予圧型フレキシブル平面軸受特長

上プレート

ケージボール中間プレート

下プレート

モーメント荷重

逆ラジアル荷重ラジアル荷重

ベース

530CHX

CHX − 100−L − N − 02① ② ③ ④

①形番 CHX

②トップテーブルサイズ

100‒L ：100mm×100mm（低負荷タイプ）160‒L ：160mm×160mm（低負荷タイプ）125‒H ：125mm×125mm（高負荷タイプ）200‒H ：200mm×200mm（高負荷タイプ）

③ケーブルタイプ N：固定タイプケーブルR：可動タイプケーブル

④ケーブル長さ02：2m05：5m10：10m


予圧型フレキシブル平面軸受構造


形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHX

A/AX


531 CHX

基本仕様形番

項目CHX‒＊＊＊‒L CHX‒＊＊＊‒H

100 160 125 200トップテーブルサイズ［mm］ 100×100 160×160 125×125 200×200ストローク※1［mm］　±2×±2×±2｡ ±3×±3×±3｡ ±3×±3×±3｡ ±5×±5×±3｡

モータの基本ステップ角※2［｡］ 0.72ボールねじリード［mm］ 1

繰り返し位置決め精度［μm］ ±1 ±0.7ロストモーション［μm］ 3 2 1平行度［μm］ 30

移動時負荷質量［kg］ 1 10 50静止時負荷荷重［N］ 49 490 980本体質量［kg］ 2 6 15 35モータ型式※3 PK513PA TS3664N16E2 PK523A PK543NAWモータメーカ※3 オリエンタルモーター㈱多摩川精機㈱オリエンタルモーター㈱ドライバ型式※3 MC‒0514‒L（0.35A仕様） DFC5103P DFC5107Pドライバメーカ※3 ㈲マイクロステップオリエンタルモーター㈱

フォトマイクロセンサ型式※4 PM‒L24（SUNX㈱製）使用グリース THK AFFグリース

トップテーブル・ベースの材質 S45Cトップテーブル・ベースの表面処理低温黒色クロム処理

精度評価方法

繰り返し位置決め精度任意の一点に同じ方向からの位置決めを７回繰り返して、停止位置を測定し、読みの最大差を求めます。この測定を移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とし、その値の1/2に±の符号をつけて表示します。

定盤上にステージを乗せ、テストインジケータをトップテーブルのほぼ全域にわたり滑らせ測定します。その際トップテーブルはストローク中央に配置します。トップテーブル測定域の最大差を測定値とします。

平行度

ロストモーション任意の一点に正と負の方向からの位置決めを各７回繰り返して、停止位置を測定し、正と負それぞれの測定値の平均差を求めます。この測定を移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた平均差のうちの最大のものを測定値とします。精度＝（t1+t2+・・・+t7）/7－（t'1+t'2+・・・+t'7）/7t：正方向からの位置決め測定値t'：負方向からの位置決め測定値

※1　θストロークはトップテーブルがX軸、Y軸のストローク中央時の値です。※2　モータの基本ステップ角はフルステップ時の値です。※3　詳しい仕様については各メーカのカタログ、取扱説明書をご覧ください。※4　フォトマイクロセンサは駆動モジュールごとに各3個ずつ取付けます。

注１）精度評価方法は、THK基準によります。注2）各精度は移動時負荷質量を搭載させた状態での値です。

（搭載物重心は、トップテーブル中央）注3）上記以外の仕様の場合は、THKまでお問い合わせください。




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHX

形番

A/AX

532CHX

動作原理超薄型アライメントステージCHXは３軸の駆動モジュールの動作の組合わせにより、様々なステージの動作が可能です。


X1停止

X2停止

Y駆動

X1駆動

X2駆動

Y駆動

X1駆動

X2駆動

Y駆動

X1駆動

X2駆動

Y駆動

基準位置駆動モジュール3駆動モジュール1

駆動モジュール2

X1軸

Y軸

X2軸

X方向移動

Y方向移動斜め方向移動

テーブル中心回転移動旋回移動

X1駆動

X2駆動

Y停止


形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHX

A/AX

533 CHX

送り量計算方法任意のX、Y、θを得るための各軸の相対送り量は、下記の計算式で求めることができます。

X1軸

X2軸

Y軸

0 X+ +

Y+

θ

θ

（X１Ｘ, X1Ｙ）

（0, 0）

（X2Ｘ, X2Ｙ）

（YＸ, YＹ）

パラメータ表形番 X1X X1Y X2X X2Y YX YY

CHX‒100‒L 48.5 22 48.5 ‒22 ‒37.5 42CHX‒160‒L 67.5 57 67.5 ‒57 ‒57 ‒67.5CHX‒125‒H 13.5 90 13.5 ‒90 90 ‒13.5CHX‒200‒H 24.5 130 24.5 ‒130 130 ‒24.5

δx1 ：X1軸の相対送り量［mm］δx2 ：X2軸の相対送り量［mm］　　ボールねじの送り量δY ：Y 軸の相対送り量［mm］X1X、X1Y ：X1軸駆動モジュールの回転ピン中心座標（パラメータ表をご参照ください）X2X、X2Y ：X2軸駆動モジュールの回転ピン中心座標（パラメータ表をご参照ください）YX、YY ：Y 軸駆動モジュールの回転ピン中心座標（パラメータ表をご参照ください）X ：X方向移動量Y ：Y方向移動量θ ：θ方向移動量

計算式に用いる座標系

　　X1軸：δx1=tanθ×（Y‒X1Y）＋X1X×（‒1＋1/cosθ）＋X　　X2軸：δx2=tanθ×（Y‒X2Y）＋X2X×（‒1＋1/cosθ）＋X　　Y　軸：δY =tanθ×（YX‒YY×sinθ‒X）＋YY×（cosθ‒1）＋Y

Ｘ１軸

Ｘ２軸

Ｙ軸

θ

予圧型フレキシブル平面軸受トップテーブル

（０, ０）

（ＹＸ, ＹＹ）（Ｘ2Ｘ, Ｘ2Ｙ）

（Ｘ1Ｘ, Ｘ1Ｙ）

CHX‒100, 160 CHX‒125, 200




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHX

形番

A/AX

４‒Ｅキリ通シ∅Ｆザグリ深サＧ

Ｊ‒Ｍ６, 深サＴ

CHX‒125‒H:25CHX‒200‒H:30

MLCHX‒125‒H:215CHX‒200‒H:310

∅D

CHX‒125‒H:200

CHX‒200‒H:290

CHX‒125‒H:25

CHX‒200‒H:30

ML

A □W B □L

CHX‒125‒H4‒M8通シ（吊ボルト用）

CHX‒200‒H4‒M10通シ（吊ボルト用）

※ 吊ボルトは製品に付属します。

H1 H2H

H3

4‒P, 深サT4‒Q, 深サT 4‒Eキリ通シ

∅Fザグリ深サG4‒R, 深サT4‒S, 深サT

HK

∅D

B

CHX‒100‒Lケーブル引出し方向

CHX‒160‒Lケーブル引出し方向

A4 A3 A2 A1 □W□L

A4A3A2A1

H1 H3H2

534CHX

寸法図

形番高さベーストップテーブルベース取付穴ねじ穴ケーブル長さ

H H1 H2 H3 L B W A1 A2 A3 A4 D E F G P Q R S T KCHX‒100‒L 35 6 23 6 120 110 100 90 60 20 ーー 4.5 8 4.4 M4 M3 M2 ー 6 100CHX‒160‒L 45 8 27 10 170 150 160 150 110 90 60 20 5.5 9.5 5.4 M5 M5 M4 M4 8 160

形番高さベーストップテーブルベース取付穴ねじ穴モータ長さ

H H1 H2 H3 L B W A D E F G J T MLCHX‒125‒H 60 24 24 12 260 230 125 100 40 6.6 11 6.5 4 10 26CHX‒200‒H 60 10 35 15 350 330 200 180 60 9 14 8.6 8 10 33

単位：mm

単位：mm

CHX–100–L, CHX–160–L アライメントステージステージ高さ：35, 45袢　テーブルサイズ：□100袢, □160袢

CHX–125–H, CHX–200–H アライメントステージステージ高さ：60袢　テーブルサイズ：□125袢, □200袢

寸法図



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHX

A/AX

535 CHX

ステッピングモータ仕様形番項目

CHX‒＊＊＊‒L CHX‒＊＊＊‒H100 160 125 200

モータ型式 PK513PA TS3664N16E2 PK523A PK543NAWモータメーカオリエンタルモーター㈱多摩川精機㈱オリエンタルモーター㈱

ホールディングトルク［N・m］ 0.022 0.017 0.033 0.13ロータ慣性モーメント［g・cm2］ 2.6 4.2 9.0 35.0

駆動電流［A/相］ 0.35※ 0.75※ 0.35 0.75質量［kg］ 0.05 0.07 0.10 0.21

※ CHX‒100‒LとCHX‒160‒Lでは駆動電流が異なりますので、ご使用の際はドライバの駆動電流選択スイッチを切替えてからご使用ください。

ドライバ仕様

形番項目CHX‒＊＊＊‒L CHX‒＊＊＊‒H

100 160 125 200ドライバ型式 MC‒0514‒L（0.35A仕様）※ DFC5103P DFC5107Pドライバメーカ㈲マイクロステップオリエンタルモーター㈱駆動方法マイクロステップ入力電源 DC20～40V DC24～36V±10%入力信号フォトカプラ入力　入力抵抗300Ω フォトカプラ入力　入力抵抗220Ω

出力信号フォトカプラ・オープンコレクタ出力使用条件　DC30V以下、50mA以下

フォトカプラ・オープンコレクタ出力使用条件　DC24V以下、10mA以下

機能パルス入力方向切替え、自動カレントダウン、マイクロステップ角切替え冷却方法自然冷却

絶縁耐圧常温、常湿において、電源入力とケース間にDC500V仕様の

絶縁抵抗計で測定した値が50MΩ以上常温、常湿において、モータのコイル・ケース間をDC500V仕様の

絶縁抵抗計で測定した値が100MΩ以上

絶縁抵抗常温、常湿において、電源入力とケース間にAC500Vを

1分間印加しても異状はありません。常温、常湿において、モータのコイル・ケース間に50Ｈzまたは60Ｈz、

0.5kVを1分間印加しても異状はありません。

使用周囲温度［℃］ 0～40使用周囲湿度［％］ 0～85質量［kg］ 0.17 0.2

※ MC‒0514‒L（0.35A仕様）はメーカ特殊仕様となります。




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHX

形番

A/AX

536CHX

ドライバ外形寸法CHX‒100‒L, CHX‒160‒L CHX‒125‒H, CHX‒200‒H

47±0.1

CN3CN2CN1

2‒∅3.5

93±0.1

3.5

3.5

36

18

1004.591±0.1

70

18.5

CN1CN2 CN3 駆動電流選択スイッチ

3888

943.5

34.5

64

注）ドライバの詳細寸法図とスイッチ類については、各メーカの取扱説明書をご覧ください。

付属品・ドライバ・・・・・・・・3台・モータケーブル・・・・1本（ケーブルタイプ、ケーブル長さは形番にてご指示ください）・センサケーブル・・・・2本（ケーブルタイプ、ケーブル長さは形番にてご指示ください）・吊ボルト・・・・・・・・4本（CHX‒125‒L、CHX‒200‒Lのみ）※ センサケーブルは2本付属します（Aタイプ・Bタイプ→P.538）。

ケーブル形番構成

CHX − MCN − 02①

①ケーブル長さ 02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ

CHX − MCR − 02①

①ケーブル長さ 02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ

CHX − CSN − 02①

①ケーブル長さ 02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ

CHX − CSR − 02①

①ケーブル長さ 02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ

注1）ドライバ側およびコントローラ側は全てバラ線となります。注2）固定タイプのケーブルをご使用の際は、ケーブルが動かないよう確実にケーブルを固定してください。注3）可動タイプのケーブルは耐屈曲ケーブルを使用しています。注4）センサケーブルは2本で1セットとなります（Aタイプ・Bタイプ→P.538）。注5）ケーブルをご注文の際は、CHX本体の形番も併せてTHKまでご連絡ください。

固定タイプモータケーブル

可動タイプモータケーブル

固定タイプセンサケーブル

可動タイプセンサケーブル



形番

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CMX

DXDX

EXEX

CHX

A/AX

537 CHX

ドライバ　外部結線図CHX‒100‒L, CHX‒160‒L

2

1

2

5

1

4

33

4

5

6

ＣＷ/パルス信号

ＣＣＷ/回転方向信号

出力電流オフ信号

ＣＮ２ＣＮ３Ｖｏ3

2

1

ＣＮ１

ＤＣ２０～４０Ｖ

GND

Ｒ２

Ｒ１

Ｒ１

ドライバコントローラ

緑

橙

黒

赤

青

モータ

CHX‒125‒H, CHX‒200‒H

5

4

3

2

1

1

2

3

1

2

3

4

5

6

9

10

7

8

ＣＷ/パルス信号

ＣＣＷ/回転方向信号

出力電流オフ信号

ステップ角切替え信号

Ｖｏ1

Ｖｏ2

励磁タイミング信号ＤＣ２４～３６Ｖ±１０％

GND

結線せず

ＣＮ２

ＣＮ１

ＣＮ３

Ｒ１

Ｒ１

Ｒ２

Ｒ２

Ｒ３Ｒ３

Ｒ２

Ｒ２

Ｒ１

Ｒ１

コントローラドライバ

黒

緑

橙

赤

青

モータ

注1） Vo1の電圧がDC5Vを超える時は、外部抵抗R1・R2を接続してください。注2） Vo2の電流が10mAを超える時は、外部抵抗R3を接続してください。注3）標準タイプのドライバについては、入力方法（フォトカプラ入力、C‒MOS入力）によって結線方法が異なります。注4）詳しい仕様については各メーカの取扱説明書をご覧ください。




DXDX

EXEX

CMX

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

クリーン

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

CHX

形番

A/AX

538CHX

ケーブル詳細図CHX‒100‒L, CHX‒160‒L

123456789101112131415

バラ出し

モータケーブル

X1軸

X2軸

Y軸

青赤橙緑黒青赤橙緑黒青赤橙緑黒

橙白（使用しない）

ステージ側ドライバ側

123456789101112131415

黒黒白赤赤白緑緑白黄黄白茶茶白青青白灰灰白橙

123456789101112131415

バラ出し

センサケーブルA

+24VX1 ORG0V+24VX1+ELM0V+24VX1‒ELM0V+24VX2 ORG0V+24VX2+ELM0V


100mm被覆無し100mm被覆無し 50mm 100mm被覆無し50mm

123456789101112131415


123456789101112

バラ出し

センサケーブルB

+24VX2‒ELM0V+24VY ORG0V+24VY‒ELM0V+24VY‒ELM0V

灰（使用しない）灰白（使用しない）

123456789101112

黒黒白赤赤白緑緑白黄黄白茶茶白青青白

CHX‒125‒H, CHX‒200‒H

※1　ステージ側への接続は、ステージのベース部の専用コネクタへそのまま接続してください。※2　ドライバ側（コントローラ側）への接続は、全てバラ線となっています。

123456789101112131415

バラ出し

モータケーブル

X1軸

X2軸

Y軸

青赤橙緑黒青赤橙緑黒青赤橙緑黒


ステージ側ドライバ側

123456789101112131415


1234567891011121314151617181920

バラ出し

センサケーブルA

+24VX1 ORG0V+24VX1+ELM0V+24VX1‒ELM0V+24VX2 ORG0V+24VX2+ELM0V


100mm被覆無し100mm被覆無し 100mm被覆無し

123456789101112131415


1234567891011121314151617181920

バラ出し

センサケーブルB

+24VX2‒ELM0V+24VY ORG0V+24VY‒ELM0V+24VY‒ELM0V

灰（使用しない）灰白（使用しない）

123456789101112

黒黒白赤赤白緑緑白黄黄白茶茶白青青白

ケーブル名　　　　タイプ固定タイプケーブル可動タイプケーブルモータケーブルセンサケーブルA

KVC36‒0.2‒8P（倉茂電工㈱製）

NA3MF‒25‒8P（㈱ミスミ製）

センサケーブルBKVC36‒0.2‒7P（倉茂電工㈱製）

NA3MF‒25‒6P（㈱ミスミ製）



20

ご使用上の注意点

精密ステージ

■　　安全上の注意　　■・本製品は重量物となります。本体質量にあわせ運搬の際は2人以上または運搬器具を使用しておこなってください。けがや破損の原因となります。

・本製品の搬送・設置時にはベースに吊ボルトを固定し、運搬用固定金具を取付けてください。また、ご使用時には吊ボルト及び運搬用固定金具を必ず取り外してください。

・ CHX－125/－200 ：搬送・設置時には付属の吊ボルトをご使用ください。・ベースの取付け穴を使用して、必ず本製品を固定してからご使用ください。・トップテーブルのねじ穴を使用して、必ず搭載物を固定してからご使用ください。・本製品をむやみに分解しないでください。ごみの侵入や機能が損失する原因となります。・本製品を落下させたり、叩いたりしないでください。けがや破損の原因となります。また、衝撃を与えた場合、外観に破損が見られなくとも機能を損失する可能性があります。

・複数の人が作業をおこなう場合は、手順・合図・異常等の措置を予め確認し、別途作業を監視する人をおいてください。・ステージ、ドライバおよび接続されている関連機器の設置、調整、点検、保守作業をおこなう際は、必ず全ての電源プラグをコンセントから抜き、作業者以外が電源を投入復帰できないよう施錠、または安全プラグ等をご用意ください。また、作業中の旨を明記した物を見やすい位置に掲示してください。・ご使用に際しては、各モータメーカ、ドライバメーカの「取扱説明書」をよく読み内容を十分理解し、取扱い上の注意事項を必ず厳守してください。・作業の前に、JIS規格「産業用マニピュレーティングロボット－安全性」（JIS B8433）および厚生労働省「労働安全衛生規則」を精読し、遵守してください。

■　　使用環境　　■本製品は、使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所でご使用ください。・周囲温度が0～40℃の範囲内、周囲湿度が85％RH以下（凍結および結露なきこと）・腐食性ガスや可燃性ガスがない場所・鉄粉等の誘電性のある粉体、塵埃、オイルミスト、切削液、水分、塩分、有機溶剤が飛散しない場所・直射日光、輻射熱が当たらない場所・強電界、強磁界の発生しない場所・振動や衝撃が伝わらない場所・点検や清掃のしやすい場所

■　　保管　　■・本製品は、弊社の梱包および荷姿で、高温、低温、多湿を避け、水平な状態で保管してください。

前付_P003-020.indd 20前付_P003-020.indd 20 10.3.20 8:50:45 AM10.3.20 8:50:45 AM

精密ステージシリーズ...493 精密ステージシリーズ Precision Stage Series A/AX...

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