操作ガイド - シャープ株式会社6 ファミリンクに 対応した シャープ製のテレビ 本機背面 テレビ背面の端子例 HDMIケーブル （19ピン／付属品）
CALiPSO 模块化设计 异质结技术工艺 固化 电池片测试和 分选 PECVD 2 丝网印刷...
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最低每瓦单位发电成本 产能高达6,000 片/小时 最低运行和维护成本 成本比市场标准水平低30% 功耗降低50%以上 破片率最低(标准片或薄片) 可生物降解的绝缘材料(通过CE认证)，无需额外的安全措施 创新的设备理念 陶瓷托辊式传输系统实现了平稳的无金属污染的电池片传输 多达8条通道的在线热处理炉，用于扩散、退火和固化等多种处理 即使发生断电也不会影响良率 卓越的处理效果 无金属污染 精确的温度控制和优异的温度均匀性 通过调节进排气控制气体流量 CALiPSO 可适应性强的热处理炉
Transcript of CALiPSO 模块化设计 异质结技术工艺 固化 电池片测试和 分选 PECVD 2 丝网印刷...
最低每瓦单位发电成本
产能高达6,000片/小时
最低运行和维护成本
成本比市场标准水平低30%功耗降低50%以上
破片率最低(标准片或薄片)
可生物降解的绝缘材料(通过CE认证)，无需额外的安全措施
创新的设备理念
陶瓷托辊式传输系统实现了平稳的无金属污染的电池片传输
多达8条通道的在线热处理炉，用于扩散、退火和固化等多种处理
即使发生断电也不会影响良率
卓越的处理效果
无金属污染
精确的温度控制和优异的温度均匀性
通过调节进排气控制气体流量
CALiPSO可适应性强的热处理炉
技术参
数若有变化，恕不另行
通知
(0
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015
)
数分钟至数小时的稳态时间(图1)低温及高温应用(200 °C – 1,000 °C)(图2)各模块的加热区段采用独立闭环控制
多达8道的6”电池片处理(其他基片可为4»~40»)4.5至50 m加热长度
可方便、安全地对工艺反应模块进行检修
采用创新解决方案，维护方便
通用型气流控制方案
可与各种在线掺杂装置配合使用
发射极扩散 磷硅玻璃(PSG)蚀刻
镀减反射膜，背面/正面钝化(Al2O3和SiNx层(采用MAiA系统)
激光烧蚀 丝网印刷 接触烧结
MB-PERC工艺
模块B－小型
mx工艺反应区
1,300 mm
模块A上料区
3,900 mm
模块C－大型
nx工艺反应区
5,000 mm
4.7 m
7.0 m
14.1 m
28.2 m
35.2 m
Tem
pe
ratu
re [
°C]
Time [min]Heating time [min]
4800
4000
3200
2400
1600
800
0
Th
rou
gh
pu
t [w
afe
r/h
]
加热长度取决于加热时间和产能
0 10 20 30 40 50 60 0 10 20 30 40 50 60
1200
1000
800
600
400
200
0
CALiPSO:模块化设计
异质结技术工艺
固化电池片测试和
分选丝网印刷PECVD 2正面i/p
PECVD 1背面i/n
制绒PVD
TCO正面/背面背接触
模块D上料区
3,900 mm
图2图1
1760
2361
1765 965
3900 4992 1248 3900
技术数据
Meyer Burger (Germany) AG, [email protected], www.meyerburger.com
宽度 ~ 2,360 mm
高度 ~1,765 mm
长度 取决于应用
传输速度 0.1 – 10 m/分钟*
工艺温度 最高1,000 °C
典型功耗(850 °C时)– 15 m加热区
– 25 m加热区
35 kW50 kW
技术参
数若有变化，恕不另行
通知
(0
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)
*取决于机器配置
标准晶体硅电池片工艺
接触烧结电池片测试和
分选镀减反射膜，钝化 丝网印刷发射极扩散 磷硅玻璃(PSG)蚀刻
损伤层蚀刻和制绒
磷掺杂
发射极扩散 磷硅玻璃(PSG)蚀刻
镀减反射膜，背面/正面钝化(Al2O3和SiNx层(采用MAiA系统)
激光烧蚀 丝网印刷 接触烧结
MB-PERC工艺
异质结技术工艺
固化电池片测试和
分选丝网印刷PECVD 2正面i/p
PECVD 1背面i/n
制绒PVD
TCO正面/背面背接触
