Building Services Technische Gebäudeausrüstung · Inhalt Seite Fi H Schicht...
Transcript of Building Services Technische Gebäudeausrüstung · Inhalt Seite Fi H Schicht...
Inhalt
Seite
Fi H Schicht 40 Years of Cleanroom Technology -Sonne 40Jahre Reinraumtechnik-ein geschiehtHistorical Remarks hcher Rückblick
K Kuemmerle Airborne Contamination Control in
CleanroomsKonzepte zur AMCBeherrschung in
Remraumen
A Komatsu,
J Yamamoto,
Y Ogawa,N Namiki,
Y Otam
Surface Contamination of HDD Media and
Subsequent Particle Formation by Exposingto SO,
Oberflachenkontamination von Festplatten-medien und nachfolgende Partikelerzeugungdurch S02
25
G Guehenneux,I Tovena,
M Veillerot
Molecular Contamination in an Intense Laser Molekulare Kontamination im intensiven
Beam Path Laser-Strahlengang
33
L Molter,
P Keßler
The Reliable Validation of Clean Rooms Die zuverlässige Validierung von Reinen
Räumen
43
A4 Kuhn New Scan System Optimally Designed forthe Installed Filter System Leakage Test
Neu entwickeltes Filterscansystem fur den
optimierten Einsatz bei der Leckprufung von
installierten Schwebstofffiltern
53
D Stanischewski, Investigation into the Homogeneity of
[ Gail, Feed-Air Aerosol Distribution during HEPA
J Stengel Filter Leak Testing
A Fedotov Statistical Estimation of Cleanliness Class
with Coefficients of Redundancy
Untersuchungen zur Homogenitat der Rohluft-
Aerosolverteilung beim HEPA-Filterlecktesl
Statistische Abschätzung der Reinheitsklassemittels Redundanzkoeffizienten
61
73
P Koger Microbiological Monitoring in Isolator
Environments
Mikrobiologisches Monitoring in Isolatoren 79
L B Levit,
R K Brown
Measuring the PWP of the HandlingComponent of a Cryogenic Cleaning Tool
Messung der PWP durch Handling in einem
Kalte-Reinigungswerkzeug in einer300-mm-
Halbleiterfabrik im Betrieb
85
R Nagel
U Trager
State of the EDI Technology in the UltrapureWater Treatment for the Semiconductor and
Pharmaceutical Industry
Ultrapure Water for the Pharmaceutical
Production
Stand der EDI Technologie bei derRemst-
wasseraufbereitung fur die Halbleiter und
Pharmaindustrie
Remslwasser fur die pharmazeutischeProduktion
91
101
S Polenz Materials and Surfaces in Ultrapure-WaterInstallations
Werkstoffe und Oberflachen in Remstwasser-
anlagen
115
A4 Mackel,
D PfennigCleaning and Disinfection of Clean Rooms Reinigung und Desinfektion von reinen
Räumen
117
A Schule,G Schmauz,R Schmitt
ln-situ Detection of Biocontammation on
Technical Surfaces
ln-situ Erkennung von Biokontamination auf
technischen Oberflachen
129
Seite
F. Duvernell
P. Limacher
G. Dittel
E. Bürkle
Basics of Cleanroom Cleaning
H. Bauer
E. Moia,ß. Bagatta
Grundlagen professioneller Reinraumreini¬
gung
Material and Personnel Flow - Cleanroom Material- und Personenfluss
Criteria Require Total Planning Reinraumkriterien erfordern eine ganzheit¬liche Planung
New Potentials for Medical Engineering -
Production of Plastics in the Cleanroom
under ISO 5/GMP-A Regime
Evolutionary Stages up to Production-ready
Injection-moulding Technology for ISO 5/
GMP-A Classified Cleanroom Applications- Experiences of a Machine Manufacturer
Neue Potentiale für die Medizintechnik
Kunststofffertigung im Reinraum unter ISO 5/
GMP-A
Entwicklungsschritte bis zur produktionssiche¬ren Spritzgießtechnik für Reinraum-Anwen¬
dungen der Klassifikation ISO 5/GMP-A- Erfahrungen eines Maschinenherstellers
CADOLTO - Your Specialist for Clean Rooms CADOITO - Ihr Spezialist für Reinraum- und
and Laboratory Buildings Laborgeböude
Clean Cold Room Planung von Lüftungsanlagen für Kalt-Rein-
räume
137
139
149
181
189
191
U. Gommel Cleanroom Suitable Materials: Verification Reinraumtaugliche Werkstoffe: Prüf- undand Classification Methods Bewertungsverfahren
201
211
G. Schmauz,A. Schule,L. Gerami Sarabi
K.-H. Menauer,P. Fode,St. Kaller
O. Valet,A4, tankers
J. Dressler
Preparation of Contaminated Monitor
Surfaces
Real-time Measuring for Evaluation the
Particulate Cleanliness of Surfaces
Higher Productivity through Particle Identifi¬
cation-Manufacturing of Parenterals
Continuous Particle Monitoring in Mini-
environments and Isolators
Erstellung von kontaminierten Prüfober- 221
flächen
Echtzeit-Messverfahren zur Beurteilung der 229
partikulären Oberflächenreinheit
Höhere Produktivität durch Partikelidentifika- 235
tion - Fertigung von Parenteralia
Kontinuierliche Partikelmessung in Mini- 241
Environments und Isolatoren
St. Rowley
G. Galtet,C. Ecob,
A4. Forslund
C. Muller
Real-time Optics Contamination Monitoring
Using Surface Acoustic Wave Technology
Recent Advances in Standardization,
Measurements and Control of AMC
Optisches Echtzeit-Kontaminations-Monito¬
ring mittels akustischer Oberflächenwellen
Aktuelle Fortschritte der Normung, Messungund Minderung von AMC
Comparison of Chemical Filters for the Control Vergleich von chemischen Filtern für AMC's
ofAirborne Molecular Contamination
257
265
277
N. Kagi,S. Fujii,D. Kawajiri,N. Namiki
Secondary Air Pollution From ChemicalReaction of Ozone
Sekundäre Luftverunreinigung durch
chemische Reaktion von Ozon
297
Seite
A Tonti
B Lechiflre
K-H Lotz
L Marchesi
D A Meyer
G Reiber,
H Schenk
E C Sirch,
B G Duthom
D Collins
J Ludwig
H Bartz,
R Mack
H Schwenke
B Ljungqvist,B Reinmuller
V Vlasenko
Perspectives in Environmental Control for
Future Integrated Nanoelectronics Devices,
Surfaces, Development ofClean Processes
Safely Connections for Inward Flows of
Liquids Components and Equipment and
Outward Flows of Waste in an AsepticProcess
Barrier Systems in Pharmaceutical Production
- Dynamic Protection Concepts for OpenProduct Handling
Dynamic Isolation Systems
Application of Isolators in the Protection of
Operatorsand Environment for High Potent
Products in Fine Chemistry
Containment Isolator forthe Safe Handling of
Low Amounts of High Potent Drug Substances
Design, Construction and Tesiing and
Approval (Qualification) of Isolation Systemsfor Aseptic Manufacturing to ISO 14644-7
Isolators with Pressure Vessels for the
Preparation of Highly Active Ingredients
Production in Sealed Separative Enclosures -
A Perspective on Future Demands on
CleanroomTechnology
Operating Theatres as a Special Field of
Cleanroom Technology Holistic Technical
and Hygienic Qualification
Energy Saving in BiologicallyActive HVACInstallations in the Pharmaceutical Industry byMeans of „Police Filters"
Clean Room Clothing Systems After 1, 25
and 50 Washing/Sterilizing Cycles, Some
Calculations on Air Cleanliness
Image Analysis of Static-DissipativeCleanroom Textiles
Perspektiven der Kontammationskontrolle bei 303
der kommenden integrierten Nanoelektronik
Sicherheitsanschlusse fur den Flüssigkeiten 31 5
Komponenten und Matenaltransfer sowie
das Ausschleusen von Abfallen bei asepti¬
schen Prozessen
Barriere-Systeme in der Pharmazeutischen 331
Produktion - Lufttechnische Schutzkonzeptefur das offene Produkthandling
Dynamische Isolator-Systeme 335
Einsatz von Isolatoren zum Schutz von 341
Produktund Umgebung vor hoch wirksamen
Produkten in der Feinchemie
Containment-Isolator zum arbeitssicheren 373
Handhaben von Kleinmengen hochpotenter
pulvriger Wirkstoffe im Bulk
Entwicklung, Bau und Qualifizierung von 379
normengerechten Isolatoranlagen fur die 382
aseptische Fertigung in derpharmazeuti¬schen Industrie
Isolatoren mit Druckbehaltern zum Ansetzen 385
von hochaktiven Substanzen
Produktion in geschlossenen Reinraum- 389
modulen -Ausblick aufdie zukunftigen
Anforderungen an die Remraumtechntk
Operationsraume als Spezialgebiet der Rein- 393
raumtechmk Ganzheitliche technische und
hygienische Qualifizierung
Energieeinsparung bei biologisch aktiven 397
RLT-Anlagen in der Pharmaindustrie durch
Po/izeiffiller
Reinraum-Bekleidungssysteme nach 1, 25 407
und 50 Wasch- und Stenlisationszyklen
Berechnungen zur Luftremheit
Bildanalyse antistatischer Reinraumtextilien 415
H O Kirstem Laundry Equipment for Cleanroom Technology Waschereimaschmen fur die Reinraum-Tech 423
nologie 431
Seile
F Behar
C Klotz
G Schmeerlioe
T Stegmater,H Planck
New Control Tests and Monitoring Data for
Biocontamination Molecular and Particulate
Contamination Associated with Clean Room
Garments and Cleaning Treatments
Garment Concepts for Cleanrooms
Cleanroom Clothing - Requirements and Test
Methods
Neue Kontrolltests und Uberwachungs- 441
elemente im Bereich von Biokontaminolion,Partikel- und Molekularkontamination in
Zusammenhang mit Bekleidung und Behand
lungsverfahren für Reinraumanzuge
Bekleidungskonzepte für den Reinraum 445
Reinraumkletdung - Anforderungen und Prüf 447
methoden
T Toyota,H Goto
Development of Bio Control Cabinet
(Horizontal and Vertical Airflow Type)Entwicklung einer mikrobiologischen Sicher¬
heitswerkbank (mit horizontaler und vertikaler
Strömungj
457
W Ritz
A Watanabe,Y Isobe,T Kinosita
Biotech Cleanroom Chamber
New Control System for Class II BiosafetyCabinet with DC Brushless Motor Fan
Biotech Remraum-Kabinen 463
Neues Steuerungssystem einer mikrobiologi- 473
sehen Sicherheitswerkbank der Klasse-Il mit
Gleichstrommotor-Geblase
T Ohara, Development of the Heat-resistant Quasi-
A4 Watanabe HEPA Filter for Operation up to 500 °C
Entwicklung eines hitzebestandtgen Quasi-
HEPA-Filters fur den Betrieb bei bis zu 500 °C
483
Th Caesar Computer Modelling of the Air Flow in
Laminar Flow EquipmentComputer-Modellierung der Luftströmung in
Laminar-Strom-Anlagen
487
H Weißsieker
H Tamura,N Kagi,S Fujii,T Nonaka
The Filtration Dynamics of G\ass Fiber Filters
and Practical Applications in the Food
Industry
Characteristics of Airborne Molecular
Contaminants on Wafer Exposed Down¬
stream of Ionizer
Die Dynamik der Filtration von Glasfaser
filtern mit einem Beispiel aus der Lebens¬
mittelindustrie
Charakteristik der luftgetragenen molekula-
ten Kontamination (AMC) auf Wafer-Ober-flachen stromab von Ionisatoren
495
505
T Tatra,
H Fujii,A Shirane
T Nonaka,
A4 Imai,
K Takeda,T Fujimoto,K Kaya,M Monta
Sticking Behavior of Semi-volatile Organic Anhaften von teilfluchtigen organischen Ver¬
Compounds onto Silicon Wafer Surface in bindungen aufSilizium-Wafer-OberflachenClean Room Taken Countermeasures Against in Reinraumen - Schutzmaßnahmen gegenOrganic Contamination organische Verunreinigungen
509
A4 Imai,
S Takano,H Aihara,S Yukushima,K Takeda,T Fujimolo
D Quinet
Sticking Behavior of OrganophosphoricCompounds in Clean Room Air onto Silicon
Wafer Surface by High Resolution InductivelyCoupled Plasma Mass Spectrometry
How to select the components of a
Clean Room Envelope?
Anhaften von teilfluchtigen organischen Ver¬
bindungen aufSilizium-Wafer-Oberflachen
in Reinraumen - Nachweis durch hochauf
losende ICPMS
Wie wählt man ein Remraum-Trennwand-
system?
517
525
K-R Reh
B Blessenohl
A Schweizer
A Kraft,N Schonbrod,B Hagele
R Rydzewsh
L Sabatmi,C A4 Joppolo
K-Ch Noh,M-D Oh
R Detzer
A New Type of Cleanroom Partition System- Shell Design
Clean Room Floors for Pharmaceutical
Productions - An Experience Report
Newjointless Cleanroom Flooring with HighChemical Resistance and Excellent
Conductive Properties
Optimisation of Clean Room Design throughSimulation
- Stationary and Transient Analysis
Calculating and Optimizing Cleanroom
Airflow by Means of Computational Fluid
Dynamics
Two Flows Model and its Use for the
Calculation of Recovery Time of Mixed Flow
Cleanrooms and Analysis of Results Obtained
in a Tries Model with Gaseous and Particles
Polluting Agents
3-dimensional Analysis of Airflow and Cross
Contamination Characteristics in the
Photolithography Process Cleanroom
Dimensioning Ventilation Systems for
Cleanrooms
Neuartiges Reinraumtrennwandsystem in
Schalenbauweise
Reinraumboden fur die Pharmaproduktion -
Em Erfahrungsbericht
Neuer fugenloser hoch chemikalienbeslan
diger und sehr gut ableitfahiger und mechamsch belastbarer Reinraumboden
Simulationsgeslutzte Optimierung von Rein¬
raumen
- stationäre und transiente Analyse
Berechnung und Optimierung von Reinraum
Strömungen mittels Numerischer Stromungs¬simulation
Das Zwei-Stromungen-Modell und die Erhol-
zeit-Analyse von Modellversuchen mit gas¬
formigen und partikularen Verunreinigungen
3-DimensionaleAnalyse von Stromungs- und
Querkontammationscharaktensliken in einem
Reinraum fur einen PhololithographieProzess
Dimensionierung Raumlufttechnischer
Anlagen fur Remraume
L Gail The Current Revision of the Guideline Series
VDI 2083 "Cleanroom Technology" - New
Concepts and Contents
E Hollaender New ISO standard "Clean Surfaces" and
Future Demands of the Standardization in the
Field ofClean Processing
/ Walther Risk Analyses as the Basis for Qualification of
Clean Rooms
H Rott Qualification and Validation - Bridging the
Gap Between Design and Operation
M Blessing Qualification and Validation of Clean Rooms
and Accompanying Equipment as perDIN EN ISO 14644
Ph van Beek Validation activities A perspective look
K Ichip Minimum Particle Concentration Limit of a
Particle Counter
Seite
535
539
551
557
571
581
591
599
Die Neubearbeitung der Rtchtlmienreihe VDI 609
2083 „Reinraumtechnik" - Neue Konzepteund Inhalte
Die neue ISO-Norm über reine Oberflachen 617
und künftigeAnforderungen an die Normung
im Bereich reine Prozesse
Risikoanalysen als Grundlage der Qualifizie- 623
rung von Reinraumen
Qualifizierung und Validierung - Brücke 625
zwischen Planung und Betrieb
Qualifizierung und Kalibrierung von Räumen 633
undderen Ausrustungsgegenstanden nach
der ISO 14644
Validierungsaktivitaten Ausblick 645
Unterer Grenzwert der Partikelkonzentration 649
fur einen Partikelzahler