BOST를 이용한 Parallel TEST CAPA UP

2010. 05. 17

하이닉스반도체

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Contents

1 OVERVIEW

2 BOST Block Diagram

3 BOST Qual DATA

4 Conclusion

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OVERVIEW

BOST ( Built Out Self Test )

ATE 설비의 Hi-Fix부에 BOST회로를 추가하여 채널 증가, 논리 비교시 등의 기능 구현을 통한 Throughput 및 Performance 향상

기존 장비 노후화로 생산성 저하 대체 가능

Parallel Test 확장 방식

BOST Function

Driver & I/O Channel Fan-Out (Increasing Parallelism)

Logical Comparator (Test Time Reduction)

PPS Switch Matrix

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BOST Total Lay-out

ATE의 Hi-Fix부에 BOST BOARD 회로 연결

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T5581 BOST SPECIFICATION

T5581 T5581(BOST)

Target Devices All DVC All DVC

Max. Frequency 250MHz 250MHz / 500Mbps

Max. Parallel Test 64 /STN 256 /STN

Format Channels DR: 60 I/O: 72 DR: 60 I/O: 72

DC Test All pin No

Timing

Accuracy

OTA ±400ps ±400ps

DRV Skew ±180ps ±180ps

CMP Skew ±180ps ±180ps

Channels

DR 960 /STN 4096 /STN

I/O 576 /STN 4608 /STN

PPS 64 /STN (10V/400mA, 5V/800mA) 288 /STN

Driver Pin

Electronics

VIH Range -1.5V~+8.0V +1.2V~+2.4V

VIL Range -3.0V~+5.0V 0V Fixed

Amplitude Range 0.2Vpp ~ 8Vpp 1.2Vpp ~ 2.4Vpp (0.6Vpp ~ 1.25Vpp)

Rise/Fall Time 1.0ns/3.0Vpp (20%~80%) 800ps (20%~80%)

Min. Pulse Width 2.0ns/2.0Vpp 2.0ns

Output Current Max. ±32mA Max. ±35mA

Output Impedance 50±5Ω 50±5Ω

DC Level Resolution 2mV -

DC Level Accuracy ±1.0% + 20mV -

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BOST Hardware Structure

Interface BoardHi-Fix의 Performance Board와 Coaxial Cable로 연결되어 ATE의 PE Card와BOST의 전기적인 연결 기능Core BoardBOST의 핵심 Unit으로 BOST Chip이 내장되어 있으며 System Channel 확장 및 Driver & Comparator, PPS Channel Control을 위한 Relay Matrix 기능DSA BoardSocket Board에 해당하는 Unit으로 Device와 Core Board의 전기적, 기구적 Interface 역할을 하며Socket Guide 및 Socket을 포함PPS Sub BoardPPS Channel 확장 및 안정적인 Device 전원 공급을 위한 Current Booster 기능

ATE Block Diagram with BOST

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T5581 BOST Block Diagram

1FPGA of BOST

DRV : BOST Chip 내부 할당 pin 및 DRV Channel 확장

I/O : Channel 확장 및 BOST 기대치 값 설정에 따른 FAIL Latch 회로를 통하여 ATE 판정

PPS : 외부 CURRENT BOOSTER를 통한 VDD/VDDQ POWER 인가

DSA

PPS

TEST HEAD

CURRENT BOOSTERMCW

CPE:2

DRE:2

FAILLATCH

STB:2

VTH

VIH

BOST

I/O PIN

DRV PIN

ZIF CONNCONN

IO:36

DR:3260

36

4

CMP:16

+1.2V ~ +2.4V

8

x4

x8

x8

OE:1

DRV

I/O

PPS

VREF

PPS

VDD

VDDQ

128x2

144x2

1x2

4x2

4x2

x2

VIH:1

IO:36

128 DR288 I/O4 PPS

32 DR36*2 I/O1 PPS

VIH:1

DRE:2

VTT:1

VTH:1

CPE:2STB:2

ECLK:8

VDDQ:1VREF:8

DR:32

960/stn

576/stn

64/stn

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T5581 BOST PPS CHANNEL

10μF

10μF

PPS1

RLVCC

CPS1

PPS33

RLVCC

CPS33

TEST HEAD

PCON

8

8

BOST

VDDx8

VDDQ

SOCKET PCB

DDR8EA

10μF 1.0μF 0.1μF

10μF 1.0μF 0.1μF

VDD

VDDQ VSSQ

VSS

x8

MCW[]

N.C.

N.O.

CURRENT BOOSTER

4A

0.5A x 8

CURRENT BOOSTER

PPS : 외부 CURRENT BOOSTER를 통한 VDD/VDDQ POWER 인가

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BOST PPS Relay Control Block Diagram

DUT1CW8

MCW0

BOOSTER

CW9

MCW1

CW10

MCW2

CW11

MCW3

CW0

CW2

CW0

CW2

CW4

CW6

CW4

CW6

PPS1

PPS2

PPS33

PPS34

CW12 R

BOOSTERDR51

RCW15

BOST1 기준

CW13

VDD

VDDQ

DUT9

DUT2

DUT10

DUT17

DUT25

DUT18

DUT26

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

10uF x1

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x6

0.1uF x9

0.1uF x9

0.1uF x9

0.1uF x9

0.1uF x9

0.1uF x9

0.1uF x9

0.1uF x9

DSA B’D

PPS Relay Control Block Diagram

TEST PARA 확장에 따른 PPS 제원 부족 해결 방안으로 CURRENT BOOSTER 활용

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T5581 BOST DRV/IO Waveform

개선 전 개선 후

Impedance 50Ω Matching Result :

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BOST IDD Measure

BOST Socket

IDD@BOST측정시 Range 400mA↓의

2번째 PPS Meas時 설정 필요함

#25 #26

#17 #18

#9 #10

#1 #2

DSA#1 구성도

PPS1 PPS2

PPS33 PPS34

CW0

CW2

CW4

CW6

DUT# = VS1 VS2 PD1-32 PD65-96 P33-50 P97-114DUT1 = PPS1 ,33 PPS2 ,34 PD1-32A1 PD65-96A1 P33-50A P97-114A

DMACRO DDRIC ;IDD ; <BOST>;*********************************************************************

SET WETSRON

CALL SELVSRNGVS1 = %4,R(10V),M(RDAT)CALL SELVSRNGVS2 = %4,R(10V),M(RDAT)

START MPAT(3) *WAIT TIME 700MSSETTLING TIME = 5MSDATA = OPEN

MEAS VS1!100 : IDD01MESMEAS VS2!100 : IDD02MES

STOP MPATRESET DRIVERRESET WETSROF

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BOST HIFIX Qual DATA

DC & AC CHARACTERISTICS

T5581 vs BOST Correlation : coincidence

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Conclusion

Strong point

Parallel Test 증가(8倍)

기존 설비를 이용한 투자비 절감 효과

Weak point

DC Test (Continuity, Leakage) 제약

IN(VIH/VIL), OUT(VOH/VOL) DC Level 제약

Test Plan, Pattern Program 수정