1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.
-
Upload
audo-duderstadt -
Category
Documents
-
view
218 -
download
0
Transcript of 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.
![Page 1: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/1.jpg)
1Ferienakademie
2005
Speckle-InterferometrieMarkus Brache
![Page 2: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/2.jpg)
2Ferienakademie
2005
1 Motivation
Was ist Speckle-Interferometrie?
- Optisches Messverfahren- Vermessung von optisch rauhen Oberflächen- Verwendung von Laserlicht- Auflösungsvermögen von etwa einer Wellenlänge- Keine Beeinflussung des Messobjektes- Kurze Messzeiten
![Page 3: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/3.jpg)
3Ferienakademie
2005
Gliederung
1 Andere Messverfahren2 Grundlagen3 Speckle-Interferometrie4 Phasenschieben
![Page 4: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/4.jpg)
4Ferienakademie
2005
1 Andere Messverfahren
1.1 Berührende Messverfahren 1.2 Berührungsloses Messverfahren
![Page 5: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/5.jpg)
5Ferienakademie
2005
1 Andere Messverfahren
1.1 Berührende Messverfahren
- Punktweise Abtastung relativ zu einem Bezugsniveau mit Diamantnadel- Berechnung der Form des Objektes aus den Koordinaten der Rasterpunkte und zugehörigen Abtastwerten
Nachteile:- Mechanische Beanspruchung der Oberfläche- Bei weichen Oberflächen nur begrenzt einsetzbar- Messgerät muss nah am Objekt liegen
![Page 6: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/6.jpg)
6Ferienakademie
2005
1 Andere Messverfahren
1.2 Berührungsloses Messverfahren
Autofokus-MikroskopDiode 1 → 0
Diode 2 → 0
Diode 2 → 0
Diode 1 → 1
Diode 2 → 1
Diode 1 → 0
d>f
d<f
f2d=f
![Page 7: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/7.jpg)
7Ferienakademie
2005
1 Andere Messverfahren
Grenzen der optischen Abtastung:- Objekte mit sehr steilen Flanken- optisch transparente Materialien- große Oberflächenrauheiten (Speckle-Effekt)
Reflektierte Strahlen
Einfallende Strahlen
Streuung im Medium Steile Kanten der Oberfläche Große Oberflächenrauheit
1.2 Berührungslose Messverfahren
![Page 8: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/8.jpg)
8Ferienakademie
2005
2 Grundlagen2.1 Licht als elektromagnetische Welle2.2 Intensität2.3 Interferenz2.4 Kohärenz2.5 Speckles
![Page 9: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/9.jpg)
9Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
2.1 Licht als Elektromagnetische Welle
In z-Richtung verlaufende ebene elektromagnetische Welle:
E, H und die Ausbreitungsrichtung z stehen jeweils senkrecht zueinander.
Kreisfrequenz: Phasenwinkel:
Wellenzahl:
)cos(
)cos(
00
00
kztHH
kztEE
f 2
2
k
HE
0
![Page 10: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/10.jpg)
10Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
Komplexe Schreibweise:
mit
kztjkztj eEeEE 000
ˆˆ 0
000 ˆˆ jeEE
2.1 Das Licht als elektromagnetische Welle
![Page 11: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/11.jpg)
11Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
2.2 Intensität
- Eine elektromagnetische Welle überträgt elektrische und magnetische Feldenergie- In Ausbreitungsrichtung fließende Energiestromdichte:
Poyntingvektor
- Die Frequenzen des sichtbaren Lichtes liegen im Bereich von 1014 Hz- Messung der Feldstärkenverläufe schwer möglich
HES
![Page 12: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/12.jpg)
12Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
- Optische Detektoren registrieren die über viele Perioden gemittelte mittlere Intensität I:
)(sinˆ0
22 tEcSI
2ˆ21ˆˆ
21 EcHEI
2EI
2.2 Intensität
![Page 13: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/13.jpg)
13Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
2.3 Interferenz
Bei der Überlagerung von Wellen gilt das Superpositionsprinzip:- Die gesamte Auslenkung ist gleich der Summe der einzelnen Auslenkungen
Überlagerung zweier Wellen mit gleicher Frequenz:
Betrag von Ê:
Phasendifferenz der Teilwellen:
212121
ˆˆˆˆˆ jj eEeEEEE
)cos(ˆˆ2ˆˆˆˆˆ1221
22
21
*2 EEEEEEE
12
![Page 14: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/14.jpg)
14Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
- Gesamtintensität mit :
- Spezialfall gleicher Amplituden und gleicher Intensitäten (I2=I1):
- Interferenz tritt allerdings nur bei kohärenten Wellen auf
2ˆ21 EcI
cos2 2121 IIIII
2cos4)cos1(2 2
11
III
2.3 Interferenz
![Page 15: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/15.jpg)
15
P1
Elementarbündel
LichtquelleFerienakademie2005
2 Grundlagen
2.4 Kohärenz
- „Kohärenz“ heißt übersetzt „Zusammenhang“- In einem kohärentem Lichtfeld stehen die Schwingungen zu zwei beliebigen Raumzeitpunkten in einem definierten Zusammenhang (Idealfall: Ebene harmonische Welle)
In einem realen Strahlungsfeld liegt zwischen zwei Punkten Kohärenz vor, wenn sie in einem Elementarbündel liegen:
P2
![Page 16: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/16.jpg)
16Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
a) Zeitliche Kohärenz- Der maximale Abstand für zeitliche Kohärenz ist die Länge des Elementarbündels LK
- Kohärenzzeit: TK = LK/c
b) Räumliche Kohärenz- P1 und P2 liegen innerhalb eines Elementarbündels in einer Fläche senkrecht zur z-Achse Punkte sind räumlich kohärent- Alle Punkte innerhalb eines Elementarbündels mit gleicher z- Koordinate definieren die Kohärenzfläche AK
2.4 Kohärenz
P1
Elementarbündel
Lichtquelle P2
![Page 17: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/17.jpg)
17Ferienakademie
2005
c) Messung der zeitlichen Kohärenz
Detektor
Lichtquelle
Spiegel 1
Spiegel 2L1
L2
Michelson-Interferometer
12 LLL
21
2121 cos2
IIILL
IIIII
LL
K
K
2 Grundlagen
2.4 Kohärenz
![Page 18: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/18.jpg)
18Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
- Experimentelle und theoretische Untersuchungen zeigen, dass TK indirekt proportional zur Bandbreite der Lichtquelle ist
Monochromatisches Laserlicht ist für interferometrische Messtechniken günstig, weil es eine große Kohärenzlänge besitzt
KT
2.4 Kohärenz
![Page 19: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/19.jpg)
19Ferienakademie
2005
2 Grundlagen
2.5 Speckles
a) Entstehung von Speckles
Ein Speckle-Muster enthält Aussagen über die Oberfläche
Aufpunkt
Rauhe Oberfläche
Kohärente Lichtquelle
SpecklebildBeobachtungsebene
![Page 20: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/20.jpg)
20
Rauhe OberflächeGlatte Oberfläche
Ferienakademie2005
2 Grundlagen
b) Optisch rauhe Oberflächen- Die Rauheit der Oberfläche liegt in der Größenordnung der Wellenlänge- Nur an diesen Flächen kann durch und diffuse Reflexion der Speckle-Effekt entstehen
2.5 Speckles
![Page 21: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/21.jpg)
21
StreuendeFläche
Kamera
b
Laserstrahl
Linse
D
Ferienakademie2005
2 Grundlagen
c) Einstellen der Specklegröße- Zur Aufnahme der Speckle-Bilder mit CCD-Kameras müssen die Speckle ausreichend groß sein
Dbdsp
44,2
Blende
2.5 Entstehung von Speckles
![Page 22: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/22.jpg)
22Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie3.1 Empfindlichkeitsvektor3.2 Out-of-plane Deformationsmessung3.3 Formvermessung mit der Zweiwellenlängen-Technik3.4 In-plane Deformationsmessung
![Page 23: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/23.jpg)
23Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie
3.1 Empfindlichkeitsvektor
d zeigt eine Verschiebung der Messfläche anPhasenänderung im Interferenzbild
Messfläche
Verschiebungsvektor d
Empfindlichkeitsvektor k
Beleuchtungsvektor k1
Beobachtungsvektor k2
2mit 21
21
kk
kkk
coscos 21 kkk
),cos( dkdkdk
![Page 24: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/24.jpg)
24
Strahlteiler
Referenzfläche
CCD
Ferienakademie2005
3 Speckle-Interferometrie
3.2 Out-of-plane Deformationsmessungen
a) Interferometerarten
Laser
Messfläche
k
Linse
Strahlteiler
Referenzfläche
Messfläche
Laser
CCD
k
Linse
Michelson-Interferometer Mach-Zehnder-Interferometer
![Page 25: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/25.jpg)
25Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie
b) Empfindlichkeitsvektor bei Out-of-plane Messungen
- k1, k2 und k stehen senkrecht zur Messfläche
- für einen vollen Phasenübergang von muss die Messfläche um verschoben werden
4
k
xddkdkdk 4),cos(
2
2
3.2 Out-of-plane Deformationsmessungen
Strahlteiler
Referenzfläche
Messfläche
Laser
CCD
k
Linse
![Page 26: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/26.jpg)
26Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie
c) Deformationsmessung
- Zuerst wird ein Interferogramm des Messobjekt im unmanipuliertem Grundzustand aufgenommen
- Nach der Deformation wird ein zweites Bild aufgenommen
- Zur Verarbeitung wird die Differenz gebildet
)cos(2 ,,2,1,2,1, xyoxyxyxyxyxyG IIIII
)cos(2 ,,2,1,2,1, xyxyoxyxyxyxyxyD IIIII
)2
sin()2
sin(4 ,0,2,1,
xyxyxyxyDiff III
3.2 Out-of-plane Deformationsmessungen
![Page 27: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/27.jpg)
27Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie
- Eindeutige Aussagen nur für möglich - Abstand zwischen schwarzen Streifen entspricht
- unklar, ob höhenmäßiger Anstieg oder Abstieg
2 n
)2
sin()2
sin(4 ,0,2,1,
xyxyxyxyDiff III
2
3.2 Out-of-plane Deformationsmessungen
Interferogramm einer Aluminiumplatte vorDeformation
Interferogramm einer Aluminiumplatte nachDeformation
Differenz der beiden Interferogramme
![Page 28: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/28.jpg)
28Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie
3.3 Formvermessung mit der Zweiwellenlängen-Technik
- Aufnahme von zwei Interferogrammen mit unterschiedlichen Wellenlängen
- Bildung der Differenz der beiden Intensitäten
)cos4cos(21
,1,2,1,2,1,1 xyxyxyxyxyxyxy dIIIII
)cos4cos(22
,2,2,1,2,1,2 xyxyxyxyxyxyxy dIIIII
)2
sin(4' 21,2,1, xyyxxyxyDiff dIII
cos2 12
21
![Page 29: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/29.jpg)
29Ferienakademie
2005
3 Speckle-Interferometrie
3.3 Formvermessung mit der Zweiwellenlängen-Technik
Interferogramm mit λ1 Interferogramm mit λ2 Differenz der beidenInterferogramme
Möglichkeiten für die Höhenänderung
![Page 30: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/30.jpg)
30
dy
Ferienakademie2005
3 Speckle-Interferometrie
3.4 In-plane Deformationsmessung
Beleuchtung 1(k11)
Messfläche
CCD
k
Linse
Beleuchtung 2(k12)
k2
y
z )sincos(2
)sincos(2
12
11
yx
yx
eek
eek
yek
kkkkk
sin4
)()( 212211
yd sin4
x
![Page 31: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/31.jpg)
31Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben4.1 Algorithmen zum Phasenschieben4.2 Erstellung eines Höhenprofils 4.3 Zeitliches Phasenschieben 4.4 Räumliches Phasenschieben 4.5 Deformationsmessung eines Bleches 4.6 Formvermessung einer Münze
![Page 32: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/32.jpg)
32Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
4.1 Algorithmen zum Phasenschieben
Mittels der Technik des Phasenschiebens ist es möglich die Höhe jedes Pixels eindeutig zu bestimmen
Die allgemeine Intensität eines Interferogramms:
Grundintensität Modulation
gesuchte Phase bekannte Phasezwischen Mess- und Referenzfläche
)]cos(1[ 00 II
0I 0
![Page 33: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/33.jpg)
33Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
- Mindestens drei Messungen mit bekannten Phasenverschiebungen
- Lösen des linear unabhängigen Gleichungssystems
Algorithmen:
3-Schritt-AlgorithmusDima-Algorithmus4-Schritt-AlgorithmusCarré-AlgorithmusHariharan-Schwider-Algorithmus
- Algorithmen liefern Phasenwerte modulo oder 2
4.1 Algorithmen zum Phasenschieben
Strahlteiler
Referenzfläche
Messfläche
Laser
CCD
k
Linse
Michelson-Interferometer
![Page 34: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/34.jpg)
34Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
- Jeweils 3 Aufnahmen mit zwei verschiedenen Wellenlängen- Berechnung der beiden Phasen mit Hilfe der Algorithmen- Die beiden Phasen für jeden Punkt der Bilder subtrahieren
Phasenbild mit Höhenlinien
Ohne Phasenshifting Mit Phasenshifting
4.1 Algorithmen zum Phasenschieben
![Page 35: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/35.jpg)
35Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
4.2 Erstellen eines Höhenprofils
- Wird ein stetiger Verlauf vorausgesetzt, treten zwischen zwei benachbarten Punkten keine Phasensprünge größer- Ein Phasendifferenz größer wird als Phasensprung interpretiert- Bei einem Phasensprung wird der Wert addiert oder subtrahiert Differenz benachbarter Punkte kleiner- Die Anzahl m der Phasensprünge wird gespeichert
2
Phasenbild Unwrapped Phasenbild
xyxy m 2
![Page 36: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/36.jpg)
36Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
Berechnung der Höhenwerte
xyxy m 2
Phasenbild Unwrapped Phasenbild
4.2 Erstellen eines Höhenprofils
2xy
xyh
![Page 37: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/37.jpg)
37Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
4.3 Zeitliches Phasenschieben
- Die Aufnahmen werden hintereinander ausgeführt- Zwischen den Aufnahmen wird die Phase zwischen Mess- und Referenzstrahl verändert
Piezogesteuerte Referenzoberfläche
Gekippte Glasplatte Im Strahlenweg
8
Verschiebung2
Phasenshift
![Page 38: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/38.jpg)
38Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
45° Rotation
Phasenshift2
2
Platte
1. Ordnung
Gitter
Bewegtes Gitter
4.3 Zeitliches Phasenschieben
![Page 39: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/39.jpg)
39Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
4.4 Räumliches Phasenschieben
- Beim räumlichen Phasenschieben werden nur zwei Aufnahmen benötigt- Die Referenzfläche wird dabei leicht leicht schräg gestellt- Die Phasenverschiebung liegt zwischen benachbarten Pixel vor
Pixel 1 Pixel 3Pixel 2
GekippteReferenzfläche
Ebene derCCD-Kamera
![Page 40: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/40.jpg)
40Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
- Aus benachbarten Pixels wird jeweils die Phase berechnet- Die Phasen der beiden Bilder werden subtrahiert
1234
321
4
Interferogramm 2
Interfero-gramm 1
1
Phasenbild
1
2
Differenz
4.4 Räumliches Phasenschieben
![Page 41: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/41.jpg)
41Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
4.5 Deformationsmessung eines Bleches
Pasenbild Unwrapped Phasenbild
Höhenprofil
![Page 42: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/42.jpg)
42Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
4.6 Formvermessung einer Münze
Phasenshifting-Bild Phasenshifting-Bild1 2
Bilder mit freundlicher Genehmigung desLehrstuhls für Messsystem- und Sensortechnik
Phasenbild
![Page 43: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/43.jpg)
43Ferienakademie
2005
4 Phasenschieben
Phasenbild
Ausgewertetes BildBilder mit freundlicher Genehmigung desLehrstuhls für Messsystem- und Sensortechnik
4.6 Formvermessung einer Münze
Unwrapped Phasenbild
![Page 44: 1 Ferienakademie 2005 Speckle-Interferometrie Markus Brache.](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022062818/55204d6449795902118ba476/html5/thumbnails/44.jpg)
44Ferienakademie
2005
Literatur:
- A. W. Koch, M. W. Ruprecht, O. Toedter und G. Häusler Optische Messtechnik an technischen Oberflächen
- F. Pedrotti, L. Pedrotti, W. Bausch und H. Schmidt Optik für Ingenieure
- A. Donges und R. Noll Lasermeßtechnik
- P. Evanschitzky Simulationsgestützte Oberflächendiagnostik mittels Speckle-Interferometrie