Презентация насосов серии GV-Drystar и технологии...
description
Transcript of Презентация насосов серии GV-Drystar и технологии...
Презентация насосов серии GV-Drystar и
технологии безмаслянной откачки
Безконтактный когтевой механизмСамоизолирующий принципЭффективный коэффициент сжатияПолное отсутствие масла в объемеРегулируемая температура корпуса
• Лучшие условия для откачки паров
Надежный и простой механизм• Устойчив к транспортированию пыли
Газобалластное устройство большой емкости • Предотвращение конденсации• Безопасная откачка опасных сред
ИДЕАЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ ВАКУУМНОГО НАСОСА
Принцип работы
Механизм с когтевым захватом• Эффективное сжатие потока• Простой, компактный механизм
3х ступенчатый механизмЗапатентованный механизм обращенной формы ротора
• 2ая ступень насоса имеет обратную остальным ступеням форму
• Более короткий газовый тракт• Максимальная скорость газового потока,
малое время цикла
Принцип работы
Когтевой механизм в действии
Впуск газа
Впуск газа
Конец стадии впуска газа
Впуск и выпуск насоса изолированы
Стадия сжатия
Выпуск газа
Разрез когтевого насоса с дополнительной ступенью Рутса
Газовый тракт
BOC Edwardsзапатентовано
Откачные агрегаты с насосами Рутса
Усиление откачки: глубина откачки/скорость откачкиПривод с гидрокинетической муфтой
• Меньшее энергопотребление, Отсутствие байпассных линий и реле давлений
• * - некоторые ограничения при продолжительной работе на давлениях выше 100 Torr
Механические бустеры
Механические бустеры серии EH
• Диапазон производительности250-4200 м3/ч
• Запатентованный гидрокинетический привод
• Версии привода вращения с углеводородным либо фторсодержащим маслом
• Давление запуска - атмосфера
• Уникальное уплотнение вала вращения
Схема – разрез насоса Рутса
Впуск
Газовый поток
Сопрягающиеся ротораВыпуск
СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА
выпуск
впуск
1
12
3
456
Обратный поток в области низкого вакуума
Обратный поток Стадия сжатия
Преимущества запатентованной технологии
Гидро-привод
Преимущества запатентованной технологии
Параметры насосов Рутса
Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газаНасос Рутса работает при определенном перепаде давленийДля работы необходим форвакуумный насосНаиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбарРабочий зазор 0.1-0.5 мм Скорость откачки от 150 до 30,000 м3ч-1
Особенности Технологии
BOCE – использует только безмаслянные агрегаты откачки на основе когтевых насосов производительностью от 40 м3/ч до 600 м3/ч.
Бесконтактный износоустойчивый механизм
Короткий газовый тракт – без необходимости установки межступенчатых газоохладителей
Высокая компрессия потока позволяет эффективно транспортировать потоки с высоким содержанием пыли и частиц
Преимущества «сухих» насосов
Стабильность процесса откачки
Высокий предельный вакуум
Высокая производительность
БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС
КРИВЫЕ ОТКАЧКИ
Vacuum Pump Comparison
0
100
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
0.00001 0.0001 0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000
Pressure mbara
Cap
acit
y M
3/h
r
EH500 + GV160
MB400 + KTC112
EH1200 + GV160
Достоинства предлагаемой системы
ЭКОНОМИЧНОСТЬ: Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного туманаУвеличивается производительность производстваПростое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума.Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраныСокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали
(допускаемая зернистость пыли <50 микрон) меньшее газовыделение
Преимущества предлагаемой системы
Улучшенное качество проведения технологического процесса:Значительно меньшие вибрацииВысокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере.Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклуОтсутствие масляных протечекСтабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров )Большая производительность по Аргону ( специально адаптированное рабочее тело насоса )
Мониторинг системы, Возможность сигнализации
Технические параметры GV160Тип уплотнения Безмаслянный
Тип насоса GV160
Откачиваемая среда Ar с высоким содержанием SiО
Производительность (м3/ч) 200Давление на входе (A) 0.01мбар 0.001мбар ( с
насосом Рутса)Температура на входе в насос (oC) 20Давление на выходе (барA) 1.13Потребляемая эл.энергия (кВт) 4.2Установленная мощность (кВт) 7.5Тип привода прямойОхлаждающая жидкость ВодаТемпература охл.воды (oC) 20Расход охл.воды (л/мин) 25 (при установке
термоклапана расход уменьшается)
Измеренный уровень шума на расстоянии 1 м <79дБ’
Технические характеристики EH1200
Тип уплотнения Безмасляный
Тип насоса EH1200Рекомендуемое масло на выборПроизводительность (м3/ч) 1000
Входное давление (A) 1013 до 0.001 мбар
Температура на входе (oC) 20Выходное давление требует фор.насосаПотребляемая эл.энергия (кВт) менее 3 (в
зависимости от уровня
вакуума) Установленная мощность (кВт) 3
Тип привода гидрокинетическая муфта (не требуется доп. переключателей)
Тип охлаждения Воздух ( Вода по требованию)
Температура охл. воды (oC) 20Расход охлаждающей воды (л/мин) 2 ( если есть)Измеренный уровень шумаНа расстоянии 1 м <77дБ
Стоимость компонент системы
Вакуумпровод деталировка:
Drystar GV160+EH1200
= 36.400 ЕВРО
Входная пылевая ловушка ITM 3000 (50 микронная сетка)
= 3.022 ЕВРО
Изолирующий клапан с ручным приводом QSB 160 =2.146 ЕВРО
Фильтр-глушитель ITM 3000
= 3.022 ЕВРО
ИТОГО = 44.590 ЕВРО
Объем Поставки
BOC Edwards GV160 Drystar/EH1200 откачная система, включая:
• BOC Edwards Drystar GV160 вакуумный насос, включая: Электродвигатель WEG 7.5 kW 415/3/50. Встроенная система охлаждения, включая ручной
термоклапан Danfoss с термостатом (TCV-1) Термо-сигнализация.• EH 1200 насос Рутса, включая электродвигатель 3 kW
415/3/50 • Входная пылеулавливающая ловушка ITM3000
(нерж.сталь).• Изолирующий клапан QSB 160• Выходной фильтр-глушитель ITM3000 (нерж.сталь) – по
требованию
Обсуждение предагаемых вариантов
Предлагаемые варианты вакуумных насосов были выбраны, из спектра наиболее используемых в данной области промышленности в странах Европы, США и Японии Выбор агрегата согласуется с требуемой производительностью и собственными параметрами насосовПредлагая комбинацию GV/EH безмаслянных насосов, компания считает данный тип оборудования наиболее подходящим для Вашего тех.процесса. При необходимости компания, также, может предложить агрегаты меньшей производительности. Обращаем Ваше внимание, что компания может поставить насосы с масляным уплотнением, если будет принято решение в их необходимости.
Основные параметры предлагаемой системы
Соответствие требованиям по вакууму и надежный механизм насоса
По окончании каждого цикла требуется продувка насоса потоком аргона ( 20 л/мин в течении 10 мин. )
Достигаемый вакуум при рабочем потоке аргона (10 Torr / 30 slm Ar )*.
* Не обеспечивается при эксплуатации золотниковых насосов
Объем поставки, Киев ПИЛАР
Вакуумная схема установки.
Деталировка ( насос, входной фильтр, запорная арматура, коммуникации, выходной фильтр )
Соответствие, имеющимся требованиям (присоединительные фланцы, эл.питание)
Деталировка выхлопной линии ловушка + очистка выхлопа ( Ar + SiO, не должны быть подключены к фильтрам масляного тумана)
BOCE пусконаладка и гарантийное обслуживание
Сравнения стоимости эксплуатации насосов
Стоимость эксплуатации
€ 17 000
€ 22 000
€ 27 000
€ 32 000
€ 37 000
€ 42 000
€ 47 000
€ 52 000
€ 57 000
€ 62 000
€ 67 000
0 1 2 3 4 5 6 7
Год эксплуатации
ка
пи
та
ло
вл
ож
ен
ия
"сухие" насосы
ПРМ насосы
ЗМ насосы
Габаритные размеры предлагаемого оборудования
GV 160 / EH 1200 комбинацияДлина: 1213 ммШирина: 550 ммВысота: 975 ммВес нетто, (без масла): 500 кг
замечание•Размеры приведены для справки и подлежат уточнению при проектировании установки
Пусконаладочные работы и обучение
Подробный инструктаж по обслуживанию
насосов на месте
Капитальный ремонт раз в 6 лет, согласно рекомендациям по эксплуатации
УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ
Срок поставки - 10 недель
Проектная документация по замене масляных насосов на «сухие» насосы (деталировка вакуумпроводов, сборочные чертежи, схемы подключения инженерных коммуникаций)
2 года гарантии
РЕФЕРЕНЦИИ
Полупроводниковое производство Bullen, США эксплуатирует данные насосы уже более 5ти лет. На откачке основной камеры используется комбинация насосов GV160-EH1200, и насосы GV160 для откачки шлюзовых камер.
Данные насосы оборудованы системой продувки и шумоизолирующим корпусом, а также интегрированы с управляющей ЭВМ. В процессе эксплуатации установки насосы требовали минимум технического обслуживании и надежно зарекомендовали себя при работе во внештатных ситуациях.
При имевших место прорывах входного фильтра чатицы SiO попадали в рабочую полость насоса. Когтевой механизм GV насоса позволяет транспортировать газовые потоки с высоким содержанием пыли и создает избыточное давление, достаточное для удаления твердых включений на выхлоп.
СЕРВИС И ОБСЛУЖИВАНИЕ ПРЕДЛАГАЕМОГО ОБОРУДОВАНИЯ
BOC EDWARDS обеспечит производства инженерами из местных представительств для запуска, обслуживания и ремонта оборудования.
Каждое представительство имеет сервис центр с достаточным набор услуг и сервис-инженерами, прошедшими всестороннюю подготовку по обслуживанию оборудования BOC EDWARDS.