狙ったデータを取得 狙った効果を実現‚·ムスナイパー...
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シ ム ス ナ イ パ ー
EES/APCパッケージ(三菱電機製MELSEC C言語コントローラ用)
狙ったデータを取得 狙った効果を実現装置から様々なデータを収集/MESから指示できないパラメータを設定
最速50msec周期でのアナログデータ収集装置とMES間のSECSデータをEEデータとして活用可能プロセスデータの異常検知によってプロセス停止(S2F41)装置ステータスと連携して高速・多点データをサーバ(EES等)にFTP転送
EES機能
外付センサー類連携機能
質量分析器、温度/流量計、RF電源の出力データをMES報告外付けセンサー検知による装置異常のMES通知(S5F1)MES指示により外付けセンサー・機器への設定・制御三菱電機製シーケンサ各種ユニットを利用可能
プロセスチャンバー変化によるパラメータ調整(S7F23)製品QCデータによるレシピ・パラメータ変更APC・SPCサーバからのレシピ・パラメータ設定(S7F23)
ファシリティ装置連携機能
装置情報に加えファシリティ類データをMESに通知(S6F11)ファシリティ設備データをEESで監視
MES/生産管理サーバ
SECS通信
アナログ
外付けセンサー
APC機能
FTP転送(CSV)
HSMS(SECS-Ⅰ)
HSMS(SECS-Ⅰ)
データ収集はプログラムレスで設定のみ
EESサーバ(FDCサーバ)
通信ソフト改造不要
EES機能 APC機能
機 能 ・ 特 長
基本機能
販売代理店
〒222-0033神奈川県横浜市港北区新横浜 1-7-9友泉新横浜一丁目ビル 8FTEL:045-476-0160(代表) FAX:045-476-0169
経済産業省SI登録
開発元
※ 記載内容は、お断りなく変更することがありますのでご了承ください。※ 記載の商品名、会社名等の固有名詞は各社の商標または登録商標です。
H P http://www.den.co.jp
E-mail [email protected]
09-11-1k-2(DA)
EES機能 APC機能
装置機能改善やEESを諦めていませんか
従来はプロセスデータの変動を監視するために、MESやEESサーバに通知するには装置改造を必要としました。
シムスナイパーは製造プロセスを管理する上で装置センサーを細かい分解能で監視し、装置改造せずMESに報告することが可能となります。
EESで解析した結果によりMESを介さずリモートコマンドにてプロセス停止することで歩留りを確実に向上させます。
外付けのセンサーやコントローラで装置強化
3rdパーティ製のセンサーやコントローラを取り付けて、プロセスの実行と連動させたり、MES指示レシピや指示パラメータによって外部センサー動作や外部コントローラの動作を変更できます。
シムスナイパーは外付け機器の親和性を考慮し、SECS電文を活用して外付け機器類と装置動作の同期を可能とします。
装置コンディションにあわせたAPCを諦めていませんか
QCデータによりプロセスパラメータを変更することは、日常的な作業にも関わらず、手動にて実施して、入力ミスなどを発生していました。
単純にAPCと言ってもMES・APCサーバ・装置全ての箇所を改造するのでは膨大な投資となってしまいます。
シムスナイパーはAPCで連携する機器の改造範囲を限定させ、APC導入費用の削減や導入工程を短縮できます。
MES/生産管理サーバ
SECS通信
膜厚値HSMS
HSMS RS232C
外付けコントローラ
HSMS(E37)、SECS1(E4)*3
三菱MELSEC各種アナログ・温度入力ユニット三菱MELSEC各種デジタル入力ユニットRS232、RS422/485、EthernetMELSEC-NET、CC-LINK、FL-NET
SECS I/F*2
アナログ入力*4
デジタル入力*4
シリアル入力*4
制御ネットワーク入力*4
EEデータ入力インターフェイス
*2:通信回線スルーモード、 *3:別途シリアルユニットを増設*4:MELSEC Qバスにユニットを増設
*1:任意レポートをユーザ定義可能
MESと装置間のSECSメッセージをスルーで中継する。SECSメッセージを特定したり、PLC取り込みデータが特定条件に合致しているかを監視し、イベント条件成立時、他の機能に対し通知を行なう。指定した取得条件が成立した際、SECSメッセージ、PLC取り込みデータなどの下記EEデータを取得する。(1)非GEM通信フレーム内アイテムデータ(2)装置のGEM変数(3)PLC取り込みデータ(SW、センサ、アナログデータ)取得したEEデータを、設定した取得条件に従い、ローカルメモリに蓄積する。蓄積完了後、蓄積結果をレポートとして上位システム通知用として編集する。
レポートを通知する条件を指定し、条件成立時、編集済みのレポートを以下の手法で通知する。(1)SECSメッセージ(S6F11)通知*1
(2)CSV形式のファイルをFTP通知MESから要求のあったレポートを編集し、SECSメッセージで送信する。(S6F19、S6F20使用)*1
取得したEEデータを一定周期間隔で指定回数入力蓄積する。サンプリング完了後、取得情報を上位システムに通知する。(1)SECSメッセージ(S6F11)通知*1
(2)CSV形式のファイルをFTP通知
イベント条件成立時、PLCのレジスタ及びリレーに対してデータを出力する。
イベント条件成立時に、指定されたSECSフレーム(S2F41等)を装置に対して送信する。(APC/プロセス停止用 等)本ソフトによってスルーしたMESと装置間のSECSメッセージを収集し、SECS定義フォーマットで表示する。
SECS中継機能EEデータ編集出力用イベント条件判断機能
EEデータ取得機能
EE情報収集編集機能
レポート通知条件判断機能
GEMレポート報告機能
サンプリング取得機能
PLCレジスタ及びリレーへのデータ出力機能任意SECSメッセージ割り込み機能
ログ収集機能
1
2
1
2
3
1
2
3
0 1 2 3 4 5 6 7 8
改造なし
APCシステム構成例
FDC・EES・歩留り解析ツールについてもご用意しております。別途ご相談下さい。