Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных...

Вакуумные технологии

ОборудованиеЛогистика научного оборудования из любой точки мира

ИНТЕК ВАКУУМТел. +7 095 788 68 41Факс. +7 095 180 64 54

http://www.invac.ru

Московский офисРоссия, 129343, Москва, ул. Амундсена, д. 5-2, оф. 18

Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных

областейЮ. К. Васильев

ЗАО «Индустриальный технический вакуум»

Москва, Россия




www.invac.ru


BOC EdwardsBOC Edwards – мировой лидер в проектировании и производстве оборудования для самых высокотехнологичных областей промышленности

• Традиционное английское качество в области вакуумных технологий

• Более 80 лет на рынке высокотехнологичного оборудования

• 70 представительств компании по всему миру, в которых занято более 2000 человек

• 100% гарантия качества и поддержка потребителей во всем мире




www.invac.ru


Закрытое акционерное общество «Индустриальный Технический Вакуум»

• ЗАО «Интек Вакуум» - эксклюзивный поставщик продукции ведущего мирового производителя и разработчика вакуумной техники, британской компании BOC Edwards в Россию, Белоруссию и Украину

• Представительства в крупнейших городах России• Комплексный подход к работе:

Поставка Сопровождение и сервисное обслуживание оборудования Модернизация производственных линий и технологий на

производстве Консультации, технологическая и методологическая

поддержка




www.invac.ru


Малогабаритные вакуумные насосы

• Одно- и двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением (быстрота действия до 9 л/с, остаточное давление менее 10-3 мбар)

• Безмасляные мембранные насосы (быстрота действия до 0,55 л/с, остаточное давление менее 2 мбар)

• Безмасляные спиральные насосы (быстрота действия до 10 л/с, остаточное давление менее 2·10-2 мбар)




www.invac.ru


Промышленные вакуумные насосы

• BOC Edwards представляет полный спектр вакуумного оборудования для промышленного использования

• Сухие вакуумные насосы для полупроводниковых производств и чистых газов(быстрота действия до 500 л/с, диапазон давлений от атмосферногодо менее чем 10-3 мбар)




www.invac.ru


Высоковакуумные насосы• Турбомолекулярные насосы (быстрота действия

до 3500 л/с, остаточное давление менее 10-10 мбар)

• Высоковакуумные диффузионные насосы (быстрота действия до 2000 л/с, остаточное давление менее 10-9 мбар)

• Магниторазрядные и сублимационные насосы (быстрота действия до 2000 л/с, остаточное давление менее 10-11 мбар)

• Криогенные насосы, криоголовки и кроиохладители (быстрота действия до 10000 л/с)

• Инновационные сухие турбонасосы с выхлопом на атмосферу (быстрота действия до 140 л/с, остаточное давление менее 10-6 мбар)




www.invac.ru


Откачные посты• Промышленные откачные почты с

механическим бустерным насосом (быстрота откачки до 8300 л/с, до давления 10-5 мбар)

• Лабораторные высоковакуумные откачные посты безмасляной откачки (быстрота откачки до 255 л/с, до давления 10-10 мбар)

• Лабораторные высоковакуумные откачные посты с диффузионным насосом (быстрота откачки до 280 л/с, до давления 10-8 мбар)




www.invac.ru


Технологические системы• Модули для нейтрализации технологических газов в

полупроводниковых процессах: модули тепловой переработки, влажные скрубберы, газовые реакционные колонны, обработка пирофорных веществ, системы поддержания температуры и др.

• Установки для нанесения тонких пленок компании BOC Edwards предназначены для исследовательских, конструкторских и опытных применений в любых областях науки и производства. Модульная конструкция предусматривает широкие возможности для перестройки (модернизации) системы, позволяя исследователю идти в ногу с самыми передовыми технологиями.

• Установки плазмохимического травления (AOE, ASE, ISP, RIE, PECVD, XeF2) и нанесения алмазоподобных покрытий




www.invac.ru


Вакуумные измерения• Полный спектр вакуумметров от

атмосферы до 10-11 мм рт.ст. Точность до 0,15% от измерения. Питание 24 В, аналоговый выход 0..10 В. Длина кабеля до 100 м. ВНЕСЕНЫ В РЕЕСТР СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ.

• Контроллеры и дисплеи: до 6-ти любых вакуумметров одновременно, связь с ЭВМ. Настольное и встраиваемое исполнение. Возможность управления турбо- и форнасосом.




www.invac.ru


Вакуумная и газовая арматура• Электромагнитные, пневматические и ручные клапаны, затворы для

низкого и высокого вакуума. Натекатели, клапаны напуска, шаровые клапаны. Условный проход до 1,5 м. Количество циклов до 5 000 000. Полностью металлические прогреваемые клапаны.

• Интеллектуальные высоковакуумные клапаны и затворы с обратной связью. Управление проводимостью.

• Промышленные вакуумные и газовые клапана с любым типом актуаторов. Управление проводимостью клапана. Стандартный ряд до 1,5 м. Измерители и регуляторы расхода газа

• Полный спектр вакуумной крепежной арматуры всех распространенных типоразмеров (NW, CF, ISO, ASA). Гибкие трубопроводы и сильфоны. Смотровые окна. Большой ассортимент постоянно присутствует НА СКЛАДЕ.

• Углеводородные и синтетические вакуумные масла для форвакуумных и диффузионных наосов. Вакуумные смазки. Большой ассортимент постоянно присутствует НА СКЛАДЕ.

• Вакуумные электрические вводы. Вводы для подачи жидкости. Механические вводы и манипуляторы.

• Фильтры, фильтрующие элементы, глушители для вакуумного и газодувного оборудования

Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных...

Documents

Transcript of Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных...