歐傑電子分析儀(AUGER ELECTRON

SPECTROSCOPY ； AES）

授課老師 :吳坤憲學生 :湯迦鈞

OUTLINE Introduction How It Works Application Where can use References

INTRODUCTION Auger Electron Spectroscopy (Auger

spectroscopy or AES) was developed in the late 1960's, deriving its name from the effect first observed by Pierre Auger, a French Physicist, in the mid-1920's.

INTRODUCTION

HOW IT WORKS

UHV ENVIRONMENT The surface analysis necessitates the use of

a UHV environment because the equivalent of one monolayer of gas impinges on a surface every second in a vacuum of 10–6 torr.

Generally, the background pressure is reduced to the low 10–10-torr range in order to minimize the influence of residual gases in surface analysis measurements.

ELECTRON GUN

ELECTRON ENERGY ANALYZER-CMA

ELECTRON ENERGY ANALYZER-SSA

DEPTH PROFILING

APPLICATION 個人電腦硬碟磁片的磁性薄膜分析

APPLICATION 磁頭的磁性材料

APPLICATION

WHERE CAN USE

成功大學 連絡方式：指導教授：陳引幹 教授 TEL ： (06)275757562947   　 E-mail ： Ingann@mail.ncku.edu.tw 技 術 員：李宗雄助教 TEL ： 0911-153075 E-mail ： pshunterbabu@gmail.com

服務項目：　　　一． Auger Line Scan 　　　　　二． Auger Mapping 　　　　　三． Depth profile 　　　　　　四． Fracture stage(AES) 　　　 收費標準： 一． AES 分析 :3000 元 / 小時 二． AES Depth Profile 3500 元 / 小時 三． AES Mapping 每次 3000 元 四． Fracture stage 每次 1000 元

WHERE CAN USE 清華大學 連絡方式：指導教授：韓建中 教授 TEL ： (03)5715131Ext.35649  FAX ： (03)5722366

E-MAIL ： cchan@mx.nthu.edu.tw 儀器管理員：謝瑞蘭 小姐 TEL ： (03)5715131Ext.33432  Fax:(03)5722915

E-MAIL ： hrxps@www.nscric.nthu.edu.tw 服務項目：　　　　　XPS 全能譜圖（ XPS survey ） XPS 單元素能譜圖 (XPS multiplex)XPS 元素影像掃瞄（ XPS mapping ） XPS 元素縱深分佈（ XPS depth profile ）Auger 全能譜圖 (Auger survey) Auger 單元素能譜圖 (Auger multiplex)Auger 元素影像掃瞄 (Auger line scan and Auger mapping) Auger 元素縱深分佈（ Auger depth profile ） 收費標準：收費標準為每小時 3000 元 ( 包含樣品處理時間，樣品抽真空時

間及關機等待的時間 ) ，若需開電荷補償器則為每小時 4000 元列，印數據每張 10 元。

REFERENCES http://www.jhu.edu/~chem/fairbr/surface

lab/aes.html http://www.ncku.edu.tw/~facility/facility/

index.htm http://www.materialsnet.com.tw/AD/ADI

mages/AAADDD/MCLM100/download/equipment/SA/u-ESCA/u-ESCA001.pdf

http://nscric.web.nthu.edu.tw/files/15-1006-197,c81-1.php

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