ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
10
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
description
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ. 1. Чувствительность определяется отношением сигнал / шум и составляет – 10-3, т.е. 0,1% 2. Латеральное разрешение – 30 нм 3. Разрешение по глубине определяется: а) – глубиной выхода оже-электронов б) – шероховатостью поверхности. - PowerPoint PPT Presentation
Transcript of ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
![Page 1: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/1.jpg)
ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
![Page 2: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/2.jpg)
![Page 3: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/3.jpg)
1. Чувствительность определяется отношением сигнал/шуми составляет – 10-3, т.е. 0,1%
2. Латеральное разрешение – 30 нм
3. Разрешение по глубине определяется:а) – глубиной выхода оже-электронов
б) – шероховатостью поверхности
![Page 4: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/4.jpg)
ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В ОЖЕ-СПЕКТРАХ
![Page 5: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/5.jpg)
1. Послойный анализ2. Изучение сегрегации, в том числерадиационно-стимулированной
![Page 6: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/6.jpg)
РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗ
![Page 7: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/7.jpg)
PIXE - ?
![Page 8: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/8.jpg)
ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
![Page 9: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/9.jpg)
![Page 10: ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ](https://reader035.fdocuments.net/reader035/viewer/2022070403/56813956550346895da0f6e1/html5/thumbnails/10.jpg)
ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В СПЕКТРАХ ФОТОЭЛЕКТРОНОВ