奈米定位與量測技術 - 雷射干涉儀之應用

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南台科技大學 101 學年度第 1 學期. 奈米定位與量測技術 - 雷射干涉儀之應用. 指導老師: 朱志良 教授 學生姓名: 洪敏庭 學生學號: MA11V102. 中華民國 12 月 25 日. 前言. 在工業應用上,高精密定位技術是非常重要的基礎,高精度的位置量測更是重要關鍵技術之一,近幾年來,定位能力已進入微奈米等級,更顯奈米定位量測精度的重要。 - PowerPoint PPT Presentation

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  • Albert A.MichelsonMichelson

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