Trykksensor konsepter

APF

Mål F/σ

• Kompresjon

• Bøy

• Strekk

kxF

Piezoelektrisk

Piezoresistive

Mål x

Kapasitiv

parallell plate

Optical

Magnetic

AC

DC

FP

Resonerende struktur

Elektret

Piezoresistiv

• Varmeledningsevne

• Varmekapasitet

• Elektrisk ledningsevne

• Viskositet

• Direkte:

Løfte veskesøyle

Trykksensor områder

Frekvens

Try

kk

Lyd t

rykk R

e μ

Pa

2 GPa

100dB

20µPa

10 Hz

2Pa

2bar

200nPa Va

kuum

sensore

r

T

rykk s

ensore

rer

Hydrofoner

10 kHz

0dB

200dB

-100dB

100 MHZ

Mikrofoner

Trykk referanser

• Absolutt

• Differensiell (relativ)

• Gauge

Trykk -> Avstand

Fabry perot sensor

Kapasitive trykk sensorer

d

AC r

0

Piezoresistiv trykksensor

Resonerende kraft sensorer

Quartz pressure sensor

http://www.paroscientific.com/qtechnology.htm

M

kkf

2

1

U-rør

Magnetisk ”reluctance” sensor

Flow sensor 1

Flow sensor 2