Post on 05-Jul-2018
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
1/19
TEHNICISPECTROSCOPICE DE
CARACTERIZARE A
STRATURILOR SUB IRIȚ
Student:
Ciuraru Ioana Claudia
Constan a, 2!"ț
#etode de $ara$teri%are o&ti$' a straturilor su( iriț
1
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
2/19
Una dintre metodele de caracterizare a straturilor sub iri este cea optică, fie că vorbimț
despre absorb ie, reflexie sau transmisie. Fiecare dintre acestea poate fi folosită pentruț
caracterizarea straturilor sub iri, iar folosirea uneia sau a alteia dintre proceduri este îndreptă ităț ț
în func ie de grosimea stratului pe care trebuie să-l caracterizăm.ț
Pentru caracterizarea optică se folose te spectrofotometrul, cel mai utilizat, dar existăș
posibilitatea de a folosi i elipsometrul spectroscopic.ș
Există două tipuri de spectrofotometre cu o singură sursă de lumină i cu două surse deș
lumină. !n cazul celor din urmă, acestea practic compară intensitatea luminoasă provenind de la o
proba considerată referin ă i de la altă probă ce trebuie caracterizată. !nainte de a începeț ș
caracterizarea propriu-zisă este nevoie ca aparatul să fie etalonat, adică să i se spună care dintrecele două va fi referin ă. "1#ț
$an ul de măsură folosit la caracterizarea optică a straturilor sub iri este prezentat înț ț
figura %.
Figura I. Lan ul de măsură folosit la caracterizarea optică a straturilor sub iriț ț
&
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
3/19
'onta(ul experimental utilizat pentru caracterizarea optică a straturilor sub iri con ine treiț ț
elemente esen iale, i anume o sursă de lumină, un monocromator i un detector fotosensibilț ș ș
legat la un aparat de măsură i înregistrare. "1#ș
)ursa de lumină folosită trebuie aleasă astfel înc*t domeniul de lungimi de undă în care eaemite să se suprapună c*t mai bine cu domeniul de lungimi de undă în care absoarbe proba. !n
regiunile vizibil i infraro u apropiat, sursele de radia oe sunt lămpi cu incandescen ă, iar pentruș ș ț ț
măsurători în infraro u îndepărtat se folosesc stifturi +ernst, bare confec ionate din oxizi aiș ț
diverselor metale, sau stifturi lobar, bare din carbură de siliciu, încălzite la ro u cu a(utorulș
curentului electric bine stabilizat, iar pentru ultra-violet se folosesc lămpi cu descărcare în
idrogen, ripton, etc.
'onocromatorul selectează din spectrul de emisie al sursei de lumină un domeniu îngust
centrat pe o lungime de undă, /, care poate fi variată. 0aportul /2/ se nume te rezolu iaș ț
monocromatorului. !n fuc ie de rezolu ia dorită i de domeniul spectral cercetat se pot folosiț ț ș
prisme sau re ele de difrac ie pentru descompunerea spectrală a sursei. !n regiunea de ultra-violetț ț
îndepărtat sunt utilizate prisme de florură de calciu sau de litiu, în ultra-violet apropiat sunt
utilizate prisme de cuar , iar în vizibil sunt folosite prisme de sticlă. Prisma sau re eaua deț ț
difrac ie se pot roti, diferitele regiuni ale spectrului sursei a(ung*nd pe r*nd în dreptul fantei deț
ie ire, realiz*ndu-se astfel varia ia lungimii de undă a luminii la ie irea din monocromator.ș ț ș
3etectorul radia iei transmise de proba studiată poate fi un fotomultiplicator, oț
fotorezisten ă sau un fotoelement.ț
4aracterizarea optică a straturilor sub iri presupune efectuarea măsurătorilor de absorb ie,ț ț
reflexie sau transmisie. "
Re)le*ia - lumina este 5întoarsă6 de pe suprafa ă, i este asociată de obicei cu luciul7ț ș
Trans+isia - lumina traversează obiectivul, se înt*lne8te în cazul obiectelor mai mult saumai pu9in transparente 8i este asociată cu claritatea7
A(sor( iaț - lumina penetrează obiectivul, fenomen responsabil în mare măsură pentru
culoare7 ":#
:
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
4/19
• )pectrofotometrul U; prezentat în figura &, aflat în dotarea departamentului de fizică al Universita iiț ț
'ino, Portugalia."?#
Figura II: Spectrofotometru UV–Vis– NIR Simadzu !"#
Principiul de func ionare a unui spectrofotometru de tip U;-;%)-+%0 =ultraviolet-ț
vizibilinfraro u> este urmatorul Proba se fixează întrun suport special ata at fantei de la iesireaș ș
monocromatorului, a a înc*t lunima să cadă perpenticular pe strat. Fascicolul transmis cadeș
normal pe detectorul care este fixat rigid de suportul în care se fixează proba. !nainte de a trasaspectrul de reflexie sau de transmisie al probei analizate, se trasează mai înt*i curba de etalonare
=linia de zero> a întregului sistem folosind o placu a de %@A identică cu cele folosite ca suportț
pentru straturile depuse. 3upă trasarea curbei de etalonare a sistemului, se trece la trasarea
spectrului de reflexie i transmisie a probei prin înlocuirea placu ei de %@A cu probele, înș ț
domenul lungii de undă cuprins între &BC nm i DCC nm. "B#ș
%n general, exista doua clase mari de )pectrofotometre cu fascicul unic si cu fasciculdublu. Un spectrofotometru cufascicul dublu compara intensitatea luminii intre doua cai de
lumina, o cale care contine o mostra de referinta si alta cale care contine proba de testare. Un
spectrofotometru cu un singur fascicul masoara intensitatea relativa a fasciculului de
lumina inainte si dupa ce a fost introdusa o proba de test.
?
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
5/19
Utilizarea de spectrofotometre se intinde pe diferite domenii stiintifice, cum ar
fi fizica,stiinta materialelor, cimie, biocimie si biologie moleculara. Ele sunt utilizate pe scara
larga in multe industrii, inclusiv semiconductori, fabricatie laser si optica, de imprimare si
examinarea medico-legala, precum si in laboratoare pentru studiul de substante cimice. %n cele
din urma, un spectrofotometru este in masura sa determine, in functie de control saude
calibrare, ce substante sunt prezente într-o tinta si exact cat de mult prin calcule delungimi de
unda observate.
• Elipsometrul spectroscopic
Pentru determinarea grosimii straturilor subtiri în cadrul cercetarilor experimentale
se va folosi metoda elipsometrica, care este o metoda de investigatie optica nedistructiva. @ot
cu aceasta metoda se vor putea determina constantele optice ale straturilor depuse,
rugozitatea suprafetelor piesei sau interfetele straturilor. 'etoda elipsometrica s-a folosit
initial în industria microelectronicii si a nanotenologiilor bazate pe procese fotonice. 3atorita
vitezei de masurare relativ rapida si preciziei ridicate elipsometria este utilizata numai în
situatiile în care straturile sunt foarte subtiri si în cazul multistraturilor.
Utiliz*nd tenica de masurare cu a(utorul elipsometrului spectroscopic se poate realiza o
analiza e$%situ& analiza fac*ndu-se dupa procesul de depunere si in%situ& analiza straturilor
subtiri realiz*ndu-se în timpul procesului de depunere. 4ele mai bune evaluari elipsometrice
se fac pentru filmele subtiri, variind între 1 nanometru si 1CCC nanometri, dar metoda este
sensibila ciar si în cazul straturilor monoatomice.
Pot fi studiate straturi cu grosimi de p*na la maximum un micron.
Principiul de lucru al elipsometriei este masurarea scimbarilor de faza care apar în
polarizarea luminii monocromatice reflectate de un material. Fascicolul de lumina incident pe
suprafata piesei este linear polarizat, iar dupa reflexie devine eliptic polarizat. %nstrumentul de
B
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
6/19
lucru masoara forma si parametrii elipsei detectate dupa reflexie - de aici denumirea de
elipsometrie optica. "11, 1.
Figura III: Scema definitorie a parametrilor elipsometrici
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
7/19
! Re)le*ia i a(sor( ia lu+inii n straturile su(-iri. Considera-ii /eneraleș ț
4*nd un fascicul de lumină =monocromatică> trece printr-o substan9ă oarecare,
intensitatea se scade datorită reflexiei 8i absorb9iei în respectivul material. 0aportul dintre
energia reflectată la suprafa9a corpului 8i energia incidentă se notează cu R 8i se nume8te
coeficient de refle$ie. 3acăCF
este intensitatea luminii incidente iar0 F
a fasciculului reflectat,
atunci
C
0
F
F
0 =. 1.1.1
Pentru a găsi legea de absorb'ie a luminii se consideră un strat de grosime d $ pe care cade
un fascicul de lumină de intensitate ( =fig.1.1.>. Pe măsură ce străbate mediul, intensitatea
luminoasă scade, deci parcurgerea unei distan9e d $ va scădea cu d ( . Gceastă varia9ie =scădere> va
fi evident propor9ională cu grosimea d $, precum 8i cu intensitatea luminoasă în punctul $:
- d ( H I ( d $. 1.1.&
Fig.).).
4oeficientul de propor9ionalitate I se nume8te coeficient de absorb'ie 8i reprezintă
cantitatea de energie =luminoasă> absorbită într-un strat de grosime unitate, dintr-un fascicul
av*nd intensitatea egală cu unitatea.
J
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
8/19
∫ ∫ α−= d
C
F
Fdx
F
dF
C
, 1.1.:
de unde
d
oeFF α−
= . 1.1.?
3acă se 9ine seama de reflexie, în loc de* (
se va lua0 FF CC −
, adică
∫ ∫ α−=−d
C
F
>0 1=Fdx
F
dF
C
, 1.1.:, a
deci
d
C e>0 1=F>d=F α−−=
. 1.1.?, a3ependen9a coeficientului de reflexie de frecven9a luminii folosite, adică 0 =K>, sau
lungimea de undă, adică 0 =/>, se nume8te spectru de refle$ie. 3ependen9a I=K> sau I=/> a
coeficientului de absorb9ie se nume8te spectru de absorb'ie al materialului studiat. 3acă în strat
=material> există mai multe tipuri de centre de absorb9ie, întregul spectru de absorb9ie se
compune din suma spectrelor de absorb9ie ale diferitelor centre din substan9a considerată
i
ii
ii +>=>=>= ωσ=ωα=ωα ∑∑ , 1.1.B
i + fiind numărul de centre de naturi diferite, iar
>=i ωσ sec'iunea efecti+ă de absorb'ie a
centrelor de tip i "B#. !n semiconductori, de exemplu, există mai multe tipuri de absorb9ie optică
absorb'ia fundamentală =provocată de trecerea electronilor din zona de valen9ă în cea de
conduc9ie>, absorb'ia de impurită'i& absorb'ia e$citantă& absorb'ia de purtătorii liberi& absorb'ia
de +ibra'iile re'elei etc. Ele vor fi analizate în paragraful următor. Gbsorb9ia optică pe purtătorii
liberi etse caracteristică 8i straturilor metalice, de aceea va fi analizată în paragraful de fa9ă.
3in ecua9iile lui 'axLell se găse te ecua9ia de undă pentru vectorul c*mp electric "B#.ș
Ct
E
c
?
t
E
cE
&&
&
& =
∂∂πµσ
−∂∂εµ
−=∆
. 1.1.
D
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
9/19
Pentru vid =8i aer>, în absen9a sarcinilor =σ
H C, i H C>, solu9ia ecua9iilor lu 'axLell
reprezintă o undă plană "B#.
>c
xt=
CeE>t,x=E−
=
, 1.1.J
unde c H
&21
CC >= −µε
este viteza luminii în vid =aer>.
3acă unda luminoasă intră într-un mediu conductor, ea va interac9iona cu electronii liberi
=din zona de conduc9ie, respectiv 8i cu golurile din zona de valen9ă în cazul semiconductorilor>.
!n consecin9ă electronii vor fi accelera9i, energia lor cresc*nd pe seama energiei undei, iar prin
ciocnire cu re9eaua o vor ceda acesteia, deci în final energia luminoasă se regăse8te sub formă de
energie termică =a re9elei>. Unda electromagnetică în material este descrisă în electrodinamica
clasică de func9ia E H E=r,t> exprimată printr-o integrală Fourier după toate frecven9ele
posibile "#
ω= ω∞
∞−∫ de>t,r =E>t,r =E ti
, 1.1.D
de unde rezultă componenta Fourier E=r,K> a c*mpului
dte>t,r =E&
1>t,r =E ti∫
∞
∞−
ω−
π=
. 1.1.M
!nlocuind în ecua9ia 1.1. se găse8te că amplitudinea E=r,K> a undei monocromatice
satisface ecua9ia
C>,r =Ec
?i
c>,r =E
&&
&
=ω
πµσω−
εµω+ω∆
1.1.1C
sau
C>,r =E>i1=n
c
>,r =E &&&
&
=ω
χ−
ω+ω∆
1.1.11
în care s-a introdus nota9ia
&&
&
&
&&
&
>i1=ncc
?i
cχ−
ω=
πµσω−
µεω
1.1.1&
M
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
10/19
'ărimile necunoscute n 8i N, introduse, se pot determina ridic*nd la pătrat 8i identific*nd
păr9ile reale 8i imaginare, se ob9ine
11
1=&
n&&
&&
+εωσπ
+εµ
=
1.1.1:
−
εωσπ
+εµ
=χ= 11
1&
n &&
&&
1.1.1?
3acă O H C, rezultă.
H C 8i
&21>=n εµ=. 4oeficientul n se nume8te indice de refrac'ie, iar
. H nN indice de absorb'ie al substan9ei =se notează cu bară deasupra spre a nu se confunda cu
numărul de undă , >.
)olu9ia ecua9iei 1.1.11 are forma "J#
>,r =EeeEeE>,r =Er
c
nr
c
ni
C
r >i1=c
ni
C ω===ω ωχω
±ω
±
ω
χ−ω
±
ω
1.1.1B
%ntroduc*nd +ectorul de undă, , cu valoareac
&
ω
=λ
π
=, rela9ia 1.1.1B devine =păstr*nd numai
semnul minus>
>#r , =nt"i>r , =n
C eeE>t,r =E −ω−χ−
ωω = 1.1.1
3in 1.1.1 se vede că pe măsură ce unda monocromatică
ωE
înaintează în mediul de
conduc9ieC≠σ
, amplitudinea ei scade după legeac
r
e
ω−
. Gtunci intensitatea luminii, fiind
1C
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
11/19
propor9ională cu pătratul amplitudinii undei luminoase, adică cu
&E
, va scădea cu distan9a $,
străbătută prin mediu, după legea
xc
x&
& eePE α−ω
−=
1.1.1J
iar intensitatea luminoasă pe direc9ia axei ox va fi
x
C
xn&
C eFeF>x=F α−
ωχ−
ω == 1.1.1D
Prin urmare, din teoria lui 'axLell rezultă pentru coeficientul de absorb9ie optică I
expresia "D#
−
ωεσπ
+εµ
λπ
=λπ
=χλπ
=πχ=α 11
1&
?
?n? &
&&
&&
1.1.1M
4oeficientul I se poate măsura experimental. Gstfel, pentru a ob9ine11Bs1C −≅ω,
.)..4.u1CMcm1 1111 ⋅=⋅Ω=σ −−,
1C=ε 8i
1≈µ, se ob9ine
&:C
&:
&&
&&
1C&D,11C1C
1CD1C11 −⋅=⋅⋅⋅⋅
=ωεσπ
Q 1.
!n acest caz expresia de sub radicalul din paranteză, din 1.1.1M, se poate dezvolta în serie,
ob9in*ndu-se
11
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
12/19
εεµπσ
=ελω
εµσπ=
ωεσπ
⋅⋅εµ
λπ
=αc
?D1
&
1
&
? &
&&
&&
1.1.&C
3acă 8i în rela9ia 1.1.1: se dezvoltă în serie acela8i radical, negli(*ndu-se&&
&&1ωεσπ
fa9ă de
&, rezultă
εµ≅n 1.1.&1
Pentru frecven9ele spectrului vizibil1≅µ
8iε≅n
, deci I devine =din 1.1.&C>
+m
e
nc
?
nc
? &
∗
τπ=σ
π=α
, 1.1.&&
+ fiind concentra9ia de purtători liberi.
3in 1.1.&C se vede că, în cazul absorb9iei de către purtătorii liberi, coeficientul de
absorb9ie I este propor9ional cu + 8i cu valoarea medie a timpului de relaxare 8i invers
propor9ional cu masa efectivă a purtătorilor 8i cu indicele de refrac9ie. 4um indicele de refrac9iedepinde de lungimea de undă, rezultă că 8i I depinde de /, după cum se 8i constată din
măsurătorile în spectrele de absorb9ie.
+ota9ia 1.1.1& exprimă faptul că absorb9ia 8i reflexia optică pot fi descrise de ecua9iile
electrodinamicii clasice dacă locul indicelui n de refrac9ie se consideră un indice
>ix1=nn −=∗ 1.1.&:
numit indice de refrac'ie comple$, Prin analogie cuε≈n
, se introduce 8i o constantă
-permiti+itate dielectrică comple$ă.
1&
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
13/19
ωπσ
+ε=ε+ε=ε∗ ?
iRRRiR
1.1.&?
în careRε reprezintă permiti+itatea dielectrică comple$ă obi8nuită iar
RRε caracterizează indicele
de refrac9ie al materialului. 3in 1.1.1&, prin ridicare la pătrat 8i identificarea păr9ilor reale 8i
respectiv imaginare, se mai ob9ine
εµ=χ− >1=n && ,
ωπµσ
=χ &
n &
1.1.&B
sau, 9in*nd seama că
1≈µ
,
Rε≡ε
8i
n =χ
, rezultă
R n && ε=− ,
ωπσ
= ?
n &
1.1.&
3in a doua rela9ie 1.1.& 8i din 1.1.&? se ob9ine
χ==ε &n&n &RR 1.1.&J
)e vede căRRε este legat direct de indicele de refrac9ie
χ= n .
@ot în electrodinamica clasică se arată că la limita dintre două medii la inciden9ă normală,
între unda reflectată E 8i unda incidentăiE există rela9ia "M#
1n
1nr
E
E
i
r
+−
==∗
∗∗
1.1.&D
1:
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
14/19
∗r fiind coeficientul de refle$ie comple$. 0aportul
&i
&
r
E
E0
= 1.1.&M
se determină experimental. Sin*nd seama de 1.1.&D 8i de 1.1.&: T 1.1.&J, rela9ia 1.1.&M devine
&&
&&
&
i
&
r
. >1n=
. >1n=
E
E0
++
+−==
1.1.:C
unde HnN.
4oeficientul de reflexie complex se poate scrie 8i sub forma "M#
ϕ∗ = ie0 r 1.1.:1
ungiul de fază fiind dat de rela9ia
1 n &tg&& −+
=ϕ
1.1.:&
Pentru a determina constantele optice ale substan9ei studiate este necesar să se măsoare
absorb9ia 8i reflexia optică precum 8i coeficientul de transmisie a luminii prin probă. Proba
trebuie să fie suficient de sub9ire pentru a permite transmisia unei păr9i însemnate din fasciculul
incident, dar suficient de groasă spre a putea negli(a efectele de interferen9ă. 4oeficientul de
transmisie @, egal cu raportul dintre densitatea luminii incidente 8i cea a luminii transmise, estedat de "D, M#
d&
1&
d
&
1&
&
1&
o e0 e
sin0 ?>0 1=
F
F@
α−α −ϕ+−
==
1.1.::
1?
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
15/19
1&0
fiind coeficientul de reflexie la limita dintre vid =mediul 1> 8i proba de constante n 8i
=mediul &>, dat de formula 1.1.:C7 este ungiul de inciden9ă, dat de 1.1.:?, iar d grosimea
probei =stratului sub9ire>. !n ma(oritatea cazurilor
&
1& >0 1= − V
ϕ&sin, iar formula 1.1.:: devine
"M#
d&&
1&
d&
1&
e0 1
e>0 1=@ α−
α−
−−
=
1.1.:?
3e fapt în formula 1.1.?, a =d> este intensitatea luminii transmise@F
, pe c*nd
CC RF>0 1=F =− este intensitatea luminii incidente =9in*ndu-se seama de reflexie> atunci 1.1.:? se
scrie>0 1=F
F@
C
@
−=
1.1.:B
FactoruldeG α−= reprezintă absorb9ia în stratul de grosime d. 3in 1.1.? a 8i 1.1.:J se
vede că
1 < @ H G 1.1.:
0ela9iile precedente împreună cu rala9ia 1.1.1 conduc la expresia
>@e1=0 0 d1&α−+=
1.1.:J
3in cele de mai sus reiese că pentru aflarea lui n 8i.
este necesar să se măsoare fie @ 8i 0,
fie @ pentru două probe de grosimi diferite ".
1B
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
16/19
Pentru straturile sub9iri depuse pe un suport transparent =sticlă, cuar9 etc>, expresiile
coeficien9ilor de transmisie @ 8i de reflexie 0 devin mai complicate. Gv*nd în vedere noută9ile
din figura 1.& se ob9ine "1C#
1
&1
&
&
&
1
1
&1
&
&
&
1
>W4GW=&cosr r &r r 1
>W4GW=&cosr r &r r
0
λ+π
++
λ+π
++=
, 1.1.:D
1
&1
&
&
&
1
&
&
&
1
>W4GW=&cosr r &r r 1
tt@
λ
+π++
=
. 1.1.:M
Figura.)./
!n aceste expresii&1&1 t,t,r ,r sunt coeficien9ii de reflexie 8i respectiv de transmisie la
interfa9a superioară 8i respectiv inferioară a stratului =a8a-numi9ii coeficien'i Fresnel >, iar1λ este
lungimea de undă a luminii în strat.
1
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
17/19
3acă inciden9a este normală = H C> iar1n C ≅
"B#, atunci, 9in*nd seama de rela9ia 1.1.&D 8i
de faptul că
1
n
tnr
1
&&
=+
, rela9iile 1.1.?C 8i 1.1.?1 devin
1
1&
1
&
1
&
&&
&
1
&
1
&
&
&
1
1
1&
1
&
1
&
&
&
1&
&
1
&
&
&
1
?cos>1n>=nn=nn?>nn>=n1=
?cos>1n>=nn=nn?>nn>=n1=
0
λ∆π
−−++++
λ∆π
−−+−++=
, 1.1.?&
1
1&
1
&
1
&
&
&
1&
&
&
&
1
&
1
&
&
1
?cos>1n>=nn=nn?>nn>=n1=
nnD@
λ∆π
−−++++=
. 1.1.?:
!n figura 1.: sunt reprezentate dependen9ele
λ∆
=1
1f @
8i
λ∆
= 1f 0
pentru diferite straturi
sub9iri =cu1n diferi9i>. 'ărimea
&W4GW1 +=∆
reprezintă diferen9a de drum prin strat între
fasciculele =razele>1@ 8i
&@ =fig.1.:>.
3in figura 1.: se vede că dacă1∆ este egal cu un număr întreg de
&
λ
, reflectivitatea 8i
transmisia răm*n nescimbate pe întreaga suprafa9ă a sticlei =v.curba punctată pentru sticlă, n H
1,B>. 3acă însă se depun straturi cu grosimi de un sfert de lungime de undă cu un număr impar
?
λ
, atunci 0 8i @ se modifică profund =fig.1.:>. 3in figura 1.: se vede că pentru asemenea
1J
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
18/19
grosimi ale straturilor, cu&:,1n1 =
, reflecti+itatea devine egală cu zero, iar transmisia a(unge la
1CCX =punctele a, b,... fig.1.:>. Gcest fapt este deosebit de important pentru ob9inerea straturilor
perfect transparente sau semitransparente, a straturilor reflectante etc.
Figura ).0
Bi(lio/ra)ie
"1# %. )p*nulescu, Fizica straturilor sub'iri 1i aplica'iile acestora, Ed.)tiin9ifică,
Wucure8ti, 1MJB.
1D
8/16/2019 Tehnici Spectroscopice de Caracterizare a Straturilor Subțiri
19/19
" $.;. Pavlov, 2etode de măsurarea parametrilor materialelor semiconductoare,
'oscova, 1MDJ.
":# %.%. Uanov, 3ptical 4roperties of Semiconductors, )cience, 'oscoL, 1MJJ.
"?# ttp22LLL.simadzu.com2an2molecularYspectro2uv2uv-:CCplus.tml
"B# ttp22LLL.Liipedia.org
"# 3. 3. )andu, 5lectronică Fizică i aplica iiș ț , vol. %, Editura Universită ii, Gl. %. 4uza,ț
1MM?
"J# %. 3ima, %. 'unteanu, 2ateriale i dispoziti+e semiconductoareș , Editura 3idactică iș
Pedagogica, Wucure ti, 1MD1ș
"D# @omas, 'icael E, 3ptical 4ropagation in Linear 2edia: 6tmosperic 7ases and
4articles& Solid%State 8omponents& and 9ater , Axford UniversitZ Press, U)G
"M# . Panove, 3ptical 4rocesses in Semiconductors, Prentice-[all, 1MJ1
"1C# \emple ). [. 0efractive < Inde$ ea+iour of 6morpous Semiconductors and
7lasses, PZs. 0ev. W, 1MJ:
"11# '%[US, 3.'., 5llipsometric and finite element modeling of cromium tin films,
presented at G)' %nternational 'eeting, $incoln, +ebrasa, Gpril D]R, 1MMM
"1 '%[US, 3.'.7 ^%0^PG@0%4^, ).0.7 0A[3E, ).$., 5llipsometric 6nal;sis on
8r