Post on 17-Aug-2020
- 1 -
预案编号:USCXM-YA-02
预案版本:V1
联芯集成电路制造(厦门)有限公司
危险化学品重大危险源
生产安全事故应急预案
(备案稿)
编制单位 联芯集成电路制造(厦门)有限公司
编制 陈凤魁、范协豪等 日期 2017 年 8 月 17 日
审核 谈文毅 日期 2017 年 9 月 21 日
发布日期 2017 年 9 月 26 日 实施日期 2017 年 9 月 26 日
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 1 -
颁布令
《联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生
产安全事故应急预案》是本公司应对危险化学品重大危险源生产安全
事故的技术指导性文件,是本公司提高应急救援能力,是本公司安全
管理体系的重要组成。本公司各部门人员应认真学习本预案,充分掌
握预案要求,严格按照预案要求进行日常培训和演练,认真贯彻执行。
《联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生
产安全事故应急预案》已按照专家评审意见,于2017年9月26日修订
完毕,现予于公布,并于2017年9月26日实施。
批准人(签字):
总经理
2017年9月26日
(单位盖章)
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 2 -
目录 综合应急预案 ........................................................................................................ 1
1、总则 ....................................................................................................................................... 1
1.1 编制目的 ......................................................................................................... 1
1.2 编制依据 ......................................................................................................... 1
1.2.1 法律依据 ............................................................................................... 1
1.2.2 法规及规范性文件依据 ...................................................................... 1
1.2.3 技术标准 ............................................................................................... 2
1.2.4 企业内部文件....................................................................................... 2
1.2.4 相衔接应急预案................................................................................... 2
1.3 适用范围 ......................................................................................................... 2
1.3.1 适用的区域范围................................................................................... 2
1.3.2 适用的事件类型................................................................................... 3
1.3.3 适用的应急响应级别 .......................................................................... 3
1.4 应急预案体系 ................................................................................................. 3
1.5 应急工作原则 ................................................................................................. 3
1.5.1 以人为本、减少危害 ........................................................................... 3
1.5.2 统一指挥、分级负责 ........................................................................... 4
1.5.3 重视次生、衍生灾害 ........................................................................... 4
2 危险性分析 ............................................................................................................................. 4
2.1 公司概况 ......................................................................................................... 4
2.1.1 公司简介及周边情况 .......................................................................... 4
2.1.2 总平面布置........................................................................................... 4
2.1.3 危险化学品储存................................................................................... 5
2.1.4 危险化学品重点场所及关键设备基本情况 ...................................... 5
2.2 危险源与风险分析 ....................................................................................... 13
2.2.1 危险源识别......................................................................................... 13
2.2.2 主要事故风险分析结果 ..................................................................... 15
2.2.3 重大危险源辨识.................................................................................. 18
3 组织机构及职责 ................................................................................................................... 19
3.1 应急组织体系 ............................................................................................... 19
3.2 指挥机构及职责 ........................................................................................... 20
4 预防与预警 ........................................................................................................................... 26
4.1 危险源监控 ................................................................................................... 26
4.2 预警行动 ....................................................................................................... 29
4.2.1 预警条件 .............................................................................................. 29
4.2.2 预警级别和信息发布方式、方法、程序 ........................................ 30
4.2.3 预警解除 .............................................................................................. 30
4.3 信息报告与处置 ........................................................................................... 30
4.3.1 信息报告与通知................................................................................. 30
4.3.2 信息上报 ............................................................................................. 31
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 3 -
4.3.3 信息传递 ............................................................................................. 32
5 应急响应 ............................................................................................................................... 32
5.1 响应分级 ....................................................................................................... 32
5.2 响应程序 ....................................................................................................... 34
5.2.1 应急响应示意图................................................................................. 34
5.2.2 扩大应急的条件和原则 ..................................................................... 34
5.3 应急疏散 ........................................................................................................ 35
5.3.1 应急集散地点..................................................................................... 35
5.3.2 疏散时机 .............................................................................................. 35
5.3.3 疏散信号 .............................................................................................. 35
5.3.4 疏散路线 .............................................................................................. 35
5.4 应急结束 ....................................................................................................... 35
5.4.1 应急终止的条件................................................................................. 35
5.4.2 应急终止程序..................................................................................... 35
5.4.3 应急结束后续工作............................................................................. 36
6 信息发布 ............................................................................................................................... 36
7 后期处置 ............................................................................................................................... 36
7.1 现场保护 ....................................................................................................... 36
7.2 现场洗消 ....................................................................................................... 36
7.3 污染物处理 ................................................................................................... 37
7.4 医疗救治 ....................................................................................................... 37
7.5 生产秩序恢复 ............................................................................................... 37
7.6 善后赔偿 ....................................................................................................... 37
8 保障措施 ............................................................................................................................... 38
8.1 通信与信息保障 ........................................................................................... 38
8.2 应急队伍保障 ............................................................................................... 38
8.3 应急装备保障 ............................................................................................... 38
8.3.1 资料存放地点、保管人 .................................................................... 38
8.3.2 应急电源、照明................................................................................. 38
8.3.3 应急救援设备、物资、药品 ............................................................ 38
8.3.4 消防设备、器材及人员防护装备 .................................................... 38
8.4 经费保障 ....................................................................................................... 38
8.5 其他保障 ....................................................................................................... 38
8.5.1 保障制度目录..................................................................................... 39
8.5.2 外部救援资源..................................................................................... 39
9 应急预案管理 ....................................................................................................................... 39
9.1 应急预案培训 ............................................................................................... 39
9.2 演练 ............................................................................................................... 39
9.2.1 应急预案演练的组织 ........................................................................ 40
9.2.2 应急预案演练的编制与准备工作 .................................................... 40
9.2.3 应急预案演练的实施 ........................................................................ 40
9.2.4 应急预案演练的评估和总结 ............................................................ 40
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 4 -
9.3 应急预案修订 ............................................................................................... 40
10 奖惩 ..................................................................................................................................... 41
10.1 奖励 ............................................................................................................. 41
10.2 责任追究 ..................................................................................................... 41
10.3 保险 ............................................................................................................. 41
11 附则 ..................................................................................................................................... 41
11.1 应急预案备案 ............................................................................................. 41
11.2 维护和更新 .................................................................................................. 41
11.3 制定与解释 .................................................................................................. 41
现场处置方案 ........................................................................................................................... 42
1 大宗特殊气体供应站现场处置方案 ................................................................................... 42
1.1 大宗特殊气体供应站主要事故风险分析如下表 ....................................... 42
1.2 事故特征 ....................................................................................................... 42
1.3 应急组织与职责 ........................................................................................... 43
1.4 应急处置 ....................................................................................................... 43
1.4.1 氢气钢瓶组泄漏应急处置 ................................................................ 43
1.4.2 液氨 Y-钢瓶泄漏应急处置 ............................................................... 43
1.4.3 氨气 BSGS 管路泄漏应急处置 ....................................................... 44
1.4.4 硅烷 Y-钢瓶泄漏应急处置 ............................................................... 44
1.4.4 硅烷 BSGS 管路泄漏应急处置 ....................................................... 44
1.4.5 三氟化氮槽车集中输送阀泄漏应急处置 ........................................ 44
1.5 注意事项 ....................................................................................................... 44
1.5.1 气体泄漏应急时注意事项 ................................................................ 44
1.5.2 佩戴个人防护器具方面注意事项 .................................................... 45
1.5.3 使用抢险救援器材方面的注意事项 ................................................ 45
1.5.4 采取救援对策或措施防面的注意事项 ............................................ 45
1.5.5 现场自救和互救的注意事项 ............................................................ 45
1.5.6 现场应急处置能力确认和人员安全防护等事项 ............................ 45
1.5.7 应急救援结束后的注意事项 ............................................................ 45
1.5.8 其他需要特别警示的事项 ................................................................ 46
2 主车间气体房现场处置方案 ............................................................................................... 46
2.1 主车间气体房主要事故风险分析如下表 ................................................... 46
2.2 事故特征 ....................................................................................................... 46
2.3 应急组织与职责 ........................................................................................... 47
2.4 应急处置 ....................................................................................................... 47
2.4.1 氢气/氘气泄漏应急处置 ................................................................... 47
2.4.2 氯气泄漏泄漏应急处置 .................................................................... 47
2.4.3 磷化氢泄漏泄漏应急处置 ................................................................ 48
2.4.4 氟化氢气体泄漏应急处置 ................................................................ 48
2.5 注意事项 ....................................................................................................... 48
2.5.1 气体泄漏应急时注意事项 ................................................................ 48
2.5.2 佩戴个人防护器具方面注意事项 .................................................... 49
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 5 -
2.5.3 使用抢险救援器材方面的注意事项 ................................................ 49
2.5.4 采取救援对策或措施防面的注意事项 ............................................ 49
2.5.5 现场自救和互救的注意事项 ............................................................ 49
2.5.6 现场应急处置能力确认和人员安全防护等事项 ............................ 49
2.5.7 应急救援结束后的注意事项 ............................................................ 49
2.5.8 其他需要特别警示的事项 ................................................................ 49
3 主车间桶槽区现场处置方案 ............................................................................................... 50
3.1 主车间桶槽区主要事故风险分析如下表 ................................................... 50
3.2 事故特征 ....................................................................................................... 50
3.3 应急组织与职责 ........................................................................................... 51
3.4 应急处置 ....................................................................................................... 51
3.4.1 异丙醇泄漏应急处置 ........................................................................ 51
3.4.2 氨水泄漏应急处置............................................................................. 52
3.4.3 氢氟酸泄漏应急处置 ........................................................................ 52
3.4.4 双氧水泄漏应急处置 ........................................................................ 52
3.4.5 化学品灼伤应急处置 ........................................................................ 52
3.5 注意事项 ....................................................................................................... 53
3.5.1 液体泄漏应急时注意事项 ................................................................ 53
3.5.2 佩戴个人防护器具方面注意事项 .................................................... 53
3.5.3 使用抢险救援器材方面的注意事项 ................................................ 53
3.5.4 采取救援对策或措施防面的注意事项 ............................................ 54
3.5.5 现场自救和互救的注意事项 ............................................................ 54
3.5.6 现场应急处置能力确认和人员安全防护等事项 ............................ 54
3.5.7 应急救援结束后的注意事项 ............................................................ 54
3.5.8 其他需要特别警示的事项 ................................................................ 54
4 主车间化学房现场处置方案 ............................................................................................... 54
4.1 主车间化学房主要事故风险分析如下表 ................................................... 54
4.2 事故特征 ....................................................................................................... 54
4.3 应急组织与职责 ........................................................................................... 55
4.4 应急处置 ....................................................................................................... 55
4.4.1 显影剂泄漏应急处置 ........................................................................ 55
4.4.2 BOE100:1 泄漏应急处置 ................................................................. 55
4.4.3 化学品灼伤应急处置 ........................................................................ 56
4.5 注意事项 ....................................................................................................... 56
4.5.1 化学房液体泄漏应急时注意事项 .................................................... 56
4.5.2 佩戴个人防护器具方面注意事项 .................................................... 57
4.5.3 使用抢险救援器材方面的注意事项 ................................................ 57
4.5.4 采取救援对策或措施防面的注意事项 ............................................ 57
4.5.5 现场自救和互救的注意事项 ............................................................ 57
4.5.6 现场应急处置能力确认和人员安全防护等事项 ............................ 57
4.5.7 应急救援结束后的注意事项 ............................................................ 57
4.5.8 其他需要特别警示的事项 ................................................................ 57
5 W1-W4 仓库现场处置方案 .................................................................................................. 57
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 6 -
5.1 W1-W4 仓库主要事故风险分析如下表 ..................................................... 57
5.2 事故特征 ....................................................................................................... 59
5.3 应急组织与职责 ........................................................................................... 60
5.4 应急处置 ....................................................................................................... 60
5.4.1 异丙醇泄漏应急处置 ........................................................................ 60
5.4.2 光阻液泄漏应急处置 ........................................................................ 61
5.4.3 氯气泄漏应急处置............................................................................. 61
5.4.4 磷化氢泄漏应急处置 ........................................................................ 61
5.4.5 氢气/氘气泄漏应急处置 ................................................................... 61
5.4.5 二氯硅烷泄漏应急处置 .................................................................... 61
5.4.4 四(二甲氨基)钛泄漏应急处置 .................................................... 62
5.4.4 化学品灼伤应急处置 ........................................................................ 62
5.5 注意事项 ....................................................................................................... 62
5.5.1 W1-W4 仓库应急时注意事项 ........................................................... 62
5.5.2 佩戴个人防护器具方面注意事项 .................................................... 63
5.5.3 使用抢险救援器材方面的注意事项 ................................................ 63
5.5.4 采取救援对策或措施防面的注意事项 ............................................ 63
5.5.5 现场自救和互救的注意事项 ............................................................ 63
5.5.6 现场应急处置能力确认和人员安全防护等事项 ............................ 63
5.5.7 应急救援结束后的注意事项 ............................................................ 63
5.5.8 其他需要特别警示的事项 ................................................................ 63
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 1 -
综合应急预案
1、总则
1.1 编制目的
为了明确联芯集成电路制造(厦门)有限公司在危险化学品重大危险源事故
中的应急职责,增强对安全生产事故的应变能力,最大限度地降低事故危害程度,
保障人民生命、财产安全,保护生态环境,维护社会和企业内部稳定,结合联芯
集成电路制造(厦门)有限公司的实际情况,特制定本应急预案。
本预案力求达到如下目的:规范联芯集成电路制造(厦门)有限公司应对安
全生产事故的行为,全面提高公司对各类生产安全事故的应急处理能力,及时、
有效地组织开展事故抢险,控制事故扩散和蔓延,最大限度地预防和减少生产安
全事故及其造成的损害,保障公司职工和周边单位、群众的生命安全和财产安全,
确保公司生产经营的顺利进行。
1.2 编制依据
1.2.1 法律依据
1.《中华人民共和国安全生产法》(国家主席令[2014]第13号)
2.《中华人民共和国消防法》(国家主席令[2008]第6号)
3.《中华人民共和国劳动法》(国家主席令[1994]第28号)
4.《中华人民共和国防震减灾法》(国家主席令[2008]第7号)
5.《中华人民共和国特种设备安全法》(国家主席令[2013]第4号)
1.2.2 法规及规范性文件依据
1.《危险化学品安全管理条例》(国务院令第591号,国务院令第645号修
正)
2.《特种设备安全监察条例》(国务院令第549号)
3.《国家安全监管总局关于公布首批重点监管的危险化学品名录的通知》(安
监总管三〔2011〕95号)
4.《国家安全监管总局办公厅关于印发首批重点监管的危险化学品安全措施
和应急处置原则的通知》(安监总厅管三〔2011〕142号)
5.《危险化学品重大危险源监督管理暂行规定》(国家安全生产监督管理总
局令第40号,第79号令修正)
6.《关于印发〈福建省危险化学品重大危险源监督管理暂行规定〉的通知》
(闽安委〔2012〕28号)
7.《生产安全事故应急预案管理办法》(安监总局令第88号)
8.《防雷减灾管理办法》(中国气象局令第24号)
9.《福建省安全生产条例》(2016年12月2日福建省第十二届人民代表大会
常务委员会第二十六次会议通过)
10.《危险化学品目录》(2015版)
11.《国家安全监管总局办公厅关于印发危险化学品目录(2015版)实施指南
(试行)的通知》(安监总厅管三[2015]80号)
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 2 -
12.《危险化学品生产、储存装置个人可接受风险标准和社会可接受风险标
准(试行)》(国家安全生产监督管理总局公告2014第13号)
1.2.3 技术标准
1.《建筑设计防火规范》(GB50016-2014)
2.《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472-2008)
3.《洁净厂房设计规范》GB50073-2013
4.《电子工业职业安全卫生设计规范》(GB50523-2010)
5.《石油化工全厂性仓库及堆场设计规范》(GB50475-2008)(参照)
6.《常用化学危险品贮存通则》(GB15603-1995)
7.《特种气体系统工程技术规范》(GB50646-2011)
8.《氢气站设计规范》(GB50177-2005)
9.《危险化学品重大危险源辨识》(GB18218-2009)
10.《工业企业总平面设计规范》(GB50187-2012)
11.《建筑灭火器配置设计规范》(GB50140-2005)
12.《防止静电事故通用导则》(GB12158-2006)
13.《企业职工伤亡事故分类标准》(GB6441-86)
14.《供配电系统设计规范》(GB50052-2009)
15.《低压配电设计规范》(GB50054-2011)
16.《安全标志及其使用导则》(GB2894-2008)
17. 《石油化工企业可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》
(GB50493-2009)
18.《危险化学品重大危险源安全监控通用技术规范》(AQ 3035-2010)
19.《氨气检测报警仪技术规范》(AQ/T3044-2013)
20.《作业环境气体监测报警仪通用技术要求》(GB12358 -2006)
21.《固定式压力容器安全技术监察规程》(TSG 21-2016)
22.《气瓶安全技术监察规程》(TSG R0006-2014)
23.《危险化学品单位应急救援物资配备要求》(GB30077-2013)
24.《压力管道安全技术监察规程—工业管道》(TSG D0001-2009)
25.《生产经营单位生产安全事故应急预案编制导则》(GB/T29639-2013)
1.2.4 企业内部文件
(1)安全管理规章制度
(2)安全操作规程
(3)危险化学品重大危险源安全评估报告
1.2.4 相衔接应急预案
《翔安区危险化学品事故灾难应急预案》
《气体供应站现场处置方案》(联氨精密气体(厦门)有限公司)
1.3 适用范围
1.3.1 适用的区域范围
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 3 -
本应急预案适用于联芯集成电路制造(厦门)有限公司 W1-W4仓库、大宗特
殊气体供应站(气体供应房 2)、主车间气体房、主车间桶槽区、主车间化学房
内生产安全事故的应急救援及处置工作。
1.3.2 适用的事件类型
本应急预案适用于氢气泄漏、液氨泄漏、硅烷泄漏、三氟化氮泄漏、氯气泄
漏、氢气/氘气泄漏、二氯硅烷泄漏、磷化氢泄漏、氟化氢泄漏、显影液泄漏、
BOE100:1泄漏、双氧水泄漏、氨水泄漏、氢氟酸泄漏、火灾、中毒、化学品灼
伤等事故。
1.3.3 适用的应急响应级别
按照事故性质、灾害程度、影响范围等因素,应急响应分级由低到高分为Ⅲ、
Ⅱ、Ⅰ三个级别。Ⅱ级以下应急响应,超出Ⅱ级则需向上一级应急机构请求支援;
上一级应急预案启动后,我公司服从其指挥,并根据本预案相关内容做好以下工
作:
(1)外部救援力量到达前的应急工作;
(2)外部救援力量到达后的配合工作。
1.4 应急预案体系
本公司应急预案体系如下:
备注:气体供应房现场处置方案与联氨精密气体(厦门)有限公司危险化学
品现场处置方案相衔接。
1.5 应急工作原则
1.5.1以人为本、减少危害
坚持“安全第一、预防为主 、综合治理”的指导原则,保障人员生命及健
康,最大限度地减少事故危害及造成的人员伤亡和危害。
危 险
化 学
品 重
大 危
险 源
生 产
安 全
事 故
应 急
预 案
综合应急预案
现场处置方案
1、W1-W4 仓库现场处置方案
2、大宗特殊气体供应站现场处置方案
3、主车间气体房现场处置方案
4、主车间桶槽区现场处置方案
5、主车间化学房现场处置方案
6、气体供应房现场处置方案(联氨精
密气体(厦门)有限公司)
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 4 -
1.5.2统一指挥、分级负责
应急工作应服从应急指挥部的统一指挥,各班组、人员根据预案制定的职责
分工迅速形成第一、第二救援力量,分级负责,各司其职,相互配合,协同作战,
高效、有序地运作。公司服从上级部门或当地政府部门统一领导的原则。
1.5.3重视次生、衍生灾害
应急工作必须充分考虑可能导致次生灾害的严重性,防止突发事件扩大化。
2 危险性分析
2.1 公司概况
2.1.1 公司简介及周边情况
联芯集成电路制造(厦门)有限公司成立于 2014 年 10 月。公司位于厦门
市翔安区火炬(翔安)产业区,建设 12 英寸 55~28nm 集成电路生产线年产晶圆
30 万片。
公司位于厦门市翔安区火炬(翔安)产业区下潭尾光电产业集中区,舫山西路
与万家春路交叉口西北侧 01 地块。企业位于福厦高速公路南侧,沿翔安海底隧
道到厦门本岛仅 18 公里。翔安区的两条主要干道-翔安大道(南北走向,连接高
速公路和海底隧道);水琼线(东西走向,泉州水头至翔安琼头)穿过火炬(翔
安)产业区。下潭尾光电产业集中区位于火炬翔安产业区西北部,即福厦高速公
路与翔安大道交叉道口西南侧。产业区内集中分布了友达光电、宸鸿科技、三安
光电等光电企业。
公司北面为塔埔村,东北侧为宸鸿科技厂区,东侧紧邻万家春路,隔万家春
路为空地,东南侧为友达光电厂区,南侧紧邻舫山西路,隔舫山西路为翔安体育
广场及桦园小区(友达光电宿舍、友达邻里中心),南侧西南约 130m 处为西炉
村居住区,公司西侧隔空地为电气硝子厂区。
2.1.2 总平面布置
厂区占地面积约 254697.795m2,主出入口位于厂区东侧万家春路,厂区北
侧设有一处消防专用出入口。
企业在厂区平面布置上分为三大功能区:
生产区:由主车间、动力中心 1、动力中心 2、生产设施用房构成,位于厂
区中南部,建筑布局采用南北向,与万家春路平行布置,利于厂内交通组织、建
筑空间组合、管线铺设及管架架设。单体根据内部工艺流程及生产特点设为大体
量、矩形状高层厂房。
辅助生产区:由变电站、气体供应房 1、气体供应房 2、气体罐区、仓储 1、
仓储 2、仓储 3、仓储 4、废水站、车间实验室 1、资源回收房 1、资源回收房 2、
油槽、雨水调蓄设施 2、燃气减压站构成,位于厂区北侧,紧邻生产区设置。该
区域集中布置生产所需各类物资供应设施,含污水处理、危险品仓库、气体供应
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 5 -
站等可能散发有毒、有害物质的场所,上述场所位于厂区全年最小频率风向(本
地全年最小频率风向为西北风、北风)的上风侧侧。
辅助设施区:由倒班宿舍、附属设施、警卫室 1、警卫室 2、警卫室 3、警
卫室 4、警卫室 5、机动车棚、非机动车棚等组成,辅助建筑与厂房平行布置,
位于厂区南侧及西北角,警卫室根据管控要求,零散分布在厂区对外出入口处。
2.1.3 危险化学品储存
公司目前使用的危险化学品有:氢气/氘气、甲烷/天然气、乙炔、乙烯、丙
烯、一氧化碳、硅烷、有机硅烷、乙硅烷、氟甲烷、乙硼烷与氢气混合气、锗烷
与氢气混合气、氧气、氮气、氩气、氦气、氙气、二氧化碳、二氟甲烷、三氟甲
烷、三氯化硼、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫、八氟环丁烷、一氧化二氮、一
氧化氮、二氧化硫、三氟化氮、氨气、氯气、砷化氢、磷化氢、二氯硅烷、三氯
化硼、溴化氢、氯化氢、氟化氢、六氟化钨、四氟化硅、丙酮、乙醇、四甲基硅
烷、二氯乙烯、异丙醇、松油烯、六甲基二硅烷胺、乳酸乙酯、双氧水、四氯化
钛、硫酸、磷酸、硝酸、氢氟酸、盐酸、乙酸、四氯化硅、氨水等。
2.1.4 危险化学品重点场所及关键设备基本情况
2.1.4.1 大宗特殊气体供应站(气体供应房 2)
气体供应房 2 位于厂区东北角,其东侧为变电站及油槽,南侧为废水站、西
侧为气体罐区,北侧为厂区围墙。气体供应房 2,建筑面积 1257.720m2,单层
门式钢架钢结构厂房,建筑高度约为 5.4m。站房内设有 3 条三氟化氮长管气瓶
供气车位,2 条硅烷 Y 钢瓶(每只钢瓶工作压力 1400psi)供应线,2 条液氨 Y
钢瓶供应线,2 条一氧化二氮 Y 钢瓶供应线,1 条氢氧氮气混合气钢瓶供应线(备
用氢气集装格 1 组,每组 12 支氢气钢瓶),1 条二氧化碳钢瓶供应线,1 条高压
氮气钢瓶供应线。
气体供应房 2 存储及供应的气体见表 2-1。
表 2-1 气体供应房 2 供应气体表
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
1 二氧化碳 CO2 100% 气态 窒息 278.12 40L(100kg/cm2)/瓶
气体供
应房 2
2 氮气 N2 100% 液态 窒息 88.48 40L(100kg/cm2)/瓶
3 一氧化二氮 N2O 100% 液态 氧化性有毒 1,208.00 302kg(445L)/瓶
4 三氟化氮 NF3 100% 液态 氧化性有毒 7,500 3750kg/槽车
5 氨气 NH3 100% 气态 易燃易爆、有毒 900.00 225kg(445L)/瓶
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 6 -
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
6 硅烷 SiH4 100% 气态 自燃、窒息性 500.00 125kg(440L)/瓶
7 氢气/氮气 H2 4%;
N2 96% 气态 窒息性 12.04 47L(120kg/cm
2)/瓶
8 高压氢气 H2 100% 气态 易燃易爆 6.97 49L(150kg/cm2)/瓶
气体供应房 2 北侧毗邻设有 Y 钢瓶区,主要存放氨气、一氧化二氮、氮气、
氮氢混合气(4%氢)等的特种气体的钢瓶。Y-钢瓶储存区存放的气体如表 2-2
气体供应房 2 所示。
表 2-2 气体供应房 2 Y-钢瓶储存区气体表
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
1 一氧化二氮 N2O100% 气态 氧化性有毒 9,060.00 302kg(445L)/瓶
气体供
应房 2
Y 钢储
存区
2 氮气 N2100% 气态 窒息 1,769.60 40L(100kg/cm2)/瓶
3 氢气/氮气 H2 4%;
N2 96% 气态 窒息性 144.48 47L(120kg/cm
2)/瓶
4 硅烷 SiH4 100% 气态 自燃、窒息性 500.00 125kg(440L)/瓶
5 氨气 NH3100% 气态 易燃易爆、有毒 1,350.00 225kg(445L)/瓶
2.1.4.2 W1-W4 仓库
化学品仓库为仓储 W1~W4 位于厂区西北侧辅助生产区,其西侧为倒班宿舍,
东侧为气体罐区和气体供应房 1。其中 W1 为甲类化学品仓库,W2 为甲类禁水
性物质仓库,W3 为乙类化学品仓库,W4 为丙类仓库。各化学品仓库内化学品
按危险品性能分区、分类、分库贮存:压缩气体和液化气体设单独的气体存放间;
氧化剂单独存放,没有与易燃液体、遇湿易燃物品混存;有毒物品没有露天存放;
腐蚀性物品没有与液化气体和其他物品共存。
仓储 1 为甲类仓库,耐火等级一级,框架结构,单层,建筑高度 7.3m,建
筑占地面积 1298.038 ㎡,总建筑面积 1298.038 ㎡。共设 5 个隔间,分别为甲
类易燃气体库 1、甲类易燃气体库 2、甲类溶剂库 1、甲类溶剂库 2、冷藏库。
仓储 2 为甲类仓库,耐火等级一级,框架结构,单层,建筑高度 7.1m,建
筑占地面积 181.122 ㎡,总建筑面积 181.122 ㎡,共设 3 个隔间,分别为甲类
禁水性物质仓间 1、甲类禁水性物质仓间 2、甲类仓间 3。
仓储 3 为乙类仓库,耐火等级二级,框架结构,单层,建筑高度 7.1m,建
筑占地面积 220.225 ㎡,总建筑面积 220.225 ㎡,共设 2 个隔间,分别为乙类
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 7 -
仓储 1、乙类仓储 2。
仓储 4 为丙类仓库,耐火等级二级,框架结构,建筑层数 4 层,建筑高度
23.5m,建筑占地面积 4214.828 ㎡,总建筑面积 15471.592 ㎡,一层设酸存放
间、碱存放间和丙类溶剂存放间。
W1~W4 所存放的化学品如表达 2-3 示。
表 2-3 W1~W4 仓库化学品存储表
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
1 乙酸 CH3COOH 液态 易燃、腐蚀性 2,400.00 200kg/桶
化学品
库 W1
有机溶
剂间
2 异丙醇(IPA) IPA 100% 液态 易燃 35,717.00 200L/桶
3 丙酮 CH3COCH3 液态 易燃 300.00 3kg/瓶
4 六甲基二硅
胺
[(CH3)3Si]2N
H 100% 液态 易燃 765.00 200L/桶
5 正硅酸乙酯 TEOS100% 液态 易燃 1,900.00 190kg/桶
6 砷化氢 ASH3100% 气态 易燃、剧毒 18.00 1.2kg(2.2L)/瓶 化学品
库 W1
甲类
气体房
1
7 磷化氢 PH3100% 气态 剧毒 7.80
0.52kg(2.2L)瓶
8 氯气 Cl2100% 气态 剧毒 500.00 50kg(47L)瓶
9 甲烷 CH4100% 气态 易燃易爆 8.69 44L(2265Psig)/瓶
化学品
库 W1
甲类气
体房 2
10 二氯硅烷 SiH2Cl2
100% 气态 易燃有毒 148.00 37kg(40L)/瓶
11 八氟环戊烯 C5F8 100% 气态 有毒 30.00 10kg(10L)/瓶
12 甲烷/氩气 CH4 10%;
Ar 90% 气态 易燃易爆 7.09 40L(120kg/cm
2)/瓶
13 全氟丁二烯 C4F6 100% 气态 窒息性 80.00 10kg(10L)/瓶
14 乙硼烷/氢气 B2H6 1%;
H2 99% 气态 易燃易爆 19.11 47L(120kg/cm
2)/瓶
15 乙硼烷/氩气 B2H6 5%;
Ar 95% 气态 窒息性 9.67 44L(750Psig)/瓶
16 磷化氢/氮气 PH3 4.5%;
N2 95.5% 气态 窒息性 52.49 47L(100kg/cm
2)/瓶
17 锗烷 /氢气 GeH4 1%;
H2 99% 气态 易燃易爆 50.19 44L(150kg/cm
2)/瓶
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 8 -
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
18 氢气/氦气 H2 5%;
He 95% 气态 窒息性 11.84 40L(120kg/cm)/瓶
19 有机硅烷
SiH(CH3)3
3MS
3MS 100% 气态 易燃 52.00 26kg(49L)/瓶
20 乙硅烷 Si2H6 100% 气态 易燃易爆 12.00 3kg(10L)/瓶
21 氘气 D2 D2 100% 气态 易燃易爆 42.20 44L(2000Psig)/瓶
22 丙烯 C3H6 100% 气态 易燃 200.00 44L/瓶
23 二氟甲烷 CH2F2 100% 气态 易燃 68.00 6.8kg(10L)/瓶
24 乙烯 C2H4 100% 气态 易燃 16.26 49L(150kg/cm2)/瓶
25 氟甲烷 CH3F 100% 气态 易燃 50.68 1.81kg(7.3L)/瓶
26 一氧化碳 CO 100% 气态 易燃、有毒 130.83 46L(150kg/cm2)/瓶
27 光阻液 乳酸乙酯 液态 易燃 7,157.63 1Gal/瓶 W1 冷
藏室
28 四甲基硅甲
烷(4MS) 4MS 100% 液态 易燃 190.00 190kg/桶
化学品
库 W1
溶剂间
29 二氧乙基甲
基硅烷 DEMS 100% 液态 易燃 314.00 13.5kg(19L)/瓶
30 Trans-LC1,2-
二氯乙烯
1,2-C2H2Cl2
100% 液态 易燃 45.00 22.5kg(5Gal)/瓶
31 无水酒精 C2H4OH 液态 易燃 632.00 50L/桶
32 四甲基硅甲
烷 Z4MS Z4MS 100% 液态 易燃 127.80 127.8kg/桶
33 磷酸三乙酯 TEPO 100% 液态 可燃 54.00 9kg(5GAL)/桶
34 六氯化二硅
烷
HCDS(Si2Cl6
) 100% 液态 可燃 100.00 10kg/瓶
化学品
库 W2
35 四(二甲氨
基)钛
TDMAT
(C8H24N4Ti)
100%
液态 易燃 39.60 2.2kg/瓶
36 五-二甲基氨
钽
PDMAT(Ta[
N(CH3)2]5)
100%
液态 禁水性、易燃 39.60 2.2kg/瓶
37 四氯化铪 HfCl4 100% 液态 腐蚀性 5.00 2.5kg/瓶
38 TOMCATS C4H16O4Si4 液态 易燃 5.00 2.5kg/瓶
39 双氧水 H2O2 31% 液态 氧化性 100.00 25L/瓶 化学品
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 9 -
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
40 原子转移自
由基聚合
(ATRP)
C10H16
(98.5%)
C10H14(1.5
%)
液态 可燃 380.40 15.65kg/瓶 库 W3
41 硝酸 HNO3 70% 液态 强氧化性、强腐
蚀性 43,872.00 200L/桶
42 晶边清洗液 单甲基醚丙
二醇 70%
乙酸丙二醇
单甲基醚酯
30%
液态 易燃 8,393.40 200L/桶
43 显影剂 环戊酮 50% 液态 易燃 340.20 180L/桶
44 正光阻去除
液
三乙醇胺
40% 液态 可燃 2,736.00 200L/桶
化学品
库 W4
酸存
放间
45 N-甲基吡咯
烷酮(NMP) NMP 100% 液态 可燃 20,030.40 208.65kg/桶
46 乙二醇 C2H4(OH)2
100% 液态 可燃 12,200.00 200L/桶
47 盐酸 HCl 35% 液态 腐蚀性 9,600.00 57.25kg/桶
48 四氯化钛 TiCl4 100% 气态 高毒、强腐蚀性 40.00 20kg/桶
49 磷酸 H3PO4 85% 液态 腐蚀性 17,100.00 75kg/桶
50 硫酸铜溶液 CuSO4:20% 液态 腐蚀 71,200.00 200L/桶
51 研磨浆 SiO2 液态 —— 528,859.17 200L/桶
化学品
库 W4
碱存
放间
52 去光阻液 CLK888
100% 液态 可燃 3,200.00 200L/桶
53 去光阻液 EKC270
100% 液态 腐蚀性 9,630.00 55Gal/桶
54 去光阻液 EKC580
100% 液态 腐蚀性 9,630.00 55Gal/桶
55 BOE100:1
(NH4F/HF)
NH4F:39.58
%,
HF:0.52%
气态 有毒、腐蚀性 3,200.00 50kg/桶
56 显影剂(四甲
基氢氧化铵)
(CH3)4NOH
2.38% 液态 腐蚀性 2,800.00 200L/桶
57 清洗液 乙醇胺 10%
TMAH 2.5% 液态 腐蚀性 800.00 55Gal/桶
2.1.4.3 主车间气体房
特殊气体供应房设于主车间一层北侧,分为可燃性气体房 1、可燃性气体房
3、腐蚀性气体房。可燃性气体房主要供应一氧化碳、甲烷、磷烷、硅烷、二氯
硅烷等可燃性气体,可燃性特气钢瓶均置于相应的气柜内,采用双工艺气瓶内置
吹扫氮气瓶的配置形式,即每个气柜放置 2 支特气气瓶(一用一备,按设定的压
力自动切换)和一支氮气瓶(置换、吹扫用),气柜自带急停铵钮、气体浓度检
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 10 -
测报警(信号传送至消控中心,并联动区域声光报警)和机械排风。腐蚀性气体
(氯气、二氧化硫、溴化氢、氟化氢等)和惰性气体房(惰性气体混合气、氙气
等)设于主厂房西侧特气房内,特气钢瓶均置于相应的气柜内,每个气柜放置 2
支特气气瓶(一用一备,按设定的压力自动切换)和一支氮气瓶(置换、吹扫用),
气柜自带急停铵钮、气体浓度检测报警(信号传送至消控中心,并联动区域声光
报警)和机械排风,个别惰性气体的气瓶为直接供气。腐蚀性气体房旁设有惰性
气体纯化间,内置氧气、氮气、氩气、氦气等的气体纯化器。
主车间气体房供应气体如表 2-4 所示。
表 2-4 主车间气体房气体供应表
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
1 三氟化硼 BF3 100% 气态 有毒 1.32 0.33kg(2.5L)/瓶
主车间
一层
腐蚀性
气体房
2 四氯硅烷 SiCl4 100% 气态 窒息 40.00 10kg(10L)/瓶
3 六氟化钨 WF6 100% 气态 有毒 100.00 25kg(10L)/瓶
4 氪气/氖气 Kr 1.25%;
Ne 98.75% 气态 窒息 15.31 49L(2400Psig)/瓶
5 八氟环丁烷 C4F8 100% 气态 窒息性 120.00 30kg(47L)/瓶
6 氦气 He 100% 气态 窒息 7.58 40L(150kg/cm2)/瓶
7 一氧化氮 NO 100% 气态 有毒 28.44 40L(150kg/cm2)/瓶
8 六氟化硫 SF6 100% 气态 窒息 200.00 50kg(47L)/瓶
9 四氟化硅 SiF4 100% 气态 有毒 40.00 10kg(10L)/瓶
10 六氟乙烷 C2F6 100% 气态 窒息性 172.00 43kg(44L)/瓶
11 四氟化碳 CF4 100% 气态 氧化性 360.00 30kg(44L)/瓶
12 三氟甲烷 CHF3 100% 气态 有毒 60.00 30kg(47L)/瓶
13 氯气 Cl2 100% 气态 剧毒 200.00 50kg(47L)瓶
14 溴化氢 HBr 100% 气态 有毒 300.00 50kg(47L)瓶
15 二氧化硫 SO2 100% 气态 有毒 300.00 50kg(49L)瓶
16 三氯化硼 BCl3 100% 气态 有毒 300.00 50kg(47L)瓶
17 氙气 Xe 100% 气态 窒息 146.26 47L(150kg/cm2)/瓶
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 11 -
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
18 氙气/氩气/氖
气
Xe 10ppm;
Ar 3.5%;
Ne 96.449%
气态 窒息 14.02 49L(150kg/cm2)/瓶
19 HCL(气态) HCl 毒性腐蚀性 100.00 25kg(49L)/瓶
20 氟气/氮气 F2 20%;
N2 80% 气态 有毒 11.14 47L(50kg/cm
2)/瓶
21 氟气/氩气/氖
气
F2 1%;
Ar 3.5%;
Ne 95.5%
气态 有毒、窒息 2.38 49L(50kg/cm2)/瓶
22 氟气/氪气/氖
气
F2 1%;
Kr 25%;
Ne 74%
气态 有毒、窒息 2.67 49L(50kg/cm2)/瓶
23 氧气/氦气 O2 30%;
He 70% 气态 氧化性 12.62 47L(137kg/cm
2)/瓶
24 氦气/氮气 N2 98.8%;
He 1.2% 气态 窒息性 74.09 47L(120kg/cm
2)/瓶
25 氮气 N2 100% 气态 窒息 88.48 40L(100kg/cm2)/瓶
26 二氟甲烷 CH2F2 100% 气态 易燃 27.20 6.8kg(10L)/瓶
主车间
一层
可燃性
气体房
1
27 氟甲烷 CH3F 100% 气态 易燃 3.62 1.81kg(7.3L)/瓶
28 一氧化碳 CO 100% 气态 易燃、有毒 32.43 46L(150kg/cm2)/瓶
29 二氯硅烷 SiH2Cl2
100% 气态 易燃有毒 148.00 37kg(40L)/瓶
30 丙烯 C3H6 100% 气态 易燃 80.00 44L/瓶
31 甲烷 CH4 100% 气态 易燃易爆 8.69 44L(2265Psig)/瓶
32 甲烷/氩气 CH4 10%;
Ar 90% 气态 易燃易爆 7.09 40L(120kg/cm
2)/瓶
33 全氟丁二烯 C4F6 100% 气态 窒息性 20.00 10KG(10L)/瓶
34 乙硼烷/氩气 B2H6 5%;
Ar 95% 气态 窒息性 3.87 44L(750Psig)/瓶
35 磷化氢/氮气 PH3 4.5%;
N2 95.5% 气态 窒息性 21.00 47L(100kg/cm
2)/瓶
36 有机硅烷
SiH(CH3)3
3MS
3MS 100% 气态 易燃 104.00 26kg(49L)/瓶
37 乙硅烷 Si2H6 100% 气态 易燃易爆 12.00 3kg(10L)/瓶
38 磷化氢 PH3 100% 气态 剧毒 3.12 0.52kg(2.2L)瓶
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 12 -
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
39 乙烯 C2H4 100% 气态 易燃 32.52 49L(150kg/cm2)/瓶
主车间
一层
可燃性
气体房
3
40 氘气 D2 D2 100% 气态 易燃易爆 4.22 44L(2000Psig)/瓶
41 乙硼烷/氢气 B2H6 1%;H2
99% 气态 易燃易爆 0.25 47L(120kg/cm
2)/瓶
42 锗烷/氢气 GeH4 1%;
H2 99% 气态 易燃易爆 2.87 44L(150kg/cm
2)/瓶
43 氢气/氦气 H2 5%;
He 95% 气态 窒息性 2.96 40L(120kg/cm
2)/瓶
2.1.4.4 主车间桶槽区
主车间一层西侧外墙处共设有 5 个单独对外的桶槽(双氧水、氨水、晶边清
洗液、氢氟酸等桶槽区。桶槽区主要存放化学品如表 2-5 桶槽区化学品清单。
表 2-5 桶槽区化学品清单
序号 桶槽名称 化学物质 包装 规格 数量
1 桶槽间 1
晶边清洗液(EBR) 储罐 18m3 1 个
乙酸 桶 200L/桶 2 个
异丙醇 桶 200L/桶 2 个
六甲基二硅胺 桶 200L/桶 2 个
2 桶槽间 2 硝酸 桶 200L/桶 2 个
3 桶槽间 3 29%氨水 储罐 20 m3/25 m3 2 个
显影剂 储罐 20 m3/25 m3 2 个
4 桶槽间 4 96%硫酸 储罐 25 m3/18 m3 2 个
49%氢氟酸 储罐 25 m3/18 m3 2 个
5 桶槽间 5 31%双氧水 储罐 25 m3 2 个
2.1.4.5 主车间化学房
桶槽区内侧相邻处设有化学房,分别为酸房、碱房、有机溶剂房,主要用于
存放、分配和输送各类液体化学品。化学房与洁净室之间为不燃性气体房、气体
纯化室以及研磨液化学房。各化学房内桶装化学品置于专用的化学品供应机台
(自带机械排风、急停铵钮,有机溶剂供应机台配有二氧化碳灭火系统)。
表 2-6 主车间化学房化学品供应表
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
1 正光阻去除
液
三乙醇胺
40% 液态 可燃 912.00 200L/桶
主车间
一层化
学房 1
2 去光阻液 CLK888
100% 液态 可燃 714.00 200L/桶
3 去光阻液 EKC270
100% 液态 腐蚀性 856.00 55Gal/桶
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 13 -
序
号
化学品
名称
主要化学成
分及浓度 状态 危险特性 最大存量(kg) 包装规格
存储/
使用点
4 去光阻液 EKC580
100% 液态 腐蚀性 856.00 55Gal/桶
5 乙二醇 C2H4(OH)2
100% 液态 可燃 976.00 200L/桶
6 磷酸 H3PO4 85% 液态 腐蚀性 1,368.00 75kg/桶
主车间
一层化
学房 2
7 硫酸铜溶液 CuSO4:20% 液态 腐蚀 800.00 200L/桶
8 N-甲基吡咯
烷酮(NMP) NMP 100% 液态 可燃 834.60 208.65kg/桶
9 盐酸 HCl 35% 液态 腐蚀性 9,600.00 57.25kg/桶
10 BOE100:1
(NH4F/HF)
NH4F:39.58
%,
HF:0.52%
气态 有毒、腐蚀性 400.00 50kg/桶
11 研磨浆 SiO2 液态 —— 1,600.00 200L/桶
12 显影剂(四甲
基氢氧化铵)
(CH3)4NOH
2.38% 液态 腐蚀性 400.00 200L/桶
主车间
一层化
学房 3
13 清洗液 乙醇胺 10%
TMAH 2.5% 液态 腐蚀性 9,000.00 55Gal/桶
14 氨水 NH4OH 29% 液态 毒性腐蚀性 1,820.00 1m3/储罐
2.2 危险源与风险分析
2.2.1 危险源识别
公司使用、储存主要原材料有易燃气体氢气、硅烷等;毒性气体氨气、氯气、
砷烷、砷烷等;易燃液体异丙醇、丙酮等;腐蚀性液体氨水、氢氟酸等。产生的
危险废物主要由擦拭布、废弃包装桶等。
(1)氢气的危险性分析
大宗特殊气体供应站储存的氢气为易燃气体,属甲类火灾危险物质,与空气
混合能形成爆炸性混合物,爆炸极限为 4.0%-75.0%。遇明火、高热能引起燃烧
爆炸。氢气比空气轻,在室内使用和储存时,漏气上升滞留屋顶不易排出,当达
到其爆炸下限浓度时,遇点火源会引起爆炸。
(2)硅烷的危险性分析
大宗特殊气体供应站储存的硅烷为易燃气体,属甲类火灾危险物质,在空气
中可能自燃并与空气混合能形成爆炸性混合物,爆炸极限为 1.0%-96.0%。遇明
火、高热能引起燃烧爆炸。
(3)液氨的危险性分析
氨属于 2.3 类毒性气体,高毒物品。氨对粘膜和皮肤有碱性刺激及腐蚀作用,
高浓度可造成组织溶解性坏死,引起化学性肺炎及灼伤。接触 1700ppm 可引起
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 14 -
严重咳嗽、支气管痉挛、肺水肿和窒息。超过 553mg/m³可发生强烈的刺激症状,
可耐受 1.25 分钟;3500-7000mg/m³浓度下可立即死亡,氨泄漏会导致人员中毒
伤害。
(4)氨水的危险性分析
氨水储罐区设置 20m³及 25m³的储罐各一个,29%的氨水为腐蚀品,呈碱性,
蒸气浓度约为 400 ppm 时会严重刺激喉咙及呼吸系统。过量吸入蒸气可能导致
呼吸困难、胸部疼痛、支气管痉挛、肺水肿及可能死亡。2500 – 6500 ppm
时在 30 分钟内便有危险。5000– 10000 ppm 时在极短时间暴露便会立即毙命。
(5)氢氟酸的危险性分析
氢氟酸储罐区设置 18m³及 25m³的储罐各一个,49%的氨水为腐蚀品,呈酸
性,氢氟酸蒸气刺激鼻、咽、眼睛及呼吸道,高浓度蒸气会严重的灼伤唇、口、
咽及肺,可能造成液体蓄积于肺中及死亡。122 ppm 浓度下暴露 1 分钟会严刺
激鼻、咽及呼吸道。50 ppm 浓度下暴露数分钟可能致死。
根据公司生产、使用、储存危险化学品的品种、数量、危险性,确定以下 5
个危险场所(设施)为危险目标:W1-W4 仓库、大宗特殊气体供应站(气体供应
房 2)、主车间气体房、主车间桶槽区、主车间化学房。
(6)危险化学品库内危险化学品危险性分析
1. 氯气、砷烷、磷烷等属于 2.3 类毒性气体,高毒物品。
氯气接触会造成以下主要症状:刺激感、咳嗽、呼吸困难、哽塞感、胸疼痛、
呕吐、肺积水、皮肤发红及起泡、冻疮、失明、疼痛、灼伤、口渴、痉挛、恶心
等。0.2 ppm 会造成鼻轻微发痒;1.0 ppm 会造成咽干燥、咳嗽及轻度的呼吸困
难;5ppm 时,中度呼吸困难,肺部易感染;30ppm 以上造成严重的咳嗽、哽塞
感及胸疼痛、呕吐;于 1000ppm 下深呼吸数次会致死。
砷烷接触会造成以下主要症状:恶心、麻木、腹内压迫感、频尿、呕吐、刺
激感、灼伤、白血病、肿瘤等。砷化氢快速破坏红血球(血管内的溶血)。浓度操
超过 50 ppm 导致快速死亡。
磷烷为剧毒气体,吸入可能导致死亡。中毒后的症狀包括呼吸道及肺脏不适,
胸疼,呼吸困难,疲惫,头痛,腹痛,暈眩,呕吐,腹泻,麻木,头昏眼花,蹒
跚,痉挛,虚脱。症狀视气体浓度及暴露时间而不同。症狀可能延迟 48 小时以
内出现。
2. 仓库内丙酮、异丙醇等易燃液体,易挥发、闪点低、危险性大,其蒸汽
与空气能形成爆炸性混合物,遇明火、高热或与氧化剂接触有引起燃烧爆炸的危
险。
3. 仓库内氘气、二氯硅烷等易燃液体,闪点低、危险性大,与空气能形成
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 15 -
爆炸性混合物,遇明火、高热或与氧化剂接触有引起燃烧爆炸的危险。
4. 仓库内硝酸、双氧水等腐蚀品,具有很强的腐蚀性,皮肤接触可造成化
学灼伤。
5. 仓库内六氯化二硅烷、四(二甲氨基)钛、五-二甲基氨钽、四氯化铪等
禁水性物质,遇水放出可能自燃的易燃气体,造成严重皮肤灼伤和眼睛损伤,造
成严重眼睛损伤。
2.2.2主要事故风险分析结果
序
号 区域
事故
类型 事故诱因 事故后果
影响
范围
1
大宗 特
殊气 体
供应站
氢 气
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、违章驾驶等导致防爆叉车撞击破损;
7、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸事故
大 宗
特 殊
气 体
供 应
站 及
周 边
邻里
液 氨
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、违章驾驶等导致防爆叉车撞击破损;
7、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸、人员中
毒事故
硅 烷
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、违章驾驶等导致防爆叉车撞击破损;
7、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸事故
三 氟
化 氮
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸、人员中
毒事故
2 主车 间
气体房
磷 化
氢 泄
漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸、人员中
毒事故
气 体
房 及
周 边
邻里
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 16 -
序
号 区域
事故
类型 事故诱因 事故后果
影响
范围
氢气/
氘 气
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸事故
氯 气
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒事故
氟 化
氢 泄
漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接或固定不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒事故
3 主车 间
桶槽区
异 丙
醇 泄
漏
1、管路连接或固定不到位;
2、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
3、管道及阀门因安装不到位等引起泄漏;
4、液位仪故障、量尺不准、管理不到位导
致泄漏;
5、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸事故
主 车
间 桶
槽 区
及 周
边 邻
里
氨 水
泄漏
1、管路连接或固定不到位;
2、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
3、管道及阀门因腐蚀、安装不到位等引起
泄漏;
4、液位仪故障、量尺不准、管理不到位导
致泄漏;
5、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒、化学品
灼伤事故
氢 氟
酸 泄
漏
1、管路连接或固定不到位;
2、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
3、管道及阀门因腐蚀、安装不到位等引起
泄漏;
4、液位仪故障、量尺不准、管理不到位导
致泄漏;
5、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒、化学品
灼伤事故
双 氧
水 泄
漏
1、管路连接或固定不到位;
2、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
3、管道及阀门因腐蚀、安装不到位等引起
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 17 -
序
号 区域
事故
类型 事故诱因 事故后果
影响
范围
泄漏;
4、液位仪故障、量尺不准、管理不到位导
致泄漏;
5、人员误操作。
中毒、化学品
灼伤事故
4 主车 间
化学房
显 影
剂 泄
漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒、化学品
灼伤事故
BOE100:
1 泄
漏
1、压力容器超期未捡;
2、管道及阀门腐蚀、故障;
3、安全附件失效;
4、管路连接不到位;
5、因地质灾害、恶劣气候条件等导致输送
管路受损;
6、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒、化学品
灼伤事故
化 学
房 及
周 边
邻里
5 W1-W4
仓库
异 丙
醇 泄
漏
1、容器出现渗漏、损坏等质量问题;
2、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏;
3、储存间周围发现明火或火种等;
4、化学品在运输过程中操作不当,造成容
器内产品运动激烈,产品可能冲出容器;
5、防爆电器管路异常,电火花造成明火等。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸事故
W1-W4
仓 库
及 周
边 邻
里
光 阻
液 泄
漏
1、容器出现渗漏、损坏等质量问题;
2、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏;
3、储存间周围发现明火或火种等;
4、化学品在运输过程中操作不当,造成容
器内产品运动激烈,产品可能冲出容器;
5、防爆电器管路异常,电火花造成明火等。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸、人员中
毒、化学品灼
伤事故
氯 气
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、气体钢瓶未固定牢靠造成倾倒;
3、容器出现渗漏、损坏等质量问题;
4、违章驾驶等导致叉车撞击破损;
5、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒事故
磷 化
氢 泄
漏
1、压力容器超期未捡;
2、气体钢瓶未固定牢靠造成倾倒;
3、容器出现渗漏、损坏等质量问题;
4、违章驾驶等导致叉车撞击破损;
5、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起人员
中毒事故
氢气/
氘 气
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、气体钢瓶未固定牢靠造成倾倒;
3、容器出现渗漏、损坏等质量问题;
人身伤害
财产损失
环境污染
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 18 -
序
号 区域
事故
类型 事故诱因 事故后果
影响
范围
4、违章驾驶等导致叉车撞击破损;
5、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏;
6、储存间周围发现明火或火种等;
7、防爆电器管路异常,电火花造成明火等。
可能引起火灾
爆炸事故
二 氯
硅 烷
泄漏
1、压力容器超期未捡;
2、气体钢瓶未固定牢靠造成倾倒;
3、容器出现渗漏、损坏等质量问题;
4、违章驾驶等导致叉车撞击破损;
5、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏;
6、储存间周围发现明火或火种等;
7、防爆电器管路异常,电火花造成明火等。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸事故
四
( 二
甲 氨
基 )
钛 泄
漏
1、危险化学品包装破损;
2、员工没有按操作要求使用化学品,导致
化学品泄漏;
3、化学品在运输过程中操作不当,造成容
器内产品运动激烈,产品可能冲出容器;
4、人员误操作。
人身伤害
财产损失
环境污染
可能引起火灾
爆炸、人员中
毒事故
2.2.3重大危险源辨识
根据《联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源安全评估
报告》可知联芯集成电路制造(厦门)有限公司构成四级危险化学品重大危险源。
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 19 -
3 组织机构及职责
3.1 应急组织体系
图 3.1 应急组织体系图
现场处置组 通报管制组
应急办公室:工安环保部经理、工安环保部工程师
医疗救护组
应急救援指挥部
总指挥:总经理
副总指挥:副总经理、风险管理暨安环处处长
指挥部成员:厂务工程部经理、厂务机电部经理、物料暨仓储管理部经理、人力资源一部经理、人力资源二部经理
后勤支援组
厂务工程部现场处置组(主要负
责大宗特殊气体供应站、主车间
气体房、主车间桶槽区、主车间
化学房)
物料暨仓储管理部现场处
置组
(主要负责 W1-W4 仓库) 组长:人力资源二部
经理
组员:总务管理师、
保安队长、当值保安
组长:工安环保部经
理
组员:工安环保部工
程师
组长:人力资源
一部招募培训
课经理
组员:健康中心
护士、驻厂护士
组长:厂务工程部经理
组员:气化课工程师、
TCGM 驻厂操作员、厂务气化值
班、厂务水组值班、厂务空调值
班、厂务电气值班
组长:物料暨仓储管理部经
理
组员:仓库管理员
联氨精密现场处置组
(主要负责气体储罐
区)
组长:联氨项目经理
组员:驻厂服务工程
师
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 20 -
(注:公司其他人员应处于待命状态,非办公期间由现场值班主管担任临时指挥。气体供
应站现场处置与联氨应急组织相衔接。)
3.2 指挥机构及职责
机
构
组
别
负责
人 日常职责 应急状态下工作职责
应急救援指挥部
总指挥
总经理
(1)负责公司全面工作,落实
生产安全双基工作;
(2)组织应急预案的编制与修
订;
(3)审核、批准应急预案。
(4)安排分配应急经费
(1)负责公司事故救援工作,组织事
故救援队伍,指挥应急组织运作,全
面掌握、了解灾情状况;
(2)指挥公司紧急事故现场救援,下
达事故救援指令;
(3)负责或授权指定代表向相关政府
部门、媒体等通报事故原因、救援进
展及社会公众急需了解的情况等;
(4)组织事故调查。
副总指挥
副总经理
(1)协助总经理落实公司生产
安全管理工作确保生产安全;
(2)组织应急预案演练。
(1)协助总经理组织公司事故救援队
伍,负责下达事故救援指令;
(2)协助总经理做好应急救援协调、
指挥公司工作;
(3)调配厂区内应急物资及对外相关
部门联系。
(4)总经理不在岗时,代理执行应急
总指挥职责。
风险管理暨安环处处长
(1)协助总经理落实公司生产
安全管理工作确保生产安全;
(2)组织应急预案演练。
(1)协助总经理组织公司事故救援队
伍,负责下达事故救援指令;
(2)协助总经理做好应急救援协调、
指挥公司工作;
(3)总经理不在岗时,代理执行应急
总指挥职责。
指挥部成员
厂务工程部经理
(1)全面统筹厂务工程部应急
队伍工作;
(2)落实厂务工程部生产安全
管理工作确保生产安全;
(3)了解部门可能接触到的各
项突发情况,并系统认知学习;
(4)组织现场处置应急演练;
(5)定期组织责任区内隐患排
查。
(1)兼任厂务工程部现场处置组组
长;
(2)统筹厂务工程部现场处置工作,
指挥现场处置组开展应急工作;
(3)判断事故分级,通知相关部门并
通报总指挥;
(4)发布现场处置指令,启动厂务工
程部应急预案;
(5)协调各应急小组分工合作,负责
事故信息收集。
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 21 -
机
构
组
别
负责
人 日常职责 应急状态下工作职责
厂务机电部经理
(1)协调厂务机电部承担的相
关工作;
(2)安排应急人员做好日常应
急准备工作;
(3)加强对应急人员掌握应急
抢救、污染物处置及环境采样
等技能;
(4)协助现场处置应急演练。
(1)统筹厂务机电部现场处置工作,
指挥现场处置组开展应急工作;
(2)负责救援抢救组人员调查及抢险
救灾工作;
(3)负责调查组员进行现场物资及人
员的抢救
(4)安排人员进行灾后环境检测;
(5)及时掌握事故进展情况并向指挥
部报告。
物料暨仓储管理部经理
(1)全面统筹物料暨仓储管理
部应急队工作;
(2)落实物料暨仓储管理生产
安全管理工作确保生产安全;
(3)了解部门可能接触到的各
项突发情况,并系统认知学习;
(4)组织现场处置应急演练;
(5)定期组织责任区内隐患排
查。
(1)兼任物料暨仓储管理现场处置组
组长;
(2)统筹物料暨仓储管理部现场处置
工作,指挥现场处置组开展应急工作;
(3)判断事故分级,通知相关部门并
通报总指挥;
(4)发布现场处置指令,启动厂务工
程部应急预案;
(5)协调各应急小组分工合作,负责
事故信息收集。
人力资源一部经理
(1)全面统筹人力资源一部部
应急队工作;
(2)日常监督应急药箱内药品
的管理及药品的补充;
(3)落实应急人员的急救培
训。
(1) 统筹健康中心急救援工作,指
挥护士开展应急工作。
(2) 协调各救援小组分工合作,负
责事故信息收集。
人力资源二部经理
(1)全面统筹人力资源一部部
应急队工作;
(2)加强保安队伍应急救援工
作;
(3)加强应急通讯器材的管理
及维护。
(1)兼任通报管制组组长;
(2)指挥保安对灾害现场的管制,限
制人员及车辆进出;
(3)确保应急指挥部及各应急小组通
讯畅通;
(4)负责对现场疏散人员清点结果回
报。
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 22 -
机
构
组
别
负责
人 日常职责 应急状态下工作职责
应急办公室
办公室负责人
工安环保部经理
(1)负责应急指挥部的日常工
作,做好预案的经费预算及财
务管理;
(2)应急相关人员和单位联络
电话的定期公告和更新;
(3)组织应急救援培训和演练
活动。
(1)兼任后勤支援组组长
(2)接受生产安全事故报告,并迅速
做出应急反应;
(3)完成应急指挥下达的任务;
(4)负责生产安全事故调查处理的组
织协调和具体的领导、指挥工作和相
关保障工作。
办公室成员
工安环保部工程师
(1)负责日常应急器材的采
购、评估及管理;
(2)负责应急队伍的日常培训
及演练;
(3)日常应急演练总结及组织
检讨,并协助对应急预案进行
定期更新及修改;
(4)日常隐患排查,以减少事
故发生。
(1)兼任后勤支援组组员;
(2)接受生产安全事故报告后,迅速
进行现场确认并回报;
(3)完成应急指挥部及应急工作小组
的沟通;
(4)负责现场应急物资的供应工作、
食宿保障;
(5)负责应急抢险工作中的资金保障
工作。
应急工作小组
厂务工程部现场处置组
厂务工程部经理
(1)全面统筹厂务工程部应急
队伍工作;
(2)落实厂务工程部生产安全
管理工作确保生产安全;
(3)了解部门可能接触到的各
项突发情况,并系统认知学习;
(4)组织现场处置应急演练;
(5)定期组织责任区内隐患排
查。
(1)兼任厂务工程部现场处置组组
长;
(2)统筹厂务工程部现场处置工作,
指挥现场处置组开展应急工作;
(3)判断事故分级,通知相关部门并
通报总指挥;
(4)发布现场处置指令,启动厂务工
程部应急预案;
(5)协调各应急小组分工合作,负责
事故信息收集。
厂务气化课工程师
(1)落实危险化学品的安全管
理及安全操作规程;
(2)常握危险化学品操作及使
用技能;
(3)积极参与危险化学品相关
培训并掌握危险化学品相关知
识;
(4)掌握危险化学品应急处置
要领。
(1)开展必要的现场应急处置;
(2)负责事故现场人员、物品抢救;
(3)及时掌握事故进展情况并向现场
处置组组长报告;
(4)负责事故现场善后、清理现场。
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 23 -
机
构
组
别
负责
人 日常职责 应急状态下工作职责
TC
GM
驻厂操作员
(1)落实危险化学品的安全管
理及安全操作规程;
(2)常握危险化学品操作及使
用技能;
(3)积极参与危险化学品相关
培训并掌握危险化学品相关知
识;
(4)掌握危险化学品应急处置
要领。
(1)开展必要的现场应急处置;
(2)负责事故现场人员、物品抢救;
(3)及时掌握事故进展情况并向现场
处置组组长报告;
(4)负责事故现场善后、清理现场。
厂务气化值班
(1)定期检查重大危险源区域
的安全隐患;
(2)积极参与应急队伍培训,
掌握应急技能。
(1)实施抢险救灾工作;
(2)负责现场危险化学品泄漏的堵漏
及处置、火灾扑灭、中毒人员的抢救
至安全地带等;
(3)控制污染源,防止污染物进一步
扩大。
(4)在安全条件下,对未受污染的物
资的抢救;
(5)对现场污染物浓度进行取样监
测,监测结果提供给应急指挥部,供
应急指挥部决策参考。
厂务水组值班
(1)定期检查重大危险源区域
的安全隐患;
(2)积极参与应急队伍培训,
掌握应急技能。
(1)实施抢险救灾工作;
(2)负责现场危险化学品泄漏的堵漏
及处置、火灾扑灭、中毒人员的抢救
至安全地带等;
(3)控制污染源,防止污染物进一步
扩大。
(4)在安全条件下,对未受污染的物
资的抢救;
(5)对现场污染物浓度进行取样监
测,监测结果提供给应急指挥部,供
应急指挥部决策参考。
联芯集成电路制造(厦门)有限公司危险化学品重大危险源生产安全事故应急预案
- 24 -
机
构
组
别
负责
人 日常职责 应急状态下工作职责
厂务空调值班
(1)定期检查重大危险源区域
的安全隐患;
(2)积极参与应急队伍培训,
掌握应急技能。
(1)实施抢险救灾工作;
(2)负责现场危险化学品泄漏的堵漏
及处置、火灾扑灭、中毒人员的抢救
至安全地带等;
(3)控制污染源,防止污染物进一步
扩大。
(4)在安全条件下,对未受污染的物
资的抢救;
(5)对现场污染物浓度进行取样监
测,监测结果提供给应急指挥部,供
应急指挥部决策参考。
厂务电气值班
(1)定期检查重大危险源区域
的安全隐患;
(2)积极参与应急队伍培训,
掌握应急技能。
(1)实施抢险救灾工作;
(2)负责现场危险化学品泄漏的堵漏
及处置、火灾扑灭、中毒人员的抢救
至安全地带等;
(3)控制污染源,防止污染物进一步
扩大。
(4)在安全条件下,对未受污染的物
资的抢救;
(5)对现场污染物浓度进行取样监
测,监测结果提供给应急指挥部,供
应急指挥部决策参考。
物料暨仓储管理部现场处置组
物料暨仓储管理部经理
(1)全面统筹物料暨仓储管理
部应急队工作;
(2)落实物料暨仓储管理生产
安全管理工作确保生产安全;
(3)了解部门可能接触到的�