Презентаціянауково-дослідної лабораторії

Центру колективного користування приладами НАН

України “Діагностика напівпровідникових матеріалів, структур та приладних систем” ІФН НАН України при Луцькому

національному технічному університеті

Engineered Products for the modern Industry

Сходинки історіїEngineered Products for the modern Industry

•2004р. Початок співпраці з компанією Flokal BV (Нідерланди)•2006-2009рр. Становлення лабораторії Інформаційно-Вимірювальних Систем (ЛНТУ-Flokal BV)•2009р. Листопад 2009р. Підписаний Наказ Про створення неструктурної лабораторії Центру колективного користування приладами НАН України «Діагностика напівпровідникових матеріалів, структур та приладних систем» ІФН НАН України при Луцькому національному університеті

Flokal’s subdivisions worldwide

Портфоліо Flokal BV • Виробництво та сервіс контролерів газових потоків (MFM/MFC) та контролерів пару рідини (Liquid Vapor Controller, LVC)• Вирробництво та сервіс ємнісних вакуумних сенсорів (CDG)• Вирробництво та сервіс термопар• Разробка програмного забеазпечення

Клієнти Flokal BVABB Switzerland, AMIS Belgium, Angstrem Russia, ASM, Bosch Germany, BP Solar Spain, Cener Spain, Centroterm Germany, Draka Comteq Netherlands, Elmos Germany, EM Microelectronics Switzerland, FBFC – International Belgium, FHG Dresden Germany, Forschungszentrum Julich Germany, Imec Belgium, LPT Germany, Philips, … та ін…

Виставки 2008-2009

Engineered Products for the modern Industry

14.10.2008 - 18.10.2008

12.06.08 - 14.06.08            

20.05.08 - 23.05.08             

  

18.04.2008

            

29.01.08 - 01.02.08             

10.11.2009 - 13.11.2009

11.05.2009 - 15.05.2009

27.01.2009 - 30.01.2009

10.01.2009 - 13.01.2009

Лабораторія контролю вакууму та масопереносу

Engineered Products for the modern Industry

Всі роботи проводяться в лабораторії класу Clean Room:

Класс: 10.000Температура: 21± 1oC Відносна вологість: 35-55 %

Оснащення лабораторії

Engineered Products for the modern Industry

Підвід газу

Контрольно-вимірювальні

блоки MFC, LVC

Програмне забезпечення

“Smart DEE”

Цифрові Еталонні MFM “BROOKS”

Регулятор тиску

Стенд MFM/MFC, LVC

Блок керування потоком несучого

газу

Досліджувані MFC“STEC” HORIBA

Оснащення лабораторії

Engineered Products for the modern Industry

Гелієвий детектор цілісності “ADIXEN” Піч “Carbolite”

Оснащення лабораторії

Engineered Products for the modern Industry

Стенд CDG

Блок керування вакуумною системою “Pfeiffer”

Еталонні CDGs “Mykrolis”Досліджуваний

CDG

Оснащення лабораторії

Engineered Products for the modern Industry

Вакуумна система Пластинчасто-

роторна вакуумна помпа

Турбомолекулярна помпа

Турбоконтроллер

Випускний фільтр

Оснащення лабораторіїEngineered Products for the modern Industry

Ультразвукова ванна “DECON” з вентиляційною

системою Технічна документація

Функції лабораторії

Engineered Products for the modern Industry

Розробка та впровадження контролерів газових потоків MFC; Розробка та впровадження газових панелей; Обслуговування MFC відомих виробників:Tylan, Mykrolis, Unit, Celerity, Brooks, Qualiflow, MKS, AERA, Bronkhorts, Horiba…..

Пропонований сервіс:

• Цикл робіт по повному відновленню MFC;• Ремонт;• Заміна газового середовища;• Зміна діапазону;• Калібровка;• Гелієва перевірка на цілісність.

Функції лабораторії

Engineered Products for the modern Industry

Розробка та впровадження пристроїв контролю вакууму - CDG - BARAVAC; Обслуговування CDG відомих вирробників:Mykrolis, MKS, PFEIFFER…

Пропонований сервіс:• Чистка;• Ремонт;• Калібровка;• Рекомендації

Engineered Products for the modern Industry   Flokal MFCFlokal MFC F 260F 260

Діапазон потоку F260 (еквівалентN2):  від 20 ml/min дo 5 l/min

Контрольований діапазон: від 2 и 100% всієї шкали

Тип клапана: Термічний

Позиція клапана без електроживлення:

Відкритий

Точність: +/- 1% повної шкалы (п.ш.)

Лінійність:  +/- 0.5% п.ш.

Повторюваність:  +/- 0.3% п.ш.

Час відгуку:  <= 6 sec. типово (SEMI E17-91)

Температурний діапазон: 5 - 40°C

Температурний коефіцієнт:  < 0.1% п.ш /°C

Максимальний тиск на вході:  10 bar

Мінімальний дифиренціальний тиск: 0.5 bar (0.7 bar для H2)

Максимальний диференціальний тиск: 3 bar

Коефіцієнт при зміні тиску:  < 0.1% п.ш /bar

Матеріал:  316 L Нержавіюча сталь

Прокладки:  Viton, Neoprene or Kalrez

Електроживлення+/- 15 VDC, 150 mA

Вхідний сигнал: 0 - 5 VDC Вихідний сигнал:  0 - 5 VDC

Електричне з’єднання: Card Edge

на даний момент розробляються:на даний момент розробляються: 1. Комп1. Комп’’ютерне керуванняютерне керування

2. Всі з2. Всі з’’єднання на металевих прокладкахєднання на металевих прокладках

Engineered Products for the modern Industry

Flokal LVC F414

Специфікація:- Діапазон потоку несучого газу:  від 50 ml/min 10 l/min- Діапазон потоку пари:  от12 mg/min to 40 g/min - Мінімальный поток несучого газу:  5% п.ш. - Максимальний поток джерела:  40 g/min - Точність:  +/- 4% від п.ш

- Лінійність: +/- 4% від п.ш. - Повторюваність:  +/- 0.5% от п.ш. - Час відгуку несучого газу: 10 cек. типово- Газ і температура середовища:  15 - 35°C. За вимогою до 40°C. - Робочий діапазон диференціального тиску:  0.6 - bar - Максимальний тиск несучого газу: 4 bar - Несучі гази:  H2, He, N2, O2, Ar, суміші газів - Матеріал:  316 L нержавіюча сталь- Прокладки:  Viton (Kalrez) - Сенсори  Золоті, покриті вольфрамом чи двох волоконні нікілеві

Розроблений для вимірювання та контролю потоку легуючого матеріалу за зміною потоку несучого газу через барботер з легуючим матеріалом.

на даний момент розробляються:на даний момент розробляються: 1. Компютерне керування1. Компютерне керування

2. Всі з2. Всі з’’єднання на металевих прокладкахєднання на металевих прокладках

Engineered Products for the modern Industry

Ємнісні діафрагмові вимірники вакууму серії BARAVAC

Тип Модель Точність % п.ш.

A 100 Standard Absolute 0.5

A 200 High Accuracy 0.25

A 300 Explosion Proof Absolute 0.5

A 600 Two Set Points Absolute 0.5

D 100 Standard Differential 0.5

СпецифікаціяДіапазон  1;  10;  100;  1000 Torr  (mmHg)

Температурний коефіцієнт    0.02%/ oC п.ш. Вихідний сигнал                  0 – 10 VDC (4 – 20 mADC)Електричне живлення 15 VDC    оточуюче середовище    Температура    0C – 50оC    Відносна вологість             ≤ 80%    Температура процесу        ≤ 100оCЧас відгуку                       ≤ 20 мс

Лабораторія контролю високих температур

Engineered Products for the modern Industry

Стенд TC

Трубна пічThermolyne

Цифровий термометрTrendicator

Досліджувана термопара

Лабораторія контролю високих температур

Engineered Products for the modern Industry

Конструкціїї та типи термопар

Tип S {Pt-10%Rh(+) / Pt(-)} platinum-rhodium TC: від 0°C до +1600°C:Використовується в окислювальній атмосферіТип R {Pt-13%Rh(+) / Pt(-)} : до +1600°C:Подібно то типу S з чутливістю між 6 і 14 μV/°C.Tип B {Pt-30%Rh(+) / Pt-6%Rh(-)} : до +1700°C:Дуже стабільна термопара, проте має меншу чутливість особливо в нижній частині діапазону.Tип C {Tu-5%Rhe(+) /Tu-Re26%(-)} : tungsten-rhenium TC: до+2300°C:

Engineered Products for the modern Industry

Цифрова відео мікроскопія (3D відео мікроскопія)

Ми розробляємо цифрові відео мікроскопи для різних наукових і виробничих застосувань.

Збільшення – до 7 000 x.Лінзи обертання для доскональної інспекції.3D моделювання і вимірювання висот.Програмне забезпечення для аналізу

(вимірювань, аналізу часток/дефектів, 3D).

Engineered Products for the modern Industry

3D цифрова оптична мікроскопія

3D інспекція

• 360-градусне обертання головки• Досконале дослідження в режимі реального часу• Збільшення від 20x до 300x• Можливість зміни кута дослідження в 45 чи 60 градусів.• Можливість запису відео!

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування - Електроніка

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування - Матеріалознавство

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування – Медицинські пристрої

Приклади застосування - Машинобудування

Приклади застосування - Криміналістика

Engineered Products for the modern Industry

MIMAS

В промисловості як і в дослідженнях появляється більше і більше застосувань, де необхідно дослідитиякість матеріалу і перевірити властивості частинок/дефектів. Призначення MIMAS – прискорення часу дослідження і обробки даних. Потужний математичний апаратперетворює MIMAS в незамінний інструмент як для інженера так і для наукового співробітника.Простота в використанні – одна з наших головних цілей. MIMAS пропонує зручний набір інструментів для аналізуданих і дозволяє здійснити точну і детальну оцінку якості матеріалу з найменш можливими затратами.

2D/3D вимірюванняВимірювання частинокНабір гістограмНабір звітів

Engineered Products for the modern Industry

Визначення частинок/дефектів

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування – Дослідження сонячних батарей

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування – Дослідження сонячних батарей

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування – Дослідження композитних матеріалів

Engineered Products for the modern Industry

Приклади застосування – Дослідження композитних матеріалів

Engineered Products for the modern Industry

Дякую за увагу